JP3271123B2 - 窒化珪素と窒化硼素との複合体の製造方法 - Google Patents
窒化珪素と窒化硼素との複合体の製造方法Info
- Publication number
- JP3271123B2 JP3271123B2 JP27494892A JP27494892A JP3271123B2 JP 3271123 B2 JP3271123 B2 JP 3271123B2 JP 27494892 A JP27494892 A JP 27494892A JP 27494892 A JP27494892 A JP 27494892A JP 3271123 B2 JP3271123 B2 JP 3271123B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- silicon nitride
- boron nitride
- nitride
- composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、窒化珪素と窒化硼素と
の複合体の製造方法に関し、特に、得られる複合体の耐
熱衝撃性を向上させた、窒化珪素と窒化硼素との複合体
の製造方法に関する。
の複合体の製造方法に関し、特に、得られる複合体の耐
熱衝撃性を向上させた、窒化珪素と窒化硼素との複合体
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、機械的強度が高く耐熱性に優
れた窒化珪素と、耐熱衝撃性に優れた窒化硼素とを複合
化した材料が存在し、該材料は、溶融金属耐蝕材料、或
いは連続鋳造用耐火物等として使用されている。
れた窒化珪素と、耐熱衝撃性に優れた窒化硼素とを複合
化した材料が存在し、該材料は、溶融金属耐蝕材料、或
いは連続鋳造用耐火物等として使用されている。
【０００３】ここで、従来の上記窒化珪素と窒化硼素と
の複合体の製造方法は、窒化珪素粉末と窒化硼素粉末と
の混合物に、希土類元素の酸化物、或いはＡｌ2 Ｏ3 等
の酸化物焼結助剤を添加混合し、該混合物を成形した
後、焼結する方法が採られている。
の複合体の製造方法は、窒化珪素粉末と窒化硼素粉末と
の混合物に、希土類元素の酸化物、或いはＡｌ2 Ｏ3 等
の酸化物焼結助剤を添加混合し、該混合物を成形した
後、焼結する方法が採られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の製造方法により得られた窒化珪素と窒化硼素と
の複合体にあっては、原料粉末である窒化珪素の難焼結
性を補うために添加混合した上記希土類元素の酸化物、
或いはＡｌ2 Ｏ3 等の酸化物焼結助剤が、焼結後、母材
である窒化珪素及び窒化硼素の焼結体の粒界相に、ガラ
ス質或いは結晶質の酸化物として残存し、これらの酸化
物が、窒化珪素或いは窒化硼素の焼結体に比し、その耐
熱衝撃性が格段に劣ることから、結果として得られた窒
化珪素と窒化硼素との複合体も、十分な耐熱衝撃性を示
さないという課題が存在した。
た従来の製造方法により得られた窒化珪素と窒化硼素と
の複合体にあっては、原料粉末である窒化珪素の難焼結
性を補うために添加混合した上記希土類元素の酸化物、
或いはＡｌ2 Ｏ3 等の酸化物焼結助剤が、焼結後、母材
である窒化珪素及び窒化硼素の焼結体の粒界相に、ガラ
ス質或いは結晶質の酸化物として残存し、これらの酸化
物が、窒化珪素或いは窒化硼素の焼結体に比し、その耐
熱衝撃性が格段に劣ることから、結果として得られた窒
化珪素と窒化硼素との複合体も、十分な耐熱衝撃性を示
さないという課題が存在した。
【０００５】本発明は、上述した従来の製造方法によっ
て得られた複合体が有する課題に鑑みなされたものであ
って、その目的は、得られる複合体が十分な耐熱衝撃性
を有するものとなる、窒化珪素と窒化硼素との複合体の
製造方法を提供することにある。
て得られた複合体が有する課題に鑑みなされたものであ
って、その目的は、得られる複合体が十分な耐熱衝撃性
を有するものとなる、窒化珪素と窒化硼素との複合体の
製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、種々の試
験・研究の結果、窒化珪素の難焼結性を補うために添加
混合する焼結助剤として、βサイアロン粉末、窒化アル
ミニウム粉末及び希土類元素の酸化物粉末を用いた場合
に、形成される窒化珪素と窒化硼素との複合体の耐熱衝
撃性が、大幅に向上することを見いだし本発明を完成さ
せた。
験・研究の結果、窒化珪素の難焼結性を補うために添加
混合する焼結助剤として、βサイアロン粉末、窒化アル
ミニウム粉末及び希土類元素の酸化物粉末を用いた場合
に、形成される窒化珪素と窒化硼素との複合体の耐熱衝
撃性が、大幅に向上することを見いだし本発明を完成さ
せた。
【０００７】即ち、本発明は、窒化珪素粉末と窒化硼素
粉末とを重量比で９０：１０〜７０：３０の割合で混合
した混合物に、該混合物との合計量に対する内比で、β
サイアロン粉末を１０〜３０重量％、窒化アルミニウム
粉末を１〜６重量％、そして希土類元素の酸化物粉末を
１〜８重量％の割合で各々焼結助剤として添加混合し、
該混合物を成形した後、焼結する窒化珪素と窒化硼素と
の複合体の製造方法にある。
粉末とを重量比で９０：１０〜７０：３０の割合で混合
した混合物に、該混合物との合計量に対する内比で、β
サイアロン粉末を１０〜３０重量％、窒化アルミニウム
粉末を１〜６重量％、そして希土類元素の酸化物粉末を
１〜８重量％の割合で各々焼結助剤として添加混合し、
該混合物を成形した後、焼結する窒化珪素と窒化硼素と
の複合体の製造方法にある。
【０００８】上記した本発明にかかる窒化珪素と窒化硼
素との複合体の製造方法よれば、得られる窒化珪素と窒
化硼素との複合体は、その耐熱衝撃性が大幅に向上した
ものとなる。
素との複合体の製造方法よれば、得られる窒化珪素と窒
化硼素との複合体は、その耐熱衝撃性が大幅に向上した
ものとなる。
【０００９】これは、添加混合した上記焼結助剤の内、
βサイアロン粉末中の酸素は、焼結後はβサイアロン結
晶として安定化し、希土類元素の酸化物粉末は、母材で
ある窒化珪素及び他に焼結助剤として添加した窒化アル
ミニウム粉末と反応し、焼結後は、一般式：ＭX （Ｓ
ｉ，Ａｌ）12（Ｏ，Ｎ）16（式中、Ｍは希土類元素、Ｘ
≦２）で示される、αサイアロン結晶として安定化する
と考えられ、これらのαサイアロン結晶、及びβサイア
ロン結晶は共に、従来方法において焼結体の粒界相に残
存することとなった上記酸化物結晶、或いは酸化物ガラ
スに比し、その耐熱衝撃性が優れており、その結果、得
られる窒化珪素と窒化硼素との複合体の耐熱衝撃性も、
従来のものより高くなったと考えられる。
βサイアロン粉末中の酸素は、焼結後はβサイアロン結
晶として安定化し、希土類元素の酸化物粉末は、母材で
ある窒化珪素及び他に焼結助剤として添加した窒化アル
ミニウム粉末と反応し、焼結後は、一般式：ＭX （Ｓ
ｉ，Ａｌ）12（Ｏ，Ｎ）16（式中、Ｍは希土類元素、Ｘ
≦２）で示される、αサイアロン結晶として安定化する
と考えられ、これらのαサイアロン結晶、及びβサイア
ロン結晶は共に、従来方法において焼結体の粒界相に残
存することとなった上記酸化物結晶、或いは酸化物ガラ
スに比し、その耐熱衝撃性が優れており、その結果、得
られる窒化珪素と窒化硼素との複合体の耐熱衝撃性も、
従来のものより高くなったと考えられる。
【００１０】ここで、上記窒化珪素粉末としては、通常
市販されているα型窒化珪素粉末を用い、その平均粒径
は、２μｍ以下であることが好ましい。また、窒化硼素
粉末としては、六方晶窒化硼素粉末を用い、上記窒化珪
素と該窒化硼素との配合割合は、その重量比で９０：１
０〜７０：３０の範囲とする。これは、上記範囲より窒
化硼素の割合が少ないと、窒化硼素の複合効果、即ち得
られる複合体の耐熱衝撃性を向上させる効果が少なく、
また、上記範囲より窒化硼素の割合が多いと、得られる
複合体の機械的強度が低くなるためである。
市販されているα型窒化珪素粉末を用い、その平均粒径
は、２μｍ以下であることが好ましい。また、窒化硼素
粉末としては、六方晶窒化硼素粉末を用い、上記窒化珪
素と該窒化硼素との配合割合は、その重量比で９０：１
０〜７０：３０の範囲とする。これは、上記範囲より窒
化硼素の割合が少ないと、窒化硼素の複合効果、即ち得
られる複合体の耐熱衝撃性を向上させる効果が少なく、
また、上記範囲より窒化硼素の割合が多いと、得られる
複合体の機械的強度が低くなるためである。
【００１１】また、上記焼結助剤として添加するβサイ
アロン粉末は、一般式：Ｓｉ6-Z Ａｌz ＯZ Ｎ8-Z （Ｚ
≦４．２）で示される粉末であり、いかなる方法で製造
されたものであっても良く、例えば、ＳｉＯ2 −Ａｌ2
Ｏ3 系原料に、炭素粉末を添加混合し、窒素気流中で焼
成する還元窒化法により得られる、βサイアロン粉末が
挙げられる。
アロン粉末は、一般式：Ｓｉ6-Z Ａｌz ＯZ Ｎ8-Z （Ｚ
≦４．２）で示される粉末であり、いかなる方法で製造
されたものであっても良く、例えば、ＳｉＯ2 −Ａｌ2
Ｏ3 系原料に、炭素粉末を添加混合し、窒素気流中で焼
成する還元窒化法により得られる、βサイアロン粉末が
挙げられる。
【００１２】さらに、上記窒化アルミニウム粉末として
は、通常市販されている粉末を用い、また希土類元素の
酸化物粉末としては、Ｙ2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 、Ｎｄ2 Ｏ
3 、Ｅｒ2 Ｏ3 等を用いることができる。これらの焼結
助剤として添加混合する原料、即ち上記βサイアロン粉
末、窒化アルミニウム粉末及び希土類元素の酸化物粉末
は、均一混合性及び焼結効率の観点から、その平均粒径
が５μｍ以下であることが好ましい。
は、通常市販されている粉末を用い、また希土類元素の
酸化物粉末としては、Ｙ2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 、Ｎｄ2 Ｏ
3 、Ｅｒ2 Ｏ3 等を用いることができる。これらの焼結
助剤として添加混合する原料、即ち上記βサイアロン粉
末、窒化アルミニウム粉末及び希土類元素の酸化物粉末
は、均一混合性及び焼結効率の観点から、その平均粒径
が５μｍ以下であることが好ましい。
【００１３】また、上記焼結助剤の各々の添加混合量と
しては、窒化珪素と窒化硼素との合計量に対する内比
で、βサイアロン粉末が１０〜３０重量％、窒化アルミ
ニウム粉末が１〜６重量％、そして希土類元素の酸化物
粉末が１〜８重量％の割合で添加される。これは、何れ
の成分についても、上記範囲よりもその添加量が少ない
場合には、その後の混合物の焼結が不十分となり、得ら
れる窒化珪素と窒化硼素との複合体の機械的強度が低く
なり、また、上記範囲よりもその添加量が多い場合に
は、複合体の耐熱衝撃性が悪くなるためである。
しては、窒化珪素と窒化硼素との合計量に対する内比
で、βサイアロン粉末が１０〜３０重量％、窒化アルミ
ニウム粉末が１〜６重量％、そして希土類元素の酸化物
粉末が１〜８重量％の割合で添加される。これは、何れ
の成分についても、上記範囲よりもその添加量が少ない
場合には、その後の混合物の焼結が不十分となり、得ら
れる窒化珪素と窒化硼素との複合体の機械的強度が低く
なり、また、上記範囲よりもその添加量が多い場合に
は、複合体の耐熱衝撃性が悪くなるためである。
【００１４】以上、記載した原料粉末である窒化珪素、
窒化硼素、及び焼結助剤であるβサイアロン粉末、窒化
アルミニウム粉末及び希土類元素の酸化物粉末の混合、
成型及び焼結の各工程は、いずれも慣用の手段により行
なうことができ、例えば、窒化珪素、窒化硼素、及び焼
結助剤の各々の成分をポットミル等で混合後、所望の形
状にプレス成形し、窒素雰囲気中において１６５０〜１
９００°Ｃで焼結することにより、耐熱衝撃性に優れた
窒化珪素と窒化硼素との複合体を製造することができ
る。
窒化硼素、及び焼結助剤であるβサイアロン粉末、窒化
アルミニウム粉末及び希土類元素の酸化物粉末の混合、
成型及び焼結の各工程は、いずれも慣用の手段により行
なうことができ、例えば、窒化珪素、窒化硼素、及び焼
結助剤の各々の成分をポットミル等で混合後、所望の形
状にプレス成形し、窒素雰囲気中において１６５０〜１
９００°Ｃで焼結することにより、耐熱衝撃性に優れた
窒化珪素と窒化硼素との複合体を製造することができ
る。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を、実施例を挙げて詳細に説明
する。
する。
【００１６】まず、焼結助剤として使用するβサイアロ
ンの粉末を合成した。合成方法は、ＳｉＯ2 微粉末、ア
ルミニウムイソプロポキシド、及びカーボンブラックの
Ｓｉ、Ａｌ、及びＣの原子比が、１：０．９：３になる
ようにこれらを配合し、イソプロピルアルコール中で溶
解混合した。その混合液に、水を添加し加水分解した後
乾燥し、窒素雰囲気中において１５００°Ｃで６時間加
熱した。その後、空気中において７００°Ｃで５時間酸
化処理を行い、残余のカーボンを除去した。得られた粉
末を、化学分析及びＸ線回折により測定したところ、Ｓ
ｉ3 Ａｌ3 Ｏ3Ｎ5 の組成のβサイアロン粉末であるこ
とが確認できた。そして、その平均粒径は０．７μｍで
あった。
ンの粉末を合成した。合成方法は、ＳｉＯ2 微粉末、ア
ルミニウムイソプロポキシド、及びカーボンブラックの
Ｓｉ、Ａｌ、及びＣの原子比が、１：０．９：３になる
ようにこれらを配合し、イソプロピルアルコール中で溶
解混合した。その混合液に、水を添加し加水分解した後
乾燥し、窒素雰囲気中において１５００°Ｃで６時間加
熱した。その後、空気中において７００°Ｃで５時間酸
化処理を行い、残余のカーボンを除去した。得られた粉
末を、化学分析及びＸ線回折により測定したところ、Ｓ
ｉ3 Ａｌ3 Ｏ3Ｎ5 の組成のβサイアロン粉末であるこ
とが確認できた。そして、その平均粒径は０．７μｍで
あった。
【００１７】次ぎに、平均粒径が０．８μｍのα型窒化
珪素粉末（Ｓｉ3 Ｎ4 ）、平均粒径８μｍの六方晶窒化
硼素粉末（ＢＮ）、平均粒径１．５μｍの窒化アルミニ
ウム粉末（ＡｌＮ）、希土類元素の酸化物粉末として平
均粒径１．５μｍのＹ2 Ｏ3粉末、或いは平均粒径２μ
ｍのＹｂ2 Ｏ3 粉末、上記合成したβサイアロン粉末、
或いは平均粒径０．８μｍのＡｌ2 Ｏ3 粉末を、各々表
１に示す割合で配合し、メタノールを分散媒としてポッ
トミルで混合し、その後乾燥して焼結用原料を得た。
珪素粉末（Ｓｉ3 Ｎ4 ）、平均粒径８μｍの六方晶窒化
硼素粉末（ＢＮ）、平均粒径１．５μｍの窒化アルミニ
ウム粉末（ＡｌＮ）、希土類元素の酸化物粉末として平
均粒径１．５μｍのＹ2 Ｏ3粉末、或いは平均粒径２μ
ｍのＹｂ2 Ｏ3 粉末、上記合成したβサイアロン粉末、
或いは平均粒径０．８μｍのＡｌ2 Ｏ3 粉末を、各々表
１に示す割合で配合し、メタノールを分散媒としてポッ
トミルで混合し、その後乾燥して焼結用原料を得た。
【００１８】得られた焼結用原料を、プレス成形により
幅５０ｍｍ、長さ５０ｍｍ、厚さ７ｍｍの成形体にした
後、窒素雰囲気中において１７８０°Ｃで３時間常圧焼
結し、得られた焼結体を、ＪＩＳ Ｒ １６０１の「フ
ァインセラミックスの曲げ強度試験方法」に規定する、
試験片に加工した。
幅５０ｍｍ、長さ５０ｍｍ、厚さ７ｍｍの成形体にした
後、窒素雰囲気中において１７８０°Ｃで３時間常圧焼
結し、得られた焼結体を、ＪＩＳ Ｒ １６０１の「フ
ァインセラミックスの曲げ強度試験方法」に規定する、
試験片に加工した。
【００１９】上記試験片によって、まず室温における３
点曲げ強度を測定し、この値を各々の試験片の基準強度
とした。つづいて、該試験片を所定温度に保持した電気
炉内に入れ、１０分間保持した後氷水中に落下させ、熱
衝撃を加えた後の３点曲げ強度を測定し、その強度が、
上記基準強度の２分の１に低下する炉内温度から、氷水
温度を減じた温度（ΔＴ値）をもって、耐熱衝撃性とし
て評価した。その結果を表１に示す。
点曲げ強度を測定し、この値を各々の試験片の基準強度
とした。つづいて、該試験片を所定温度に保持した電気
炉内に入れ、１０分間保持した後氷水中に落下させ、熱
衝撃を加えた後の３点曲げ強度を測定し、その強度が、
上記基準強度の２分の１に低下する炉内温度から、氷水
温度を減じた温度（ΔＴ値）をもって、耐熱衝撃性とし
て評価した。その結果を表１に示す。
【００２０】
【表１】
【００２１】表１より、本発明にかかる窒化珪素と窒化
硼素との複合体の製造方法により得られた試験片１〜８
は、従来の製造方法によって得られた試験片９に比し、
その耐熱衝撃性が向上していることが判明する。
硼素との複合体の製造方法により得られた試験片１〜８
は、従来の製造方法によって得られた試験片９に比し、
その耐熱衝撃性が向上していることが判明する。
【００２２】また、窒化珪素と窒化硼素との配合比が、
その重量比で９０：１０〜７０：３０の範囲を逸脱する
割合で配合された試験片１０，１１、或いは焼結助剤の
各々の添加量が、窒化珪素と窒化硼素との合計量に対す
る内比で、βサイアロン粉末が１０〜３０重量％、窒化
アルミニウム粉末が１〜６重量％、そして希土類元素の
酸化物粉末が１〜８重量％の割合を逸脱する範囲で添加
された試験片１２〜１６は、耐熱衝撃性或いは曲げ強度
のいずれかの特性が、低下していることが判明する。
その重量比で９０：１０〜７０：３０の範囲を逸脱する
割合で配合された試験片１０，１１、或いは焼結助剤の
各々の添加量が、窒化珪素と窒化硼素との合計量に対す
る内比で、βサイアロン粉末が１０〜３０重量％、窒化
アルミニウム粉末が１〜６重量％、そして希土類元素の
酸化物粉末が１〜８重量％の割合を逸脱する範囲で添加
された試験片１２〜１６は、耐熱衝撃性或いは曲げ強度
のいずれかの特性が、低下していることが判明する。
【００２３】
【発明の効果】以上、説明した本発明にかかる窒化珪素
と窒化硼素との複合体の製造方法によれば、得られる複
合体の機械的強度を低下させることなく、耐熱衝撃性を
大幅に向上させることができ、該複合体材料の工業的利
用分野を拡大させることができる。
と窒化硼素との複合体の製造方法によれば、得られる複
合体の機械的強度を低下させることなく、耐熱衝撃性を
大幅に向上させることができ、該複合体材料の工業的利
用分野を拡大させることができる。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/583 - 35/596
Claims (1)
- 【請求項１】 窒化珪素粉末と窒化硼素粉末とを重量比
で９０：１０〜７０：３０の割合で混合した混合物に、
該混合物との合計量に対する内比で、βサイアロン粉末
を１０〜３０重量％、窒化アルミニウム粉末を１〜６重
量％、そして希土類元素の酸化物粉末を１〜８重量％の
割合で各々焼結助剤として添加混合し、該混合物を成形
した後、焼結することを特徴とする窒化珪素と窒化硼素
との複合体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27494892A JP3271123B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 窒化珪素と窒化硼素との複合体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27494892A JP3271123B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 窒化珪素と窒化硼素との複合体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06100369A JPH06100369A (ja) | 1994-04-12 |
| JP3271123B2 true JP3271123B2 (ja) | 2002-04-02 |
Family
ID=17548790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27494892A Expired - Fee Related JP3271123B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 窒化珪素と窒化硼素との複合体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3271123B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6289406B2 (ja) * | 2015-03-18 | 2018-03-07 | 三菱電機株式会社 | セラミック複合体及び飛翔体用レドーム |
| CN113929472A (zh) * | 2021-11-24 | 2022-01-14 | 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 | 一种复合氮化硼陶瓷喷嘴的制备方法 |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP27494892A patent/JP3271123B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06100369A (ja) | 1994-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0930866A (ja) | 高熱伝導率窒化ケイ素質焼結体およびその製造方法ならびに窒化ケイ素質焼結体製絶縁基板 | |
| JP2002097005A5 (ja) | ||
| JPH11314969A (ja) | 高熱伝導性Ｓｉ３Ｎ４焼結体及びその製造方法 | |
| JP3270792B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JP3271123B2 (ja) | 窒化珪素と窒化硼素との複合体の製造方法 | |
| JP3454994B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP3454993B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2736386B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
| JP2649220B2 (ja) | 窒化珪素／炭化珪素複合粉末及び複合成形体並びにそれらの製造方法及び窒化珪素／炭化珪素複合焼結体の製造方法 | |
| JPH0543333A (ja) | 高強度サイアロン基焼結体の製造方法 | |
| JP3152790B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JP3426823B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP3290685B2 (ja) | 窒化ケイ素系焼結体 | |
| JP3034100B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP3124865B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH11322438A (ja) | 高熱伝導性窒化ケイ素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP3241215B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JP3318466B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2980342B2 (ja) | セラミックス焼結体 | |
| JP3124867B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP3216973B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP3236739B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2534213B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JP3034099B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP3124862B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |