JP2696875B2 - Coating method for hybrid integrated circuit - Google Patents
Coating method for hybrid integrated circuitInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は樹脂等の液状コーティング剤中にハイブリ
ッド集積回路（以下、ハイブリッドICという）を浸漬す
ることによってこのハイブリッドICの表面にコーティン
グ層を形成する方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial application field) The present invention forms a coating layer on the surface of a hybrid IC by immersing a hybrid integrated circuit (hereinafter referred to as a hybrid IC) in a liquid coating agent such as a resin. On how to do it.
（従来の技術） ハイブリッドICは、耐湿性や耐衝撃性等の信頼性を向
上させるために、その表面全体にコーティング層が形成
されている。このコーティング層の形成方法としては、
浸漬法、ポッティング法、キャスティング法等がある
が、通常浸漬法が使用されている。(Prior Art) A hybrid IC has a coating layer formed on the entire surface thereof in order to improve reliability such as moisture resistance and impact resistance. As a method of forming this coating layer,
There are an immersion method, a potting method, a casting method and the like, and the immersion method is usually used.
浸漬法は、第９図に示すように、ハイブリッドIC1を
液状コーティング剤３中に浸漬することによってその表
面にコーティング剤を付着させ、引上げ後これを加熱し
て硬化させることによってコーティング層５を形成する
というものである。この場合においてコーティング層５
の膜厚はコーティング剤３の粘度に依存するため、膜厚
の調整はコーティング剤３を有機溶剤等の適当な希釈剤
で希釈してその粘度を調節することによって行なわれて
いる。In the immersion method, as shown in FIG. 9, the hybrid IC 1 is immersed in the liquid coating agent 3 to attach the coating agent to the surface thereof, pulled up, and then heated and cured to form the coating layer 5. It is to do. In this case, the coating layer 5
Since the film thickness depends on the viscosity of the coating agent 3, the film thickness is adjusted by diluting the coating agent 3 with an appropriate diluent such as an organic solvent and adjusting the viscosity.
なお、コーティング剤としては、アクリル系、エポキ
シ系、シリコーン系、フェノール系、ポリブタジエン
系、ウレタン系等の樹脂が知られているが、低応力性、
耐湿性、防水性等の観点から、これらのうちシリコーン
系のものが一般に使用されている。In addition, as the coating agent, acrylic, epoxy, silicone, phenol, polybutadiene, and urethane resins are known, but low stress,
From the viewpoints of moisture resistance, waterproofness, and the like, silicone-based ones are generally used.
上記のように、コーティング層５の膜厚は液状コーテ
ィング剤３の粘度に依存するから、膜厚を厚くするため
には、粘度の高いコーティング剤３が使用される。とこ
ろが、第９図に示すような浸漬法において、粘度の高い
コーティング剤３を使用した場合には、浸漬されたハイ
ブリッドIC1の表面に付着するコーティング剤３中に空
気が取込まれ、良質のコーティング層５が形成されな
い。そこで、第10図に示すように、ハイブリッドIC1を
コーティング剤３中に浸漬するに際してハイブリッドIC
1を上下に振動させるという方法が提案された。As described above, since the film thickness of the coating layer 5 depends on the viscosity of the liquid coating agent 3, a coating agent 3 having a high viscosity is used to increase the film thickness. However, when a high viscosity coating agent 3 is used in the immersion method as shown in FIG. 9, air is taken into the coating agent 3 adhering to the surface of the immersed hybrid IC 1 and a high quality coating is obtained. Layer 5 is not formed. Therefore, as shown in FIG. 10, when the hybrid IC 1 is immersed in the coating agent 3, the hybrid IC 1
A method of vibrating 1 up and down has been proposed.
なお、この出願の先行技術資料としては、特開昭57−
133603号公報及び実開昭57−94903号公報がある。The prior art document of this application is disclosed in
No. 133603 and Japanese Utility Model Laid-Open No. 57-94903.
（発明が解決しようとする課題） ハイブリッドICにコーティング層を形成させるための
液状コーティング剤として、シリカ等のフィラー材を含
有するものが使用される場合がある。ところが、このよ
うなコーティング剤は揺変性（チクソトロピー性）が高
いため、膜厚を調整するために希釈剤を使用して粘度調
節をすると、加熱硬化時に希釈剤が揮散し難く、硬化時
にコーティング層中に気泡が形成されてしまう。そのた
め、コーティング層の質が低下し、ハイブリッドICの信
頼性が損われる。従って、希釈剤による粘度調節は望ま
しくない。(Problem to be Solved by the Invention) As a liquid coating agent for forming a coating layer on a hybrid IC, a liquid agent containing a filler material such as silica may be used. However, such a coating agent has a high thixotropy (thixotropic property). Therefore, if the viscosity is adjusted using a diluent to adjust the film thickness, the diluent hardly volatilizes during heat curing, and the coating layer is hardened during curing. Bubbles are formed inside. As a result, the quality of the coating layer is reduced, and the reliability of the hybrid IC is impaired. Therefore, adjusting the viscosity with a diluent is undesirable.
この発明は、粘度及び揺変性の高いコーティング剤を
使用する場合に、希釈剤で粘度調節をしなくてもコーテ
ィング層の膜厚を任意に調節することができる方法を提
供することを目的としている。An object of the present invention is to provide a method capable of arbitrarily adjusting the thickness of a coating layer without adjusting the viscosity with a diluent when a coating agent having high viscosity and thixotropic properties is used. .
（課題を解決するための手段） この発明は樹脂等の液状コーティング剤中にハイブリ
ッドICを浸漬することによってこのハイブリッドICの表
面にコーティング層を形成する方法であって、ハイブリ
ッドICを振動させながら前記コーティング剤中に浸漬さ
せる浸漬工程と、前記集積回路を振動させながら前記コ
ーティング剤中から引上げる引上げ工程とを有し、前記
引上げ工程における振動数が浸漬工程における振動数よ
り小さい範囲内において任意に変更可能に設定されてい
る。(Means for Solving the Problems) The present invention is a method for forming a coating layer on the surface of a hybrid IC by immersing the hybrid IC in a liquid coating agent such as a resin. A dipping step of dipping in the coating agent, and a pulling step of pulling up from the coating agent while vibrating the integrated circuit, wherein the frequency in the pulling step is arbitrarily within a range smaller than the frequency in the dipping step. It is set to be changeable.
（実施例） 次に、この発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
浸漬装置は、第１図に示すように、昇降装置10と、振
動発生装置13と、これらの昇降装置10及び振動発生装置
13の動作を制御するための制御装置15とを主体として成
る。そして、振動発生装置13の下方には液状のハイブリ
ッドIC1にコーティングされるコーティング剤３を貯溜
するタンク17が設置される。As shown in FIG. 1, the immersion device includes an elevating device 10, a vibration generating device 13, these elevating device 10 and a vibration generating device.
And a control device 15 for controlling the operation of the device 13. A tank 17 for storing the coating agent 3 to be coated on the liquid hybrid IC 1 is provided below the vibration generator 13.
昇降装置10は、第２図及び３図に示すように、昇降ベ
ース11、サーボモータ23及びボールネジ19を主体として
成る。昇降ベース11は、サーボモータ23によって回動さ
れるボールネジ19によって駆動され、２本のガイドバー
21に案内されて昇降される。そして、昇降ベース11には
これを円滑に昇降させるためのカウンターバランス25が
取付けられている。なお、サーボモータ23には電磁ブレ
ーキ（図示せず）が取付けられており、所望の位置で昇
降ベース11を停止させることができるようになってい
る。As shown in FIGS. 2 and 3, the lifting device 10 mainly includes a lifting base 11, a servomotor 23, and a ball screw 19. The lifting base 11 is driven by a ball screw 19 rotated by a servo motor 23, and is driven by two guide bars.
You will be guided to 21 and will go up and down. A counterbalance 25 is attached to the elevating base 11 to smoothly raise and lower the same. An electromagnetic brake (not shown) is attached to the servo motor 23 so that the lifting base 11 can be stopped at a desired position.
信号発生装置13は、第４図及び第５図に示すように、
DCモータ27、このDCモータ27のモーターシャフト29に取
付けられた回転ディスク31及びこの回転ディスク31上に
ピン33を介して取付けられたシャフト35とから成ってい
る。そして、この振動発生装置13は、DCモータ27を昇降
ベース11上に固定することによって、昇降ベース11に取
付けられる。The signal generator 13 is, as shown in FIGS. 4 and 5,
It comprises a DC motor 27, a rotating disk 31 mounted on a motor shaft 29 of the DC motor 27, and a shaft 35 mounted on the rotating disk 31 via pins 33. The vibration generator 13 is attached to the lifting base 11 by fixing the DC motor 27 on the lifting base 11.
振動発生装置13のシャフト35の自由端には、ピン37を
介して支持シャフト39が取付けられている。そして、こ
の支持シャフト39には、第６図及び第７図に示すよう
に、ハイブリッドIC1を保持するための保持具41が取付
けられる。この保持具41にはハイブリッドIC1がリード
端子を上向きにして保持される。A support shaft 39 is attached to the free end of the shaft 35 of the vibration generator 13 via a pin 37. As shown in FIGS. 6 and 7, a holder 41 for holding the hybrid IC 1 is attached to the support shaft 39. The hybrid IC1 is held by the holder 41 with the lead terminals facing upward.
振動発生装置13は上記のように構成されているため、
DCモータ27を回動させることによって、シャフト35が上
下に往復運動され、それに伴ってハイブリッドIC1が上
下に振動される。なお、モーターシャフト29の中心とピ
ン33の中心との距離をｌとすれば、振動の振幅は２×ｌ
となるから、距離ｌの値を変化させることによって、振
幅を任意に変更することができる。また、振動数はDCモ
ータ27の回転数に等しく、DCモータ27の電機子電圧を制
御したり、あるいはモーターシャフト29と回転ディスク
31との間に変速ギヤを設けたりすることによって、任意
に変更することができる。Since the vibration generator 13 is configured as described above,
By rotating the DC motor 27, the shaft 35 reciprocates up and down, and accordingly, the hybrid IC 1 vibrates up and down. If the distance between the center of the motor shaft 29 and the center of the pin 33 is l, the amplitude of the vibration is 2 × l
Thus, the amplitude can be arbitrarily changed by changing the value of the distance l. Further, the frequency is equal to the rotation speed of the DC motor 27, and the armature voltage of the DC motor 27 is controlled or the motor shaft 29 and the rotating disk are controlled.
It is possible to arbitrarily change the transmission speed by providing a transmission gear between the transmission gear 31 and the transmission gear 31.
制御装置15は、DCモータ27の回転数を制御することに
よって、ハイブリッドIC1の振動数を調整するためのDC
モータ制御部（図示せず）及びサーボモータ23を制御す
ることによって、昇降ベース11の昇降方向を決定したり
昇降ベース11を停止させるためのサーボモータ制御部42
を有している。サーボモータ制御部42は第８図に示すよ
うにメモリ43、エンコーダ45、偏差カウンタ47、ディジ
タル／アナログ変換器49、増幅器51及び周波数／電圧変
換器53から構成され、基本的にはメモリ43に記憶された
昇降ベース11の位置データとエンコーダ45とから得られ
る位置信号との比較によって制御が行なわれる。The control device 15 controls the number of rotations of the DC motor 27 to control the frequency of the hybrid IC1.
By controlling a motor control unit (not shown) and the servo motor 23, a servo motor control unit 42 for determining the elevating direction of the elevating base 11 and stopping the elevating base 11 is provided.
have. The servo motor controller 42 comprises a memory 43, an encoder 45, a deviation counter 47, a digital / analog converter 49, an amplifier 51 and a frequency / voltage converter 53, as shown in FIG. The control is performed by comparing the stored position data of the lifting base 11 with the position signal obtained from the encoder 45.
次に、上記のように構成された浸漬装置の動作につい
て説明する。なお、コーティング剤３としては揺変性の
高いものが使用されている。Next, the operation of the immersion device configured as described above will be described. As the coating agent 3, one having high thixotropic properties is used.
まず、制御装置15のDCモータ制御部の作用により、DC
モータ27が予め設定された回転数で回転され、それに伴
ってハイブリッドICが所定の振動数finで振動される。
同時に、サーボモータ制御部42の作用によりサーボモー
タ23が回転され、昇降ベース11が降下される。そうする
と、ハイブリッドIC1は振動数finで振動されながらタン
ク17内のコーティング剤３内に浸漬される。そして、ハ
イブリッドIC1が所望の深さまで浸漬されたときにDCモ
ータ27及びサーボモータ23の双方が停止され、数秒〜数
十秒間静止状態に保持される。First, by the operation of the DC motor control unit of the control device 15,
Is rotated at a rotational speed motor 27 is set in advance, the hybrid IC is vibrated at a predetermined frequency f in accordingly.
At the same time, the servomotor 23 is rotated by the operation of the servomotor control unit 42, and the lift base 11 is lowered. Then, the hybrid IC1 is immersed into the coating agent 3 in the tank 17 while being vibrated at a frequency f in. Then, when the hybrid IC 1 is immersed to a desired depth, both the DC motor 27 and the servo motor 23 are stopped, and the stationary state is maintained for several seconds to several tens of seconds.
次に、同様にしてDCモータ27が所定の回転数で回転さ
れ、それに伴ってハイブリッドIC1が振動数finよりも小
さい予め設定された振動数foutで振動される。同時に昇
降ベース11が上昇され、ハイブリッドIC1は振動数fout
で振動されながらコーティング剤３から引上げられる。
なお、foutの値はfinの値の20％〜80％の間で設定され
ることが望ましい。Next, similarly, the DC motor 27 is rotated at a predetermined number of revolutions, and accordingly, the hybrid IC 1 is vibrated at a preset frequency f out smaller than the frequency f in . At the same time, the lifting base 11 is raised, and the hybrid IC 1 has a frequency f out
Is pulled up from the coating agent 3 while being vibrated.
It is desirable that the value of f out be set between 20% and 80% of the value of f in .
上記一連の動作によって、ハイブリッドIC1の表面に
コーティング層５が形成される。この場合において、コ
ーティング剤３は揺変性を有するから、浸漬時及び引上
げ時におけるハイブリッドIC1の周辺のコーティング剤
３の粘度はそれぞれの振動数によって変化する。そのた
め、浸漬時には振動数finに応じて粘度が十分に小さく
なり、気泡の混入が効果的に防止される。一方、引上げ
時には振動数foutに応じた粘度となり、この粘度に応じ
た膜厚のコーティング層５が形成される。By the above series of operations, the coating layer 5 is formed on the surface of the hybrid IC1. In this case, since the coating agent 3 has thixotropy, the viscosity of the coating agent 3 around the hybrid IC 1 at the time of immersion and at the time of pulling changes depending on the respective frequency. Therefore, at the time of immersion, the viscosity becomes sufficiently small according to the frequency f in, and the incorporation of bubbles is effectively prevented. On the other hand, at the time of pulling up, the viscosity becomes in accordance with the frequency f out , and the coating layer 5 having a film thickness corresponding to this viscosity is formed.
次に、揺変性指数６の２液性熱硬化型高粘度シリコー
ン系樹脂を用いて行なった実験結果を第１表及び第２表
に示す。第１表及び第２表はそれぞれ振幅が1mm及び5mm
の場合の結果である。Next, Tables 1 and 2 show the results of experiments conducted using a two-component thermosetting high-viscosity silicone resin having a thixotropic index of 6. Tables 1 and 2 have amplitudes of 1 mm and 5 mm, respectively.
It is a result in the case of.
なお、上記実験においては、コーティング層を形成し
た後、室温で１時間放置し、70℃で１時間乾燥し、さら
に120℃で加熱して硬化させている。そして、膜厚測定
及び断面観察によって満足な結果の得られたものを
「○」で表した。 In the above experiment, after the coating layer was formed, the coating layer was left at room temperature for 1 hour, dried at 70 ° C. for 1 hour, and further cured by heating at 120 ° C. Then, those obtained with satisfactory results by film thickness measurement and cross-sectional observation were indicated by “○”.
（発明の効果） 浸漬によってハイブリッドICにコーティング層を形成
する方法において、浸漬工程及び引上げ工程の両工程に
おいてハイブリッドICに振動を加え、引上げ工程におけ
る振動数を浸漬工程における振動数より小さい範囲内で
任意に変更可能としたことにより、この方法を粘度及び
揺変性の高いコーティング剤に適用した場合、ハイブリ
ッドICの周辺における引上げ時の粘度が浸漬時の粘度よ
りも高い範囲において任意に設定できる。従って、希釈
剤を使用して粘度調節をしなくてもコーティング層の膜
厚を任意に調節することができる。(Effect of the Invention) In the method of forming a coating layer on a hybrid IC by immersion, vibration is applied to the hybrid IC in both the immersion step and the pulling step, and the frequency in the pulling step is set to be smaller than the frequency in the immersion step. Since this method can be arbitrarily changed, when this method is applied to a coating agent having a high viscosity and thixotropic property, the viscosity at the time of pulling around the hybrid IC can be arbitrarily set within a range higher than the viscosity at the time of immersion. Therefore, the thickness of the coating layer can be arbitrarily adjusted without adjusting the viscosity using a diluent.
第１図から第８図はこの発明の方法において使用される
装置を示し、第１図は浸漬装置の側面図、第２図は一部
を省略して示した浸漬装置の側面図、第３図は第２図の
斜視図、第４図は振動発生装置の正面図、第５図は第４
図の側面図、第６図はハイブリッドICの保持具の正面
図、第７図は第６図の側面図、第８図は制御装置のうち
サーボモータ制御部のブロック図である。第９図及び第
10図は従来の浸漬法を示し、第９図は通常の浸漬法を示
す説明図、第10図は振動を加えながら浸漬を行なう浸漬
法を示す説明図である。 １……ハイブリッドIC ３……コーティング剤1 to 8 show an apparatus used in the method of the present invention. FIG. 1 is a side view of the immersion apparatus, FIG. 2 is a side view of the immersion apparatus with a part thereof omitted, and FIG. FIG. 4 is a perspective view of FIG. 2, FIG. 4 is a front view of the vibration generator, and FIG.
FIG. 6 is a front view of the holder of the hybrid IC, FIG. 7 is a side view of FIG. 6, and FIG. 8 is a block diagram of a servo motor control unit in the control device. FIG. 9 and FIG.
FIG. 10 shows a conventional immersion method, FIG. 9 is an explanatory view showing a normal immersion method, and FIG. 10 is an explanatory view showing an immersion method in which immersion is performed while applying vibration. 1. Hybrid IC 3. Coating agent
Claims (1)
ッド集積回路を浸漬することによってこの集積回路の表
面にコーティング層を形成する方法であって、ハイブリ
ッド集積回路を振動させながら前記コーティング剤中に
浸漬させる浸漬工程と、前記集積回路を振動させながら
前記コーティング剤中から引上げる引上げ工程とを有
し、前記引上げ工程における振動数が浸漬工程における
振動数より小さい範囲内において任意に変更可能である
方法。1. A method of forming a coating layer on the surface of a hybrid integrated circuit by immersing the hybrid integrated circuit in a liquid coating agent such as a resin, wherein the hybrid integrated circuit is immersed in the coating agent while being vibrated. A dipping step of causing the integrated circuit to vibrate from the coating agent while vibrating the integrated circuit, wherein the frequency in the pulling step can be arbitrarily changed within a range smaller than the frequency in the dipping step. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63024840A JP2696875B2 (en) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | Coating method for hybrid integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63024840A JP2696875B2 (en) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | Coating method for hybrid integrated circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01199492A JPH01199492A (en) | 1989-08-10 |
| JP2696875B2 true JP2696875B2 (en) | 1998-01-14 |
Family
ID=12149407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63024840A Expired - Lifetime JP2696875B2 (en) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | Coating method for hybrid integrated circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2696875B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5368899A (en) * | 1992-02-28 | 1994-11-29 | Delco Electronics Corp. | Automatic vertical dip coater with simultaneous ultraviolet cure |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195989A (en) * | 1984-03-19 | 1985-10-04 | 株式会社日立製作所 | Resin coating device |
-
1988
- 1988-02-03 JP JP63024840A patent/JP2696875B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01199492A (en) | 1989-08-10 |
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