JP2611747B2 - ウエハ収納箱搬送装置 - Google Patents
ウエハ収納箱搬送装置Info
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- JP2611747B2 JP2611747B2 JP32758094A JP32758094A JP2611747B2 JP 2611747 B2 JP2611747 B2 JP 2611747B2 JP 32758094 A JP32758094 A JP 32758094A JP 32758094 A JP32758094 A JP 32758094A JP 2611747 B2 JP2611747 B2 JP 2611747B2
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- wafer storage
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- carrier
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板であるウエ
ハの複数枚を収納するウェハ収納箱を次工程のステーシ
ョンに搬送するウェハ収納箱搬送装置に関する。
ハの複数枚を収納するウェハ収納箱を次工程のステーシ
ョンに搬送するウェハ収納箱搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、集積回路素子をウェハに形成す
るにあたっては複数の工程からなる一連の製造工程でな
されている。そして、これらの工程と工程の間でウエハ
を移動させる必要がある。しかしながら、脆弱なウェハ
を一枚ずつ送るのは非効率的だけでなく破損する恐れが
ある。従って、通常は、複数枚のウェハをウェハ収納箱
に収納し、このウェハ収納箱を自動搬送し行なってい
た。
るにあたっては複数の工程からなる一連の製造工程でな
されている。そして、これらの工程と工程の間でウエハ
を移動させる必要がある。しかしながら、脆弱なウェハ
を一枚ずつ送るのは非効率的だけでなく破損する恐れが
ある。従って、通常は、複数枚のウェハをウェハ収納箱
に収納し、このウェハ収納箱を自動搬送し行なってい
た。
【０００３】図４は従来のウェハ収納箱搬送装置の一例
を示す図である。従来、この種のウェハ収納箱搬送装置
は、例えば、図４に示すように、ウェハの複数枚を収納
するウェハ収納箱（図示せず）の受け渡しを行なわれる
複数のステーション間に配設される軌道レール１と、ウ
ェハ収納箱（以下「キャリア」という）を乗せ軌道レー
ル１上を走行し任意のステーションの停止点（黒丸で示
す）１２で停止する複数の台車２とを備えている。
を示す図である。従来、この種のウェハ収納箱搬送装置
は、例えば、図４に示すように、ウェハの複数枚を収納
するウェハ収納箱（図示せず）の受け渡しを行なわれる
複数のステーション間に配設される軌道レール１と、ウ
ェハ収納箱（以下「キャリア」という）を乗せ軌道レー
ル１上を走行し任意のステーションの停止点（黒丸で示
す）１２で停止する複数の台車２とを備えている。
【０００４】そして、一般的にベイと呼ばれる小部屋
（以下「ベイ」と記す）には工程が割り振られ処理装置
が設置されている。処理装置はクリーンルームの専有面
積を最小限にするためオペレーション部のみクリーンル
ームに面するように壁に埋め込まれている。これら工程
ラインは各ベイにまたがるため工程にそって配設される
軌道レール１上を走行し台車２を次工程のベイ１１へ移
動させる必要がある。
（以下「ベイ」と記す）には工程が割り振られ処理装置
が設置されている。処理装置はクリーンルームの専有面
積を最小限にするためオペレーション部のみクリーンル
ームに面するように壁に埋め込まれている。これら工程
ラインは各ベイにまたがるため工程にそって配設される
軌道レール１上を走行し台車２を次工程のベイ１１へ移
動させる必要がある。
【０００５】また、ベイ１１の入り口には自動棚１０が
設置されており、そのベイの処理装置において処理され
るウエハを収納するキャリアを自動で管理し保管するも
のである。そして、この自動棚１０に沿って天井を周回
する軌道レール１が設置されている。すなわち、この軌
道レール１上にはキャリアを積載し走行する台車２があ
る。そして、台車２は自動棚１０から次工程の自動棚１
０へキャリアを自動的に搬送するものである。
設置されており、そのベイの処理装置において処理され
るウエハを収納するキャリアを自動で管理し保管するも
のである。そして、この自動棚１０に沿って天井を周回
する軌道レール１が設置されている。すなわち、この軌
道レール１上にはキャリアを積載し走行する台車２があ
る。そして、台車２は自動棚１０から次工程の自動棚１
０へキャリアを自動的に搬送するものである。
【０００６】図５は図４の自動棚を示す斜視図である。
図４の自動棚１０には、棚に保管されたキャリアを軌道
レール１上を走行する台車２へ積み卸しする回転移載機
１３が設置されている。回転移載機１３は通路側および
自動棚側の両方に移載フォークをもっており動作は両フ
ォークともに同じ動きを行う。従って台車２から自動棚
１０へ、自動棚１０から台車への移載を同時に行うこと
ができる。回転移載機１３によって取り込まれたキャリ
アは移載ロボット１５により棚内へ保管される。また、
自動棚には作業者がキャリアを入庫または出庫する入出
庫口１４が設けられている。
図４の自動棚１０には、棚に保管されたキャリアを軌道
レール１上を走行する台車２へ積み卸しする回転移載機
１３が設置されている。回転移載機１３は通路側および
自動棚側の両方に移載フォークをもっており動作は両フ
ォークともに同じ動きを行う。従って台車２から自動棚
１０へ、自動棚１０から台車への移載を同時に行うこと
ができる。回転移載機１３によって取り込まれたキャリ
アは移載ロボット１５により棚内へ保管される。また、
自動棚には作業者がキャリアを入庫または出庫する入出
庫口１４が設けられている。
【０００７】台車の走行は、軌道上に自動棚１０への移
載のための停止点１２（以下単に「ステーション」とい
う）を設け、このステーションとステーションの間（以
下「ゾーン」という）内に存在できる台車を一台とする
ことにより台車と台車が衝突することなく走行できるよ
う制御している。台車を２０台以上も投入する大規模な
装置や自動棚の数よりも台車数が多くなる場合は、台車
の衝突を防止するために自動棚１０と自動棚の間にキャ
リアを待機させるダミーのステーションを設ける必要が
ある。
載のための停止点１２（以下単に「ステーション」とい
う）を設け、このステーションとステーションの間（以
下「ゾーン」という）内に存在できる台車を一台とする
ことにより台車と台車が衝突することなく走行できるよ
う制御している。台車を２０台以上も投入する大規模な
装置や自動棚の数よりも台車数が多くなる場合は、台車
の衝突を防止するために自動棚１０と自動棚の間にキャ
リアを待機させるダミーのステーションを設ける必要が
ある。
【０００８】ここで、各台車は搭載したキャリア３の次
工程に該当する自動棚が割り付けられる。搬送先が割り
付いた台車２は搬送先に向かって走行を行うが、このと
き先行台車が前のゾーンに存在する場合、先行台車がゾ
ーンから移動するまで後続台車は進入することができな
いため、先頭台車から順々に台車が縦列状態となる。こ
のような状態においては、先頭台車が自動棚へのキャリ
ア移載を行う場合には、後続台車は、先頭台車が移載を
完了させゾーンを脱出するまでの間待機していた。
工程に該当する自動棚が割り付けられる。搬送先が割り
付いた台車２は搬送先に向かって走行を行うが、このと
き先行台車が前のゾーンに存在する場合、先行台車がゾ
ーンから移動するまで後続台車は進入することができな
いため、先頭台車から順々に台車が縦列状態となる。こ
のような状態においては、先頭台車が自動棚へのキャリ
ア移載を行う場合には、後続台車は、先頭台車が移載を
完了させゾーンを脱出するまでの間待機していた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の搬送装置では、走行軌道が１本であり分岐する
軌道レールがなく後続台車が先行台車を追い越すことが
できない。言い換えれば、後続台車は先行台車がゾーン
を脱出するまで次のゾーンへの進入ができず余儀なく待
機しなければならないため待ち時間が発生していた。こ
の待ち時間は著しく搬送効率を低下させていた。
た従来の搬送装置では、走行軌道が１本であり分岐する
軌道レールがなく後続台車が先行台車を追い越すことが
できない。言い換えれば、後続台車は先行台車がゾーン
を脱出するまで次のゾーンへの進入ができず余儀なく待
機しなければならないため待ち時間が発生していた。こ
の待ち時間は著しく搬送効率を低下させていた。
【００１０】従って、本発明の目的は、後続台車の待ち
時間を削減し搬送効率を向上させるウェハ収納箱搬送装
置を提供することである。
時間を削減し搬送効率を向上させるウェハ収納箱搬送装
置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、半導体
基板であるウェハの複数枚を収納するウェハ収納箱の受
け渡しが行なわれる複数のステーション間に配設される
軌道レールと、前記ウェハ収納箱を乗せ前記軌道レール
上を走行し任意の前記ステーションで停止する複数の台
車とを備えるウェハ収納箱搬送装置において、前記台車
の２台が接近し停滞したとき前記２台の台車の前記ウェ
ハ収納箱を前記軌道レール上で移し替える移し替え機構
を備えるウェハ収納箱搬送装置である。
基板であるウェハの複数枚を収納するウェハ収納箱の受
け渡しが行なわれる複数のステーション間に配設される
軌道レールと、前記ウェハ収納箱を乗せ前記軌道レール
上を走行し任意の前記ステーションで停止する複数の台
車とを備えるウェハ収納箱搬送装置において、前記台車
の２台が接近し停滞したとき前記２台の台車の前記ウェ
ハ収納箱を前記軌道レール上で移し替える移し替え機構
を備えるウェハ収納箱搬送装置である。
【００１２】また、前記移し替え機構が、前記ウェハ収
納箱を掴み保持する把持部の二つを両端にもつアームと
このアームを上下させるとともに二つの前記把持部を１
８０度回転させ該把持部の位置を入れ換える昇降・方向
変換機構と前記把持部で保持される前記ウェハ収納箱の
姿勢を変える向き変更機構とを備えている。
納箱を掴み保持する把持部の二つを両端にもつアームと
このアームを上下させるとともに二つの前記把持部を１
８０度回転させ該把持部の位置を入れ換える昇降・方向
変換機構と前記把持部で保持される前記ウェハ収納箱の
姿勢を変える向き変更機構とを備えている。
【００１３】
【実施例】次に本発明の実施例１について図１を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１４】図１（ａ）〜（ｃ）は本発明のウェハ収納
箱搬送装置の一実施例を説明するための移し替え機構を
示す斜視図（ａ）および移し替え機構の動作順に示す図
〔（ｂ），（ｃ）］である。このウェハ収納箱搬送装置
は、図１（ａ）に示すように、台車２ａ，２ｂの停滞が
発生しステーション１２ａおよびステーション１２ｂに
台車２ａ，２ｂが停止したとき両台車２ａ，２ｂのキャ
リア３を移し替える移し替え機構４を設けたことであ
る。それ以外は従来例と同じである。
箱搬送装置の一実施例を説明するための移し替え機構を
示す斜視図（ａ）および移し替え機構の動作順に示す図
〔（ｂ），（ｃ）］である。このウェハ収納箱搬送装置
は、図１（ａ）に示すように、台車２ａ，２ｂの停滞が
発生しステーション１２ａおよびステーション１２ｂに
台車２ａ，２ｂが停止したとき両台車２ａ，２ｂのキャ
リア３を移し替える移し替え機構４を設けたことであ
る。それ以外は従来例と同じである。
【００１５】この移し替え機構４は、キャリア３を掴み
保持する把持部４ｄを両端にもつアーム４ｂと、このア
ーム４ｂを上下させるとともに二つの把持部４ｄを１８
０度回転させ把持部４ｄの位置を入れ換える昇降・方向
変換機構４ａと、把持部４ｄで保持されるキャリア３の
姿勢を変える向き変更機構４ｃとを備えている。
保持する把持部４ｄを両端にもつアーム４ｂと、このア
ーム４ｂを上下させるとともに二つの把持部４ｄを１８
０度回転させ把持部４ｄの位置を入れ換える昇降・方向
変換機構４ａと、把持部４ｄで保持されるキャリア３の
姿勢を変える向き変更機構４ｃとを備えている。
【００１６】なお、昇降・方向変換機構４ａは直線的に
アーム４ｂを移動させる機構とアーム４ｂを１８０度回
転させる機構をもつ複合機構をもつ市販のニューマチッ
ク機器であり、その後端部は天井部に取付けられてい
る。また、アーム４ｂの両端の把持部４ｄは、両側が開
いた箱状のものであって、両側の壁部の下側が折れ曲っ
てキャリア３の下面を乗せるエッジ部が張出している。
さらに、向き変更機構４ｃは、１８０度回転するロータ
リソレノイドで構成され、把持部４ｄでキャリア３を台
車２ａ，２Ｂを入れ替えたとき変えられたキャリア３の
ウェハ出入口の向きを元の向きに直すたに設けられてい
る。
アーム４ｂを移動させる機構とアーム４ｂを１８０度回
転させる機構をもつ複合機構をもつ市販のニューマチッ
ク機器であり、その後端部は天井部に取付けられてい
る。また、アーム４ｂの両端の把持部４ｄは、両側が開
いた箱状のものであって、両側の壁部の下側が折れ曲っ
てキャリア３の下面を乗せるエッジ部が張出している。
さらに、向き変更機構４ｃは、１８０度回転するロータ
リソレノイドで構成され、把持部４ｄでキャリア３を台
車２ａ，２Ｂを入れ替えたとき変えられたキャリア３の
ウェハ出入口の向きを元の向きに直すたに設けられてい
る。
【００１７】この移し替え機構４の動作は、まず、図１
（ｂ）に示すように、軌道レール１上の台車２ａ，２ｂ
から外れた位置に把持部４ｄを降し、軌道レール１上を
台車２ａ，２ｂを下降した把持部４ｄに向けて移動させ
る。このことにより把持部４ｄのエッジがキャリア３の
底部の溝に挿入され把持部４ｄがキャリア３を乗せる。
そして、図１（ｃ）に示すように、この状態から昇降・
方向変換機構４ａにより把持部４ｄを上昇させアーム４
ｂを１８０度回転させる。これにより前後の台車２ａ，
２ｂのキャリア３の位置を入れ替える。このとき同時に
向き変更機構５により把持部４ｄを１８０度旋回させ入
れ換えにより姿勢が反対になったキャリア３の向きを修
正する。
（ｂ）に示すように、軌道レール１上の台車２ａ，２ｂ
から外れた位置に把持部４ｄを降し、軌道レール１上を
台車２ａ，２ｂを下降した把持部４ｄに向けて移動させ
る。このことにより把持部４ｄのエッジがキャリア３の
底部の溝に挿入され把持部４ｄがキャリア３を乗せる。
そして、図１（ｃ）に示すように、この状態から昇降・
方向変換機構４ａにより把持部４ｄを上昇させアーム４
ｂを１８０度回転させる。これにより前後の台車２ａ，
２ｂのキャリア３の位置を入れ替える。このとき同時に
向き変更機構５により把持部４ｄを１８０度旋回させ入
れ換えにより姿勢が反対になったキャリア３の向きを修
正する。
【００１８】図２は図１の移し替え機構をもつウェハ収
納箱搬送装置の動作を説明するためのフローチャートで
ある。次にこのウェハ収納箱搬送装置の動作を説明す
る。
納箱搬送装置の動作を説明するためのフローチャートで
ある。次にこのウェハ収納箱搬送装置の動作を説明す
る。
【００１９】まず、図２のステップＡで、ステーション
で縦列状態の台車が先頭台車の移載によって待機状態に
なり台車の停滞が発生したとする。次に、ステップＢ
で、停止している２台の台車のキャリアの在席状態を判
断する。ここで、ステップＢでは台車の在席状態により
３つの状態が考えられるので、これらケース毎に以下に
説明する。
で縦列状態の台車が先頭台車の移載によって待機状態に
なり台車の停滞が発生したとする。次に、ステップＢ
で、停止している２台の台車のキャリアの在席状態を判
断する。ここで、ステップＢでは台車の在席状態により
３つの状態が考えられるので、これらケース毎に以下に
説明する。
【００２０】まず、ステップＢにおいて先行台車の在席
状態が空車、後続台車の在席状態が実車の場合であるケ
ース１では、ステップＣに進み、先行台車の積みステー
ションまでの距離が後続台車の降すステーションまでの
距離と比較し、距離が同じまたは後続車の卸しステーシ
ョンまでの距離が先行台車の積みステーションまでの距
離より長いときはステップＤへ移行する。そして、前述
した移し替え機構により後続台車よりキャリアの移し替
えを実行する。なお、このとき両台車の行き先ステーシ
ョンが同じ場合、両台車のステーションまでの距離は同
じとする。このようにキャリア移し替えによって行先台
車と後続台車の行き先が入れ替わることにより、後続車
が先行台車の移載により発生する待ち時間を削減するこ
とができる。また、ステップＣにおいて先行台車のつみ
ステーションまでの距離が後続車の卸しステーションの
距離より長いときはステップＥへ移行し、キャリアの移
し替えを行わず搬送を続行させる。
状態が空車、後続台車の在席状態が実車の場合であるケ
ース１では、ステップＣに進み、先行台車の積みステー
ションまでの距離が後続台車の降すステーションまでの
距離と比較し、距離が同じまたは後続車の卸しステーシ
ョンまでの距離が先行台車の積みステーションまでの距
離より長いときはステップＤへ移行する。そして、前述
した移し替え機構により後続台車よりキャリアの移し替
えを実行する。なお、このとき両台車の行き先ステーシ
ョンが同じ場合、両台車のステーションまでの距離は同
じとする。このようにキャリア移し替えによって行先台
車と後続台車の行き先が入れ替わることにより、後続車
が先行台車の移載により発生する待ち時間を削減するこ
とができる。また、ステップＣにおいて先行台車のつみ
ステーションまでの距離が後続車の卸しステーションの
距離より長いときはステップＥへ移行し、キャリアの移
し替えを行わず搬送を続行させる。
【００２１】ステップＢにおいて先行台車の在席状態が
実車、後続台車の在席状態が空車のようなケース２の場
合は、ステップＦに進み、後続台車の積みステーション
までの距離と先行台車の卸しステーションまでの距離と
を比較し、後続車の積みステーションまでの距離が先行
台車の卸しステーションまでの距離より長いときはステ
ップＧへ移行し、前述したようにキャリアの移し替えを
実行する。このキャリア移し替えによって先行台車と後
続台車の行き先が入れ替わることにより、後続車が先行
台車の移載により発生する待ち時間を削減することがで
きる。また、ステップＦにおいて後続台車の積みステー
ションまでの距離が先行車の積みステーションの距離よ
り長いときはステップＥへ移行し、キャリアの移し替え
を行わず搬送を続行させる。
実車、後続台車の在席状態が空車のようなケース２の場
合は、ステップＦに進み、後続台車の積みステーション
までの距離と先行台車の卸しステーションまでの距離と
を比較し、後続車の積みステーションまでの距離が先行
台車の卸しステーションまでの距離より長いときはステ
ップＧへ移行し、前述したようにキャリアの移し替えを
実行する。このキャリア移し替えによって先行台車と後
続台車の行き先が入れ替わることにより、後続車が先行
台車の移載により発生する待ち時間を削減することがで
きる。また、ステップＦにおいて後続台車の積みステー
ションまでの距離が先行車の積みステーションの距離よ
り長いときはステップＥへ移行し、キャリアの移し替え
を行わず搬送を続行させる。
【００２２】ステップＢにおいて先行台車の在席状態が
実車、後続台車の在席状態が実車であるケース３の場合
は、ステップＨにより先行台車の卸しステーションまで
の距離と後続台車の卸しステーションまでの距離とを比
較し、後続車の卸しステーションまでの距離が先行台車
の降すステーションまでの距離より長いときはステップ
Ｙへ移行し、前述のようにキャリアの移し替えを実行す
る。このように、キャリア移し替えによって先行台車と
後続台車の行き先が入れ替わることにより、後続車が先
行台車の移載により発生する待ち時間を削減することが
できる。また、ステップＦにおいて先行台車の卸しステ
ーションまでの距離が後続台車の卸しステーションの距
離より長いときはステップＥへ移行し、キャリアの移し
替えを行わず搬送を続行させる。
実車、後続台車の在席状態が実車であるケース３の場合
は、ステップＨにより先行台車の卸しステーションまで
の距離と後続台車の卸しステーションまでの距離とを比
較し、後続車の卸しステーションまでの距離が先行台車
の降すステーションまでの距離より長いときはステップ
Ｙへ移行し、前述のようにキャリアの移し替えを実行す
る。このように、キャリア移し替えによって先行台車と
後続台車の行き先が入れ替わることにより、後続車が先
行台車の移載により発生する待ち時間を削減することが
できる。また、ステップＦにおいて先行台車の卸しステ
ーションまでの距離が後続台車の卸しステーションの距
離より長いときはステップＥへ移行し、キャリアの移し
替えを行わず搬送を続行させる。
【００２３】図３は移し替え機構の他の実施例を示す斜
視図（ａ）および移し替え機構の動作順に示す図
〔（ａ），（ｂ）〕である。この移し替え機構は、図３
（ａ）に示すように、天井部に取り付けられたつりボル
ト９に支えられる基台７ａと、基台７ａの摺動面を摺動
し軌道レール１に沿って移動する摺動台７ｂと、この摺
動台７ｂの溝内を移動し昇降するとともに台車２ａ，２
ｂのキャリア３を保持したり開放したりするフォーク８
とを備えている。
視図（ａ）および移し替え機構の動作順に示す図
〔（ａ），（ｂ）〕である。この移し替え機構は、図３
（ａ）に示すように、天井部に取り付けられたつりボル
ト９に支えられる基台７ａと、基台７ａの摺動面を摺動
し軌道レール１に沿って移動する摺動台７ｂと、この摺
動台７ｂの溝内を移動し昇降するとともに台車２ａ，２
ｂのキャリア３を保持したり開放したりするフォーク８
とを備えている。
【００２４】この移し替え機構の動作は、まず、図３
（ｂ）に示すように、フオーク８で台車２ａからキャリ
ア３を持ち上げた摺動台７ｂを矢印ａの方向に移動し、
後段のフォーク８を台車２ｂ上に位置決めする。そし
て、後段のフオーク８を下降させキャリア３を掴む。次
に、矢印ｂの方向に摺動台７ｂを移動させ前段のフオー
ク８でキャリア３を台車２ｂにキャリア３を移載すると
ともに後段のフオーク８を下降させ台車２ａにキャリア
３を移載する。
（ｂ）に示すように、フオーク８で台車２ａからキャリ
ア３を持ち上げた摺動台７ｂを矢印ａの方向に移動し、
後段のフォーク８を台車２ｂ上に位置決めする。そし
て、後段のフオーク８を下降させキャリア３を掴む。次
に、矢印ｂの方向に摺動台７ｂを移動させ前段のフオー
ク８でキャリア３を台車２ｂにキャリア３を移載すると
ともに後段のフオーク８を下降させ台車２ａにキャリア
３を移載する。
【００２５】この移し替え機構は、摺動台の移動距離が
調節できる機構をもっているので、キャリアを保持する
把持部が固定された前述の移し替え機構に比べ汎用性が
優れている。この移し替え機構を備えたウェハ収納箱搬
送装置の動作は、前述と同様であるので省略する。
調節できる機構をもっているので、キャリアを保持する
把持部が固定された前述の移し替え機構に比べ汎用性が
優れている。この移し替え機構を備えたウェハ収納箱搬
送装置の動作は、前述と同様であるので省略する。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、同一軌道
レール上で停滞する先行台車と後続台車のキャリアを移
し替える機構を各ステーション間に設けることによっ
て、それぞれの台車の行き先を任意に変えることができ
るので、先行台車のキャリアの移載によって発生してい
た後続台車の待ち時間を大幅に削減し搬送効率を向上さ
せるという効果がある。
レール上で停滞する先行台車と後続台車のキャリアを移
し替える機構を各ステーション間に設けることによっ
て、それぞれの台車の行き先を任意に変えることができ
るので、先行台車のキャリアの移載によって発生してい
た後続台車の待ち時間を大幅に削減し搬送効率を向上さ
せるという効果がある。
【図１】本発明のウェハ収納箱搬送装置の一実施例を説
明するための移し替え機構を示す斜視図（ａ）および移
し替え機構の動作順に示す図〔（ｂ），（ｃ）］であ
る。
明するための移し替え機構を示す斜視図（ａ）および移
し替え機構の動作順に示す図〔（ｂ），（ｃ）］であ
る。
【図２】図１の移し替え機構をもつウェハ収納箱搬送装
置の動作を説明するためのフローチャートである。
置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】移し替え機構の他の実施例を示す斜視図（ａ）
および移し替え機構の動作順に示す図〔（ａ），
（ｂ）〕である。
および移し替え機構の動作順に示す図〔（ａ），
（ｂ）〕である。
【図４】従来のウェハ収納箱搬送装置の一例を示す図で
ある。
ある。
【図５】図４の自動棚を示す斜視図である。
１ 軌道レール ２，２ａ，２ｂ 台車 ３ キャリア ４ 移し替え機構 ４ａ 昇降・方向変換機構 ４ｂ アーム ４ｃ 向き変更機構 ４ｄ 把持部 ７ａ 基台 ７ｂ 摺動台 ８ フオーク ９ つりボルト １０ 自動棚 １１ ベイ １２，１２ａ，１２ｂ ステーション １３ 回転移載機 １４ 入出庫口 １５ 移載ロボット
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体基板であるウェハの複数枚を収納
するウェハ収納箱の受け渡しが行なわれる複数のステー
ション間に配設される軌道レールと、前記ウェハ収納箱
を乗せ前記軌道レール上を走行し任意の前記ステーショ
ンで停止する複数の台車とを備えるウェハ収納箱搬送装
置において、前記台車の２台が接近し停滞したとき前記
２台の台車の前記ウェハ収納箱を前記軌道レール上で移
し替える移し替え機構を備えることを特徴とするウェハ
収納箱搬送装置。 - 【請求項２】 前記移し替え機構が、前記ウェハ収納箱
を掴み保持する把持部の二つを両端にもつアームとこの
アームを上下させるとともに二つの前記把持部を１８０
度回転させ該把持部の位置を入れ換える昇降・方向変換
機構と前記把持部で保持される前記ウェハ収納箱の姿勢
を変える向き変更機構とを備えることを特徴とする請求
項１記載のウェハ収納箱搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32758094A JP2611747B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | ウエハ収納箱搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32758094A JP2611747B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | ウエハ収納箱搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08186160A JPH08186160A (ja) | 1996-07-16 |
| JP2611747B2 true JP2611747B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=18200648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32758094A Expired - Lifetime JP2611747B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | ウエハ収納箱搬送装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2611747B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR200473111Y1 (ko) * | 2012-08-06 | 2014-06-13 | (주)아모레퍼시픽 | 립스틱 포장용 케이스 이송장치 |
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-
1994
- 1994-12-28 JP JP32758094A patent/JP2611747B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08186160A (ja) | 1996-07-16 |
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