JP2534431Y2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JP2534431Y2 JP2534431Y2 JP1991077659U JP7765991U JP2534431Y2 JP 2534431 Y2 JP2534431 Y2 JP 2534431Y2 JP 1991077659 U JP1991077659 U JP 1991077659U JP 7765991 U JP7765991 U JP 7765991U JP 2534431 Y2 JP2534431 Y2 JP 2534431Y2
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- Japan
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- arm
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- holding
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、基板の搬送装置、特に
半導体基板や、液晶用またはフォトマスク用ガラス基板
などの薄板状基板(以下、単に「基板」という。)を所
定位置に搬送するための基板搬送装置に関するものであ
る。
半導体基板や、液晶用またはフォトマスク用ガラス基板
などの薄板状基板(以下、単に「基板」という。)を所
定位置に搬送するための基板搬送装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来技術】図5は従来の基板搬送装置の概要を示す図
である。
である。
【0003】基板搬送装置1は、キャリア保持部2とこ
れを水平方向に移動可能に保持するアーム3と、このア
ーム3を上下方向に移動可能に保持する基台4とからな
る。このキャリア保持部2は、把持爪5aを有する把持
部5とこれを水平に支持するヘッド6からなっており、
図示しない駆動手段によって水平方向に移動させられ
る。
れを水平方向に移動可能に保持するアーム3と、このア
ーム3を上下方向に移動可能に保持する基台4とからな
る。このキャリア保持部2は、把持爪5aを有する把持
部5とこれを水平に支持するヘッド6からなっており、
図示しない駆動手段によって水平方向に移動させられ
る。
【0004】アーム3は、基台4に設けられた駆動手段
により上下方向に移動されるようになっており、さらに
基台4は、車輪4aを介してレール7の上に載置されて
おり、図示しない駆動装置により図面と垂直な方向に駆
動されるようになっている。
により上下方向に移動されるようになっており、さらに
基台4は、車輪4aを介してレール7の上に載置されて
おり、図示しない駆動装置により図面と垂直な方向に駆
動されるようになっている。
【0005】また、8は基板収納棚であり、各収納棚8
aには、内部に25枚程度の基板9を垂直に整列させて
収納しているキャリア(基板搬送用容器)10が収納さ
れている。
aには、内部に25枚程度の基板9を垂直に整列させて
収納しているキャリア(基板搬送用容器)10が収納さ
れている。
【0006】このキャリア10内部は、図6に示すよう
にガイド溝10aが一定のピッチで複数平行に設けられ
ており、基板9の外縁がこのガイド溝10aに挿入され
て、一定の間隔をおいて垂直に整列したまま収納される
ようになっている。
にガイド溝10aが一定のピッチで複数平行に設けられ
ており、基板9の外縁がこのガイド溝10aに挿入され
て、一定の間隔をおいて垂直に整列したまま収納される
ようになっている。
【0007】なお、10bは、保持部2の把持爪5aを
矢印方向に移動させてキャリア10を把持するための鍔
である。
矢印方向に移動させてキャリア10を把持するための鍔
である。
【0008】このような従来の搬送装置1において、基
板収納棚8に収納されたキャリア10を取り出す場合に
は、まず、基台4をレール7に沿って所定位置に移動
し、それからアーム3を目的の収納棚8aの位置まで上
昇させ、その後ヘッド6を収納棚8a方向へ前進させて
から、把持爪5aで2個のキャリア10を同時に把持す
る。
板収納棚8に収納されたキャリア10を取り出す場合に
は、まず、基台4をレール7に沿って所定位置に移動
し、それからアーム3を目的の収納棚8aの位置まで上
昇させ、その後ヘッド6を収納棚8a方向へ前進させて
から、把持爪5aで2個のキャリア10を同時に把持す
る。
【0009】その後、アーム3を少し上昇させて、キャ
リア10の底を収納棚8aから浮かし、ヘッド6をもと
の位置に後退させてから、所望の位置に搬送する。
リア10の底を収納棚8aから浮かし、ヘッド6をもと
の位置に後退させてから、所望の位置に搬送する。
【0010】また、キャリア10を収納棚8aに収納す
る場合は、上述と逆の動作をするようになっている。
る場合は、上述と逆の動作をするようになっている。
【0011】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板搬送装置1においては、次のような問題点があっ
た。
基板搬送装置1においては、次のような問題点があっ
た。
【0012】(1)保持部2がキャリア10を保持して
前進・後退移動をする際に、キャリア10内に収納され
ている基板9の処理面が傷付くおそれがある。
前進・後退移動をする際に、キャリア10内に収納され
ている基板9の処理面が傷付くおそれがある。
【0013】詳しく述べれば上述のように、基板9は、
その外縁が、キャリア10内部のガイド溝10a(図
6)に挿入され、相互に一定の隙間をもって整列収納さ
れているが、当該ガイド溝10aは基板9を挿入しやす
いようにある程度の余裕をもって形成されており、急激
にキャリア10を移動させると、その反動で基板9の外
縁が該ガイド溝内側面にぶつかって、その部分を痛め、
最悪の場合には、基板9同士がぶつかり、大切な基板の
処理面を傷付けるおそれがあった。
その外縁が、キャリア10内部のガイド溝10a(図
6)に挿入され、相互に一定の隙間をもって整列収納さ
れているが、当該ガイド溝10aは基板9を挿入しやす
いようにある程度の余裕をもって形成されており、急激
にキャリア10を移動させると、その反動で基板9の外
縁が該ガイド溝内側面にぶつかって、その部分を痛め、
最悪の場合には、基板9同士がぶつかり、大切な基板の
処理面を傷付けるおそれがあった。
【0014】また、キャリアを用いずに、複数のガイド
溝を有する把持爪で直接基板を把持して移動する場合に
も同様な問題が生じていた。
溝を有する把持爪で直接基板を把持して移動する場合に
も同様な問題が生じていた。
【0015】(2)今後、基板の径はさらに大型化する
傾向にあり、収納スペースの拡大が要求されているが、
従来の基板搬送装置は図5に示すように大変場所をとる
ため、収納スペースを大きくすることが困難であった。
傾向にあり、収納スペースの拡大が要求されているが、
従来の基板搬送装置は図5に示すように大変場所をとる
ため、収納スペースを大きくすることが困難であった。
【0016】すなわち、従来の基板搬送装置1の奥行き
は、保持部2の移動に要する距離d1 とヘッド6の幅d
2 および基台の幅d3 が直列に並ぶため、かなりのスペ
ースを要するものであった。
は、保持部2の移動に要する距離d1 とヘッド6の幅d
2 および基台の幅d3 が直列に並ぶため、かなりのスペ
ースを要するものであった。
【0017】また、基板搬送装置1の後方にも基板収納
棚を設けたい場合には、基台4の垂直部1aを、別途設
けた回転駆動手段により180度回転させるか、もしく
はアーム部3と同様なアーム部をもう一つ設けて、基台
4の垂直部1aの後方に突出させて付設しなければなら
なかった。どちらにしても余分なコストがかかるだけで
なく、従来の倍のスペースをとるため、ますます省スペ
ース化に反するものとなる。
棚を設けたい場合には、基台4の垂直部1aを、別途設
けた回転駆動手段により180度回転させるか、もしく
はアーム部3と同様なアーム部をもう一つ設けて、基台
4の垂直部1aの後方に突出させて付設しなければなら
なかった。どちらにしても余分なコストがかかるだけで
なく、従来の倍のスペースをとるため、ますます省スペ
ース化に反するものとなる。
【0018】本願考案は、上述のような従来の基板搬送
装置における問題点を解消し、移動時に基板の処理面を
傷付けないで、しかもコンパクトな基板搬送装置を提供
することを目的とする。
装置における問題点を解消し、移動時に基板の処理面を
傷付けないで、しかもコンパクトな基板搬送装置を提供
することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案にかかる基板搬送装置は、基板を保持して水
平方向に移動する保持部と、この保持部を支持するアー
ム部と、このアーム部を少なくとも上下方向に駆動する
ための基台とからなり、前記アーム部は前記基台に対し
て水平方向に移動し、前記保持部は、その移動過程にお
いて、前記基板の所要面が上方に向くように傾けて当該
基板を保持すると共に当該基板を所定位置に離着させる
際に該基板が垂直の状態になるような、保持部と共に上
下方向に移動する揺動機構を備えることを特徴とし、さ
らに、前記アーム部の構造は、前記保持部を移動可能に
保持する可動アームと、前記可動アームを水平方向に移
動可能に保持すると共にその側部で前記基台に上下方向
に駆動可能に保持されたアーム基体と、前記アーム基体
に対し前記可動アームを水平方向に移動させるための駆
動手段と、可動アームに設けられ、一方の側が前記保持
部に係合し、他方の側が前記アーム基体に係合するベル
ト機構と、を備え、前記揺動機構は、前記保持部と可動
アームの間に設けられたカム機構であることを特徴とす
る。
め、本考案にかかる基板搬送装置は、基板を保持して水
平方向に移動する保持部と、この保持部を支持するアー
ム部と、このアーム部を少なくとも上下方向に駆動する
ための基台とからなり、前記アーム部は前記基台に対し
て水平方向に移動し、前記保持部は、その移動過程にお
いて、前記基板の所要面が上方に向くように傾けて当該
基板を保持すると共に当該基板を所定位置に離着させる
際に該基板が垂直の状態になるような、保持部と共に上
下方向に移動する揺動機構を備えることを特徴とし、さ
らに、前記アーム部の構造は、前記保持部を移動可能に
保持する可動アームと、前記可動アームを水平方向に移
動可能に保持すると共にその側部で前記基台に上下方向
に駆動可能に保持されたアーム基体と、前記アーム基体
に対し前記可動アームを水平方向に移動させるための駆
動手段と、可動アームに設けられ、一方の側が前記保持
部に係合し、他方の側が前記アーム基体に係合するベル
ト機構と、を備え、前記揺動機構は、前記保持部と可動
アームの間に設けられたカム機構であることを特徴とす
る。
【0020】なお、本明細書において「基板を保持す
る」という表現は、従来例で示したように、基板を、そ
の収納したキャリアを介して間接的に保持する場合と、
キャリアを介せず保持部に設けられた、内面にガイド溝
を有する把持手段で直接基板を保持する場合との両者を
含むものとする。
る」という表現は、従来例で示したように、基板を、そ
の収納したキャリアを介して間接的に保持する場合と、
キャリアを介せず保持部に設けられた、内面にガイド溝
を有する把持手段で直接基板を保持する場合との両者を
含むものとする。
【0021】
【作用】第1の考案によれば、保持部で保持して基板を
移動させる際に、基板の所要の面が上方に向くように傾
けて保持し、所定位置に基板を載置もしくは受け取ると
きにのみ水平になるように保持部の傾きを制御する揺動
機構を設けているので、保持部が急激に移動したり、ま
たは、搬送途中に振動が加わっても、当該基板は傾いて
寝かされた状態になっており、その状態のまま安定に保
持される。
移動させる際に、基板の所要の面が上方に向くように傾
けて保持し、所定位置に基板を載置もしくは受け取ると
きにのみ水平になるように保持部の傾きを制御する揺動
機構を設けているので、保持部が急激に移動したり、ま
たは、搬送途中に振動が加わっても、当該基板は傾いて
寝かされた状態になっており、その状態のまま安定に保
持される。
【0022】また、基板を所定位置に載置し、もしくは
所定位置から離脱させて保持するというような、基板の
所定位置への離着の動作の際には、当該基板が垂直な状
態になるので、所定位置への設置および取り出しが円滑
に行える。
所定位置から離脱させて保持するというような、基板の
所定位置への離着の動作の際には、当該基板が垂直な状
態になるので、所定位置への設置および取り出しが円滑
に行える。
【0023】また、第2の考案によれば、前記アーム部
は、保持部と可動アーム、可動アームとアーム基体の2
段階の移動部分を備え、該保持部とアーム基体は、前記
可動アームに設けられたベルト機構の相対する部分にお
いて機械的に連結されているので、可動アームをxだけ
移動すると2xだけ、保持部が前方に移動するので、ス
ペースをあまりとらなくて済む。また、アーム基体がそ
の側部で基台の垂直部に保持されるので、従来の基板搬
送装置におけるd3 (図5)がd1 と重なることになっ
て短縮されると共に可動アームの移動方向に制限がなく
なり、これを後方に移動することにより、把持部がこれ
に追従して後方に送られ、スペースをコンパクトにしな
がら後方への搬送も実現できる。
は、保持部と可動アーム、可動アームとアーム基体の2
段階の移動部分を備え、該保持部とアーム基体は、前記
可動アームに設けられたベルト機構の相対する部分にお
いて機械的に連結されているので、可動アームをxだけ
移動すると2xだけ、保持部が前方に移動するので、ス
ペースをあまりとらなくて済む。また、アーム基体がそ
の側部で基台の垂直部に保持されるので、従来の基板搬
送装置におけるd3 (図5)がd1 と重なることになっ
て短縮されると共に可動アームの移動方向に制限がなく
なり、これを後方に移動することにより、把持部がこれ
に追従して後方に送られ、スペースをコンパクトにしな
がら後方への搬送も実現できる。
【0024】
【実施例】以下、図面を参照して本考案にかかる基板搬
送装置の一実施例を詳細に説明するが、本考案の技術的
範囲がこれによって限定されるものではないことはもち
ろんである。
送装置の一実施例を詳細に説明するが、本考案の技術的
範囲がこれによって限定されるものではないことはもち
ろんである。
【0025】図1は本実施例の基板搬送装置の主要部で
あるアーム部を側面から見た図であり、図2は図1のA
−A線における断面をより詳細に示した図である。
あるアーム部を側面から見た図であり、図2は図1のA
−A線における断面をより詳細に示した図である。
【0026】なお、図1においては、説明の都合上、図
2におけるレール保持板11cなどは省略されると共に
基台13は一点鎖線で示されている。
2におけるレール保持板11cなどは省略されると共に
基台13は一点鎖線で示されている。
【0027】図1において、11は、可動アームであ
り、フレーム状に形成されており、アーム基体12と共
にアーム部を形成している。
り、フレーム状に形成されており、アーム基体12と共
にアーム部を形成している。
【0028】この可動アーム11に直接付設されたレー
ル11a、およびレール保持板11cを介して付設され
たレール11bが、アーム基体12に設けられたガイド
溝12a、12b(図2)のそれぞれに係合しており、
これにより可動アーム11がアーム基体12に対して、
水平方向に摺動可能に保持される。
ル11a、およびレール保持板11cを介して付設され
たレール11bが、アーム基体12に設けられたガイド
溝12a、12b(図2)のそれぞれに係合しており、
これにより可動アーム11がアーム基体12に対して、
水平方向に摺動可能に保持される。
【0029】アーム基体12には、その直交する方向に
取付部材12cが付設されており、この取付部材12c
は、基台13に上下方向に摺動可能に保持されると共
に、基台13内部に懸架された駆動ベルト13aにピン
12dにより連結されている。該駆動ベルト13aは図
示しない駆動手段により上下方向に駆動され、これによ
りアーム基体12が上下方向に駆動される。アーム基体
12には、駆動モータ14が取り付けられ、この駆動モ
ータ14の回転軸には、ピニオン14aが取り付けられ
ている。
取付部材12cが付設されており、この取付部材12c
は、基台13に上下方向に摺動可能に保持されると共
に、基台13内部に懸架された駆動ベルト13aにピン
12dにより連結されている。該駆動ベルト13aは図
示しない駆動手段により上下方向に駆動され、これによ
りアーム基体12が上下方向に駆動される。アーム基体
12には、駆動モータ14が取り付けられ、この駆動モ
ータ14の回転軸には、ピニオン14aが取り付けられ
ている。
【0030】一方、可動アーム11の内部底面には、ラ
ック15が、該可動アーム11の長手方向に付設されて
おり、前記ピニオン14aがこのラック15に噛合し、
駆動モータ14の回転により、可動アーム11が、水平
方向に自在に駆動されるようになっている。
ック15が、該可動アーム11の長手方向に付設されて
おり、前記ピニオン14aがこのラック15に噛合し、
駆動モータ14の回転により、可動アーム11が、水平
方向に自在に駆動されるようになっている。
【0031】可動アーム11内部上方には、取付金具1
6aを介してプーリ16が回転可能に取り付けられ、こ
のプーリ16には、タイミングベルト17が掛けられて
おり、後述のベルト機構を実現する。
6aを介してプーリ16が回転可能に取り付けられ、こ
のプーリ16には、タイミングベルト17が掛けられて
おり、後述のベルト機構を実現する。
【0032】なお、このタイミングベルト17は、通常
のベルトを使用することも可能であるが、駆動精度を保
つため、伸縮性の少ないものを使用することが望まし
い。
のベルトを使用することも可能であるが、駆動精度を保
つため、伸縮性の少ないものを使用することが望まし
い。
【0033】可動アーム11の上面には、ガイドレール
18(図2)が該可動アーム11の長手方向に沿って設
けられており、このガイドレール18に係合金具19が
摺動可能に噛み合っている。該金具19上部には、基板
保持部であるチャック20の揺動軸21を回転可能に保
持する支持部材22が固着されている。
18(図2)が該可動アーム11の長手方向に沿って設
けられており、このガイドレール18に係合金具19が
摺動可能に噛み合っている。該金具19上部には、基板
保持部であるチャック20の揺動軸21を回転可能に保
持する支持部材22が固着されている。
【0034】チャック20は、図3に示すような形状を
しており、揺動軸21にはL字型金具20a,20bが
キャリア10の幅より少し広い間隔をおいて向かいあっ
て付設され、L字部20c,20dをキャリア10の鍔
10bに引っ掛けて持ち上げて保持するようになってい
る。それぞれのL字部20c,20dの端には、チャッ
ク20が後述のカム機構により揺動したときにキャリア
10が、ずれたり、滑り落ちたりしないようにするため
滑止め20eが設けられている。
しており、揺動軸21にはL字型金具20a,20bが
キャリア10の幅より少し広い間隔をおいて向かいあっ
て付設され、L字部20c,20dをキャリア10の鍔
10bに引っ掛けて持ち上げて保持するようになってい
る。それぞれのL字部20c,20dの端には、チャッ
ク20が後述のカム機構により揺動したときにキャリア
10が、ずれたり、滑り落ちたりしないようにするため
滑止め20eが設けられている。
【0035】上記揺動軸21のL字型金具20a,20
bからなるチャック部と反対の方向には、揺動アーム2
3が所定の角度で固定されており(図1)、この揺動ア
ーム23は、引っ張りバネ23aにより左回転方向に付
勢されている。また揺動アーム23の先端には、車輪2
3bが回転可能に支持されている。
bからなるチャック部と反対の方向には、揺動アーム2
3が所定の角度で固定されており(図1)、この揺動ア
ーム23は、引っ張りバネ23aにより左回転方向に付
勢されている。また揺動アーム23の先端には、車輪2
3bが回転可能に支持されている。
【0036】一方、可動アーム11上面には、前記ガイ
ドレール18と平行にカム用レール24が設けられてお
り、前記揺動アーム23の車輪23bがその上面に当接
して回転する。
ドレール18と平行にカム用レール24が設けられてお
り、前記揺動アーム23の車輪23bがその上面に当接
して回転する。
【0037】該カム用レール24は、中央部に高部24
a、左右両端部にスロープ24b、24d、および底部
24c、24eを備えており、一方、揺動アーム23は
上述のように引っ張りバネ23aにより左回転方向に付
勢されているので、これにより揺動アーム23が上記カ
ム用レール24の形状に常に追随して揺動し、カム機構
が形成される。
a、左右両端部にスロープ24b、24d、および底部
24c、24eを備えており、一方、揺動アーム23は
上述のように引っ張りバネ23aにより左回転方向に付
勢されているので、これにより揺動アーム23が上記カ
ム用レール24の形状に常に追随して揺動し、カム機構
が形成される。
【0038】このカム機構は、車輪23bがカム用レー
ル24の高部24aに当接しているときは、図1に示す
ようにチャック20が若干右方向に傾き、保持部が可動
アーム11の端に移動し車輪23bが底部24c、24
eに当接すると、チャック20が水平になるように調整
されている。
ル24の高部24aに当接しているときは、図1に示す
ようにチャック20が若干右方向に傾き、保持部が可動
アーム11の端に移動し車輪23bが底部24c、24
eに当接すると、チャック20が水平になるように調整
されている。
【0039】また、前記支持部材22は、金具17aに
より前述のタイミングベルト17の上側に連結され、一
方、タイミングベルト17の下側は、金具17bにより
アーム基体12に固定されて所定のベルト機構が形成さ
れている。
より前述のタイミングベルト17の上側に連結され、一
方、タイミングベルト17の下側は、金具17bにより
アーム基体12に固定されて所定のベルト機構が形成さ
れている。
【0040】このような、ベルト機構による動作を図4
の概略図によって次に説明する。
の概略図によって次に説明する。
【0041】ピニオン14aが、可動アーム11の中点
Mの位置にある場合を初期位置とした場合(図4a)を
考えると、ピニオン14aをP方向に回転駆動すること
により、これに噛合したラック15が左方向(前方)に
送られ、これにより可動アーム11が左方向に移動す
る。一方、タイミングベルト17の下側は、アーム基体
12に固定されている(E点)ので、タイミングベルト
17自身は移動しないが、可動アーム11に取り付けら
れたプーリ16が移動するので、該E点とチャック20
の位置C点が、可動アームの移動量だけ相対的に変化
し、結果的に図4bに示すように可動アーム11がxだ
け左方向に移動すれば、チャック20は2x左方向に移
動することになる。また、この際、上述したカム機構
(図1)により、図4aで右方向に傾いていたチャック
20が、左端に来ると図4bに示すように水平になるの
で、保持されている基板9が垂直の状態になり、この状
態で所定位置に載置され、もしくは所定位置から離脱保
持される。
Mの位置にある場合を初期位置とした場合(図4a)を
考えると、ピニオン14aをP方向に回転駆動すること
により、これに噛合したラック15が左方向(前方)に
送られ、これにより可動アーム11が左方向に移動す
る。一方、タイミングベルト17の下側は、アーム基体
12に固定されている(E点)ので、タイミングベルト
17自身は移動しないが、可動アーム11に取り付けら
れたプーリ16が移動するので、該E点とチャック20
の位置C点が、可動アームの移動量だけ相対的に変化
し、結果的に図4bに示すように可動アーム11がxだ
け左方向に移動すれば、チャック20は2x左方向に移
動することになる。また、この際、上述したカム機構
(図1)により、図4aで右方向に傾いていたチャック
20が、左端に来ると図4bに示すように水平になるの
で、保持されている基板9が垂直の状態になり、この状
態で所定位置に載置され、もしくは所定位置から離脱保
持される。
【0042】これにより、基板の所定箇所への離着が自
然に行え、基板にショックを与えることがなくなる。
然に行え、基板にショックを与えることがなくなる。
【0043】チャック20を右方向(後方)に移動させ
る場合には、ピニオン14aをQ方向に回転駆動させ、
以後上述と同じ原理によりチャック20が後方に移動さ
れる(図4c)。
る場合には、ピニオン14aをQ方向に回転駆動させ、
以後上述と同じ原理によりチャック20が後方に移動さ
れる(図4c)。
【0044】本実施例においてはアーム部は基台13の
側部に取り付けられ、しかもチャック20は可動アーム
11と重なって平行に取り付けられているので、従来の
基板搬送装置におけるd2 、d3 (図5)が、基板保持
部の移動距離d1 に重なることになり、該搬送装置の奥
行きは実質上可動アーム11(=基板保持部の移動距離
d1 )の長さだけでよいことになって、従来に比べ大変
コンパクトになると共に、図4cに示すように後方へチ
ャック20を移動させることもでき、基板9を基台13
後方に搬送することを可能ならしめる。
側部に取り付けられ、しかもチャック20は可動アーム
11と重なって平行に取り付けられているので、従来の
基板搬送装置におけるd2 、d3 (図5)が、基板保持
部の移動距離d1 に重なることになり、該搬送装置の奥
行きは実質上可動アーム11(=基板保持部の移動距離
d1 )の長さだけでよいことになって、従来に比べ大変
コンパクトになると共に、図4cに示すように後方へチ
ャック20を移動させることもでき、基板9を基台13
後方に搬送することを可能ならしめる。
【0045】なお、チャック20を一方の方向しか移動
する必要がない場合には、カム用レール24の前記移動
方向と反対側のスロープ、および底部は不要である。
する必要がない場合には、カム用レール24の前記移動
方向と反対側のスロープ、および底部は不要である。
【0046】また、移動中のチャック20の向きを左方
向に傾かせてもよく、この場合にはカム用レール24の
中央部を低くして両端部を高くするか、あるいは、揺動
アーム23の車輪23bが、右上方向からカム用レール
24に当接するように形成すればよい。
向に傾かせてもよく、この場合にはカム用レール24の
中央部を低くして両端部を高くするか、あるいは、揺動
アーム23の車輪23bが、右上方向からカム用レール
24に当接するように形成すればよい。
【0047】また、アーム基体12を基台13に対して
上下方向に駆動する手段は、図2に示したようなベルト
駆動機構に限らず、公知のネジ送り機構やその他のアク
チュエータ機構でもよく、また、基台13を水平方向に
駆動する手段は、従来のようにレール上の車輪を駆動す
るものや、その他の公知の直線方向駆動手段により随時
実施可能なものなので、本明細書では特に説明をしな
い。
上下方向に駆動する手段は、図2に示したようなベルト
駆動機構に限らず、公知のネジ送り機構やその他のアク
チュエータ機構でもよく、また、基台13を水平方向に
駆動する手段は、従来のようにレール上の車輪を駆動す
るものや、その他の公知の直線方向駆動手段により随時
実施可能なものなので、本明細書では特に説明をしな
い。
【0048】次に、本実施例の基板搬送装置によって基
板を保持し搬送する際の動作について説明する。
板を保持し搬送する際の動作について説明する。
【0049】まず、基台13を移動させて、可動アーム
11が目的の収納棚8a(図5)の前に来るようにし、
チャック20のL字部20c、20dの高さが、キャリ
ア10の鍔10b(図6)の下面より滑止め20eの高
さ以上に低くなるように、該アーム基体12を上下駆動
する。次に可動アーム11を駆動させて、チャック20
を前方に移動し、L字部20c,20dをキャリア10
の両側の鍔10b下方に挿入する。
11が目的の収納棚8a(図5)の前に来るようにし、
チャック20のL字部20c、20dの高さが、キャリ
ア10の鍔10b(図6)の下面より滑止め20eの高
さ以上に低くなるように、該アーム基体12を上下駆動
する。次に可動アーム11を駆動させて、チャック20
を前方に移動し、L字部20c,20dをキャリア10
の両側の鍔10b下方に挿入する。
【0050】このとき車輪23bは、ガイドレール24
の底部24cに当接しているので、チャック20は上述
のように水平の状態であり、この状態で、アーム基体1
2を上方に駆動すると、キャリア10の両端の鍔10b
がL字部20c,20dに係合し、キャリア10がチャ
ック20と共に上昇して、底面が収納棚8aから離れた
状態になる。このとき、キャリア10は水平に保たれて
いるので、キャリア10に収納された基板9は垂直に保
持され、上昇の際にガイド溝10a内でガタついて傷付
くことなく、円滑に保持できる。
の底部24cに当接しているので、チャック20は上述
のように水平の状態であり、この状態で、アーム基体1
2を上方に駆動すると、キャリア10の両端の鍔10b
がL字部20c,20dに係合し、キャリア10がチャ
ック20と共に上昇して、底面が収納棚8aから離れた
状態になる。このとき、キャリア10は水平に保たれて
いるので、キャリア10に収納された基板9は垂直に保
持され、上昇の際にガイド溝10a内でガタついて傷付
くことなく、円滑に保持できる。
【0051】次に、可動アーム11を後退するとチャッ
ク20もタイミングベルト17の働きにより、該可動ア
ーム11上を後退してゆき、揺動アーム23の車輪23
bがスロープ24bを経て、高部24aに当接し、チャ
ック20が右方向に傾く、このためキャリア10内に収
納された基板は、その外縁が各ガイド溝10aの右内側
面に当接し寝かした状態になるので、可動アーム11の
移動速度が速くても、基板が反対方向に倒れてその外縁
が、ガイド溝10aの左内側面にぶつかって傷付いた
り、また、基板同士がぶつかりあって処理面を傷付ける
ようなことは起こらない。なお、スロープ24bは、チ
ャック20が水平状態から急激に右方向に傾き、その反
動で基板が傷付くのを避けるために設けられており、可
動アーム11の移動速度が速ければ速いほど、上記スロ
ープ24bをなだらかに形成することが望ましい。
ク20もタイミングベルト17の働きにより、該可動ア
ーム11上を後退してゆき、揺動アーム23の車輪23
bがスロープ24bを経て、高部24aに当接し、チャ
ック20が右方向に傾く、このためキャリア10内に収
納された基板は、その外縁が各ガイド溝10aの右内側
面に当接し寝かした状態になるので、可動アーム11の
移動速度が速くても、基板が反対方向に倒れてその外縁
が、ガイド溝10aの左内側面にぶつかって傷付いた
り、また、基板同士がぶつかりあって処理面を傷付ける
ようなことは起こらない。なお、スロープ24bは、チ
ャック20が水平状態から急激に右方向に傾き、その反
動で基板が傷付くのを避けるために設けられており、可
動アーム11の移動速度が速ければ速いほど、上記スロ
ープ24bをなだらかに形成することが望ましい。
【0052】チャック20に保持されたキャリア10を
収納棚8aに載置する場合は、上述の逆の動作となるの
で説明は省略される。
収納棚8aに載置する場合は、上述の逆の動作となるの
で説明は省略される。
【0053】なお、本実施例では、可動アーム11の駆
動手段として、ピニオン14aとラック15の組み合わ
せを使用したが、この代わりにチェーンとプーリの組み
合わせによる直線駆動を利用しても、その他の公知の直
線駆動を採用できるものである。
動手段として、ピニオン14aとラック15の組み合わ
せを使用したが、この代わりにチェーンとプーリの組み
合わせによる直線駆動を利用しても、その他の公知の直
線駆動を採用できるものである。
【0054】本実施例では、チャック20の揺動機構と
して、ガイドレール24と揺動アーム23によって形成
された簡単なカム機構の例を示したが、該揺動機構の構
成は、これに限定されるものではなく、例えば、アーム
部が、本願のように水平方向でなく、任意の方向に移動
できる搬送装置については、チャック20に角度センサ
を設置すると共に揺動軸21に回転駆動手段を付設し、
該角度センサにより回転駆動手段をフィードバック制御
して、チャック20が移動中には、キャリア10が水平
方向に対して一定角度傾くように制御し、キャリア10
を収納棚8aに載置、もしくは引き出すときにキャリア
10が水平の状態になるように制御して構成することも
可能である。
して、ガイドレール24と揺動アーム23によって形成
された簡単なカム機構の例を示したが、該揺動機構の構
成は、これに限定されるものではなく、例えば、アーム
部が、本願のように水平方向でなく、任意の方向に移動
できる搬送装置については、チャック20に角度センサ
を設置すると共に揺動軸21に回転駆動手段を付設し、
該角度センサにより回転駆動手段をフィードバック制御
して、チャック20が移動中には、キャリア10が水平
方向に対して一定角度傾くように制御し、キャリア10
を収納棚8aに載置、もしくは引き出すときにキャリア
10が水平の状態になるように制御して構成することも
可能である。
【0055】また、本実施例では、チャック20とし
て、キャリア10の鍔10bにL字部20c,20dを
係合させる簡易な方式を説明したが、もちろん従来技術
のように把持爪を設けてこれを駆動して挟持するように
してもよいし(実開平1−79838号公報)、キャリ
ア10に取っ手を設けてこれに鉤状のチャックを引っ掛
けるようにしてもよく(特開昭60−137718号公
報)、本考案の趣旨に反しない範囲でキャリアを把持す
ることができる公知の全ての方式のチャックを採用する
ことができる。
て、キャリア10の鍔10bにL字部20c,20dを
係合させる簡易な方式を説明したが、もちろん従来技術
のように把持爪を設けてこれを駆動して挟持するように
してもよいし(実開平1−79838号公報)、キャリ
ア10に取っ手を設けてこれに鉤状のチャックを引っ掛
けるようにしてもよく(特開昭60−137718号公
報)、本考案の趣旨に反しない範囲でキャリアを把持す
ることができる公知の全ての方式のチャックを採用する
ことができる。
【0056】また、キャリア10を介さずに、直接基板
をチャックで把持して搬送する方式のもの(特開平2−
76227号公報)にも、採用することができる。
をチャックで把持して搬送する方式のもの(特開平2−
76227号公報)にも、採用することができる。
【0057】このようなチャックにもその内面にガイド
溝が複数設けられており、基板の外縁に傷を付けないよ
うにして下方から該チャックで支持し、基板の自重によ
り、当該ガイド溝に保持されるようになっているのが通
常であり、当該保持部分より上方は、当該ガイド溝に余
裕をもって挿入されているのみであって、上述のキャリ
ア10に収納する場合と同様、当該チャック移動時にガ
イド溝内でぐらついて傷付くという問題が生じるからで
ある。
溝が複数設けられており、基板の外縁に傷を付けないよ
うにして下方から該チャックで支持し、基板の自重によ
り、当該ガイド溝に保持されるようになっているのが通
常であり、当該保持部分より上方は、当該ガイド溝に余
裕をもって挿入されているのみであって、上述のキャリ
ア10に収納する場合と同様、当該チャック移動時にガ
イド溝内でぐらついて傷付くという問題が生じるからで
ある。
【0058】なお、本実施例においては、チャック20
は、可動アームの移動方向に対して直交する軸の回りに
揺動するように形成しているが、これは、該基板を基板
処理装置になどに搬送する場合、基板が該処理装置に対
して平行になるように載置する必要があり、従って、基
板はチャック20の移動方向に対して直交する方向に保
持したほうが設置しやすいからにほかならない。
は、可動アームの移動方向に対して直交する軸の回りに
揺動するように形成しているが、これは、該基板を基板
処理装置になどに搬送する場合、基板が該処理装置に対
して平行になるように載置する必要があり、従って、基
板はチャック20の移動方向に対して直交する方向に保
持したほうが設置しやすいからにほかならない。
【0059】要するに、本考案の趣旨は、基板の面と直
交する方向に該基板を移動させる場合に、基板保持部を
揺動させて該基板の所要面が上方に向くように傾け、か
つ、所定位置に基板を離着させるときにのみ水平になる
ような揺動機構を設けた点にあるのであって、基板保持
部の揺動方向は、その移動方向によって規制されるもの
である。
交する方向に該基板を移動させる場合に、基板保持部を
揺動させて該基板の所要面が上方に向くように傾け、か
つ、所定位置に基板を離着させるときにのみ水平になる
ような揺動機構を設けた点にあるのであって、基板保持
部の揺動方向は、その移動方向によって規制されるもの
である。
【0060】また、アーム基体12の駆動は、上下方向
の直線駆動のみならず、これを回転駆動するものであっ
てもよく、また両者を組み合わせたものでもよい。
の直線駆動のみならず、これを回転駆動するものであっ
てもよく、また両者を組み合わせたものでもよい。
【0061】
【考案の効果】本考案にかかる基板搬送装置は、上述の
ように基板の外縁をガイド溝に挿入して搬送する場合に
おいて、当該基板の面と直交する方向に該基板を移動さ
せる場合に、基板保持部を揺動させて該基板の所要面が
上方に向くように傾け、所定位置に基板を離着させると
きにのみ水平になるような揺動機構を設けたので、保持
部が急激に移動したり、または、搬送途中に振動が加わ
っても、当該基板は傾いて寝かされた状態になってお
り、その状態のまま安定に保持され、相互にぶつかりあ
って傷が付くようなことがない。また、この場合に基板
の処理面が上方にくるようにしておけば、当該処理面の
外縁のガイド溝に当接する部分も少なくなり、処理面を
傷付けることなしに安全に保持搬送することが可能にな
る。
ように基板の外縁をガイド溝に挿入して搬送する場合に
おいて、当該基板の面と直交する方向に該基板を移動さ
せる場合に、基板保持部を揺動させて該基板の所要面が
上方に向くように傾け、所定位置に基板を離着させると
きにのみ水平になるような揺動機構を設けたので、保持
部が急激に移動したり、または、搬送途中に振動が加わ
っても、当該基板は傾いて寝かされた状態になってお
り、その状態のまま安定に保持され、相互にぶつかりあ
って傷が付くようなことがない。また、この場合に基板
の処理面が上方にくるようにしておけば、当該処理面の
外縁のガイド溝に当接する部分も少なくなり、処理面を
傷付けることなしに安全に保持搬送することが可能にな
る。
【0062】また、基板が所定位置に載置され、もしく
は所定位置から離脱されて保持部に保持される際には、
当該基板が垂直な状態になっているので、所定位置への
設置および取り出しが円滑に行える。
は所定位置から離脱されて保持部に保持される際には、
当該基板が垂直な状態になっているので、所定位置への
設置および取り出しが円滑に行える。
【0063】また、さらに、本基板搬送装置のアーム部
は、保持部と可動アーム、可動アームとアーム基体の2
段階の移動部分を備え、該保持部とアーム基体は、前記
可動アームに設けられたベルト機構の相対する部分にお
いて機械的に連結されているので、可動アームの移動量
の2倍保持部が前方に移動し、アーム部に関するスペー
スをあまりとらなくて済む。
は、保持部と可動アーム、可動アームとアーム基体の2
段階の移動部分を備え、該保持部とアーム基体は、前記
可動アームに設けられたベルト機構の相対する部分にお
いて機械的に連結されているので、可動アームの移動量
の2倍保持部が前方に移動し、アーム部に関するスペー
スをあまりとらなくて済む。
【図1】本考案の一実施例にかかる基板搬送装置のアー
ム部を側面から見た概要図である。
ム部を側面から見た概要図である。
【図2】図1におけるA−A断面詳細図である。
【図3】図1の実施例におけるチャックの構造を示す斜
視図である。
視図である。
【図4】図1の実施例におけるチャックの移動の動作を
説明する図である。
説明する図である。
【図5】従来の基板搬送装置を示す図である。
【図6】基板を収納して搬送するためのキャリアの斜視
図である。
図である。
11 可動アーム 12 アーム基体 13 基台 14 駆動モータ 14a ピニオン 15 ラック 16 プーリ 17 タイミングベルト 20 チャック 21 揺動軸 22 支持部 23 揺動アーム 24 カム用レール
Claims (2)
- 【請求項1】 基板を保持して水平方向に移動する保持
部と、 この保持部を支持するアーム部と、このアーム部を少な
くとも上下方向に駆動するための基台とからなり、前記アーム部は前記基台に対して水平方向に移動し、 前記保持部は、その移動過程において、前記基板の所要
面が上方に向くように傾けて当該基板を保持すると共に
当該基板を所定位置に離着させる際に該基板が垂直の状
態になるような、保持部と共に上下方向に移動する揺動
機構を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項2】 前記アーム部は、 前記保持部を移動可能に保持する可動アームと、 前記可動アームを水平方向に移動可能に保持すると共に
その側部で前記基台に上下方向に駆動可能に保持された
アーム基体と、 前記アーム基体に対し前記可動アームを水平方向に移動
させるための駆動手段と、 可動アームに設けられ、一方の側が前記保持部に係合
し、他方の側が前記アーム基体に係合するベルト機構
と、 を備え、 前記揺動機構は、前記保持部と可動アームの間に設けら
れたカム機構であることを特徴とする、請求項1記載の
基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1991077659U JP2534431Y2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1991077659U JP2534431Y2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0522405U JPH0522405U (ja) | 1993-03-23 |
JP2534431Y2 true JP2534431Y2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=13640007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1991077659U Expired - Lifetime JP2534431Y2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2534431Y2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5677785B2 (ja) | 2009-08-27 | 2015-02-25 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法 |
KR101084184B1 (ko) | 2010-01-11 | 2011-11-17 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 |
KR101760897B1 (ko) | 2011-01-12 | 2017-07-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착원 및 이를 구비하는 유기막 증착 장치 |
KR20130004830A (ko) | 2011-07-04 | 2013-01-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR101959974B1 (ko) | 2012-07-10 | 2019-07-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
CN103545460B (zh) | 2012-07-10 | 2017-04-12 | 三星显示有限公司 | 有机发光显示装置、有机发光显示设备及其制造方法 |
KR102013318B1 (ko) | 2012-09-20 | 2019-08-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR102108361B1 (ko) | 2013-06-24 | 2020-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착률 모니터링 장치, 이를 구비하는 유기층 증착 장치, 증착률 모니터링 방법, 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR102162797B1 (ko) | 2013-12-23 | 2020-10-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2531985B2 (ja) * | 1989-06-06 | 1996-09-04 | 株式会社ダイフク | 移載自在な搬送設備 |
-
1991
- 1991-08-30 JP JP1991077659U patent/JP2534431Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0522405U (ja) | 1993-03-23 |
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