JP2680199B2 - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JP2680199B2
JP2680199B2 JP3038147A JP3814791A JP2680199B2 JP 2680199 B2 JP2680199 B2 JP 2680199B2 JP 3038147 A JP3038147 A JP 3038147A JP 3814791 A JP3814791 A JP 3814791A JP 2680199 B2 JP2680199 B2 JP 2680199B2
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yoke
side yoke
center
permanent magnet
linear motor
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正喜 武富
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Hitachi Metals Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、対向する1対のサイド
ヨークの中央にセンターヨークを設け、サイドヨークお
よびセンターヨークの対向面にそれぞれ永久磁石を固着
し、これらの永久磁石の表面に形成される磁気空隙内
を、多相コイルからなる可動子が直線運動する形式のリ
ニアモータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来ストローク長が10cm以上の範囲
で物体の移動および位置決めを行うための駆動装置とし
ては、例えば特公昭58−49100号および実開昭6
3−93783号公報に開示されているような可動コイ
ル形のリニアモータが使用されている。
【0003】このようなリニアモータは、厚さ方向に着
磁した複数個の永久磁石を、着磁方向が異なるように対
向させて配置し、対向する永久磁石間に形成された磁気
空隙内に、磁束と直角方向に運動する可動コイル組立体
を配設した構造を有する。
【0004】図は従来のリニアモータの例を示す要部
横断面図である。図において、11はベースであり、
軟鉄のような強磁性材料により平板状に形成する。12
はセンターヨーク、13はサイドヨークであり、各々前
記ベース11と同様の材料によって平板状に形成すると
共に、ベース11上に間隔を介して固着する。
【0005】14は永久磁石であり、厚さ方向に着磁
し、センターヨーク12およびサイドヨーク13の夫々
の対向面に、相隣る磁極の極性が異なるように複数個
を、空隙15を介して異極が対向するように配設する。
において永久磁石14の配設方向は、紙面と直交す
る方向である。
【0006】次に16は可動子であり、キャリッジ17
の下方にコイルフレーム18を固着し、コイルフレーム
18が前記空隙15内において紙面と直交する方向に移
動可能に設ける。19はコイルであり、前記空隙15に
おける磁束と巻線方向が直交するような偏平の多相コイ
ルによって形成し、コイルフレーム18に固着する。す
なわち複数個のコイルを永久磁石14の配設方向に若干
量ずらせて配設し、磁極の方向を磁界検出素子等の手段
を介して検出し、電流を流すべきコイルおよびその方向
を切り換え得るように形成する。
【0007】以上の構成により、コイル19に電流を流
すと、コイル19の巻線方向が永久磁石14による磁束
と直交しているので、コイル19はフレミングの左手の
法則により、センターヨーク12およびサイドヨーク1
3の長手方向の駆動力を受けるから、コイル19をコイ
ルフレーム18を介して一体に支持してなる可動子16
は、センターヨーク12およびサイドヨーク13の長手
方向に移動する。次にコイル19に前記と逆方向の電流
を流すと、コイル19には前記と逆方向の駆動力が作用
するから、可動子16は前記と逆方向に移動する。従っ
てコイル19への通電およびその電流の方向を選択する
ことにより、可動子16を所定位置に移動させることが
できるのである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記リニアモータを構
成するセンターヨーク12およびサイドヨーク13は、
何れも軟鉄のような強磁性材料によって平板状に形成さ
れているが、従来のものにおいては何れも一体に形成さ
れている。従って可動子16のストローク長に対応する
長さが必要である。このような長尺の帯状平板を加工す
る場合には、反りおよび加工歪に対する配慮が必要であ
る。
【0009】すなわち素材をまず歪取り焼鈍後、粗加工
し、加工歪を除去するため再び歪取り焼鈍を行い、最終
寸法に仕上加工する工程を採用している。しかしなが
ら、センターヨーク12は比較的厚さ寸法が大であるこ
とから問題は少ないが、サイドヨーク13においては厚
さ寸法が小であるため、仕上加工後においても反りおよ
び歪が発生することが多い。特に長さ寸法が大である場
合には、反りおよび歪の量が大となり、長さ方向の真直
度が低下し、リニアモータの精度に悪影響を及ぼすとい
う問題点がある。
【0010】またセンターヨーク12およびサイドヨー
ク13の対向面には永久磁石14を異極を対向させて配
設してあるため、対向する永久磁石14,14間には吸
引力が作用している。このためサイドヨーク13にはセ
ンターヨーク12に向かう水平荷重が作用する。従って
サイドヨーク13には図に示すようなリブ20を固着
することにより、倒れを防止するようにしている。この
リブ20は一般に溶接手段によってサイドヨーク13に
固着されるため、固着後再び歪取り焼鈍を実施する必要
がある。
【0011】更にリニアモータのストローク長が異なる
ものを製作する場合には、センターヨーク12およびサ
イドヨーク13の長さ寸法も対応させて多種類のものを
準備する必要があり、センターヨーク12は格別とし
て、サイドヨーク13の場合にはその都度加工方法を検
討する必要があると共に、加工組立が極めて煩雑であ
り、かつ長尺品については寸法精度を向上させることが
困難であるという問題点がある。
【0012】また従来のリニアモータにおいては、セン
ターヨーク12およびサイドヨーク13が何れも一体構
成であるため、コイル19への通電に伴う発生磁界のた
めに、特に電流値が増大した場合には電流値と推力との
間の直線性が低下し、若しくは直線性の領域が狭くなる
という問題点が併存する。すなわち上記発生磁界は永久
磁石14による磁界を減殺する方向に作用するためであ
り、電流値が増大した場合においてその影響が大きくな
る。
【0013】本発明は上記従来技術に存在する問題点を
解決し、製作が容易であると共に、寸法精度を向上させ
得る、また直線性領域の広いリニアモータを提供するこ
とを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、発明においては、対向する1対のサイドヨークの
中央にセンターヨークを設け、サイドヨークおよびセン
ターヨークの対向面にそれぞれ永久磁石を固着すると共
に、長手方向に交互に異極が現れるように配設し、永久
磁石の表面に形成される磁気空隙内に多相コイルからな
る可動子を前記サイドヨークおよびセンターヨークの長
手方向に移動可能に設けてなるリニアモータにおいて、
横断面形状をU字状に形成した複数個のサイドヨーク片
を長手方向に接続してサイドヨークを形成し、永久磁石
の長さ寸法を前記サイドヨーク片の長さ寸法と同一に形
成すると共に、前記永久磁石の磁気的対称面がサイドヨ
ーク片の接続部と対向するように構成し、かつサイドヨ
ーク片間に絶縁材料からなる薄板を挟着する、という技
術的手段を採用した。
【0015】
【作用】上記の構成により、サイドヨーク片の接続個数
の選定により、ストローク長の異なるリニアモータの製
作に対応できる。またサイドヨークの長手方向不連続の
影響を防止できると共に、直線性領域の拡大が可能であ
る。
【0016】
【実施例】図1は本発明の実施例における磁気回路部を
示す要部斜視図であり、同一部分は前記図と同一の参
照符号で示す。図1において、1はサイドヨーク片であ
り、例えば軟鉄のような強磁性材料により、冷間鍛造手
段を介して横断面形状をU字状に形成する。長手方向の
寸法は、リニアモータの仕様によって適宜選定すべきで
あるが、例えば25〜30mmに形成する。1aは溝で
あり、センターヨーク12が嵌入し得るように穿設す
る。
【0017】上記構成の磁気回路部を組み立てるには、
ベース11上にサイドヨーク片1を、位置決めピン(図
示せず)を介して所定個数を長手方向に配設し、取付ボ
ルト(図示せず)等によりベース11に固着する。次に
センターヨーク12を溝1a内に嵌入し、取付ボルト
(図示せず)等により固着する。永久磁石14は接着剤
を介してセンターヨーク12およびサイドヨーク13の
対向面に固着する。
【0018】上記の構成により、サイドヨーク13を形
成することができる。この場合、サイドヨーク片1は前
記のように比較的小寸法であるため、加工によって歪が
発生したとしても、その値は極めて小であり、無視して
差し支えない。またサイドヨーク片1は、横断面形状が
U字状の一体品であるため、剛性が大であるから、厚さ
寸法を小に形成しても従来技術におけるような倒れの発
生はない。更にサイドヨーク片1の接続個数を選定する
ことにより、任意長のサイドヨーク13を形成すること
ができるから、異なるストローク仕様に対しても自由に
対応できるのである。
【0019】次に図1において2は薄板であり、絶縁材
料によって例えば厚さ0.5〜2mmに形成し、サイドヨ
ーク片1の接続部に挟着する。そして永久磁石14の磁
気的対称面(長手方向寸法の略1/2の位置)が、サイ
ドヨーク片1の接続部に位置するように構成する。
【0020】上記の構成により、サイドヨーク13が長
手方向に分断されることによる起磁力損失の影響を軽減
することができる。またサイドヨーク片1,1間に絶縁
材料からなる薄板2を挟着することにより、空隙15内
に介装されるコイル(図示せず)に通電した際に発生す
る磁界(永久磁石14による磁界を減殺する方向に作用
する)の影響を防止することができる。従ってコイルに
大電流を通電しても、電流値−推力との直線性を保持で
き、直線性領域の拡大が可能である。
【0021】上記の実施例においては、サイドヨーク片
を軟鉄によって構成した例について記述したが、軟鉄以
外の強磁性材料によって構成してもよい。またサイドヨ
ーク片の形成手段としては、冷間鍛造手段のみでなく、
他の塑性加工手段でもよく、更に機械加工、粉末冶金等
の公知の形成手段を採用してもよい。
【0022】
【発明の効果】本発明は以上記述のような構成および作
用であるから、磁気回路部の製作が容易であると共に、
寸法精度を向上させることができ、リニアモータの小型
化、高性能化が可能である。またサイドヨーク片の接続
部に絶縁材料からなる薄板を挟着することにより、直線
性の領域を拡大させ得るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例における磁気回路部を示す要部
斜視図である。
【図2】従来のリニアモータの例を示す要部横断面図で
ある。
【符号の説明】
1 サイドヨーク片 2 薄板 12 センターヨーク 13 サイドヨーク 14 永久磁石

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対向する1対のサイドヨークの中央にセ
    ンターヨークを設け、サイドヨークおよびセンターヨー
    クの対向面にそれぞれ永久磁石を固着すると共に、長手
    方向に交互に異極が現れるように配設し、永久磁石の表
    面に形成される磁気空隙内に多相コイルからなる可動子
    を前記サイドヨークおよびセンターヨークの長手方向に
    移動可能に設けてなるリニアモータにおいて、 横断面形状をU字状に形成した複数個のサイドヨーク片
    を長手方向に接続してサイドヨークを形成し、永久磁石
    の長さ寸法を前記サイドヨーク片の長さ寸法と同一に形
    成すると共に、前記永久磁石の磁気的対称面がサイドヨ
    ーク片の接続部と対向するように構成し、かつサイドヨ
    ーク片間に絶縁材料からなる薄板を挟着したことを特徴
    とするリニアモータ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5014823B2 (ja) * 2007-02-08 2012-08-29 住友重機械工業株式会社 型締装置
CN105207445B (zh) * 2014-05-26 2017-12-29 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种多自由度直线电机
CN107786058B (zh) * 2016-08-30 2020-04-10 上海微电子装备(集团)股份有限公司 直线电机
JP7088667B2 (ja) * 2017-12-04 2022-06-21 住友重機械工業株式会社 リニアモータ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62193543A (ja) * 1986-02-19 1987-08-25 Hitachi Ltd 可動コイル形リニアモ−タ
JPH0783583B2 (ja) * 1989-03-08 1995-09-06 日立金属株式会社 リニアモータ

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