JP2023171989A - ブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ブレード吸着面を清浄な状態に維持することが可能な切断装置を提供する。【解決手段】ブレードを吸着するように構成された第1吸着部を少なくとも備えるブレード交換機構と、前記ブレード交換機構を内部に収納可能なカバー本体と、前記ブレード交換機構と一体的に移動可能であって、前記ブレード交換機構を前記カバー本体の内部へ収納した状態で前記カバー本体の開口部を閉じることが可能な閉塞部と、前記ブレード交換機構の前記カバー本体への収納時に、前記第1吸着部のブレード吸着面に対して気体を吹き付けるように構成された気体吹き付け部と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明は、ブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法の技術に関する。
特許文献1には、ブレード交換機構への水、水滴、ミスト等の付着を抑制するための技術が開示されている。具体的には、特許文献1には、切断対象物の切断時に、ブレード交換機構の吸着ユニットを覆う防水カバーが開示されている。防水カバーは開閉扉を有し、吸着ユニットのブレード吸着面は開閉扉とは反対方向に向けられた状態で防水カバーに収納される。このように構成することで、ブレード吸着面への切削水、水滴、ミスト等の付着を抑制し、ひいてはブレード交換機構の動作不良等が起こるのを低減することができる。
特許文献1に記載のようなブレード交換機構では、ブレード交換機構の動作不良等を防止する観点から、ブレード吸着面をより清浄な状態に維持することが望まれている。
本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、ブレード吸着面を清浄な状態に維持することが可能なブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法を提供することである。
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係るブレード交換装置は、ブレードを吸着するように構成された第1吸着部を少なくとも備えるブレード交換機構と、前記ブレード交換機構を内部に収納可能なカバー本体と、前記ブレード交換機構と一体的に移動可能であって、前記ブレード交換機構を前記カバー本体の内部へ収納した状態で前記カバー本体の開口部を閉じることが可能な閉塞部と、前記ブレード交換機構の前記カバー本体への収納時に、前記第1吸着部のブレード吸着面に対して気体を吹き付けるように構成された気体吹き付け部と、を備えるものである。
また、本発明に係る切断装置は、前記ブレード交換装置と、前記ブレード交換装置により交換されたブレードにより切断対象物を切断する切断機構と、を含むものである。
また、本発明に係る切断品の製造方法は、前記切断装置を用いて切断品を製造する方法であって、前記ブレード交換装置により前記切断装置のブレードの交換を行うブレード交換工程と、前記ブレード交換工程により交換されたブレードが取り付けられた前記切断装置により前記切断対象物を切断する切断工程と、を含むものである。
本発明によれば、ブレード吸着面を清浄な状態に維持することができる。
<切断装置1の構成>
まず、本実施形態に係る切断装置1の構成について説明する。本実施形態においては、例えば、切断装置1による切断対象物として、半導体チップが装着された基板を樹脂封止した封止済基板Wを用いる場合の、切断装置1の構成について説明する。
まず、本実施形態に係る切断装置1の構成について説明する。本実施形態においては、例えば、切断装置1による切断対象物として、半導体チップが装着された基板を樹脂封止した封止済基板Wを用いる場合の、切断装置1の構成について説明する。
封止済基板Wとしては、例えば、BGA(Ball grid array)パッケージ基板、CSP(Chip size package)パッケージ基板、LED(Light emitting diode)パッケージ基板等が使用される。また、切断対象物としては、封止済基板Wだけでなく、半導体チップが装着されたリードフレームを樹脂封止した封止済みリードフレームが使用されることもある。
図1に示す切断装置1は、切断対象物である封止済基板Wを切断することによって、複数の切断品(製品P)に個片化する加工装置である。切断装置1は、構成要素として、基板供給モジュールA、切断モジュールB及び収納モジュールCを具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。
<基板供給モジュールA>
基板供給モジュールAには、主として基板供給機構11及び制御部CTLが設けられる。
基板供給モジュールAには、主として基板供給機構11及び制御部CTLが設けられる。
切断対象物である封止済基板Wは、基板供給機構11から搬出され、移送機構(不図示)によって切断モジュールBに移送される。制御部CTLは切断装置1の各部の動作を制御するものである。制御部CTLによって切断装置1の各部が制御されることで、封止済基板Wの搬入、封止済基板Wの切断、製品Pの検査、製品Pの搬出等を行うことができる。なお、制御部CTLは、基板供給モジュールA以外のモジュールに設けることも可能である。また制御部CTLは、複数に分割して設けることも可能である。例えば、各モジュールに制御部CTLを設け、制御部CTL同士を連係させて各部を制御することも可能である。
<切断モジュールB>
図1に示す切断モジュールBには、主として切断用テーブル21、切断用治具22、移動機構23、回転機構24、スピンドル部25及びブレード交換装置26が設けられる。
図1に示す切断モジュールBには、主として切断用テーブル21、切断用治具22、移動機構23、回転機構24、スピンドル部25及びブレード交換装置26が設けられる。
本実施形態では、2個の切断用テーブル21を有するツインカットテーブル方式の切断装置1を例示している。切断用テーブル21には、切断用治具22が設けられる。切断用テーブル21は、移動機構23によってY方向に移動可能であり、かつ、回転機構24によってθ方向に回動可能である。
また本実施形態では、2個のスピンドル部25を有するツインスピンドル構成の切断装置1を例示している。2個のスピンドル部25は、互いに独立してX方向及びZ方向に移動可能である。なお、スピンドル部25は、本発明に係る切断機構の実施の一形態である。
ブレード交換装置26は、スピンドル部25で使用されるブレード25aを交換するためのものである。ブレード交換装置26は、スピンドル部25の背後(図示上側)に配置される。ブレード交換装置26は、主としてブレード交換機構100、カバー200、洗浄機構300、ブレード交換台400、エアノズル500及びカメラ600を具備する。なお、ブレード交換装置26の詳細な構成については後述する。
切断モジュールBにおいて、切断用テーブル21に封止済基板Wが保持された状態で、切断用テーブル21と2個のスピンドル部25とを相対的に移動させることで、封止済基板Wを切断して個片化することができる。スピンドル部25のブレード25aは、Y方向及びZ方向を含む面内において回転することで、切断用テーブル21に保持された封止済基板Wを切断する。この際、ブレード25aに向かって切削水を噴射しながら封止済基板Wを切断することもできる。また、適宜のタイミングで、ブレード交換装置26によりスピンドル部25で使用されるブレード25aを交換することができる。
<収納モジュールC>
収納モジュールCには、主として検査用テーブル31及びトレイ32が設けられる。
収納モジュールCには、主として検査用テーブル31及びトレイ32が設けられる。
検査用テーブル31には、封止済基板Wを切断して個片化された複数の製品Pからなる集合体が載置される。複数の製品Pは、検査用のカメラ(不図示)によって検査され、良品と不良品とに選別される。選別された良品は、トレイ32に収納される。選別された不良品は、別途用意されたトレイ(不図示)に収納され、製品Pから除外される。なお、収納モジュールCにおいて、必ずしも製品Pの検査を行う必要はない。
<ブレード交換装置26の詳細な構成>
次に、ブレード交換装置26(ブレード交換機構100、カバー200、洗浄機構300、ブレード交換台400、エアノズル500及びカメラ600)の構成について説明する。なお、ブレード交換装置26の各部の詳細な構造や形状等は特に限定しないため、本実施形態では各部の形状等を適宜簡略化して図示している。
次に、ブレード交換装置26(ブレード交換機構100、カバー200、洗浄機構300、ブレード交換台400、エアノズル500及びカメラ600)の構成について説明する。なお、ブレード交換装置26の各部の詳細な構造や形状等は特に限定しないため、本実施形態では各部の形状等を適宜簡略化して図示している。
<ブレード交換機構100>
図2及び図3に示すように、ブレード交換機構100は、主として支持部110、保持部120及び移動部130を具備する。
図2及び図3に示すように、ブレード交換機構100は、主として支持部110、保持部120及び移動部130を具備する。
支持部110は、保持部120及び後述する第1洗浄機構310を支持するものである。支持部110は、適宜の部材(棒状部材、板状部材等)を組み合わせて形成することができる。本実施形態では、支持部110は一方向(図2及び図3では、X方向)に長い長手状に形成されている。
保持部120は、スピンドル部25に設けられたブレード25a、及び、ブレード25aをスピンドル部25に固定するための第2フランジ25dを保持することが可能なものである。保持部120は、支持部110の長手方向における一端部に設けられる。
ここで、図4を用いて、スピンドル部25(特に、ブレード25aの固定に関する部位)の構成について説明する。図4は、2個のスピンドル部25のうち一方(図2における紙面左側のスピンドル部25)の一部分の断面を示したものである。
スピンドル部25の回転軸25bには、略円環状の第1フランジ25cが固定される。さらに、第1フランジ25cと対向するように、略円環状の第2フランジ25dが設けられる。なお、第2フランジ25dは、本発明に係るフランジの実施の一形態である。
ナット等の脱着部材25eが第1フランジ25cのボス部分に締め付けられることによって、第2フランジ25dが第1フランジ25cに向かって押し付けられる。第1フランジ25c及び第2フランジ25dの外周部分には、互いに向き合う方向に突出した第1接触面25f及び第2接触面25gが形成されている。第1接触面25fと第2接触面25gとの間に略円環状のブレード25aが挟まれて固定される。脱着部材25eには、複数の貫通孔25hが形成されている。
図5に示す保持部120は、主としてブレード吸着部121、フランジ吸着部122及び脱着部材回転部123を具備する。
ブレード吸着部121は、ブレード25aを吸着するためのものである。ブレード吸着部121は、略円筒状に形成される。ブレード吸着部121の端面(以下、ブレード吸着面121aと称する)には、ブレード25aを吸着するための吸着口及び吸着溝(不図示)が適宜形成される。外部に設けられた吸引装置によってブレード吸着部121の吸着口等の空気を吸引することによって、ブレード吸着面121aにブレード25aを吸着して保持することができる。なお、ブレード吸着部121は、本発明に係る第1吸着部の実施の一形態である。
フランジ吸着部122は、第2フランジ25dを吸着するためのものである。フランジ吸着部122は、略円筒状に形成される。フランジ吸着部122は、ブレード吸着部121の内側に配置される。フランジ吸着部122の端面(以下、フランジ吸着面122aと称する)には、第2フランジ25dを吸着するための吸着口及び吸着溝(不図示)が適宜形成される。外部に設けられた吸引装置によってフランジ吸着部122の吸着口等の空気を吸引することによって、フランジ吸着面122aに第2フランジ25dを吸着して保持することができる。なお、フランジ吸着部122は、本発明に係る第2吸着部の実施の一形態である。
脱着部材回転部123は、脱着部材25eを回転させて第1フランジ25cのボス部分に着脱するためのものである。脱着部材回転部123は、環状に形成される。脱着部材回転部123は、フランジ吸着部122の内側に配置される。脱着部材回転部123の端面には、X方向に突出するように複数の突出部123aが設けられる。突出部123aは、脱着部材25eの貫通孔25h(図4参照)に対応する位置に配置される。脱着部材回転部123は、回転機構(不図示)の動力によって回転することができる。
保持部120は、突出部123aを脱着部材25eの貫通孔25hに挿入した状態で脱着部材回転部123を回転させることで、脱着部材25eの着脱を行うことができる。また保持部120は、ブレード吸着部121及びフランジ吸着部122によって、ブレード25a及び第2フランジ25dをそれぞれ独立して保持することができる。
このように保持部120は、ブレード吸着部121、フランジ吸着部122及び脱着部材回転部123を適宜作動させることで、スピンドル部25に取り付けられたブレード25a及び第2フランジ25dを、スピンドル部25から取り外すことができる。また保持部120は、保持しているブレード25a及び第2フランジ25dを、スピンドル部25に取り付けることができる。
なお、保持部120がブレード25a及び第2フランジ25dを保持する方法は、ブレード25a等を吸着して保持する方法に限るものではなく、例えば爪状の部材をブレード25a等に引っ掛けて機械的に保持する方法等であってもよい。
図2及び図3に示す移動部130は、支持部110を任意の方向に移動させるものである。移動部130は、主として回転部131、第1直線移動部132、第2直線移動部133及び第3直線移動部134を具備する。
回転部131は、支持部110を回転させるものである。回転部131は、支持部110を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて支持部110を回転させることができる。回転部131は、Y方向に平行な軸線回りに支持部110を回転させることができる。
第1直線移動部132は、回転部131を直線的に移動させるものである。第1直線移動部132は、回転部131を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて回転部131を移動させることができる。第1直線移動部132は、回転部131をY方向に沿って直線的に移動させることができる。
第2直線移動部133は、第1直線移動部132を直線的に移動させるものである。第2直線移動部133は、第1直線移動部132を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて第1直線移動部132を移動させることができる。第2直線移動部133は、第1直線移動部132をZ方向に沿って直線的に移動させることができる。
図2に示す第3直線移動部134は、第2直線移動部133を直線的に移動させるものである。第3直線移動部134は、第2直線移動部133を支持すると共に、モータ等の駆動源の駆動力を用いて第2直線移動部133を移動させることができる。第3直線移動部134は、第2直線移動部133をX方向に沿って直線的に移動させることができる。
上記のように構成された移動部130の各部の移動を組み合わせることにより、支持部110を任意の位置に移動させると共に、Y方向に沿った軸線回りに任意に回転させることができる。
<カバー200>
図1、図2及び図6に示すカバー200は、ブレード交換機構100に水滴や切削屑等が付着するのを防止するためのものである。カバー200は、主としてカバー本体210、移動プレート220及びシール部材230を具備する。
図1、図2及び図6に示すカバー200は、ブレード交換機構100に水滴や切削屑等が付着するのを防止するためのものである。カバー200は、主としてカバー本体210、移動プレート220及びシール部材230を具備する。
カバー本体210は、ブレード交換機構100を内部に収納可能なものである。カバー本体210は、後述するブレード交換台400を側方及び上方から囲むような中空の略直方体状に形成される。これによってカバー本体210は、スピンドル部25が配置される空間と、ブレード交換台400が配置される空間と、を仕切ることができる。なお、図2においては、説明の便宜上、カバー本体210の1つの側面(図1における紙面右側面)のみを図示している。カバー本体210には、開口部211及びリーク部212が形成される。
開口部211は、カバー本体210の一側面(本実施形態では、図1における紙面右側面)を貫通するように形成される。開口部211は、ブレード交換機構100が通過可能な形状に形成される。本実施形態では、開口部211を矩形状に形成した例を図示している。
図2及び図6に示すリーク部212は、後述する移動プレート220が開口部211を閉塞した際に、カバー本体210の内部空間と外部空間とを接続する部分である。リーク部212は、カバー本体210の一側面(開口部211が形成された側面)から上面に亘って、X方向に沿ってカバー本体210を切り欠くように形成される。リーク部212の端部は、開口部211の上端部と接続される。なお本実施形態では、リーク部212を形成することで、ブレード交換機構100がカバー本体210の内部と外部を往来する際の、カバー本体210と移動部130との干渉を回避している。
図1、図2及び図6に示す移動プレート220は、カバー本体210の開口部211を閉塞することが可能なものである。移動プレート220は、開口部211に応じた形状に形成される。具体的には、移動プレート220は、開口部211よりも一回り大きい略矩形の板状に形成される。移動プレート220は、X方向において、支持部110の一側(図2における紙面右側)に配置される。移動プレート220は、板面をX方向に向けた状態で移動部130に設けられる。具体的には、移動プレート220は第2直線移動部133に設けられ、第3直線移動部134によってブレード交換機構100(特に、支持部110)と一体的にX方向に移動することができる。なお、移動プレート220は、本発明に係る閉塞部の実施の一形態である。
シール部材230は、カバー本体210と移動プレート220との接触部をシールするものである。シール部材230は、可撓性を有する材料(例えば、ゴム等)により形成される。シール部材230は、移動プレート220のうち、カバー本体210と対向する側面に設けられる。シール部材230は、移動プレート220の外周部に沿うように設けられる。
<洗浄機構300>
図1に示す洗浄機構300は、スピンドル部25にブレード25aを固定するためのフランジ(第1フランジ25c及び第2フランジ25d)を洗浄するためのものである。洗浄機構300は、主として第1洗浄機構310及び第2洗浄機構320を具備する。
図1に示す洗浄機構300は、スピンドル部25にブレード25aを固定するためのフランジ(第1フランジ25c及び第2フランジ25d)を洗浄するためのものである。洗浄機構300は、主として第1洗浄機構310及び第2洗浄機構320を具備する。
図3に示す第1洗浄機構310は、スピンドル部25に取り付けられた状態の第1フランジ25cを洗浄するものである。第1洗浄機構310は、主として第1洗浄スポンジ311及びエアノズル312を具備する。
図3及び図7(a)に示す第1洗浄スポンジ311は、第1フランジ25cを洗浄するための洗浄部材である。第1洗浄スポンジ311は、第1フランジ25cの外形よりも大きな平面形状を有する円筒状に形成される。第1洗浄スポンジ311は、円板状の取付部材311aを介して、支持部110の長手方向における一端部に取り付けられる。第1洗浄スポンジ311は、支持部110の長手方向において、保持部120と反対側に設けられる。言い換えると、第1洗浄スポンジ311は、回転部131の回転軸を中心として、保持部120から180度反転した位置に設けられる。
なお、第1洗浄スポンジ311は、図7(a)に示す円筒状に限らず、任意の形状とすることができる。例えば図7(b)に示す変形例のように、円筒を複数に分割した形状としてもよい。これによって、スポンジの角部で第1フランジ25cの洗浄を行うことができ、第1洗浄スポンジ311の洗浄能力の向上を図ることができる。
図3に示すエアノズル312は、コンプレッサ(不図示)から供給された圧縮空気を吹き出すことができる。エアノズル312は、支持部110の長手方向における一端部(第1洗浄スポンジ311と同じ側)に設けられる。エアノズル312は、空気の吹き出し方向を第1洗浄スポンジ311側に向けた状態で配置される。
図2及び図8に示す第2洗浄機構320は、スピンドル部25から取り外された状態(保持部120に保持された状態)の第2フランジ25dを洗浄するものである。なお、第2洗浄機構320は、本発明に係るフランジ洗浄機構の実施の一形態である。第2洗浄機構320は、主として第2洗浄スポンジ321及び駆動部322を具備する。
第2洗浄スポンジ321は、第2フランジ25dを洗浄するための洗浄部材である。第2洗浄スポンジ321は、第2フランジ25dと同等の径を有する円筒状に形成される。第2洗浄スポンジ321は、図7に示す第1洗浄スポンジ311と同様の形状に形成される。第2洗浄スポンジ321は、円筒の軸線をZ方向に向けた状態で、後述するブレード交換台400の上面に設けられる。なお、第2洗浄スポンジ321は、本発明に係るフランジ洗浄部材の実施の一形態である。
駆動部322は、第2洗浄スポンジ321を回転させるものである。駆動部322は、例えばモータ等の駆動源を有する。駆動部322の出力軸は、第2洗浄スポンジ321に接続される。駆動部322の駆動力によって、第2洗浄スポンジ321をZ方向に平行な軸線回りに回転させることができる。
<ブレード交換台400>
ブレード交換台400は、未使用のブレード25a及び使用済みのブレード25aを保管するためのものである。ブレード交換台400は、主として使用済みブレード収納部410及び未使用ブレード収納部420を具備する。
ブレード交換台400は、未使用のブレード25a及び使用済みのブレード25aを保管するためのものである。ブレード交換台400は、主として使用済みブレード収納部410及び未使用ブレード収納部420を具備する。
使用済みブレード収納部410は、スピンドル部25で使用された使用済みのブレード25aが収納される部分である。使用済みブレード収納部410は、上面が開放された箱状に形成される。使用済みブレード収納部410は、内部にブレード25aを収納することができる。また使用済みブレード収納部410は、複数のブレード25aを収納することができる。
未使用ブレード収納部420は、交換用の未使用のブレード25aが収納される部分である。未使用ブレード収納部420は、鉛直方向(上下方向)に延びる角柱状に形成される。未使用ブレード収納部420は、ブレード25aの中心に挿入されることで、ブレード25aを保持することができる。また未使用ブレード収納部420は、複数のブレード25aを鉛直方向に積み重ねて収納することができる。また、角柱状の未使用ブレード収納部420の側面から外側(ブレード25a側)に向けて空気を吹き出すように構成することで、複数のブレード25a同士を分離し易くすることもできる。なお、未使用ブレード収納部420は、本発明に係る交換用ブレード収納部の実施の一形態である。
ブレード交換台400の上面において、使用済みブレード収納部410、未使用ブレード収納部420及び第2洗浄機構320は、X方向に沿って並ぶように配置される。具体的には、カバー本体210の開口部211に近い側から、未使用ブレード収納部420、使用済みブレード収納部410、第2洗浄機構320の順に並ぶように配置される。
なお、使用済みブレード収納部410及び未使用ブレード収納部420の構成は本実施形態に限るものではなく、任意に変更することが可能である。一例として、使用済みブレード収納部410を未使用ブレード収納部420と同様に、鉛直方向(上下方向)に延びる角柱状に形成することも可能である。
<エアノズル500>
エアノズル500は、ブレード交換機構100のブレード吸着部121に対して気体(本実施形態では、空気)を吹き付けるためのものである。エアノズル500は、コンプレッサ(不図示)から供給された圧縮空気を吹き出すことができる。エアノズル500は、ブレード交換台400付近に配置される。エアノズル500は、水平方向に空気を吹き出すことができるように配置される。エアノズル500は、先端(空気の吹き出し方向)を第2洗浄スポンジ321の上端面に向けた状態で配置される。また、エアノズル500は、後述するように、カバー本体210の内圧(内部空間の圧力)を高めて、カバー本体210の内部に切削屑や水滴が侵入するのを防止する働きを果たすことができる。なお、エアノズル500は、本発明に係る気体吹き付け部の実施の一形態である。
エアノズル500は、ブレード交換機構100のブレード吸着部121に対して気体(本実施形態では、空気)を吹き付けるためのものである。エアノズル500は、コンプレッサ(不図示)から供給された圧縮空気を吹き出すことができる。エアノズル500は、ブレード交換台400付近に配置される。エアノズル500は、水平方向に空気を吹き出すことができるように配置される。エアノズル500は、先端(空気の吹き出し方向)を第2洗浄スポンジ321の上端面に向けた状態で配置される。また、エアノズル500は、後述するように、カバー本体210の内圧(内部空間の圧力)を高めて、カバー本体210の内部に切削屑や水滴が侵入するのを防止する働きを果たすことができる。なお、エアノズル500は、本発明に係る気体吹き付け部の実施の一形態である。
<カメラ600>
カメラ600は、カバー本体210の内部を撮像するためのものである。カメラ600は、カバー本体210の内部に配置される。カメラ600は、レンズをブレード交換台400に向けた状態で配置される。本実施形態では、2つのカメラ600をカバー本体210の内部に配置することで、ブレード交換台400全体(ブレード交換台400に設けられた第2洗浄機構320、使用済みブレード収納部410及び未使用ブレード収納部420)を撮像している。なお、本実施形態のカメラ600の配置や個数は一例であり、任意に変更することが可能である。カメラ600で撮像された映像は、例えば切断装置1の外部に設けられたモニター等の表示装置に表示される。切断装置1の利用者は、表示装置に表示された映像を確認することで、カバー本体210内部の様子を確認することができる。
カメラ600は、カバー本体210の内部を撮像するためのものである。カメラ600は、カバー本体210の内部に配置される。カメラ600は、レンズをブレード交換台400に向けた状態で配置される。本実施形態では、2つのカメラ600をカバー本体210の内部に配置することで、ブレード交換台400全体(ブレード交換台400に設けられた第2洗浄機構320、使用済みブレード収納部410及び未使用ブレード収納部420)を撮像している。なお、本実施形態のカメラ600の配置や個数は一例であり、任意に変更することが可能である。カメラ600で撮像された映像は、例えば切断装置1の外部に設けられたモニター等の表示装置に表示される。切断装置1の利用者は、表示装置に表示された映像を確認することで、カバー本体210内部の様子を確認することができる。
<切断品の製造方法>
次に、図1及び図9を参照して、以上の如く構成された切断装置1を用いて切断品を製造する方法(切断品の製造方法)の概略について説明する。
次に、図1及び図9を参照して、以上の如く構成された切断装置1を用いて切断品を製造する方法(切断品の製造方法)の概略について説明する。
本実施形態に係る切断品の製造方法は、主としてブレード交換工程S10及び切断工程S20を含む。以下、順に説明する。
ブレード交換工程S10は、ブレード交換装置26により切断装置1のブレード25aの交換を行う工程である。
具体的には、ブレード交換工程S10において、ブレード交換機構100によってスピンドル部25に取り付けられた使用済みのブレード25aが取り外され、代わりに未使用のブレード25aがスピンドル部25に取り付けられる。なおブレード交換工程S10において、ブレード交換装置26は、ブレード25aを固定するためのフランジ(第1フランジ25c及び第2フランジ25d)の洗浄を行うことも可能である。
ブレード25aの交換が完了した後、ブレード交換工程S10から切断工程S20に移行する。
切断工程S20は、ブレード交換工程S10により交換されたブレード25aが取り付けられたスピンドル部25により封止済基板Wを切断する工程である。
具体的には、切断工程S20において、封止済基板Wは基板供給モジュールAから切断モジュールBに移送される。切断モジュールBの切断用テーブル21に保持された封止済基板Wは、スピンドル部25によって切断され、複数の製品Pに個片化される。個片化された製品Pは、収納モジュールCにおいて良品と不良品とに選別される。このようにして、封止済基板Wを切断し、製品Pを製造することができる。
なお、図9には切断品の製造方法を簡易的に示しているが、各工程を実行するタイミングや回数、順序等は任意に変更することが可能である。例えば、切断工程S20を繰り返し実行している最中にブレード25aの磨耗量を適宜のセンサで検出し、磨耗量が一定量を超えたタイミングでブレード交換工程S10を実行することも可能である。また、切断装置1の稼働時間、製品Pの生産数等が所定の値を超えたタイミングでブレード交換工程S10を実行することもできる。
<ブレード交換装置26の動作>
次に、切断品の製造工程(ブレード交換工程S10及び切断工程S20)におけるブレード交換装置26の動作について具体的に説明する。
次に、切断品の製造工程(ブレード交換工程S10及び切断工程S20)におけるブレード交換装置26の動作について具体的に説明する。
ブレード交換工程S10においてブレード25aの交換等を行う場合、まず図10(a)に示すように、移動部130によって支持部110が移動され、エアノズル312の先端がスピンドル部25に取り付けられたブレード25aに向けられる。この状態でエアノズル312から空気が吹き出され、ブレード25aに付着した切削屑や水滴が除去される。この際、ブレード25aに空気を吹き付けながら支持部110を若干往復移動させることで、ブレード25aに吹き付けられる空気の向きや範囲を変化させ、切削屑等をより効果的に除去することもできる。
次に図10(b)に示すように、移動部130によって支持部110が反転されると共に、保持部120がスピンドル部25のブレード25aと対向する位置に移動される。そして、保持部120によってスピンドル部25から第2フランジ25dとブレード25aが取り外される。
次に図10(c)に示すように、移動部130によって、保持部120がブレード交換台400に設けられた使用済みブレード収納部410に上方から対向する位置に移動される。そして、保持部120によるブレード25aの保持が解除され、使用済みのブレード25aが使用済みブレード収納部410に収納される。
次に図11(a)に示すように、移動部130によって、保持部120(第2フランジ25d)の軸線と、第2洗浄機構320の第2洗浄スポンジ321の軸線と、が合わせられた状態で、第2フランジ25dが第2洗浄スポンジ321の上面と接触する位置に移動される。この状態で、駆動部322によって第2洗浄スポンジ321が回転されることで、第2フランジ25dの表面(特に、図4に示す第2接触面25g)が洗浄される。さらに、エアノズル500から第2フランジ25d及び第2洗浄スポンジ321に向かって空気が吹き付けられる。これによって、第2フランジ25dに付着した切削屑等を除去することができる。
次に図11(b)に示すように、移動部130によって、保持部120がブレード交換台400に設けられた未使用ブレード収納部420に上方から対向する位置に移動される。そして、未使用ブレード収納部420に収納された未使用のブレード25aが、保持部120によって保持される。
本実施形態のように、使用済みブレード収納部410、未使用ブレード収納部420及び第2洗浄機構320を同じブレード交換台400に設けることで、保持部120が使用済みブレード収納部410、未使用ブレード収納部420及び第2洗浄機構320の間を移動する際の移動距離を短く抑えることができる。また、使用済みブレード収納部410を挟んで第2洗浄機構320と未使用ブレード収納部420を配置することで、第2洗浄機構320による第2フランジ25dの洗浄の際に飛散する水滴等が未使用ブレード収納部420に収納された未使用のブレード25aに付着するのを防止することができる。また、第2洗浄機構320による第2フランジ25dの洗浄の際に飛散する水滴等が未使用のブレード25aに付着するのを防止するために、未使用ブレード収納部420とは反対側に空気を吹き出すようにエアノズル500を配置する構成としてもよい。
次に図11(c)に示すように、移動部130によって支持部110が移動され、エアノズル312の先端がスピンドル部25に取り付けられた第1フランジ25cに向けられる。この状態でエアノズル312から空気が吹き出され、第1フランジ25cに付着した切削屑や水滴が除去される。
次に図12(a)に示すように、移動部130によって、第1洗浄機構310の第1洗浄スポンジ311が、スピンドル部25に取り付けられた第1フランジ25cと接触する位置に移動される。この状態でスピンドル部25が回転することで、第1フランジ25cの表面(特に、図4に示す第1接触面25f)が洗浄される。これによって、第1フランジ25cに付着した切削屑等を除去することができる。
次に図12(b)に示すように、移動部130によって、支持部110が反転されると共に、保持部120がスピンドル部25の第1フランジ25cと対向する位置に移動される。そして、保持部120に保持された第2フランジ25dとブレード25aが、スピンドル部25に取り付けられる。
なお、上述の例では一方のスピンドル部25のブレード25aの交換等を行う動作を説明したが、もう一方のスピンドル部25のブレード25aの交換等を行う動作についても概ね同様であるため、説明は省略する。
切断工程S20において封止済基板Wの切断が行われる際には、図2に二点鎖線で示すように、ブレード交換機構100(特に、保持部120が設けられている支持部110)は、開口部211を介してカバー本体210の内部に収納される。
具体的には、図12(c)に示すように、移動部130によって保持部120のブレード吸着面121aが下に向けられた状態で、ブレード吸着面121aが第2洗浄機構320の第2洗浄スポンジ321と上下方向に対向する位置に移動される。この際、移動プレート220によって開口部211を閉塞することで、ブレード交換台400が配置されたカバー本体210の内部空間と、スピンドル部25が配置されたカバー本体210の外部空間とを区画することができる。なお、この際、移動部130は、第2フランジ25dを洗浄する場合(図11(a)参照)よりも若干奥(図12(c)における紙面左側)まで保持部120を移動させる。これに伴って移動プレート220がカバー本体210に向かって押し付けられて、シール部材230が押し潰されるように弾性変形する。これによって、各部材の多少の寸法誤差や組み付け誤差にかかわらず、カバー本体210と移動プレート220との隙間をシールすることができる。
さらに切断工程S20において封止済基板Wの切断が行われる際には、エアノズル500から保持部120のブレード吸着面121aに向かって空気が吹き付けられる。
このように切断工程S20においては、カバー本体210の内部空間と外部空間とが区画されるため、封止済基板Wの切断時に生じる切削屑や水滴が、ブレード交換台400(特に、交換用のブレード25aが収納される未使用ブレード収納部420)や保持部120に付着するのを防止することができる。さらに、エアノズル500から吹き付けられる空気によって保持部120のブレード吸着面121aを清浄な状態に保つことができる。
また、カバー本体210の開口部211が移動プレート220によって閉塞された状態でエアノズル500から空気が吹き出されることによって、カバー本体210の内圧(内部空間の圧力)を高めることができる。これによって、カバー本体210の内部に切削屑や水滴が侵入するのを防止することができる。
さらに、図6の右図に示すように、リーク部212を介してカバー本体210の内部の空気を外部へと放出することができる。これによって、カバー本体210の内圧の過剰な上昇を防止することができる。またリーク部212はカバー本体210の上部に形成されているため、リーク部212を介してカバー本体210の外部へと放出された空気が床面に落下している切削屑や水滴を巻き上げることがなく、カバー本体210の内部に切削屑や水滴が侵入するのをより効果的に防止することができる。
なお、リーク部212から放出された空気が切削屑等を巻き上げないようにする観点から、リーク部212は、少なくとも移動プレート220の最下端よりも上方に形成されることが望ましい。また同様の観点から、リーク部212は比較的高い位置に形成されることが望ましい。例えば、移動プレート220の上下中央よりも高い位置、開口部211の上下中央よりも高い位置、エアノズル500よりも高い位置等に形成されることが望ましい。また同様の観点から、リーク部212は少なくとも下方に向かって開口しないように形成されることが望ましい。言い換えれば、リーク部212は、本実施形態のように上方に向かって開口するか、又は、側方に向かって開口するように形成されることが望ましい。
なお、本実施形態において、リーク部212はカバー本体210に形成されているが、例えばリーク部212を移動プレート220に形成することや、カバー本体210及び移動プレート220の両方に形成することも可能である。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。
例えば、上記各実施形態で例示した各部材の構成(形状や個数等)は特に限定するものではなく、任意に変更することができる。一例として、カバー本体210及び移動プレート220の形状は、ブレード交換機構100の形状や大きさ等に応じて任意に変更することが可能である。
また、本実施形態の移動部130の構成(図3等参照)は一例であり、保持部120及び第1洗浄機構310を必要な位置に移動させることができる構成であれば、具体的な構成は限定されない。また、移動プレート220は第2直線移動部133に設けられるものとしたが、本発明はこれに限るものではない。すなわち移動プレート220は、ブレード交換機構100と一体的に移動して開口部211を閉塞できる構成であればよく、例えば第2直線移動部133とは独立して第3直線移動部134に設けられる構成とすることも可能である。
また本実施形態では、第1フランジ25cを洗浄する場合、スピンドル部25を回転させる例を示したが(図12(a)参照)、例えば第1洗浄スポンジ311を回転させる構成とすることも可能である。
また本実施形態に係る洗浄機構300は、洗浄部材としてスポンジ(第1洗浄スポンジ311及び第2洗浄スポンジ321)を用いて洗浄を行うものとしたが、本発明はこれに限るものではなく、任意の洗浄部材(例えば、ウエス等)を用いることも可能である。
また本実施形態に係る洗浄機構300は、スポンジ及びエアノズル312によってフランジの洗浄を行うものとしたが、フランジの洗浄方法はこれに限るものではなく、任意の洗浄方法でフランジの洗浄を行うことが可能である。例えば、フランジに洗浄水を吹き付けて洗浄することや、フランジに付着した切削屑等を吸引してフランジの洗浄を行うことも可能である。また洗浄機構300は、複数の洗浄方法を組み合わせてフランジの洗浄を行うことも可能である。
また本実施形態では、第1フランジ25cをスピンドル部25に取り付けた状態で、第1フランジ25cの洗浄を行う例(図11(c)及び図12(a)参照)を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、第1フランジ25cをスピンドル部25から取り外した状態で、第1フランジ25cの洗浄を行う構成とすることも可能である。この場合、第1フランジ25cの着脱を行う機構を別途設けて、自動的に第1フランジ25cの着脱を行うことも可能である。
また本実施形態では、保持部120と第1洗浄機構310をいずれも支持部110に設けて、一体的に移動させる例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、保持部120と第1洗浄機構310をそれぞれ別の部材に設けて、互いに独立して移動させる構成とすることも可能である。
また、本実施形態では、ブレード交換工程S10において、スピンドル部25に取り付けられたブレード25aを取り外し、別のブレード25aを取り付ける例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えばブレード交換工程S10において、まだブレード25aが取り付けられていないスピンドル部25に対してブレード25aを取り付けることも可能である。また、切断工程S20が完了した後に実行するブレード交換工程S10において、スピンドル部25に取り付けられたブレード25aを取り外すだけの作業を行う(他のブレード25aを取り付けない)ことも可能である。
また、本実施形態では、洗浄機構300を具備するブレード交換装置26を例示したが、本発明はこれに限るものではなく、ブレード交換装置26は必ずしも洗浄機構300を備える必要はない。
また、本実施形態で例示した切断装置1の動作は一例であり、本発明はこれに限るものではない。すなわち、切断装置1の各部の動作順や動作態様は任意に変更することが可能である。
<付記>
本開示の第1側面に従うブレード交換装置26は、
ブレード25aを吸着するように構成されたブレード吸着部121(第1吸着部)を少なくとも備えるブレード交換機構100と、
前記ブレード交換機構100を内部に収納可能なカバー本体210と、
前記ブレード交換機構100と一体的に移動可能であって、前記ブレード交換機構100を前記カバー本体210の内部へ収納した状態で前記カバー本体210の開口部211を閉じることが可能な移動プレート220(閉塞部)と、
前記ブレード交換機構100の前記カバー本体210への収納時に、前記ブレード吸着部121のブレード吸着面121aに対して気体を吹き付けるように構成されたエアノズル500(気体吹き付け部)と、
を備える。
本開示の第1側面のブレード交換装置26によれば、ブレード吸着面121aに付着した切削屑や水滴を除去することができ、ブレード吸着面121aを清浄な状態に維持することができる。これによって、ブレード交換機構100の動作不良等が起こるのを低減することができる。また、ブレード吸着面121aを清浄な状態に維持することができるため、メンテナンスの頻度や作業負担を低減することができ、メンテナンス性を向上させることができる。
本開示の第1側面に従うブレード交換装置26は、
ブレード25aを吸着するように構成されたブレード吸着部121(第1吸着部)を少なくとも備えるブレード交換機構100と、
前記ブレード交換機構100を内部に収納可能なカバー本体210と、
前記ブレード交換機構100と一体的に移動可能であって、前記ブレード交換機構100を前記カバー本体210の内部へ収納した状態で前記カバー本体210の開口部211を閉じることが可能な移動プレート220(閉塞部)と、
前記ブレード交換機構100の前記カバー本体210への収納時に、前記ブレード吸着部121のブレード吸着面121aに対して気体を吹き付けるように構成されたエアノズル500(気体吹き付け部)と、
を備える。
本開示の第1側面のブレード交換装置26によれば、ブレード吸着面121aに付着した切削屑や水滴を除去することができ、ブレード吸着面121aを清浄な状態に維持することができる。これによって、ブレード交換機構100の動作不良等が起こるのを低減することができる。また、ブレード吸着面121aを清浄な状態に維持することができるため、メンテナンスの頻度や作業負担を低減することができ、メンテナンス性を向上させることができる。
第1側面に従う第2側面のブレード交換装置26は、
前記カバー本体210の内部に配置され、交換用の複数のブレード25aを鉛直方向に積み重ねて収納可能な未使用ブレード収納部420(交換用ブレード収納部)をさらに備える。
本開示の第2側面のブレード交換装置26によれば、複数のブレード25aを積み重ねて収納することができるため、ブレード25aの落下を防止するための保持機構が不要となる。これによって、保持機構の可動部や駆動部に切削屑や水滴が入り込むことによる動作不良等の発生を回避することができる。
前記カバー本体210の内部に配置され、交換用の複数のブレード25aを鉛直方向に積み重ねて収納可能な未使用ブレード収納部420(交換用ブレード収納部)をさらに備える。
本開示の第2側面のブレード交換装置26によれば、複数のブレード25aを積み重ねて収納することができるため、ブレード25aの落下を防止するための保持機構が不要となる。これによって、保持機構の可動部や駆動部に切削屑や水滴が入り込むことによる動作不良等の発生を回避することができる。
第1又は第2側面に従う第3側面のブレード交換装置26において、
前記エアノズル500は、前記ブレード吸着面121aを下に向けた状態の前記ブレード吸着部121に気体を吹き付けるように構成されている。
本開示の第3側面のブレード交換装置26によれば、ブレード吸着面121aに付着した切削屑や水滴を効果的に除去することができる。
前記エアノズル500は、前記ブレード吸着面121aを下に向けた状態の前記ブレード吸着部121に気体を吹き付けるように構成されている。
本開示の第3側面のブレード交換装置26によれば、ブレード吸着面121aに付着した切削屑や水滴を効果的に除去することができる。
第1から第3側面のいずれか1つに従う第4側面のブレード交換装置26は、
前記移動プレート220が前記開口部211を閉じた状態において、前記カバー本体210と前記移動プレート220との接触部をシールするシール部材230をさらに備え、
前記カバー本体210及び前記移動プレート220の少なくとも一方には、前記移動プレート220の最下端よりも上方において、前記カバー本体210の内部の空気を外部へと放出可能なリーク部212が設けられている。
本開示の第4側面のブレード交換装置26によれば、カバー本体210の内圧を高めて、カバー本体210内部への切削屑等の侵入を抑制することができる。また、リーク部212を介してカバー本体210の内部の空気を放出することで、カバー本体210の内圧が過剰に上昇するのを防止することができる。また、リーク部212を移動プレート220の最下端より上方に形成することで、カバー本体210から放出された空気により切削屑等が巻き上げられるのを防止することができる。
前記移動プレート220が前記開口部211を閉じた状態において、前記カバー本体210と前記移動プレート220との接触部をシールするシール部材230をさらに備え、
前記カバー本体210及び前記移動プレート220の少なくとも一方には、前記移動プレート220の最下端よりも上方において、前記カバー本体210の内部の空気を外部へと放出可能なリーク部212が設けられている。
本開示の第4側面のブレード交換装置26によれば、カバー本体210の内圧を高めて、カバー本体210内部への切削屑等の侵入を抑制することができる。また、リーク部212を介してカバー本体210の内部の空気を放出することで、カバー本体210の内圧が過剰に上昇するのを防止することができる。また、リーク部212を移動プレート220の最下端より上方に形成することで、カバー本体210から放出された空気により切削屑等が巻き上げられるのを防止することができる。
第1から第4側面のいずれか1つに従う第5側面のブレード交換装置26は、
前記カバー本体210の内部に配置され、使用済みのブレード25aを収納可能な使用済みブレード収納部410をさらに備える。
本開示の第5側面のブレード交換装置26によれば、カバー本体210の内部において、使用済みのブレード25aの収納作業を行うことができる。
前記カバー本体210の内部に配置され、使用済みのブレード25aを収納可能な使用済みブレード収納部410をさらに備える。
本開示の第5側面のブレード交換装置26によれば、カバー本体210の内部において、使用済みのブレード25aの収納作業を行うことができる。
第1から第5側面のいずれか1つに従う第6側面のブレード交換装置26において、
前記ブレード交換機構100は、
前記ブレード吸着部121とは独立して第2フランジ25d(フランジ)を吸着するように構成されたフランジ吸着部122(第2吸着部)と、
ブレード25aをスピンドル部25に脱着可能とする脱着部材25eを回転可能に構成された脱着部材回転部123と、
をさらに備える。
本開示の第6側面のブレード交換装置26によれば、ブレード25aの脱着作業を効率的に行うことができる。
前記ブレード交換機構100は、
前記ブレード吸着部121とは独立して第2フランジ25d(フランジ)を吸着するように構成されたフランジ吸着部122(第2吸着部)と、
ブレード25aをスピンドル部25に脱着可能とする脱着部材25eを回転可能に構成された脱着部材回転部123と、
をさらに備える。
本開示の第6側面のブレード交換装置26によれば、ブレード25aの脱着作業を効率的に行うことができる。
第6側面に従う第7側面のブレード交換装置26は、
少なくとも前記フランジ吸着部122により吸着した前記第2フランジ25dを洗浄する第2洗浄機構320(フランジ洗浄機構)をさらに具備する。
本開示の第7側面のブレード交換装置26によれば、第2フランジ25dに付着した切削屑や水滴を除去することができ、第2フランジ25dを清浄な状態に維持することができる。これによって、切断装置1の動作不良等が起こるのを低減することができる。
少なくとも前記フランジ吸着部122により吸着した前記第2フランジ25dを洗浄する第2洗浄機構320(フランジ洗浄機構)をさらに具備する。
本開示の第7側面のブレード交換装置26によれば、第2フランジ25dに付着した切削屑や水滴を除去することができ、第2フランジ25dを清浄な状態に維持することができる。これによって、切断装置1の動作不良等が起こるのを低減することができる。
第7側面に従う第8側面のブレード交換装置26において、
前記第2洗浄機構320は、前記カバー本体210の内部に配置され、
前記ブレード吸着部121は、前記ブレード交換機構100の前記カバー本体210への収納時に、前記第2洗浄機構320の第2洗浄スポンジ321(フランジ洗浄部材)と対向するように配置され、
前記エアノズル500は、前記ブレード吸着面121a及び前記第2洗浄スポンジ321に対して気体を吹き付けるように構成されている。
本開示の第8側面のブレード交換装置26によれば、ブレード吸着面121aと共に、第2洗浄スポンジ321も清浄な状態に維持することができる。
前記第2洗浄機構320は、前記カバー本体210の内部に配置され、
前記ブレード吸着部121は、前記ブレード交換機構100の前記カバー本体210への収納時に、前記第2洗浄機構320の第2洗浄スポンジ321(フランジ洗浄部材)と対向するように配置され、
前記エアノズル500は、前記ブレード吸着面121a及び前記第2洗浄スポンジ321に対して気体を吹き付けるように構成されている。
本開示の第8側面のブレード交換装置26によれば、ブレード吸着面121aと共に、第2洗浄スポンジ321も清浄な状態に維持することができる。
第1から第8側面のいずれか1つに従う第9側面のブレード交換装置26は、
前記カバー本体210の内部を撮像可能なカメラ600をさらに備える。
本開示の第9側面のブレード交換装置26によれば、外部から目視することが困難なカバー本体210の内部の様子を確認することができる。
前記カバー本体210の内部を撮像可能なカメラ600をさらに備える。
本開示の第9側面のブレード交換装置26によれば、外部から目視することが困難なカバー本体210の内部の様子を確認することができる。
本開示の第10側面の切断装置1は、
第1から第9側面のいずれか1つの前記ブレード交換装置26と、
前記ブレード交換装置26により交換されたブレード25aにより封止済基板W(切断対象物)を切断するスピンドル部25(切断機構)と、
を含む。
本開示の第10側面の切断装置1によれば、ブレード吸着面121aに付着した切削屑や水滴を除去することができ、ブレード吸着面121aを清浄な状態に維持することができる。これによって、ブレード交換機構100の動作不良等が起こるのを低減することができ、ひいては切断装置1の動作不良等が起こるのを低減することができる。
第1から第9側面のいずれか1つの前記ブレード交換装置26と、
前記ブレード交換装置26により交換されたブレード25aにより封止済基板W(切断対象物)を切断するスピンドル部25(切断機構)と、
を含む。
本開示の第10側面の切断装置1によれば、ブレード吸着面121aに付着した切削屑や水滴を除去することができ、ブレード吸着面121aを清浄な状態に維持することができる。これによって、ブレード交換機構100の動作不良等が起こるのを低減することができ、ひいては切断装置1の動作不良等が起こるのを低減することができる。
本開示の第11側面の切断品の製造方法は、
第10側面の前記切断装置1を用いて切断品を製造する方法であって、
前記ブレード交換装置26により前記切断装置1のブレード25aの交換を行うブレード交換工程S10と、
前記ブレード交換工程S10により交換されたブレード25aが取り付けられた前記切断装置1により前記封止済基板Wを切断する切断工程S20と、
を含む。
本開示の第11側面の切断品の製造方法によれば、ブレード吸着面121aに付着した切削屑や水滴を除去することができ、ブレード吸着面121aを清浄な状態に維持することができる。これによって、ブレード交換機構100の動作不良等が起こるのを低減することができ、ひいては切断装置1の動作不良等が起こるのを低減することができる。
第10側面の前記切断装置1を用いて切断品を製造する方法であって、
前記ブレード交換装置26により前記切断装置1のブレード25aの交換を行うブレード交換工程S10と、
前記ブレード交換工程S10により交換されたブレード25aが取り付けられた前記切断装置1により前記封止済基板Wを切断する切断工程S20と、
を含む。
本開示の第11側面の切断品の製造方法によれば、ブレード吸着面121aに付着した切削屑や水滴を除去することができ、ブレード吸着面121aを清浄な状態に維持することができる。これによって、ブレード交換機構100の動作不良等が起こるのを低減することができ、ひいては切断装置1の動作不良等が起こるのを低減することができる。
1 切断装置
25 スピンドル部
25a ブレード
26 ブレード交換装置
25d 第2フランジ
25e 脱着部材
100 ブレード交換機構
121 ブレード吸着部
121a ブレード吸着面
122 フランジ吸着部
123 脱着部材回転部
210 カバー本体
211 開口部
212 リーク部
220 移動プレート
230 シール部材
320 第2洗浄機構
321 第2洗浄スポンジ
410 使用済みブレード収納部
420 未使用ブレード収納部
500 エアノズル
600 カメラ
25 スピンドル部
25a ブレード
26 ブレード交換装置
25d 第2フランジ
25e 脱着部材
100 ブレード交換機構
121 ブレード吸着部
121a ブレード吸着面
122 フランジ吸着部
123 脱着部材回転部
210 カバー本体
211 開口部
212 リーク部
220 移動プレート
230 シール部材
320 第2洗浄機構
321 第2洗浄スポンジ
410 使用済みブレード収納部
420 未使用ブレード収納部
500 エアノズル
600 カメラ
Claims (11)
- ブレードを吸着するように構成された第1吸着部を少なくとも備えるブレード交換機構と、
前記ブレード交換機構を内部に収納可能なカバー本体と、
前記ブレード交換機構と一体的に移動可能であって、前記ブレード交換機構を前記カバー本体の内部へ収納した状態で前記カバー本体の開口部を閉じることが可能な閉塞部と、
前記ブレード交換機構の前記カバー本体への収納時に、前記第1吸着部のブレード吸着面に対して気体を吹き付けるように構成された気体吹き付け部と、
を備えるブレード交換装置。 - 前記カバー本体の内部に配置され、交換用の複数のブレードを鉛直方向に積み重ねて収納可能な交換用ブレード収納部をさらに備える、請求項1に記載のブレード交換装置。
- 前記気体吹き付け部は、前記ブレード吸着面を下に向けた状態の前記第1吸着部に気体を吹き付けるように構成されている、請求項1又は請求項2に記載のブレード交換装置。
- 前記閉塞部が前記開口部を閉じた状態において、前記カバー本体と前記閉塞部との接触部をシールするシール部材をさらに備え、
前記カバー本体及び前記閉塞部の少なくとも一方には、前記閉塞部の最下端よりも上方において、前記カバー本体の内部の空気を外部へと放出可能なリーク部が設けられている、請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載のブレード交換装置。 - 前記カバー本体の内部に配置され、使用済みのブレードを収納可能な使用済みブレード収納部をさらに備える、請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載のブレード交換装置。
- 前記ブレード交換機構は、
前記第1吸着部とは独立してフランジを吸着するように構成された第2吸着部と、
ブレードをスピンドル部に脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成された脱着部材回転部と、
をさらに備える、請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載のブレード交換装置。 - 少なくとも前記第2吸着部により吸着した前記フランジを洗浄するフランジ洗浄機構をさらに具備する、請求項6に記載のブレード交換装置。
- 前記フランジ洗浄機構は、前記カバー本体の内部に配置され、
前記第1吸着部は、前記ブレード交換機構の前記カバー本体への収納時に、前記フランジ洗浄機構のフランジ洗浄部材と対向するように配置され、
前記気体吹き付け部は、前記ブレード吸着面及び前記フランジ洗浄部材に対して気体を吹き付けるように構成されている、請求項7に記載のブレード交換装置。 - 前記カバー本体の内部を撮像可能なカメラをさらに備える、請求項1から請求項8までのいずれか一項に記載のブレード交換装置。
- 請求項1から請求項9までのいずれか一項に記載の前記ブレード交換装置と、
前記ブレード交換装置により交換されたブレードにより切断対象物を切断する切断機構と、
を含む切断装置。 - 請求項10に記載の前記切断装置を用いて切断品を製造する方法であって、
前記ブレード交換装置により前記切断装置のブレードの交換を行うブレード交換工程と、
前記ブレード交換工程により交換されたブレードが取り付けられた前記切断装置により前記切断対象物を切断する切断工程と、
を含む切断品の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2022083496A JP2023171989A (ja) | 2022-05-23 | 2022-05-23 | ブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法 |
KR1020230040350A KR20230163287A (ko) | 2022-05-23 | 2023-03-28 | 블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법 |
CN202310338137.7A CN117103369A (zh) | 2022-05-23 | 2023-03-31 | 刀片更换装置、切割设备和制造切割产品的方法 |
TW112113302A TW202346052A (zh) | 2022-05-23 | 2023-04-10 | 刀片更換裝置、切割設備及製造切割產品的方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022083496A JP2023171989A (ja) | 2022-05-23 | 2022-05-23 | ブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法 |
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JP2023171989A true JP2023171989A (ja) | 2023-12-06 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2022083496A Pending JP2023171989A (ja) | 2022-05-23 | 2022-05-23 | ブレード交換装置、切断装置及び切断品の製造方法 |
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TW (1) | TW202346052A (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7248557B2 (ja) | 2019-10-24 | 2023-03-29 | Towa株式会社 | ブレード交換装置、切断装置、及び、切断品の製造方法 |
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2022
- 2022-05-23 JP JP2022083496A patent/JP2023171989A/ja active Pending
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2023
- 2023-03-28 KR KR1020230040350A patent/KR20230163287A/ko unknown
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- 2023-04-10 TW TW112113302A patent/TW202346052A/zh unknown
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