JP2541487B2 - 半導体装置パッケ―ジ - Google Patents
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- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
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-
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-
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置パッケージ
に関し、特に1枚の基板に複数の半導体集積回路チップ
を搭載するマルチチップモジュール(MCM)に関す
る。
に関し、特に1枚の基板に複数の半導体集積回路チップ
を搭載するマルチチップモジュール(MCM)に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図8に、従来のMCMを示す。MCM基
板21上にLSIチップ19をフェースダウンでバンプ
18を介してフリップチップ法、又はフェースアップで
ワイヤーボンディング法等により1個ないし複数個搭載
した後、LSIチップ19の保護及び接続信頼性確保の
為に封止樹脂25により全体を封止するが、そのままの
状態で封止樹脂25を塗布すると、外周に広く樹脂が流
れ出してしまうために枠24を設けている。MCM基板
21はLSIチップ19の搭載面から裏面に至る配線層
と接続用パッドが設けてあり、この接続用パッド上に半
田のボールバンプ23を形成しマザーボード22に搭載
する。その後、マザーボード22上に搭載されている他
の電子部品と一括でリフロー加熱することによりMCM
をマザーボード22に接続する。このようなMCMは
「CREATE ENGINEERRING REPO
RTS 第17回CREATE−Show セミナー予
稿集ボールグリッドアレイ(BGA)のパッケージング
と実装技術」1頁〜7頁に記載されている。この構造の
MCMは、LSIチップ19の搭載面の裏面をマザーボ
ード22との接続に使用しているのでMCM基板21の
裏面に部品を実装することはできない。
板21上にLSIチップ19をフェースダウンでバンプ
18を介してフリップチップ法、又はフェースアップで
ワイヤーボンディング法等により1個ないし複数個搭載
した後、LSIチップ19の保護及び接続信頼性確保の
為に封止樹脂25により全体を封止するが、そのままの
状態で封止樹脂25を塗布すると、外周に広く樹脂が流
れ出してしまうために枠24を設けている。MCM基板
21はLSIチップ19の搭載面から裏面に至る配線層
と接続用パッドが設けてあり、この接続用パッド上に半
田のボールバンプ23を形成しマザーボード22に搭載
する。その後、マザーボード22上に搭載されている他
の電子部品と一括でリフロー加熱することによりMCM
をマザーボード22に接続する。このようなMCMは
「CREATE ENGINEERRING REPO
RTS 第17回CREATE−Show セミナー予
稿集ボールグリッドアレイ(BGA)のパッケージング
と実装技術」1頁〜7頁に記載されている。この構造の
MCMは、LSIチップ19の搭載面の裏面をマザーボ
ード22との接続に使用しているのでMCM基板21の
裏面に部品を実装することはできない。
【0003】図9(a)及び(b)は他の従来のMCM
の斜視図及び断面図である。MCM基板30に半導体チ
ップ29及び枠28を搭載し、MCM基板30上の枠2
8内に半導体チップ29を封止するための樹脂25を塗
布してある。
の斜視図及び断面図である。MCM基板30に半導体チ
ップ29及び枠28を搭載し、MCM基板30上の枠2
8内に半導体チップ29を封止するための樹脂25を塗
布してある。
【0004】MCM基板30のマザーボードとの電気的
接続をMCM基板30の側面に設けた端子電極27を半
田付けすることにより得ている。この場合、MCM基板
30のLSIチップ29の搭載面の裏面は、マザーボー
ドに密着実装するので裏面への部品実装はできなく又、
密着実装しているためMCM基板が大きくなるとマザー
ボードの反りに対応できない。さらに複数個のMCMを
積み重ね実装することもできない。このようなMCMは
「NECユーザーズ・マニアルIEU−765C LL
CタイプアイブリッドIC」3頁〜4頁に記載されてい
る。
接続をMCM基板30の側面に設けた端子電極27を半
田付けすることにより得ている。この場合、MCM基板
30のLSIチップ29の搭載面の裏面は、マザーボー
ドに密着実装するので裏面への部品実装はできなく又、
密着実装しているためMCM基板が大きくなるとマザー
ボードの反りに対応できない。さらに複数個のMCMを
積み重ね実装することもできない。このようなMCMは
「NECユーザーズ・マニアルIEU−765C LL
CタイプアイブリッドIC」3頁〜4頁に記載されてい
る。
【0005】そのほかの従来の半導体装置パッケージと
しては「’92LSIパッケージ新技術シンポジュウム
論文集−高速高密度LSIパッケージ技術の展望」55
頁〜58頁にLSIチップを搭載した基板を積み重ねて
多階層にしたものが記載されている。またISHM発行
の「IJMEP−Voium16,Number2Se
cond Quarter 1993」117頁〜12
3頁に同様に多階層の構造のものが記載されている。こ
れらの構造では、端子同士の接続が難しく信頼性を向上
させるためにはコストが高くなる。又、外部接続端子を
外周部に設けている為、端子数が多くなると外形を大き
くするか、端子を微細化する事が必要になり更に接続が
困難となる。
しては「’92LSIパッケージ新技術シンポジュウム
論文集−高速高密度LSIパッケージ技術の展望」55
頁〜58頁にLSIチップを搭載した基板を積み重ねて
多階層にしたものが記載されている。またISHM発行
の「IJMEP−Voium16,Number2Se
cond Quarter 1993」117頁〜12
3頁に同様に多階層の構造のものが記載されている。こ
れらの構造では、端子同士の接続が難しく信頼性を向上
させるためにはコストが高くなる。又、外部接続端子を
外周部に設けている為、端子数が多くなると外形を大き
くするか、端子を微細化する事が必要になり更に接続が
困難となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来、情報機器の高性
能、高機能、さらに小型化といった要求に対応するため
のプリント配線板へ電子回路を高密度に実装する方法と
して、MCMが用いられているが、さらなる高密度化に
対応しようとする場合には従来のMCMでは難しい状況
にある。さらに大幅な高密度化を図ろうとした場合、一
つの解決手段としてマザーボードの高さ方向の空間を利
用する構造がある。このような構造の半導体装置パッケ
ージはMCMを積み重ねたりMCMの両面にLSIチッ
プを搭載することにより得られるが、図8及び図9に示
した従来のMCMでは裏面がマザーボードとの接続用に
使われているのでこのような構造とすることができな
い。また従来の多階層にした半導体装置パッケージでも
単純に外部接続用端子を増やすと外形が大きくなってし
まい、これを避けるために端子を微細化すると、マザー
ボード等との接続が困難となってしまう。したがって、
さらに高密度化を図ることができないという問題があっ
た。
能、高機能、さらに小型化といった要求に対応するため
のプリント配線板へ電子回路を高密度に実装する方法と
して、MCMが用いられているが、さらなる高密度化に
対応しようとする場合には従来のMCMでは難しい状況
にある。さらに大幅な高密度化を図ろうとした場合、一
つの解決手段としてマザーボードの高さ方向の空間を利
用する構造がある。このような構造の半導体装置パッケ
ージはMCMを積み重ねたりMCMの両面にLSIチッ
プを搭載することにより得られるが、図8及び図9に示
した従来のMCMでは裏面がマザーボードとの接続用に
使われているのでこのような構造とすることができな
い。また従来の多階層にした半導体装置パッケージでも
単純に外部接続用端子を増やすと外形が大きくなってし
まい、これを避けるために端子を微細化すると、マザー
ボード等との接続が困難となってしまう。したがって、
さらに高密度化を図ることができないという問題があっ
た。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置は、
半導体チップを搭載するMCM基板と、前記半導体チッ
プを内側に囲み前記MCM基板に設けられた枠と、前記
枠の内側に充填され前記半導体チップを封止する封止樹
脂と、前記枠の面であって前記MCM基板に対し反対側
に位置する面に配列され電気的に前記MCM基板の回路
に接続され突起状の半田又は導電ペースとを設けた電極
端子とを備えている。
半導体チップを搭載するMCM基板と、前記半導体チッ
プを内側に囲み前記MCM基板に設けられた枠と、前記
枠の内側に充填され前記半導体チップを封止する封止樹
脂と、前記枠の面であって前記MCM基板に対し反対側
に位置する面に配列され電気的に前記MCM基板の回路
に接続され突起状の半田又は導電ペースとを設けた電極
端子とを備えている。
【0008】本発明の半導体装置パッケージは、半導体
チップを両面に搭載するMCM基板と、前記半導体チッ
プを内側に囲み前記MCM基板の両面に設けられた2つ
の枠と、前記2つの枠の内側に充填され前記半導体チッ
プを封止する封止樹脂と、前記2つの枠の少くとも一方
のものの面であって前記MCM基板に対し反対側に位置
する面に配列され電気的に前記MCM基板の回路に接続
され突起状の半田又は導電ペーストを設けた電極端子と
を備えている。
チップを両面に搭載するMCM基板と、前記半導体チッ
プを内側に囲み前記MCM基板の両面に設けられた2つ
の枠と、前記2つの枠の内側に充填され前記半導体チッ
プを封止する封止樹脂と、前記2つの枠の少くとも一方
のものの面であって前記MCM基板に対し反対側に位置
する面に配列され電気的に前記MCM基板の回路に接続
され突起状の半田又は導電ペーストを設けた電極端子と
を備えている。
【0009】本発明の積層形半導体装置パッケージは、
半導体装置パッケージは両面に半導体チップを搭載した
MCM基板と、このMCM基板の両面に設けられて前記
半導体チップを内側に囲む枠と、前記枠の内側に充填さ
れ前記半導体チップを封止する封止樹脂と、前記枠の面
であって前記MCM基板に対し反対側に位置する面に配
列され電気的に前記MCM基板の回路に接続され突起状
の半田または導電ペーストを設けた電極端子を備え、前
記半導体装置パッケージを複数段重ね隣接する前記半導
体装置パッケージの電極端子を互いに接続したことを特
徴とする。
半導体装置パッケージは両面に半導体チップを搭載した
MCM基板と、このMCM基板の両面に設けられて前記
半導体チップを内側に囲む枠と、前記枠の内側に充填さ
れ前記半導体チップを封止する封止樹脂と、前記枠の面
であって前記MCM基板に対し反対側に位置する面に配
列され電気的に前記MCM基板の回路に接続され突起状
の半田または導電ペーストを設けた電極端子を備え、前
記半導体装置パッケージを複数段重ね隣接する前記半導
体装置パッケージの電極端子を互いに接続したことを特
徴とする。
【0010】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。
説明する。
【0011】図1(a)及び(b)はそれぞれ本発明の
第1の実施例の半導体装置パッケージの斜視図及びマザ
ーボード10に搭載した直後(半田リフローを行う前)
の状態を示す断面図である。MCM基板1(材質はガラ
スエポキシ,セラミック等)にLSIチップ2をフリッ
プチップ法又は、ワイヤーボンディング法により搭載
し、さらに封止樹脂流れ止め用枠4を取り付ける。MC
M基板1のLSIチップ2の搭載面の枠4の外側となる
外周部に接続用パッド3をもうけた。封止樹脂流れ止め
用枠4のMCM基板1との接合面の反対面に電極端子5
を設け側面に端子5に連接する側面端子7を設けてあ
る。端子5にはマザーボード10との接続用に、予めク
リーム半田(例えば、Sn−Pb系、Bi−Pb系、I
n−Pb系合金等)により半田ボール11を形成してお
く。この際、リフロー時に半田が流れ落ちないようにソ
ルダーレジストで端子5の回りにダム9を設けた。
第1の実施例の半導体装置パッケージの斜視図及びマザ
ーボード10に搭載した直後(半田リフローを行う前)
の状態を示す断面図である。MCM基板1(材質はガラ
スエポキシ,セラミック等)にLSIチップ2をフリッ
プチップ法又は、ワイヤーボンディング法により搭載
し、さらに封止樹脂流れ止め用枠4を取り付ける。MC
M基板1のLSIチップ2の搭載面の枠4の外側となる
外周部に接続用パッド3をもうけた。封止樹脂流れ止め
用枠4のMCM基板1との接合面の反対面に電極端子5
を設け側面に端子5に連接する側面端子7を設けてあ
る。端子5にはマザーボード10との接続用に、予めク
リーム半田(例えば、Sn−Pb系、Bi−Pb系、I
n−Pb系合金等)により半田ボール11を形成してお
く。この際、リフロー時に半田が流れ落ちないようにソ
ルダーレジストで端子5の回りにダム9を設けた。
【0012】この枠4をMCM基板1に接着剤6で固定
した後にパッド3及び端子7にディスペンサでクリーム
半田(例えばSn−Pb共晶半田)を塗布しリフロー加
熱によりMCM基板1のパッド3と、枠4の端子7と半
田8で電気的に接続する。その後、枠4の内側に封止樹
脂25を充填しキュアすることにより第1実施例の構造
を得た。以上の様にして得られた構造のMCMを、マザ
ーボード10に搭載しリフロー加熱することで半田ボー
ル11によりマザーボード側のパッド26と電気的に接
続した。
した後にパッド3及び端子7にディスペンサでクリーム
半田(例えばSn−Pb共晶半田)を塗布しリフロー加
熱によりMCM基板1のパッド3と、枠4の端子7と半
田8で電気的に接続する。その後、枠4の内側に封止樹
脂25を充填しキュアすることにより第1実施例の構造
を得た。以上の様にして得られた構造のMCMを、マザ
ーボード10に搭載しリフロー加熱することで半田ボー
ル11によりマザーボード側のパッド26と電気的に接
続した。
【0013】本実施例のMCMは、MCM基板1の構造
が簡単であるため安価に製造することができる。また半
導体チップ2がMCM基板1、枠4及びマザーボード1
0で囲まれ、単に樹脂25で封止するより一層確実に半
導体チップ2を保護することができる。
が簡単であるため安価に製造することができる。また半
導体チップ2がMCM基板1、枠4及びマザーボード1
0で囲まれ、単に樹脂25で封止するより一層確実に半
導体チップ2を保護することができる。
【0014】図2は、本発明の第2の実施例の半導体装
置パッケージの断面図である。大半の構成要素は第1の
実施例と同じであり、相違点のみを説明する。この第2
の実施例ではMCM基板1の枠4の外側に接続用パッド
を設けることなくMCM基板1の枠4との接合部に接続
用パッド35を設けてある。また枠4のMCM基板1と
の接合面に側面端子7に連接する底面端子36を設けて
ある。パッド35又は、底面端子36にクリーム半田を
塗布しリフロー加熱することによりMCM基板1と枠4
とを電気的に接続した。また、半田の替わりに厚さ方向
のみ導電性を有する異方導電性シートをMCM基板1と
枠4との間に熱圧着する等の方法でこれらを電気的に接
続することも可能である。その後、枠の外周を接着剤1
3で覆い内側に封止樹脂25を充填し硬化させ完成す
る。MCM基板1上の接着剤13の占める範囲は狭くで
きるのでこの実施例では、パッド3が枠4の外周より内
側にあるため第1の実施例により小型化することができ
た。
置パッケージの断面図である。大半の構成要素は第1の
実施例と同じであり、相違点のみを説明する。この第2
の実施例ではMCM基板1の枠4の外側に接続用パッド
を設けることなくMCM基板1の枠4との接合部に接続
用パッド35を設けてある。また枠4のMCM基板1と
の接合面に側面端子7に連接する底面端子36を設けて
ある。パッド35又は、底面端子36にクリーム半田を
塗布しリフロー加熱することによりMCM基板1と枠4
とを電気的に接続した。また、半田の替わりに厚さ方向
のみ導電性を有する異方導電性シートをMCM基板1と
枠4との間に熱圧着する等の方法でこれらを電気的に接
続することも可能である。その後、枠の外周を接着剤1
3で覆い内側に封止樹脂25を充填し硬化させ完成す
る。MCM基板1上の接着剤13の占める範囲は狭くで
きるのでこの実施例では、パッド3が枠4の外周より内
側にあるため第1の実施例により小型化することができ
た。
【0015】図3は、本発明の第3の実施例の半導体装
置パッケージの断面図である。第3の実施例では、MC
M基板37が図1中のMCM基板1と枠4とが一体とな
ったものに相当する。MCM基板37は配線層32,ス
ルーホール33,外部接続用の端子5等を備えている。
MCM基板37は印刷配線基板の中央部を切削して凹部
を設ける等の方法で製造できる。この第3の実施例では
枠の取り付け作業が不要になり組立工数低減が図れた。
置パッケージの断面図である。第3の実施例では、MC
M基板37が図1中のMCM基板1と枠4とが一体とな
ったものに相当する。MCM基板37は配線層32,ス
ルーホール33,外部接続用の端子5等を備えている。
MCM基板37は印刷配線基板の中央部を切削して凹部
を設ける等の方法で製造できる。この第3の実施例では
枠の取り付け作業が不要になり組立工数低減が図れた。
【0016】図4(a)及び(b)はそれぞれ本発明の
第4の実施例の半導体装置パッケージの斜視図及び断面
図である。枠14はマザーボード10との接続面に接続
用端子5を格子状、又は千鳥状に配置した構造で、MC
M基板1及びマザーボード10との接続構造は、第1及
び第2の実施例と同様とした。この実施例ではマザーボ
ードとの接続ピッチを微細化することなく接続端子数を
増やすことができた。
第4の実施例の半導体装置パッケージの斜視図及び断面
図である。枠14はマザーボード10との接続面に接続
用端子5を格子状、又は千鳥状に配置した構造で、MC
M基板1及びマザーボード10との接続構造は、第1及
び第2の実施例と同様とした。この実施例ではマザーボ
ードとの接続ピッチを微細化することなく接続端子数を
増やすことができた。
【0017】図5は本発明の第5の実施例の半導体装置
パッケーザの断面図である。第5の実施例のMCM基板
1は、マザーボード10との接続面側の実装構造及び接
続構造を第1及び第2の実施例と同様とし、これらと異
なる点は、両面にLSIチップ2を実装して配線パター
ン及び、スルーホール(図示略)により枠4との接続面
へ配線することで枠4を通じてマザーボード10と電気
的に接続した。この実施例では、MCM基板1の両面に
LSIチップ等の電子部品を搭載することで実装密度を
増やすことができた。
パッケーザの断面図である。第5の実施例のMCM基板
1は、マザーボード10との接続面側の実装構造及び接
続構造を第1及び第2の実施例と同様とし、これらと異
なる点は、両面にLSIチップ2を実装して配線パター
ン及び、スルーホール(図示略)により枠4との接続面
へ配線することで枠4を通じてマザーボード10と電気
的に接続した。この実施例では、MCM基板1の両面に
LSIチップ等の電子部品を搭載することで実装密度を
増やすことができた。
【0018】図6は本発明の第6の実施例の半導体装置
パッケージ15の構造を示す。大部分は第5の実施例と
同様で異る点としてはMCM基板1のマザーボード10
との接続面側の反対面に設ける枠4を第1の実施例と同
様とし、枠4に端子7、半田ボール11等を設けた。こ
の実施例では、同じ枠を使用することで部品を共通化し
部品種の削減を図ると共に、上部の半田ボール電極11
を検査用プローブの接点に用いることで実装後の電気検
査を行うことが可能になった。
パッケージ15の構造を示す。大部分は第5の実施例と
同様で異る点としてはMCM基板1のマザーボード10
との接続面側の反対面に設ける枠4を第1の実施例と同
様とし、枠4に端子7、半田ボール11等を設けた。こ
の実施例では、同じ枠を使用することで部品を共通化し
部品種の削減を図ると共に、上部の半田ボール電極11
を検査用プローブの接点に用いることで実装後の電気検
査を行うことが可能になった。
【0019】図7は本発明の第7の実施例の断面図で、
図6の半導体装置パッケージ15を、2個積み重ね、上
の段の半導体装置パッケージ15の下側の枠4の端子5
と下の段の半導体装置パッケージ15の上側の枠4の端
子5とを半田ボール11により接続して積層形の半導体
装置パッケージ17を構成している。図7においては半
導体装置用パッケージ15を2段積み重ねているが、2
段に限ることはなく3段以上積み重ねることも可能であ
る。異なる回路を有する半導体装置パッケージを積み重
ね、半導体装置パッケージ17を形成することも可能で
ある。第7の実施例では、マザーボード上への実装面積
を増やさず実装密度を向上することができた。
図6の半導体装置パッケージ15を、2個積み重ね、上
の段の半導体装置パッケージ15の下側の枠4の端子5
と下の段の半導体装置パッケージ15の上側の枠4の端
子5とを半田ボール11により接続して積層形の半導体
装置パッケージ17を構成している。図7においては半
導体装置用パッケージ15を2段積み重ねているが、2
段に限ることはなく3段以上積み重ねることも可能であ
る。異なる回路を有する半導体装置パッケージを積み重
ね、半導体装置パッケージ17を形成することも可能で
ある。第7の実施例では、マザーボード上への実装面積
を増やさず実装密度を向上することができた。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、MCM基
板に設けた枠のMCM基板と反対側の面に電極端子を設
けることにより、マザーボードに取り付けるMCM基板
の両面に半導体チップを搭載することができる。さらに
MCM基板の両面に枠を設け、これらの枠に電極端子を
設けることにより半導体チップを搭載したMCM基板を
有する半導体装置パッケージを多段に積層して半導体チ
ップの実装密度を高めることができる。
板に設けた枠のMCM基板と反対側の面に電極端子を設
けることにより、マザーボードに取り付けるMCM基板
の両面に半導体チップを搭載することができる。さらに
MCM基板の両面に枠を設け、これらの枠に電極端子を
設けることにより半導体チップを搭載したMCM基板を
有する半導体装置パッケージを多段に積層して半導体チ
ップの実装密度を高めることができる。
【図1】(a)及び(b)はそれぞれ本発明の第1の実
施例の斜視図及び断面図である。
施例の斜視図及び断面図である。
【図2】本発明の第2の実施例の断面図である。
【図3】本発明の第3の実施例の断面図である。
【図4】(a)及び(b)は本発明の第4の実施例の斜
視図及び断面図である。
視図及び断面図である。
【図5】本発明の第5の実施例の断面図である。
【図6】本発明の第6の実施例の断面図である。
【図7】本発明の第7の実施例の積層形の半導体パッケ
ージの断面図である。
ージの断面図である。
【図8】従来の半導体装置パッケージの断面図である。
【図9】(a)及び(b)はそれぞれ従来の他の半導体
装置パッケージの斜視図及び断面図である。
装置パッケージの斜視図及び断面図である。
1 MCM基板 2 LSIチップ 3 パッド 4 枠 5 端子 6 接着剤 7 端子 8 半田 9 ダム 10 マザーボード 11 半田ボール 12 半田 13 接着剤 14 枠 15 半導体装置パッケージ 16 枠 17 半導体装置パッケージ 18 バンプ 19 半導体チップ 20 ワイヤー 21 MCM基板 22 マザーボード 23 ボールバンプ 24 枠 25 封止樹脂 26 パッド 27 端子電極 28 枠 29 LSIチップ 30 MCM基板 31 半田ボール電極 32 配線層 33 スルーホール
Claims (9)
- 【請求項1】 半導体チップを搭載するMCM基板と、
前記半導体チップを内側に囲み前記MCM基板に設けら
れた枠と、前記枠の内側に充填され前記半導体チップを
封止する封止樹脂と、前記枠の面であって前記MCM基
板に対し反対側に位置する面に配列され電気的に前記M
CM基板の回路に接続され突起状の半田又は導電ペース
トを設けた電極端子とを含むことを特徴とする半導体装
置パッケージ。 - 【請求項2】 半導体チップを両面に搭載するMCM基
板と、前記半導体チップを内側に囲み前記MCM基板の
両面に設けられた2つの枠と、前記2つの枠の内側に充
填され前記半導体チップを封止する封止樹脂と、前記2
つの枠の少くとも一方のものの面であって前記MCM基
板に対し反対側に位置する面に配列され電気的に前記M
CM基板の回路に接続され突起状の半田又は導電ペース
トを設けた電極端子とを含むことを特徴とする半導体装
置パッケージ。 - 【請求項3】 半導体装置パッケージは両面に半導体チ
ップを搭載したMCM基板と、このMCM基板の両面に
設けられて前記半導体チップを内側に囲む枠と、前記枠
の内側に充填され前記半導体チップを封止する封止樹脂
と、前記枠の面であって前記MCM基板に対し反対側に
位置する面に配列され電気的に前記MCM基板の回路に
接続され突起状の半田又は導電ペーストを設けた電極端
子を備え、前記半導体装置パッケージを複数段重ね隣接
する前記半導体装置パッケージの電極端子を互いに接続
したことを特徴とする積層形の半導体装置パッケージ。 - 【請求項4】 枠のMCM基板側の面と前記MCM基板
とが接着剤で固着され、前記枠の外側面に電極端子と連
接して側面端子が設けられ前記MCM基板の前記枠より
外側の部分に設けられたパッドと前記側面端子とが半田
で接続された請求項1記載の半導体装置パッケージ。 - 【請求項5】 枠のMCM基板側の面に設けられた底面
端子と前記MCM基板に設けられたパッドとが半田で接
続され前記枠の外側面に電極端子及び前記底面端子と連
接する側面端子が設けられた請求項1記載の半導体装置
パッケージ。 - 【請求項6】 枠のMCM基板側の面に設けられた底面
端子と前記MCM基板に設けられたパッドが異方性導電
シートで電気的に接続され前記枠の外側面に電極端子及
び前記底面端子と連接する側面端子が設けられた請求項
1記載の半導体装置パッケージ。 - 【請求項7】 枠とMCM基板とが一体に形成された請
求項1記載の半導体装置パッケージ。 - 【請求項8】 電極端子が格子状または千鳥状に配列さ
れた請求項1、4、5、6又は7記載の半導体装置パッ
ケージ。 - 【請求項9】 電極端子の突起状の半田の回りに絶縁性
樹脂からなる半田流れ防止ダムを設けた請求項1.4、
5、6、7又は8記載の半導体装置パッケージ。
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
JP5297137A JP2541487B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 半導体装置パッケ―ジ |
US08/350,122 US5570274A (en) | 1993-11-29 | 1994-11-29 | High density multichip module packaging structure |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5297137A JP2541487B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 半導体装置パッケ―ジ |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07153903A JPH07153903A (ja) | 1995-06-16 |
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Family
ID=17842694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5297137A Expired - Lifetime JP2541487B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 半導体装置パッケ―ジ |
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---|---|
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1994
- 1994-11-29 US US08/350,122 patent/US5570274A/en not_active Expired - Fee Related
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