JP2781320B2 - 電子顕微鏡等の試料ホルダ - Google Patents
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Description
状態で観察できるようにした電子顕微鏡等の試料ホルダ
に関する。
空中で行われるため、生物試料等では乾燥してしまい、
生のままの状態の観察はできない。これに対処するた
め、従来、図5に示すようなエンバイロメンタル・セル
を用いた大気圧試料ホルダが開発されている。図5にお
いて、鏡筒1内に配置されたエンバイロメンタル・セル
2には生の状態の試料8が収納され、吸気口3から湿り
ガス、導水口4から水がそれぞれ導入されるとともに、
排気口5を通して真空ポンプ(図示せず)により排気さ
れている。試料の上下に配置された対物レンズ(OL)
9により集束された電子ビームはシーリングフィルム
6、7を通して試料8に照射されて透過する。
で吸引しているものの、ガス及び水分が補給されている
ため空気雰囲気、水雰囲気が維持され、試料は乾燥せ
ず、生に近い状態のまま観察が可能である。
試料ホルダにおいては、試料セルが厚いためガス状の水
分子に電子線が照射されてイオン化された分子やイオン
が試料を攻撃するため、電子線による試料損傷とは桁違
いの試料損傷が生じ、またガス、水の供給、真空引き等
のための器具と、それらの制御系が必要になるため装置
全体の構成が大掛かりになってしまうという問題があっ
た。
で、極めて簡単な構成で、かつ試料ダメージを少なくし
て生に近い状態で試料観察することが可能な電子顕微鏡
等の試料ホルダを提供することを目的とする。
試料ホルダは、薄膜のシール材が貼られた一対のシート
メッシュ間に試料を挟み込んで作成した試料メッシュを
試料台に載置して上からメッシュ保持具で押さえ、シー
トメッシュの縁と試料台、シートメッシュとメッシュ保
持具、及び試料台とメッシュ保持具間をそれぞれシール
部材によりシールしたことを特徴とする。
ートメッシュで試料を挟み込み、縁をOリング等で封じ
込める簡単な構成により、水雰囲気、大気雰囲気の状態
のまま、生に近い状態の試料観察をすることが可能とな
り、また試料ホルダは極めて薄くすることができるので
電子線を直接試料に照射することができ、イオンダメー
ジを防止することが可能となる。
示す図、図2は試料メッシュのシールを説明する図、図
3は試料ホルダの全体構成を示す図である。図中、10
は試料メッシュ、11は試料、12はシートメッシュ、
13はマイクログリッド、14はポリビニル薄膜、15
はカーボン蒸着膜、16は水、20は試料ホルダ、21
は試料台、22はメッシュ保持具、23、24、25は
Oリング、26はスプリングである。
0μm程の金属性のシートメッシュ12に孔径が数μm
程のマイクログリッド13を貼り、その上にポリビニル
薄膜14を乗せてカーボン15を蒸着し、試料保持膜と
する。カーボンの蒸着はチャージアップによる像乱れを
防止するためである。こうして作成した試料保持膜上に
試料11を載せ、上から他の試料保持膜を重ねて挟み込
み、内部は水雰囲気、空気雰囲気とする。水雰囲気、空
気雰囲気は、試料保持膜上の試料にスポイトで水を垂ら
した後、他の試料保持膜を重ねることにより得られる。
このようにして作成した試料メッシュ10は、図2に示
すように試料台21に載せ、上側からメッシュ保持具2
2で押さえて試料メッシュの縁をOリング23、24で
シールするとともに、試料台とメッシュ保持具との間も
Oリング25でシールする。
(a)、(b)に示すようなものである。すなわち、試
料台21に前述した試料保持膜を載せてその上に試料を
載せ、水を含ませて試料保持膜を重ねて作成した試料メ
ッシュ10に対して、軸22aを中心に回動可能なメッ
シュ保持具22で上側から挟み込み、メッシュ保持具2
2の先端部を軸26aを中心にクリックモーションする
スプリング26で押さえるようになっている。なお、試
料台21は、単にシートメッシュを載せるだけで上下の
一対のシートメッシュの孔が一致するものであることが
望ましい。こうして、単にメッシュ保持具で試料メッシ
ュを挟み込むだけで試料と電子顕微鏡の真空とを隔離
し、試料を水雰囲気、空気雰囲気の状態で観察すること
ができる。
イクログリッドを貼り、その上にポリピニル薄膜をシー
ル材として貼るようにしたが、シートメッシュに直接ポ
リピニル薄膜を貼って真空シールするようにしてもよ
く、またシール材としてはポリピニル薄膜に限らず、他
の薄膜を使用するようにしてもよい。
等のシール材とで電子顕微鏡の真空と試料とを隔離して
おり、シール薄膜、カーボン蒸着膜は非常に薄いため電
子線は十分透過でき、像観察に支障をきたすことはな
い。図4は本発明の試料ホルダにより観察した結果を示
したものであり、生に近い状態での試料観察を行うこと
かできる。
ートメッシュに薄膜を貼り、その間に試料を置いて縁を
シールすることにより、水雰囲気、空気雰囲気で試料を
観察することができるので、生に近い状態で試料観察す
ることが可能となり、またセルを極めて薄くすることが
できるので電子線を直接試料に照射することができ、イ
オンダメージを防止することが可能となる。
である。
図である。
ュ、13…マイクログリッド、14…ポリビニル薄膜、
15…カーボン蒸着膜、16…水、20…試料ホルダ、
21…試料台、22…メッシュ保持具、23、24、2
5…Oリング、26…スプリング。
Claims (1)
- 【請求項1】 薄膜のシール材が貼られた一対のシート
メッシュ間に試料を挟み込んで作成した試料メッシュを
試料台に載置して上からメッシュ保持具で押さえ、シー
トメッシュの縁と試料台、シートメッシュとメッシュ保
持具、及び試料台とメッシュ保持具間をそれぞれシール
部材によりシールした電子顕微鏡等の試料ホルダ。
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