JP2584946Y2 - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
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- JP2584946Y2 JP2584946Y2 JP2452093U JP2452093U JP2584946Y2 JP 2584946 Y2 JP2584946 Y2 JP 2584946Y2 JP 2452093 U JP2452093 U JP 2452093U JP 2452093 U JP2452093 U JP 2452093U JP 2584946 Y2 JP2584946 Y2 JP 2584946Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- mark
- analysis
- sample container
- ray fluorescence
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、蛍光Ｘ線分析装置に係
り、特には、試料の局所分析に適用される試料容器の改
良に関する。
り、特には、試料の局所分析に適用される試料容器の改
良に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、蛍光Ｘ線分析装置においては、
励起源としてＸ線を使用するので、励起源として荷電粒
子を使用するような分析装置(たとえばＥＰＭＡ)のよう
に、励起源を絞って試料表面に照射するのが困難であ
る。
励起源としてＸ線を使用するので、励起源として荷電粒
子を使用するような分析装置(たとえばＥＰＭＡ)のよう
に、励起源を絞って試料表面に照射するのが困難であ
る。
【０００３】そこで、本発明者らは、図５に示すよう
に、試料容器aに収納された試料bと一次ソーラスリット
cとの間に試料bの表面の局部を見込む視野制限絞りdを
配置し、Ｘ線管eからの一次Ｘ線を試料bに照射し、これ
に応じて試料bから発生する蛍光Ｘ線を視野制限用絞りd
を通して一次ソーラスリットcに導いて平行ビームとし
て取り出し、このＸ線を分光結晶fでスペクトルに分光
した後、分光された特定波長のＸ線を二次ソーラスリッ
トgを通じてＸ線検出器hで検出することで、局所分析を
可能とした蛍光Ｘ線分析装置を提供した(特願平３−２
８７７０２号参照)。
に、試料容器aに収納された試料bと一次ソーラスリット
cとの間に試料bの表面の局部を見込む視野制限絞りdを
配置し、Ｘ線管eからの一次Ｘ線を試料bに照射し、これ
に応じて試料bから発生する蛍光Ｘ線を視野制限用絞りd
を通して一次ソーラスリットcに導いて平行ビームとし
て取り出し、このＸ線を分光結晶fでスペクトルに分光
した後、分光された特定波長のＸ線を二次ソーラスリッ
トgを通じてＸ線検出器hで検出することで、局所分析を
可能とした蛍光Ｘ線分析装置を提供した(特願平３−２
８７７０２号参照)。
【０００４】ところで、上記構成の蛍光Ｘ線分析装置に
おいて、試料b中の成分の偏析状態の有無を調べるな
ど、局所分析を行う場合には、試料bと視野制限絞りdと
の相対位置を変化させて試料の分析点を決定することが
必要となる。
おいて、試料b中の成分の偏析状態の有無を調べるな
ど、局所分析を行う場合には、試料bと視野制限絞りdと
の相対位置を変化させて試料の分析点を決定することが
必要となる。
【０００５】試料の分析点の位置を特定するには、たと
えば、試料容器aをＸＹテーブル上に配置し、このＸＹ
テーブルにパルスモータを接続し、このパルスモータを
コンピュータによって移動制御することで、Ｘ軸、Ｙ軸
方向の各移動量を認識させるようにすることが考えられ
る。
えば、試料容器aをＸＹテーブル上に配置し、このＸＹ
テーブルにパルスモータを接続し、このパルスモータを
コンピュータによって移動制御することで、Ｘ軸、Ｙ軸
方向の各移動量を認識させるようにすることが考えられ
る。
【０００６】しかし、このようなＸＹテーブルを使用す
る場合には、試料を移動させるに十分なスペースを分析
室内に確保することが必要となり、分析装置全体が大型
化する。また、分析室内にはＸ線管球eの一部が突設し
て配置されていることもあって、現実には試料を移動さ
せるに十分なスペースを確保するのが困難である。ま
た、分析室内に十分なスペースを確保できたとしても、
移動距離が大きいと光学的な条件が合わなくなって、検
出感度が低下してしまうという難点もある。
る場合には、試料を移動させるに十分なスペースを分析
室内に確保することが必要となり、分析装置全体が大型
化する。また、分析室内にはＸ線管球eの一部が突設し
て配置されていることもあって、現実には試料を移動さ
せるに十分なスペースを確保するのが困難である。ま
た、分析室内に十分なスペースを確保できたとしても、
移動距離が大きいと光学的な条件が合わなくなって、検
出感度が低下してしまうという難点もある。
【０００７】このため、本発明者らは、試料bと視野制
限絞りdとの相対位置を極座標的に変化させるr−θ移動
機構を提供した(特願平５−９７７４４号参照)。
限絞りdとの相対位置を極座標的に変化させるr−θ移動
機構を提供した(特願平５−９７７４４号参照)。
【０００８】このr−θ移動機構では、試料を所定の回
転軸周りに任意の角度θだけ回転させる回転手段と、視
野制限絞りを一次ソーラスリットの入射軸に直交しかつ
試料の回転中心を中心とした半径方向に沿って移動させ
る移動手段とを組み合わて構成されている。
転軸周りに任意の角度θだけ回転させる回転手段と、視
野制限絞りを一次ソーラスリットの入射軸に直交しかつ
試料の回転中心を中心とした半径方向に沿って移動させ
る移動手段とを組み合わて構成されている。
【０００９】このr−θ移動機構を用いれば、比較的小
さいスペースの分析室内においても、試料bの任意の分
析位置に視野制限絞りdの開口部を臨ませることができ
て局所分析を行うことができるという利点がある。
さいスペースの分析室内においても、試料bの任意の分
析位置に視野制限絞りdの開口部を臨ませることができ
て局所分析を行うことができるという利点がある。
【００１０】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなr−θ移動機構を設けた場合においても、試料の基
準位置が不明確では、どの程度、試料を回転し、また、
半径方向に移動させれば、所望の分析点に視野制限絞り
の開口部を位置させることができるのかが不明であり、
試料上の分析位置を把握することができない。
うなr−θ移動機構を設けた場合においても、試料の基
準位置が不明確では、どの程度、試料を回転し、また、
半径方向に移動させれば、所望の分析点に視野制限絞り
の開口部を位置させることができるのかが不明であり、
試料上の分析位置を把握することができない。
【００１１】本考案は、上述の問題点に鑑みてなされた
ものであって、試料の任意の局所を分析する際に、その
分析点の位置を特定するための基準位置を容易に設定で
きるようにすることを課題とする。
ものであって、試料の任意の局所を分析する際に、その
分析点の位置を特定するための基準位置を容易に設定で
きるようにすることを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本考案では、上述の課題
を解決するために、次の構成を採る。
を解決するために、次の構成を採る。
【００１３】すなわち、本考案の蛍光Ｘ線分析装置は、
筒状の試料容器を備え、この試料容器の胴部には環体が
回転可能に外嵌され、この環体の周方向の一部に基準位
置設定用のマークが形成される一方、前記試料容器の外
方には環体に対向する位置に、マークの有無を検出する
マーク検出手段が配置されている
筒状の試料容器を備え、この試料容器の胴部には環体が
回転可能に外嵌され、この環体の周方向の一部に基準位
置設定用のマークが形成される一方、前記試料容器の外
方には環体に対向する位置に、マークの有無を検出する
マーク検出手段が配置されている
【００１４】
【作用】上記構成において、局所分析開始前に予め環体
を回転させてそのマークが試料上に予め設定した基準位
置に一致するように調整する。そして、次に、試料容器
を回転させてマーク検出手段がマークを検出するように
する。すると、この時点で試料上の基準位置と、試料容
器を回転制御する場合の基準位置とが共に一致すること
になるので、マークの検出位置を基準位置とすること
は、試料を分析する上での基準位置ともなり、したがっ
て、この基準位置から試料容器を所定角度だけ回転させ
ることで、試料表面上のどの位置を分析しているのかを
知ることができる。このため、局所分析が容易に行え
る。
を回転させてそのマークが試料上に予め設定した基準位
置に一致するように調整する。そして、次に、試料容器
を回転させてマーク検出手段がマークを検出するように
する。すると、この時点で試料上の基準位置と、試料容
器を回転制御する場合の基準位置とが共に一致すること
になるので、マークの検出位置を基準位置とすること
は、試料を分析する上での基準位置ともなり、したがっ
て、この基準位置から試料容器を所定角度だけ回転させ
ることで、試料表面上のどの位置を分析しているのかを
知ることができる。このため、局所分析が容易に行え
る。
【００１５】
【実施例】図１は本考案の実施例に係る蛍光Ｘ線分析装
置の概略構成図である。
置の概略構成図である。
【００１６】同図において、１は蛍光Ｘ線分析装置の全
体を示し、２はＸ線管、４は試料ｓを保持するための試
料容器、６は視野制限絞り、８は一次ソーラスリット、
１０は試料容器４の載置台、１２はこの載置台８をその
中心軸回りに任意の角度θだけ回転させるパルスモー
タ、１４は視野制限絞り６をスライドさせる移動機構、
１６はパルスモータ１２と移動機構１４とを制御するコ
ントローラである。
体を示し、２はＸ線管、４は試料ｓを保持するための試
料容器、６は視野制限絞り、８は一次ソーラスリット、
１０は試料容器４の載置台、１２はこの載置台８をその
中心軸回りに任意の角度θだけ回転させるパルスモー
タ、１４は視野制限絞り６をスライドさせる移動機構、
１６はパルスモータ１２と移動機構１４とを制御するコ
ントローラである。
【００１７】移動機構１４は、たとえば、図示しない駆
動モータと歯車機構等を組み合わせて構成されており、
視野制限絞り６を一次ソーラスリット８の入射光軸に垂
直な方向であって、かつ、回転軸Ｏの半径方向に沿って
任意の距離ｒだけ移動させるようになっている。また、
コントローラ１６は、図外のキーボード等から入力され
た距離rおよび角度θの値と、後述のマーク検出手段４
０からの検出出力に基づいて、パルスモータ１２および
移動機構１４をそれぞれ制御し、視野制限絞り６の開口
部を試料sの所望の分析位置に臨ませるものである。
動モータと歯車機構等を組み合わせて構成されており、
視野制限絞り６を一次ソーラスリット８の入射光軸に垂
直な方向であって、かつ、回転軸Ｏの半径方向に沿って
任意の距離ｒだけ移動させるようになっている。また、
コントローラ１６は、図外のキーボード等から入力され
た距離rおよび角度θの値と、後述のマーク検出手段４
０からの検出出力に基づいて、パルスモータ１２および
移動機構１４をそれぞれ制御し、視野制限絞り６の開口
部を試料sの所望の分析位置に臨ませるものである。
【００１８】一方、上記の試料容器４は、図２および図
３に示すように、円筒状をした容器本体部２０と、この
容器本体部２０の上部に嵌入された蓋体２２と、この蓋
体２２の胴部に嵌め込まれた環体２４とを備える。
３に示すように、円筒状をした容器本体部２０と、この
容器本体部２０の上部に嵌入された蓋体２２と、この蓋
体２２の胴部に嵌め込まれた環体２４とを備える。
【００１９】容器本体部２０は、その底部２０aにバネ
受座２６が固定され、このバネ受座２６の上に圧縮バネ
２８が配置され、この圧縮バネ２８の上端に試料受座３
０が取り付けられている。また、容器本体部２０の上部
は縮径化されており、その縮径化された外周部分に環状
溝２０bが形成され、この環状溝２０bの周方向に沿う２
〜３箇所は、その一部を切り欠いて蓋体２２の係入溝２
０cが形成されている。
受座２６が固定され、このバネ受座２６の上に圧縮バネ
２８が配置され、この圧縮バネ２８の上端に試料受座３
０が取り付けられている。また、容器本体部２０の上部
は縮径化されており、その縮径化された外周部分に環状
溝２０bが形成され、この環状溝２０bの周方向に沿う２
〜３箇所は、その一部を切り欠いて蓋体２２の係入溝２
０cが形成されている。
【００２０】蓋体２２は、天部２２aと胴部２２bとから
なり、天部２２aの中央に試料sの露出孔２２cが形成さ
れ、また、胴部２２cの内周には、蓋体２２の係入溝２
０cの形成箇所に対応する位置に突起２２dが、また、胴
部２２cの外周には、Ｏリング３２を介して環体２４が
回転可能に外嵌されている。
なり、天部２２aの中央に試料sの露出孔２２cが形成さ
れ、また、胴部２２cの内周には、蓋体２２の係入溝２
０cの形成箇所に対応する位置に突起２２dが、また、胴
部２２cの外周には、Ｏリング３２を介して環体２４が
回転可能に外嵌されている。
【００２１】環体２４は、その周方向の一箇所に基準位
置設定用のマーク３４が設けられている。このマーク３
４は、本例では環体２４の周方向の一部を穿ってスリッ
ト状の縦溝を形成し、この縦溝の内部に黒色塗料を塗布
することで構成されている。一方、試料容器４の外方に
は、環体２４の外周面に対向する位置にマーク３４の有
無を検出するマーク検出手段４０が配置されている。
置設定用のマーク３４が設けられている。このマーク３
４は、本例では環体２４の周方向の一部を穿ってスリッ
ト状の縦溝を形成し、この縦溝の内部に黒色塗料を塗布
することで構成されている。一方、試料容器４の外方に
は、環体２４の外周面に対向する位置にマーク３４の有
無を検出するマーク検出手段４０が配置されている。
【００２２】このマーク検出手段４０は、本例では、光
源４２と光ファイバ４４とからなり、光源４２からの光
を光ファイバ４４を介して環体２４の外周面に照射し、
環体２４からの反射光を光ファイバ４４を介してコント
ローラに導くようになっており、光ファイバ４４の出射
端に対向してマーク３４が位置したときに、反射光の強
度が小さくなることでマーク３４の有無が検出されるよ
うになっている。
源４２と光ファイバ４４とからなり、光源４２からの光
を光ファイバ４４を介して環体２４の外周面に照射し、
環体２４からの反射光を光ファイバ４４を介してコント
ローラに導くようになっており、光ファイバ４４の出射
端に対向してマーク３４が位置したときに、反射光の強
度が小さくなることでマーク３４の有無が検出されるよ
うになっている。
【００２３】上記の試料容器４に試料sをセットするに
は、試料受台３０の上に試料aを載置した後、蓋体２２
の各突起２２dを容器本体部２０の上部の係入溝２０cに
合わせて差し込んだ後、蓋体２２を回すことで各突起２
２dが環状溝２０bの嵌入されて蓋体２２が容器本体部２
０に固定されるとともに、試料aが試料受台３０と蓋体
２２の天部２２aとの間で挟み着けられる。
は、試料受台３０の上に試料aを載置した後、蓋体２２
の各突起２２dを容器本体部２０の上部の係入溝２０cに
合わせて差し込んだ後、蓋体２２を回すことで各突起２
２dが環状溝２０bの嵌入されて蓋体２２が容器本体部２
０に固定されるとともに、試料aが試料受台３０と蓋体
２２の天部２２aとの間で挟み着けられる。
【００２４】試料sの局所分析を行う場合には、図４(a)
に示すように、試料sの回転中心となるべき回転中心点m
0と回転量の基準となるべき角度基準点m1の２箇所を予
め印をつけるなどして設定する。そして、この回転中心
点m0から所望の分析点pまでの半径距離rと、両点m0，m1
を結ぶ仮想線lを基準とした分析点pまでの回転角θの各
データをコントローラ１６に入力しておく。
に示すように、試料sの回転中心となるべき回転中心点m
0と回転量の基準となるべき角度基準点m1の２箇所を予
め印をつけるなどして設定する。そして、この回転中心
点m0から所望の分析点pまでの半径距離rと、両点m0，m1
を結ぶ仮想線lを基準とした分析点pまでの回転角θの各
データをコントローラ１６に入力しておく。
【００２５】そして、この試料sを上記の要領でもって
試料容器４にセットする。このとき、両点m0，m1を結ぶ
基準線l上からマーク３４の位置がずれている場合に
は、基準線l上にマーク３４が位置するように、環体２
４を回転させて両者l，３４を一致させる。
試料容器４にセットする。このとき、両点m0，m1を結ぶ
基準線l上からマーク３４の位置がずれている場合に
は、基準線l上にマーク３４が位置するように、環体２
４を回転させて両者l，３４を一致させる。
【００２６】次に、試料容器４を載置台１０の上に載置
する。その際、試料aに着けた回転中心点m0が載置台１
０の回転中心Ｏに一致するように調整する。その際、マ
ーク３４は光ファイバ４４の出射端に対してθ0だけず
れたところに位置していたものとする。
する。その際、試料aに着けた回転中心点m0が載置台１
０の回転中心Ｏに一致するように調整する。その際、マ
ーク３４は光ファイバ４４の出射端に対してθ0だけず
れたところに位置していたものとする。
【００２７】次に、局所分析の開始指令をコントローラ
１６に与えると、コントローラ１６は、光源４２を点灯
した後、パルスモータ１２を駆動して試料容器４を回転
(図４(a)では反時計方向に回転)させる。この試料容器
４の回転によって、図４(b)に示すように、マーク３４
が光ファイバ４４の出射端に対向する位置にきたとき
に、反射光の強度が小さくなるので、この光強度の変化
がコントローラ１６によって検出される。この時点で、
試料s上の回転角の基準を与える仮想線lと、試料容器４
を回転制御する上でのコントローラ１６が認識する基準
位置とが共に一致することになる。したがって、このマ
ーク３４の検出位置を基準角とすることは、試料sの分
析する上での基準角ともなる。
１６に与えると、コントローラ１６は、光源４２を点灯
した後、パルスモータ１２を駆動して試料容器４を回転
(図４(a)では反時計方向に回転)させる。この試料容器
４の回転によって、図４(b)に示すように、マーク３４
が光ファイバ４４の出射端に対向する位置にきたとき
に、反射光の強度が小さくなるので、この光強度の変化
がコントローラ１６によって検出される。この時点で、
試料s上の回転角の基準を与える仮想線lと、試料容器４
を回転制御する上でのコントローラ１６が認識する基準
位置とが共に一致することになる。したがって、このマ
ーク３４の検出位置を基準角とすることは、試料sの分
析する上での基準角ともなる。
【００２８】そこで、コントローラ１６は、このマーク
３４の検出時点を局所分析を行う上での基準角＝０°と
して設定し、先にデータ入力されている分析点pを示す
所定角度θだけ試料容器４をたとえば時計方向に回転さ
せた後、次に、コントローラ１６は、移動機構１４を駆
動して視野制限絞り６を所定距離rだけ移動する。これ
により、視野制限絞り６の開口部が予め設定した分析点
pに臨むことになり、局所分析が行われる。
３４の検出時点を局所分析を行う上での基準角＝０°と
して設定し、先にデータ入力されている分析点pを示す
所定角度θだけ試料容器４をたとえば時計方向に回転さ
せた後、次に、コントローラ１６は、移動機構１４を駆
動して視野制限絞り６を所定距離rだけ移動する。これ
により、視野制限絞り６の開口部が予め設定した分析点
pに臨むことになり、局所分析が行われる。
【００２９】上記の例では分析点pを一箇所だけ設定す
る場合について説明したが、同一の試料sについて多数
の分析点を設定する場合には、コントローラ１６に対し
て各々の分析点に対応する半径位置rと回転角θを入力
すればよく、上記の説明以上の余分な手間はかからな
い。
る場合について説明したが、同一の試料sについて多数
の分析点を設定する場合には、コントローラ１６に対し
て各々の分析点に対応する半径位置rと回転角θを入力
すればよく、上記の説明以上の余分な手間はかからな
い。
【００３０】なお、試料容器４の胴部にマーク３４が固
定した状態で形成されている場合には、試料容器４に試
料sをセットする際に、常に回転中心点m0と角度基準点m
1を結ぶ仮想線l上にマーク３４が位置するように事前に
調整せねばならず、試料sをセットする際の調整に手間
がかかるが、本考案の場合には、試料容器４に試料sを
セットした後に、環体２４を回転させることが極めて簡
単にマーク３４の位置が両点m0，m1を結ぶ仮想線l上に
くるように調整することができる。
定した状態で形成されている場合には、試料容器４に試
料sをセットする際に、常に回転中心点m0と角度基準点m
1を結ぶ仮想線l上にマーク３４が位置するように事前に
調整せねばならず、試料sをセットする際の調整に手間
がかかるが、本考案の場合には、試料容器４に試料sを
セットした後に、環体２４を回転させることが極めて簡
単にマーク３４の位置が両点m0，m1を結ぶ仮想線l上に
くるように調整することができる。
【００３１】上記の実施例では、環体２４を蓋体２２の
胴部に外嵌しているが、これに限定されるものではな
く、たとえば、環体２４を容器本体部２０側の胴部に嵌
め込むようにしてもよい。また、マーク３４は、本例で
は縦溝として形成しているが、線状の反射体を試料容器
４の胴部に張り付けたものであってもよい。さらに、試
料容器４の蓋体２２と環体２４との間に介設されたＯリ
ング３２に代えて板ばねを用いることも可能である。
胴部に外嵌しているが、これに限定されるものではな
く、たとえば、環体２４を容器本体部２０側の胴部に嵌
め込むようにしてもよい。また、マーク３４は、本例で
は縦溝として形成しているが、線状の反射体を試料容器
４の胴部に張り付けたものであってもよい。さらに、試
料容器４の蓋体２２と環体２４との間に介設されたＯリ
ング３２に代えて板ばねを用いることも可能である。
【００３２】
【考案の効果】本考案によれば、試料の任意箇所を分析
する際に、その分析点の位置を特定するための基準位置
を容易に設定できるようになる。したがって、局所分析
を行う際の試料セットの調整時間の短縮化が図れるばか
りか、分析点の位置の特定ができることにより、マッピ
ングデータを得ることが可能となる等の優れた効果を奏
する。
する際に、その分析点の位置を特定するための基準位置
を容易に設定できるようになる。したがって、局所分析
を行う際の試料セットの調整時間の短縮化が図れるばか
りか、分析点の位置の特定ができることにより、マッピ
ングデータを得ることが可能となる等の優れた効果を奏
する。
【図１】本考案の実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略
構成図である。
構成図である。
【図２】本考案の実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の試料
容器の斜視図である。
容器の斜視図である。
【図３】本考案の実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の試料
容器の縦断面図である。
容器の縦断面図である。
【図４】図３の試料容器を用いて試料の局部を分析する
場合の説明図である。
場合の説明図である。
【図５】従来の蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図である。
１…蛍光Ｘ線分析装置、４…試料容器、２０…試料容器
本体部、２２…蓋体、２４…環体、３４…マーク、４０
…マーク検出手段。
本体部、２２…蓋体、２４…環体、３４…マーク、４０
…マーク検出手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−308060（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−59043（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−69149（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−109042（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−84559（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−38862（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 1/28 G01N 23/223
Claims (1)
- 【請求項１】 筒状の試料容器を備え、この試料容器の
胴部には環体が回転可能に外嵌され、この環体の周方向
の一部に基準位置設定用のマークが形成される一方、前
記試料容器の外方には、環体に対向する位置にマークの
有無を検出するマーク検出手段が配置されていることを
特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2452093U JP2584946Y2 (ja) | 1993-05-12 | 1993-05-12 | 蛍光ｘ線分析装置 |
| DE69323064T DE69323064T2 (de) | 1993-04-23 | 1993-11-02 | Ortsaufgelöste Analyse einer Probe mittels eines Röntgenfluoreszenzspektrometers |
| EP93117722A EP0623817B1 (en) | 1993-04-23 | 1993-11-02 | Local analysis of a specimen in an x-ray fluorescence spectrometer |
| US08/153,335 US5408512A (en) | 1993-04-23 | 1993-11-16 | Local analysis of a specimen in an X-ray fluorescence spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2452093U JP2584946Y2 (ja) | 1993-05-12 | 1993-05-12 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684353U JPH0684353U (ja) | 1994-12-02 |
| JP2584946Y2 true JP2584946Y2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=12140450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2452093U Expired - Lifetime JP2584946Y2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-05-12 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2584946Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-05-12 JP JP2452093U patent/JP2584946Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0684353U (ja) | 1994-12-02 |
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