JP2022506331A - 層状構造の電気機械変換器 - Google Patents

層状構造の電気機械変換器 Download PDF

Info

Publication number
JP2022506331A
JP2022506331A JP2021523646A JP2021523646A JP2022506331A JP 2022506331 A JP2022506331 A JP 2022506331A JP 2021523646 A JP2021523646 A JP 2021523646A JP 2021523646 A JP2021523646 A JP 2021523646A JP 2022506331 A JP2022506331 A JP 2022506331A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
electromechanical
layers
electromechanical transducer
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021523646A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2020094559A5 (ja
Inventor
ペトリセヴィック・ライノ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
iNDTact GmbH
Original Assignee
iNDTact GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by iNDTact GmbH filed Critical iNDTact GmbH
Publication of JP2022506331A publication Critical patent/JP2022506331A/ja
Publication of JPWO2020094559A5 publication Critical patent/JPWO2020094559A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302Sensors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H04R17/02Microphones
    • H04R17/025Microphones using a piezoelectric polymer
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/02Forming enclosures or casings
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • H10N30/883Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)

Abstract

【課題】工業的規模の生産に適し、堅牢かつ高い信頼度で動作する電気機械変換器、および関連する製造方法を提供する。【解決手段】層状構造の電気機械変換器1,21,28は、外側が絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域3を、少なくとも1つの平面に有する、第1の層2と、少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第2の層6と、電気機械的な機能素子を含む、第3の層13,22と、少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第4の層15,23と、外側が絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域18を、少なくとも1つの平面に有する、第5の層17,24と、をこの順に備える。【選択図】図1

Description

本発明は、層状構造の電気機械変換器に関する。
EP 2 372 802 A2(特許文献1)には、支持下層と、当該支持下層上に設けられた電気的及び/又は電気機械的な機能素子と、当該機能素子に接続された電気的接点部を有する上層と、を少なくとも備える、電気機械変換器が記載されている。
欧州特許出願公開第2372802号明細書
このような電気機械変換器の商業的採算を取るには、効率的な製造方法が必要となる。つまり、本発明は、工業的規模の生産に適し、堅牢かつ高い信頼度で動作する電気機械変換器を提供する(anzugeben)という目的に基づくものである。さらに、関連する製造方法も提供する(anzugeben)。
この課題を解決するのに、請求項1の構成を備える電気機械変換器が提供される。
本発明にかかる電気機械変換器は、
-外側が絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域を、少なくとも1つの平面に有する、第1の層と、
-少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第2の層と、
-電気機械的な機能素子を含む、第3の層と、
-少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第4の層と、
-外側が絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域を、少なくとも1つの平面に有する、第5の層と、
をこの順に備えた層状構造である。
本発明にかかる電気機械変換器は、層状構造であるため、簡単かつ安価に大量製造できるという点が特徴である。具体的に述べると、外側の層、すなわち、前記第1の層および前記第5の層は、前記電気機械的な機能素子を、電磁場などの外的影響で阻害され得ないようにシールドする役割を果たす。別の利点としては、本発明にかかる電気機械変換器が、層状構造であることによって比較的容易に製造できるという点が挙げられる。具体的に述べると、個々の層を一回の工程で重ね合わせた後、この層状構造(パネル)を分割して個々の変換器を得ることにより、複数の電気機械変換器を製造することが可能である。
本発明にかかる電気機械変換器では、前記第2の層および前記第4の層が接着層として機能する。前記第2の層および前記第4の層は、これにより、隣合う2つの層、すなわち、前記第1の層と前記第3の層、前記第3の層と前記第5の層をそれぞれ結合する。ここで重要なのは、前記第2の層と前記第4の層の両方が、少なくとも一部の点で導電性を有しているということである。これにより、異なる層間で電気的な接続を実現することができる。
本発明の範疇では、前記第1の層および/または前記第5の層が、外部に露出した接点部(Kontaktierung)を有し得る。当該接点部は、例えば導線(Leitung)等の電気接続エレメントを接続する役割を果たし得る。また、本発明の範疇では、前記接点部が、プラグ、ソケット、または電子的なアセンブリとして形成される。前記電気機械変換器に前記接点部が組み込まれている場合、電気的な接続が極めて簡単になる。例えば、前記接点部は、SDカードなどのメモリーカードの場合のような接点部や、携帯電話のSIMカードの場合のような接点部として構成され得る。
極めて有利には、本発明にかかる電気機械変換器の各層が、当該層を隣接する層と導電可能に接続する少なくとも1つの点状電気接触部又は貫通めっき部を有し得る。これにより、層の平面と直交に、一方又は両方の外層へと、電気信号を単一又は複数(冗長)で送り出すことが可能になる。
好ましくは、本発明にかかる電気機械変換器の前記第2から第5の層が、前記第1の層との直接的な又は層を間に介しての間接的な少なくとも1つの導電接続部を有している。これにより、信号の送出や他の理由で必要となった場合に、好ましくは前記第1の層に設けられている前記接点部を、個々の全ての層と電気的に接続することが可能となる。
隣合う2つの層、好ましくは隣合う全ての層を互いに材料結合すると、極めて堅牢な構造の電気機械変換器が生じる。これは、全ての層が互いに強固に結合することで、前記電気機械変換器が安定した構造になるということを意味する。
本発明のさらなる実施形態では、隣合う2つ以上の層、好ましくは隣合う全ての層が、例えば樹脂マトリクス等のポリマーマトリクスの材料結合(stoffschlussig)及び/又は形状係合によって互いに結合しているものとされ得る。具体的に述べると、接着層として機能する前記第2および第4の層は、ポリマーマトリクスで構成されたものとされてもよいし、樹脂マトリクスを含有するものとされてもよい。変形例として、前記第2および第4の層は、接着フィルム、熱可塑性フィルム、または液状もしくは粘性接着剤を具備するものとされてもよい。この点について、前記材料結合(stoffschlussige Verbindung)としては、ポリマー表面とポリマー表面との2つの面を結合するものが想定され得る。しかしながら、前記材料結合(stoffschlussige Verbin-dung)が金属表面と金属表面とを結合するものとされてもよいし、前記材料結合(stoffschlussige Verbindung)がポリマー表面と金属表面とを結合するものとされてもよい。好ましくは、前記材料結合(stoffschlussige Verbindung)が、前記電気機械変換器の20%以上の表面積のポリマー類、特には樹脂マトリクスで形成されている。変形例として、前記材料結合は、樹脂マトリクス系またはポリマー系接着剤によって形成されたものであってもよい。当該接着剤は、加熱、任意で、加圧されながらの加熱により、接着剤として活性化および/または硬化し得る。
本発明の範疇では、前記機能素子が、次の1種のセンサ:圧電センサ;静電容量センサ;インダクティブセンサ;導電率センサ;抵抗型センサ;ピエゾ抵抗型センサ;焦電センサ;位置センサ;ジャイロ;ホールセンサ;磁力計;レーダセンサ;または近接センサ;として構成され得る。上記の各センサは、特定の測定タスクに対して用いられ得る。例えば、上述のセンサは、固体伝播音(すなわち、身体の振動)、力、歪み、曲げ等を検出するのに用いられ得る。前記センサで記録されたこれらの測定値から、さらなる数量を導出又は算出することが可能である。例えば、固体伝播音の振動は、音声信号として検出される場合もある。
本発明にかかる電気機械変換器は、次の少なくとも1つの構成要素:信号増幅器;フィルタ;AD変換器;信号処理制御部;データメモリ;無線データ送信モジュール;ワイヤレス電力伝送モジュール;ASIC(特定用途向け集積回路);DSP(デジタルシグナルプロセッサ);およびFPGA(フィールドプログラマブルゲートアレイ);を含む電子回路を備え得る。
また、本発明の範疇では、本発明にかかる電気機械変換器が、同一又は異なる複数の層を互いに積層してなるものとされる。これらの層の順番は、様々であり得る。例えば、積層される層同士は、対称的に配置されてもよい。本発明にかかる電気機械変換器の少なくとも1層は、繊維強化ポリマーからなり得る。このような繊維強化ポリマー同士を組み付けて層状構造にすることは、極めて簡単である。本発明にかかる電気機械変換器の前記接着層は、少なくとも一部で電気絶縁性を有し得る。導電性化合物は、例えば、カーボン繊維や銀粒子などを化合物として含有した導電性ポリマーによって形成され得る。前記接着層は面内が絶縁されている一方で、少なくとも一部の点でのみ当該層の平面と直交に導電性が存在しているものとされ得る。
本発明の範疇では、1つ以上の機能層を前記電気機械変換器に直接組み込むことが可能である。このような層は、電子部品や、例えば温度センサ、位置センサ、トルクセンサ、加速度センサ等の一種又は他種のセンサや、前述した少なくとも1つの電子回路を含み得る。本発明により、このようなセンサや回路は、簡単かつ安価に接続することが可能である。また、電子部品を完備した印刷回路基板を本発明にかかる変換器に組み込むことも可能である。
本発明にかかる電気機械変換器では、少なくとも1層が、熱硬化性であり得るか又は硬化済みであり得るか又は自己接着性を有し得る。また、前記電気機械変換器は、電気機械的な機能素子を含む層を複数備えることも可能である。好ましくは、前記電気機械変換器の少なくとも1層が、繊維強化ポリマーを含む。好ましくは、前記接着層は、少なくとも一部で且つ/或いは当該接着層が形成する平面と平行方向に、電気絶縁性を有している。
本発明は、さらに、電気機械変換器を製造する方法であって、
-外側が絶縁されている、パターン形成済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域を、少なくとも1つの平面に有する、第1の層を用意する工程と、
-少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第2の層を用意する工程と、
-電気機械的な機能素子を含む、第3の層を用意する工程と、
-少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第4の層を用意する工程と、
-外側が絶縁されている、パターン形成済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域を、少なくとも1つの平面に有する、第5の層を用意する工程と、
-前記第1から第5の層を積層し揃えることによってパネル領域を形成する工程と、
-前記層同士を加圧によって押圧する工程と、
-前記パネル領域を分割する工程と、
備える、方法に関する。
本発明にかかる方法では、前記層同士が、熱を加えて互いに押圧され得る。具体的に述べると、前記層同士は、数分間または数秒間のあいだ、好ましくはほんの一瞬(Sekundenbruchteile)のあいだだけ、互いに押圧され得る。
前記方法の範疇では、少なくとも1層が、押圧前に、洗浄又は表面活性化を施され得る。表面活性化は、プラズマ処理の形態を取り得る。
本発明にかかる方法では、前記接着層として、常温硬化型接着剤、熱可塑性ホットメルト接着剤、または熱硬化性構造用接着剤が用いられ得る。
以下では、本発明のさらなる利点および詳細について、図面を参照しながら例を用いて説明する。図面は、概略的な図である。
本発明にかかる第1の実施形態の電気機械変換器の断面図である。 本発明にかかる第2の実施形態の電気機械変換器の断面図である。 本発明にかかる第3の実施形態の電気機械変換器の断面図である。
図1は、層状構造の電気機械変換器1を示す断面図である。電気機械変換器1は、外側が絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域3を、少なくとも1つの平面に有する、第1の層2を備える。この平面領域3は、電気機械変換器1の外部から電気的に絶縁された外側の層を形成している。第1の層2は、さらに、平面領域3から隔てられた別の平面領域4を有している。これら2つの平面領域3,4は、ポリマーマトリクス5中に埋め込まれることで互いに材料結合している(dadurch stoffschlussig miteinander verbunden)。
第1の層2に続けて、接着層として機能する第2の層6が存在する。当該接着層は、様々に存在する点7で導電性を有している。これらの各点7には、前記接着層を貫通する(quer)電気的接触部、すなわち、当該接着層の一方の側から他方の側への電気的接触部が存在している。前記接着層として機能する第2の層6からは、当該層の平面と直交に接触部8が電気機械変換器1の外表面9へと延びている。接触部8は、そこで終端して接点部10となる。図1では、このほかにも接点部が外表面9に存在している様子が見て取れる。幾つかの接点部11は、平面領域3にまで延びている。接点部12は、外表面9と平面領域4とを接続している。
図1では、接着層として機能する第2の層6の下側に、電気機械的な機能素子を含む第3の層13が位置している。図示の実施形態では、前記電気機械的な機能素子が、例えば圧電センサ14として構成されている。センサ14は、圧電効果を利用したものである。機械的な圧力が加わることで電荷が発生し、これが増幅器へと供給され得る。そして、圧電センサ14により供給された信号が、処理および評価の対象となり得る。
図1では、第3の層13の下側に、接着層として機能する層6と同じ構造の接着層として機能する第4の層15が存在している。接着層として機能する層15は、一部の点で導電性を有している。この目的のために、当該接着層を貫通する接触部が、複数ある点16にて設けられている。前記接着層として機能する層15は、第3の層13と第5の層17とを接続する。第5の層17は、基本的に第1の層2のような構造をしている。第5の層17は、外側が絶縁されている、構造化処理済みの導電性領域18を、1つの平面に有している。第5の層17は、さらに、平面領域18から厚さ方向に隔てられたさらなる平面領域19を有している。これら2つの平面領域18,19は、第1の層2の平面領域3,4と同様に、ポリマーマトリクス20中に埋め込まれている。
接触部8は、外表面9の接点部10から、接着層として機能する第2の層6および接着層として機能する第4の層15を通って第5の層17にまで延びている。第5の層17は、このようにして接点部10と接続されている。これらの各種接点部は、電気機械変換器1を例えば増幅器や評価回路等の外部コンポーネントと電気的に接触させる役割を果たす。
電気機械変換器1の合計5つの層は、ポリマー又は繊維強化ポリマーで構成されており、かつ、必要に応じて当該層内に導電性領域や電気絶縁性領域が設けられている。各層は、当該各層を隣接する1つ以上の層と接続する、少なくとも点状で導電性を有する接触部、二次元接触部又は貫通めっき部を少なくとも1つ有している。
本実施形態で説明した電気機械変換器は、自動化された方法で簡単に大量製造することが可能である。この目的のために、行と列に並んだ複数の電気機械変換器を含んでなるパネルが製作される。個々の層を積層した後、(加熱下等で)加圧成形が実施される。そして、当該パネルが切断されることにより、個々の電気機械変換器が形成される。
図2に、第1の実施形態で説明した変換器と同様の構造の第2の実施形態の電気機械変換器21を示す。そのため、ここでは、対応する構成要素についての詳細な説明を省いている。
電気機械変換器21は、外部から絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する導電性の平面領域3を有する、第1の層2を備える。これに続けて、接着層として機能する第2の層6が存在する。第3の層22は、センサ14として構成された電気機械的な機能素子を含む。図2で第3の層22に対して層6とは反対側に位置した第4の層23は、接着層として機能する。
第5の層24は、外表面9とは反対側の外表面25を形成している。第5の層24は、外側が絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する導電性領域26を有している。図2では、電気機械変換器21が対称的な構造である様子が見て取れる。つまり、2つの同一のセンサ14が存在しており、各センサ14の両側に接着層が設けられている。第5の層24は、図2の下側のセンサの前記接着層と隣接している。内側の2つの接着層間には、中間層27が位置している。
図3には、図2に示す電気機械変換器と同様の構造において図1に示す実施形態のシールド構成とも同様のシールド構成を具備してなる、他の実施形態の電気機械変換器28が描かれている。
1 電気機械変換器
2 第1の層
3 平面領域
4 平面領域
5 ポリマーマトリクス
6 第2の層
7 点
8 接触部
9 外側
10 接点部
11 接点部
12 接点部
13 第3の層
14 センサ
15 第4の層
16 点
17 第5の層
18 平面領域
19 平面領域
20 ポリマーマトリクス
21 電気機械変換器
22 第3の層
23 第4の層
24 第5の層
25 外表面
26 領域
27 中間層
28 電気機械変換器

Claims (19)

  1. 層状構造の電気機械変換器(1,21,28)であって、
    -外側が絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域(3)を、少なくとも1つの平面に有する、第1の層(2)と、
    -少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第2の層(6)と、
    -電気機械的な機能素子を含む、第3の層(13,22)と、
    -少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第4の層(15,23)と、
    -外側が絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域(18)を、少なくとも1つの平面に有する、第5の層(17,24)と、
    をこの順に備える、電気機械変換器。
  2. 請求項1に記載の電気機械変換器において、前記第1の層(2)および/または前記第5の層(17,24)が、外部(9,25)に露出した接点部(8)を有していることを特徴とする、電気機械変換器。
  3. 請求項2に記載の電気機械変換器において、前記接点部(8)が、プラグ、ソケット、または電子的なユニットとして構成されていることを特徴とする、電気機械変換器。
  4. 請求項1から3のいずれか一項に記載の電気機械変換器において、各層(2,5,13,15,17,22,23,24)が、当該層(2,5,13,15,17,22,23,24)を隣接する層(2,5,13,15,17,22,23,24)と導電可能に接続する、少なくとも点状で導電性を有する少なくとも1つの接触部(10,11,12)又は貫通めっき部を有していることを特徴とする、電気機械変換器。
  5. 請求項1から4のいずれか一項に記載の電気機械変換器において、前記第2から第5の層(6,13,15,17,22,23,24)が、前記第1の層(2)との直接的な又は層を間に介しての少なくとも1つの導電接続部を有していることを特徴とする、電気機械変換器。
  6. 請求項1から5のいずれか一項に記載の電気機械変換器において、隣合う2つの層(2,5,13,15,17,22,23,24)、好ましくは隣合う全ての層(2,5,13,15,17,22,23,24)が、材料結合によって互いに結合していることを特徴とする、電気機械変換器。
  7. 請求項6に記載の電気機械変換器において、隣合う少なくとも2つの層(2,5,13,15,17,22,23,24)、好ましくは全ての層(2,5,13,15,17,22,23,24)が、ポリマーマトリクス(5)の材料結合及び/又は形状係合によって互いに結合していることを特徴とする、電気機械変換器。
  8. 請求項6または7に記載の電気機械変換器において、前記材料結合が、当該電気機械変換器(1,21,28)の20%以上の表面積のポリマー類、特には樹脂マトリクスから形成されていることを特徴とする、電気機械変換器。
  9. 請求項1から8のいずれか一項に記載の電気機械変換器において、前記機能素子が、次の1種のセンサ:圧電センサ(14);静電容量センサ;インダクティブセンサ;導電率センサ;抵抗型センサ;ピエゾ抵抗型センサ;焦電センサ;位置センサ;ジャイロ;ホールセンサ;磁力計;レーダセンサ;または近接センサ;として、あるいは、電子回路として構成されていることを特徴とする、電気機械変換器。
  10. 請求項9に記載の電気機械変換器において、前記電子回路が、次の少なくとも1つの構成要素:信号増幅器;フィルタ;AD変換器;信号処理用の制御部;データメモリ;無線データ送信モジュール;ワイヤレス電力伝送用のモジュール;ASIC(特定用途向け集積回路);DSP(デジタルシグナルプロセッサ);およびFPGA(フィールドプログラマブルゲートアレイ);を含むことを特徴とする、電気機械変換器。
  11. 請求項1から10のいずれか一項に記載の電気機械変換器において、少なくとも1層(2,5,13,15,17,22,23,24)が、熱硬化性であるか又は硬化済みであるか又は自己接着性を有していることを特徴とする、電気機械変換器。
  12. 請求項1から11のいずれか一項に記載の電気機械変換器において、電気機械的な機能素子を含む層を複数備えていることを特徴とする、電気機械変換器。
  13. 請求項1から12のいずれか一項に記載の電気機械変換器において、少なくとも1層(2,5,13,15,17,22,23,24)が、繊維強化ポリマーを含むことを特徴とする、電気機械変換器。
  14. 請求項1から13のいずれか一項に記載の電気機械変換器において、前記接着層は、少なくとも一部で且つ/或いは当該接着層が形成する平面と平行方向に、電気絶縁性を有していることを特徴とする、電気機械変換器。
  15. 電気機械変換器(1,21,28)を製造する方法であって、
    -外側が絶縁されている、構造化処理済みの、電気シールドとして機能する少なくとも1つの導電性領域(3)を、少なくとも1つの平面に有する、第1の層(2)を用意する工程と、
    -少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第2の層(6)を用意する工程と、
    -電気機械的な機能素子を含む、第3の層(13,22)を用意する工程と、
    -少なくとも一部の点で導電性を有する接着層として機能する、第4の層(15,23)を用意する工程と、
    -外側が絶縁されている、パターン形成済みの、電気シールド(18)として機能する少なくとも1つの導電性領域を、少なくとも1つの平面に有する、第5の層(17,24)を用意する工程と、
    -前記第1から第5の層(2,5,13,15,17,22,23,24)を積層し揃えることによってパネル領域を形成する工程と、
    -前記層(2,5,13,15,17,22,23,24)同士を加圧によって押圧する工程と、
    -前記パネル領域を分割する工程と、
    備える、方法。
  16. 請求項15に記載の方法において、前記層(2,5,13,15,17,22,23,24)同士が、熱を加えて互いに押圧される、方法。
  17. 請求項15または16に記載の方法において、前記層(2,5,13,15,17,22,23,24)同士が、数分間または数秒間のあいだ、好ましくはほんの一瞬のあいだだけ、互いに押圧される、方法。
  18. 請求項15から17のいずれか一項に記載の方法において、少なくとも1層(2,5,13,15,17,22,23,24)が、押圧前に、プラズマ処理などの洗浄又は表面活性化を施される、方法。
  19. 請求項15から18のいずれか一項に記載の方法において、前記接着層として、常温硬化型接着剤、熱可塑性ホットメルト接着剤、または熱硬化性構造用接着剤が用いられる、方法。
JP2021523646A 2018-11-06 2019-11-04 層状構造の電気機械変換器 Pending JP2022506331A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018127651.6 2018-11-06
DE102018127651.6A DE102018127651A1 (de) 2018-11-06 2018-11-06 Elektromechanischer Wandler mit einem Schichtaufbau
PCT/EP2019/080081 WO2020094559A1 (de) 2018-11-06 2019-11-04 Elektromechanischer wandler mit einem schichtaufbau

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022506331A true JP2022506331A (ja) 2022-01-17
JPWO2020094559A5 JPWO2020094559A5 (ja) 2022-05-26

Family

ID=68468725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021523646A Pending JP2022506331A (ja) 2018-11-06 2019-11-04 層状構造の電気機械変換器

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20210343926A1 (ja)
EP (1) EP3853915B1 (ja)
JP (1) JP2022506331A (ja)
KR (1) KR20210084623A (ja)
CN (1) CN113039656A (ja)
BR (1) BR112021007772A2 (ja)
DE (1) DE102018127651A1 (ja)
WO (1) WO2020094559A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102020107028B4 (de) 2020-03-13 2022-12-29 Technische Universität Chemnitz Piezoelektrische Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1114478A (ja) * 1997-06-26 1999-01-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧力検出装置
JP2003346556A (ja) * 2002-05-24 2003-12-05 Sumitomo Electric Ind Ltd 異方導電材料
JP2008135886A (ja) * 2006-11-27 2008-06-12 Matsushita Electric Works Ltd Baw共振器の製造方法
JP2013048233A (ja) * 2011-08-17 2013-03-07 Boeing Co:The Pztナノ粒子インクベースの圧電センサを製作する方法およびシステム
JP2014170863A (ja) * 2013-03-05 2014-09-18 Sekisui Chem Co Ltd 圧電センサの製造方法
CN104881193A (zh) * 2015-06-02 2015-09-02 南昌欧菲光科技有限公司 触控显示装置、压力触控单元及其制作方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2375175A (en) * 2001-05-03 2002-11-06 Electro Mechanical Assembly Lt Peizoelectric device for detecting or measuring the bending of objects
DE10136402C2 (de) * 2001-07-26 2003-07-31 Fraunhofer Ges Forschung Physikalisch aktives Pflaster und Verfahren zur Herstellung
JP4617078B2 (ja) * 2003-12-08 2011-01-19 北陸電気工業株式会社 積層圧電体及び圧電型振動素子
WO2008106555A2 (en) * 2007-02-27 2008-09-04 Iptrade, Inc. Piezoelectric package with improved lead structure
EP2144290A1 (en) * 2008-07-08 2010-01-13 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Electronic device and method of manufacturing the same
US7656076B1 (en) * 2008-07-15 2010-02-02 Iptrade, Inc. Unimorph/bimorph piezoelectric package
DE102010013565A1 (de) 2010-03-30 2012-01-19 Fludicon Gmbh Elektromechanischer Wandler und Verfahren zur Herstellung des elektromechanischen Wandlers
DE102011086042A1 (de) * 2011-11-09 2013-05-16 Johnson Matthey Catalysts (Germany) Gmbh Biegewandler sowie Mikropumpe mit einem Biegewandler
WO2015041049A1 (ja) * 2013-09-20 2015-03-26 株式会社村田製作所 圧電センサ
DE102016214607B4 (de) * 2016-08-05 2023-02-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Elektronisches Modul und Verfahren zu seiner Herstellung

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1114478A (ja) * 1997-06-26 1999-01-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧力検出装置
JP2003346556A (ja) * 2002-05-24 2003-12-05 Sumitomo Electric Ind Ltd 異方導電材料
JP2008135886A (ja) * 2006-11-27 2008-06-12 Matsushita Electric Works Ltd Baw共振器の製造方法
JP2013048233A (ja) * 2011-08-17 2013-03-07 Boeing Co:The Pztナノ粒子インクベースの圧電センサを製作する方法およびシステム
JP2014170863A (ja) * 2013-03-05 2014-09-18 Sekisui Chem Co Ltd 圧電センサの製造方法
CN104881193A (zh) * 2015-06-02 2015-09-02 南昌欧菲光科技有限公司 触控显示装置、压力触控单元及其制作方法

Also Published As

Publication number Publication date
BR112021007772A2 (pt) 2021-07-27
KR20210084623A (ko) 2021-07-07
WO2020094559A1 (de) 2020-05-14
US20210343926A1 (en) 2021-11-04
EP3853915B1 (de) 2022-11-30
CN113039656A (zh) 2021-06-25
DE102018127651A1 (de) 2020-05-07
EP3853915A1 (de) 2021-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5743040B2 (ja) フレキシブル回路基板、および、フレキシブル回路基板の製造方法
KR101229142B1 (ko) 반도체 장치 및 마이크로폰
CN102986314B (zh) 层叠配线基板及其制造方法
JP2020503606A5 (ja)
CN102688067B (zh) 超声波探头及用于制造超声波探头的方法
JP4180613B2 (ja) センサ装置
US7656076B1 (en) Unimorph/bimorph piezoelectric package
JP4929858B2 (ja) センサ装置
JP5439683B2 (ja) 3d電子モジュール
CN103135112A (zh) 超声波传感器及其制造方法
JP2022506331A (ja) 層状構造の電気機械変換器
KR101696631B1 (ko) 타이어 패치 내 압전 디바이스를 위한 하나는 위, 하나는 아래 접속 구조
US11662262B2 (en) Sensor unit and method of interconnecting a substrate and a carrier
US20180204998A1 (en) Simple-assembly sensing device
JP2006049070A (ja) コネクタ部材
CN108290183A (zh) 具有结构化的金属层的声换能器组件和用于制造具有结构化金属层的声换能器组件的方法
WO2015098723A1 (ja) 圧電センサの製造方法
TWI540773B (zh) 壓力感測器及其製造方法
JP2010119846A5 (ja)
JPWO2020094559A5 (ja)
JP6197954B2 (ja) 部品内蔵基板および部品内蔵基板の製造方法
US7281931B2 (en) Electrical connector for connecting electrical units, electrical device, and production method for producing electrical device
WO2020179731A1 (ja) 振動センサー
CN206260156U (zh) 部件内置基板
WO2010008381A1 (en) Unimorph/bimorph piezoelectric package

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220517

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220517

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230615

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230620

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20230914

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20231116

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231218

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20240312