JP2799808B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＯＣ型（リードフレ
ーム・オン・チップ）の半導体装置に係る、詳細には、
多数本のリードを備えたリードフレーム本体の裏面に、
半導体チップの回路表面領域の上方部に離間した状態で
多数本のリードが配設されるように、別体に形成した半
導体チップ搭載部を備えた半導体装置に関する。
ーム・オン・チップ）の半導体装置に係る、詳細には、
多数本のリードを備えたリードフレーム本体の裏面に、
半導体チップの回路表面領域の上方部に離間した状態で
多数本のリードが配設されるように、別体に形成した半
導体チップ搭載部を備えた半導体装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近来、半導体装置は、半導体チップの高
集積化、大容量化に伴い半導体チップのサイズが大型化
しているが、樹脂封止サイズは小さく抑え、実装密度を
高める傾向にある。従って、この種の半導体装置は、特
開昭６１−２４１９５９の公報に開示された、半導体チ
ップの回路形成面上に多数本のリードが両面に接着材を
備えた電気的に絶縁する絶縁テープを介在させて熱圧着
され、ボンディングワイヤの一端部が前記半導体チップ
の電極端子に連結され、他端部が前記リードに連結され
て電気的導通回路が形成されており、これらを樹脂部材
で封止したＬＯＣ（Ｌｅａｄ Ｏｎ Ｃｈｉｐ）構造が
採用されている。
集積化、大容量化に伴い半導体チップのサイズが大型化
しているが、樹脂封止サイズは小さく抑え、実装密度を
高める傾向にある。従って、この種の半導体装置は、特
開昭６１−２４１９５９の公報に開示された、半導体チ
ップの回路形成面上に多数本のリードが両面に接着材を
備えた電気的に絶縁する絶縁テープを介在させて熱圧着
され、ボンディングワイヤの一端部が前記半導体チップ
の電極端子に連結され、他端部が前記リードに連結され
て電気的導通回路が形成されており、これらを樹脂部材
で封止したＬＯＣ（Ｌｅａｄ Ｏｎ Ｃｈｉｐ）構造が
採用されている。
【０００３】この半導体装置によれば、半導体チップの
形状に規制されず半導体チップの電極端子に前記リード
を自由に引き回せるので、サイズの大きな半導体チップ
を封止することができる。しかし、この種の技術におい
ては、絶縁性テープを半導体チップの回路表面領域に接
着する際に、該半導体チップの回路表面領域を損傷させ
るという問題や前記リードのワイヤボンディング領域に
ボンディングワイヤを圧着接続する際に、前記半導体チ
ップの回路表面領域に衝撃荷重や圧着荷重が加わり、前
記半導体チップの回路表面領域を損傷させるなど問題を
有していた。
形状に規制されず半導体チップの電極端子に前記リード
を自由に引き回せるので、サイズの大きな半導体チップ
を封止することができる。しかし、この種の技術におい
ては、絶縁性テープを半導体チップの回路表面領域に接
着する際に、該半導体チップの回路表面領域を損傷させ
るという問題や前記リードのワイヤボンディング領域に
ボンディングワイヤを圧着接続する際に、前記半導体チ
ップの回路表面領域に衝撃荷重や圧着荷重が加わり、前
記半導体チップの回路表面領域を損傷させるなど問題を
有していた。
【０００４】そこで、上記の問題点を解決するために、
特開平２−２４６１２５の公報に開示された、多数本の
リードが前記半導体チップの回路表面領域の上方部に絶
縁テープの介在なしに浮いた状態で配設されており、一
端がこの半導体チップの電極端子に接続され、他端が前
記リードのワイヤボンディング領域に接続したボンディ
ングワイヤを介在させて電気的導通回路が形成されてお
り、これらの半導体チップ、ボンディングワイヤ及び前
記リードの一端部側をモールド樹脂で封止された構造の
半導体装置及びその製造方法が提示されている。
特開平２−２４６１２５の公報に開示された、多数本の
リードが前記半導体チップの回路表面領域の上方部に絶
縁テープの介在なしに浮いた状態で配設されており、一
端がこの半導体チップの電極端子に接続され、他端が前
記リードのワイヤボンディング領域に接続したボンディ
ングワイヤを介在させて電気的導通回路が形成されてお
り、これらの半導体チップ、ボンディングワイヤ及び前
記リードの一端部側をモールド樹脂で封止された構造の
半導体装置及びその製造方法が提示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、開示さ
れた従来技術の半導体装置では、多数本のリードを半導
体チップの回路形成面上に浮いた状態で配設するため
に、前記リードフレームに一体に形成された支持リード
の下方に屈折した先端部の側面で前記半導体チップの側
端面に接着材又は支持リードの弾性力を利用して接着又
は挟持固定して半導体チップが支持されている。従っ
て、半導体チップを搭載する際に、該チップの位置ずれ
や半導体チップに圧接の残留応力が不均一に生じて半導
体チップを破損するなど半導体装置の長期信頼性を低下
させる問題があった。また、半導体チップの回路形成面
上に多数本のリードが浮いた状態で配設されているた
め、前記リードの先端のワイヤボンディング領域部が自
由端となるので、リードの寄りや浮き沈みが生じてワイ
ヤボンディング領域の位置が不安定となりワイヤのボン
ダビリティを低下させるという問題があった。さらに、
半導体チップを接着又は挟持固定する際に、位置決め用
治具や支持リードを押し広げる治具を必要とし、作業効
率を低下させるという問題があった。
れた従来技術の半導体装置では、多数本のリードを半導
体チップの回路形成面上に浮いた状態で配設するため
に、前記リードフレームに一体に形成された支持リード
の下方に屈折した先端部の側面で前記半導体チップの側
端面に接着材又は支持リードの弾性力を利用して接着又
は挟持固定して半導体チップが支持されている。従っ
て、半導体チップを搭載する際に、該チップの位置ずれ
や半導体チップに圧接の残留応力が不均一に生じて半導
体チップを破損するなど半導体装置の長期信頼性を低下
させる問題があった。また、半導体チップの回路形成面
上に多数本のリードが浮いた状態で配設されているた
め、前記リードの先端のワイヤボンディング領域部が自
由端となるので、リードの寄りや浮き沈みが生じてワイ
ヤボンディング領域の位置が不安定となりワイヤのボン
ダビリティを低下させるという問題があった。さらに、
半導体チップを接着又は挟持固定する際に、位置決め用
治具や支持リードを押し広げる治具を必要とし、作業効
率を低下させるという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、多数本のリードが半導体
チップの回路形成面上に離間した状態で配設された半導
体装置において、半導体チップを搭載する際に生じる半
導体チップの電極端子とこれに対応する多数本のリード
との位置ずれや残留応力の滞有を防ぐと共に、半導体チ
ップが発する熱の拡散効率を向上させ長期信頼性の高い
半導体装置を提供することにある。
チップの回路形成面上に離間した状態で配設された半導
体装置において、半導体チップを搭載する際に生じる半
導体チップの電極端子とこれに対応する多数本のリード
との位置ずれや残留応力の滞有を防ぐと共に、半導体チ
ップが発する熱の拡散効率を向上させ長期信頼性の高い
半導体装置を提供することにある。
【０００７】
【問題を解決するための手段】上記の目的を達成する請
求項１記載の半導体装置は、回路内部表面領域に複数の
電極端子を有する半導体チップと、一端部が前記半導体
チップの電極端子に連結された多数本のリードを前記電
極端子の周辺に隣接配置した所定のリードフレーム本体
と、前記多数本のリードが前記半導体チップの上部に離
間した状態で配設されるようにリードフレーム本体の裏
面に接合支持された半導体チップ支持部と、前記半導体
チップ、前記半導体チップ支持部、及び前記多数本のリ
ードの一端部側を封止する樹脂封止部材とから成る半導
体装置であって、 前記半導体チップ支持部は、前記半導
体チップを搭載する搭載部を中央に備え、該搭載部を囲
む枠形の接合平坦部を、複数の吊りリードを形成する貫
通孔を有する外縁部の外側に設けて、該接合平坦部を残
し、前記外縁部の吊りリードを折り曲げて半導体チップ
搭載面をダウンセットして形成された別体の導電体ケー
ジであり、そして前記導電体ケージは、半導体チップを
搭載した状態で、その接合平坦部で接合リード及び多数
本のリードとを一括連結するように、両面に接着材層を
設けた絶縁性テープを介して前記リードフレームの裏面
側に接合支持された構成としたことを特徴とするもので
ある。また、請求項２記載の半導体装置は、請求項１記
載の半導体装置において、前記リードフレーム本体は、
外枠の内側に形成された第１、第２のリード群から成る
多数本のリードと外枠からこれと同一平面内に突出した
一対の接合リードとで構成されており、該各リード群の
先端部のワイヤボンディング領域及び接合リード部の先
端部領域を含む裏面側にのみ、片面に接着材を有し、半
導体チップの電極バッドが露出する貫通孔を設けた絶縁
性テープを貼着し、これらを一体的に連結した構成とし
たことを特徴とするものである。
求項１記載の半導体装置は、回路内部表面領域に複数の
電極端子を有する半導体チップと、一端部が前記半導体
チップの電極端子に連結された多数本のリードを前記電
極端子の周辺に隣接配置した所定のリードフレーム本体
と、前記多数本のリードが前記半導体チップの上部に離
間した状態で配設されるようにリードフレーム本体の裏
面に接合支持された半導体チップ支持部と、前記半導体
チップ、前記半導体チップ支持部、及び前記多数本のリ
ードの一端部側を封止する樹脂封止部材とから成る半導
体装置であって、 前記半導体チップ支持部は、前記半導
体チップを搭載する搭載部を中央に備え、該搭載部を囲
む枠形の接合平坦部を、複数の吊りリードを形成する貫
通孔を有する外縁部の外側に設けて、該接合平坦部を残
し、前記外縁部の吊りリードを折り曲げて半導体チップ
搭載面をダウンセットして形成された別体の導電体ケー
ジであり、そして前記導電体ケージは、半導体チップを
搭載した状態で、その接合平坦部で接合リード及び多数
本のリードとを一括連結するように、両面に接着材層を
設けた絶縁性テープを介して前記リードフレームの裏面
側に接合支持された構成としたことを特徴とするもので
ある。また、請求項２記載の半導体装置は、請求項１記
載の半導体装置において、前記リードフレーム本体は、
外枠の内側に形成された第１、第２のリード群から成る
多数本のリードと外枠からこれと同一平面内に突出した
一対の接合リードとで構成されており、該各リード群の
先端部のワイヤボンディング領域及び接合リード部の先
端部領域を含む裏面側にのみ、片面に接着材を有し、半
導体チップの電極バッドが露出する貫通孔を設けた絶縁
性テープを貼着し、これらを一体的に連結した構成とし
たことを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】請求項１記載の半導体装置においては、別体に
形成された導電体ケージの接合平坦部は両面接着材付き
絶縁性テープを介して接合リード及び多数本のリードに
一体的に接続支持されているので、従来技術のように半
導体チップに不均一な応力が加わらなくなり、半導体チ
ップ搭載部の反り、傾き等の変形による半導体チップの
破損を防止すると共に、半導体チップの発する熱を接合
平坦部を介して接合リード及び多数本のリードに拡散す
る。さらに、導電体ケージ部材の材質や表面処理用の材
質を選定する自由度が増し、従来に比べ半導体チップの
熱拡散効率を著しく向上させる。さらに、接合平坦部
は、両面接着材付き絶縁性テープを介して接合リード及
び多数本のリードに一体的に接合されているので、多数
本のリードの初期位置を維持する。さらに、半導体チッ
プを搭載する際に、従来技術で用いた支持治具を必要と
しなくなるので、半導体チップの搭載作業が容易になり
作業効率が向上する。また、請求項２記載の半導体装置
は、請求項１記載の半導体装置にあって、片面接着材付
き絶縁性テープは接合平坦部の接合位置から離間し、接
合リードと多数本のリードとを一体的に連接されている
ので、多数本のリードの先端が拘束され、リードの寄り
や浮き沈みが改善されると共に、ワイヤボンディングの
際に生じるリードの曲がりの影響もなく、ワイヤボンデ
ィング領域の位置が安定し、ボンダビリティを向上させ
る。
形成された導電体ケージの接合平坦部は両面接着材付き
絶縁性テープを介して接合リード及び多数本のリードに
一体的に接続支持されているので、従来技術のように半
導体チップに不均一な応力が加わらなくなり、半導体チ
ップ搭載部の反り、傾き等の変形による半導体チップの
破損を防止すると共に、半導体チップの発する熱を接合
平坦部を介して接合リード及び多数本のリードに拡散す
る。さらに、導電体ケージ部材の材質や表面処理用の材
質を選定する自由度が増し、従来に比べ半導体チップの
熱拡散効率を著しく向上させる。さらに、接合平坦部
は、両面接着材付き絶縁性テープを介して接合リード及
び多数本のリードに一体的に接合されているので、多数
本のリードの初期位置を維持する。さらに、半導体チッ
プを搭載する際に、従来技術で用いた支持治具を必要と
しなくなるので、半導体チップの搭載作業が容易になり
作業効率が向上する。また、請求項２記載の半導体装置
は、請求項１記載の半導体装置にあって、片面接着材付
き絶縁性テープは接合平坦部の接合位置から離間し、接
合リードと多数本のリードとを一体的に連接されている
ので、多数本のリードの先端が拘束され、リードの寄り
や浮き沈みが改善されると共に、ワイヤボンディングの
際に生じるリードの曲がりの影響もなく、ワイヤボンデ
ィング領域の位置が安定し、ボンダビリティを向上させ
る。
【０００９】
【実施例】続いて、添付した図面に基づき、本発明の詳
細について説明する。ここに、図１は本発明の半導体装
置の一実施例の概要を示す断面図、図２は本発明に用い
たリードフレーム本体の概要を示す平面図、図３は本発
明に用いた半導体チップ搭載部を備えた導電体ケージの
概要を示す斜視図である。まず、本発明の実施の一例で
あるＤＲＡＭ用の半導体装置の構成について説明する。
細について説明する。ここに、図１は本発明の半導体装
置の一実施例の概要を示す断面図、図２は本発明に用い
たリードフレーム本体の概要を示す平面図、図３は本発
明に用いた半導体チップ搭載部を備えた導電体ケージの
概要を示す斜視図である。まず、本発明の実施の一例で
あるＤＲＡＭ用の半導体装置の構成について説明する。
【００１０】この種の半導体装置１０は、図１に示すよ
うに、内部表面領域に複数の信号用、電源用及び接地用
の電極端子（パット）を所定位置に配置した半導体チッ
プ１１と、多数本のリード１２及び電源用及び接地用の
共用リード１２ａ、１２ｂと該リード１２の先端部付近
及び共用リード１２ａ、１２ｂを一括連結する絶縁性テ
ープ１３と前記半導体チップ１１を搭載した導電体ケー
ジ１４を接合する接合リード部１５とを一体に形成した
リードフレーム本体１６と、該リードフレーム本体１６
のリードの一部が前記半導体チップ１１の内部表面領域
の上方部に離間した状態で配設されるように、半導体チ
ップ搭載部１８を備えた導電体ケージ１４とを構成部材
として使用されている。
うに、内部表面領域に複数の信号用、電源用及び接地用
の電極端子（パット）を所定位置に配置した半導体チッ
プ１１と、多数本のリード１２及び電源用及び接地用の
共用リード１２ａ、１２ｂと該リード１２の先端部付近
及び共用リード１２ａ、１２ｂを一括連結する絶縁性テ
ープ１３と前記半導体チップ１１を搭載した導電体ケー
ジ１４を接合する接合リード部１５とを一体に形成した
リードフレーム本体１６と、該リードフレーム本体１６
のリードの一部が前記半導体チップ１１の内部表面領域
の上方部に離間した状態で配設されるように、半導体チ
ップ搭載部１８を備えた導電体ケージ１４とを構成部材
として使用されている。
【００１１】前記導電体ケージ１４に半導体チップ１１
を搭載し、この導電体ケージを両面に接着材を備えた絶
縁性の両面接着テープ１７を介在させて前記リードフレ
ーム本体１６に一体に形成した接合リード部１５及びリ
ード１２に、これらを一括連結して熱圧着されている。
を搭載し、この導電体ケージを両面に接着材を備えた絶
縁性の両面接着テープ１７を介在させて前記リードフレ
ーム本体１６に一体に形成した接合リード部１５及びリ
ード１２に、これらを一括連結して熱圧着されている。
【００１２】そして、ボンディングワイヤ１９の一端部
が前記半導体チップ１１の電極端子に連結され、その他
端が多数本のリード１２または共用リード１２ａ、１２
ｂのワイヤボンディング領域２０に接続されて電気的導
通回路が構成されている。
が前記半導体チップ１１の電極端子に連結され、その他
端が多数本のリード１２または共用リード１２ａ、１２
ｂのワイヤボンディング領域２０に接続されて電気的導
通回路が構成されている。
【００１３】これらの前記半導体チップ１１、導電性ケ
ージ１４及び前記リード１２のワイヤボンディング領域
２０側の一端部を樹脂封止し、この樹脂封止部２１から
露出したリードの不要部分の除去を行い、該リードを所
定の形状にフォミングして半導体装置１０が構成されて
いる。つぎに、上記半導体装置の構成部材について図
２、図３に基づき説明する。
ージ１４及び前記リード１２のワイヤボンディング領域
２０側の一端部を樹脂封止し、この樹脂封止部２１から
露出したリードの不要部分の除去を行い、該リードを所
定の形状にフォミングして半導体装置１０が構成されて
いる。つぎに、上記半導体装置の構成部材について図
２、図３に基づき説明する。
【００１４】前記リードフレーム本体１６は、図２によ
れば、金属条材をプレス加工又は／及びエッチング加工
など一般的に知られた形状加工方法によって、半導体チ
ップ１１の内部表面領域に配列した電極端子に隣接する
ような位置に離間対応して配置した第１のリード群Ａ、
第２のリード群Ｂと該リード群のそれぞれの両端リード
に接続すると共にリードの先端面に平行し、且つ、離間
して配設した共用リード１２ａ、１２ｂを有する多数本
のリード１２と、該リード１２を保持する位置決め孔２
２を適切な位置に配列した外枠２３と、該外枠２３に導
電体ケージ１４が接合する所要数のアンカーホール２４
を設けた接合リード部１５とで構成された所定形状のリ
ードフレーム連続条材を形成する。
れば、金属条材をプレス加工又は／及びエッチング加工
など一般的に知られた形状加工方法によって、半導体チ
ップ１１の内部表面領域に配列した電極端子に隣接する
ような位置に離間対応して配置した第１のリード群Ａ、
第２のリード群Ｂと該リード群のそれぞれの両端リード
に接続すると共にリードの先端面に平行し、且つ、離間
して配設した共用リード１２ａ、１２ｂを有する多数本
のリード１２と、該リード１２を保持する位置決め孔２
２を適切な位置に配列した外枠２３と、該外枠２３に導
電体ケージ１４が接合する所要数のアンカーホール２４
を設けた接合リード部１５とで構成された所定形状のリ
ードフレーム連続条材を形成する。
【００１５】次いで、前記リードフレームの連続条材の
所要部分に、Ｐｄ、Ａｇなどのめっき被覆を行い、前記
各リード先端部と前記接合リード部１５とを一括して連
結する片面接着材付き絶縁性テープ１３を圧着した所要
の形状を具備して形成されている。したがって、これに
より前記各リード１２の先端部と前記接合リード部１５
とが一括して連接され、前記各リード１２の位置のバラ
ツキや各リードの浮き沈みがなくなり、ボンダビリティ
を向上させることができると共に、接合リード部１５に
アンカーホール２４を所要数設けているから、該アンカ
ーホール２４に接着材が充填され導電体ケージ１４の接
合がより強固となり接合が安定する。
所要部分に、Ｐｄ、Ａｇなどのめっき被覆を行い、前記
各リード先端部と前記接合リード部１５とを一括して連
結する片面接着材付き絶縁性テープ１３を圧着した所要
の形状を具備して形成されている。したがって、これに
より前記各リード１２の先端部と前記接合リード部１５
とが一括して連接され、前記各リード１２の位置のバラ
ツキや各リードの浮き沈みがなくなり、ボンダビリティ
を向上させることができると共に、接合リード部１５に
アンカーホール２４を所要数設けているから、該アンカ
ーホール２４に接着材が充填され導電体ケージ１４の接
合がより強固となり接合が安定する。
【００１６】次に、前記リードフレーム本体１６に接合
する導電体ケージ１４は、図３によれば、所定の金属条
材をプレス加工又は／及びエッチング加工など一般的に
知られた加工方法によって、中央部に半導体チップ搭載
部１８と、該搭載部１８を支持する複数の吊りリード２
５を形成する貫通孔２６を備えた外縁部２７と、該外縁
部２７の外側に前記リードフレーム本体１６の接合リー
ド部１５及び各リード群Ａ、Ｂのリードに接合する両面
に接着材を備えた絶縁性テープ１８を粘着した接合平坦
部２８とを設けて、これらを保持するタブ２９と位置決
め孔３０を設けたサイドレールの外枠３１の形状を形成
し、前記接合平坦部２８を残して前記搭載部１８を前記
外縁部２７でダウンセットし、前記タブ２９を介してサ
イドレールの外枠３１に導電体ケージ１４が連接して構
成された条材が形成される。
する導電体ケージ１４は、図３によれば、所定の金属条
材をプレス加工又は／及びエッチング加工など一般的に
知られた加工方法によって、中央部に半導体チップ搭載
部１８と、該搭載部１８を支持する複数の吊りリード２
５を形成する貫通孔２６を備えた外縁部２７と、該外縁
部２７の外側に前記リードフレーム本体１６の接合リー
ド部１５及び各リード群Ａ、Ｂのリードに接合する両面
に接着材を備えた絶縁性テープ１８を粘着した接合平坦
部２８とを設けて、これらを保持するタブ２９と位置決
め孔３０を設けたサイドレールの外枠３１の形状を形成
し、前記接合平坦部２８を残して前記搭載部１８を前記
外縁部２７でダウンセットし、前記タブ２９を介してサ
イドレールの外枠３１に導電体ケージ１４が連接して構
成された条材が形成される。
【００１７】前記連接して構成された導電体ケージ１４
の条材の半導体チップ搭載部１８に半導体チップ１１を
搭載し、前記条材の不要部分を除去して前記リードフレ
ーム本体１６の接合リード部１５に両面に接着材を塗布
した絶縁性テープ１７を介在させて接合している。した
がって、導電体ケージ１４のダウンセットされた半導体
チップ搭載部１８に半導体チップ１１を載置しているか
ら、半導体チップ１１の回路表面とリードフレーム本体
１６との間隙が容易に形成できると共に搭載作業が容易
になる。導電体ケージ１４が別体に形成されているか
ら、導電体ケージ１４の材質、表面処理の選択巾が広が
ると共に半導体チップ１１の裏面全領域を支持している
ので熱の拡散効率が従来技術に比べ著しく向上すると共
に安定する。前記リードと前記接合リード部とを前記導
電体ケージの接合部で一括連結しているのでリード間の
接続が従来技術に比較して強固になり樹脂封止部から露
出したリードを所定の形状にフォミングする際のリード
の移動がなくなり外部からリードに沿って環境中の汚染
源の侵入がなくなる。
の条材の半導体チップ搭載部１８に半導体チップ１１を
搭載し、前記条材の不要部分を除去して前記リードフレ
ーム本体１６の接合リード部１５に両面に接着材を塗布
した絶縁性テープ１７を介在させて接合している。した
がって、導電体ケージ１４のダウンセットされた半導体
チップ搭載部１８に半導体チップ１１を載置しているか
ら、半導体チップ１１の回路表面とリードフレーム本体
１６との間隙が容易に形成できると共に搭載作業が容易
になる。導電体ケージ１４が別体に形成されているか
ら、導電体ケージ１４の材質、表面処理の選択巾が広が
ると共に半導体チップ１１の裏面全領域を支持している
ので熱の拡散効率が従来技術に比べ著しく向上すると共
に安定する。前記リードと前記接合リード部とを前記導
電体ケージの接合部で一括連結しているのでリード間の
接続が従来技術に比較して強固になり樹脂封止部から露
出したリードを所定の形状にフォミングする際のリード
の移動がなくなり外部からリードに沿って環境中の汚染
源の侵入がなくなる。
【００１８】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明の特徴とするところは、半導体チップの回路
表面領域の上方部に多数本のリードが離間した状態で配
設するために、半導体チップを搭載する半導体チップ搭
載部を別体に形成した導電体ケージを接合して構成した
ことにある。したがって、本発明はこの実施例に限定さ
れるものでなく、要旨を逸脱しない範囲において種々の
変更可能であることは勿論である。
が、本発明の特徴とするところは、半導体チップの回路
表面領域の上方部に多数本のリードが離間した状態で配
設するために、半導体チップを搭載する半導体チップ搭
載部を別体に形成した導電体ケージを接合して構成した
ことにある。したがって、本発明はこの実施例に限定さ
れるものでなく、要旨を逸脱しない範囲において種々の
変更可能であることは勿論である。
【００１９】
【発明の効果】半導体チップの回路表面領域の上方部に
多数本のリードが離間した状態で配設された半導体装置
において、前記半導体チップを搭載する半導体チップ搭
載部を有する導電体ケージを別体に形成しているので、
半導体チップを搭載する際に生じる位置ずれや半導体チ
ップに滞有する残留応力がなくなると共に半導体チップ
の発する熱の拡散効率が向上し、半導体装置の長期信頼
性が向上する。さらに、従来技術において用いた半導体
チップを搭載する際に、従来技術において用いた半導体
チップの搭載用治具を必要としなくなるので作業性が向
上する。
多数本のリードが離間した状態で配設された半導体装置
において、前記半導体チップを搭載する半導体チップ搭
載部を有する導電体ケージを別体に形成しているので、
半導体チップを搭載する際に生じる位置ずれや半導体チ
ップに滞有する残留応力がなくなると共に半導体チップ
の発する熱の拡散効率が向上し、半導体装置の長期信頼
性が向上する。さらに、従来技術において用いた半導体
チップを搭載する際に、従来技術において用いた半導体
チップの搭載用治具を必要としなくなるので作業性が向
上する。
【図１】本発明の一実施例に係る半導体装置の構成の概
要を示す断面図である。
要を示す断面図である。
【図２】本発明の実施に用いたリードフレーム本体の概
要を示す平面図である。
要を示す平面図である。
【図３】本発明の実施に用いた導電体ケージの概要を示
す斜視図である。
す斜視図である。
１０ 半導体装置 １１ 半導体チップ １２ リード １２ａ 電源用共用リード １２ｂ 接地用共用リード １３ 絶縁性テープ １４ 導電体ケージ １５ 接合リード部 １６ リードフレーム本体 １７ 両面接着テープ １８ 半導体チップ搭載部 １９ ボンディングワイヤ ２０ ワイヤボンディング領域 ２１ 樹脂封止部 ２２ 位置決め孔 ２３ 外枠 ２４ アンカーホール ２５ 吊りリード ２６ 貫通孔 ２７ 外縁部 ２８ 接合平坦部 ２９ タブ ３０ 位置決め孔 ３１ 外枠
Claims (2)
- 【請求項１】 回路内部表面領域に複数の電極端子を有
する半導体チップと、一端部が前記半導体チップの電極
端子に連結された多数本のリードを前記電極端子の周辺
に隣接配置した所定のリードフレーム本体と、前記多数
本のリードが前記半導体チップの上部に離間した状態で
配設されるようにリードフレーム本体の裏面に接合支持
された半導体チップ支持部と、前記半導体チップ、前記
半導体チップ支持部、及び前記多数本のリードの一端部
側を封止する樹脂封止部材とから成る半導体装置であっ
て、 前記半導体チップ支持部は、 前記半導体チップを搭載す
る搭載部を中央に備え、該搭載部を囲む枠形の接合平坦
部を、複数の吊りリードを形成する貫通孔を有する外縁
部の外側に設けて、該接合平坦部を残し、前記外縁部の
吊りリードを折り曲げて半導体チップ搭載面をダウンセ
ットして形成された別体の導電体ケージであり、そして
前記導電体ケージは、半導体チップを搭載した状態で、
その接合平坦部で接合リード及び多数本のリードとを一
括連結するように、両面に接着材層を設けた絶縁性テー
プを介して前記リードフレームの裏面側に接合支持され
た構成としたことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項２】 前記リードフレーム本体は、外枠の内側
に形成された第１、第２のリード群から成る多数本のリ
ードと外枠からこれと同一平面内に突出した一対の接合
リードとで構成されており、該各リード群の先端部のワ
イヤボンディング領域及び接合リード部の先端部領域を
含む裏面側にのみ、片面に接着材を有し、半導体チップ
の電極バッドが露出する貫通孔を設けた絶縁性テープを
貼着し、これらを一体的に連結した構成としたことを特
徴とする請求項１記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4357133A JP2799808B2 (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4357133A JP2799808B2 (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06188353A JPH06188353A (ja) | 1994-07-08 |
| JP2799808B2 true JP2799808B2 (ja) | 1998-09-21 |
Family
ID=18452553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4357133A Expired - Fee Related JP2799808B2 (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2799808B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002176130A (ja) | 2000-12-08 | 2002-06-21 | Mitsubishi Electric Corp | 封止型半導体装置およびそれに用いられるリードフレーム |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52127756A (en) * | 1976-04-19 | 1977-10-26 | Nec Corp | Semiconductor unit |
-
1992
- 1992-12-21 JP JP4357133A patent/JP2799808B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06188353A (ja) | 1994-07-08 |
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| JPH0451056B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |