JP2650066B2 - 画像取り込み装置 - Google Patents
画像取り込み装置Info
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- JP2650066B2 JP2650066B2 JP2019230A JP1923090A JP2650066B2 JP 2650066 B2 JP2650066 B2 JP 2650066B2 JP 2019230 A JP2019230 A JP 2019230A JP 1923090 A JP1923090 A JP 1923090A JP 2650066 B2 JP2650066 B2 JP 2650066B2
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Links
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 18
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 22
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Image Input (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はパルス化されたレーザー光を照明光として使
用する画像取り込み装置に関するものである。
用する画像取り込み装置に関するものである。
［従来の技術］ 従来、照明光にレーザー光を使用する画像取り込み装
置において、照度むらを軽減するための手段としては、
特開昭60−166952号公報で示されているように観察物体
上をレーザービームで走査し、イメージセンサーの光蓄
積時間をその走査回数で制御して画像を取り込む方法が
用いられていた。
置において、照度むらを軽減するための手段としては、
特開昭60−166952号公報で示されているように観察物体
上をレーザービームで走査し、イメージセンサーの光蓄
積時間をその走査回数で制御して画像を取り込む方法が
用いられていた。
［発明が解決しようとしている課題］ しかしながら、最近ではエキシマレーザーのようなパ
ルス光源が照明光として使用されるようになり、従来の
ようにイメージセンサーの光蓄積時間をレーザービーム
の走査回数で制御して画像を取り込むだけでは、 1.パルス光の発光タイミングがビームの走査タイミング
に同期していないため、１パルス分の照度むらが生じて
しまう、 2.エキシマレーザーの発光周波数が数100Hzと低いた
め、ビーム１走査に要する時間がCCDの蓄積可能時間よ
りも大きくなることが発生し、イメージセンサーの光蓄
積時間を走査回数で制御することが出来なくなる、 などの理由から照度むらの少ない最適画像を得ることは
不可能であった。
ルス光源が照明光として使用されるようになり、従来の
ようにイメージセンサーの光蓄積時間をレーザービーム
の走査回数で制御して画像を取り込むだけでは、 1.パルス光の発光タイミングがビームの走査タイミング
に同期していないため、１パルス分の照度むらが生じて
しまう、 2.エキシマレーザーの発光周波数が数100Hzと低いた
め、ビーム１走査に要する時間がCCDの蓄積可能時間よ
りも大きくなることが発生し、イメージセンサーの光蓄
積時間を走査回数で制御することが出来なくなる、 などの理由から照度むらの少ない最適画像を得ることは
不可能であった。
本発明の目的は、このような従来技術の問題点に鑑
み、画像取り込み装置において、照度むらの少ない最適
画像が得られるようにすることにある。
み、画像取り込み装置において、照度むらの少ない最適
画像が得られるようにすることにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため本発明の画像取り込み装置
は、パルス化されたレーザ光である照明光を受光し、そ
のビームを揺動して出射する揺動手段と、揺動手段が出
射する揺動ビームにより照明された画像の情報を電気信
号として取り込む撮像手段と、撮像手段が取り込んだ電
気信号を積算して１つの画像データとする画像積算手段
と、撮像手段の画像情報取り込みタイミングに同期させ
て前記パルスレーザーの発光繰り返し周波数および揺動
手段の揺動周期を制御する手段とを備えている。
は、パルス化されたレーザ光である照明光を受光し、そ
のビームを揺動して出射する揺動手段と、揺動手段が出
射する揺動ビームにより照明された画像の情報を電気信
号として取り込む撮像手段と、撮像手段が取り込んだ電
気信号を積算して１つの画像データとする画像積算手段
と、撮像手段の画像情報取り込みタイミングに同期させ
て前記パルスレーザーの発光繰り返し周波数および揺動
手段の揺動周期を制御する手段とを備えている。
画像積算手段は画像積算タイミングが外部から制御可
能であり、更に画像積算回数を設定可能であることが好
ましい。
能であり、更に画像積算回数を設定可能であることが好
ましい。
また、画像積算手段の画像積算タイミングを前記パル
スレーザーの発光タイミングに同期させて制御する手段
を有することが好ましい。
スレーザーの発光タイミングに同期させて制御する手段
を有することが好ましい。
［作用］ エキシマレーザー等のパルス化されたレーザ光の周射
パルス光は一般的に水銀ランプの様な連続光に比べてビ
ーム内照度むらが大きいため、ビームを固定したままで
照明したのでは、複数パルスを要して照明しても画像上
における照度むらを許容範囲以内に抑えることはできな
い。そのため本発明では、イメージシフタ等の揺動手段
によってビームを例えば円周状に揺動しながら、その揺
動同期に同期をとってエキシマレーザーを発光させる。
このようにすることで、ビーム光軸中心の軌跡は例えば
円形を描き、レーザーの発光は常にその円周上を等分し
た複数の固定された地点で起こるようになる。そして、
光軸中心の例えば１回転に要する発光パルス数を１セッ
トとして、これを単位にして照明を行うことにより照度
むらを最少にし、許容範囲内に納めている。
パルス光は一般的に水銀ランプの様な連続光に比べてビ
ーム内照度むらが大きいため、ビームを固定したままで
照明したのでは、複数パルスを要して照明しても画像上
における照度むらを許容範囲以内に抑えることはできな
い。そのため本発明では、イメージシフタ等の揺動手段
によってビームを例えば円周状に揺動しながら、その揺
動同期に同期をとってエキシマレーザーを発光させる。
このようにすることで、ビーム光軸中心の軌跡は例えば
円形を描き、レーザーの発光は常にその円周上を等分し
た複数の固定された地点で起こるようになる。そして、
光軸中心の例えば１回転に要する発光パルス数を１セッ
トとして、これを単位にして照明を行うことにより照度
むらを最少にし、許容範囲内に納めている。
しかし、CCDカメラ等の撮像装置における画像取り込
み周期は、例えばインターレーススキャンの場合、１フ
ィールド1/60秒で固定されているため、そのまま画像取
り込みをしたのでは照度むらが大きくて処理画像として
は使えない。そのため、レーザーの発光タイミングと揺
動手段の揺動周期を、さらに撮像手段による画像取り込
み周期に同期させ、それによって得られた画像を揺動手
段の数回分積算することによって照度むらが最少にされ
る。
み周期は、例えばインターレーススキャンの場合、１フ
ィールド1/60秒で固定されているため、そのまま画像取
り込みをしたのでは照度むらが大きくて処理画像として
は使えない。そのため、レーザーの発光タイミングと揺
動手段の揺動周期を、さらに撮像手段による画像取り込
み周期に同期させ、それによって得られた画像を揺動手
段の数回分積算することによって照度むらが最少にされ
る。
［実施例］ 第１図は本発明の特徴を最も良く表す構成図である。
エキシマレーザー１はKrFなどが封入されたガスレーザ
ーで、パルス化されたレーザー光を発生する光源であ
る。ここで発生されたパルス光はビーム整形光学系２で
所望のビームサイズに整形されたあと、イメージシフタ
３に入射する。イメージシフタ３は入射したビームを出
力において円周状に揺動させるための光学系で、例えば
ウェッジをモーターによって回転することで実現され
る。イメージシフタ３によって揺動されたビームはハー
フミラー４を通過し、ミラー５で反射されてレチクル６
に達する。レチクル６には集積回路パターンが形成され
ており、このパターンはレチクル６に達したビームによ
り投影レンズ７を通してウエハ８上に投影露光される。
エキシマレーザー１はKrFなどが封入されたガスレーザ
ーで、パルス化されたレーザー光を発生する光源であ
る。ここで発生されたパルス光はビーム整形光学系２で
所望のビームサイズに整形されたあと、イメージシフタ
３に入射する。イメージシフタ３は入射したビームを出
力において円周状に揺動させるための光学系で、例えば
ウェッジをモーターによって回転することで実現され
る。イメージシフタ３によって揺動されたビームはハー
フミラー４を通過し、ミラー５で反射されてレチクル６
に達する。レチクル６には集積回路パターンが形成され
ており、このパターンはレチクル６に達したビームによ
り投影レンズ７を通してウエハ８上に投影露光される。
エキシマレーザー１の出射パルス光は一般的に水銀ラ
ンプの様な連続光に比べてビーム内照度むらが大きいた
め、ビームを固定したままで露光したのでは、複数パル
スを要して露光してもウエハ８上の照度むらを許容範囲
以内に抑えることは出来ない。そのため本実施例では、
イメージシフタ３によってビームを円周状に揺動しなが
ら、その揺動周期に同期をとってエキシマレーザーを発
光させている。この様にすることで、ハーフミラー４以
降における光軸中心の軌跡は第２図のように円形を描
き、レーザーの発光は常にその円周上を等分した複数の
固定された地点で起こるようになる。よって、光軸中心
１回転に要する発光パルス数１をセットとして、これを
単位にして露光を行うことにより照度むらを最少にし、
許容範囲内に納めている。
ンプの様な連続光に比べてビーム内照度むらが大きいた
め、ビームを固定したままで露光したのでは、複数パル
スを要して露光してもウエハ８上の照度むらを許容範囲
以内に抑えることは出来ない。そのため本実施例では、
イメージシフタ３によってビームを円周状に揺動しなが
ら、その揺動周期に同期をとってエキシマレーザーを発
光させている。この様にすることで、ハーフミラー４以
降における光軸中心の軌跡は第２図のように円形を描
き、レーザーの発光は常にその円周上を等分した複数の
固定された地点で起こるようになる。よって、光軸中心
１回転に要する発光パルス数１をセットとして、これを
単位にして露光を行うことにより照度むらを最少にし、
許容範囲内に納めている。
一方、第１図において、ウエハ８で反射されたビーム
は投影レンズ７、レチクル６を通り、ミラー５、ハーフ
ミラー４で反射されてCCDカメラ９の撮像面に入射す
る。このためCCDカメラ９ではウエハ８上及びレチクル
６上に形成されている２つのパターンを同時に観察する
ことができ、この画像を処理することでウエハ８及びレ
チクル６の相対位置を知ることができる。
は投影レンズ７、レチクル６を通り、ミラー５、ハーフ
ミラー４で反射されてCCDカメラ９の撮像面に入射す
る。このためCCDカメラ９ではウエハ８上及びレチクル
６上に形成されている２つのパターンを同時に観察する
ことができ、この画像を処理することでウエハ８及びレ
チクル６の相対位置を知ることができる。
しかし、CCDカメラ９の画像取り込み周期はインター
レーススキャンの場合、１フィールド1/60秒で固定され
ているため、そのまま画像取り込みをしたのでは照度む
らが大きくて処理画像としては使えない。そのため、画
像取り込み時においても露光時と同様にエキシマレーザ
ー１の発光タイミングとイメージシフタ３の回転数をCC
Dカメラ９の取り込み周期に同期させ、そこで得られた
画像を第２図の光軸中心の数回転分（数セット分）、画
像積算することによって照度むらを最少にすることが必
要となる。この画像積算を行う部位が画像積算装置10で
あり、画像取り込みの同期制御及び画像処理を行うた
め、マイクロコンピュータ11が画像積算装置10に接続さ
れている。また、マイクロコンピュータ11は画像取り込
みの同期制御のため、イメージシフタコントローラ12を
通してイメージシフタ３に接続され、イメージシフタ３
の回転数を制御すると共にカメラから垂直同期（VD信
号）を得るためCCDカメラ９にも接続されている。
レーススキャンの場合、１フィールド1/60秒で固定され
ているため、そのまま画像取り込みをしたのでは照度む
らが大きくて処理画像としては使えない。そのため、画
像取り込み時においても露光時と同様にエキシマレーザ
ー１の発光タイミングとイメージシフタ３の回転数をCC
Dカメラ９の取り込み周期に同期させ、そこで得られた
画像を第２図の光軸中心の数回転分（数セット分）、画
像積算することによって照度むらを最少にすることが必
要となる。この画像積算を行う部位が画像積算装置10で
あり、画像取り込みの同期制御及び画像処理を行うた
め、マイクロコンピュータ11が画像積算装置10に接続さ
れている。また、マイクロコンピュータ11は画像取り込
みの同期制御のため、イメージシフタコントローラ12を
通してイメージシフタ３に接続され、イメージシフタ３
の回転数を制御すると共にカメラから垂直同期（VD信
号）を得るためCCDカメラ９にも接続されている。
ここで、照度むらを最少にする画像取り込み方法の詳
細について説明する。第３図はCCDカメラ９に入射する
ビームの光軸中心の軌跡を表す。イメージシフタ３が１
回転すると光軸中心の軌跡は円周上を１回転する。この
とき、イメージシフタ３の回転数がエキシマレーザー１
の繰り返し周波数に同期していると第３図のようにレー
ザーの発光タイミングは常に円周上を等分した位置に固
定される。ここでは例として光軸中心１回転で25パルス
のレーザー発光が行われる場合を考える。このとき、CC
Dカメラ９の１回のフィールド取り込み期間に５パルス
の発光が入るように、エキシマレーザー１の繰り返し周
波数を300Hzに設定すると、光軸中心１回転の間に５回
のフィールド取り込みを行うことになる。
細について説明する。第３図はCCDカメラ９に入射する
ビームの光軸中心の軌跡を表す。イメージシフタ３が１
回転すると光軸中心の軌跡は円周上を１回転する。この
とき、イメージシフタ３の回転数がエキシマレーザー１
の繰り返し周波数に同期していると第３図のようにレー
ザーの発光タイミングは常に円周上を等分した位置に固
定される。ここでは例として光軸中心１回転で25パルス
のレーザー発光が行われる場合を考える。このとき、CC
Dカメラ９の１回のフィールド取り込み期間に５パルス
の発光が入るように、エキシマレーザー１の繰り返し周
波数を300Hzに設定すると、光軸中心１回転の間に５回
のフィールド取り込みを行うことになる。
この５回の取り込み期間を各々〜として、画像取
り込みのタイミングを第４図で説明する。第４図におい
て、CCDカメラ９のVD信号SVDはフィールド取り込みタイ
ミングT3に同期してカメラから出力される信号である。
任意のVD信号SVDの立ち上がりエッジからエキシマレー
ザー１をタイミングT1で示されるように3000Hzで発光さ
せ、その時点での光軸中心の移動角度θを０゜とする
と、光軸中心が360゜まで移動する間にVD信号SVDは５回
出力される。VD信号SVDの立ち上がりエッジからCCDカメ
ラ９の電荷取り込みタイミングT2までは一般に数10μＳ
であるため、レーザー発光パルスT1の１番初めの発光パ
ルスはそのすぐ後にある電荷の取り込みタイミングT2で
取り込まれる。そして、エキシマレーザー１の最大繰り
返し周波数は一般的に1KHz程度であるため、レーザーの
発光周期は1mS以上となり、そのあとの５パルスはその
次の電荷取り込みタイミングT2で確実に取り込まれる。
ここで取り込まれた電荷は取り込み期間における５パ
ルスの発光に対応するものである。そして、この電荷が
偶数フィールドとして読み出されると仮定すると、CCD
カメラの出力フィールドT3に示される様に次の読み出し
ではの奇数フィールドが読み出され、その後順次、
が偶、が奇、が偶、と光軸中心の移動角度θが360
゜となるまでに画像信号を取り込むことができる。しか
し、ここまでの５フィールドの画像積算では奇数、偶数
のフィールドの各々について光軸中心１回転分の積算画
像が得られたことにならず、そのため、もう１回転分の
画像を更に連続して積算することによりこれを実現する
ことができる。但し、このとき１回転目と２回転目で各
取り込み期間でフィールドがそれぞれ奇遇反転しなけれ
ばならないため、１回転における画像取り込みフィール
ド数は奇数としなければならない。
り込みのタイミングを第４図で説明する。第４図におい
て、CCDカメラ９のVD信号SVDはフィールド取り込みタイ
ミングT3に同期してカメラから出力される信号である。
任意のVD信号SVDの立ち上がりエッジからエキシマレー
ザー１をタイミングT1で示されるように3000Hzで発光さ
せ、その時点での光軸中心の移動角度θを０゜とする
と、光軸中心が360゜まで移動する間にVD信号SVDは５回
出力される。VD信号SVDの立ち上がりエッジからCCDカメ
ラ９の電荷取り込みタイミングT2までは一般に数10μＳ
であるため、レーザー発光パルスT1の１番初めの発光パ
ルスはそのすぐ後にある電荷の取り込みタイミングT2で
取り込まれる。そして、エキシマレーザー１の最大繰り
返し周波数は一般的に1KHz程度であるため、レーザーの
発光周期は1mS以上となり、そのあとの５パルスはその
次の電荷取り込みタイミングT2で確実に取り込まれる。
ここで取り込まれた電荷は取り込み期間における５パ
ルスの発光に対応するものである。そして、この電荷が
偶数フィールドとして読み出されると仮定すると、CCD
カメラの出力フィールドT3に示される様に次の読み出し
ではの奇数フィールドが読み出され、その後順次、
が偶、が奇、が偶、と光軸中心の移動角度θが360
゜となるまでに画像信号を取り込むことができる。しか
し、ここまでの５フィールドの画像積算では奇数、偶数
のフィールドの各々について光軸中心１回転分の積算画
像が得られたことにならず、そのため、もう１回転分の
画像を更に連続して積算することによりこれを実現する
ことができる。但し、このとき１回転目と２回転目で各
取り込み期間でフィールドがそれぞれ奇遇反転しなけれ
ばならないため、１回転における画像取り込みフィール
ド数は奇数としなければならない。
以上のようにして、照度むらの最少な画像を取り込む
ことが可能となる。
ことが可能となる。
このときのマイクロコンピュータ11の処理フローを第
５図に示す。
５図に示す。
ただし、同図中、ステップST1のレーザーの繰り返し
周波数の設定は、レーザーの繰り返し周波数を変化させ
ては１画素を取り込み、その画像のヒストグラムが最適
となった時の繰り返し周波数を設定する。また、レーザ
ーの光量が少なく繰り返し周波数を最大まで上げてもCC
Dの入射光量が不足している場合には、繰り返し周波数
を最大に設定し、画像積算数をイメージシフタ（I/S）
の４回転分、６回転分と増加させることによって光量不
足をカバーすることができる。
周波数の設定は、レーザーの繰り返し周波数を変化させ
ては１画素を取り込み、その画像のヒストグラムが最適
となった時の繰り返し周波数を設定する。また、レーザ
ーの光量が少なく繰り返し周波数を最大まで上げてもCC
Dの入射光量が不足している場合には、繰り返し周波数
を最大に設定し、画像積算数をイメージシフタ（I/S）
の４回転分、６回転分と増加させることによって光量不
足をカバーすることができる。
ステップST2の処理において、光軸中心１回転での最
低発光パルス数は光学系の特性と照度むらの許容範囲か
ら一般的に決定され、本実施例では数10パルスである。
低発光パルス数は光学系の特性と照度むらの許容範囲か
ら一般的に決定され、本実施例では数10パルスである。
また、一般にレーザーの光量はほぼ一定しているた
め、ステップST1〜３の処理は最初だけ行えば、以後光
量が大きく変化しない限り不要である。
め、ステップST1〜３の処理は最初だけ行えば、以後光
量が大きく変化しない限り不要である。
なお、CCDカメラがノンインターレースキャン方式の
場合には1/30秒間隔で１フレーム分の画像を１度に取り
込むため、光軸中心１回転分だけの画像積算をすること
により実施例と同様な照度むらの少ない画像を取り込む
ことが可能である。
場合には1/30秒間隔で１フレーム分の画像を１度に取り
込むため、光軸中心１回転分だけの画像積算をすること
により実施例と同様な照度むらの少ない画像を取り込む
ことが可能である。
また、外部同期可能でかつ画像の取り込み周波数が可
変なCCDカメラを使用するのであれば、逆にレーザーの
繰り返し周波数に同期させてCCDカメラの取り込みタイ
ミング及びイメージシフタの回転数を設定することによ
って実施例と同様の画像取り込みを実現できる。この場
合、レーザーの繰り返し周波数を常に最大に固定できる
ため、画像の取り込みを高速に行うことが可能となる。
変なCCDカメラを使用するのであれば、逆にレーザーの
繰り返し周波数に同期させてCCDカメラの取り込みタイ
ミング及びイメージシフタの回転数を設定することによ
って実施例と同様の画像取り込みを実現できる。この場
合、レーザーの繰り返し周波数を常に最大に固定できる
ため、画像の取り込みを高速に行うことが可能となる。
また、実施例のように厳密に画像の取り込みタイミン
グをレーザーの発光タイミング及びイメージシフタの回
転に同期させなくても照度むらが許容範囲内に入る場合
には、イメージシフタの回転軸にエンコーダを設けてイ
メージシフタの回転角をモニターしておき、所望の回転
角に達したときに画像の取り込み指令がでるようにして
おき、その指令が出たタイミングからすぐあとのCCDカ
メラの出力画像信号を１フレーム分取り込み、画像積算
できるようにしておけば、光軸中心が数回転分の画像を
自由に積算することができるようになり、照度むらが許
容範囲内の画像を取り込むことが可能となる。この場
合、レーザーの発光タイミングをCCDカメラの画像取り
込み周期に同期させる必要がないため、レーザーの繰り
返し周波数を最大に設定することが可能となり画像の取
り込みを高速化できる。また、画像積算装置として、連
統して画像積算が可能なタイプでないものも用いること
ができるようになる。
グをレーザーの発光タイミング及びイメージシフタの回
転に同期させなくても照度むらが許容範囲内に入る場合
には、イメージシフタの回転軸にエンコーダを設けてイ
メージシフタの回転角をモニターしておき、所望の回転
角に達したときに画像の取り込み指令がでるようにして
おき、その指令が出たタイミングからすぐあとのCCDカ
メラの出力画像信号を１フレーム分取り込み、画像積算
できるようにしておけば、光軸中心が数回転分の画像を
自由に積算することができるようになり、照度むらが許
容範囲内の画像を取り込むことが可能となる。この場
合、レーザーの発光タイミングをCCDカメラの画像取り
込み周期に同期させる必要がないため、レーザーの繰り
返し周波数を最大に設定することが可能となり画像の取
り込みを高速化できる。また、画像積算装置として、連
統して画像積算が可能なタイプでないものも用いること
ができるようになる。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、CCDカメラの画
像取り込み周期に同期させてエキシマレーザーの繰り返
し周波数及びイメージシフタの回転数を設定するように
したため、例えば、インターレーススキャンの場合、揺
動手段による揺動２回分について連統して画像積算をす
ることにより、以下の効果がある。
像取り込み周期に同期させてエキシマレーザーの繰り返
し周波数及びイメージシフタの回転数を設定するように
したため、例えば、インターレーススキャンの場合、揺
動手段による揺動２回分について連統して画像積算をす
ることにより、以下の効果がある。
（１）照度むらの大きいパルス広で照明された画像につ
いて、照度むらの少ない画像を得ることができる。
いて、照度むらの少ない画像を得ることができる。
（２）光源自体の光量が小さいときにも画像積算数を増
やすことで光量不足をカバーし、最適画像を得ることが
できる。
やすことで光量不足をカバーし、最適画像を得ることが
できる。
（３）CCDカメラ等の撮像手段の最適光量を自動的に設
定することができる。
定することができる。
（４）画像積算をすることによるスムージング効果によ
り画像におけるノイズ除去が可能。
り画像におけるノイズ除去が可能。
第１図は、本発明の一実施例の構成図。 第２図は、イメージシフタによるレーザービームの光軸
中心の軌跡。 第３図は、第１図の装置により画像取り込みをした時の
光軸の動きと画像取り込みタイミングを示す図。 第４図は、第１図の装置による画像取り込み時のタイミ
ングチャート。 第５図は、第１図の装置における処理のフローチャー
ト。 1:エキシマレーザー、2:ビーム整形光学系、3:イメージ
シフタ、4:ハーフミラー、5:ミラー、6:レチクル、7:投
影レンズ、8:ウエハ、9:CCDカメラ、10:画像積算装置、
11:マイクロコンピュータ、12:イメージシフタコントロ
ーラ。
中心の軌跡。 第３図は、第１図の装置により画像取り込みをした時の
光軸の動きと画像取り込みタイミングを示す図。 第４図は、第１図の装置による画像取り込み時のタイミ
ングチャート。 第５図は、第１図の装置における処理のフローチャー
ト。 1:エキシマレーザー、2:ビーム整形光学系、3:イメージ
シフタ、4:ハーフミラー、5:ミラー、6:レチクル、7:投
影レンズ、8:ウエハ、9:CCDカメラ、10:画像積算装置、
11:マイクロコンピュータ、12:イメージシフタコントロ
ーラ。
Claims (3)
- 【請求項１】パルス化されたレーザ光である照明光を受
光し、そのビームを揺動して出射する揺動手段と、揺動
手段が出射する揺動ビームにより照明された画像の情報
を電気信号として取り込む撮像手段と、撮像手段が取り
込んだ電気信号を積算して１つの画像データとする画像
積算手段と、撮像手段の画像情報取り込みタイミングに
同期させて前記パルスレーザーの発光繰り返し周波数及
び揺動手段の揺動周期を制御する手段とを具備すること
を特徴とする画像取り込み装置。 - 【請求項２】画像積算手段は画像積算タイミングが外部
から制御可能であり、更に画像積算回数を設定可能であ
ることを特徴とする請求項１記載の画像取り込み装置。 - 【請求項３】画像積算手段の画像積算タイミングを前記
パルスレーザーの発光タイミングに同期させて制御する
手段を有することを特徴とする請求項２記載の画像取り
込み装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019230A JP2650066B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 画像取り込み装置 |
| US07/646,095 US5141321A (en) | 1990-01-31 | 1991-01-25 | Image receiving apparatus and alignment method for controlling frequency of pulsed emission illuminating light |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019230A JP2650066B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 画像取り込み装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03226187A JPH03226187A (ja) | 1991-10-07 |
| JP2650066B2 true JP2650066B2 (ja) | 1997-09-03 |
Family
ID=11993582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019230A Expired - Lifetime JP2650066B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 画像取り込み装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5141321A (ja) |
| JP (1) | JP2650066B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5347118A (en) * | 1992-01-17 | 1994-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Aligning method and apparatus detecting misalignment using image signals from image pickup |
| JP3296448B2 (ja) * | 1993-03-15 | 2002-07-02 | 株式会社ニコン | 露光制御方法、走査露光方法、露光制御装置、及びデバイス製造方法 |
| JP3033649B2 (ja) * | 1993-06-30 | 2000-04-17 | 安藤電気株式会社 | 光周波数制御装置 |
| US6525303B1 (en) * | 1999-09-23 | 2003-02-25 | Mitutoyo Corporation | Control systems and methods for synchronizing diffuse illumination with a camera |
| US6577453B2 (en) | 2000-04-26 | 2003-06-10 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image reading apparatus |
| JP4759119B2 (ja) | 2000-08-08 | 2011-08-31 | キヤノン株式会社 | スキャン露光装置およびデバイス製造方法 |
| JP4666744B2 (ja) * | 2000-10-30 | 2011-04-06 | キヤノン株式会社 | 計測装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
| JP3605043B2 (ja) | 2001-04-18 | 2004-12-22 | キヤノン株式会社 | 位置計測装置、露光装置、デバイス製造方法および位置計測方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4634876A (en) * | 1983-05-13 | 1987-01-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Object position detecting apparatus using accumulation type sensor |
| US4645347A (en) * | 1985-04-30 | 1987-02-24 | Canadian Patents And Development Limited-Societe Canadienne Des Brevets Et D'exploitation Limitee | Three dimensional imaging device |
| JP2514037B2 (ja) * | 1987-07-02 | 1996-07-10 | キヤノン株式会社 | 検知光学系 |
| JPH02177415A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-10 | Canon Inc | 露光装置 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2019230A patent/JP2650066B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-01-25 US US07/646,095 patent/US5141321A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03226187A (ja) | 1991-10-07 |
| US5141321A (en) | 1992-08-25 |
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