JP2542135B2 - 固体潤滑転がり軸受 - Google Patents
固体潤滑転がり軸受Info
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- JP2542135B2 JP2542135B2 JP3196310A JP19631091A JP2542135B2 JP 2542135 B2 JP2542135 B2 JP 2542135B2 JP 3196310 A JP3196310 A JP 3196310A JP 19631091 A JP19631091 A JP 19631091A JP 2542135 B2 JP2542135 B2 JP 2542135B2
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- Japan
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- rolling
- rolling bearing
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- ptfe
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- Rolling Contact Bearings (AREA)
Description
は宇宙機器等の真空中で使用される固体潤滑転がり軸受
に関する。
および転動体と保持器間にグリ−ス等の潤滑剤を供給
し、それぞれの間に発生する転がり摩擦や滑り摩擦を減
少させ、軸受の耐久性を向上させるようにしている。
中で使用する場合、グリ−ス等の蒸気圧の高い潤滑剤は
雰囲気中に蒸発してしまうため使用に耐えない。また、
転がり軸受を半導体製造設備等の清浄度の高い密封真空
下で使用する場合、潤滑剤の蒸気が環境の汚染源となる
ため、グリ−ス等の流体潤滑剤を使用することができな
い。そのため、このような環境下で使用される転がり軸
受には蒸気圧の低い固体潤滑剤が必要になる。
二硫化モリブデン等の層状物質系、金、銀、鉛等の軟質
金属系、PTFE、ポリイミド等の高分子系の潤滑剤が
広く使用されている。しかし、近年、半導体製造分野で
は半導体の集積度が増すにつれて導電パタ−ンの線幅が
微細化しており、軸受から排出される固体潤滑剤の摩耗
粉がパタ−ン上に付着して導電回路を短絡させる恐れが
あることから、導電性のある軟質金属系の固体潤滑剤が
敬遠される傾向にある。
マー)等の高分子は導電性をもたないが、これらは、転
着性に乏しく、しかも耐摩耗性が低いため、耐久性の点
で軟質金属よりも劣る。また、近年の半導体の高集積化
に伴い、周囲環境の必要清浄度はますます高レベル化し
ており、装置類からの発塵の抑制が大きな課題になって
いる。このため、半導体製造装置に組み込まれる軸受に
は、特に低発塵性が重要な特性として要求される。
造分野での使用に適した固体潤滑転がり軸受を提供する
ことにあり、そのためには、固体潤滑皮膜の非導電性と
耐久性とを同時に確保すると共に、低発塵性を向上させ
ることが本発明の解決すべき課題となる。
道面および転動体の転動面のうち、少なくとも転動体の
転動面に平均分子量が1×103〜3×103のポリテト
ラフルオロエチレン(以下、「PTFEテロマー」い
う。)からなる潤滑皮膜を形成した。
されているPTFEは、平均分子量が1×105以上
で、主に、1×106〜1×107のポリマーである
が、PTFEテロマーは上記ポリマーに比べて剪断強度
が著しく小さく、また軟らかい。このため、PTFEテ
ロマーの摩耗粉(潤滑粉)は転着性に優れ、相手面の微
小な凹部へも入り込んで転着皮膜を形成するので、潤滑
粉が飛散しにくく、低発塵である。また、剪断抵抗が小
さいため、摩擦係数が小さく優れた潤滑性能を示す。本
発明の固体潤滑転がり軸受は、上記PTFEテロマーを
用いて潤滑皮膜を形成したもので、PTFEテロマーの
転着性のよさ、摩擦係数の低さから、潤滑性能、低発塵
性の良好な潤滑皮膜が長期にわたって維持される。
FEテロマ−を用いて潤滑皮膜を形成したもので、PT
FEテロマ−の転着性のよさ、摩擦係数の低さから、潤
滑性能の良好な潤滑皮膜が長期にわたって維持される。
示す。この転がり軸受は、内輪1、外輪2、内・外輪1
・2間に介在する複数の転動体3、転動体3を円周等間
隔に保持する保持器4で構成される。そして、内・外輪
1・2の軌道面および転動体3の転動面には平均分子量
が1×10 3 〜3×10 3 のポリテトラフルオロエチレン
(PTFEテロマー)からなる潤滑皮膜1a・2a・3
aが形成されている。この潤滑皮膜は、PTFEテロマ
ー(日本アチソン製ARC7)を、25cm離れた位置
から皮膜形成面にスプレーして付着させたもので、この
場合の平均皮膜厚さは0.6μmであった。
について行なった寿命試験結果を示す。寿命試験は、軸
を支承させた2個の試験軸受を、室温、真空度10-6T
orr以下、スラスト荷重1kgf、回転数2500rpm
の条件下に回転させ、2個の試験軸受の摩擦トルクの総
和が100gcmに達した時点を寿命とした。同図に示
すように、本実施例の固体潤滑転がり軸受は、PTFE
ポリマ−の潤滑皮膜を形成した従来の固体潤滑転がり軸
受(同条件下における寿命は50hである。)に比べて
4倍以上の耐久性を示した。
び転動体の転動面に潤滑皮膜を形成するようにしたが、
潤滑皮膜は少なくとも転動体の転動面に形成すれば良
い。また、軸受の形式は第1図に例示したものに限ら
ず、広く転がり軸受一般に適用することができる。
03〜3×103のPTFEを固体潤滑剤として用いる
ことにより、非導電性を有し、かつ潤滑性、耐久性、お
よび低発塵性に優れた固体潤滑皮膜を形成することがで
きる。したがって、本発明によれば、従来のPTFE固
体潤滑剤を使用したものに比べて、固体潤滑転がり軸受
の耐久性、低発塵性が向上し、特に半導体製造分野での
使用に適した固体潤滑転がり軸受を得ることができる。
る。
Claims (1)
- 【請求項1】 軌道輪の軌道面および転動体の転動面の
うち、少なくとも転動体の転動面に平均分子量が1×1
03〜3×103のポリテトラフルオロエチレンからなる
潤滑皮膜を形成したことを特徴とする固体潤滑転がり軸
受。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3196310A JP2542135B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 固体潤滑転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3196310A JP2542135B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 固体潤滑転がり軸受 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH051718A JPH051718A (ja) | 1993-01-08 |
JP2542135B2 true JP2542135B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=16355685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3196310A Expired - Lifetime JP2542135B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 固体潤滑転がり軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2542135B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63225729A (ja) * | 1987-03-11 | 1988-09-20 | Nippon Thompson Co Ltd | 低摩擦ころ |
JPS6412130A (en) * | 1987-07-07 | 1989-01-17 | Toshiba Corp | Deep groove ball bearing |
JP2592315B2 (ja) * | 1988-11-18 | 1997-03-19 | 日本メクトロン株式会社 | パーフルオロ化共重合体混合物グリース |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP3196310A patent/JP2542135B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH051718A (ja) | 1993-01-08 |
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