JP2023167463A - 半導体加工用粘着テープ - Google Patents
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Abstract
Description
本開示の半導体加工用粘着テープにおいては、下記試験により測定される剥離距離が、4mm以下であり、好ましくは2mm以下であり、より好ましくは1mm以下である。上記剥離距離は小さいことが好ましく、下限は特に限定されない。
(1)上記半導体加工用粘着テープを幅25mm、長さ100mmの大きさにカットして試験片を調製する。
(2)内径3インチ、厚さ6mm、長さ94mm、重量155gの円筒状のプラスチックコアと、上記プラスチックコアの外周面に配置された、厚さ35μm、幅80mm、長さ100mmの銅箔とを有する被着材を準備する。
(3)上記試験片の上記粘着層の面のうち、幅25mm、長さ25mmの領域を、上記被着材の上記銅箔の面に貼合し、上記被着材を下側にして、上記試験片が水平になるように、上記試験片の長手方向の両端を、金属枠に固定する。
(4)温度25℃±5℃、湿度40%RH以上60%RH以下、エネルギー線を遮断した環境下、上記金属枠が水平になるように、上記被着材を宙づりにした状態で、3日間保管する。
(5)上記試験片が上記被着材から剥離した距離を測定し、剥離距離とする。
・試験片:試験片タイプ5
・チャック間距離:60mm
・引張速度:100mm/min
引張試験機としては、例えば、エー・アンド・デイ社製「テンシロンRTF1150」を用いることができる。
本開示における粘着層は、基材の一方の面に配置され、エネルギー線硬化性を有する部材である。エネルギー線硬化性の粘着層は、エネルギー線の照射により硬化することで粘着力が低下する。エネルギー線硬化性の粘着層においては、ダイシング工程では、その初期粘着力により、ウェハや分割されたチップを固定することができる。また、エネルギー線硬化性の粘着層においては、ピックアップ工程または転写工程では、エネルギー線を照射して硬化させることで粘着力が低下して剥離性が向上するため、チップを剥離または転写することができる。
樹脂(粘着主剤)としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、シリコーン系樹脂等、一般に粘着剤の主剤として用いられる樹脂が挙げられる。中でも、アクリル系樹脂が好ましい。アクリル系樹脂を用いることにより、被着体への糊残りを低減することができる。
アクリル系樹脂としては、特に限定されず、例えば、(メタ)アクリル酸エステルを単独重合させた(メタ)アクリル酸エステル重合体、(メタ)アクリル酸エステルを主成分として(メタ)アクリル酸エステルと他の単量体とを共重合させた(メタ)アクリル酸エステル共重合体が挙げられる。中でも、(メタ)アクリル酸エステル共重合体が好ましい。(メタ)アクリル酸エステルおよび他の単量体の具体例としては、特開2012-31316号公報に開示されるものが挙げられる。他の単量体は単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。なお、ここでの主成分とは、共重合割合が51質量%以上であることを意味し、好ましくは65質量%以上である。
エネルギー線硬化性化合物は、エネルギー線の照射を受けて重合するものであれば特に限定されず、例えば、エネルギー線硬化性官能基を有する化合物が挙げられる。
粘着層は、樹脂(粘着主剤)およびエネルギー線硬化性化合物に加えて、重合開始剤を含有することができる。
粘着層は、樹脂(粘着主剤)およびエネルギー線硬化性化合物に加えて、架橋剤を含有することができる。
粘着層は、必要に応じて、各種添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、例えば、粘着付与剤、耐電防止剤、可塑剤、シランカップリング剤、金属キレート剤、界面活性剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、着色剤、防腐剤、消泡剤、ぬれ性調整剤、粘着力調整剤等が挙げられる。
粘着層の厚さとしては、十分な粘着力が得られ、かつ、エネルギー線が内部まで透過することが可能な厚さであればよく、例えば、3μm以上50μm以下であり、好ましくは5μm以上40μm以下である。
本開示における基材は、上記粘着層を支持する部材である。
・試験片:試験片タイプ5
・チャック間距離:60mm
・引張速度:100mm/min
引張試験機としては、例えば、エー・アンド・デイ社製「テンシロンRTF1150」を用いることができる。
本開示の半導体加工用粘着テープは、上記の基材および粘着層の他に、必要に応じて、他の構成を有することができる。
本開示の半導体加工用粘着テープは、ダイシングテープとして好適に用いることができる。
下記に、粘着剤組成物に用いた材料を示す。
・粘着主剤A(アクリル酸エステル共重合体、重量平均分子量80万)
・粘着主剤B(アクリル酸エステル共重合体、重量平均分子量20万)
・ウレタンアクリレートA(紫外線硬化性化合物、9官能、分子量4100)
・ウレタンアクリレートB(紫外線硬化性化合物、6官能、分子量4200)
・ウレタンアクリレートC(紫外線硬化性化合物、10官能、分子量2000)
・ウレタンアクリレートD(紫外線硬化性化合物、9~15官能、分子量20000)
・ウレタンアクリレートE(紫外線硬化性化合物、2官能、分子量3000)
・ウレタンアクリレートF(紫外線硬化性化合物、二重結合当量2000g/mol、分子量15000)
・重合開始剤(アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド)
・架橋剤A(エポキシ系硬化剤、N,N,N‘,N’-テトラグリシジル-m-キシリレンジアミン)
・架橋剤B:(金属キレート系硬化剤、アルミニウムトリスアセチルアセトネート)
・架橋剤C:(イソシアネート系硬化剤、トリメチロールプロパンのトルイレンジイソシアネートアダクト体)
・粘着力調整剤A(メタクリル酸メチル・アクリル酸n-ブチル共重合体、アクリル酸n-ブチルの含有量:50質量%)
・粘着力調整剤B(ポリアクリル酸エステル樹脂、ガラス転移温度(Tg):20℃、水酸基価:35mgKOH/g、質量平均分子量:25,000)
基材として、塩化ビニル樹脂70質量部と、可塑剤25質量部と、ノニルフェノール0.3質量部とを含有する樹脂組成物を用いて、カレンダー法により製膜し、厚さ90μmのポリ塩化ビニル(PVC)フィルムを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと、および、基材の厚さを70μmとしたこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと、および、基材の厚さを70μmとしたこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
比較例2と同じ粘着剤組成物を用いたこと、および、下記の基材を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと、および、下記の基材を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
下記のようにして粘着剤組成物を調製したこと、および、下記の基材を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、半導体加工用粘着テープを作製した。
(1)剥離距離
半導体加工用粘着テープを幅25mm、長さ100mmの大きさにカットして試験片を調製した。また、内径3インチ、厚さ6mm、長さ94mm、重量155gの円筒状のプラスチックコア(昭和丸筒社製のABS樹脂製のプラスチックコア)の外周面に、厚さ35μm、幅80mm、長さ100mmの銅箔(福田金属箔粉工業社製の圧延銅箔「RCF-T5B」)を、銅箔の長手方向がプラスチックコアの周方向になるように巻き付けて固定し、被着材を作製した。まず、上記試験片の粘着層の面のうち、中央部分の幅25mm、長さ25mmの領域を、上記被着材の銅箔の面に貼合し、被着材を下側にして、試験片が水平になるように、試験片の長手方向の両端を、金属枠に固定した。次に、温度25℃±5℃、湿度40%RH以上60%RH以下、紫外線を遮断した環境下、金属枠が水平になるように、金属枠を120mmの高さまで持ち上げて、被着材を宙づりにした状態で、3日間保管した。次に、貼合領域において、上記試験片が上記被着材から剥離した距離を測定した。そして、上記距離のうち、最大距離を剥離距離とした。
SUS板に対する粘着力は、JIS Z0237:2009(粘着テープ・粘着シート試験方法)の試験方法の方法1(温度23℃湿度50%RH、テープおよびシートをステンレス試験板に対して180°に引きはがす試験方法)に準拠し、幅25mm、剥離角度180°、剥離速度300mm/minの条件で、試験片の長さ方向に剥がすことにより、測定した。SUS板は、SUS304、表面仕上げBA、厚さ1.5mm、幅100mm、長さ150mmのSUS板を用いた。
銅板に対する粘着力は、JIS Z0237:2009(粘着テープ・粘着シート試験方法)の試験方法の方法1(温度23℃湿度50%RH、テープおよびシートをステンレス試験板に対して180°に引きはがす試験方法)に準拠し、ステンレス試験板の代わりに銅板を用いて、幅25mm、剥離角度180°、剥離速度300mm/minの条件で、試験片の長さ方向に剥がすことにより、測定した。銅箔としては、福田金属箔粉工業社製の厚さ35μmの圧延銅箔「RCF-T5B」を用い、圧延銅箔を光沢面が上になるように、厚さ1.5mm、幅100mm、長さ150mmのSUS板上に配置し、圧延銅箔の全面をSUS板に両面テープ等を介して固定した。
PET板に対する粘着力は、JIS Z0237:2009(粘着テープ・粘着シート試験方法)の試験方法の方法1(温度23℃湿度50%RH、テープおよびシートをステンレス試験板に対して180°に引きはがす試験方法)に準拠し、ステンレス試験板の代わりにPET板を用いて、幅25mm、剥離角度180°、剥離速度300mm/minの条件で、試験片の長さ方向に剥がすことにより、測定した。この際、PET板に半導体加工用粘着テープを貼付してから、1時間経過後に、粘着力を測定した。また、PET板としては、東レ社製のポリエステルフィルム「ルミラー#50-S10」を用い、PET板を、厚さ1.5mm、幅100mm、長さ150mmのSUS板に、両面テープ等を介して全面を固定して用いた。
JIS K7127に準拠し、引張試験機として、エー・アンド・デイ社製「テンシロンRTF1150」を用い、試験片:試験片タイプ5、チャック間距離:60mm、引張速度:100mm/minの条件で、半導体加工用粘着テープのヤング率を測定した。
JIS Z0237:2009に準拠し、傾斜角度30°、温度23℃、湿度50%RHの条件で、傾斜式ボールタック試験を行った。半導体加工用粘着テープの粘着層の表面にボールを転がしたときに、半導体加工用粘着テープの粘着層の表面で停止するボールのうち、最大のボールのナンバーで評価した。
半導体加工用粘着テープを用いて、8インチ径、厚さ100μmのシリコンウェハを3mm×3mmのチップサイズで下記の条件にてダイシングした後、ダイシングを行い、チップの飛散の有無を確認した。なお、ウェハ周縁部で、2mm×2mmの方形をなしていない(たとえば三角形)チップについては観察から除外して、2mm×2mmのチップが形成されている部分でのみ評価した。
ダイシング装置:DISCO社製「DFD6361」
条件:ブレード Z1♯3500(幅40μm)
回転数 Z1 40,000rpm
送り速度 30mm/sec
A:チップ飛びの割合が1%以下である。
B:チップ飛びの割合が1%超である。
[1]基材と、前記基材の一方の面に配置されたエネルギー線硬化性の粘着層と、を有する半導体加工用粘着テープであって、
下記試験により測定される剥離距離が4mm以下である、半導体加工用粘着テープ。
試験:下記工程(1)~(5)を順に有する。
(1)前記半導体加工用粘着テープを幅25mm、長さ100mmの大きさにカットして試験片を調製する。
(2)内径3インチ、厚さ6mm、長さ94mm、重量155gの円筒状のプラスチックコアと、前記プラスチックコアの外周面に配置された、厚さ35μm、幅80mm、長さ100mmの銅箔とを有する被着材を準備する。
(3)前記試験片の前記粘着層の面のうち、幅25mm、長さ25mmの領域を、前記被着材の前記銅箔の面に貼合し、前記被着材を下側にして、前記試験片が水平になるように、前記試験片の長手方向の両端を、金属枠に固定する。
(4)温度25℃±5℃、湿度40%RH以上60%RH以下、エネルギー線を遮断した環境下、前記金属枠が水平になるように、前記被着材を宙づりにした状態で、3日間保管する。
(5)前記試験片が前記被着材から剥離した距離を測定し、剥離距離とする。
[2]傾斜式ボールタック試験におけるボールナンバーが、5以下である、[1]に記載の半導体加工用粘着テープ。
[3]銅板に対する粘着力が、5.0N/25mm以上である、[1]または[2]に記載の半導体加工用粘着テープ。
[4]ヤング率が50MPa以上1000MPa以下である、[1]から[3]までのいずれかに記載の半導体加工用粘着テープ。
[5]前記粘着層の25℃における貯蔵弾性率が、0.1MPa以上である、[1]から[4]までのいずれかに記載の半導体加工用粘着テープ。
[6]SUS板に対する粘着力が、4.5N/25mm以上である、[1]から[5]までのいずれかに記載の半導体加工用粘着テープ。
[7]エネルギー線照射後のSUS板に対する粘着力が、2.0N/25mm以下である、[1]から[6]までのいずれかに記載の半導体加工用粘着テープ。
2 … 粘着層
10 … 半導体加工用粘着テープ
Claims (7)
- 基材と、前記基材の一方の面に配置されたエネルギー線硬化性の粘着層と、を有する半導体加工用粘着テープであって、
下記試験により測定される剥離距離が4mm以下である、半導体加工用粘着テープ。
試験:下記工程(1)~(5)を順に有する。
(1)前記半導体加工用粘着テープを幅25mm、長さ100mmの大きさにカットして試験片を調製する。
(2)内径3インチ、厚さ6mm、長さ94mm、重量155gの円筒状のプラスチックコアと、前記プラスチックコアの外周面に配置された、厚さ35μm、幅80mm、長さ100mmの銅箔とを有する被着材を準備する。
(3)前記試験片の前記粘着層の面のうち、幅25mm、長さ25mmの領域を、前記被着材の前記銅箔の面に貼合し、前記被着材を下側にして、前記試験片が水平になるように、前記試験片の長手方向の両端を、金属枠に固定する。
(4)温度25℃±5℃、湿度40%RH以上60%RH以下、エネルギー線を遮断した環境下、前記金属枠が水平になるように、前記被着材を宙づりにした状態で、3日間保管する。
(5)前記試験片が前記被着材から剥離した距離を測定し、剥離距離とする。 - 傾斜式ボールタック試験におけるボールナンバーが、5以下である、請求項1に記載の半導体加工用粘着テープ。
- 銅板に対する粘着力が、5.0N/25mm以上である、請求項1または請求項2に記載の半導体加工用粘着テープ。
- ヤング率が50MPa以上1000MPa以下である、請求項1または請求項2に記載の半導体加工用粘着テープ。
- 前記粘着層の25℃における貯蔵弾性率が、0.1MPa以上である、請求項1または請求項2に記載の半導体加工用粘着テープ。
- SUS板に対する粘着力が、4.5N/25mm以上である、請求項1または請求項2に記載の半導体加工用粘着テープ。
- エネルギー線照射後のSUS板に対する粘着力が、2.0N/25mm以下である、請求項1または請求項2に記載の半導体加工用粘着テープ。
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