JP2580779B2 - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2580779B2
JP2580779B2 JP1152565A JP15256589A JP2580779B2 JP 2580779 B2 JP2580779 B2 JP 2580779B2 JP 1152565 A JP1152565 A JP 1152565A JP 15256589 A JP15256589 A JP 15256589A JP 2580779 B2 JP2580779 B2 JP 2580779B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、底板および側壁よりなる容器の底板上に半
導体素体が支持され、その半導体素体を覆って容器内に
樹脂が充填される半導体装置に関する。
〔従来の技術〕
半導体素体を容器内に収容し、容器内に充填される樹
脂によって半導体素体を外気から遮断する半導体装置
は、特に複数の半導体素子を一つの容器に収容する、例
えばダイオードモジュール,トランジスタモジュール等
のモジュール装置に多く適用されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記のような半導体装置の注型樹脂として多く用いら
れるエポキシ樹脂は60×10-6/℃の熱膨脹係数を有す
る。この熱膨脹係数は、例えばシリコンでは2.4×10-6/
℃である半導体の熱膨脹係数に比して著しく大きいた
め、温度変動の際の樹脂の収縮によって半導体素体にス
トレスが生ずるという問題がある。樹脂の熱膨脹係数は
樹脂中のフィラーを増加することにより低下させること
ができるが、それに伴い注型時の樹脂粘度が大きくなっ
てしまい、作業性が大幅に低下するので、樹脂の熱膨脹
形成低減によるストレス緩和には限界がある。別の方策
として、半導体素体を、例えばゲル状のシリコーンゴム
のようなバッファ剤で被覆する方法がある。しかし、こ
のようなバッファ剤は一般に熱膨脹係数が10-4/℃台で
あって非常に大きく、逆に半導体素体およびその周辺部
にストレスを与えてしまう場合がある。
本発明の目的は、温度変動時に半導体素体を外気から
遮断するためのエポキシ樹脂から半導体素体に温度サイ
クルの際にストレスが与えられないような半導体装置を
提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的を達成するために、本発明は、底板および
側壁からなる容器の底板上に半導体素体が支持され、そ
の半導体素体を覆って容器内にエポキシ樹脂が充填され
る半導体装置において、半導体素体と容器側壁の間の半
導体素体近傍に設けられ、半導体素体を覆うエポキシ樹
脂と容器側壁側のエポキシ樹脂とを部分的に分断する隔
壁を有するものとする。
〔作用〕
半導体近傍にある隔壁により、隔壁の半導体素体側に
ある樹脂の伸縮は、隔壁の外側にある樹脂の伸縮より切
り離されるため、半導体素体にストレスを与える樹脂の
量は少なくなり、ストレスが小さくなる。
〔実施例〕
第1図(a),(b)および第2図は本発明の一実施
例を示す。図において、6個の半導体素体1、例えばダ
イオードチップはそれぞれの下面電極が絶縁層3を介し
て容器底板2の上に固定された帯状接続導体4の上には
んだ5によって固着されている。接続導体4は一方の側
で立ち上げられ、外部接続端子41とされている。見やす
くするために図示しないが、各半導体素体1の上面電極
は他の外部接続端子と連結された接続導体と導線により
接続されている。ここまでは従来の半導体装置と同じで
ある。しかし、本発明により各接続導体4のそれらを囲
む容器側壁6に対向する側辺には高さ3〜5mm程度の金
属隔壁7が取り付けられている。金属隔壁7は接続導体
4,外部接続端子41と一体に金属板、例えば厚さ1mmの銅
板から作成され、外部接続端子と共に直角に折り曲げて
形成される。このように金属隔壁7が一体に作成されて
いると、金属隔壁7の取り付けのための別な工程が必要
でなく、また接続導体4等の部分的な剥離が生じても金
属隔壁7だけが分離してしまうということがないため、
半導体素体1を傷つけることがなく保護の点からしても
好ましい。また、半導体素体1が搭載される接続導体4
と一体なので、接続導体4自体の熱容量がおきくなり、
放熱性が向上し、半導体素体1の温度上昇が抑えられ
る。第2図はそのような接続導体の一つの斜視図であ
る。底板2および側壁6からなる容器の中には樹脂8が
充填されている。金属隔壁7に図のように直径1〜3mm
の穴71を明けておくと、樹脂8がその穴に入り込むの
で、樹脂を固定し、押さえる作用が生じ、底板2から樹
脂が剥離するのを防止する効果が現れる。
なお、コストの上昇を招くが、各半導体素体をそれぞ
れ隔壁で囲む方がストレス緩和の効果が上がることはも
ちろんである。また、隔壁を接続導体と別個に作成し、
接続導体あるいは基板にろう付け,接着等で結合しても
よい。その場合は、隔壁の材料としては金属以外のもの
を用いることができる。ただし、その材料の熱膨脹係数
は注型樹脂のそれより小さいことが必要である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、半導体素体の近傍に容器側壁に対す
る隔壁を設けることにより、温度変動時に容器内に充填
されるエポキシ樹脂から半導体素体に与えられるストレ
スが緩和されるので、温度サイクルによる半導体素子の
劣化が大幅に減少し、半導体装置の寿命を伸ばすことが
できる。また、組立作業中においても、半導体素体に他
の部品等が接触して欠けや亀裂の発生によって不良とな
る危険性が減少するため、良品率が向上するという効果
も生ずる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a),(b)は本発明の一実施例を示し、
(a)は平面透視図,(b)は破砕断面図、第2図は第
1図に用いられた接続導体の斜視図である。 1:半導体素体、2:容器底板、4:接続導体、6:容器側壁、
7:金属隔壁、8:樹脂。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】底板および側壁からなる容器の底板上に半
    導体素体が支持され、その半導体素体を覆って容器内に
    エポキシ樹脂が充填されるものにおいて、半導体素体と
    容器側壁の間の半導体素体近傍に設けられ、半導体素体
    を覆うエポキシ樹脂と容器側壁側のエポキシ樹脂とを部
    分的に分断する隔壁を有することを特徴とする半導体装
    置。
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