JP2700786B2 - 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法 - Google Patents
高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法Info
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- JP2700786B2 JP2700786B2 JP8177448A JP17744896A JP2700786B2 JP 2700786 B2 JP2700786 B2 JP 2700786B2 JP 8177448 A JP8177448 A JP 8177448A JP 17744896 A JP17744896 A JP 17744896A JP 2700786 B2 JP2700786 B2 JP 2700786B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高温で耐酸化性及
び高強度を有する窒化珪素質焼結体及びその製造方法に
関する。
び高強度を有する窒化珪素質焼結体及びその製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】窒化珪素質焼結体は、高強度、高耐熱
性、高耐熱衝撃性、高耐摩耗性、耐酸化性などの点か
ら、ガスタービン部材等高温での使用条件が苛酷な構造
用セラミックスとしての利用が期待されている。しかし
ながら窒化珪素自身は単味では焼結しにくい材料である
ことから、各種の焼結助剤を添加することにより緻密化
されている。しかし焼結助剤が窒化珪素の粒界に低融点
のガラス相を生成し、高温強度が損なわれることが多
い。そのため以下のような方法が提案された。 (1) 酸化イットリウム等の希土類元素の酸化物を添加す
る。 (2) 酸化イットリウム等の希土類元素の酸化物と酸化ア
ルミニウム等の酸化物を複合添加する（例えば、特公昭
49−21091 号公報）。 (3) 酸化イットリウムと酸化アルミニウムおよび窒化珪
素からなる系の配合割合を制御することにより1400℃で
の耐酸化性を向上させる（特願昭62−16283 号）。
性、高耐熱衝撃性、高耐摩耗性、耐酸化性などの点か
ら、ガスタービン部材等高温での使用条件が苛酷な構造
用セラミックスとしての利用が期待されている。しかし
ながら窒化珪素自身は単味では焼結しにくい材料である
ことから、各種の焼結助剤を添加することにより緻密化
されている。しかし焼結助剤が窒化珪素の粒界に低融点
のガラス相を生成し、高温強度が損なわれることが多
い。そのため以下のような方法が提案された。 (1) 酸化イットリウム等の希土類元素の酸化物を添加す
る。 (2) 酸化イットリウム等の希土類元素の酸化物と酸化ア
ルミニウム等の酸化物を複合添加する（例えば、特公昭
49−21091 号公報）。 (3) 酸化イットリウムと酸化アルミニウムおよび窒化珪
素からなる系の配合割合を制御することにより1400℃で
の耐酸化性を向上させる（特願昭62−16283 号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの方法
には、以下に記すような種々の欠点があり、実用上から
みた場合まだ問題がある。
には、以下に記すような種々の欠点があり、実用上から
みた場合まだ問題がある。
【０００４】酸化イットリウムを添加する方法(1) は上
記の欠点（低融点ガラス相の生成）を改善するものであ
って、確かに窒化珪素の粒界が例えば高粘性のガラスあ
るいはSi3 N 4 ・Y 2 O 3 のような結晶質組成物で結合
されるため、高温強度、高温耐クリープ性が損なわれる
ことは少なく、この点では効果のあるものである。しか
しながら、高温強度等が不十分であり、また焼結が困難
であり、常圧焼結が適用できない。
記の欠点（低融点ガラス相の生成）を改善するものであ
って、確かに窒化珪素の粒界が例えば高粘性のガラスあ
るいはSi3 N 4 ・Y 2 O 3 のような結晶質組成物で結合
されるため、高温強度、高温耐クリープ性が損なわれる
ことは少なく、この点では効果のあるものである。しか
しながら、高温強度等が不十分であり、また焼結が困難
であり、常圧焼結が適用できない。
【０００５】酸化イットリウムと酸化アルミニウムを添
加する方法(2) では、焼結が促進され、常温焼結におい
ても高密度、高強度の焼結体が得られるが、高温強度の
低下が著しく、結晶化処理等の操作後ホットプレス法等
の特殊な焼結方法を採用しないと、緻密で高温強度の優
れた焼結体は得られない。
加する方法(2) では、焼結が促進され、常温焼結におい
ても高密度、高強度の焼結体が得られるが、高温強度の
低下が著しく、結晶化処理等の操作後ホットプレス法等
の特殊な焼結方法を採用しないと、緻密で高温強度の優
れた焼結体は得られない。
【０００６】1400℃での耐酸化性を向上するために酸化
イットリウムと酸化アルミニウムおよび窒化珪素からな
る系の配合割合を制御する方法(3) により得られた焼結
体においては、添加剤の配合量が非常に少ないため緻密
化するのに1850℃以上の焼結温度を必要とし、その結果
焼結体組織中に異常に成長した結晶粒が現われる。その
ため、1400℃における耐酸化性及び強度の低下がないも
のの、室温における強度が十分に向上しないという問題
点がある。
イットリウムと酸化アルミニウムおよび窒化珪素からな
る系の配合割合を制御する方法(3) により得られた焼結
体においては、添加剤の配合量が非常に少ないため緻密
化するのに1850℃以上の焼結温度を必要とし、その結果
焼結体組織中に異常に成長した結晶粒が現われる。その
ため、1400℃における耐酸化性及び強度の低下がないも
のの、室温における強度が十分に向上しないという問題
点がある。
【０００７】従って本発明の目的は、上記問題点を解消
し、高温で優れた耐酸化性及び高強度を有する窒化珪素
質焼結体及びその製造方法を提供することである。
し、高温で優れた耐酸化性及び高強度を有する窒化珪素
質焼結体及びその製造方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】以上の目的に鑑み鋭意研
究の結果、本発明者等は上記方法(3) に注目し、焼結体
組織内の結晶粒の異常成長を防止して組織中の粒子の短
軸径が最大でも６μｍ以下となるように制御することに
より、室温及び1400℃での強度が向上した窒化珪素質セ
ラミックが得られることを発見し、本発明を完成した。
究の結果、本発明者等は上記方法(3) に注目し、焼結体
組織内の結晶粒の異常成長を防止して組織中の粒子の短
軸径が最大でも６μｍ以下となるように制御することに
より、室温及び1400℃での強度が向上した窒化珪素質セ
ラミックが得られることを発見し、本発明を完成した。
【０００９】すなわち、本発明の窒化珪素質焼結体は、
1.5 〜2.8 重量％のY 2 O 3 と、0.4 〜1.0 重量％のAl
2 O 3 と残部窒化珪素粉末とを焼結してなるもので、Y
2 O3 ／Al2 O 3 の重量比が 2.5以上の組成を有し、か
つ前記窒化珪素粉末が1.1 重量％以下の酸素含有量と、
９〜11 m2 /gの比表面積と、 200ppm 以下の金属不純物
量とを有し、もって 3.0ｇ／cm3 以上の焼結密度及び45
MPa 以下の残留応力を有し、かつ組織中の粒子の短軸径
が６μｍ以下であることを特徴とする。
1.5 〜2.8 重量％のY 2 O 3 と、0.4 〜1.0 重量％のAl
2 O 3 と残部窒化珪素粉末とを焼結してなるもので、Y
2 O3 ／Al2 O 3 の重量比が 2.5以上の組成を有し、か
つ前記窒化珪素粉末が1.1 重量％以下の酸素含有量と、
９〜11 m2 /gの比表面積と、 200ppm 以下の金属不純物
量とを有し、もって 3.0ｇ／cm3 以上の焼結密度及び45
MPa 以下の残留応力を有し、かつ組織中の粒子の短軸径
が６μｍ以下であることを特徴とする。
【００１０】また本発明の方法は、組織中の粒子の短軸
径が６μｍ以下であり、かつ 3.0ｇ／cm3 以上の焼結密
度及び45MPa 以下の残留応力を有する窒化珪素質焼結体
を製造するもので、 1.5〜2.8 重量％のY 2 O 3 粉末
と、0.4 〜1.0 重量％のAl2 O3 粉末と、残部窒化珪素
粉末とからなり、Y 2 O 3 / Al2 O 3 の重量比が2.5 以
上の組成を有し、かつ前記窒化珪素粉末が1.1 重量％以
下の酸素含有量と、９〜11 m2 /gの比表面積と、 200pp
m 以下の金属不純物量とを有する混合粉末を作製し、前
記混合粉末を窒素雰囲気中で1900〜2100℃の温度及び５
kg／cm2 Ｇ以上の圧力で焼結することを特徴とする。
径が６μｍ以下であり、かつ 3.0ｇ／cm3 以上の焼結密
度及び45MPa 以下の残留応力を有する窒化珪素質焼結体
を製造するもので、 1.5〜2.8 重量％のY 2 O 3 粉末
と、0.4 〜1.0 重量％のAl2 O3 粉末と、残部窒化珪素
粉末とからなり、Y 2 O 3 / Al2 O 3 の重量比が2.5 以
上の組成を有し、かつ前記窒化珪素粉末が1.1 重量％以
下の酸素含有量と、９〜11 m2 /gの比表面積と、 200pp
m 以下の金属不純物量とを有する混合粉末を作製し、前
記混合粉末を窒素雰囲気中で1900〜2100℃の温度及び５
kg／cm2 Ｇ以上の圧力で焼結することを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明を以下詳細に説明する。本
発明において、Y 2 O 3 の含有量が2.8 重量％を上回る
と高温での耐酸化性が低下し、一方1.5 重量％を下回る
と焼結体の緻密化が進行せず、耐酸化性、高強度化の本
来の要求が満たされない。また、Al2 O 3 の含有量が1.
0 重量％を上回ると耐酸化性および高温強度が低下し、
また0.4 重量％を下回ると、同様に高温強度を十分高い
ものとすることができず、過度に下回ると緻密化に対し
ても悪影響を及ぼす。
発明において、Y 2 O 3 の含有量が2.8 重量％を上回る
と高温での耐酸化性が低下し、一方1.5 重量％を下回る
と焼結体の緻密化が進行せず、耐酸化性、高強度化の本
来の要求が満たされない。また、Al2 O 3 の含有量が1.
0 重量％を上回ると耐酸化性および高温強度が低下し、
また0.4 重量％を下回ると、同様に高温強度を十分高い
ものとすることができず、過度に下回ると緻密化に対し
ても悪影響を及ぼす。
【００１２】さらにY 2 O 3 ／Al2 O 3 の重量比は 2.5
以上という要件を満たす必要がある。この重量比が 2.5
未満であると1400℃において十分な耐酸化性が得られな
い。
以上という要件を満たす必要がある。この重量比が 2.5
未満であると1400℃において十分な耐酸化性が得られな
い。
【００１３】本発明の窒化珪素質焼結体の密度は3.0g／
cm3 以上である必要があり、これは理論密度のおよそ93
％以上に相当する。密度がこれより低いと十分な強度が
得られない。
cm3 以上である必要があり、これは理論密度のおよそ93
％以上に相当する。密度がこれより低いと十分な強度が
得られない。
【００１４】焼結体組織中の粒子の短軸径が６μｍ以上
となるような異常粒成長があると、組織の不均一性が増
大し、焼結体中の歪み量が増大し、その結果マトリック
ス中の残留応力が増大する。残留応力の絶対値は45MPa
以下であることが必要である。マトリックス中に発生し
た残留応力は焼結体中の亀裂の進展を促進し、焼結体の
機械的強度を低下させるという問題点を生じさせる。そ
こで組織中の異常粒成長を抑制し、微細な組織とするこ
とにより、室温および高温での高強度化を達成すること
ができる。
となるような異常粒成長があると、組織の不均一性が増
大し、焼結体中の歪み量が増大し、その結果マトリック
ス中の残留応力が増大する。残留応力の絶対値は45MPa
以下であることが必要である。マトリックス中に発生し
た残留応力は焼結体中の亀裂の進展を促進し、焼結体の
機械的強度を低下させるという問題点を生じさせる。そ
こで組織中の異常粒成長を抑制し、微細な組織とするこ
とにより、室温および高温での高強度化を達成すること
ができる。
【００１５】異常粒成長を防止するには、Y 2 O 3 及び
Al2 O 3 を上記条件を満たすように添加するとともに、
出発原料として使用する窒化珪素粉末が、(a) 1.1 重量
％以下の酸素含有量、(b) ９〜11ｍ2 /gの比表面積、及
び(c) 200ppm以下の金属不純物量の条件を満たす必要が
あり、さらに出発原料の混合粉末を、(d) 1900〜2100℃
の温度、(e) ５kg／cm2 Ｇ以上の圧力の条件で、窒素雰
囲気中で焼結することが必要である。
Al2 O 3 を上記条件を満たすように添加するとともに、
出発原料として使用する窒化珪素粉末が、(a) 1.1 重量
％以下の酸素含有量、(b) ９〜11ｍ2 /gの比表面積、及
び(c) 200ppm以下の金属不純物量の条件を満たす必要が
あり、さらに出発原料の混合粉末を、(d) 1900〜2100℃
の温度、(e) ５kg／cm2 Ｇ以上の圧力の条件で、窒素雰
囲気中で焼結することが必要である。
【００１６】窒化珪素粉末の酸素含有量が1.1 重量％を
超えると、粒界に高酸素含有相が生成し、また金属不純
物総量が200 ppm を超えると粒界における不純物相が生
成して高温において軟化しやすくなる。したがって焼結
体の耐酸化性が低下する。
超えると、粒界に高酸素含有相が生成し、また金属不純
物総量が200 ppm を超えると粒界における不純物相が生
成して高温において軟化しやすくなる。したがって焼結
体の耐酸化性が低下する。
【００１７】さらに、本発明の組成範囲内においても、
窒化珪素粉末の比表面積が上記範囲を上回ると、焼結体
組織中の粒子の短軸径が６μｍを超えるような異常粒成
長が認められ、上記範囲を下回ると緻密化しない。
窒化珪素粉末の比表面積が上記範囲を上回ると、焼結体
組織中の粒子の短軸径が６μｍを超えるような異常粒成
長が認められ、上記範囲を下回ると緻密化しない。
【００１８】本発明の製造方法における焼結温度は、19
00〜2100℃でなければならず、温度が低すぎると、焼結
体の緻密化は十分に進行せず、焼結体の密度は上がらな
い。また、逆に高すぎると窒化珪素の分解が進み好まし
くない。
00〜2100℃でなければならず、温度が低すぎると、焼結
体の緻密化は十分に進行せず、焼結体の密度は上がらな
い。また、逆に高すぎると窒化珪素の分解が進み好まし
くない。
【００１９】本発明の焼結体は一般的に以下の方法によ
り製造することができる。まず上記条件を満たすSi3 N
4 粉末とY 2 O 3 粉末及びAl2 O 3 粉末を所定量混合す
る。Si3 N 4 粉末の平均粒径は0.3 〜0.4 μｍ程度であ
り、Y 2 O 3 粉末の平均粒径は0.5 〜２μｍ程度であ
り、Al2 O 3 粉末は0.4 〜0.5 μｍ程度であるのが好ま
しい。これらの粉末の混合はボールミル、分散機等によ
り行うことができる。
り製造することができる。まず上記条件を満たすSi3 N
4 粉末とY 2 O 3 粉末及びAl2 O 3 粉末を所定量混合す
る。Si3 N 4 粉末の平均粒径は0.3 〜0.4 μｍ程度であ
り、Y 2 O 3 粉末の平均粒径は0.5 〜２μｍ程度であ
り、Al2 O 3 粉末は0.4 〜0.5 μｍ程度であるのが好ま
しい。これらの粉末の混合はボールミル、分散機等によ
り行うことができる。
【００２０】得られた混合粉は金型プレス又は冷間静水
圧プレス（ＣＩＰ）等により成形体とする。成形に際
し、必要に応じてポリビニルアルコール溶液等の成形助
剤を添加する。
圧プレス（ＣＩＰ）等により成形体とする。成形に際
し、必要に応じてポリビニルアルコール溶液等の成形助
剤を添加する。
【００２１】成形体の焼結には公知の加圧による方法を
適宜用いることができ、例えば、ガス圧焼結法や熱間静
水圧プレス（ＨＩＰ）法等を用いることができる。
適宜用いることができ、例えば、ガス圧焼結法や熱間静
水圧プレス（ＨＩＰ）法等を用いることができる。
【００２２】このようにして得られる本発明の窒化珪素
質焼結体は 3.0ｇ／cm3 以上の密度を有し、かつ組織中
の粒子の短軸径は最大でも６μｍ以下である。
質焼結体は 3.0ｇ／cm3 以上の密度を有し、かつ組織中
の粒子の短軸径は最大でも６μｍ以下である。
【００２３】上記の条件を満たす窒化珪素質焼結体によ
り本発明の効果が得られる理由については、必ずしも明
らかではないが、以下のような理由によるものと思われ
る。
り本発明の効果が得られる理由については、必ずしも明
らかではないが、以下のような理由によるものと思われ
る。
【００２４】まず組成については、酸化アルミニウムの
含有量が 0.4〜1.0 重量％であっても、酸化イットリウ
ムの添加量が前述したように 2.8重量％を超えると高温
強度を損なうが、これは、これらの添加剤を含んだ粒界
が十分に結晶化せず、ガラス状の部分を含むために、粒
界を通して酸化が進み、高温での強度低下が起こるため
であると考えられる。
含有量が 0.4〜1.0 重量％であっても、酸化イットリウ
ムの添加量が前述したように 2.8重量％を超えると高温
強度を損なうが、これは、これらの添加剤を含んだ粒界
が十分に結晶化せず、ガラス状の部分を含むために、粒
界を通して酸化が進み、高温での強度低下が起こるため
であると考えられる。
【００２５】また、焼結体組織中の異常粒成長の存在と
焼結体の残留応力の絶対値は相関関係があり、焼結体組
織に異常粒成長が認められると、残留応力の絶対値が45
MPaを上回り、その結果焼結体中の亀裂の伝播が促進さ
れ、機械的強度が十分に向上しない。
焼結体の残留応力の絶対値は相関関係があり、焼結体組
織に異常粒成長が認められると、残留応力の絶対値が45
MPaを上回り、その結果焼結体中の亀裂の伝播が促進さ
れ、機械的強度が十分に向上しない。
【００２６】なお、焼結助剤の添加割合が前述の範囲で
あっても、窒化珪素粉末の比表面積が大きすぎると焼結
体の残留応力の絶対値が大きくなり、粒界に不均一な応
力場が発生し、焼結体組織の不均一を誘発するものと考
えられる。
あっても、窒化珪素粉末の比表面積が大きすぎると焼結
体の残留応力の絶対値が大きくなり、粒界に不均一な応
力場が発生し、焼結体組織の不均一を誘発するものと考
えられる。
【００２７】以上の理由から、本発明のように酸化イッ
トリウムと酸化アルミニウムの量を制限した領域で緻密
化した焼結体の粒界は結晶化しており、さらに焼結体組
織の微細化を達成し、1400℃という高温においても高強
度を有し、高温耐クリープ性を有することとなるものと
考えられる。
トリウムと酸化アルミニウムの量を制限した領域で緻密
化した焼結体の粒界は結晶化しており、さらに焼結体組
織の微細化を達成し、1400℃という高温においても高強
度を有し、高温耐クリープ性を有することとなるものと
考えられる。
【００２８】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明するが、本発明
はこれらに限定されるものではない。実施例１〜２、比較例１〜10 窒化珪素粉末として、シリコンイミドの熱分解法により
合成した窒化珪素粉末（東ソー（株）製、酸素含有量0.
9 〜1.3 重量％、金属不純物総量80ppm 、ＢＥＴ比表面
積８〜12 m2 /g）と、酸化イットリウム粉末（三菱化成
工業（株）製、微粒品）と、酸化アルミニウム粉末（住
友化学工業（株）製、 AKP30）とを用いて、表１に示す
配合比で窒化珪素製のポットミル中で24時間混合した。
このようにして得られた各混合物を1500kg／mm2 の圧力
で50mm×30mm×５mmの成形体に静水圧プレスし、窒化ホ
ウ素粉末中に収めて、実施例１〜２、比較例１〜６及び
８〜10では1950℃、比較例７は1850℃で、それぞれ窒素
雰囲気中で４時間焼成した。
はこれらに限定されるものではない。実施例１〜２、比較例１〜10 窒化珪素粉末として、シリコンイミドの熱分解法により
合成した窒化珪素粉末（東ソー（株）製、酸素含有量0.
9 〜1.3 重量％、金属不純物総量80ppm 、ＢＥＴ比表面
積８〜12 m2 /g）と、酸化イットリウム粉末（三菱化成
工業（株）製、微粒品）と、酸化アルミニウム粉末（住
友化学工業（株）製、 AKP30）とを用いて、表１に示す
配合比で窒化珪素製のポットミル中で24時間混合した。
このようにして得られた各混合物を1500kg／mm2 の圧力
で50mm×30mm×５mmの成形体に静水圧プレスし、窒化ホ
ウ素粉末中に収めて、実施例１〜２、比較例１〜６及び
８〜10では1950℃、比較例７は1850℃で、それぞれ窒素
雰囲気中で４時間焼成した。
【００２９】得られた各焼結体について、JIS R 1601-1
981 に従って室温および1400℃において３点曲げテスト
を行い、強度を測定した。さらに1400℃、 100hrでの酸
化増量を測定することにより耐酸化性を評価した。得ら
れた結果を表１に示す。
981 に従って室温および1400℃において３点曲げテスト
を行い、強度を測定した。さらに1400℃、 100hrでの酸
化増量を測定することにより耐酸化性を評価した。得ら
れた結果を表１に示す。
【００３０】また焼結体組織の例として、実施例１及び
比較例２の焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡写真を図
１及び図２に示す。図１から、本発明の窒化珪素質焼結
体は６μｍ以下の粒子短軸径を有することがわかる。
比較例２の焼結体の破断面の走査型電子顕微鏡写真を図
１及び図２に示す。図１から、本発明の窒化珪素質焼結
体は６μｍ以下の粒子短軸径を有することがわかる。
【００３１】
【表１】
【００３２】以上の通り、Y 2 O 3 量、Al2 O 3 量、Y
2 O 3 ／Al2 O 3 の重量比、窒化珪素粉末の酸素含有
量、比表面積及び金属不純物量、焼結密度、並びに粒子
の短軸径に関する本発明の要件を満たさないと、1400℃
での高い高温強度及び耐酸化性を達成できない。
2 O 3 ／Al2 O 3 の重量比、窒化珪素粉末の酸素含有
量、比表面積及び金属不純物量、焼結密度、並びに粒子
の短軸径に関する本発明の要件を満たさないと、1400℃
での高い高温強度及び耐酸化性を達成できない。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の窒化珪素
質焼結体は1400℃という高温で非常に高い耐酸化性及び
強度を有するセラミックスであって、従来の窒化珪素質
焼結体の使用範囲を拡張することが可能となり、高温高
強度用エンジニアリングセラミック部材として使用でき
る。
質焼結体は1400℃という高温で非常に高い耐酸化性及び
強度を有するセラミックスであって、従来の窒化珪素質
焼結体の使用範囲を拡張することが可能となり、高温高
強度用エンジニアリングセラミック部材として使用でき
る。
【図１】実施例１の窒化珪素質焼結体の破断面における
結晶構造を示す走査型電子顕微鏡写真である。
結晶構造を示す走査型電子顕微鏡写真である。
【図２】比較例２の窒化珪素焼結体の破断面における結
晶構造を示す走査型電子顕微鏡写真である。
晶構造を示す走査型電子顕微鏡写真である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−185863（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−59471（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 1.5 〜2.8 重量％のY 2 O 3 と、 0.4〜
1.0 重量％のAl2 O 3と残部窒化珪素粉末とを焼結して
なる窒化珪素質焼結体であって、Y 2 O 3 ／Al2 O 3 の
重量比が 2.5以上の組成を有し、かつ前記窒化珪素粉末
が1.1 重量％以下の酸素含有量と、９〜11 m2 /gの比表
面積と、 200ppm 以下の金属不純物量とを有し、もって
3.0ｇ／cm3 以上の焼結密度及び45MPa 以下の残留応力
を有し、かつ組織中の粒子の短軸径が６μｍ以下である
ことを特徴とする窒化珪素質焼結体。 - 【請求項２】 組織中の粒子の短軸径が６μｍ以下であ
り、かつ 3.0ｇ／cm3以上の焼結密度及び45MPa 以下の
残留応力を有する窒化珪素質焼結体の製造方法であっ
て、 1.5〜2.8 重量％のY 2 O 3 粉末と、0.4 〜1.0 重
量％のAl2 O 3 粉末と、残部窒化珪素粉末とからなり、
Y 2 O 3 / Al2 O 3 の重量比が2.5 以上の組成を有し、
かつ前記窒化珪素粉末が1.1 重量％以下の酸素含有量
と、９〜11 m2 /gの比表面積と、 200ppm 以下の金属不
純物量とを有する混合粉末を作製し、前記混合粉末を窒
素雰囲気中で1900〜2100℃の温度及び５kg／cm2 Ｇ以上
の圧力で焼結することを特徴とする方法。
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|---|---|---|---|
| JP8177448A JP2700786B2 (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
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| JP8177448A JP2700786B2 (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08319166A JPH08319166A (ja) | 1996-12-03 |
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| JP8177448A Expired - Fee Related JP2700786B2 (ja) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1996
- 1996-06-17 JP JP8177448A patent/JP2700786B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH08319166A (ja) | 1996-12-03 |
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