JP2023171989A - ブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ブレード吸着面を清浄な状態に維持することが可能な切断装置を提供する。【解決手段】ブレードを吸着するように構成された第１吸着部を少なくとも備えるブレード交換機構と、前記ブレード交換機構を内部に収納可能なカバー本体と、前記ブレード交換機構と一体的に移動可能であって、前記ブレード交換機構を前記カバー本体の内部へ収納した状態で前記カバー本体の開口部を閉じることが可能な閉塞部と、前記ブレード交換機構の前記カバー本体への収納時に、前記第１吸着部のブレード吸着面に対して気体を吹き付けるように構成された気体吹き付け部と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、ブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法の技術に関する。

特許文献１には、ブレード交換機構への水、水滴、ミスト等の付着を抑制するための技術が開示されている。具体的には、特許文献１には、切断対象物の切断時に、ブレード交換機構の吸着ユニットを覆う防水カバーが開示されている。防水カバーは開閉扉を有し、吸着ユニットのブレード吸着面は開閉扉とは反対方向に向けられた状態で防水カバーに収納される。このように構成することで、ブレード吸着面への切削水、水滴、ミスト等の付着を抑制し、ひいてはブレード交換機構の動作不良等が起こるのを低減することができる。

特開２０２１－６５９８１号公報

特許文献１に記載のようなブレード交換機構では、ブレード交換機構の動作不良等を防止する観点から、ブレード吸着面をより清浄な状態に維持することが望まれている。

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、ブレード吸着面を清浄な状態に維持することが可能なブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法を提供することである。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係るブレード交換装置は、ブレードを吸着するように構成された第１吸着部を少なくとも備えるブレード交換機構と、前記ブレード交換機構を内部に収納可能なカバー本体と、前記ブレード交換機構と一体的に移動可能であって、前記ブレード交換機構を前記カバー本体の内部へ収納した状態で前記カバー本体の開口部を閉じることが可能な閉塞部と、前記ブレード交換機構の前記カバー本体への収納時に、前記第１吸着部のブレード吸着面に対して気体を吹き付けるように構成された気体吹き付け部と、を備えるものである。

また、本発明に係る切断装置は、前記ブレード交換装置と、前記ブレード交換装置により交換されたブレードにより切断対象物を切断する切断機構と、を含むものである。

また、本発明に係る切断品の製造方法は、前記切断装置を用いて切断品を製造する方法であって、前記ブレード交換装置により前記切断装置のブレードの交換を行うブレード交換工程と、前記ブレード交換工程により交換されたブレードが取り付けられた前記切断装置により前記切断対象物を切断する切断工程と、を含むものである。

本発明によれば、ブレード吸着面を清浄な状態に維持することができる。

一実施形態に係る切断装置の全体的な構成を示した平面模式図。 ブレード交換装置を示した斜視図。 移動部の動作を示した斜視図。 スピンドル部の構成を示した拡大断面斜視図。 保持部の構成を示した拡大断面斜視図。 移動プレートがカバー本体の開口部を閉塞する様子を示した斜視図。 （ａ）第１洗浄スポンジの形状を示した斜視図。（ｂ）第１洗浄スポンジの変形例を示した斜視図。 （ａ）切断装置を示した平面一部断面図。（ｂ）カバー本体の内部の様子を示した斜視図。 切断品の製造方法を示したフローチャート。 （ａ）エアノズルからの空気でブレードを洗浄する様子を示した模式図。（ｂ）第２フランジ及びブレードがスピンドルから取り外される様子を示した模式図。（ｃ）使用済みのブレードが収納される様子を示した模式図。 （ａ）第２フランジが第２洗浄スポンジで洗浄される様子を示した模式図。（ｂ）保持部が未使用のブレードを保持する様子を示した模式図。（ｃ）エアノズルからの空気で第１フランジを洗浄する様子を示した模式図。 （ａ）第１フランジが第１洗浄スポンジで洗浄される様子を示した模式図。（ｂ）第２フランジ及びブレードがスピンドルに取り付けられる様子を示した模式図。（ｃ）カバー本体への収納時にブレード吸着面に対して空気が吹き付けられる様子を示した模式図。

＜切断装置１の構成＞
まず、本実施形態に係る切断装置１の構成について説明する。本実施形態においては、例えば、切断装置１による切断対象物として、半導体チップが装着された基板を樹脂封止した封止済基板Ｗを用いる場合の、切断装置１の構成について説明する。

封止済基板Ｗとしては、例えば、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ ｇｒｉｄ ａｒｒａｙ）パッケージ基板、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ ｓｉｚｅ ｐａｃｋａｇｅ）パッケージ基板、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ）パッケージ基板等が使用される。また、切断対象物としては、封止済基板Ｗだけでなく、半導体チップが装着されたリードフレームを樹脂封止した封止済みリードフレームが使用されることもある。

図１に示す切断装置１は、切断対象物である封止済基板Ｗを切断することによって、複数の切断品（製品Ｐ）に個片化する加工装置である。切断装置１は、構成要素として、基板供給モジュールＡ、切断モジュールＢ及び収納モジュールＣを具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。

＜基板供給モジュールＡ＞
基板供給モジュールＡには、主として基板供給機構１１及び制御部ＣＴＬが設けられる。

切断対象物である封止済基板Ｗは、基板供給機構１１から搬出され、移送機構（不図示）によって切断モジュールＢに移送される。制御部ＣＴＬは切断装置１の各部の動作を制御するものである。制御部ＣＴＬによって切断装置１の各部が制御されることで、封止済基板Ｗの搬入、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、製品Ｐの搬出等を行うことができる。なお、制御部ＣＴＬは、基板供給モジュールＡ以外のモジュールに設けることも可能である。また制御部ＣＴＬは、複数に分割して設けることも可能である。例えば、各モジュールに制御部ＣＴＬを設け、制御部ＣＴＬ同士を連係させて各部を制御することも可能である。

＜切断モジュールＢ＞
図１に示す切断モジュールＢには、主として切断用テーブル２１、切断用治具２２、移動機構２３、回転機構２４、スピンドル部２５及びブレード交換装置２６が設けられる。

本実施形態では、２個の切断用テーブル２１を有するツインカットテーブル方式の切断装置１を例示している。切断用テーブル２１には、切断用治具２２が設けられる。切断用テーブル２１は、移動機構２３によってＹ方向に移動可能であり、かつ、回転機構２４によってθ方向に回動可能である。

また本実施形態では、２個のスピンドル部２５を有するツインスピンドル構成の切断装置１を例示している。２個のスピンドル部２５は、互いに独立してＸ方向及びＺ方向に移動可能である。なお、スピンドル部２５は、本発明に係る切断機構の実施の一形態である。

ブレード交換装置２６は、スピンドル部２５で使用されるブレード２５ａを交換するためのものである。ブレード交換装置２６は、スピンドル部２５の背後（図示上側）に配置される。ブレード交換装置２６は、主としてブレード交換機構１００、カバー２００、洗浄機構３００、ブレード交換台４００、エアノズル５００及びカメラ６００を具備する。なお、ブレード交換装置２６の詳細な構成については後述する。

切断モジュールＢにおいて、切断用テーブル２１に封止済基板Ｗが保持された状態で、切断用テーブル２１と２個のスピンドル部２５とを相対的に移動させることで、封止済基板Ｗを切断して個片化することができる。スピンドル部２５のブレード２５ａは、Ｙ方向及びＺ方向を含む面内において回転することで、切断用テーブル２１に保持された封止済基板Ｗを切断する。この際、ブレード２５ａに向かって切削水を噴射しながら封止済基板Ｗを切断することもできる。また、適宜のタイミングで、ブレード交換装置２６によりスピンドル部２５で使用されるブレード２５ａを交換することができる。

＜収納モジュールＣ＞
収納モジュールＣには、主として検査用テーブル３１及びトレイ３２が設けられる。

検査用テーブル３１には、封止済基板Ｗを切断して個片化された複数の製品Ｐからなる集合体が載置される。複数の製品Ｐは、検査用のカメラ（不図示）によって検査され、良品と不良品とに選別される。選別された良品は、トレイ３２に収納される。選別された不良品は、別途用意されたトレイ（不図示）に収納され、製品Ｐから除外される。なお、収納モジュールＣにおいて、必ずしも製品Ｐの検査を行う必要はない。

＜ブレード交換装置２６の詳細な構成＞
次に、ブレード交換装置２６（ブレード交換機構１００、カバー２００、洗浄機構３００、ブレード交換台４００、エアノズル５００及びカメラ６００）の構成について説明する。なお、ブレード交換装置２６の各部の詳細な構造や形状等は特に限定しないため、本実施形態では各部の形状等を適宜簡略化して図示している。

＜ブレード交換機構１００＞
図２及び図３に示すように、ブレード交換機構１００は、主として支持部１１０、保持部１２０及び移動部１３０を具備する。

支持部１１０は、保持部１２０及び後述する第１洗浄機構３１０を支持するものである。支持部１１０は、適宜の部材（棒状部材、板状部材等）を組み合わせて形成することができる。本実施形態では、支持部１１０は一方向（図２及び図３では、Ｘ方向）に長い長手状に形成されている。

保持部１２０は、スピンドル部２５に設けられたブレード２５ａ、及び、ブレード２５ａをスピンドル部２５に固定するための第２フランジ２５ｄを保持することが可能なものである。保持部１２０は、支持部１１０の長手方向における一端部に設けられる。

ここで、図４を用いて、スピンドル部２５（特に、ブレード２５ａの固定に関する部位）の構成について説明する。図４は、２個のスピンドル部２５のうち一方（図２における紙面左側のスピンドル部２５）の一部分の断面を示したものである。

スピンドル部２５の回転軸２５ｂには、略円環状の第１フランジ２５ｃが固定される。さらに、第１フランジ２５ｃと対向するように、略円環状の第２フランジ２５ｄが設けられる。なお、第２フランジ２５ｄは、本発明に係るフランジの実施の一形態である。

ナット等の脱着部材２５ｅが第１フランジ２５ｃのボス部分に締め付けられることによって、第２フランジ２５ｄが第１フランジ２５ｃに向かって押し付けられる。第１フランジ２５ｃ及び第２フランジ２５ｄの外周部分には、互いに向き合う方向に突出した第１接触面２５ｆ及び第２接触面２５ｇが形成されている。第１接触面２５ｆと第２接触面２５ｇとの間に略円環状のブレード２５ａが挟まれて固定される。脱着部材２５ｅには、複数の貫通孔２５ｈが形成されている。

図５に示す保持部１２０は、主としてブレード吸着部１２１、フランジ吸着部１２２及び脱着部材回転部１２３を具備する。

ブレード吸着部１２１は、ブレード２５ａを吸着するためのものである。ブレード吸着部１２１は、略円筒状に形成される。ブレード吸着部１２１の端面（以下、ブレード吸着面１２１ａと称する）には、ブレード２５ａを吸着するための吸着口及び吸着溝（不図示）が適宜形成される。外部に設けられた吸引装置によってブレード吸着部１２１の吸着口等の空気を吸引することによって、ブレード吸着面１２１ａにブレード２５ａを吸着して保持することができる。なお、ブレード吸着部１２１は、本発明に係る第１吸着部の実施の一形態である。

フランジ吸着部１２２は、第２フランジ２５ｄを吸着するためのものである。フランジ吸着部１２２は、略円筒状に形成される。フランジ吸着部１２２は、ブレード吸着部１２１の内側に配置される。フランジ吸着部１２２の端面（以下、フランジ吸着面１２２ａと称する）には、第２フランジ２５ｄを吸着するための吸着口及び吸着溝（不図示）が適宜形成される。外部に設けられた吸引装置によってフランジ吸着部１２２の吸着口等の空気を吸引することによって、フランジ吸着面１２２ａに第２フランジ２５ｄを吸着して保持することができる。なお、フランジ吸着部１２２は、本発明に係る第２吸着部の実施の一形態である。

脱着部材回転部１２３は、脱着部材２５ｅを回転させて第１フランジ２５ｃのボス部分に着脱するためのものである。脱着部材回転部１２３は、環状に形成される。脱着部材回転部１２３は、フランジ吸着部１２２の内側に配置される。脱着部材回転部１２３の端面には、Ｘ方向に突出するように複数の突出部１２３ａが設けられる。突出部１２３ａは、脱着部材２５ｅの貫通孔２５ｈ（図４参照）に対応する位置に配置される。脱着部材回転部１２３は、回転機構（不図示）の動力によって回転することができる。

保持部１２０は、突出部１２３ａを脱着部材２５ｅの貫通孔２５ｈに挿入した状態で脱着部材回転部１２３を回転させることで、脱着部材２５ｅの着脱を行うことができる。また保持部１２０は、ブレード吸着部１２１及びフランジ吸着部１２２によって、ブレード２５ａ及び第２フランジ２５ｄをそれぞれ独立して保持することができる。

このように保持部１２０は、ブレード吸着部１２１、フランジ吸着部１２２及び脱着部材回転部１２３を適宜作動させることで、スピンドル部２５に取り付けられたブレード２５ａ及び第２フランジ２５ｄを、スピンドル部２５から取り外すことができる。また保持部１２０は、保持しているブレード２５ａ及び第２フランジ２５ｄを、スピンドル部２５に取り付けることができる。

なお、保持部１２０がブレード２５ａ及び第２フランジ２５ｄを保持する方法は、ブレード２５ａ等を吸着して保持する方法に限るものではなく、例えば爪状の部材をブレード２５ａ等に引っ掛けて機械的に保持する方法等であってもよい。

図２及び図３に示す移動部１３０は、支持部１１０を任意の方向に移動させるものである。移動部１３０は、主として回転部１３１、第１直線移動部１３２、第２直線移動部１３３及び第３直線移動部１３４を具備する。

回転部１３１は、支持部１１０を回転させるものである。回転部１３１は、支持部１１０を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて支持部１１０を回転させることができる。回転部１３１は、Ｙ方向に平行な軸線回りに支持部１１０を回転させることができる。

第１直線移動部１３２は、回転部１３１を直線的に移動させるものである。第１直線移動部１３２は、回転部１３１を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて回転部１３１を移動させることができる。第１直線移動部１３２は、回転部１３１をＹ方向に沿って直線的に移動させることができる。

第２直線移動部１３３は、第１直線移動部１３２を直線的に移動させるものである。第２直線移動部１３３は、第１直線移動部１３２を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて第１直線移動部１３２を移動させることができる。第２直線移動部１３３は、第１直線移動部１３２をＺ方向に沿って直線的に移動させることができる。

図２に示す第３直線移動部１３４は、第２直線移動部１３３を直線的に移動させるものである。第３直線移動部１３４は、第２直線移動部１３３を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて第２直線移動部１３３を移動させることができる。第３直線移動部１３４は、第２直線移動部１３３をＸ方向に沿って直線的に移動させることができる。

上記のように構成された移動部１３０の各部の移動を組み合わせることにより、支持部１１０を任意の位置に移動させると共に、Ｙ方向に沿った軸線回りに任意に回転させることができる。

＜カバー２００＞
図１、図２及び図６に示すカバー２００は、ブレード交換機構１００に水滴や切削屑等が付着するのを防止するためのものである。カバー２００は、主としてカバー本体２１０、移動プレート２２０及びシール部材２３０を具備する。

カバー本体２１０は、ブレード交換機構１００を内部に収納可能なものである。カバー本体２１０は、後述するブレード交換台４００を側方及び上方から囲むような中空の略直方体状に形成される。これによってカバー本体２１０は、スピンドル部２５が配置される空間と、ブレード交換台４００が配置される空間と、を仕切ることができる。なお、図２においては、説明の便宜上、カバー本体２１０の１つの側面（図１における紙面右側面）のみを図示している。カバー本体２１０には、開口部２１１及びリーク部２１２が形成される。

開口部２１１は、カバー本体２１０の一側面（本実施形態では、図１における紙面右側面）を貫通するように形成される。開口部２１１は、ブレード交換機構１００が通過可能な形状に形成される。本実施形態では、開口部２１１を矩形状に形成した例を図示している。

図２及び図６に示すリーク部２１２は、後述する移動プレート２２０が開口部２１１を閉塞した際に、カバー本体２１０の内部空間と外部空間とを接続する部分である。リーク部２１２は、カバー本体２１０の一側面（開口部２１１が形成された側面）から上面に亘って、Ｘ方向に沿ってカバー本体２１０を切り欠くように形成される。リーク部２１２の端部は、開口部２１１の上端部と接続される。なお本実施形態では、リーク部２１２を形成することで、ブレード交換機構１００がカバー本体２１０の内部と外部を往来する際の、カバー本体２１０と移動部１３０との干渉を回避している。

図１、図２及び図６に示す移動プレート２２０は、カバー本体２１０の開口部２１１を閉塞することが可能なものである。移動プレート２２０は、開口部２１１に応じた形状に形成される。具体的には、移動プレート２２０は、開口部２１１よりも一回り大きい略矩形の板状に形成される。移動プレート２２０は、Ｘ方向において、支持部１１０の一側（図２における紙面右側）に配置される。移動プレート２２０は、板面をＸ方向に向けた状態で移動部１３０に設けられる。具体的には、移動プレート２２０は第２直線移動部１３３に設けられ、第３直線移動部１３４によってブレード交換機構１００（特に、支持部１１０）と一体的にＸ方向に移動することができる。なお、移動プレート２２０は、本発明に係る閉塞部の実施の一形態である。

シール部材２３０は、カバー本体２１０と移動プレート２２０との接触部をシールするものである。シール部材２３０は、可撓性を有する材料（例えば、ゴム等）により形成される。シール部材２３０は、移動プレート２２０のうち、カバー本体２１０と対向する側面に設けられる。シール部材２３０は、移動プレート２２０の外周部に沿うように設けられる。

＜洗浄機構３００＞
図１に示す洗浄機構３００は、スピンドル部２５にブレード２５ａを固定するためのフランジ（第１フランジ２５ｃ及び第２フランジ２５ｄ）を洗浄するためのものである。洗浄機構３００は、主として第１洗浄機構３１０及び第２洗浄機構３２０を具備する。

図３に示す第１洗浄機構３１０は、スピンドル部２５に取り付けられた状態の第１フランジ２５ｃを洗浄するものである。第１洗浄機構３１０は、主として第１洗浄スポンジ３１１及びエアノズル３１２を具備する。

図３及び図７（ａ）に示す第１洗浄スポンジ３１１は、第１フランジ２５ｃを洗浄するための洗浄部材である。第１洗浄スポンジ３１１は、第１フランジ２５ｃの外形よりも大きな平面形状を有する円筒状に形成される。第１洗浄スポンジ３１１は、円板状の取付部材３１１ａを介して、支持部１１０の長手方向における一端部に取り付けられる。第１洗浄スポンジ３１１は、支持部１１０の長手方向において、保持部１２０と反対側に設けられる。言い換えると、第１洗浄スポンジ３１１は、回転部１３１の回転軸を中心として、保持部１２０から１８０度反転した位置に設けられる。

なお、第１洗浄スポンジ３１１は、図７（ａ）に示す円筒状に限らず、任意の形状とすることができる。例えば図７（ｂ）に示す変形例のように、円筒を複数に分割した形状としてもよい。これによって、スポンジの角部で第１フランジ２５ｃの洗浄を行うことができ、第１洗浄スポンジ３１１の洗浄能力の向上を図ることができる。

図３に示すエアノズル３１２は、コンプレッサ（不図示）から供給された圧縮空気を吹き出すことができる。エアノズル３１２は、支持部１１０の長手方向における一端部（第１洗浄スポンジ３１１と同じ側）に設けられる。エアノズル３１２は、空気の吹き出し方向を第１洗浄スポンジ３１１側に向けた状態で配置される。

図２及び図８に示す第２洗浄機構３２０は、スピンドル部２５から取り外された状態（保持部１２０に保持された状態）の第２フランジ２５ｄを洗浄するものである。なお、第２洗浄機構３２０は、本発明に係るフランジ洗浄機構の実施の一形態である。第２洗浄機構３２０は、主として第２洗浄スポンジ３２１及び駆動部３２２を具備する。

第２洗浄スポンジ３２１は、第２フランジ２５ｄを洗浄するための洗浄部材である。第２洗浄スポンジ３２１は、第２フランジ２５ｄと同等の径を有する円筒状に形成される。第２洗浄スポンジ３２１は、図７に示す第１洗浄スポンジ３１１と同様の形状に形成される。第２洗浄スポンジ３２１は、円筒の軸線をＺ方向に向けた状態で、後述するブレード交換台４００の上面に設けられる。なお、第２洗浄スポンジ３２１は、本発明に係るフランジ洗浄部材の実施の一形態である。

駆動部３２２は、第２洗浄スポンジ３２１を回転させるものである。駆動部３２２は、例えばモータ等の駆動源を有する。駆動部３２２の出力軸は、第２洗浄スポンジ３２１に接続される。駆動部３２２の駆動力によって、第２洗浄スポンジ３２１をＺ方向に平行な軸線回りに回転させることができる。

＜ブレード交換台４００＞
ブレード交換台４００は、未使用のブレード２５ａ及び使用済みのブレード２５ａを保管するためのものである。ブレード交換台４００は、主として使用済みブレード収納部４１０及び未使用ブレード収納部４２０を具備する。

使用済みブレード収納部４１０は、スピンドル部２５で使用された使用済みのブレード２５ａが収納される部分である。使用済みブレード収納部４１０は、上面が開放された箱状に形成される。使用済みブレード収納部４１０は、内部にブレード２５ａを収納することができる。また使用済みブレード収納部４１０は、複数のブレード２５ａを収納することができる。

未使用ブレード収納部４２０は、交換用の未使用のブレード２５ａが収納される部分である。未使用ブレード収納部４２０は、鉛直方向（上下方向）に延びる角柱状に形成される。未使用ブレード収納部４２０は、ブレード２５ａの中心に挿入されることで、ブレード２５ａを保持することができる。また未使用ブレード収納部４２０は、複数のブレード２５ａを鉛直方向に積み重ねて収納することができる。また、角柱状の未使用ブレード収納部４２０の側面から外側（ブレード２５ａ側）に向けて空気を吹き出すように構成することで、複数のブレード２５ａ同士を分離し易くすることもできる。なお、未使用ブレード収納部４２０は、本発明に係る交換用ブレード収納部の実施の一形態である。

ブレード交換台４００の上面において、使用済みブレード収納部４１０、未使用ブレード収納部４２０及び第２洗浄機構３２０は、Ｘ方向に沿って並ぶように配置される。具体的には、カバー本体２１０の開口部２１１に近い側から、未使用ブレード収納部４２０、使用済みブレード収納部４１０、第２洗浄機構３２０の順に並ぶように配置される。

なお、使用済みブレード収納部４１０及び未使用ブレード収納部４２０の構成は本実施形態に限るものではなく、任意に変更することが可能である。一例として、使用済みブレード収納部４１０を未使用ブレード収納部４２０と同様に、鉛直方向（上下方向）に延びる角柱状に形成することも可能である。

＜エアノズル５００＞
エアノズル５００は、ブレード交換機構１００のブレード吸着部１２１に対して気体（本実施形態では、空気）を吹き付けるためのものである。エアノズル５００は、コンプレッサ（不図示）から供給された圧縮空気を吹き出すことができる。エアノズル５００は、ブレード交換台４００付近に配置される。エアノズル５００は、水平方向に空気を吹き出すことができるように配置される。エアノズル５００は、先端（空気の吹き出し方向）を第２洗浄スポンジ３２１の上端面に向けた状態で配置される。また、エアノズル５００は、後述するように、カバー本体２１０の内圧（内部空間の圧力）を高めて、カバー本体２１０の内部に切削屑や水滴が侵入するのを防止する働きを果たすことができる。なお、エアノズル５００は、本発明に係る気体吹き付け部の実施の一形態である。

＜カメラ６００＞
カメラ６００は、カバー本体２１０の内部を撮像するためのものである。カメラ６００は、カバー本体２１０の内部に配置される。カメラ６００は、レンズをブレード交換台４００に向けた状態で配置される。本実施形態では、２つのカメラ６００をカバー本体２１０の内部に配置することで、ブレード交換台４００全体（ブレード交換台４００に設けられた第２洗浄機構３２０、使用済みブレード収納部４１０及び未使用ブレード収納部４２０）を撮像している。なお、本実施形態のカメラ６００の配置や個数は一例であり、任意に変更することが可能である。カメラ６００で撮像された映像は、例えば切断装置１の外部に設けられたモニター等の表示装置に表示される。切断装置１の利用者は、表示装置に表示された映像を確認することで、カバー本体２１０内部の様子を確認することができる。

＜切断品の製造方法＞
次に、図１及び図９を参照して、以上の如く構成された切断装置１を用いて切断品を製造する方法（切断品の製造方法）の概略について説明する。

本実施形態に係る切断品の製造方法は、主としてブレード交換工程Ｓ１０及び切断工程Ｓ２０を含む。以下、順に説明する。

ブレード交換工程Ｓ１０は、ブレード交換装置２６により切断装置１のブレード２５ａの交換を行う工程である。

具体的には、ブレード交換工程Ｓ１０において、ブレード交換機構１００によってスピンドル部２５に取り付けられた使用済みのブレード２５ａが取り外され、代わりに未使用のブレード２５ａがスピンドル部２５に取り付けられる。なおブレード交換工程Ｓ１０において、ブレード交換装置２６は、ブレード２５ａを固定するためのフランジ（第１フランジ２５ｃ及び第２フランジ２５ｄ）の洗浄を行うことも可能である。

ブレード２５ａの交換が完了した後、ブレード交換工程Ｓ１０から切断工程Ｓ２０に移行する。

切断工程Ｓ２０は、ブレード交換工程Ｓ１０により交換されたブレード２５ａが取り付けられたスピンドル部２５により封止済基板Ｗを切断する工程である。

具体的には、切断工程Ｓ２０において、封止済基板Ｗは基板供給モジュールＡから切断モジュールＢに移送される。切断モジュールＢの切断用テーブル２１に保持された封止済基板Ｗは、スピンドル部２５によって切断され、複数の製品Ｐに個片化される。個片化された製品Ｐは、収納モジュールＣにおいて良品と不良品とに選別される。このようにして、封止済基板Ｗを切断し、製品Ｐを製造することができる。

なお、図９には切断品の製造方法を簡易的に示しているが、各工程を実行するタイミングや回数、順序等は任意に変更することが可能である。例えば、切断工程Ｓ２０を繰り返し実行している最中にブレード２５ａの磨耗量を適宜のセンサで検出し、磨耗量が一定量を超えたタイミングでブレード交換工程Ｓ１０を実行することも可能である。また、切断装置１の稼働時間、製品Ｐの生産数等が所定の値を超えたタイミングでブレード交換工程Ｓ１０を実行することもできる。

＜ブレード交換装置２６の動作＞
次に、切断品の製造工程（ブレード交換工程Ｓ１０及び切断工程Ｓ２０）におけるブレード交換装置２６の動作について具体的に説明する。

ブレード交換工程Ｓ１０においてブレード２５ａの交換等を行う場合、まず図１０（ａ）に示すように、移動部１３０によって支持部１１０が移動され、エアノズル３１２の先端がスピンドル部２５に取り付けられたブレード２５ａに向けられる。この状態でエアノズル３１２から空気が吹き出され、ブレード２５ａに付着した切削屑や水滴が除去される。この際、ブレード２５ａに空気を吹き付けながら支持部１１０を若干往復移動させることで、ブレード２５ａに吹き付けられる空気の向きや範囲を変化させ、切削屑等をより効果的に除去することもできる。

次に図１０（ｂ）に示すように、移動部１３０によって支持部１１０が反転されると共に、保持部１２０がスピンドル部２５のブレード２５ａと対向する位置に移動される。そして、保持部１２０によってスピンドル部２５から第２フランジ２５ｄとブレード２５ａが取り外される。

次に図１０（ｃ）に示すように、移動部１３０によって、保持部１２０がブレード交換台４００に設けられた使用済みブレード収納部４１０に上方から対向する位置に移動される。そして、保持部１２０によるブレード２５ａの保持が解除され、使用済みのブレード２５ａが使用済みブレード収納部４１０に収納される。

次に図１１（ａ）に示すように、移動部１３０によって、保持部１２０（第２フランジ２５ｄ）の軸線と、第２洗浄機構３２０の第２洗浄スポンジ３２１の軸線と、が合わせられた状態で、第２フランジ２５ｄが第２洗浄スポンジ３２１の上面と接触する位置に移動される。この状態で、駆動部３２２によって第２洗浄スポンジ３２１が回転されることで、第２フランジ２５ｄの表面（特に、図４に示す第２接触面２５ｇ）が洗浄される。さらに、エアノズル５００から第２フランジ２５ｄ及び第２洗浄スポンジ３２１に向かって空気が吹き付けられる。これによって、第２フランジ２５ｄに付着した切削屑等を除去することができる。

次に図１１（ｂ）に示すように、移動部１３０によって、保持部１２０がブレード交換台４００に設けられた未使用ブレード収納部４２０に上方から対向する位置に移動される。そして、未使用ブレード収納部４２０に収納された未使用のブレード２５ａが、保持部１２０によって保持される。

本実施形態のように、使用済みブレード収納部４１０、未使用ブレード収納部４２０及び第２洗浄機構３２０を同じブレード交換台４００に設けることで、保持部１２０が使用済みブレード収納部４１０、未使用ブレード収納部４２０及び第２洗浄機構３２０の間を移動する際の移動距離を短く抑えることができる。また、使用済みブレード収納部４１０を挟んで第２洗浄機構３２０と未使用ブレード収納部４２０を配置することで、第２洗浄機構３２０による第２フランジ２５ｄの洗浄の際に飛散する水滴等が未使用ブレード収納部４２０に収納された未使用のブレード２５ａに付着するのを防止することができる。また、第２洗浄機構３２０による第２フランジ２５ｄの洗浄の際に飛散する水滴等が未使用のブレード２５ａに付着するのを防止するために、未使用ブレード収納部４２０とは反対側に空気を吹き出すようにエアノズル５００を配置する構成としてもよい。

次に図１１（ｃ）に示すように、移動部１３０によって支持部１１０が移動され、エアノズル３１２の先端がスピンドル部２５に取り付けられた第１フランジ２５ｃに向けられる。この状態でエアノズル３１２から空気が吹き出され、第１フランジ２５ｃに付着した切削屑や水滴が除去される。

次に図１２（ａ）に示すように、移動部１３０によって、第１洗浄機構３１０の第１洗浄スポンジ３１１が、スピンドル部２５に取り付けられた第１フランジ２５ｃと接触する位置に移動される。この状態でスピンドル部２５が回転することで、第１フランジ２５ｃの表面（特に、図４に示す第１接触面２５ｆ）が洗浄される。これによって、第１フランジ２５ｃに付着した切削屑等を除去することができる。

次に図１２（ｂ）に示すように、移動部１３０によって、支持部１１０が反転されると共に、保持部１２０がスピンドル部２５の第１フランジ２５ｃと対向する位置に移動される。そして、保持部１２０に保持された第２フランジ２５ｄとブレード２５ａが、スピンドル部２５に取り付けられる。

なお、上述の例では一方のスピンドル部２５のブレード２５ａの交換等を行う動作を説明したが、もう一方のスピンドル部２５のブレード２５ａの交換等を行う動作についても概ね同様であるため、説明は省略する。

切断工程Ｓ２０において封止済基板Ｗの切断が行われる際には、図２に二点鎖線で示すように、ブレード交換機構１００（特に、保持部１２０が設けられている支持部１１０）は、開口部２１１を介してカバー本体２１０の内部に収納される。

具体的には、図１２（ｃ）に示すように、移動部１３０によって保持部１２０のブレード吸着面１２１ａが下に向けられた状態で、ブレード吸着面１２１ａが第２洗浄機構３２０の第２洗浄スポンジ３２１と上下方向に対向する位置に移動される。この際、移動プレート２２０によって開口部２１１を閉塞することで、ブレード交換台４００が配置されたカバー本体２１０の内部空間と、スピンドル部２５が配置されたカバー本体２１０の外部空間とを区画することができる。なお、この際、移動部１３０は、第２フランジ２５ｄを洗浄する場合（図１１（ａ）参照）よりも若干奥（図１２（ｃ）における紙面左側）まで保持部１２０を移動させる。これに伴って移動プレート２２０がカバー本体２１０に向かって押し付けられて、シール部材２３０が押し潰されるように弾性変形する。これによって、各部材の多少の寸法誤差や組み付け誤差にかかわらず、カバー本体２１０と移動プレート２２０との隙間をシールすることができる。

さらに切断工程Ｓ２０において封止済基板Ｗの切断が行われる際には、エアノズル５００から保持部１２０のブレード吸着面１２１ａに向かって空気が吹き付けられる。

このように切断工程Ｓ２０においては、カバー本体２１０の内部空間と外部空間とが区画されるため、封止済基板Ｗの切断時に生じる切削屑や水滴が、ブレード交換台４００（特に、交換用のブレード２５ａが収納される未使用ブレード収納部４２０）や保持部１２０に付着するのを防止することができる。さらに、エアノズル５００から吹き付けられる空気によって保持部１２０のブレード吸着面１２１ａを清浄な状態に保つことができる。

また、カバー本体２１０の開口部２１１が移動プレート２２０によって閉塞された状態でエアノズル５００から空気が吹き出されることによって、カバー本体２１０の内圧（内部空間の圧力）を高めることができる。これによって、カバー本体２１０の内部に切削屑や水滴が侵入するのを防止することができる。

さらに、図６の右図に示すように、リーク部２１２を介してカバー本体２１０の内部の空気を外部へと放出することができる。これによって、カバー本体２１０の内圧の過剰な上昇を防止することができる。またリーク部２１２はカバー本体２１０の上部に形成されているため、リーク部２１２を介してカバー本体２１０の外部へと放出された空気が床面に落下している切削屑や水滴を巻き上げることがなく、カバー本体２１０の内部に切削屑や水滴が侵入するのをより効果的に防止することができる。

なお、リーク部２１２から放出された空気が切削屑等を巻き上げないようにする観点から、リーク部２１２は、少なくとも移動プレート２２０の最下端よりも上方に形成されることが望ましい。また同様の観点から、リーク部２１２は比較的高い位置に形成されることが望ましい。例えば、移動プレート２２０の上下中央よりも高い位置、開口部２１１の上下中央よりも高い位置、エアノズル５００よりも高い位置等に形成されることが望ましい。また同様の観点から、リーク部２１２は少なくとも下方に向かって開口しないように形成されることが望ましい。言い換えれば、リーク部２１２は、本実施形態のように上方に向かって開口するか、又は、側方に向かって開口するように形成されることが望ましい。

なお、本実施形態において、リーク部２１２はカバー本体２１０に形成されているが、例えばリーク部２１２を移動プレート２２０に形成することや、カバー本体２１０及び移動プレート２２０の両方に形成することも可能である。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。

例えば、上記各実施形態で例示した各部材の構成（形状や個数等）は特に限定するものではなく、任意に変更することができる。一例として、カバー本体２１０及び移動プレート２２０の形状は、ブレード交換機構１００の形状や大きさ等に応じて任意に変更することが可能である。

また、本実施形態の移動部１３０の構成（図３等参照）は一例であり、保持部１２０及び第１洗浄機構３１０を必要な位置に移動させることができる構成であれば、具体的な構成は限定されない。また、移動プレート２２０は第２直線移動部１３３に設けられるものとしたが、本発明はこれに限るものではない。すなわち移動プレート２２０は、ブレード交換機構１００と一体的に移動して開口部２１１を閉塞できる構成であればよく、例えば第２直線移動部１３３とは独立して第３直線移動部１３４に設けられる構成とすることも可能である。

また本実施形態では、第１フランジ２５ｃを洗浄する場合、スピンドル部２５を回転させる例を示したが（図１２（ａ）参照）、例えば第１洗浄スポンジ３１１を回転させる構成とすることも可能である。

また本実施形態に係る洗浄機構３００は、洗浄部材としてスポンジ（第１洗浄スポンジ３１１及び第２洗浄スポンジ３２１）を用いて洗浄を行うものとしたが、本発明はこれに限るものではなく、任意の洗浄部材（例えば、ウエス等）を用いることも可能である。

また本実施形態に係る洗浄機構３００は、スポンジ及びエアノズル３１２によってフランジの洗浄を行うものとしたが、フランジの洗浄方法はこれに限るものではなく、任意の洗浄方法でフランジの洗浄を行うことが可能である。例えば、フランジに洗浄水を吹き付けて洗浄することや、フランジに付着した切削屑等を吸引してフランジの洗浄を行うことも可能である。また洗浄機構３００は、複数の洗浄方法を組み合わせてフランジの洗浄を行うことも可能である。

また本実施形態では、第１フランジ２５ｃをスピンドル部２５に取り付けた状態で、第１フランジ２５ｃの洗浄を行う例（図１１（ｃ）及び図１２（ａ）参照）を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、第１フランジ２５ｃをスピンドル部２５から取り外した状態で、第１フランジ２５ｃの洗浄を行う構成とすることも可能である。この場合、第１フランジ２５ｃの着脱を行う機構を別途設けて、自動的に第１フランジ２５ｃの着脱を行うことも可能である。

また本実施形態では、保持部１２０と第１洗浄機構３１０をいずれも支持部１１０に設けて、一体的に移動させる例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、保持部１２０と第１洗浄機構３１０をそれぞれ別の部材に設けて、互いに独立して移動させる構成とすることも可能である。

また、本実施形態では、ブレード交換工程Ｓ１０において、スピンドル部２５に取り付けられたブレード２５ａを取り外し、別のブレード２５ａを取り付ける例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えばブレード交換工程Ｓ１０において、まだブレード２５ａが取り付けられていないスピンドル部２５に対してブレード２５ａを取り付けることも可能である。また、切断工程Ｓ２０が完了した後に実行するブレード交換工程Ｓ１０において、スピンドル部２５に取り付けられたブレード２５ａを取り外すだけの作業を行う（他のブレード２５ａを取り付けない）ことも可能である。

また、本実施形態では、洗浄機構３００を具備するブレード交換装置２６を例示したが、本発明はこれに限るものではなく、ブレード交換装置２６は必ずしも洗浄機構３００を備える必要はない。

また、本実施形態で例示した切断装置１の動作は一例であり、本発明はこれに限るものではない。すなわち、切断装置１の各部の動作順や動作態様は任意に変更することが可能である。

＜付記＞
本開示の第１側面に従うブレード交換装置２６は、
ブレード２５ａを吸着するように構成されたブレード吸着部１２１（第１吸着部）を少なくとも備えるブレード交換機構１００と、
前記ブレード交換機構１００を内部に収納可能なカバー本体２１０と、
前記ブレード交換機構１００と一体的に移動可能であって、前記ブレード交換機構１００を前記カバー本体２１０の内部へ収納した状態で前記カバー本体２１０の開口部２１１を閉じることが可能な移動プレート２２０（閉塞部）と、
前記ブレード交換機構１００の前記カバー本体２１０への収納時に、前記ブレード吸着部１２１のブレード吸着面１２１ａに対して気体を吹き付けるように構成されたエアノズル５００（気体吹き付け部）と、
を備える。
本開示の第１側面のブレード交換装置２６によれば、ブレード吸着面１２１ａに付着した切削屑や水滴を除去することができ、ブレード吸着面１２１ａを清浄な状態に維持することができる。これによって、ブレード交換機構１００の動作不良等が起こるのを低減することができる。また、ブレード吸着面１２１ａを清浄な状態に維持することができるため、メンテナンスの頻度や作業負担を低減することができ、メンテナンス性を向上させることができる。

第１側面に従う第２側面のブレード交換装置２６は、
前記カバー本体２１０の内部に配置され、交換用の複数のブレード２５ａを鉛直方向に積み重ねて収納可能な未使用ブレード収納部４２０（交換用ブレード収納部）をさらに備える。
本開示の第２側面のブレード交換装置２６によれば、複数のブレード２５ａを積み重ねて収納することができるため、ブレード２５ａの落下を防止するための保持機構が不要となる。これによって、保持機構の可動部や駆動部に切削屑や水滴が入り込むことによる動作不良等の発生を回避することができる。

第１又は第２側面に従う第３側面のブレード交換装置２６において、
前記エアノズル５００は、前記ブレード吸着面１２１ａを下に向けた状態の前記ブレード吸着部１２１に気体を吹き付けるように構成されている。
本開示の第３側面のブレード交換装置２６によれば、ブレード吸着面１２１ａに付着した切削屑や水滴を効果的に除去することができる。

第１から第３側面のいずれか１つに従う第４側面のブレード交換装置２６は、
前記移動プレート２２０が前記開口部２１１を閉じた状態において、前記カバー本体２１０と前記移動プレート２２０との接触部をシールするシール部材２３０をさらに備え、
前記カバー本体２１０及び前記移動プレート２２０の少なくとも一方には、前記移動プレート２２０の最下端よりも上方において、前記カバー本体２１０の内部の空気を外部へと放出可能なリーク部２１２が設けられている。
本開示の第４側面のブレード交換装置２６によれば、カバー本体２１０の内圧を高めて、カバー本体２１０内部への切削屑等の侵入を抑制することができる。また、リーク部２１２を介してカバー本体２１０の内部の空気を放出することで、カバー本体２１０の内圧が過剰に上昇するのを防止することができる。また、リーク部２１２を移動プレート２２０の最下端より上方に形成することで、カバー本体２１０から放出された空気により切削屑等が巻き上げられるのを防止することができる。

第１から第４側面のいずれか１つに従う第５側面のブレード交換装置２６は、
前記カバー本体２１０の内部に配置され、使用済みのブレード２５ａを収納可能な使用済みブレード収納部４１０をさらに備える。
本開示の第５側面のブレード交換装置２６によれば、カバー本体２１０の内部において、使用済みのブレード２５ａの収納作業を行うことができる。

第１から第５側面のいずれか１つに従う第６側面のブレード交換装置２６において、
前記ブレード交換機構１００は、
前記ブレード吸着部１２１とは独立して第２フランジ２５ｄ（フランジ）を吸着するように構成されたフランジ吸着部１２２（第２吸着部）と、
ブレード２５ａをスピンドル部２５に脱着可能とする脱着部材２５ｅを回転可能に構成された脱着部材回転部１２３と、
をさらに備える。
本開示の第６側面のブレード交換装置２６によれば、ブレード２５ａの脱着作業を効率的に行うことができる。

第６側面に従う第７側面のブレード交換装置２６は、
少なくとも前記フランジ吸着部１２２により吸着した前記第２フランジ２５ｄを洗浄する第２洗浄機構３２０（フランジ洗浄機構）をさらに具備する。
本開示の第７側面のブレード交換装置２６によれば、第２フランジ２５ｄに付着した切削屑や水滴を除去することができ、第２フランジ２５ｄを清浄な状態に維持することができる。これによって、切断装置１の動作不良等が起こるのを低減することができる。

第７側面に従う第８側面のブレード交換装置２６において、
前記第２洗浄機構３２０は、前記カバー本体２１０の内部に配置され、
前記ブレード吸着部１２１は、前記ブレード交換機構１００の前記カバー本体２１０への収納時に、前記第２洗浄機構３２０の第２洗浄スポンジ３２１（フランジ洗浄部材）と対向するように配置され、
前記エアノズル５００は、前記ブレード吸着面１２１ａ及び前記第２洗浄スポンジ３２１に対して気体を吹き付けるように構成されている。
本開示の第８側面のブレード交換装置２６によれば、ブレード吸着面１２１ａと共に、第２洗浄スポンジ３２１も清浄な状態に維持することができる。

第１から第８側面のいずれか１つに従う第９側面のブレード交換装置２６は、
前記カバー本体２１０の内部を撮像可能なカメラ６００をさらに備える。
本開示の第９側面のブレード交換装置２６によれば、外部から目視することが困難なカバー本体２１０の内部の様子を確認することができる。

本開示の第１０側面の切断装置１は、
第１から第９側面のいずれか１つの前記ブレード交換装置２６と、
前記ブレード交換装置２６により交換されたブレード２５ａにより封止済基板Ｗ（切断対象物）を切断するスピンドル部２５（切断機構）と、
を含む。
本開示の第１０側面の切断装置１によれば、ブレード吸着面１２１ａに付着した切削屑や水滴を除去することができ、ブレード吸着面１２１ａを清浄な状態に維持することができる。これによって、ブレード交換機構１００の動作不良等が起こるのを低減することができ、ひいては切断装置１の動作不良等が起こるのを低減することができる。

本開示の第１１側面の切断品の製造方法は、
第１０側面の前記切断装置１を用いて切断品を製造する方法であって、
前記ブレード交換装置２６により前記切断装置１のブレード２５ａの交換を行うブレード交換工程Ｓ１０と、
前記ブレード交換工程Ｓ１０により交換されたブレード２５ａが取り付けられた前記切断装置１により前記封止済基板Ｗを切断する切断工程Ｓ２０と、
を含む。
本開示の第１１側面の切断品の製造方法によれば、ブレード吸着面１２１ａに付着した切削屑や水滴を除去することができ、ブレード吸着面１２１ａを清浄な状態に維持することができる。これによって、ブレード交換機構１００の動作不良等が起こるのを低減することができ、ひいては切断装置１の動作不良等が起こるのを低減することができる。

１ 切断装置
２５ スピンドル部
２５ａ ブレード
２６ ブレード交換装置
２５ｄ 第２フランジ
２５ｅ 脱着部材
１００ ブレード交換機構
１２１ ブレード吸着部
１２１ａ ブレード吸着面
１２２ フランジ吸着部
１２３ 脱着部材回転部
２１０ カバー本体
２１１ 開口部
２１２ リーク部
２２０ 移動プレート
２３０ シール部材
３２０ 第２洗浄機構
３２１ 第２洗浄スポンジ
４１０ 使用済みブレード収納部
４２０ 未使用ブレード収納部
５００ エアノズル
６００ カメラ

Claims (11)

1. ブレードを吸着するように構成された第１吸着部を少なくとも備えるブレード交換機構と、
   前記ブレード交換機構を内部に収納可能なカバー本体と、
   前記ブレード交換機構と一体的に移動可能であって、前記ブレード交換機構を前記カバー本体の内部へ収納した状態で前記カバー本体の開口部を閉じることが可能な閉塞部と、
   前記ブレード交換機構の前記カバー本体への収納時に、前記第１吸着部のブレード吸着面に対して気体を吹き付けるように構成された気体吹き付け部と、
   を備えるブレード交換装置。
2. 前記カバー本体の内部に配置され、交換用の複数のブレードを鉛直方向に積み重ねて収納可能な交換用ブレード収納部をさらに備える、請求項１に記載のブレード交換装置。
3. 前記気体吹き付け部は、前記ブレード吸着面を下に向けた状態の前記第１吸着部に気体を吹き付けるように構成されている、請求項１又は請求項２に記載のブレード交換装置。
4. 前記閉塞部が前記開口部を閉じた状態において、前記カバー本体と前記閉塞部との接触部をシールするシール部材をさらに備え、
   前記カバー本体及び前記閉塞部の少なくとも一方には、前記閉塞部の最下端よりも上方において、前記カバー本体の内部の空気を外部へと放出可能なリーク部が設けられている、請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のブレード交換装置。
5. 前記カバー本体の内部に配置され、使用済みのブレードを収納可能な使用済みブレード収納部をさらに備える、請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のブレード交換装置。
6. 前記ブレード交換機構は、
   前記第１吸着部とは独立してフランジを吸着するように構成された第２吸着部と、
   ブレードをスピンドル部に脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成された脱着部材回転部と、
   をさらに備える、請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載のブレード交換装置。
7. 少なくとも前記第２吸着部により吸着した前記フランジを洗浄するフランジ洗浄機構をさらに具備する、請求項６に記載のブレード交換装置。
8. 前記フランジ洗浄機構は、前記カバー本体の内部に配置され、
   前記第１吸着部は、前記ブレード交換機構の前記カバー本体への収納時に、前記フランジ洗浄機構のフランジ洗浄部材と対向するように配置され、
   前記気体吹き付け部は、前記ブレード吸着面及び前記フランジ洗浄部材に対して気体を吹き付けるように構成されている、請求項７に記載のブレード交換装置。
9. 前記カバー本体の内部を撮像可能なカメラをさらに備える、請求項１から請求項８までのいずれか一項に記載のブレード交換装置。
10. 請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の前記ブレード交換装置と、
    前記ブレード交換装置により交換されたブレードにより切断対象物を切断する切断機構と、
    を含む切断装置。
11. 請求項１０に記載の前記切断装置を用いて切断品を製造する方法であって、
    前記ブレード交換装置により前記切断装置のブレードの交換を行うブレード交換工程と、
    前記ブレード交換工程により交換されたブレードが取り付けられた前記切断装置により前記切断対象物を切断する切断工程と、
    を含む切断品の製造方法。

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