JP2022515786A - 光電子デバイス - Google Patents
光電子デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022515786A JP2022515786A JP2021536250A JP2021536250A JP2022515786A JP 2022515786 A JP2022515786 A JP 2022515786A JP 2021536250 A JP2021536250 A JP 2021536250A JP 2021536250 A JP2021536250 A JP 2021536250A JP 2022515786 A JP2022515786 A JP 2022515786A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film transistor
- light emitting
- emitting diode
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 title claims description 55
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 66
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 112
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 9
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 5
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- -1 Hafnium Nitride Chemical class 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 3
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 3
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N zirconium nitride Chemical compound [Zr]#N ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 2
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- ITWBWJFEJCHKSN-UHFFFAOYSA-N 1,4,7-triazonane Chemical compound C1CNCCNCCN1 ITWBWJFEJCHKSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003363 ZnMgO Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229910001849 group 12 element Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021476 group 6 element Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/62—Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/075—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00
- H01L25/0753—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00 the devices being arranged next to each other
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/16—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
- H01L25/167—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits comprising optoelectronic devices, e.g. LED, photodiodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
- H01L2933/0066—Processes relating to semiconductor body packages relating to arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Abstract
Description
- 絶縁性シード層112 と、
- 絶縁性シード層112 上に少なくとも部分的に載置されている導電性又は半導体のシードパッド114 (絶縁性シード層112 は、シードパッド114 の成長を有利にする材料で形成されている)と、
- 発光ダイオード104 (4つの発光ダイオードが図1に示されており、各発光ダイオード104 は導電性パッド114 上に載置されており、導電性パッド114 は、関連する発光ダイオード104 の一端部と夫々接しており、発光ダイオード104 の導電素子の成長を有利にする材料で形成されている)と、
- 絶縁層112 、各シードパッド114 の一部及び各発光ダイオード104 の下方部分を覆う絶縁層116 と、
- 絶縁層116 内で特定の発光ダイオード104 間に配置された導電性パッド120 と、
- 発光ダイオード104 によって放射される放射光を通して発光ダイオード104 の上方部分及び絶縁層116 を覆い、各発光ダイオード104 の第2の端部及び導電性パッド120 と接し、ひいては全ての発光ダイオード104 に共通する電極を形成する導電層118 と、
- 導電層118 を覆って、少なくとも1つの発光ダイオード104 を夫々包んでいるブロック122 (発光ダイオードを夫々覆っている4つのブロック122 が図1に示されている)と
を有している。
- トランジスタ110 のゲートを形成する半導体又は導電性のブロック134 (各トランジスタ110 のゲートは、不図示の接続部によって相互接続網に第1の表面で接続されており、ブロック134 は絶縁領域135 によって互いに隔てられている)と、
- ブロック134 の第1の表面と反対側の第2の表面を覆って、全てのトランジスタ110 に共通してもよい絶縁層136 と、
- 絶縁層136 の反対側でブロック134 に対向して配置されて、トランジスタ110 のソース領域及びドレイン領域を有している半導体ブロック138 (ブロック134 とブロック138 との間に配置された絶縁層136 の部分がトランジスタ110 のゲート絶縁体を形成している)と
を有している。
- 不図示の半導体基板上へのシード層112 の形成、
- 発光ダイオード104 の形成が望まれているシード層112 の位置でのシードパッド114 の形成、
- シードパッド114 を部分的に覆って発光ダイオード104 の位置を露出したままにする絶縁層116 の第1の部分の形成、
- 絶縁層116 の第1の部分によって露出したままのシードパッド114 の位置での発光ダイオード104 の形成、
- 発光ダイオード104 の下方部分上への絶縁層116 の第2の部分の形成、
- シード層112 から絶縁層116 を通って延びているパッド120 の形成、
- 発光ダイオード104 上及び絶縁層116 上への導電層118 の形成、
- 導電層118 上への光輝性ブロック122 の形成、
- 例えば接合層202 により光輝性ブロック122 に固定されたハンドル200 の形成、並びに
- 不図示の基板の除去
を含む工程後に得られた構造を概略的に示す。
- 絶縁層112 を横切る導電性ビアを有する積層体126 、特に導電素子128 の絶縁層112 上への形成、
- 導電性又は半導体の材料、例えばポリシリコンで形成されて導電素子128 と接しているブロック134 の形成、
- ブロック134 間の絶縁領域135 の形成(絶縁領域135 の厚さはブロック134 の厚さと実質的に等しく、導電素子128 と接する表面と反対側の各ブロック134 の表面を露出したままにすることができる)、
- ブロック134 の露出面上及び絶縁領域135 上への絶縁層136 の形成、
- 絶縁層136, 135、積層体126 の絶縁層及び絶縁層112 を通って導電性パッド120 又は導電性パッド120aに達する導電性ビア144 の形成(1つのビア144 が図示されている)、並びに
- 絶縁層136, 135及び積層体126 の絶縁層を貫通するビア145 の形成
を含む工程後に得られた構造を概略的に示す。
- ブロック134 に対向した半導体ブロック138 の絶縁層136 上への形成、
- 異なるブロック138 のドレイン領域及びソース領域と接する導電性トラック140 の形成、並びに
- ブロック138 上、導電性トラック140 上及び絶縁層136 上への絶縁層142 の形成
を含む工程後に得られた構造を概略的に示す。
- ドレイン領域及びソース領域を形成する2つの半導体ブロック804 と、
- ブロック804 間に延びてブロック804 と接し、トランジスタ800 のチャネルを形成している半導体ブロック806 と、
- 半導体又は導電性材料で形成されて半導体ブロック806 の両側に配置され、トランジスタ800 のゲートを形成して絶縁層802 の領域によってチャネル806 から隔てられているブロック808 と
を有している。
Claims (18)
- 発光ダイオード(104) 、薄膜トランジスタ(110, 504)、及び電気絶縁層の積層体(126) を有する集積回路を備えており、
前記積層体(126) は、前記発光ダイオード(104) 及び前記薄膜トランジスタ(110, 504)の間に配置されており、前記電気絶縁層間に且つ前記電気絶縁層を貫いて導電素子(128, 132, 514) を更に有しており、
前記導電素子(128, 132, 514) は、前記薄膜トランジスタの少なくとも一部を前記発光ダイオード(104) に接続していることを特徴とする光電子デバイス(100, 500, 600, 700)。 - 前記発光ダイオード(104) は、ワイヤ状、円錐状又はテーパ状の半導体素子を有していることを特徴とする請求項1に記載の光電子デバイス。
- 各薄膜トランジスタ(110, 504)は、前記薄膜トランジスタ(110, 504)のゲートを形成する導電性ブロック(134, 510)を有しており、前記導電性ブロックは、電気絶縁性領域(135, 512)によって互いに隔てられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光電子デバイス。
- 各薄膜トランジスタ(110, 504)は、前記薄膜トランジスタ(110, 504)のドレイン領域、ソース領域及びチャネル領域を形成する半導体ブロック(138, 502)を有しており、前記半導体ブロックは、電気絶縁性領域(142, 512)によって互いに隔てられていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載の光電子デバイス。
- 前記薄膜トランジスタ(110, 504)は、前記薄膜トランジスタ(110, 504)の少なくとも2つの段に分散していることを特徴とする請求項1~4のいずれか1つに記載の光電子デバイス。
- 各段は、前記段の全ての薄膜トランジスタ(110, 504)のゲート絶縁体を形成する絶縁層を有していることを特徴とする請求項5に記載の光電子デバイス。
- 各薄膜トランジスタは、ゲート(134, 510)と、前記薄膜トランジスタのソース領域及びドレイン領域を形成する半導体ブロック(138, 502)とを有しており、
前記少なくとも2つの段の内の第1の段の薄膜トランジスタでは、前記第1の段の薄膜トランジスタのゲート(134) が、前記第1の段の薄膜トランジスタの半導体ブロック(138) より前記発光ダイオード(104) に近く、
前記少なくとも2つの段の内の第2の段の薄膜トランジスタでは、前記第2の段の薄膜トランジスタのゲート(510) が、前記第2の段の薄膜トランジスタの半導体ブロック(502) より前記発光ダイオードから離れていることを特徴とする請求項5又は6に記載の光電子デバイス。 - 前記第1の段の薄膜トランジスタは、前記第2の段の薄膜トランジスタより前記発光ダイオード(104) に近いことを特徴とする請求項7に記載の光電子デバイス。
- 前記発光ダイオード(104) 毎に、前記発光ダイオード(104) の第1の端部が前記導電素子(128, 132, 514) の内の1つに接続されていることを特徴とする請求項1~8のいずれか1つに記載の光電子デバイス。
- 前記薄膜トランジスタの内の少なくとも1つでは、前記薄膜トランジスタのソース領域、ドレイン領域及びゲートは同一の絶縁層に配置されていることを特徴とする請求項1~9のいずれか1つに記載の光電子デバイス。
- 集積回路の形成を含む、光電子デバイス(100, 500, 600, 700)を製造する方法であって、
a) 発光ダイオード(104) を形成する工程、
b) 電気絶縁層間に且つ前記電気絶縁層を貫いて導電素子(128, 132, 514) を有する、前記電気絶縁層の積層体(126) を形成する工程、及び
c) 薄膜トランジスタ(110, 504)を形成する工程
を有し、
前記積層体(126) が前記発光ダイオード(104) と前記薄膜トランジスタ(110, 504)との間に配置され、前記導電素子(128, 132, 514) が前記薄膜トランジスタ(110, 504)の少なくとも一部を前記発光ダイオード(104) に接続することを特徴とする方法。 - a)の工程、b)の工程及びc)の工程は順次的であり、
b)の工程で、前記積層体(126) を前記発光ダイオード(104) 上に形成し、
c)の工程で、前記薄膜トランジスタ(110, 504)を前記積層体上に形成することを特徴とする請求項11に記載の方法。 - a)の工程で、ワイヤ状、円錐状又はテーパ状の半導体素子を形成することを特徴とする請求項11又は12に記載の方法。
- a)の工程で、前記発光ダイオード(104) の半導体素子を導電性又は半導体のシードパッド上に成長させることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記シードパッドを除去する工程を有することを特徴とする請求項14に記載の方法。
- c)の工程で、少なくとも2つの段に分散した薄膜トランジスタ(110, 504)を形成することを特徴とする請求項11~15のいずれか1つに記載の方法。
- 各薄膜トランジスタは、ゲート(134, 510)と、前記薄膜トランジスタのソース領域及びドレイン領域を形成する半導体ブロック(138, 502)とを有しており、
前記少なくとも2つの段の内の第1の段の薄膜トランジスタでは、前記第1の段の薄膜トランジスタのゲート(134) を、前記第1の段の薄膜トランジスタの半導体ブロック(138) の前に形成し、
前記少なくとも2つの段の内の第2の段の薄膜トランジスタでは、前記第2の段の薄膜トランジスタのゲート(510) を、前記第2の段の薄膜トランジスタの半導体ブロック(502) の後に形成することを特徴とする請求項16に記載の方法。 - b)の工程及びc)の工程を、150 ℃より低い温度で実行することを特徴とする請求項11~16のいずれか1つに記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1873944A FR3091027B1 (fr) | 2018-12-21 | 2018-12-21 | Dispositif optoélectronique |
FR1873944 | 2018-12-21 | ||
PCT/FR2019/053176 WO2020128341A1 (fr) | 2018-12-21 | 2019-12-19 | Dispositif optoelectronique |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022515786A true JP2022515786A (ja) | 2022-02-22 |
Family
ID=66542439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021536250A Pending JP2022515786A (ja) | 2018-12-21 | 2019-12-19 | 光電子デバイス |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11984549B2 (ja) |
EP (1) | EP3900038A1 (ja) |
JP (1) | JP2022515786A (ja) |
KR (1) | KR20210104825A (ja) |
CN (1) | CN113383416A (ja) |
FR (1) | FR3091027B1 (ja) |
TW (1) | TW202038427A (ja) |
WO (1) | WO2020128341A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3082025B1 (fr) * | 2018-06-04 | 2021-07-16 | Isorg | Dispositif combinant capteur d'images et un écran d'affichage organiques aptes a la détection d'empreintes digitales |
FR3112902B1 (fr) * | 2020-07-22 | 2022-12-16 | Aledia | Dispositif optoélectronique flexible et son procédé de fabrication |
FR3116381B1 (fr) | 2020-11-19 | 2022-12-16 | Commissariat Energie Atomique | Procédé de fabrication d'un dispositif à LED |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016522585A (ja) * | 2013-06-17 | 2016-07-28 | ルクスビュー テクノロジー コーポレイション | 反射バンク構造及び発光デバイスを組み込むための方法 |
US20170358562A1 (en) * | 2016-05-18 | 2017-12-14 | Globalfoundries Inc. | INTEGRATED DISPLAY SYSTEM WITH MULTI-COLOR LIGHT EMITTING DIODES (LEDs) |
US20180175266A1 (en) * | 2016-12-20 | 2018-06-21 | Globalfoundries Inc. | Wafer bond interconnect structures |
US20180233575A1 (en) * | 2017-02-13 | 2018-08-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Semiconductor device and method of fabricating the same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8816383B2 (en) * | 2012-07-06 | 2014-08-26 | Invensas Corporation | High performance light emitting diode with vias |
FR3031238B1 (fr) * | 2014-12-30 | 2016-12-30 | Aledia | Dispositif optoelectronique a diodes electroluminescentes |
US9793252B2 (en) * | 2015-03-30 | 2017-10-17 | Emagin Corporation | Method of integrating inorganic light emitting diode with oxide thin film transistor for display applications |
US10741719B2 (en) * | 2016-03-12 | 2020-08-11 | Faquir Chand Jain | Quantum dot channel (QDC) quantum dot gate transistors, memories and other devices |
TWI626738B (zh) * | 2017-04-06 | 2018-06-11 | 宏碁股份有限公司 | 顯示裝置及其製造方法 |
-
2018
- 2018-12-21 FR FR1873944A patent/FR3091027B1/fr active Active
-
2019
- 2019-12-18 TW TW108146378A patent/TW202038427A/zh unknown
- 2019-12-19 CN CN201980090655.3A patent/CN113383416A/zh active Pending
- 2019-12-19 US US17/414,874 patent/US11984549B2/en active Active
- 2019-12-19 EP EP19848783.7A patent/EP3900038A1/fr active Pending
- 2019-12-19 JP JP2021536250A patent/JP2022515786A/ja active Pending
- 2019-12-19 KR KR1020217022446A patent/KR20210104825A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-12-19 WO PCT/FR2019/053176 patent/WO2020128341A1/fr unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016522585A (ja) * | 2013-06-17 | 2016-07-28 | ルクスビュー テクノロジー コーポレイション | 反射バンク構造及び発光デバイスを組み込むための方法 |
US20170358562A1 (en) * | 2016-05-18 | 2017-12-14 | Globalfoundries Inc. | INTEGRATED DISPLAY SYSTEM WITH MULTI-COLOR LIGHT EMITTING DIODES (LEDs) |
US20180175266A1 (en) * | 2016-12-20 | 2018-06-21 | Globalfoundries Inc. | Wafer bond interconnect structures |
US20180233575A1 (en) * | 2017-02-13 | 2018-08-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Semiconductor device and method of fabricating the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220059743A1 (en) | 2022-02-24 |
EP3900038A1 (fr) | 2021-10-27 |
WO2020128341A1 (fr) | 2020-06-25 |
TW202038427A (zh) | 2020-10-16 |
FR3091027B1 (fr) | 2022-11-18 |
KR20210104825A (ko) | 2021-08-25 |
US11984549B2 (en) | 2024-05-14 |
CN113383416A (zh) | 2021-09-10 |
FR3091027A1 (fr) | 2020-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110265389B (zh) | 包括发光二极管和控制电路的光电子装置 | |
US10084012B2 (en) | Optoelectronic device with light-emitting diodes | |
JP2022515786A (ja) | 光電子デバイス | |
KR101714039B1 (ko) | 발광 소자, 발광 소자 제조방법, 발광 소자 패키지 및 조명 시스템 | |
US9318415B2 (en) | Beol structures incorporating active devices and mechanical strength | |
US10923530B2 (en) | Optoelectronic device with light-emitting diodes | |
US11495714B2 (en) | Device and method for III-V light emitting micropixel array device having hydrogen diffusion barrier layer | |
KR102681469B1 (ko) | 가공된 기판 상의 집적된 디바이스를 위한 시스템 및 방법 | |
US20180337093A1 (en) | Method for forming group iii-v device structure | |
CN104143595B (zh) | 发光器件 | |
KR102633272B1 (ko) | 발광 부품과 트랜지스터를 구비하는 광전자 소자 | |
US11581294B2 (en) | Optoelectronic device with light-emitting diodes | |
US20230299233A1 (en) | Flexible optoelectronic device and process for manufacturing same | |
KR102158510B1 (ko) | 전이금속 화합물 트랜지스터가 집적된 발광다이오드 및 이의 제조방법 | |
US11552125B2 (en) | Method of manufacturing an optoelectronic device comprising a plurality of diodes and an electronic circuit for controlling these diodes | |
CN113745260A (zh) | 包括多个二极管的光电器件的制造方法 | |
CN113823676A (zh) | 半导体装置以及其制作方法 | |
CN113964119A (zh) | 半导体元件 | |
US11605759B2 (en) | Optoelectronic device comprising light-emitting diodes | |
KR20240029832A (ko) | 반도체 장치 | |
CN113678251A (zh) | 用于制造基于led的三维发射型显示屏的方法 | |
KR20210020111A (ko) | 광전자장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210823 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221021 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20240209 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20240319 |