JP2508053B2 - 光記録媒体製造方法 - Google Patents
光記録媒体製造方法Info
- Publication number
- JP2508053B2 JP2508053B2 JP62034835A JP3483587A JP2508053B2 JP 2508053 B2 JP2508053 B2 JP 2508053B2 JP 62034835 A JP62034835 A JP 62034835A JP 3483587 A JP3483587 A JP 3483587A JP 2508053 B2 JP2508053 B2 JP 2508053B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- optical recording
- tellurium
- selenium
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光記録媒体製造方法、特に、レーザ光によ
って情報を記録再生することのできる光記録媒体を製造
するための光記録媒体製造方法に関する。
って情報を記録再生することのできる光記録媒体を製造
するための光記録媒体製造方法に関する。
一般、レーザ光によって情報を媒体に記録し、かつ再
生する光ディスクメモリは、記録密度が高いことから大
容量記録装置として優れた特徴を有している。この光記
録媒体材料としては、最初にタンタルと鉛が使用された
｛サイエンス（Science）154,1550,1966）｝。それ以来
種々の材料が使用されているが、テルル等のカルコゲン
元素またはこれらの化合物はよく使用されており（特公
昭47−26897号公報）、とくにテルル−セレン系合金は
よく使用されている（特公昭54−41902号公報、特公昭5
7−7919号公報、特公昭57−56058号公報）。
生する光ディスクメモリは、記録密度が高いことから大
容量記録装置として優れた特徴を有している。この光記
録媒体材料としては、最初にタンタルと鉛が使用された
｛サイエンス（Science）154,1550,1966）｝。それ以来
種々の材料が使用されているが、テルル等のカルコゲン
元素またはこれらの化合物はよく使用されており（特公
昭47−26897号公報）、とくにテルル−セレン系合金は
よく使用されている（特公昭54−41902号公報、特公昭5
7−7919号公報、特公昭57−56058号公報）。
近年、記録装置を小型化するため、レーザ光源として
は半導体レーザが使用されてきている。半導体レーザは
発振波長が8000Å前後であるが、テルル−セレン系合金
はこの波長帯にも比較的よく適合し、適度な反射率と適
度な吸収率が得られる｛フィジカ・ステイタス・ソリダ
イ，７,189,1964（phys・stat・sol.７,189,1964）｝。
は半導体レーザが使用されてきている。半導体レーザは
発振波長が8000Å前後であるが、テルル−セレン系合金
はこの波長帯にも比較的よく適合し、適度な反射率と適
度な吸収率が得られる｛フィジカ・ステイタス・ソリダ
イ，７,189,1964（phys・stat・sol.７,189,1964）｝。
このテルル−セレン系合金を光記録層として用いた本
発明および従来の光記録媒体製造方法によって製造され
る光記録媒体の一例は第１図に示すような構成になって
いる。
発明および従来の光記録媒体製造方法によって製造され
る光記録媒体の一例は第１図に示すような構成になって
いる。
すなわち基板１に隣接してテルル−セレン系合金より
なる記録層21が設けられている。記録用レーザ光は基板
１を通して記録層21に集光照射され、ピット22が形成さ
れる。基板１としてはポリカーボネート、ポリオレフィ
ン、ポリメチルペンテン、アクリル、エポキシ樹脂等の
合成樹脂やガラスが使用され、基板１にはピットが同心
円状あるいはスパイラル状に一定間隔で精度よく記録さ
れるように通常、案内溝が設けられている。
なる記録層21が設けられている。記録用レーザ光は基板
１を通して記録層21に集光照射され、ピット22が形成さ
れる。基板１としてはポリカーボネート、ポリオレフィ
ン、ポリメチルペンテン、アクリル、エポキシ樹脂等の
合成樹脂やガラスが使用され、基板１にはピットが同心
円状あるいはスパイラル状に一定間隔で精度よく記録さ
れるように通常、案内溝が設けられている。
レーザビーム径程度の幅の溝に光が入射すると光は回
折され、ビーム中心が溝からずれるにつれて回折光強度
の空間分布が変化するので、これを検出してレーザビー
ムを溝の中心に入射させるようにサーボ系が構成されて
いる。溝の幅は通常0.3〜1.3μｍであり、溝の深さは使
用するレーザ波長の1/20から1/4の範囲に設定される。
集光に関しても同様にサーボ系が構成されている。
折され、ビーム中心が溝からずれるにつれて回折光強度
の空間分布が変化するので、これを検出してレーザビー
ムを溝の中心に入射させるようにサーボ系が構成されて
いる。溝の幅は通常0.3〜1.3μｍであり、溝の深さは使
用するレーザ波長の1/20から1/4の範囲に設定される。
集光に関しても同様にサーボ系が構成されている。
情報の読み出しは、記録のときよりも弱いパワーのレ
ーザ光をピット上を通過するように照射することによ
り、ピットの有無に起因する反射率の変化を検出して行
なう。
ーザ光をピット上を通過するように照射することによ
り、ピットの有無に起因する反射率の変化を検出して行
なう。
しかしながら、テルル−セレン合金膜では良好な品質
の記録再生信号が得られなかった。
の記録再生信号が得られなかった。
本発明は以上のような問題点を解決するためになされ
たものであり、耐候性がよくかつ高感度で良好な品質の
信号を得ることのできる光記録媒体の製造方法を提供す
ることを目的とする。
たものであり、耐候性がよくかつ高感度で良好な品質の
信号を得ることのできる光記録媒体の製造方法を提供す
ることを目的とする。
本発明の光記録媒体製造方法は、基板と、レーザ光に
よって一部が選択的に除去されて情報を記録する前記基
板上に形成された記録層とを少なくとも有する光記録媒
体の製造方法であって、高周波電力によってプラズマ化
された窒素ガスまたは窒素ガスを含む混合ガス中を、テ
ルルおよびセレンを含む蒸気を通過させることにより、
テルルとセレンと窒素とを主成分とする記録層を作製す
るように構成される。
よって一部が選択的に除去されて情報を記録する前記基
板上に形成された記録層とを少なくとも有する光記録媒
体の製造方法であって、高周波電力によってプラズマ化
された窒素ガスまたは窒素ガスを含む混合ガス中を、テ
ルルおよびセレンを含む蒸気を通過させることにより、
テルルとセレンと窒素とを主成分とする記録層を作製す
るように構成される。
記録層をテルルとセレンと窒素とを主成分とすること
により、耐候性がよくかつ高感度でかつ良好な品質の信
号の光記録媒体が得られる。この光記録媒体が高感度で
かつ良好な品質の信号が得られる理由は、膜中に窒素と
カルコゲン元素との化合物が生成されることにより、ピ
ット形成記録の初期段階である***の形成が比較的低い
記録パワー照射で行なわれるためである。
により、耐候性がよくかつ高感度でかつ良好な品質の信
号の光記録媒体が得られる。この光記録媒体が高感度で
かつ良好な品質の信号が得られる理由は、膜中に窒素と
カルコゲン元素との化合物が生成されることにより、ピ
ット形成記録の初期段階である***の形成が比較的低い
記録パワー照射で行なわれるためである。
次に、本発明の実施例について説明する。
本発明の光記録媒体製造方法の一具体例は、100℃で
２時間アニール処理した内径15mm,厚さ1.2mmの案内溝付
きポリカーボネート樹脂ディスク基板を真空装置内に入
れ、５×10-6Torr以下に排気した。蒸発源としては、第
１の抵抗加熱用ボートにテルルを入れ、第２の抵抗加熱
用ボートにセレンを入れた。窒素とアルゴンとの混合ガ
スを導入し、高周波コイルに13.56MHzの高周波電力を印
加してプラズマを発生させながら、テルルとセレンとを
それぞれのボートから同時に蒸発させ、該プラズマ中を
通過させることにより、テルルおよびセレンの一部を窒
化して基板上にテルルとセレンと窒素との比が原子数パ
ーセントで76対19対５のテルルとセレンと窒素とを主成
分とする層を260Å厚形成した。しかる後、温度85℃，
相対湿度90％の環境に12時間保存して光記録媒体を作製
した。この光記録媒体は基板入射における波長8300Åの
反射率を測定したところ、約29％であった。波長8300Å
の半導体レーザ光を基板を通して入射し、記録層上で1.
6μｍψ程度に絞り、媒体線速度5.65m/sec,記録周波数
3.77MHz,記録パルス幅70nsec,記録パワー7.5mWの条件で
記録し、0.7mWで再生した。バンド幅30KHzのキャリアー
とノイズとの比（C/N）は48dBと良好であった。
２時間アニール処理した内径15mm,厚さ1.2mmの案内溝付
きポリカーボネート樹脂ディスク基板を真空装置内に入
れ、５×10-6Torr以下に排気した。蒸発源としては、第
１の抵抗加熱用ボートにテルルを入れ、第２の抵抗加熱
用ボートにセレンを入れた。窒素とアルゴンとの混合ガ
スを導入し、高周波コイルに13.56MHzの高周波電力を印
加してプラズマを発生させながら、テルルとセレンとを
それぞれのボートから同時に蒸発させ、該プラズマ中を
通過させることにより、テルルおよびセレンの一部を窒
化して基板上にテルルとセレンと窒素との比が原子数パ
ーセントで76対19対５のテルルとセレンと窒素とを主成
分とする層を260Å厚形成した。しかる後、温度85℃，
相対湿度90％の環境に12時間保存して光記録媒体を作製
した。この光記録媒体は基板入射における波長8300Åの
反射率を測定したところ、約29％であった。波長8300Å
の半導体レーザ光を基板を通して入射し、記録層上で1.
6μｍψ程度に絞り、媒体線速度5.65m/sec,記録周波数
3.77MHz,記録パルス幅70nsec,記録パワー7.5mWの条件で
記録し、0.7mWで再生した。バンド幅30KHzのキャリアー
とノイズとの比（C/N）は48dBと良好であった。
この光記録媒体を70℃,80％の高温高湿度の環境に60
時間保存した後、上記特性を調べたが変化はなく、耐候
性に優れた光記録媒体であることが確認された。
時間保存した後、上記特性を調べたが変化はなく、耐候
性に優れた光記録媒体であることが確認された。
記録層の厚さは100Åから1000Åの範囲が記録再生特
性の観点から望ましく、セレンの含有量は原子数パーセ
ントで２パーセント以上40パーセント未満の範囲が記録
再生特性，耐候性の観点から望ましく、窒素の含有量は
原子数パーセントで２パーセント以上20パーセント未満
が記録再生特性，耐候性の観点から望ましい。
性の観点から望ましく、セレンの含有量は原子数パーセ
ントで２パーセント以上40パーセント未満の範囲が記録
再生特性，耐候性の観点から望ましく、窒素の含有量は
原子数パーセントで２パーセント以上20パーセント未満
が記録再生特性，耐候性の観点から望ましい。
本発明の光記録媒体製造方法は、耐候性がよくかつ高
感度で信号品質が良好な光記録媒体を製造することがで
きるという効果がある。
感度で信号品質が良好な光記録媒体を製造することがで
きるという効果がある。
第１図は本発明および従来の光記録媒体製造方法で製造
される光記録媒体の一例を示す部分断面図である。 １……基板、21……記録層、22……ピット。
される光記録媒体の一例を示す部分断面図である。 １……基板、21……記録層、22……ピット。
Claims (1)
- 【請求項１】基板を高周波電力によってプラズマ化され
た窒素ガスを少なくとも含むガス雰囲気中に載置し、前
記ガス雰囲気中にテルルおよびセレンを含む蒸気を通過
させ、前記基板上にテルルとセレンと窒素とを主成分と
する記録層を作製することを特徴とする光記録媒体製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034835A JP2508053B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 光記録媒体製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034835A JP2508053B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 光記録媒体製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201932A JPS63201932A (ja) | 1988-08-22 |
| JP2508053B2 true JP2508053B2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=12425257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62034835A Expired - Lifetime JP2508053B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 光記録媒体製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2508053B2 (ja) |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP62034835A patent/JP2508053B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63201932A (ja) | 1988-08-22 |
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