JP2597808Y2 - エアースピンドル通電機構 - Google Patents
エアースピンドル通電機構Info
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- JP2597808Y2 JP2597808Y2 JP1993044075U JP4407593U JP2597808Y2 JP 2597808 Y2 JP2597808 Y2 JP 2597808Y2 JP 1993044075 U JP1993044075 U JP 1993044075U JP 4407593 U JP4407593 U JP 4407593U JP 2597808 Y2 JP2597808 Y2 JP 2597808Y2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、エアースピンドルの通
電機構に関するものである。
電機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】精密切削装置例えばダイシング装置にお
いては、ウェーハをダイシングするブレードの基準位置
設定(セットアップ)はエアースピンドル通電機構を用
い、即ちウェーハを載置するチャックテーブルとブレー
ドとの通電によりなされ、そのためブレードを装着した
エアースピンドルのシャフトにブラシ手段(セットアッ
プ用電極)を接触させて電流検出回路を構成している。
いては、ウェーハをダイシングするブレードの基準位置
設定(セットアップ)はエアースピンドル通電機構を用
い、即ちウェーハを載置するチャックテーブルとブレー
ドとの通電によりなされ、そのためブレードを装着した
エアースピンドルのシャフトにブラシ手段(セットアッ
プ用電極)を接触させて電流検出回路を構成している。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】前記従来のブラシ手段
は、通常カーボンブラシ片で形成されているが、常時エ
アースピンドルのシャフトに接触状態にあるためカーボ
ンブラシ片の摩耗が激しく、定期的にしかも早めに交換
せざるを得ない。セットアップ時以外はカーボンブラシ
片を完全に引き離し、シャフトに対し非接触状態にする
機構を備えたものもあるが、その機構が複雑で高価にな
る問題点がある。本考案は、このような従来の問題点を
解決するためになされ、簡単な機構でブラシ手段の摩耗
を最小限に抑えられるようにした、エアースピンドルの
通電機構を提供することを課題としたものである。
は、通常カーボンブラシ片で形成されているが、常時エ
アースピンドルのシャフトに接触状態にあるためカーボ
ンブラシ片の摩耗が激しく、定期的にしかも早めに交換
せざるを得ない。セットアップ時以外はカーボンブラシ
片を完全に引き離し、シャフトに対し非接触状態にする
機構を備えたものもあるが、その機構が複雑で高価にな
る問題点がある。本考案は、このような従来の問題点を
解決するためになされ、簡単な機構でブラシ手段の摩耗
を最小限に抑えられるようにした、エアースピンドルの
通電機構を提供することを課題としたものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本考案は、チャックテーブルと
ブレードとの通電によりブレードの基準位置を設定する
エアースピンドル通電機構であって、エアースピンドル
の所要部に接触して電流検出回路を構成するブラシ手段
と、このブラシ手段のスピンドルシャフトに対する押圧
力をエアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を調
整することで自在に変化させる圧力手段とが少なくとも
含まれるエアースピンドル通電機構を要旨とするもので
ある。
するための手段として、本考案は、チャックテーブルと
ブレードとの通電によりブレードの基準位置を設定する
エアースピンドル通電機構であって、エアースピンドル
の所要部に接触して電流検出回路を構成するブラシ手段
と、このブラシ手段のスピンドルシャフトに対する押圧
力をエアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を調
整することで自在に変化させる圧力手段とが少なくとも
含まれるエアースピンドル通電機構を要旨とするもので
ある。
【0005】
【作 用】エアースピンドルに供給されたエアーの排気
圧を圧力手段で調整することにより、セットアップ時に
エアースピンドルの内部圧力を小にしてブラシ手段の接
触圧力を高めると共に、通常使用時にはエアースピンド
ルの内部圧力を大にしてブラシ手段の接触圧力を弱め、
これによりブラシ手段の摩耗を最小限に抑えることが出
来る。
圧を圧力手段で調整することにより、セットアップ時に
エアースピンドルの内部圧力を小にしてブラシ手段の接
触圧力を高めると共に、通常使用時にはエアースピンド
ルの内部圧力を大にしてブラシ手段の接触圧力を弱め、
これによりブラシ手段の摩耗を最小限に抑えることが出
来る。
【0006】
【実施例】以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図1において、1はダイシング装置の基台で
あり、その上面にチャックテーブル2がX軸駆動機構3
によりX軸方向に移動可能に形成され、エアースピンド
ルユニット4はY軸駆動機構5により支持台6を介して
X軸方向に移動可能に形成され、且つ支持台6に設けた
Z軸駆動機構7により取付台8を介してZ軸方向に移動
可能に形成されている。
詳説する。図1において、1はダイシング装置の基台で
あり、その上面にチャックテーブル2がX軸駆動機構3
によりX軸方向に移動可能に形成され、エアースピンド
ルユニット4はY軸駆動機構5により支持台6を介して
X軸方向に移動可能に形成され、且つ支持台6に設けた
Z軸駆動機構7により取付台8を介してZ軸方向に移動
可能に形成されている。
【0007】9はダイヤモンド砥粒をニッケルメッキに
よって形成された導電性のブレードであり、前記エアー
スピンドルユニット4のシャフト4aの先端部に着脱可
能に取り付けられ、このブレード9のZ軸方向の基準位
置を設定するには二点鎖線で示したウェーハ10を保持
する前記チャックテーブル2との通電によりなされ、そ
のためエアースピンドル通電機構11を形成し、その回
路に設けられた第1の電流検出手段12により電流を検
出する。
よって形成された導電性のブレードであり、前記エアー
スピンドルユニット4のシャフト4aの先端部に着脱可
能に取り付けられ、このブレード9のZ軸方向の基準位
置を設定するには二点鎖線で示したウェーハ10を保持
する前記チャックテーブル2との通電によりなされ、そ
のためエアースピンドル通電機構11を形成し、その回
路に設けられた第1の電流検出手段12により電流を検
出する。
【0008】エアースピンドル通電機構11は、第2の
電流検出手段13、切り換えスイッチ14、電源15を
有し、更に図2に示すブラシ手段16、圧力手段17と
を含んでいる。
電流検出手段13、切り換えスイッチ14、電源15を
有し、更に図2に示すブラシ手段16、圧力手段17と
を含んでいる。
【0009】前記ブラシ手段16は、スピンドルユニッ
ト4の背圧室20内に設けられており、一対のカーボン
ブラシ片16aが絶縁体4fで形成された取付孔4bに
導電性のスプリング16bを介して装着され、そのスプ
リング16bにより付勢されてシャフト4aの後端部に
接触している。取付孔4bの端部には導電性のばね受片
16cが固定され、このばね受片16cの一方は前記電
源15に至るリード線Aと、他方は前記第2の電流検出
手段13に至るリード線Bとそれぞれ接続され、前記ブ
レード9の基準位置設定時にシャフト4aに通電出来る
ようにしてある。又、一対の取付孔4bにはほぼ中間部
で連通すると共に、エアースピンドルユニット4の後端
に抜ける小孔4cが設けられている。
ト4の背圧室20内に設けられており、一対のカーボン
ブラシ片16aが絶縁体4fで形成された取付孔4bに
導電性のスプリング16bを介して装着され、そのスプ
リング16bにより付勢されてシャフト4aの後端部に
接触している。取付孔4bの端部には導電性のばね受片
16cが固定され、このばね受片16cの一方は前記電
源15に至るリード線Aと、他方は前記第2の電流検出
手段13に至るリード線Bとそれぞれ接続され、前記ブ
レード9の基準位置設定時にシャフト4aに通電出来る
ようにしてある。又、一対の取付孔4bにはほぼ中間部
で連通すると共に、エアースピンドルユニット4の後端
に抜ける小孔4cが設けられている。
【0010】前記圧力手段17は、背圧室20の排気管
18に設けられた絞り弁17aと、排気管18から分岐
させた太目の分岐管18aに設けた電磁弁17bとを備
え、背圧室20の排気圧を調整することで前記カーボン
ブラシ片16aに作用する押圧力を自在に変えられるよ
うにしてある。
18に設けられた絞り弁17aと、排気管18から分岐
させた太目の分岐管18aに設けた電磁弁17bとを備
え、背圧室20の排気圧を調整することで前記カーボン
ブラシ片16aに作用する押圧力を自在に変えられるよ
うにしてある。
【0011】尚、エアースピンドルユニット4には給気
管19が接続され内部の給気路4dに圧縮エアーを供給
出来るようにしてあり、又後部要所にはシャフト4aを
高速回転させるモーター4eが取り付けられている。
管19が接続され内部の給気路4dに圧縮エアーを供給
出来るようにしてあり、又後部要所にはシャフト4aを
高速回転させるモーター4eが取り付けられている。
【0012】次に、ブラシ手段16の作用を圧力手段1
7に関連させて図1及び図2に基づいて説明する。先ず
セットアップ時つまりブレード9の基準位置を設定する
時は、マニュアルで又はCPUの指令により電磁弁17
bを開く。すると、供給されたエアーが多量に排気され
て背圧室20の内部圧力が小(ほぼ大気圧に等しい)と
なる。そして、前記カーボンブラシ片16aはスプリン
グ16bの押圧力によってエアースピンドル4のシャフ
ト4aの後端部に強く接触する。
7に関連させて図1及び図2に基づいて説明する。先ず
セットアップ時つまりブレード9の基準位置を設定する
時は、マニュアルで又はCPUの指令により電磁弁17
bを開く。すると、供給されたエアーが多量に排気され
て背圧室20の内部圧力が小(ほぼ大気圧に等しい)と
なる。そして、前記カーボンブラシ片16aはスプリン
グ16bの押圧力によってエアースピンドル4のシャフ
ト4aの後端部に強く接触する。
【0013】この接触が確実になされたかを確認するた
めに、切り換えスイッチ14を接点14a側に切り換え
る。すると、一対のカーボンブラシ片16aのいずれも
がシャフト4aに接触している場合は電源15からシャ
フト4aに通電され、その電流は第2の電流検出手段1
3により検出される。
めに、切り換えスイッチ14を接点14a側に切り換え
る。すると、一対のカーボンブラシ片16aのいずれも
がシャフト4aに接触している場合は電源15からシャ
フト4aに通電され、その電流は第2の電流検出手段1
3により検出される。
【0014】この確認後に、切り換えスイッチ14を接
点14b側に切り換え、前記Z軸駆動機構7によりエア
ースピンドル4を少しずつ下降させると、ブレード9が
チャックテーブル2に接触するまでは通電しないが接触
した瞬間に回路に電流が流れ、その電流は第1の電流検
出手段12により検出される。これにより、ブレード9
の基準位置を設定することが出来る。
点14b側に切り換え、前記Z軸駆動機構7によりエア
ースピンドル4を少しずつ下降させると、ブレード9が
チャックテーブル2に接触するまでは通電しないが接触
した瞬間に回路に電流が流れ、その電流は第1の電流検
出手段12により検出される。これにより、ブレード9
の基準位置を設定することが出来る。
【0015】次に、稼働時つまりブレード9でウェーハ
10を切断する時について説明する。ブレード9の基準
位置設定後、電磁弁17bを閉めるとエアースピンドル
4の排気は絞り弁17aを通って外部に少し排気される
ため背圧室20の内部圧力が大となり、スプリング16
bの押圧力に打ち勝ってカーボンブラシ片16aを押し
戻す。この結果、カーボンブラシ片16aはシャフト4
aに対する接触圧力が弱められ、カーボンブラシ片16
aの後退により取付孔4b内の空気の一部は小孔4cか
ら外部に逃がされる。
10を切断する時について説明する。ブレード9の基準
位置設定後、電磁弁17bを閉めるとエアースピンドル
4の排気は絞り弁17aを通って外部に少し排気される
ため背圧室20の内部圧力が大となり、スプリング16
bの押圧力に打ち勝ってカーボンブラシ片16aを押し
戻す。この結果、カーボンブラシ片16aはシャフト4
aに対する接触圧力が弱められ、カーボンブラシ片16
aの後退により取付孔4b内の空気の一部は小孔4cか
ら外部に逃がされる。
【0016】この際、カーボンブラシ片16aの移動量
は背圧室20の内部圧力により定まり、その内部圧力は
絞り弁17aにより調整され、つまり絞り弁17aによ
る排気量によってカーボンブラシ片16aの接触圧力を
自在に調節することが可能である。カーボンブラシ片1
6aをシャフト4aから完全に離脱するように構成して
も良いが、シャフト4aに接触させておけばシャフト4
aに帯電する静電気を放電させる(リード線Bを通じて
アースされる)ことが出来るので好都合である。
は背圧室20の内部圧力により定まり、その内部圧力は
絞り弁17aにより調整され、つまり絞り弁17aによ
る排気量によってカーボンブラシ片16aの接触圧力を
自在に調節することが可能である。カーボンブラシ片1
6aをシャフト4aから完全に離脱するように構成して
も良いが、シャフト4aに接触させておけばシャフト4
aに帯電する静電気を放電させる(リード線Bを通じて
アースされる)ことが出来るので好都合である。
【0017】このようにして、カーボンブラシ片16a
のシャフト4aに対する接触圧力を弱めた又は無圧の状
態でモーター4eを駆動し、シャフト4aを回転させて
ウェーハ10を切断(ダイシング)すればカーボンブラ
シ片16aの摩耗を最小限に抑えることが出来る。
のシャフト4aに対する接触圧力を弱めた又は無圧の状
態でモーター4eを駆動し、シャフト4aを回転させて
ウェーハ10を切断(ダイシング)すればカーボンブラ
シ片16aの摩耗を最小限に抑えることが出来る。
【0018】前記ウェーハ10のダイシング工程は、Y
軸駆動装置5により切断すべきライン(ストリート)を
割り出し、X軸駆動機構3によりチャックテーブル2を
X軸方向に移動させながら高速回転するブレード9によ
って遂行される。
軸駆動装置5により切断すべきライン(ストリート)を
割り出し、X軸駆動機構3によりチャックテーブル2を
X軸方向に移動させながら高速回転するブレード9によ
って遂行される。
【0019】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
ダイシング装置等のエアースピンドル通電機構におい
て、エアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を調
整することによりブレードの基準位置決め設定時にはカ
ーボンブラシ片をシャフトに接触させ、使用時にはカー
ボンブラシ片を押し戻してシャフトに対する接触圧力を
減少させるようにしたので、簡単な機構によりカーボン
ブラシ片の摩耗を最小限に抑えることが出来、ブラシ手
段を長持ちさせると共に交換回数が少なくなって作業性
を向上させる等の優れた効果を奏する。
ダイシング装置等のエアースピンドル通電機構におい
て、エアースピンドルに供給されたエアーの排気圧を調
整することによりブレードの基準位置決め設定時にはカ
ーボンブラシ片をシャフトに接触させ、使用時にはカー
ボンブラシ片を押し戻してシャフトに対する接触圧力を
減少させるようにしたので、簡単な機構によりカーボン
ブラシ片の摩耗を最小限に抑えることが出来、ブラシ手
段を長持ちさせると共に交換回数が少なくなって作業性
を向上させる等の優れた効果を奏する。
【図1】 本考案の実施例を示す全体の構成図である。
【図2】 同、概略断面図である。
1…基台 2…チャックテーブル 3…X軸駆動機
構 4…エアースピンドルユニット 4a…シャフ
ト 4b…取付孔 4c…小孔 4d…給気路
4e…モーター 4f…絶縁体 5…Y軸駆動機
構 6…支持台 7…Z軸駆動機構 8…取付台
9…ブレード 10…ウェーハ 11…エアースピンドル通電機構 12…第1の電流
検出手段 13…第2の電流検出手段 14…切り
換えスイッチ 14a、14b…接点 15…電源
16…ブラシ手段 16a…カーボンブラシ片
16b…スプリング 16c…ばね受片 17…
圧力手段 17a…絞り弁 17b…電磁弁 1
8…排気管 18a…分岐管 19…給気管 2
0…背圧室
構 4…エアースピンドルユニット 4a…シャフ
ト 4b…取付孔 4c…小孔 4d…給気路
4e…モーター 4f…絶縁体 5…Y軸駆動機
構 6…支持台 7…Z軸駆動機構 8…取付台
9…ブレード 10…ウェーハ 11…エアースピンドル通電機構 12…第1の電流
検出手段 13…第2の電流検出手段 14…切り
換えスイッチ 14a、14b…接点 15…電源
16…ブラシ手段 16a…カーボンブラシ片
16b…スプリング 16c…ばね受片 17…
圧力手段 17a…絞り弁 17b…電磁弁 1
8…排気管 18a…分岐管 19…給気管 2
0…背圧室
Claims (1)
- 【請求項1】 チャックテーブルとブレードとの通電に
よりブレードの基準位置を設定するエアースピンドル通
電機構であって、エアースピンドルの所要部に接触して
電流検出回路を構成するブラシ手段と、このブラシ手段
のスピンドルシャフトに対する押圧力をエアースピンド
ルに供給されたエアーの排気圧を調整することで自在に
変化させる圧力手段とが少なくとも含まれるエアースピ
ンドル通電機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993044075U JP2597808Y2 (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | エアースピンドル通電機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993044075U JP2597808Y2 (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | エアースピンドル通電機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0710552U JPH0710552U (ja) | 1995-02-14 |
JP2597808Y2 true JP2597808Y2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=12681510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993044075U Expired - Fee Related JP2597808Y2 (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | エアースピンドル通電機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2597808Y2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010082709A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
CN103481384A (zh) * | 2012-06-11 | 2014-01-01 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
CN103660049A (zh) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
KR20220031494A (ko) | 2020-09-04 | 2022-03-11 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5070559U (ja) * | 1973-10-31 | 1975-06-21 | ||
JPS52127359U (ja) * | 1976-03-25 | 1977-09-28 | ||
JP5313026B2 (ja) * | 2009-04-17 | 2013-10-09 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5786332B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2015-09-30 | 宇部興産機械株式会社 | スクリュコンベヤ |
JP5681038B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2015-03-04 | 株式会社ディスコ | 電極ユニット |
JP5906134B2 (ja) * | 2012-05-16 | 2016-04-20 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
KR101492438B1 (ko) * | 2013-08-07 | 2015-02-11 | (주)하이드롬 | Atc 에어스핀들 구동용 에어터빈 제어시스템 |
JP6255285B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2017-12-27 | 株式会社ディスコ | 検出方法 |
JP6975570B2 (ja) * | 2017-07-21 | 2021-12-01 | 株式会社ディスコ | 切削装置、及び、電極端子ユニット |
-
1993
- 1993-07-20 JP JP1993044075U patent/JP2597808Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010082709A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
CN103481384A (zh) * | 2012-06-11 | 2014-01-01 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
CN103660049A (zh) * | 2012-09-24 | 2014-03-26 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
CN103660049B (zh) * | 2012-09-24 | 2017-03-01 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
KR20220031494A (ko) | 2020-09-04 | 2022-03-11 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0710552U (ja) | 1995-02-14 |
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Legal Events
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