JP2508056B2 - 光記録媒体製造方法 - Google Patents
光記録媒体製造方法Info
- Publication number
- JP2508056B2 JP2508056B2 JP62034838A JP3483887A JP2508056B2 JP 2508056 B2 JP2508056 B2 JP 2508056B2 JP 62034838 A JP62034838 A JP 62034838A JP 3483887 A JP3483887 A JP 3483887A JP 2508056 B2 JP2508056 B2 JP 2508056B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- optical recording
- selenium
- tellurium
- medium manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光記録媒体製造方法、特に、レーザ光によ
って情報を記録再生することのできる光記録媒体を製造
するための光記録媒体製造方法に関する。
って情報を記録再生することのできる光記録媒体を製造
するための光記録媒体製造方法に関する。
一般に、レーザ光によって情報を媒体に記録し、かつ
再生する光ディスクメモリは、記録密度が高いことから
大容量記録装置として優れた特徴を有している。この光
記録媒体材料としては、最初にタンタルと鉛が使用され
た｛サイエンス（Science）154,1550,1966）｝。それ以
来種々の材料が使用されているが、テルル等のカルコゲ
ン元素またはこれらの化合物はよく使用されており（特
公昭47−26897号公報）、とくにテルル−セレン系合金
はよく使用されている（特公昭54−41902号公報、特公
昭57−7919号公報、特公昭57−56058号公報）。
再生する光ディスクメモリは、記録密度が高いことから
大容量記録装置として優れた特徴を有している。この光
記録媒体材料としては、最初にタンタルと鉛が使用され
た｛サイエンス（Science）154,1550,1966）｝。それ以
来種々の材料が使用されているが、テルル等のカルコゲ
ン元素またはこれらの化合物はよく使用されており（特
公昭47−26897号公報）、とくにテルル−セレン系合金
はよく使用されている（特公昭54−41902号公報、特公
昭57−7919号公報、特公昭57−56058号公報）。
近年、記録装置を小型化するため、レーザ光源として
は半導体レーザが使用されてきている。半導体レーザは
発振波長が8000Å前後であるが、テルル−セレン系合金
はこの波長帯にも比較的よく適合し、適度な反射率と適
度な吸収率が得られる｛フィジカ・ステイタス・ソリダ
イ，７,189,1964（phys.stat.sol.７,189,1964）｝。
は半導体レーザが使用されてきている。半導体レーザは
発振波長が8000Å前後であるが、テルル−セレン系合金
はこの波長帯にも比較的よく適合し、適度な反射率と適
度な吸収率が得られる｛フィジカ・ステイタス・ソリダ
イ，７,189,1964（phys.stat.sol.７,189,1964）｝。
このテルル−セレン系合金を光記録層として用いた本
発明および従来の光記録媒体製造方法によって製造され
た光記録媒体の一例は第１図に示すような構成になって
いる。
発明および従来の光記録媒体製造方法によって製造され
た光記録媒体の一例は第１図に示すような構成になって
いる。
すなわち基板１に隣接してテルル−セレン系合金より
なる記録層21が設けられている。記録用レーザ光は基板
１を通して記録層21に集光照射され、ピット22が形成さ
れる。基板１としてはポリカーボネート、ポリオレフィ
ン、ポリメチルペンテン、アクリル、エポキシ樹脂等の
合成樹脂やガラスが使用され、基板１にはピットが同心
円状あるいはスパイラル状に一定間隔で精度よく記録さ
れるように通常、案内溝が設けられている。
なる記録層21が設けられている。記録用レーザ光は基板
１を通して記録層21に集光照射され、ピット22が形成さ
れる。基板１としてはポリカーボネート、ポリオレフィ
ン、ポリメチルペンテン、アクリル、エポキシ樹脂等の
合成樹脂やガラスが使用され、基板１にはピットが同心
円状あるいはスパイラル状に一定間隔で精度よく記録さ
れるように通常、案内溝が設けられている。
レーザビーム径程度の幅の溝に光が入射すると光は回
折され、ビーム中心が溝からずれるにつれて回折光強度
の空間分布が変化するので、これを検出してレーザビー
ムを溝の中心に入射させるようにサーボ系が構成されて
いる。溝の幅は通常0.3〜1.3μｍであり、溝の深さは使
用するレーザ波長の1/20から1/4の範囲に設定される。
集光に関しても同様にサーボ系が構成されている。
折され、ビーム中心が溝からずれるにつれて回折光強度
の空間分布が変化するので、これを検出してレーザビー
ムを溝の中心に入射させるようにサーボ系が構成されて
いる。溝の幅は通常0.3〜1.3μｍであり、溝の深さは使
用するレーザ波長の1/20から1/4の範囲に設定される。
集光に関しても同様にサーボ系が構成されている。
情報の読み出しは、記録のときよりも弱いパワーのレ
ーザ光をピット上を通過するように照射することによ
り）、ピットの有無に起因する反射率の変化を検出して
行なう。
ーザ光をピット上を通過するように照射することによ
り）、ピットの有無に起因する反射率の変化を検出して
行なう。
しかしながら、テルル−セレン合金膜では良好な品質
の記録再生信号が得られなかった。
の記録再生信号が得られなかった。
この改善を目的として、記録層をテルルとセレンと鉛
にすることが提案され、良好な品質の記録再生信号が得
られている。
にすることが提案され、良好な品質の記録再生信号が得
られている。
従来の光記録媒体製造方法はテルルとセレンと鉛との
同時蒸着法により行なわれていた。この方法が用いられ
る理由は、量産性は劣るものの、テルルとセレンと鉛と
からなるターゲットをスパッタして作製する方法よりも
安定した組成が得られるためである。
同時蒸着法により行なわれていた。この方法が用いられ
る理由は、量産性は劣るものの、テルルとセレンと鉛と
からなるターゲットをスパッタして作製する方法よりも
安定した組成が得られるためである。
本発明者はテルルとセレンと鉛とからなるターゲット
をスパッタして記録層を作製する方法で安定な組成が得
られない理由がスパッタリングを多数回行なっていくう
ちに、ターゲット中のテルルやセレンに対する鉛の組成
比が変化していくためであることを見出し、本発明に到
ったものである。
をスパッタして記録層を作製する方法で安定な組成が得
られない理由がスパッタリングを多数回行なっていくう
ちに、ターゲット中のテルルやセレンに対する鉛の組成
比が変化していくためであることを見出し、本発明に到
ったものである。
本発明の光記録媒体製造方法は、基板と、レーザ光に
よって一部が選択的に除去されて情報を記録する前記基
板上に形成された記録層とを少なくとも有する光記録媒
体の製造方法であって、テルルとセレンとを主成分とす
るターゲットと、鉛を主成分とするターゲットとを同時
にスパッタリングして、テルルとセレンと鉛とを主成分
とする記録層を作製するように構成される。
よって一部が選択的に除去されて情報を記録する前記基
板上に形成された記録層とを少なくとも有する光記録媒
体の製造方法であって、テルルとセレンとを主成分とす
るターゲットと、鉛を主成分とするターゲットとを同時
にスパッタリングして、テルルとセレンと鉛とを主成分
とする記録層を作製するように構成される。
次に、本発明の実施例について説明する。
本発明の光記録媒体製造方法の一具体例は、100℃２
時間アニール処理した内径15mm,外径13mm,厚さ1.2mmの
案内溝付きポリカーボネート樹脂ディスク基板上に、テ
ルル−セレンターゲットと鉛ターゲットを同時にスパッ
タして、テルルとセレンと鉛の組成を原子数パーセント
で75対19対６で約250Å厚形成した。しかる後、95℃で
１時間アニール処理して光記録媒体を作製した。
時間アニール処理した内径15mm,外径13mm,厚さ1.2mmの
案内溝付きポリカーボネート樹脂ディスク基板上に、テ
ルル−セレンターゲットと鉛ターゲットを同時にスパッ
タして、テルルとセレンと鉛の組成を原子数パーセント
で75対19対６で約250Å厚形成した。しかる後、95℃で
１時間アニール処理して光記録媒体を作製した。
この光記録媒体は基板入射における波長8300Åの反射
率を測定したところ、約34％であった。波長8300Åの半
導体レーザ光を基板を通して入射し、記録層上で1.6μ
ｍφ程度に絞り、媒体線速度5.65m/sec,記録周波数3.77
MHz,記録パルス幅70m sec,記録パワー7.0mWの条件で記
録し、0.5mWで再生した。バンド幅30KHzのキャリアーと
ノイズとの比（C/N）は48dBと良好であった。
率を測定したところ、約34％であった。波長8300Åの半
導体レーザ光を基板を通して入射し、記録層上で1.6μ
ｍφ程度に絞り、媒体線速度5.65m/sec,記録周波数3.77
MHz,記録パルス幅70m sec,記録パワー7.0mWの条件で記
録し、0.5mWで再生した。バンド幅30KHzのキャリアーと
ノイズとの比（C/N）は48dBと良好であった。
多数回のスパッタリングを行なって、多数枚の光記録
媒体を同様に作製して評価したところ、組成比の変動は
なく、記録再生特性の再現性は良好であった。
媒体を同様に作製して評価したところ、組成比の変動は
なく、記録再生特性の再現性は良好であった。
記録層の厚さは100Åから1000Åの範囲が望ましく、
セレンの含有量は原子数パーセントで２パーセント以上
40パーセント未満の範囲が望ましく、鉛の含有量は原子
数パーセントで１パーセント以上20パーセント未満が望
ましい。
セレンの含有量は原子数パーセントで２パーセント以上
40パーセント未満の範囲が望ましく、鉛の含有量は原子
数パーセントで１パーセント以上20パーセント未満が望
ましい。
記録層と基板との間にはトリガー層を設けてもよく、
記録層の上には記録再生特性に支障をきたさない程度の
保護膜を設けてもよい。
記録層の上には記録再生特性に支障をきたさない程度の
保護膜を設けてもよい。
本発明の光記録媒体製造方法は、信号品質の良好な光
記録媒体を量産性よくかつ再現性よく製造することがで
きるという効果がある。
記録媒体を量産性よくかつ再現性よく製造することがで
きるという効果がある。
第１図は本発明および従来の光記録媒体製造方法で製造
される光記録媒体の一例を示す部分断面図である。 １……基板、21……記録層、22……ピット。
される光記録媒体の一例を示す部分断面図である。 １……基板、21……記録層、22……ピット。
Claims (1)
- 【請求項１】スパッタリング容器の中に基板を載置し、
テルルとセレンとを主成分とする第１のターゲットと鉛
を主成分とする第２のターゲットとを同時にスパッタリ
ングし、テルルとセレンと鉛とを主成分とする記録層を
作製することを特徴とする光記録媒体製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034838A JP2508056B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 光記録媒体製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034838A JP2508056B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 光記録媒体製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201935A JPS63201935A (ja) | 1988-08-22 |
| JP2508056B2 true JP2508056B2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=12425335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62034838A Expired - Lifetime JP2508056B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 光記録媒体製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2508056B2 (ja) |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP62034838A patent/JP2508056B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63201935A (ja) | 1988-08-22 |
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