JP2536089B2 - 光ディスク原盤露光方法 - Google Patents
光ディスク原盤露光方法Info
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- JP2536089B2 JP2536089B2 JP63225612A JP22561288A JP2536089B2 JP 2536089 B2 JP2536089 B2 JP 2536089B2 JP 63225612 A JP63225612 A JP 63225612A JP 22561288 A JP22561288 A JP 22561288A JP 2536089 B2 JP2536089 B2 JP 2536089B2
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- Japan
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- exposure
- optical disc
- tracking
- groove
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光ディスク原盤露光方法、特に、グルーブ間
記録用の光ディスクの光ディスク原盤露光方法に関す
る。
記録用の光ディスクの光ディスク原盤露光方法に関す
る。
一般に、光ディスク原盤露光方法を用いた露光の露光
パワーとしては、第３図に示すようにトラッキング用Ｖ
グルーブ１とグルーブ間に設けられたアドレスピット２
とで構成されたグルーブ間記録用のパターンが知られて
いる。このような光ディスク原盤の露光には、トラッキ
ング用Ｖグルーブ１とアドレスピット２を露光するため
にパワー制御，変調可能な２本のレーザビームが必要で
ある。
パワーとしては、第３図に示すようにトラッキング用Ｖ
グルーブ１とグルーブ間に設けられたアドレスピット２
とで構成されたグルーブ間記録用のパターンが知られて
いる。このような光ディスク原盤の露光には、トラッキ
ング用Ｖグルーブ１とアドレスピット２を露光するため
にパワー制御，変調可能な２本のレーザビームが必要で
ある。
フォトレジスト円板上にトラックピッチＰの1/2のレ
ーザビーム間隔だけ離した２本のレーザビームを公知の
オートフォーカス方法により合焦集光し、さらに前記フ
ォトレジスト円板を回転し、１回転当り１トラックピッ
チＰだけ移動させ、パワー制御されたレーザビームが前
記フォトレジスト円板上を円周から外周に向けて露光す
ることによりスパイラル状の露光を行なうことができ
る。
ーザビーム間隔だけ離した２本のレーザビームを公知の
オートフォーカス方法により合焦集光し、さらに前記フ
ォトレジスト円板を回転し、１回転当り１トラックピッ
チＰだけ移動させ、パワー制御されたレーザビームが前
記フォトレジスト円板上を円周から外周に向けて露光す
ることによりスパイラル状の露光を行なうことができ
る。
アドレスピット露光用のレーザビームをON−OFF変調
することによりアドレスピット２の露光を行ない、トラ
ッキング用Ｖグルーブ露光用のビームは内周から外周に
かけて連続ON状態で露光し、トラッキング用Ｖグルーブ
１の露光を行なう。
することによりアドレスピット２の露光を行ない、トラ
ッキング用Ｖグルーブ露光用のビームは内周から外周に
かけて連続ON状態で露光し、トラッキング用Ｖグルーブ
１の露光を行なう。
第４図は従来の光ディスク原盤露光方法を用いてフォ
トレジスト円板上にアドレスピット２とトラッキング用
Ｖグルーブ１との露光を行ない、現像処理した後の断面
図である。
トレジスト円板上にアドレスピット２とトラッキング用
Ｖグルーブ１との露光を行ない、現像処理した後の断面
図である。
ビーム強度分布がガウス分布であるために２本のレー
ザビームに重なりが生じる。
ザビームに重なりが生じる。
このため、２本のレーザビームの露光パワー,2本のレ
ーザビームの間隔などによって程度に差はあってもアド
レスピットの両側の部分でかぶりによる膜減りｄが生
じ、第４図に示すようなピット断面形状になりやすい。
ーザビームの間隔などによって程度に差はあってもアド
レスピットの両側の部分でかぶりによる膜減りｄが生
じ、第４図に示すようなピット断面形状になりやすい。
しかしながら、このような上述した従来の光ディスク
原盤露光方法はトラッキング用Ｖグルーブとアドレスピ
ットとを２本のレーザビームで同時に露光するため、２
本のレーザビームが一部重なり合うことによりピットの
両側面の部分で膜減りが生じ、アドレスピット断面形状
が矩形とならず、さらに露光条件の微小な変動によりア
ドレスピット断面形状が設計値から変動する結果作成さ
れた光ディスク原盤から転写して得られる光ディスク媒
体においてアドレスピットから得られる電気的特性が悪
化するという欠点があった。
原盤露光方法はトラッキング用Ｖグルーブとアドレスピ
ットとを２本のレーザビームで同時に露光するため、２
本のレーザビームが一部重なり合うことによりピットの
両側面の部分で膜減りが生じ、アドレスピット断面形状
が矩形とならず、さらに露光条件の微小な変動によりア
ドレスピット断面形状が設計値から変動する結果作成さ
れた光ディスク原盤から転写して得られる光ディスク媒
体においてアドレスピットから得られる電気的特性が悪
化するという欠点があった。
これは高密度化としてトラックピッチＰを例えば1.4
μｍのように小さくした場合により大きな問題となる。
μｍのように小さくした場合により大きな問題となる。
本発明の光ディスク原盤の露光方法は、アドレスピッ
トを露光するときに同時に露光しているトラッキング用
Ｖグルーブ露光用のビームの露光パワーを減少させて露
光し、ピットのない部分のトラッキング用Ｖグルーブよ
り浅くするように構成される。
トを露光するときに同時に露光しているトラッキング用
Ｖグルーブ露光用のビームの露光パワーを減少させて露
光し、ピットのない部分のトラッキング用Ｖグルーブよ
り浅くするように構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明
する。
する。
第１図（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例を示すタイ
ミング図で、第１図（ａ）は、トラッキング用Ｖグルー
ブ露光用のレーザビームのトラッキング用グルーブ露光
パワーPW1のパワー制御例を、第１図（ｂ）はアドレス
ピット露光用のレーザビームのアドレスピット露光パワ
ーPW2のパワー制御例を示す。
ミング図で、第１図（ａ）は、トラッキング用Ｖグルー
ブ露光用のレーザビームのトラッキング用グルーブ露光
パワーPW1のパワー制御例を、第１図（ｂ）はアドレス
ピット露光用のレーザビームのアドレスピット露光パワ
ーPW2のパワー制御例を示す。
第１図に示す光ディスク原盤露光方法はアドレスピッ
トを露光するときにトラッキング用Ｖグルーブ露光用の
レーザビームの露光パワーを通常の75％に減少させ、ト
ラッキング用Ｖグルーブ露光用のレーザビームとアドレ
スピット露光用のレーザビームとの重なりによるアドレ
スピットの両側面の部分での膜減りの発生を防止してい
る。
トを露光するときにトラッキング用Ｖグルーブ露光用の
レーザビームの露光パワーを通常の75％に減少させ、ト
ラッキング用Ｖグルーブ露光用のレーザビームとアドレ
スピット露光用のレーザビームとの重なりによるアドレ
スピットの両側面の部分での膜減りの発生を防止してい
る。
第２図は第１図に示す実施例によりフォトレジスト円
板上にアドレスピット２とトラッキング用Ｖグルーブ１
の露光を行ない、現像処理した後の断面図である。アド
レスピット２の断面形状は膜減りもなく設計値の矩形に
近い形状となっている。また、２本のレーザビームの露
光パワー、２本のレーザビームの間隔など露光条件の微
小な変動が生じてもアドレスピット２の断面形状の変動
を抑えることができる。その結果、作成された光ディス
ク原盤から転写して得られる光ディスク媒体においてア
ドレスピット２から得られる電気的特性の悪化をなくす
ことができる。
板上にアドレスピット２とトラッキング用Ｖグルーブ１
の露光を行ない、現像処理した後の断面図である。アド
レスピット２の断面形状は膜減りもなく設計値の矩形に
近い形状となっている。また、２本のレーザビームの露
光パワー、２本のレーザビームの間隔など露光条件の微
小な変動が生じてもアドレスピット２の断面形状の変動
を抑えることができる。その結果、作成された光ディス
ク原盤から転写して得られる光ディスク媒体においてア
ドレスピット２から得られる電気的特性の悪化をなくす
ことができる。
上述した実施例では、トラッキング用Ｖグルーブ露光
用のビームの露光パワーを通常の75％に減少したが、ト
ラッキングが可能なＶグルーブが形成できる最小の露光
パワーまで低下させて露光してもよい。
用のビームの露光パワーを通常の75％に減少したが、ト
ラッキングが可能なＶグルーブが形成できる最小の露光
パワーまで低下させて露光してもよい。
本発明の光ディスク原盤露光方法は、アドレスピット
露光時にトラッキング用Ｖグルーブ露光用のビームの露
光パワーを減少させピットのない部分のトラッキング用
Ｖグルーブより浅くすることにより、ピットの両側面の
部分で膜減りを発生させることを防止できるので、アド
レスピットの断面形状を設計値の矩形に近づけることが
でき、また露光条件の微小な変動があっても安定してア
ドレスピットを形成できるとともに、作成された光ディ
スク原盤から転写して得られる光ディスク媒体において
アドレスピットから得られる電気的特性も安定化できる
という効果がある。
露光時にトラッキング用Ｖグルーブ露光用のビームの露
光パワーを減少させピットのない部分のトラッキング用
Ｖグルーブより浅くすることにより、ピットの両側面の
部分で膜減りを発生させることを防止できるので、アド
レスピットの断面形状を設計値の矩形に近づけることが
でき、また露光条件の微小な変動があっても安定してア
ドレスピットを形成できるとともに、作成された光ディ
スク原盤から転写して得られる光ディスク媒体において
アドレスピットから得られる電気的特性も安定化できる
という効果がある。
第１図（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例を示すタイミ
ング図、第２図は第１図に示す実施例で露光されたパタ
ーン形状の断面図、第３図は本発明および従来の光ディ
スク原盤露光方法で露光された露光パターンの一例を示
す平面図、第４図は従来の一例を用いて露光されたパタ
ーン形状の断面図である。 １……トラッキング用Ｖグルーブ、２……アドレスピッ
ト PW1……トラッキング用Ｖグルーブ露光パワー、PW2……
アドレスピット露光パワー、Ｐ……トラックピッチ、
Ｐ′……レザービーム間隔、ｄ……膜減り。
ング図、第２図は第１図に示す実施例で露光されたパタ
ーン形状の断面図、第３図は本発明および従来の光ディ
スク原盤露光方法で露光された露光パターンの一例を示
す平面図、第４図は従来の一例を用いて露光されたパタ
ーン形状の断面図である。 １……トラッキング用Ｖグルーブ、２……アドレスピッ
ト PW1……トラッキング用Ｖグルーブ露光パワー、PW2……
アドレスピット露光パワー、Ｐ……トラックピッチ、
Ｐ′……レザービーム間隔、ｄ……膜減り。
Claims (1)
- 【請求項１】光ディスク原盤に対しアドレスピット露光
用の第１のレーザビームでトラック番号およびセクタ番
号を記録するためのアドレスピットの露光を行ない、前
記第１のレーザビームとトラックピッチの1/2の間隔で
平行に配置され、前記アドレスピットの露光のときには
アドレスピットのない部分で露光のときの露光パワーよ
りも減少された露光パワーの第２のレーザビームでトラ
ッキング用Ｖグルーブの露光を行なうことを特徴とする
光ディスク原盤露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63225612A JP2536089B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 光ディスク原盤露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63225612A JP2536089B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 光ディスク原盤露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273543A JPH0273543A (ja) | 1990-03-13 |
| JP2536089B2 true JP2536089B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=16832049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63225612A Expired - Fee Related JP2536089B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | 光ディスク原盤露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2536089B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2677254B2 (ja) * | 1995-06-15 | 1997-11-17 | 日本電気株式会社 | 光ディスク用原盤露光方法および露光装置 |
| JPH10177722A (ja) * | 1996-12-16 | 1998-06-30 | Seiko Epson Corp | 記録装置 |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP63225612A patent/JP2536089B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0273543A (ja) | 1990-03-13 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |