JP2023096517A - 基板処理装置および処理液の交換方法 - Google Patents

Abstract

【課題】配管への不純物の混入を抑制しつつ、タンク内および配管内の処理液を交換できる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００において、第１タンク２１ａは処理液を貯留する。連結管の上流端３０ａは第１タンク２１ａに接続される。第１フィルタ３３および第１バルブ４０４は連結管に介挿される。第１フィルタ戻り配管４２１は、第１フィルタ３３のドレイン口３３ｃ、または、連結管のうち第１フィルタ３３と第１バルブ４０４との間の部分に接続された上流端と、第１タンク２１ａに接続された下流端とを有する。第１フィルタ循環バルブ４２２は第１フィルタ戻り配管４２１に介挿される。第１フィルタ排液管８２はドレイン口３３ｃ、連結管の当該部分、または、第１フィルタ戻り配管４２１のうち連結管と第１フィルタ循環バルブ４２２との間の部分に接続された上流端を有する。
【選択図】図３

Description

本開示は、基板処理装置および処理液の交換方法に関する。

従来から、処理液を用いて基板に対する処理を行う基板処理装置が提案されている（例えば特許文献１および特許文献２）。基板処理装置は処理チャンバを含む。処理チャンバ内には、基板を保持するスピンチャックと、基板に処理液を吐出するノズルとが設けられる。また、基板処理装置には、処理液を貯留するタンクが設けられている。タンク内の処理液は給液管を通じて処理チャンバに供給される。この給液管にはヒータおよび開閉弁が設けられる。開閉弁は、ヒータよりも処理チャンバに近い位置に設けられており、当該開閉弁が開くことで、タンクからの処理液が処理チャンバに供給される。ヒータは、処理に適した温度まで処理液を加熱する。

特許文献１，２では、循環戻り配管も設けられる。循環戻り配管の上流端はヒータと開閉弁との間において給液管に接続され、循環戻り配管の下流端はタンクに接続される。よって、タンクから給液管に供給される処理液の一部は、循環戻り配管を経由してタンクに戻る。ヒータが処理液を加熱しつつ、処理液が給液管および循環戻り配管を流れて循環することにより、タンク内の処理液および配管内の処理液の温度が規定範囲内に制御される。

特許文献２では、タンク内および配管内の古い処理液を新しい処理液に交換する技術が開示されている。

特開２０１９－１９２８６３号公報 特開２０２１－１７４９７３号公報

処理液の交換に際して、配管への不純物の混入を抑制しつつ、タンク内および配管内の古い処理液を新しい処理液に交換することが求められている。

そこで、本開示は、配管への不純物の混入を抑制しつつ、タンク内および配管内の処理液を交換できる技術を提供することを目的とする。

第１の態様は、基板処理装置であって、処理液を貯留する第１タンクと、前記第１タンク内の前記処理液を排出するための第１タンク排液管、および、前記第１タンク排液管に介挿された第１タンク排液バルブを含むタンク排液部と、処理液を交換液として前記第１タンクに供給するための第１タンク給液管と、前記第１タンク給液管に介挿された第１タンク給液バルブとを含むタンク給液部と、前記第１タンクに接続された上流端を有する連結管と、前記連結管に介挿された第１フィルタと、前記第１フィルタよりも下流側において前記連結管に介挿された第１バルブと、前記第１フィルタのドレイン口、または、前記連結管のうち前記第１フィルタと前記第１バルブとの間の部分に接続された上流端と、前記第１タンクに接続された下流端とを有する第１フィルタ戻り配管と、前記第１フィルタ戻り配管に介挿された第１フィルタ循環バルブと、前記第１フィルタの前記ドレイン口、前記連結管の前記部分、または、前記第１フィルタ戻り配管のうち前記連結管と前記第１フィルタ循環バルブとの間の部分に接続された上流端を有する第１フィルタ排液管と、前記第１フィルタ排液管に介挿された第１フィルタ排液バルブとを備える。

第２の態様は、第１の態様にかかる基板処理装置であって、前記第１フィルタよりも上流側において前記連結管に設けられ、前記連結管を流れる前記処理液を加熱する第１ヒータと、前記連結管のうち前記第１ヒータと前記第１フィルタとの間の部分に接続された上流端と、前記第１タンクに接続された下流端とを有する内側戻り配管と、前記内側戻り配管に介挿された内側循環バルブとをさらに備える。

第３の態様は、第１の態様にかかる基板処理装置における処理液の交換方法であって、前記第１バルブよりも下流側において前記連結管の内部に前記処理液が満たされた充填状態を維持しながら、前記第１タンク排液バルブを開いて、前記第１タンク排液管を通じて前記第１タンク内の前記処理液を排出する第１タンク排液工程と、前記第１タンク排液工程の後に、前記充填状態を維持しながら、前記第１タンク給液バルブを開いて、前記第１タンク給液管を通じて前記第１タンクに前記交換液を供給する第１タンク給液工程と、前記充填状態を維持しながら、前記第１フィルタ排液バルブを開いて、前記第１タンク内の前記交換液を前記連結管の前記上流端に流入させ、前記交換液で前記第１フィルタの内部の前記処理液を前記第１フィルタ排液管に押し出す第１フィルタ処理液交換工程と、前記第１フィルタ処理液交換工程の後に、前記第１バルブを開いて、前記交換液で前記連結管の内部の前記処理液を押し出して排出する連結管処理液交換工程とを備える。

第４の態様は、第３の態様にかかる処理液の交換方法であって、前記第１タンク排液工程、前記第１タンク給液工程および前記第１フィルタ処理液交換工程において、前記第１バルブと、前記第１バルブよりも下流側において前記連結管に介挿された第２バルブとの両方を閉じる。

第５の態様は、第３または第４の態様にかかる処理液の交換方法であって、前記連結管処理液交換工程において、第１ヒータによって加熱された前記交換液で前記連結管の内部の前記処理液を押し出す。

第６の態様は、第３から第５のいずれか一つの態様にかかる処理液の交換方法であって、前記第１フィルタ処理液交換工程と前記連結管処理液交換工程との間で実行され、前記充填状態を維持しながら、前記第１フィルタ循環バルブを開いて、前記交換液を循環させる循環工程をさらに備える。

第７の態様は、第５の態様にかかる処理液の交換方法であって、前記第１フィルタ処理液交換工程と前記連結管処理液交換工程との間で実行され、前記充填状態を維持しながら、前記第１フィルタよりも上流側において前記連結管に設けられた前記第１ヒータが加熱動作を行い、前記第１フィルタ循環バルブ、または、内側循環バルブを開いて、前記交換液を循環させる加熱循環工程をさらに備え、前記内側循環バルブは、前記第１フィルタと前記第１ヒータとの間において前記連結管から分岐して前記第１タンクに戻る内側戻り配管に介挿される。

第８の態様は、第３から第７のいずれか一つの態様にかかる処理液の交換方法であって、前記第１タンク排液工程において、前記処理液の液面が、前記連結管に設けられた第１送液部に達するまでに、前記第１タンク排液バルブを閉じる。

第９の態様は、第３から第８のいずれか一つの態様にかかる処理液の交換方法であって、前記第１フィルタ処理液交換工程において、前記交換液で前記第１フィルタの内部の前記処理液を、前記第１フィルタのドレイン口に接続された前記第１フィルタ排液管に前記処理液を押し出し、前記第１フィルタ処理液交換工程における前記処理液の流量は、前記第１タンク排液工程における前記処理液の流量よりも小さく設定される。

第１０の態様は、第３から第９のいずれか一つの態様にかかる処理液の交換方法であって、前記第１タンク排液工程よりも前に実行され、前記第１タンク給液管を介して前記第１タンクに接続された第２タンク内の前記処理液を、第２タンク排液バルブを開いて、前記第２タンクに接続され、かつ、前記第２タンク排液バルブが介挿された第２タンク排液管を通じて排出する第２タンク排液工程と、前記第２タンク排液工程の後に前記第１タンク排液工程と並行して、第２タンク給液バルブを開いて、前記第２タンクに接続され、かつ、前記第２タンク給液バルブが介挿された第２タンク給液管を通じて、前記交換液を前記第２タンクに供給する第２タンク給液工程とを備える。

第１１の態様は、第１０の態様にかかる処理液の交換方法であって、前記第２タンク給液工程と前記第１タンク給液工程との間で実行され、前記第１タンク給液管に介挿された第２フィルタのドレイン口または前記第１タンク給液管のうち前記第２フィルタよりも下流側の部分に接続された上流端を有する第２フィルタ排液管に介挿された第２フィルタ排液バルブを開いて、前記第２タンク内の前記交換液を前記第１タンク給液管の上流端に流入させ、前記交換液で前記第２フィルタの内部の前記処理液を前記第２フィルタ排液管に押し出す第２フィルタ処理液交換工程をさらに備える。

第１２の態様は、第１０または第１１の態様にかかる処理液の交換方法であって、前記第１タンク給液工程において、前記第１タンク給液管に設けられた第２ヒータが加熱動作を行う。

第１３の態様は、第１０から第１２のいずれか一つの態様にかかる処理液の交換方法であって、前記連結管の下流端は前記第２タンクに接続される。

第１の態様によれば、第１タンク排液バルブを開くことで、第１タンク内の古い処理液を、第１タンク排液管を通じて排出することができる。次に、第１タンク給液バルブを開くことで、第１タンク給液管を通じて新しい処理液を交換液として第１タンクに供給することができる。次に、第１フィルタ排液バルブを開くことで、第１タンク内の交換液を第１フィルタおよび第１フィルタ排液管を通じて排出することができる。このため、第１フィルタ内の古い処理液を交換液で押し出して排出でき、第１フィルタ内を交換液で満たすことができる。

次に、第１バルブを開くことで、第１タンク内の交換液で連結管内の古い処理液を押し出して排出することができる。連結管内の古い処理液を交換液で押し出す際には、第１フィルタ内から古い処理液が排出されているので、より清浄な交換液で連結管内の古い処理液を押し出して排出することができる。このため、連結管内への不純物が混入する可能性を低減させることができる。

以上のように、連結管への不純物の混入を抑制しつつ、タンク内および連結管内の処理液を交換できる。

第２の態様によれば、連結管のうち第１バルブよりも下流側の流路を経由せずに、内側戻り配管を通じて交換液を循環させることができる。第１ヒータは循環中の処理液を加熱することができ、処理液の温度を上昇させることができる。処理液の温度が十分に高くなったときに、第１バルブを開くと、高温の交換液で連結管内の古い処理液を押し出すことができる。これにより、低温に起因した古い処理液内の不純物の析出を抑制することができる。

第３の態様によれば、連結管への不純物の混入を抑制しつつ、タンク内および連結管内の処理液を交換できる。

第４の態様によれば、より確実に充填状態を維持することができる。

第５の態様によれば、低温に起因した古い処理液内の不純物の析出を抑制できる。

第６の態様によれば、循環工程において、交換液の不純物濃度を低減させることができる。よって、循環工程の後の連結管処理液交換工程において、より清浄な交換液で連結管内の古い処理液を押し出すことができる。

第７の態様によれば、加熱循環工程において、交換液の温度を上昇させることができる。よって、加熱循環工程の後の連結管処理液交換工程において、より高温の交換液で連結管内の古い処理液を押し出すことができる。したがって、低温に起因した古い処理液内の不純物の析出を抑制することができる。

第８の態様によれば、液体がない状態での第１送液部の作動を回避することができる。

第９の態様によれば、第１フィルタのドレイン口の面積は小さいものの、第１フィルタ処理液交換工程における流量が小さいので、圧力上昇を抑制できる。よって、第１フィルタおよび配管における不具合を抑制できる。一方で、第１タンク排液工程における処理液の流量は大きいので、第１タンクから速やかに古い処理液を排出できる。よって、スループットを向上させることができる。

第１０の態様によれば、第１タンクからの古い処理液の排出と第２タンクへの交換液の供給が並行して行われるので、スループットを向上させることができる。

第１１の態様によれば、第２フィルタ処理液交換工程において、第２フィルタの内部の古い処理液を交換液に交換することができる。よって、その後の第１タンク給液工程において、より清浄な交換液を第２タンクから第１タンクに供給することができる。

第１２の態様によれば、第１タンク給液工程において、高温の交換液を第１タンクに供給できる。よって、その後の第１フィルタ処理液交換工程において、高温の交換液で第１フィルタ内の古い処理液を第１フィルタ排液管に押し出すことができる。したがって、低温に起因した古い処理液内の不純物の析出を抑制することができる。

第１３の態様によれば、第１タンク、第２タンク、第１タンク給液管および連結管で処理液の循環経路を形成することができる。

基板処理装置の構成の一例を概略的に示す平面図である。 基板処理装置の構成の一例を概略的に示す図である。 一つの処理ユニットに対応した基板処理装置の構成の一例を概略的に示す図である。 制御部の内部構成の一例を概略的に示す機能ブロック図である。 第１の実施の形態にかかる処理液の交換処理の一例を示すフローチャートである。 第１の実施の形態にかかる処理液の交換処理の一例を示すタイミングチャートである。 第１タンク排液工程を説明するための図である。 第１タンク給液工程を説明するための図である。 第１フィルタ処理液交換工程を説明するための図である。 加熱循環工程を説明するための図である。 循環処理液交換工程を説明するための図である。 加熱循環給液工程を説明するための図である。 第１フィルタ排液管を含む配管系統の一例を概略的に示す図である。 第２の実施の形態にかかる基板処理装置の構成の一例を概略的に示す図である。 第２の実施の形態にかかる処理液の交換処理の一例を示すフローチャートである。 第２の実施の形態にかかる処理液の交換処理の一例を示すタイミングチャートである。 第２タンク排液工程を説明するための図である。 第１タンク排液および第２タンク給液工程を説明するための図である。 第２フィルタ処理液交換工程を説明するための図である。 第１タンク給液工程を説明するための図である。 第１フィルタ処理液交換工程を説明するための図である。 循環処理液交換工程を説明するための図である。 加熱循環給液工程を説明するための図である。

以下、添付される図面を参照しながら実施の形態について説明する。なお、図面は概略的に示されるものであり、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化がなされるものである。また、図面に示される構成の大きさおよび位置の相互関係は、必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。

また、以下に示される説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示し、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明を、重複を避けるために省略する場合がある。

また、以下に記載される説明において、「第１」または「第２」などの序数が用いられる場合があっても、これらの用語は、実施の形態の内容を理解することを容易にするために便宜上用いられるものであり、これらの序数によって生じ得る順序などに限定されるものではない。

相対的または絶対的な位置関係を示す表現（例えば「一方向に」「一方向に沿って」「平行」「直交」「中心」「同心」「同軸」など）が用いられる場合、該表現は、特に断らない限り、その位置関係を厳密に表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる範囲で相対的に角度または距離に関して変位された状態も表すものとする。等しい状態であることを示す表現（例えば「同一」「等しい」「均質」など）が用いられる場合、該表現は、特に断らない限り、定量的に厳密に等しい状態を表すのみならず、公差もしくは同程度の機能が得られる差が存在する状態も表すものとする。形状を示す表現（例えば、「四角形状」または「円筒形状」など）が用いられる場合、該表現は、特に断らない限り、幾何学的に厳密にその形状を表すのみならず、同程度の効果が得られる範囲で、例えば凹凸や面取りなどを有する形状も表すものとする。一の構成要素を「備える」「具える」「具備する」「含む」または「有する」という表現が用いられる場合、該表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的表現ではない。「Ａ，ＢおよびＣの少なくともいずれか一つ」という表現が用いられる場合、該表現は、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、Ａ，ＢおよびＣのうち任意の２つ、ならびに、Ａ，ＢおよびＣの全てを含む。

＜第１の実施の形態＞
＜基板処理装置の概略構成＞
図１は、基板処理装置１００の構成の一例を概略的に示す平面図である。図１で示されるように、基板処理装置１００は、例えば、基板の一例としての半導体基板（ウエハ）Ｗの表面に付着した有機系のゴミを除去する処理に用いることができる枚葉式の装置である。有機系の残渣としては、例えば、基板Ｗの表面に不純物を注入するイオン注入処理等の後において基板Ｗの表面に残っている不要になったレジスト、あるいは基板Ｗの表面のうちの外周部の近傍に付着しているレジスト等に由来する有機系のゴミ等、が含まれる。また、基板処理装置１００は無機系の残渣除去および基板Ｗのエッチングにも用いることができる。

基板処理装置１００は、収容器としての複数のキャリアＣを保持する収容器保持機構としてのロードポートＬＰと、基板Ｗを処理する複数（この実施の形態では、１２台）の処理ユニット１０とを含む。具体的には、例えば、平面的に配置されている４台の処理ユニット１０でそれぞれ構成されている３組の処理ユニット１０が、鉛直方向に積層するように配置されている。

基板処理装置１００は、さらに、例えば、インデクサロボットＩＲと、センターロボットＣＲと、制御部９０とを含む。インデクサロボットＩＲは、例えば、ロードポートＬＰとセンターロボットＣＲとの間で基板Ｗを搬送することができる。センターロボットＣＲは、例えば、インデクサロボットＩＲと各処理ユニット１０との間で基板Ｗを搬送することができる。制御部９０は、例えば、基板処理装置１００に備えられた各部の動作およびバルブの開閉等を制御することができる。

ここでは、図１で示されるように、ロードポートＬＰと各処理ユニット１０とは、水平方向に間隔を空けて配置されている。ロードポートＬＰにおいて、複数枚の基板Ｗを収容する複数のキャリアＣは、平面視したときに水平な配列方向Ｄに沿って配列されている。ロードポートＬＰは、基板Ｗを搬入する搬入部として機能する。ここで、インデクサロボットＩＲは、例えば、キャリアＣから基板載置部１１０に複数枚の基板Ｗを一枚ずつ搬送することができるとともに、基板載置部１１０からキャリアＣに複数枚の基板Ｗを一枚ずつ搬送することができる。基板載置部１１０は、基板Ｗを載置する載置台を含む。

センターロボットＣＲは、例えば、基板載置部１１０から各処理ユニット１０に複数枚の基板Ｗを一枚ずつ搬送することができるとともに、各処理ユニット１０から基板載置部１１０に複数枚の基板Ｗを一枚ずつ搬送することができる。また、例えば、センターロボットＣＲは、必要に応じて複数の処理ユニット１０の間において基板Ｗを搬送することができる。インデクサロボットＩＲ、基板載置部１１０およびセンターロボットＣＲは、基板Ｗを搬入部（ロードポートＬＰ）から受け取り、処理ユニット１０に受け渡す基板受渡部として機能する。

図１の例では、インデクサロボットＩＲは、平面視Ｕ字状のハンドＨを有している。ここでは、インデクサロボットＩＲは２つのハンドＨを有する。２つのハンドＨは、互いに異なる高さに配置される。各ハンドＨは基板Ｗを水平な姿勢で支持することができる。インデクサロボットＩＲはハンドＨを水平方向および鉛直方向に移動させることができる。さらに、インデクサロボットＩＲは、鉛直方向に沿った軸を中心として回転（自転）することで、ハンドＨの向きを変更することができる。インデクサロボットＩＲは、受渡位置（図１でインデクサロボットＩＲが描かれている位置）を通る経路において配列方向Ｄに沿って移動する。受渡位置は、平面視したときにインデクサロボットＩＲと基板載置部１１０とが配列方向Ｄに直交する方向において対向する位置である。インデクサロボットＩＲは、任意のキャリアＣおよび基板載置部１１０にそれぞれハンドＨを対向させることができる。ここで、例えば、インデクサロボットＩＲはハンドＨを移動させることにより、キャリアＣに基板Ｗを搬入する搬入動作と、キャリアＣから基板Ｗを搬出する搬出動作とを行うことができる。また、例えば、インデクサロボットＩＲは受渡位置においてハンドＨを移動させることにより、基板載置部１１０に基板Ｗを搬入する搬入動作と、基板載置部１１０ら基板Ｗを搬出する搬出動作とを行うことができる。

図１の例では、センターロボットＣＲは、インデクサロボットＩＲと同様に、平面視Ｕ字状のハンドＨを有している。ここでは、センターロボットＣＲは２つのハンドＨを有する。２つのハンドＨは、互いに異なる高さに配置される。各ハンドＨは基板Ｗを水平な姿勢で支持することができる。センターロボットＣＲは各ハンドＨを水平方向および鉛直方向に移動させることができる。さらに、センターロボットＣＲは、鉛直方向に沿った軸を中心として回転（自転）することで、ハンドＨの向きを変更することができる。センターロボットＣＲは、平面視したときに、複数台の処理ユニット１０に取り囲まれている。センターロボットＣＲは、任意の処理ユニット１０および基板載置部１１０のいずれかにハンドＨを対向させることができる。ここで、例えば、センターロボットＣＲはハンドＨを移動させることにより、各処理ユニット１０に基板Ｗを搬入する搬入動作と、各処理ユニット１０から基板Ｗを搬出する搬出動作とを行うことができる。また、例えば、センターロボットＣＲはハンドＨを移動させることにより、基板載置部１１０に基板Ｗを搬入する搬入動作と、基板載置部１１０から基板Ｗを搬出する搬出動作とを行うことができる。

未処理の基板ＷはキャリアＣからインデクサロボットＩＲによって取り出され、基板載置部１１０を経由してセンターロボットＣＲに受け渡される。センターロボットＣＲはこの未処理の基板Ｗを処理ユニット１０に搬入する。処理ユニット１０は基板Ｗに対して処理を行う。処理済みの基板ＷはセンターロボットＣＲによって処理ユニット１０から取り出され、必要に応じて他の処理ユニット１０を経由した上で、基板載置部１１０を介してインデクサロボットＩＲに受け渡される。インデクサロボットＩＲは処理済みの基板ＷをキャリアＣに搬入する。以上により、基板Ｗに対する処理が行われる。

図１の例では、ユーザインターフェース９４が設けられている。ユーザインターフェース９４は例えばいずれも不図示のディスプレイおよび入力デバイスを有している。ディスプレイは、例えば液晶ディスプレイなどのディスプレイである。ディスプレイは制御部９０によって制御されて、各種情報を表示する。入力デバイスは、例えば、キーボードおよびマウスなどのデバイスである。入力デバイスはユーザによって入力された情報を制御部９０に出力する。例えばユーザは入力デバイスを用いて、基板処理装置１００の動作開始を指示することができる。

＜処理ユニット＞
図２は、基板処理装置１００の構成の一例を概略的に示す図であり、図３は、一つの処理ユニット１０に対応した基板処理装置１００の構成の一例を概略的に示す図である。図２の例では、２つのタワーＴＷが示されている。図２の例では、各タワーＴＷは４つの処理ユニット１０によって構成されている。つまり、各タワーＴＷにおいて、４つの処理ユニット１０が鉛直方向に沿って並んで配置されている。なお、タワーＴＷを構成する処理ユニット１０の個数は４つに限らず、適宜に変更できる。

図２および図３の例では、各処理ユニット１０は、処理チャンバ１１と、基板保持部１２と、ノズル１３と、ガード１４とを含む。処理チャンバ１１は処理室を形成しており、基板保持部１２、ノズル１３およびガード１４を収納する。

基板保持部１２は基板Ｗを水平姿勢で保持する。ここでいう水平姿勢とは、基板Ｗの厚み方向が鉛直方向に沿う姿勢である。また、基板保持部１２は、基板Ｗの中心部を通って鉛直方向に沿って延在する回転軸線のまわりで、基板Ｗを回転させる。基板保持部１２はスピンチャックとも呼ばれる。基板保持部１２は、基板Ｗの端部を複数のチャックピンで保持してもよいし、基板Ｗの裏面を真空吸着により保持してもよい。

ノズル１３は、基板保持部１２によって保持された基板Ｗの主面に向かって処理液を吐出する。回転中の基板Ｗの主面に処理液が着液すると、処理液は遠心力を受けて基板Ｗの主面上を外側に向かって流れ、基板Ｗの周縁から外側に飛散する。処理液が基板Ｗの主面に作用することで、基板Ｗに対する処理が行われる。

ガード１４は、基板保持部１２を囲む筒状の形状を有しており、基板Ｗの周縁から飛散した処理液を受け止める。

＜供給ユニット＞
図２および図３に示されるように、基板処理装置１００は、処理ユニット１０に処理液を供給する供給ユニット（処理液供給装置）２０を含む。この供給ユニット２０は適宜に流体ボックス１２０および処理液キャビネット１３０（図１参照）に跨って設けられる。

供給ユニット２０は第１タンク２１ａを含んでいる。第１タンク２１ａは処理液を貯留しており、この処理液がユニット給液管３０を通じて供給対象の処理ユニット１０に供給される。

処理液は、例えば、エッチング液等の薬液、当該薬液を洗い流すリンス液、および、基板Ｗを除電する除電液の少なくともいずれか一つを含む。より具体的な一例として、処理液は、フッ酸と過酸化水素と水とを混合して得られるフッ酸過酸化水素水溶液（ＦＰＭ）、フッ酸（ＨＦ）、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、硫酸と過酸化水素水との混合液（ＳＰＭ）、アンモニア水、および、アンモニアと過酸化水素と水との混合液（ＳＣ－１）の少なくともいずれか一つを含む。なお、処理液は混合液ではなく、単液でもよい。例えば、フッ酸、過酸化水素水および硫酸などの単液を処理液として採用できる。

図２および図３の例では、第１タンク２１ａは種々の配管系統に接続される。以下、各配管系統の具体例について述べる。

＜ユニット給液管＞
図２の例では、第１タンク２１ａ内の処理液は複数の処理ユニット１０に供給されるものの、以下では、簡単のために、一つの処理ユニット１０に対応する配管系統について述べる。

図３の例では、第１タンク２１ａはユニット給液管３０を介して処理ユニット１０のノズル１３に接続される。つまり、ユニット給液管３０の上流端３０ａは第１タンク２１ａに接続され、ユニット給液管３０の下流端３０ｂはノズル１３に接続される。図３の例では、ユニット給液管３０の上流端３０ａは第１タンク２１ａの底部に接続されている。つまり、ユニット給液管３０の上流端３０ａは第１タンク２１ａの底面において開口している。

図３の例では、ユニット給液管３０には、第１送液部３１、第１ヒータ３２、第１フィルタ３３、第１バルブ４０４、流量センサ３６、流量調整部３５およびユニット給液バルブ３４が設けられている。

第１送液部３１は、第１タンク２１ａからノズル１３に向かって処理液を流す駆動機構であり、例えばポンプである。

第１ヒータ３２は熱電対などの熱源を有しており、ユニット給液管３０の内部を流れる処理液を、処理に適した温度まで加熱する。図３の例では、２つの第１ヒータ３２がユニット給液管３０に設けられているものの、１つの第１ヒータ３２が設けられてもよく、３つ以上の第１ヒータ３２が設けられてもよい。図３の例では、第１ヒータ３２は第１フィルタ３３と第１送液部３１との間に設けられている。

第１フィルタ３３は、処理液に含まれる不純物を捕捉する。これにより、第１フィルタ３３よりも下流側の処理液の不純物濃度を低減させることができる。図３の例では、第１フィルタ３３は第１バルブ４０４と第１ヒータ３２との間に設けられている。

第１バルブ４０４はユニット給液管３０の開閉を切り替える。第１バルブ４０４は、後に述べるように、外側主循環配管４０の開閉を切り替えるためのものでもある。

流量調整部３５および流量センサ３６は第１バルブ４０４よりも下流側においてユニット給液管３０に介挿される。流量調整部３５は、処理ユニット１０に供給される処理液の流量を調整する。流量調整部３５は例えばマスフローコントローラである。流量センサ３６は、処理ユニット１０に供給される処理液の流量を測定し、その測定値を示す信号を制御部９０に出力する。制御部９０は流量センサ３６の測定値に基づいて流量調整部３５を制御することにより、処理液の流量を高い精度で制御できる。

ユニット給液バルブ３４はユニット給液管３０のうちノズル１３に近い部分に介挿されている。図３の例では、ユニット給液バルブ３４は流量調整部３５とノズル１３との間に設けられている。ユニット給液バルブ３４はユニット給液管３０の開閉を切り替えて、ノズル１３からの処理液の吐出および吐出停止を切り替える。

ユニット給液バルブ３４および第１バルブ４０４が開いた状態で第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液がユニット給液管３０の内部を処理ユニット１０に向かって流れる。当該処理液は処理ユニット１０内のノズル１３の吐出口から基板Ｗに向かって吐出される。

＜循環配管系統＞
図３の例では、第１タンク２１ａからの処理液を第１タンク２１ａに戻す複数の循環配管系統が設けられている。図３の例では、外側主循環配管４０（連結管の一例に相当）、外側従循環配管４１（連結管の一例に相当）、第１フィルタ循環配管４２および第１内側循環配管４３が設けられている。

＜外側主循環配管＞
図３の例では、外側主循環配管４０の一部は、後に述べるように、ユニット給液管３０の一部と兼用される。外側主循環配管４０は往き配管４０１と渡り配管４０２と戻り配管４０３とを含む。図３の例では、往き配管４０１および渡り配管４０２の一部はユニット給液管３０の上流側の部分として兼用されており、往き配管４０１の上流端（つまり、上流端３０ａ）は第１タンク２１ａの例えば底部に接続される。往き配管４０１の下流端は渡り配管４０２の上流端に接続され、渡り配管４０２の下流端は戻り配管４０３の上流端に接続され、戻り配管４０３の下流端は第１タンク２１ａの例えば天井部に接続される。つまり、戻り配管４０３の下流端は第１タンク２１ａ内で開口する。なお、往き配管４０１、渡り配管４０２および戻り配管４０３は１本の配管によって構成されてもよい。

図３の例では、ユニット給液管３０は、往き配管４０１と、渡り配管４０２と、渡り配管４０２から分岐した分岐給液管３０２によって構成される。分岐給液管３０２の上流端は渡り配管４０２の途中に接続されており、分岐給液管３０２の下流端はノズル１３に接続される。このような配管系統において、ユニット給液管３０の上流端３０ａは往き配管４０１の上流端に相当し、ユニット給液管３０の下流端３０ｂは分岐給液管３０２の下流端に相当する。分岐給液管３０２には、ユニット給液バルブ３４、流量調整部３５および流量センサ３６が介挿される。

図２の例では、外側主循環配管４０は、鉛直方向に沿って配列された複数の処理ユニット１０の近傍において鉛直方向に沿って配策される。このような外側主循環配管４０はタワー配管とも呼ばれ得る。

図３の例では、第１送液部３１、第１ヒータ３２、第１フィルタ３３および第１バルブ４０４は、往き配管４０１に設けられる。また、図３の例では、外側主循環配管４０の戻り配管４０３には第２バルブ４０５が介挿されている。第２バルブ４０５は戻り配管４０３の開閉を切り替える。

第１バルブ４０４および第２バルブ４０５が開いた状態で、第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液が外側主循環配管４０を通じて第１タンク２１ａ内に戻る。第１ヒータ３２は往き配管４０１に設けられるので、第１ヒータ３２によって加熱された高温の処理液が外側主循環配管４０の内部を流れる。これにより、第１タンク２１ａおよび外側主循環配管４０内の処理液の温度を、基板Ｗの処理に適した規定の温度範囲内に維持することができる。また、第１フィルタ３３は往き配管４０１に介挿されるので、第１タンク２１ａおよび外側主循環配管４０内の処理液の不純物濃度も低減させることができる。

＜外側従循環配管＞
外側従循環配管４１は従戻り配管４１１を含む。従戻り配管４１１は、外側主循環配管４０から各処理ユニット１０に向かって分岐した分岐給液管３０２を流れる処理液を、第１タンク２１ａに戻すための配管である。図３の例では、従戻り配管４１１の上流端はユニット給液バルブ３４と流量調整部３５との間において分岐給液管３０２に接続される。図３の例では、従戻り配管４１１の下流端は戻り配管４０３の途中、具体的には、第２バルブ４０５よりも上流側の部分に接続される。外側従循環配管４１は往き配管４０１、渡り配管４０２の一部、分岐給液管３０２の一部、従戻り配管４１１および戻り配管４０３の一部によって構成される。以下では、分岐給液管３０２のうち上流端から従戻り配管４１１の上流端までの部分、および、従戻り配管４１１からなる配管を、分岐循環配管４１３とも呼ぶ。

従戻り配管４１１には従循環バルブ４１２が介挿されている。従循環バルブ４１２は従戻り配管４１１の開閉を切り替える。

第１バルブ４０４、第２バルブ４０５および従循環バルブ４１２が開いた状態で、第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液は外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３を通じて第１タンク２１ａ内に戻る。

＜第１フィルタ循環配管＞
第１フィルタ循環配管４２は第１フィルタ戻り配管４２１を含む。第１フィルタ戻り配管４２１は、第１フィルタ３３に流入する処理液を第１タンク２１ａに戻すための配管である。図３の例では、第１フィルタ３３はドレイン口３３ｃを有しており、第１フィルタ戻り配管４２１の上流端は第１フィルタ３３のドレイン口３３ｃに接続されている。ドレイン口３３ｃとは、第１フィルタ３３の筐体の内部から処理液を排出するための開口である。第１フィルタ３３の筐体の内部空間はフィルタ本体によって、出口空間と入口空間とに仕切られており、ドレイン口３３ｃは出口空間に開口していてもよく、入口空間に開口していてもよい。ここでは、ドレイン口３３ｃは出口空間に開口するものとする。第１フィルタ戻り配管４２１の下流端は第１タンク２１ａの例えば天井部に接続されている。つまり、第１フィルタ戻り配管４２１の下流端は第１タンク２１ａ内で開口する。第１フィルタ循環配管４２は往き配管４０１の一部、第１フィルタ３３および第１フィルタ戻り配管４２１によって構成される。

第１フィルタ戻り配管４２１には第１フィルタ循環バルブ４２２が介挿されている。第１フィルタ循環バルブ４２２は第１フィルタ戻り配管４２１の開閉を切り替える。

第１フィルタ循環バルブ４２２が開いた状態で、第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液は第１フィルタ循環配管４２を通じて第１タンク２１ａ内に戻る。

＜第１内側循環配管＞
第１内側循環配管４３は第１内側戻り配管４３１を含む。第１内側戻り配管４３１は、第１ヒータ３２を通過した処理液を第１フィルタ３３の通過前に第１タンク２１ａに戻すための配管であり、第１ヒータ３２と第１フィルタ３３との間において往き配管４０１から分岐して第１タンク２１ａに戻る配管である。つまり、第１内側戻り配管４３１の上流端は往き配管４０１のうち第１ヒータ３２と第１フィルタ３３との間の部分に接続され、第１内側戻り配管４３１の下流端は第１タンク２１ａの例えば天井部に接続される。第１内側戻り配管４３１の下流端は第１タンク２１ａ内で開口する。第１内側循環配管４３は往き配管４０１の一部および第１内側戻り配管４３１によって構成される。

第１内側戻り配管４３１には第１内側循環バルブ４３２が介挿される。第１内側循環バルブ４３２は第１内側戻り配管４３１の開閉を切り替える。

第１内側循環バルブ４３２が開いた状態で、第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液は第１内側循環配管４３を通じて第１タンク２１ａ内に戻る。

＜回収管＞
図３の例では、処理ユニット１０のノズル１３から吐出された処理液を第１タンク２１ａに戻すための回収管２２も設けられている。図３の例では、回収管２２の上流端は処理ユニット１０に接続され、回収管２２の下流端は従戻り配管４１１の途中に接続されている。具体的には、回収管２２の下流端は、従循環バルブ４１２よりも下流側において、従戻り配管４１１に接続される。回収管２２には回収バルブ２３が介挿される。回収バルブ２３は回収管２２の開閉を切り替える。

ノズル１３から吐出された処理液は、基板Ｗの主面を流れて基板Ｗの周縁から外側に飛散し、ガード１４の内周面で受け止められて、回収管２２の上流端へと導かれる。回収バルブ２３が開いているときには、処理液は回収管２２の内部を流れて、第１タンク２１ａ内に供給される。これにより、処理液を再利用することができる。なお、回収管２２から回収される処理液は、基板Ｗに対する処理によって不純物をより多く含んでいたり、あるいは、基板Ｗの処理に必要な成分の濃度が低下していたりする。つまり、回収された処理液は劣化している。

＜タンク給液部＞
図３に示されるように、供給ユニット２０はタンク給液部６０も含んでいる。タンク給液部６０は処理液を第１タンク２１ａに供給する。タンク給液部６０が供給する処理液は新液であり、ほとんど劣化していない。また、タンク給液部６０が供給する処理液の温度は常温であり、例えば摂氏２５度程度である。

タンク給液部６０は、タンク給液管６１と、タンク給液バルブ６２とを含んでいる。タンク給液管６１の上流端は処理液供給源６３に接続され、タンク給液管６１の下流端は第１タンク２１ａの例えば天井部に接続される。タンク給液バルブ６２はタンク給液管６１に介挿される。タンク給液バルブ６２はタンク給液管６１の開閉を切り替える。タンク給液バルブ６２が開くと、処理液供給源６３から新しい処理液がタンク給液管６１を通じて第１タンク２１ａに供給される。なお、第１の実施の形態におけるタンク給液管６１およびタンク給液バルブ６２は、課題を解決するための手段の欄における第３態様から第９態様における第１タンク給液管および第１タンク給液バルブ６２にそれぞれ相当する。

＜排液系統＞
＜第１タンク排液管＞
図３に示されるように、第１タンク排液管８０と第１タンク排液バルブ８０２とを含むタンク排液部が設けられる。第１タンク排液管８０は、第１タンク２１ａ内の処理液を排出するための配管である。図３の例では、第１タンク排液管８０の一部は外側主循環配管４０の一部と兼用される。具体的には、第１タンク排液管８０は、往き配管４０１の一部と、往き配管４０１から分岐した分岐排液管８０１とによって構成される。分岐排液管８０１の上流端は往き配管４０１の途中、図３の例では、第１ヒータ３２と第１フィルタ３３との間の部分に接続されている。分岐排液管８０１の下流端はドレインタンク８３に接続されている。ドレインタンク８３に貯留された処理液は外部に排出される。図３の例では、第１タンク排液管８０の上流端は往き配管４０１の上流端（つまり、上流端３０ａ）に相当し、第１タンク２１ａに接続される。第１タンク排液管８０の下流端は分岐排液管８０１の下流端に相当する。分岐排液管８０１には、第１タンク排液バルブ８０２が介挿されている。第１タンク排液バルブ８０２は分岐排液管８０１の開閉を切り替える。

第１タンク排液バルブ８０２が開いた状態で、第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液は第１タンク排液管８０を通じてドレインタンク８３に流入する。これにより、第１タンク２１ａ内の処理液が排出される。

＜循環排液管＞
図３の例では、外側主循環配管４０および外側従循環配管４１内の処理液を排出するための循環排液管８１が設けられている。循環排液管８１の上流端は、従戻り配管４１１の下流端よりも下流側において、戻り配管４０３に接続されている。図３の例では、循環排液管８１の上流端は、第２バルブ４０５よりも上流側において、戻り配管４０３に接続されている。循環排液管８１の下流端はドレインタンク８３に接続される。循環排液管８１には循環排液バルブ８１２が介挿される。循環排液バルブ８１２は循環排液管８１の開閉を切り替える。

第１バルブ４０４、従循環バルブ４１２および循環排液バルブ８１２が開いた状態で、第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液が外側主循環配管４０、分岐循環配管４１３および循環排液管８１を通じてドレインタンク８３に流入する。

＜第１フィルタ排液管＞
図３の例では、第１フィルタ３３内の処理液を排出するための第１フィルタ排液管８２が設けられている。図３の例では、第１フィルタ排液管８２の一部は、第１フィルタ戻り配管４２１の一部と兼用される。図３の例では、第１フィルタ排液管８２は、第１フィルタ戻り配管４２１の一部と、第１フィルタ戻り配管４２１から分岐した分岐排液管８２１とによって構成される。分岐排液管８２１は第１フィルタ戻り配管４２１の途中、図３の例では、第１フィルタ３３のドレイン口３３ｃと第１フィルタ循環バルブ４２２との間の部分に接続されている。分岐排液管８２１の下流端はドレインタンク８３に接続される。第１フィルタ排液管８２の上流端は第１フィルタ戻り配管４２１の上流端に相当し、第１フィルタ３３のドレイン口３３ｃに接続される。第１フィルタ排液管８２の下流端は分岐排液管８２１の下流端に相当する。分岐排液管８２１には第１フィルタ排液バルブ８２２が介挿される。第１フィルタ排液バルブ８２２は分岐排液管８２１の開閉を切り替える。

第１フィルタ排液バルブ８２２が開いた状態で、第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液が往き配管４０１、第１フィルタ３３および第１フィルタ排液管８２を通じて、ドレインタンク８３に流入する。

＜センサ＞
図３の例では、第１タンク２１ａ内にはセンサ５０が設けられている。センサ５０は、第１タンク２１ａ内の処理液の貯留量を検出するためのセンサである。具体的な一例として、センサ５０は液面センサを含む。液面センサはレベルセンサとも呼ばれる。液面センサは例えばフロート式のレベルセンサまたは静電容量式のレベルセンサであってもよい。

図３の例では、センサ５０は、第１液面センサ５１、第２液面センサ５２および第３液面センサ５３を含んでいる。第１液面センサ５１、第２液面センサ５２および第３液面センサ５３は、第１タンク２１ａ内において異なる高さ位置に設けられている。図３の例では、第１液面センサ５１は最も低い位置に設けられており、第３液面センサ５３は最も高い位置に設けられており、第２液面センサ５２は第１液面センサ５１と第３液面センサ５３との間の高さ位置に設けられている。

センサ５０は、検出結果を示す信号を制御部９０に出力する。具体的には、第１液面センサ５１、第２液面センサ５２および第３液面センサ５３の各々は、検出結果を示す信号を制御部９０に出力する。

＜制御部＞
制御部９０は基板処理装置１００を統括的に制御することができる。例えば、制御部９０は、インデクサロボットＩＲの搬送制御、センターロボットＣＲの搬送制御、各処理ユニット１０の基板保持部１２の回転制御、供給ユニット２０の各バルブの開閉制御、第１送液部３１の駆動制御、第１ヒータ３２の加熱制御を行うことができる。また、制御部９０はセンサ５０および流量センサ３６からの信号を受け取ることができる。

図４は、制御部９０の内部構成の一例を概略的に示す機能ブロック図である。制御部９０は電子回路であって、例えばデータ処理部９１および記憶部９２を有している。図３の具体例では、データ処理部９１と記憶部９２とはバス９３を介して相互に接続されている。データ処理部９１は例えばＣＰＵ（Central Processor Unit）などの演算処理装置であってもよい。記憶部９２は非一時的な記憶部（例えばＲＯＭ（Read Only Memory）またはハードディスク）９２１および一時的な記憶部（例えばＲＡＭ（Random Access Memory））９２２を有していてもよい。非一時的な記憶部９２１には、例えば制御部９０が実行する処理を規定するプログラムが記憶されていてもよい。データ処理部９１がこのプログラムを実行することにより、制御部９０が、プログラムに規定された処理を実行することができる。もちろん、制御部９０が実行する処理の一部または全部が専用の論理回路などのハードウェアによって実行されてもよい。

なお、記憶部９２以外の他の記憶部が制御部９０に接続されていてもよい。記憶部９２に記憶される各種情報は当該他の記憶部に記憶されていてもよい。

＜通常動作＞
次に、基板処理装置１００の通常動作の一例について概説する。ここでいう通常動作とは、基板処理装置１００が基板Ｗを処理する動作をいう。ここでは、通常動作において、第１バルブ４０４、第２バルブ４０５、従循環バルブ４１２および第１フィルタ循環バルブ４２２は常時開いており、第１送液部３１および第１ヒータ３２は常時作動しているものとする。これにより、第１タンク２１ａ内の処理液は外側主循環配管４０、外側従循環配管４１および第１フィルタ循環配管４２を流れて循環し、第１タンク２１ａ、外側主循環配管４０、外側従循環配管４１および第１フィルタ循環配管４２内の処理液の温度が規定の温度範囲内に維持される。また、循環中の処理液は第１フィルタ３３を通過するので、処理液の不純物濃度も低減させることができる。

基板ＷがセンターロボットＣＲから処理ユニット１０に搬入されると、基板保持部１２が基板Ｗを水平姿勢で保持する。基板保持部１２が基板Ｗを回転させ、ユニット給液バルブ３４が開くことにより、回転中の基板Ｗの主面に向かってノズル１３から処理液が吐出される。基板Ｗの主面に着液した処理液は、遠心力により基板Ｗの主面上を外側に向かって流れ、基板Ｗの周縁から飛散する。処理液が基板Ｗの主面に作用することにより、基板Ｗに対する処理が行われる。

基板Ｗの周縁から飛散した処理液はガード１４によって受け止められ、回収管２２の上流端に導かれる。ここでは、回収バルブ２３は開いており、当該処理液は回収管２２を通じて、第１タンク２１ａに流入する。これにより、処理ユニット１０に供給された処理液の一部は回収管２２を通じて第１タンク２１ａに回収される。

基板Ｗに対する処理を終了する際には、制御部９０はユニット給液バルブ３４を閉じる。これにより、ノズル１３から基板Ｗへの処理液の吐出が停止する。その後、処理ユニット１０は必要に応じて他の処理液を基板Ｗに供給し、基板Ｗに対する種々の処理を行う。その後、処理ユニット１０は基板Ｗに対する乾燥処理を行う。例えば、基板保持部１２が回転速度を高めて、基板Ｗに対するスピン乾燥処理を行う。これにより、基板Ｗに対する処理が終了する。そして、センターロボットＣＲによって処理ユニット１０から処理済みの基板Ｗが搬出され、次の基板Ｗが処理ユニット１０に搬入される。以後、同様の動作が繰り返される。

上述の一例では、処理ユニット１０に供給された処理液の一部が回収管２２を通じて第１タンク２１ａに回収される。処理ユニット１０から回収された処理液には、基板Ｗの処理によって不純物が混入していたり、あるいは、処理に必要な成分の濃度が低下していたりする。つまり、回収された処理液は、回収前の処理液に比して劣化する。そして、処理液が処理ユニット１０に繰り返し供給されることにより、第１タンク２１ａ内の処理液の劣化の程度は大きくなる。

＜処理液の交換処理＞
そこで、本基板処理装置１００においては、第１タンク２１ａ内の古い処理液を、新しい処理液（交換液に相当）に交換する交換処理が行われる。ここでは、後に詳述するように、第１タンク２１ａのみならず、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液も新しい処理液に交換する。ここでいう新しい処理液とは、例えば、基板Ｗの処理に未だ使用されていない処理液である。

交換処理は、例えば、前回の交換処理からの基板Ｗの処理枚数が所定枚数以上になったときに行われる。あるいは、この交換処理は、前回の交換処理から所定期間が経過したときに行われてもよい。なお、交換処理を行うための条件は適宜に変更してもよい。

図５は、第１の実施の形態にかかる処理液の交換処理の一例を示すフローチャートであり、図６は、第１の実施の形態にかかる処理液の交換処理の一例を示すタイミングチャートである。ここでは一例として、交換処理の実行中において、ユニット給液バルブ３４は常時閉じており、供給ユニット２０は処理ユニット１０に処理液を供給しない。また初期的には、第１送液部３１および第１ヒータ３２は作動しておらず、タンク給液バルブ６２は閉じており、第１バルブ４０４および第２バルブ４０５は開いているものとする。また、以下では、説明の簡単のために、１つの処理ユニット１０に対応する構成に着目して説明を行う。

まず、供給ユニット２０は第１タンク２１ａ内の処理液を排出する（ステップＳ１：第１タンク排液工程）。図７は、第１タンク排液工程を説明するための図である。供給ユニット２０は、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の少なくとも一部を古い処理液で満たした充填状態を維持しながら、第１タンク排液管８０を通じて第１タンク２１ａ内の古い処理液を排出する。より具体的な一例として、制御部９０は、第１バルブ４０４および第２バルブ４０５を閉じた以後に、第１タンク排液バルブ８０２を開き、第１送液部３１を作動させる。

第１バルブ４０４および第２バルブ４０５が閉じることにより、第１バルブ４０４と第２バルブ４０５との間における外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液は静止する。よって、古い処理液が第１バルブ４０４と第２バルブ４０５との間において外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部を満たしている。図７では、この状態を模式的に太線で示している。この点は、以下で参照する各図面においても同様である。

一方、第１タンク排液バルブ８０２が開き、第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の古い処理液は第１タンク排液管８０を通じてドレインタンク８３に流入する。図７では、処理液の流れを模式的に破線のブロック矢印で示している。この点は以下で参照する各図面においても同様である。第１タンク２１ａ内の処理液が第１タンク排液管８０に流入することにより、第１タンク２１ａ内の処理液の貯留量は時間の経過とともに低下する。

ここでは一例として、供給ユニット２０は、第１タンク２１ａ内の古い処理液の貯留量が第１規定量よりも小さくなった状態で、タンク排液工程を終了する。例えば、供給ユニット２０は貯留量がほぼゼロとなるまで、タンク排液工程を行う。これより、第１タンク２１ａ内の古い処理液をほぼ全て排出することができる。具体的な一例として、制御部９０は、第１液面センサ５１が処理液の液面を検出した時点から所定の第１タンク排液時間が経過したときに、第１タンク排液バルブ８０２を閉じつつ、第１送液部３１の作動を停止させる。第１タンク排液時間は、第１タンク２１ａ内の処理液の貯留量がほぼゼロとなるのに十分な時間であり、例えば予め設定される。なお、制御部９０は、処理液の液面が第１送液部３１に達しないように、第１タンク排液バルブ８０２を閉じるとよい。言い換えれば、処理液の液面が第１送液部３１に達しないように第１タンク排液時間が予め設定される。これにより、液体が存在しない状態での第１送液部３１の作動を回避することができ、第１送液部３１の不具合を回避することができる。

なお、第１タンク排液時間は、ユーザによってユーザインターフェース９４に対して入力されてもよい。ユーザインターフェース９４は、入力された第１タンク排液時間の情報を制御部９０に出力する。制御部９０は第１タンク排液時間の情報を例えば記憶部９２に記憶する。この点は、後述する他の設定時間についても同様である。

上述の第１タンク排液工程によって、第１タンク２１ａ内の古い処理液をほぼ全て排出することができる。その一方で、第１タンク排液工程においては、第１バルブ４０４および第２バルブ４０５が閉じているので、少なくとも第１バルブ４０４と第２バルブ４０５との間において、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部には、古い処理液が充填される。実際には、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の全体に古い処理液が充填され得る。

次に、供給ユニット２０は充填状態を維持しながら、第１タンク２１ａに新しい処理液（交換液に相当）を供給する（ステップＳ２：第１タンク給液工程）。図８は、第１タンク給液工程を説明するための図である。制御部９０はタンク給液バルブ６２を開く。これにより、処理液供給源６３からの新しい処理液がタンク給液管６１を通じて第１タンク２１ａに供給される。したがって、第１タンク２１ａ内の処理液の貯留量は時間の経過とともに増加する。

ここでは、供給ユニット２０は、第１タンク２１ａ内の処理液の貯留量が、後述の第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ３）に必要な第１必要量以上となるまで第１タンク給液工程を行う。第１必要量は後に詳述するものの、ここでは、第１液面センサ５１が液面を検出したときの貯留量よりも大きいものとする。例えば制御部９０は、第１液面センサ５１が液面を検出した時点から所定の給液設定時間が経過したときに、一旦、第１タンク給液工程を終了する。つまり、制御部９０はタンク給液バルブ６２を一旦閉じる。給液設定時間は、第１タンク２１ａ内に第１必要量以上の処理液が貯留されるのに十分な時間に予め設定される。

この第１タンク給液工程において第１バルブ４０４および第２バルブ４０５が閉じていれば、少なくとも第１バルブ４０４と第２バルブ４０５との間において、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部に、より確実に古い処理液が充填される。つまり、より確実に充填状態が維持される。

次に、供給ユニット２０は、充填状態を維持しながら、第１フィルタ３３内の古い処理液を新しい処理液に交換する（ステップＳ３：第１フィルタ処理液交換工程）。図９は、第１フィルタ処理液交換工程を説明するための図である。制御部９０は第１バルブ４０４および第２バルブ４０５を閉じたまま、第１フィルタ排液バルブ８２２を開き、第１フィルタ循環バルブ４２２を閉じ、第１送液部３１を作動させる。これにより、第１タンク２１ａ内の新しい処理液が往き配管４０１の上流端（つまり、上流端３０ａ）に流入し、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液を第１フィルタ排液管８２へと押し出して、第１フィルタ排液管８２からドレインタンク８３に古い処理液が排出される。

これにより、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液が、その上流側から順次に新しい処理液に交換される。ほぼ全ての古い処理液が第１フィルタ３３から排出されると、続いて、新しい処理液が第１フィルタ３３から第１フィルタ排液管８２に流入する。これにより、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液を新しい処理液に交換することができる。つまり、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路が新しい処理液で満たされる。

制御部９０は、第１フィルタ処理液交換工程の開始から所定のフィルタ設定時間が経過したときに、第１フィルタ排液バルブ８２２を閉じて第１フィルタ処理液交換工程を終了させる。このフィルタ設定時間は、新しい処理液が第１フィルタ３３を通過して第１フィルタ排液管８２に流入するのに十分な時間に予め設定される。具体的な一例として、フィルタ設定時間は、第１送液部３１による処理液の流量とフィルタ設定時間との積が、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路の容量以上となるように設定されてもよい。

以上のように、第１フィルタ処理液交換工程においては、第１タンク２１ａ内の新しい処理液が上流端３０ａに流入し、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液を第１フィルタ排液管８２に押し出す。そこで、直前の第１タンク給液工程では、この古い処理液を押し出すことが可能な第１必要量の処理液が第１タンク２１ａに貯留されるように行われるとよい。第１必要量は、例えば、第１フィルタ処理液交換工程の全期間において、新しい処理液の液面が第１送液部３１に達しない程度、より好ましくは、第１タンク２１ａ内に位置する程度の量である。具体的な一例として、第１必要量は、上流端３０ａから第１フィルタ３３の流入口までの往き配管４０１の内部流路の体積と、第１フィルタ３３の内部空間の体積の和以上である。

この第１フィルタ処理液交換工程においても第１バルブ４０４および第２バルブ４０５が閉じていれば、少なくとも第１バルブ４０４と第２バルブ４０５との間において、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部に、より確実に古い処理液が充填される。つまり、より確実に充填状態が維持される。

次に、供給ユニット２０は、充填状態を維持しながら、新しい処理液を加熱する（ステップＳ４：加熱循環工程）。図１０は、加熱循環工程を説明するための図である。制御部９０は第１バルブ４０４および第２バルブ４０５を閉じたまま、第１内側循環バルブ４３２を開き、第１送液部３１を作動させ、第１ヒータ３２に加熱動作を行わせる。制御部９０は第１フィルタ循環バルブ４２２も開いてもよい。これにより、第１タンク２１ａ内の処理液は第１フィルタ循環配管４２および第１内側循環配管４３を流れて第１タンク２１ａに戻る。つまり、新しい処理液は第１バルブ４０４よりも下流側の流路を経由せずに、第１フィルタ循環配管４２および第１内側循環配管４３を通じて循環する。第１ヒータ３２は循環中の処理液を加熱するので、第１タンク２１ａ、第１フィルタ循環配管４２および第１内側循環配管４３内の処理液の温度は上昇する。第１ヒータ３２は処理液の温度を、例えば摂氏４０度から摂氏５０度程度まで上昇させる。

図６の例では、この加熱循環工程（ステップＳ４）において、制御部９０はタンク給液バルブ６２を開く。これにより、タンク給液部６０が新しい処理液を第１タンク２１ａに供給する。つまり、第１タンク給液工程が加熱循環工程と並行して行われる。新しい処理液が第１タンク２１ａに供給されるので、第１タンク２１ａ内の処理液の貯留量は時間の経過とともに増加する。

タンク給液部６０は次の循環処理液交換工程（ステップＳ５）に必要な第２必要量以上の新しい処理液を第１タンク２１ａに貯留するとよい。第２必要量については後に詳述する。例えば制御部９０は、タンク給液バルブ６２が開いてから所定の給液設定時間が経過したときに、タンク給液バルブ６２を閉じる。給液設定時間は、第１タンク２１ａに第２必要量以上の処理液が貯留できる程度の時間に予め設定される。

また、制御部９０は、処理液の温度が規定の温度範囲内となったときに、第１内側循環バルブ４３２を閉じる。処理液の温度は、例えば、不図示の温度センサによって測定され、その測定結果を示す信号が制御部９０に出力される。制御部９０は温度センサの測定値に基づいて第１ヒータ３２を制御し、該測定値が規定温度以上となったときに、第１内側循環バルブ４３２を閉じる。

次に、供給ユニット２０は、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を新しい処理液に交換する（ステップＳ５：循環処理液交換工程：連結管処理液交換工程に相当）。図１１は、循環処理液交換工程を説明するための図である。制御部９０は、第１バルブ４０４および循環排液バルブ８１２を開き、第１送液部３１を作動させる。これにより、加熱された新しい処理液が外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を循環排液管８１に押し出す。古い処理液は循環排液管８１を通じてドレインタンク８３に流入する。これにより、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液がその上流側から順次に新しい処理液に交換される。古い処理液が外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３から循環排液管８１に排出されると、続けて新しい処理液も循環排液管８１に排出される。これにより、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を新しい処理液に交換することができる。

制御部９０は、循環処理液交換工程の開始から所定の循環設定時間が経過したときに、循環排液バルブ８１２を閉じる。循環設定時間は、新しい処理液が外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３を通過して循環排液管８１に流入するのに十分な時間に予め設定される。具体的な一例として、循環設定時間は、第１送液部３１による処理液の流量と循環設定時間との積が、第１フィルタ３３と第２バルブ４０５との間の外側主循環配管４０の容量と分岐循環配管４１３の容量との和以上となるように設定されてもよい。

次に、供給ユニット２０は、処理液を循環させつつ、第１タンク２１ａに処理液を供給する（ステップＳ６：加熱循環給液工程）。図１２は、加熱循環給液工程を説明するための図である。制御部９０は第２バルブ４０５およびタンク給液バルブ６２を開く。タンク給液バルブ６２が開くことにより、処理液供給源６３から新しい処理液が第１タンク２１ａに供給される。これにより、第１タンク２１ａ内の処理液の貯留量が時間の経過とともに増加する。また、第１バルブ４０４および第２バルブ４０５が開き、第１送液部３１が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液は、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３を通じて第１タンク２１ａに戻る。第１ヒータ３２は循環中の処理液を加熱するので、第１タンク２１ａ内の処理液の温度を規定の温度範囲内とすることができる。

第１タンク２１ａ内の処理液が規定量に達すると、制御部９０はタンク給液バルブ６２を閉じる。例えば、第３液面センサ５３が処理液の液面を検出したときに、制御部９０はタンク給液バルブ６２を閉じる。

＜第１の実施の形態の効果＞
以上のように、本処理液の交換処理によれば、第１タンク２１ａ内の古い処理液を排出し、新しい処理液を第１タンク２１ａに貯留することができる。

しかも、供給ユニット２０には、第１タンク２１ａ、タンク給液管６１、タンク給液バルブ６２、第１タンク排液管８０、第１タンク排液バルブ８０２、連結管の一例たる外側主循環配管４０および外側従循環配管４１、第１バルブ４０４、第１フィルタ３３、第１フィルタ排液管８２、第１フィルタ排液バルブ８２２、第１フィルタ戻り配管４２１ならびに第１フィルタ循環バルブ４２２が設けられている。よって、第１タンク排液工程（ステップＳ１）、第１タンク給液工程（ステップＳ２）、第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ３）および循環処理液交換工程（ステップＳ５）をこの順で行うことができる。

即ち、第１タンク排液工程（ステップＳ１）において、第１タンク排液バルブ８０２が開くことにより、第１タンク２１ａ内の古い処理液をほとんど排出することができる。第１タンク排液工程は、古い処理液の液面が第１送液部３１に達しないタイミングで終了する。好ましくは、古い処理液が上流端３０ａと同程度となるように、第１タンク排液工程が終了されるとよい。これにより、次の第１タンク給液工程（ステップＳ２）では、新しい処理液が古い処理液の液面に連続して、第１タンク２１ａに貯留される。したがって、古い処理液と新しい処理液との境界に気体が混入しにくい。また、第１送液部３１の不具合も抑制できる。

そして、次の第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ３）において、第１フィルタ排液バルブ８２２が開くことにより、新しい処理液が往き配管４０１の上流端３０ａから第１フィルタ３３までの古い処理液を第１フィルタ排液管８２に押し出す。これにより、往き配管４０１および第１フィルタ３３の内部への気体の混入を抑制しながら、古い処理液を排出して該内部を新しい処理液で充填させることができる。理想的には、該内部には気体が混入しない。また、第１フィルタ３３には新しい処理液が通過するので、第１フィルタ３３内の不純物も第１フィルタ排液管８２に排出させることができる。

上述の例では、次の加熱循環工程（ステップＳ４）において、第１フィルタ循環バルブ４２２が開くことにより、処理液が第１タンク２１ａおよび第１フィルタ循環配管４２を循環する。この循環によって処理液が第１フィルタ３３を通過するので、第１タンク２１ａ内の処理液の不純物濃度を低減させることができる。

次の循環処理液交換工程（ステップＳ５）において、第１バルブ４０４および循環排液バルブ８１２が開くことにより、不純物濃度の低い新しい処理液がより清浄な第１フィルタ３３を通過して、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を循環排液管８１に押し出す。これにより、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部への気体の混入および不純物の流入を抑制しながら、古い処理液を排出して該内部を新しい処理液で充填させることができる。理想的には、該内部には気体が混入しない。

したがって、処理液の交換処理後に、供給ユニット２０が最初に処理ユニット１０に処理液を供給する際にも、配管内の気体に起因した処理液の流量変動を抑制しつつ、より清浄な処理液を処理ユニット１０の供給することができる。

しかも、上述の例では、第１ヒータ３２によって加熱された新しい処理液が、循環処理液交換工程（ステップＳ５）において用いられる。つまり、常温よりも高温の処理液が外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を押し出す。比較のために、常温の新しい処理液が古い処理液を押し出す場合について考察する。この場合、古い処理液の温度が低下し、処理液に含まれる不純物が温度低下によって析出する可能性がある。不純物が析出すると、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内壁に残留し得る。これに対して、上述のように、高温の新しい処理液が古い処理液を押し出す場合、古い処理液の温度低下を抑制でき、不純物の析出を抑制することができる。したがって、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部に不純物が残留することを抑制することができる。

また、上述の例では、循環加熱工程（ステップＳ４）において、循環中の処理液は第１ヒータ３２によって加熱される。よって、第１タンク２１ａ内の処理液の温度をより確実に規定の温度範囲内とすることができる。これにより、循環処理液交換工程では、より適正な温度の新しい処理液を用いることができる。

また、上述の例では、第１バルブ４０４および第２バルブ４０５の両方が第１タンク排液工程（ステップＳ１）、第１タンク給液工程（ステップＳ２）、第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ３）および加熱循環工程（ステップＳ４）において閉じている（図６参照）。これにより、第１バルブ４０４と第２バルブ４０５との間において、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部により確実に古い処理液を静止させることができる。したがって、循環処理液交換工程（ステップＳ５）の開始時点においても、より確実に充填状態を維持することができ、循環処理液交換工程において、気体の混入をより確実に抑制することができる。

＜流量設定＞
次に、第１送液部３１が送出する処理液の流量について説明する。以下では、第１タンク排液工程（ステップＳ１）、第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ３）、加熱循環工程（ステップＳ４）、循環処理液交換工程（ステップＳ５）および加熱循環給液工程（ステップＳ６）における処理液の流量を、それぞれ、流量Ｆ１から流量Ｆ５と呼ぶ。

図６の例では、第１送液部３１は第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ３）において、第１タンク排液工程（ステップＳ１）における流量Ｆ１よりも小さな流量Ｆ２で処理液を送出する。流量Ｆ１は例えば２０Ｌ（リットル）／ｍｉｎ程度に設定され、流量Ｆ２は例えば１０Ｌ／ｍｉｎ程度に設定される。

さて、図３の例では、第１フィルタ排液管８２の上流端は第１フィルタ３３のドレイン口３３ｃに接続されている。第１フィルタ３３のドレイン口３３ｃは第１フィルタ３３の流入口および流出口よりも小さい場合がある。この場合、第１フィルタ排液管８２の径は往き配管４０１の径よりも小さい。図９に示されるように、第１フィルタ処理液交換工程においては、第１送液部３１が送出した処理液は、流路面積の小さな第１フィルタ排液管８２を経由する経路を流れるので、処理液の圧力は上昇しやすい。

よって、流量Ｆ２を流量Ｆ１よりも小さく設定すれば、フィルタ処理液交換工程における圧力上昇を緩和することができる。これにより、圧力上昇に起因した第１フィルタ３３もしくは配管系統の不具合を抑制することができる。

その一方で、第１タンク排液工程においては、図７に示されるように、処理液は第１タンク排液管８０を流れる。第１タンク排液管８０の流路面積はドレイン口３３ｃの面積よりも大きく設計できるので、処理液の流量を増加させても、処理液の圧力の上昇を招きにくい。そして、第１タンク排液工程における流量Ｆ１を流量Ｆ２よりも大きく設定すれば、第１タンク２１ａ内の古い処理液を第１タンク排液管８０を通じてより速やかに排出することができる。

図６の例では、加熱循環工程（ステップＳ４）における流量Ｆ３は流量Ｆ２より大きく設定される。流量Ｆ３は例えば２０Ｌ／ｍｉｎ程度に設定される。これにより、加熱循環工程において、第１タンク２１ａ内の温度をより速やかに規定の温度範囲に上昇させることができつつ、第１タンク２１ａ内の処理液の不純物濃度をより速やかに低減させることができる。第１フィルタ循環配管４２および第１内側循環配管４３の流路面積はドレイン口３３ｃの面積よりも大きく設計できるので、圧力上昇も緩和できる。

図６の例では、循環処理液交換工程（ステップＳ６）における流量Ｆ４も流量Ｆ２より大きく設定される。流量Ｆ４は例えば２０Ｌ／ｍｉｎ程度に設定される。これにより、循環処理液交換工程において、より速やかに外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を新しい処理液に交換することができる。外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の流路面積はドレイン口３３ｃの面積よりも大きく設計できるので、圧力上昇も緩和できる。

図６の例では、加熱循環給液工程（ステップＳ５）における流量Ｆ５は流量Ｆ１から流量Ｆ４の全てよりも大きく設定される。流量Ｆ５は例えば４０Ｌ／ｍｉｎ程度に設定される。これにより、加熱循環給液工程において、第１タンク２１ａ内の温度をより速やかに規定の温度範囲に上昇させることができつつ、第１タンク２１ａ内の処理液の不純物濃度をより速やかに低減させることができる。しかも、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の流路面積は大きく設計されるので、流量Ｆ５を大きく設定しても、処理液の圧力上昇も抑制される。

＜処理液の交換方法の変形例＞
上述の処理液の交換方法は一例であり、以下のように、種々の変形が可能である。

図６の例では、タンク給液バルブ６２は、第１タンク給液工程（ステップＳ１）、加熱循環工程（ステップＳ４）および加熱循環給液工程（ステップＳ６）において開き、第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ３）および循環処理液交換工程（ステップＳ５）において閉じている。しかしながら、必ずしもこれに限らず、新しい処理液の給液タイミングは適宜に変更することができる。

例えばタンク給液バルブ６２は、第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ３）および循環処理液交換工程（ステップＳ５）の少なくともいずれか一つにおいて開いてもよい。つまり、これらの工程に平行して第１タンク給液工程を行ってもよい。

第１フィルタ処理液交換工程においてタンク給液バルブ６２が開く場合、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液を第１タンク２１ａ内の新しい処理液で押し出して排出しつつ、第１タンク２１ａへ新しい処理液が供給される。つまり、新しい処理液が第１タンク２１ａから排出される一方で、タンク給液部６０から第１タンク２１ａに新しい処理液が補充される。このため、直前の第１タンク給液工程（ステップＳ２）の終了時点での第１タンク２１ａの貯留量は第１必要量より小さくてもよい。

要するに、第１フィルタ処理液交換工程の全期間において、新しい処理液の液面が第１送液部３１よりも上流側、好ましくは、第１タンク２１ａ内に位置するように、タンク給液部６０による処理液の流量および第１送液部３１による処理液の流量Ｆ２が設定されればよい。この場合、第１タンク給液工程の終了時点での第１タンク２１ａの貯留量は第１必要量より小さくてよいので、第１タンク給液工程に要する時間を短縮することができ、交換処理のスループットを向上させることができる。

同様に、循環処理液交換工程においてタンク給液バルブ６２が開く場合、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を新しい処理液で押し出して排出しつつ、第１タンク２１ａへ新しい処理液が供給される。つまり、新しい処理液が第１タンク２１ａから排出される一方で、タンク給液部６０から第１タンク２１ａに新しい処理液が補充される。このため、直前の加熱循環工程（ステップＳ４）の終了時点での第１タンク２１ａの貯留量は第２必要量より小さくてもよい。

要するに、循環処理液交換工程の全期間において、新しい処理液の液面が第１送液部３１よりも上流側、好ましくは、第１タンク２１ａ内に位置するように、タンク給液部６０による処理液の流量および第１送液部３１による処理液の流量Ｆ４が設定されればよい。この場合、加熱循環工程の終了時点での第１タンク２１ａの貯留量は第２必要量より小さくてよいので、加熱循環工程に要する時間を短縮させ得る。つまり、交換処理のスループットを向上させ得る。

あるいは、第１タンク給液工程（ステップＳ２）において、タンク給液部６０は第１必要量と第２必要量との和以上の処理液を第１タンク２１ａに供給してもよい。この場合、制御部９０は加熱循環工程（ステップＳ４）においてタンク給液バルブ６２を閉じてもよい。

また、図６の例では、第１フィルタ循環バルブ４２２および第１フィルタ排液バルブ８２２は互いに相補的に開閉している。しかしながら、必ずしもこれに限らない。第１フィルタ循環バルブ４２２および第１フィルタ排液バルブ８２２は互いに独立して開閉してもよい。この場合、第１フィルタ循環バルブ４２２は第１タンク排液工程（ステップＳ１）、第１タンク給液工程（ステップＳ２）、循環処理液交換工程（ステップＳ５）および加熱循環給液工程（ステップＳ６）の少なくともいずれか一つにおいて閉じていてもよい。

また、加熱循環工程（ステップＳ４）において、第１フィルタ循環バルブ４２２および第１内側循環バルブ４３２の少なくともいずれか一方が開いておけばよい。加熱循環工程において、処理液が第１フィルタ循環配管４２および第１内側循環配管４３の少なくともいずれか一方を流れれば、処理液は第１ヒータ３２を通過する。これにより、処理液を規定の温度範囲内とすることができる。もちろん、第１フィルタ循環バルブ４２２が開いていれば、処理液は第１フィルタ３３を通過するので、処理液の不純物濃度も低減せることができる。

ところで、処理液の交換処理の開始時点において、ユニット給液管３０の分岐給液管３０２の内部にも古い処理液が残留している場合がある。このような古い処理液も新しい処理液に交換することが望ましい。

そこで、循環処理液交換工程（ステップＳ５）において、供給ユニット２０はユニット給液管３０（連結管の一例に相当）の分岐給液管３０２の内部の古い処理液を新しい処理液に交換してもよい。具体的には、制御部９０はユニット給液バルブ３４および回収バルブ２３を開いてもよい。これにより、新しい処理液が分岐給液管３０２の内部の古い処理液をノズル１３へ押し出して、ノズル１３から吐出させることができる。ノズル１３から吐出された古い処理液は回収管２２および循環排液管８１を通じて排出される。これによれば、ユニット給液管３０および回収管２２の内部への気体の混入および不純物の流入を抑制しつつ、該内部の古い処理液を新しい処理液に交換することができる。

＜装置構成の変形例＞
上述の例では、第１フィルタ排液管８２は第１フィルタ３３のドレイン口３３ｃに接続されているものの、必ずしもこれに限らない。図１３は、第１フィルタ排液管８２を含む配管系統の一例を概略的に示す図である。図１３の例では、第１フィルタ戻り配管４２１の上流端は第１フィルタ３３の流出口と第１バルブ４０４との間において、外側主循環配管４０（具体的には、往き配管４０１）に接続されている。また、第１フィルタ排液管８２の上流端８２ａは、第１フィルタ３３の流出口と第１バルブ４０４との間において往き配管４０１に接続されている。

このような構造でも、第１フィルタ処理液交換工程において、第１フィルタ排液バルブ８２２を開くと、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液が第１タンク２１ａ内の新しい処理液によって第１フィルタ排液管８２に押し出される。これにより、該流路内の古い処理液を新しい処理液に交換することができる。したがって、その後の循環処理液交換工程において、新しい処理液がより清浄な第１フィルタ３３を通過して、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を押し出す。このため、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部に不純物が残留する可能性を低減させることができる。

また、このような構造でも、加熱循環工程において、第１フィルタ循環バルブ４２２を開くと、第１タンク２１ａ内の処理液が第１フィルタ循環配管４２を通じて第１タンク２１ａに戻る。循環中の処理液は第１フィルタ３３を通過するので、処理液に含まれる不純物濃度を低減させることができる。したがって、次の循環処理液給液工程において、より清浄な処理液が外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を押し出す。このため、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部に残留する不純物をさらに低減させることができる。

なお、第１フィルタ排液管８２の上流端８２ａは、往き配管４０１のうち第１フィルタ３３の流出口と第１バルブ４０４との間の部分、もしくは、第１フィルタ戻り配管４２１のうち往き配管４０１と第１フィルタ循環バルブ４２２との間の部分に接続されていればよい。図１３の例では、第１フィルタ排液管８２の上流端８２ａの接続可能先を太線で模式的に示している。

＜第２の実施の形態＞
図１４は、第２の実施の形態にかかる基板処理装置１００の構成の一例を概略的に示す図である。図１４では、一つの処理ユニット１０に対応する構成が示されている。第２の実施の形態では、供給ユニット２０は第１タンク２１ａおよび第２タンク２１ｂを含んでいる。第２タンク２１ｂは処理液を貯留しており、タンク給液管４４を通じて第１タンク２１ａに処理液を供給する。タンク給液管４４の上流端４４ａは第２タンク２１ｂの例えば底部に接続されており、タンク給液管４４の下流端４４ｂは第１タンク２１ａの例えば天井部に接続されている。つまり、タンク給液管４４の上流端４４ａは第２タンク２１ｂ内において開口しており、タンク給液管４４の下流端４４ｂは第１タンク２１ａ内において開口している。

タンク給液管４４には、第２送液部３７およびタンク給液バルブ４４２が介挿されている。第２送液部３７は、第２タンク２１ｂから第１タンク２１ａに向かって処理液を流す駆動機構であり、例えばポンプである。タンク給液バルブ４４２は第２送液部３７よりも下流側に設けられている。タンク給液バルブ４４２はタンク給液管４４の開閉を切り替える。なお、第２の実施の形態におけるタンク給液管４４およびタンク給液バルブ４４２は、課題を解決するための手段の欄における第１０態様から第１２態様における第１タンク給液管および第１タンク給液バルブ６２にそれぞれ相当する。

図１４の例では、タンク給液管４４には、第２ヒータ３８および第２フィルタ３９も設けられている。第２ヒータ３８は熱電対などの熱源を有しており、タンク給液管４４の内部を流れる処理液を加熱する。図１４の例では、２つの第２ヒータ３８がタンク給液管４４に設けられているものの、１つの第２ヒータ３８が設けられてもよく、３つ以上の第２ヒータ３８が設けられてもよい。図１４の例では、第２ヒータ３８は第２フィルタ３９と第２送液部３７との間に設けられている。第２フィルタ３９は、処理液に含まれる不純物を捕捉する。これにより、第２フィルタ３９よりも下流側の処理液の不純物濃度を低減させることができる。

図１４の例では、外側主循環配管４０の下流端は第２タンク２１ｂに接続されている。つまり、外側主循環配管４０の下流端は第２タンク２１ｂ内で開口している。第１タンク２１ａ、外側主循環配管４０、第２タンク２１ｂおよびタンク給液管４４は、処理液が循環する循環経路を形成する。

タンク給液部６０は第２タンク２１ｂに新しい処理液を供給する。図１４の例では、タンク給液管６１の下流端は第２タンク２１ｂの例えば天井部に接続される。つまり、タンク給液管６１の下流端は第２タンク２１ｂ内で開口している。なお、第２の実施の形態におけるタンク給液管６１およびタンク給液バルブ６２は、課題を解決するための手段の欄における第１０態様から第１２態様における第２タンク給液管および第２タンク給液バルブ６２にそれぞれ相当する。

図１４の例では、循環配管４５、第２フィルタ循環配管４６および第２内側循環配管４７も設けられている。

循環配管４５は戻り配管４５１を含む。戻り配管４５１は、第２フィルタ３９を通過した処理液を第２タンク２１ｂに戻すための配管である。図１４の例では、戻り配管４５１の上流端は第２フィルタ３９とタンク給液バルブ４４２との間においてタンク給液管４４に接続されている。戻り配管４５１の下流端は第２タンク２１ｂの例えば天井部に接続されている。つまり、戻り配管４５１の下流端は第２タンク２１ｂ内で開口する。循環配管４５は、タンク給液管４４の一部と、戻り配管４５１によって構成される。戻り配管４５１には循環バルブ４５２が介挿される。循環バルブ４５２は戻り配管４５１の開閉を切り替える。

第２フィルタ循環配管４６は第２フィルタ戻り配管４６１を含む。第２フィルタ戻り配管４６１は、第２フィルタ３９を通過する処理液を第２タンク２１ｂに戻すための配管である。図１４の例では、第２フィルタ３９はドレイン口３９ｃを有しており、第２フィルタ戻り配管４６１の上流端は第２フィルタ３９のドレイン口３９ｃに接続されている。ドレイン口３９ｃは、第２フィルタ３９の筐体の内部から処理液を排出するための開口である。第２フィルタ３９の筐体の内部空間はフィルタ本体によって、出口空間と入口空間とに仕切られており、ドレイン口３９ｃは出口空間に開口していてもよく、入口空間に開口していてもよい。ここでは、ドレイン口３９ｃは出口空間に開口するものとする。

第２フィルタ戻り配管４６１の下流端は第２タンク２１ｂの例えば天井部に接続され、第２タンク２１ｂ内において開口する。この第２フィルタ循環配管４６は、タンク給液管４４の一部、第２フィルタ３９および第２フィルタ戻り配管４６１によって構成される。第２フィルタ戻り配管４６１には第２フィルタ循環バルブ４６２が介挿されている。第２フィルタ循環バルブ４６２は第２フィルタ戻り配管４６１の開閉を切り替える。

第２内側循環配管４７は第２内側戻り配管４７１を含む。第２内側戻り配管４７１は、第２ヒータ３８を通過した処理液を第２フィルタ３９の通過前に第２タンク２１ｂに戻すための配管であり、第２ヒータ３８と第２フィルタ３９との間においてタンク給液管４４から分岐して第２タンク２１ｂに戻る配管である。つまり、第２内側戻り配管４７１の上流端はタンク給液管４４のうち第２ヒータ３８と第２フィルタ３９との間の部分に接続され、第２内側戻り配管４７１の下流端は第２タンク２１ｂの例えば天井部に接続される。第２内側戻り配管４７１の下流端は第２タンク２１ｂ内で開口する。第２内側循環配管４７はタンク給液管４４の一部および第２内側戻り配管４７１によって構成される。第２内側戻り配管４７１には第２内側循環バルブ４７２が介挿される。第２内側循環バルブ４７２は第２内側戻り配管４７１の開閉を切り替える。

図１４の例では、第２タンク排液管８４および第２フィルタ排液管８５が設けられている。第２タンク排液管８４は、第２タンク２１ｂ内の処理液を排出するための配管である。図１４の例では、第２タンク排液管８４の一部はタンク給液管４４の一部と兼用される。具体的には、第２タンク排液管８４は、タンク給液管４４の一部と、タンク給液管４４から分岐した分岐排液管８４１とによって構成される。分岐排液管８４１の上流端はタンク給液管４４の途中、図１４の例では、第２ヒータ３８と第２フィルタ３９の流入口との間の部分に接続されている。分岐排液管８４１の下流端はドレインタンク８３に接続されている。分岐排液管８４１には、第２タンク排液バルブ８４２が介挿されている。第２タンク排液バルブ８４２は分岐排液管８４１の開閉を切り替える。

第２フィルタ排液管８５は、第２フィルタ３９内の処理液を排出するための配管である。図１４の例では、第２フィルタ排液管８５の一部は、第２フィルタ戻り配管４６１の一部と兼用される。つまり、第２フィルタ排液管８５は、第２フィルタ戻り配管４６１の一部と、第２フィルタ戻り配管４６１から分岐した分岐排液管８５１とによって構成される。分岐排液管８５１は第２フィルタ戻り配管４６１の途中、図１４の例では、第２フィルタ３９のドレイン口３９ｃと第２フィルタ循環バルブ４６２との間の部分に接続されている。分岐排液管８５１の下流端はドレインタンク８３に接続される。分岐排液管８５１には第２フィルタ排液バルブ８５２が介挿される。第２フィルタ排液バルブ８５２は分岐排液管８５１の開閉を切り替える。

図１４の例では、第２タンク２１ｂ内にはセンサ５５が設けられている。センサ５５は、第２タンク２１ｂ内の処理液の貯留量を検出するためのセンサである。具体的な一例として、センサ５５は液面センサを含む。液面センサはレベルセンサとも呼ばれる。液面センサは例えばフロート式のレベルセンサまたは静電容量式のレベルセンサであってもよい。図１４の例では、センサ５５は、第１液面センサ５６、第２液面センサ５７および第３液面センサ５８を含んでいる。第１液面センサ５６、第２液面センサ５７および第３液面センサ５８はそれぞれ第１液面センサ５１、第２液面センサ５２および第３液面センサ５３と同様である。

なお、図１４の例では、１つの第１ヒータ３２が設けられている。この場合、１つの第１ヒータ３２が往き配管４０１内の処理液に与える単位時間当たりの熱量は、２つの第２ヒータ３８がタンク給液管４４内の処理液に与える単位時間当たりの熱量よりも小さい。

＜処理液の交換処理＞
図１５は、第２の実施の形態にかかる処理液の交換処理の一例を示すフローチャートであり、図１６は、第２の実施の形態にかかる処理液の交換処理の一例を示すタイミングチャートである。ここでは一例として、交換処理の実行中において、ユニット給液バルブ３４は常時閉じており、供給ユニット２０は処理ユニット１０に処理液を供給しない。また初期的には、第１送液部３１、第２送液部３７、第１ヒータ３２および第２ヒータ３８は作動しておらず、タンク給液バルブ６２は閉じており、第１バルブ４０４および第２バルブ４０５は開いているものとする。また、以下では、説明の簡単のために、１つの処理ユニット１０に対応する構成に着目して説明を行う。

まず、供給ユニット２０は第２タンク２１ｂ内の処理液を排出する（ステップＳ１０：第２タンク排液工程）。図１７は、第２タンク排液工程を説明するための図である。供給ユニット２０は、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の少なくとも一部を古い処理液で満たした充填状態を維持しながら、第２タンク排液管８４を通じて第２タンク２１ｂ内の古い処理液を排出する。より具体的な一例として、制御部９０は、第１バルブ４０４および第２バルブ４０５を閉じた以後に、第２タンク排液バルブ８４２を開き、第２送液部３７を作動させる。

第１バルブ４０４および第２バルブ４０５が閉じることにより、第１バルブ４０４と第２バルブ４０５との間における外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液は静止する。よって、古い処理液が第１バルブ４０４と第２バルブ４０５との間において、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部に充填されている。ここでは、第１バルブ４０４は後述の循環処理液交換工程（ステップＳ１５：連結管処理液交換工程に相当）の開始まで閉じ、第２バルブ４０５は後述の加熱循環給液工程（ステップＳ１６）の開始まで閉じる。

一方、第２タンク排液バルブ８４２が開き、第２送液部３７が作動することにより、第２タンク２１ｂ内の古い処理液は第２タンク排液管８４を通じてドレインタンク８３に流入する。これにより、第２タンク２１ｂ内の処理液の貯留量は時間の経過とともに低下する。

ここでは一例として、供給ユニット２０は、第２タンク２１ｂ内の古い処理液の貯留量が第１規定量よりも小さくなった状態で、第２タンク排液工程を終了する。例えば、供給ユニット２０は貯留量がほぼゼロとなるまで、第２タンク排液工程を行う。これより、第２タンク２１ｂ内の古い処理液をほぼ全て排出することができる。具体的な一例として、制御部９０は、第１液面センサ５６が処理液の液面を検出した時点から所定の第２タンク排液時間が経過したときに、第２タンク排液バルブ８４２を閉じつつ、第２送液部３７の作動を停止させる。第２タンク排液時間は、第２タンク２１ｂ内の処理液の貯留量がほぼゼロとなるのに十分な時間であり、例えば予め設定される。なお、制御部９０は、処理液の液面が第２送液部３７に達しないように第２タンク排液バルブ８４２を閉じるとよい。言い換えれば、処理液の液面が第２送液部３７に達しないように第２タンク排液時間が予め設定される。

次に、供給ユニット２０が第１タンク２１ａ内の古い処理液を排出しつつ、タンク給液部６０が第２タンク２１ｂに新しい処理液（交換液に相当）を供給する（ステップＳ１１：第１タンク排液および第２タンク給液工程）。図１８は、第１タンク排液および第２タンク給液工程を説明するための図である。制御部９０は第１タンク排液バルブ８０２およびタンク給液バルブ６２を開き、第１送液部３１を作動させる。これにより、第１の実施の形態と同様に、第１タンク２１ａ内の古い処理液は第１タンク排液管８０を通じてドレインタンク８３に流入する。ここでは、第１の実施の形態と同様に、供給ユニット２０は貯留量がほぼゼロとなるまで、第１タンク排液工程を行う。これより、第１タンク２１ａ内の古い処理液をほぼ全て排出することができる。

また、タンク給液バルブ６２が開くことにより、処理液供給源６３からの新しい処理液がタンク給液管６１を通じて第２タンク２１ｂに供給される。これにより、第２タンク２１ｂ内の処理液の貯留量は時間の経過とともに増加する。

供給ユニット２０は、第２タンク２１ｂ内の処理液の貯留量が、後述の第２フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１２）に必要な第３必要量以上となるまで第２タンク給液工程を行う。第３必要量は後に詳述するものの、ここでは、第１液面センサ５６が液面を検出したときの貯留量よりも大きいものとする。例えば制御部９０は、第１液面センサ５６が液面を検出した時点から所定の第２給液設定時間が経過したときに、次の第２フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１３）を実行する。第２給液設定時間は、第２タンク２１ｂ内に第３必要量以上の処理液が貯留されるのに十分な時間に予め設定される。

図１９は、第２フィルタ処理液交換工程を説明するための図である。制御部９０は第２フィルタ排液バルブ８５２を開き、第２送液部３７を作動させる。これにより、第２タンク２１ｂ内の新しい処理液がタンク給液管４４の上流端４４ａに流入し、上流端４４ａから第２フィルタ３９までの流路内の古い処理液を第２フィルタ排液管８５へと押し出す。これにより、古い処理液が第２フィルタ排液管８５を通じてドレインタンク８３に流入する。古い処理液が第２フィルタ３９から排出されると、続いて、新しい処理液が第２フィルタ３９から第２フィルタ排液管８５に流入する。これにより、第２フィルタ３９の内部の古い処理液を新しい処理液に交換することができる。

制御部９０は、第２フィルタ処理液交換工程の開始から、規定の第２フィルタ設定時間が経過したときに、第２フィルタ排液バルブ８５２を閉じて第２フィルタ処理液交換工程を終了する。この第２フィルタ設定時間は、新しい処理液が第２フィルタ３９を通過して第２フィルタ排液管８５に流入するのに十分な時間に予め設定される。

以上のように、第２フィルタ処理液交換工程においては、第２タンク２１ｂ内の新しい処理液が上流端４４ａに流入し、上流端４４ａから第２フィルタ３９までの流路内の古い処理液を第２フィルタ排液管８５に押し出す。そこで、直前の第２タンク給液工程（ステップＳ１１）では、この古い処理液を押し出すことが可能な第３必要量の処理液が第２タンク２１ｂに貯留されるように行われるとよい。第３必要量は、第２フィルタ処理液交換工程の全期間において、新しい処理液の液面が第２送液部３７に達しない程度、より好ましくは、第２タンク２１ｂ内に位置する程度の量である。

図１６の例では、第２フィルタ処理液交換工程において、タンク給液バルブ６２は開いているので、タンク給液部６０は第２タンク２１ｂへの新しい処理液の供給を継続する。この場合、第２送液部３７による処理液の流量は、第２フィルタ処理液交換工程の全期間において、新しい処理液の液面が第２送液部３７に達しない程度、より好ましくは、第２タンク２１ｂ内に位置する程度の値に設定されるとよい。

ところで、図１６の例では、第１タンク排液バルブ８０２が閉じるタイミングと、第２フィルタ排液バルブ８５２が開くタイミングとは互い同じである。つまり、第１タンク２１ａからの処理液の排出および第２タンク２１ｂへの処理液の供給が同じタイミングで完了している。しかしながら、実際にはこれらは互いにずれ得る。第２タンク２１ｂに第３必要量の処理液が貯留された時点で、第１タンク２１ａからの処理液の排出が未だ完了していない場合、供給ユニット２０は、第１タンク２１ａからの処理液の排出の完了を待たずに、次の第２フィルタ処理液交換工程を行うとよい。

第１タンク２１ａからの排液（第１タンク排液工程）および第２フィルタ処理液交換工程が完了したときに、供給ユニット２０は、第２タンク２１ｂから第１タンク２１ａに新しい処理液を供給する（ステップＳ１３：第１タンク給液工程）。図２０は、第１タンク給液工程を説明するための図である。制御部９０はタンク給液バルブ４４２を開き、第２送液部３７を作動させる。これにより、第２タンク２１ｂ内の新しい処理液がタンク給液管４４を通じて第１タンク２１ａに供給される。

直前の第２フィルタ処理液交換工程によって、上流端４４ａから第２フィルタ３９までの流路内の古い処理液は排出されているので、この古い処理液が第１タンク２１ａに供給されることを回避できる。また、第２タンク２１ｂからの新しい処理液はより清浄な第２フィルタ３９を通過するので、より不純物の少ない新しい処理液を第１タンク２１ａに供給できる。

図１６の例では、第１タンク給液工程において、タンク給液バルブ６２は開いているので、タンク給液部６０は第２タンク２１ｂへの新しい処理液の供給を継続する。この場合、第２タンク２１ｂへの処理液の流量および第２送液部３７による処理液の流量は、第１タンク給液工程の全期間において新しい処理液の液面が第２送液部３７に達しない程度、より好ましくは、第２タンク２１ｂ内に位置する程度の値に設定されるとよい。

また、図１６の例では、制御部９０は第１タンク給液工程において、第２ヒータ３８に加熱動作を行わせる。これにより、第１タンク２１ａには、第２ヒータ３８によって加熱された常温よりも高温の処理液が供給される。

供給ユニット２０は、第１タンク２１ａ内の処理液の貯留量が、後述の第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１４）に必要な第４必要量以上となるまで第１タンク給液工程を行う。第４必要量は後に詳述するものの、ここでは、第１液面センサ５１が液面を検出したときの貯留量よりも大きいものとする。例えば制御部９０は、第１液面センサ５１が液面を検出した時点から所定の第１給液設定時間が経過したときに、次の第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１４）を実行する。第１給液設定時間は、第１タンク２１ａ内に第４必要量以上の処理液が貯留されるのに十分な時間に予め設定される。

図２１は、第１フィルタ処理液交換工程を説明するための図である。制御部９０は第１フィルタ排液バルブ８２２を開き、第１送液部３１を作動させる。これにより、第１タンク２１ａ内の新しい処理液がユニット給液管３０の上流端３０ａに流入し、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液を第１フィルタ排液管８２へと押し出して、第１フィルタ排液管８２を通じてドレインタンク８３に排出する。古い処理液が第１フィルタ３３から排出されると、続いて、新しい処理液が第１フィルタ３３から第１フィルタ排液管８２に流入する。これにより、第１フィルタ３３の内部の古い処理液を新しい処理液に交換することができる。

しかも、上述の例では、直前の第１タンク給液工程において第２ヒータ３８が処理液を加熱する。これにより、第１フィルタ処理液交換工程では、加熱された高温の処理液が上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液を押し出す。したがって、低温に起因した古い処理液内の不純物の析出を抑制することができる。

制御部９０は、第１フィルタ処理液交換工程の開始から、規定の第１フィルタ設定時間が経過したときに、第１フィルタ排液バルブ８２２を閉じて第１フィルタ処理液交換工程を終了する。この第１フィルタ設定時間は、新しい処理液が第１フィルタ３３を通過して第１フィルタ排液管８２に流入するのに十分な時間に設定される。

以上のように、第１フィルタ処理液交換工程においては、第１タンク２１ａ内の新しい処理液が上流端３０ａに流入し、上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液を第１フィルタ排液管８２に押し出す。そこで、直前の第１タンク給液工程では、この古い処理液を押し出すことが可能な第４必要量の処理液が第１タンク２１ａに貯留されるように行われるとよい。第４必要量は、第１フィルタ処理液交換工程の全期間において、新しい処理液の液面が第１送液部３１に達しない程度、より好ましくは、第１タンク２１ａ内に位置する程度の量である。

図１６の例では、第１フィルタ処理液交換工程において、タンク給液バルブ６２およびタンク給液バルブ４４２は開いているので、タンク給液部６０による第２タンク２１ｂへの新しい処理液の供給および第２タンク２１ｂから第１タンク２１ａへの新しい処理液の供給が継続される。この場合、第１送液部３１による処理液の流量は、第１フィルタ処理液交換工程の全期間において、新しい処理液の液面が第１送液部３１に達しない程度、より好ましくは、第１タンク２１ａ内に位置する程度の値に設定されるとよい。第２送液部３７による流量も同様である。

次に、供給ユニット２０は、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を新しい処理液に交換する（ステップＳ１５：循環処理液交換工程）。図２２は、循環処理液交換工程を説明するための図である。制御部９０は、第１バルブ４０４および循環排液バルブ８１２を開き、第１送液部３１を作動させる。これにより、より清浄な第１フィルタ３３を通過した新しい処理液が、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を循環排液管８１に押し出して、循環排液管８１を通じてドレインタンク８３に排出する。したがって、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部への気体の混入および不純物の流入を抑制しつつ、該内部の古い処理液を新しい処理液に交換することができる。

循環処理液交換工程において、制御部９０は第１ヒータ３２にも加熱動作を行わせるとよい。これによれば、第１ヒータ３２および第２ヒータ３８によって加熱された高温の新しい処理液が外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を押し出す。よって、低温に起因した古い処理液内の不純物の析出が生じにくく、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部に不純物が残留する可能性を低減させることができる。

図１６の例では、循環処理液交換工程において、タンク給液バルブ６２およびタンク給液バルブ４４２が開いている。よって、第１タンク２１ａおよび第２タンク２１ｂへの新しい処理液の供給は継続される。この場合、第１送液部３１による流量は処理液の液面が第１送液部３１に達しない程度、好ましくは、第１タンク２１ａ内に位置する程度に設定されるとよい。第２送液部３７による流量も同様である。

制御部９０は、循環処理液交換工程の開始から所定の循環設定時間が経過したときに、循環排液バルブ８１２を閉じる。循環設定時間は、新しい処理液が外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３を通過して循環排液管８１に流入するのに十分な時間に予め設定される。

次に、供給ユニット２０は、処理液を循環させつつ、第２タンク２１ｂに処理液を供給する（ステップＳ１６：加熱循環給液工程）。図２３は、加熱循環給液工程を説明するための図である。制御部９０は第２バルブ４０５を開く。第１バルブ４０４、第２バルブ４０５およびタンク給液バルブ４４２が開き、第１送液部３１および第２送液部３７が作動することにより、第１タンク２１ａ内の処理液は、外側主循環配管４０、分岐循環配管４１３、第２タンク２１ｂおよびタンク給液管４４を通じて第１タンク２１ａに戻る。第１ヒータ３２および第２ヒータ３８は循環中の処理液を加熱するので、第１タンク２１ａおよび第２タンク２１ｂ内の処理液の温度を規定の温度範囲内とすることができる。

また、タンク給液バルブ６２が開くことにより、処理液供給源６３から新しい処理液が第２タンク２１ｂに供給される。第１送液部３１および第２送液部３７は適宜に設定された流量で処理液を送出することにより、第１タンク２１ａおよび第２タンク２１ｂ内の処理液の貯留量がそれぞれ規定量に達するように処理液を循環させることができる。第１タンク２１ａおよび第２タンク２１ｂ内の処理液の貯留量がそれぞれ規定量に達すると、制御部９０はタンク給液バルブ６２を閉じる。

＜第２の実施の形態の効果＞
以上のように、本処理液の交換処理によれば、第１タンク２１ａおよび第２タンク２１ｂ内の古い処理液を排出し、新しい処理液を第１タンク２１ａおよび第２タンク２１ｂに貯留することができる。

上述の例では、第２タンク給液工程（ステップＳ１１）において第２タンク２１ｂに新しい処理液を供給した後に、第２フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１２）において、第２タンク２１ｂ内の新しい処理液が上流端４４ａから第２フィルタ３９までの流路内の古い処理液を第２フィルタ排液管８５に押し出す。よって、気体の混入を抑制しつつ、上流端４４ａから第２フィルタ３９までの流路内の古い処理液を新しい処理液に交換することができる。

そして、第２フィルタ処理液交換工程の後に、第１タンク給液工程（ステップＳ１３）が行われる。これにより、上流端４４ａから第２フィルタ３９までの流路内の古い処理液が第１タンク２１ａへ供給される事態を回避することができる。また、新しい処理液はより清浄な第２フィルタ３９を通過して第１タンク２１ａに供給される。したがって、より清浄な処理液を第１タンク２１ａに供給することができる。

また、上述の例では、第１タンク給液工程において第２ヒータ３８によって加熱された新しい処理液が、第１タンク２１ａに供給される。これにより、次の第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１４）において、加熱された高温の処理液が上流端３０ａから第１フィルタ３３までの流路内の古い処理液を押し出す。したがって、気体の混入を抑制しつつ、低温に起因した古い処理液内の不純物の析出も抑制することができる。

そして、循環処理液交換工程（ステップＳ１５）において、清浄な第１フィルタ３３を通過した高温の新しい処理液が外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を循環排液管８１に押し出す。これにより、気体の混入および不純物の残留を抑制しつつ、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液をより清浄な新しい処理液に交換できる。

また、上述の例では、第２タンク２１ｂへの新しい処理液の供給と、第１タンク２１ａからの古い処理液の排出とが並行して行われる（ステップＳ１１）。これにより、処理液の交換処理のスループットを向上させることができる。

また、上述の例では、第１バルブ４０４および第２バルブ４０５の両方が第２タンク排液工程（ステップＳ１０）、第１タンク排液および第２タンク給液工程（ステップＳ１１）、第２フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１２）、第１タンク給液工程（ステップＳ１３）および第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１４）において閉じている（図１６参照）。これにより、第１バルブ４０４と第２バルブ４０５との間において、外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部により確実に古い処理液を充填させることができる。つまり、該内部への気体の混入をより確実に回避することができる。

また、上述の例では、循環処理液交換工程（ステップＳ１５）の前において、処理液を循環させていない。つまり、第１の実施の形態における加熱循環工程（ステップＳ４）を実行していない。これによれば、交換処理に要する時間を短縮することができ、スループットを向上させることができる。

また、上述の例では、第１タンク２１ａと第２タンク２１ｂとの間の第２ヒータ３８および第１タンク２１ａよりも下流側の第１ヒータ３２が処理液を加熱する。よって、第１ヒータ３２のみで処理液を加熱する第１の実施の形態に比べて、処理液に与える熱量を大きくすることができる。したがって、加熱循環工程を省略しても、循環処理液交換工程において、十分に温度が高い処理液を循環させることができる。

第１の実施の形態で説明した各工程にお行ける流量設定は第２実施の形態にも適用できる。また、第１の実施の形態で説明した各種の変形例は第２実施の形態にも適用できる。

以上のように、基板処理装置１００および処理液の交換方法は詳細に説明されたが、上記の説明は、全ての局面において、例示であって、この基板処理装置１００がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この開示の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。上記各実施の形態および各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わせたり、省略したりすることができる。

例えば、第１の実施の形態において、加熱循環工程（ステップＳ４）を行わずに、循環処理液交換工程において第１ヒータ３２が加熱動作を行ってもよい。この場合でも、常温よりも高温の新しい処理液で外側主循環配管４０および分岐循環配管４１３の内部の古い処理液を押し出すことができる。

また、第２の実施の形態において、必要に応じて第１の実施の形態における加熱循環工程（ステップＳ４）を行ってもよい。例えば、第２フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１２）と第１タンク給液工程（ステップＳ１３）との間で加熱循環工程を実行し、該加熱循環工程において循環バルブ４５２および第２フィルタ循環バルブ４６２、第２内側循環バルブ４７２の少なくともいずれか一つを開いてもよい。第１フィルタ処理液交換工程（ステップＳ１４）と循環処理液交換工程（ステップＳ１５）との間でも加熱循環工程を行ってもよい。

１００ 基板処理装置
２１ａ 第１タンク
２１ｂ 第２タンク
３０ 連結管（ユニット給液管）
３０ａ 上流端
３１ 第１送液部
３２ 第１ヒータ
３３ 第１フィルタ
３３ｃ，３９ｃ ドレイン口
３８ 第２ヒータ
３９ 第２フィルタ
４０ 連結管（外側主循環配管）
４０４ 第１バルブ
４０５ 第２バルブ
４１ 連結管（外側従循環配管）
４２１ 第１フィルタ戻り配管
４２２ 第１フィルタ循環バルブ
４３１ 内側戻り配管（第１内側戻り配管）
４３２ 内側循環バルブ（第１内側循環バルブ）
４４ 第１タンク給液管（タンク給液管）
４４２ 第１タンク給液バルブ（タンク給液バルブ）
６１ 第１タンク給液管、第２タンク給液管（タンク給液管）
６２ 第１タンク給液バルブ、第２タンク給液バルブ（タンク給液バルブ）
８０ 第１タンク排液管
８１ 循環排液管
８１２ 循環排液バルブ
８２ 第１フィルタ排液管
８２２ 第１フィルタ循環バルブ
８４ 第２タンク排液管
８４２ 第２タンク排液バルブ
８５ 第２フィルタ排液管
８５２ 第２フィルタ排液バルブ

Claims (13)

1. 処理液を貯留する第１タンクと、
   前記第１タンク内の前記処理液を排出するための第１タンク排液管、および、前記第１タンク排液管に介挿された第１タンク排液バルブを含むタンク排液部と、
   処理液を交換液として前記第１タンクに供給するための第１タンク給液管と、前記第１タンク給液管に介挿された第１タンク給液バルブとを含むタンク給液部と、
   前記第１タンクに接続された上流端を有する連結管と、
   前記連結管に介挿された第１フィルタと、
   前記第１フィルタよりも下流側において前記連結管に介挿された第１バルブと、
   前記第１フィルタのドレイン口、または、前記連結管のうち前記第１フィルタと前記第１バルブとの間の部分に接続された上流端と、前記第１タンクに接続された下流端とを有する第１フィルタ戻り配管と、
   前記第１フィルタ戻り配管に介挿された第１フィルタ循環バルブと、
   前記第１フィルタの前記ドレイン口、前記連結管の前記部分、または、前記第１フィルタ戻り配管のうち前記連結管と前記第１フィルタ循環バルブとの間の部分に接続された上流端を有する第１フィルタ排液管と、
   前記第１フィルタ排液管に介挿された第１フィルタ排液バルブと
   を備える、基板処理装置。
2. 請求項１に記載の基板処理装置であって、
   前記第１フィルタよりも上流側において前記連結管に設けられ、前記連結管を流れる前記処理液を加熱する第１ヒータと、
   前記連結管のうち前記第１ヒータと前記第１フィルタとの間の部分に接続された上流端と、前記第１タンクに接続された下流端とを有する内側戻り配管と、
   前記内側戻り配管に介挿された内側循環バルブと
   をさらに備える、基板処理装置。
3. 請求項１に記載の基板処理装置における処理液の交換方法であって、
   前記第１バルブよりも下流側において前記連結管の内部に前記処理液が満たされた充填状態を維持しながら、前記第１タンク排液バルブを開いて、前記第１タンク排液管を通じて前記第１タンク内の前記処理液を排出する第１タンク排液工程と、
   前記第１タンク排液工程の後に、前記充填状態を維持しながら、前記第１タンク給液バルブを開いて、前記第１タンク給液管を通じて前記第１タンクに前記交換液を供給する第１タンク給液工程と、
   前記充填状態を維持しながら、前記第１フィルタ排液バルブを開いて、前記第１タンク内の前記交換液を前記連結管の前記上流端に流入させ、前記交換液で前記第１フィルタの内部の前記処理液を前記第１フィルタ排液管に押し出す第１フィルタ処理液交換工程と、
   前記第１フィルタ処理液交換工程の後に、前記第１バルブを開いて、前記交換液で前記連結管の内部の前記処理液を押し出して排出する連結管処理液交換工程と
   を備える、処理液の交換方法。
4. 請求項３に記載の処理液の交換方法であって、
   前記第１タンク排液工程、前記第１タンク給液工程および前記第１フィルタ処理液交換工程において、前記第１バルブと、前記第１バルブよりも下流側において前記連結管に介挿された第２バルブとの両方を閉じる、処理液の交換方法。
5. 請求項３または請求項４に記載の処理液の交換方法であって、
   前記連結管処理液交換工程において、第１ヒータによって加熱された前記交換液で前記連結管の内部の前記処理液を押し出す、処理液の交換方法。
6. 請求項３から請求項５のいずれか一つに記載の処理液の交換方法であって、
   前記第１フィルタ処理液交換工程と前記連結管処理液交換工程との間で実行され、前記充填状態を維持しながら、前記第１フィルタ循環バルブを開いて、前記交換液を循環させる循環工程をさらに備える、処理液の交換方法。
7. 請求項５に記載の処理液の交換方法であって、
   前記第１フィルタ処理液交換工程と前記連結管処理液交換工程との間で実行され、前記充填状態を維持しながら、前記第１フィルタよりも上流側において前記連結管に設けられた前記第１ヒータが加熱動作を行い、前記第１フィルタ循環バルブ、または、内側循環バルブを開いて、前記交換液を循環させる加熱循環工程をさらに備え、
   前記内側循環バルブは、前記第１フィルタと前記第１ヒータとの間において前記連結管から分岐して前記第１タンクに戻る内側戻り配管に介挿される、処理液の交換方法。
8. 請求項３から請求項７のいずれか一つに記載の処理液の交換方法であって、
   前記第１タンク排液工程において、前記処理液の液面が、前記連結管に設けられた第１送液部に達するまでに、前記第１タンク排液バルブを閉じる、処理液の交換方法。
9. 請求項３から請求項８のいずれか一つに記載の処理液の交換方法であって、
   前記第１フィルタ処理液交換工程において、前記交換液で前記第１フィルタの内部の前記処理液を、前記第１フィルタのドレイン口に接続された前記第１フィルタ排液管に前記処理液を押し出し、
   前記第１フィルタ処理液交換工程における前記処理液の流量は、前記第１タンク排液工程における前記処理液の流量よりも小さく設定される、処理液の交換方法。
10. 請求項３から請求項９のいずれか一つに記載の処理液の交換方法であって、
    前記第１タンク排液工程よりも前に実行され、前記第１タンク給液管を介して前記第１タンクに接続された第２タンク内の前記処理液を、第２タンク排液バルブを開いて、前記第２タンクに接続され、かつ、前記第２タンク排液バルブが介挿された第２タンク排液管を通じて排出する第２タンク排液工程と、
    前記第２タンク排液工程の後に前記第１タンク排液工程と並行して、第２タンク給液バルブを開いて、前記第２タンクに接続され、かつ、前記第２タンク給液バルブが介挿された第２タンク給液管を通じて、前記交換液を前記第２タンクに供給する第２タンク給液工程と
    を備える、処理液の交換方法。
11. 請求項１０に記載の処理液の交換方法であって、
    前記第２タンク給液工程と前記第１タンク給液工程との間で実行され、前記第１タンク給液管に介挿された第２フィルタのドレイン口または前記第１タンク給液管のうち前記第２フィルタよりも下流側の部分に接続された上流端を有する第２フィルタ排液管に介挿された第２フィルタ排液バルブを開いて、前記第２タンク内の前記交換液を前記第１タンク給液管の上流端に流入させ、前記交換液で前記第２フィルタの内部の前記処理液を前記第２フィルタ排液管に押し出す第２フィルタ処理液交換工程をさらに備える、処理液の交換方法。
12. 請求項１０または請求項１１に記載の処理液の交換方法であって、
    前記第１タンク給液工程において、前記第１タンク給液管に設けられた第２ヒータが加熱動作を行う、処理液の交換方法。
13. 請求項１０から請求項１２のいずれか一つに記載の処理液の交換方法であって、
    前記連結管の下流端は前記第２タンクに接続される、処理液の交換方法。

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