JP2022176732A - 光学調整装置、光学調整方法、及び、光デバイス - Google Patents

光学調整装置、光学調整方法、及び、光デバイス Download PDF

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Abstract

【課題】別途機器を準備することなく、接続先の光学基板に対する光ファイバーの距離を精度よく測定できる光学調整装置を提供する。【解決手段】光学調整装置１０は、複数の第２の光ファイバー１０６～１０９を有し、複数の第２の光ファイバーを介して単一波長を有する複数の光Ｌ１～Ｌ４を、互いに異なるタイミングで出射する測定光照射部１０３と、第１の光ファイバー１０５及び複数の第２の光ファイバーの出射側端部を保持する光ファイバーブロック１０４と、複数の反射光ＲＬ１～ＲＬ４を、複数の第２の光ファイバーを介して受光して、検出する光検出部１１０と、複数の反射光ごとの強度の時間変化を互いに比較して光学基板１２０に対する光ファイバーブロックの傾きを算出する傾き算出部１１２と、少なくとも１つの強度の時間変化に基づいて光学基板と光ファイバーブロックとの端面間距離を算出する距離算出部と１１３、を備える。【選択図】図１

Description

光ファイバーを、光ファイバーを保持する基板、または、導波路が形成された基板等の接続先の光デバイスの光学基板に対して接続する際、光学基板のコアを伝搬する光の強度が最大となるように、光ファイバーの光軸が調整される。
光ファイバーの光軸の調整は、光ファイバーの出射端面を光学基板の入射端面に近づけながら行われる。光ファイバーの出射端面が、光学基板の入射端面に接触してしまうと、光ファイバー及び光学基板の各端面が損傷するおそれがある。これらの端面の損傷は、光ファイバーから光学基板への光の伝搬効率の低下を招く。
よって、光ファイバーと光学基板との接触を回避するために、光ファイバーと光学基板との端面間距離を測定しながら、光ファイバーの光軸調整が行われる。
特許文献１には、光ファイバーから接続先の光学基板に向けて波長の異なる光を出射し、光学基板からの反射光の強度を測定し、測定された反射光強度の波長依存性に基づいて光ファイバーと光学基板との端面間距離を算出する距離測定装置が開示されている。
特開２０１４－２２８４４４号公報
しかしながら、光ファイバーの出射端面が光学基板の入射端面に対して傾いている場合、光ファイバーによって受光できる光学基板からの反射光が少なくなる。特許文献１の距離測定装置は、光学基板からの反射光に基づいて距離を算出するので、受光される反射光が少なくなると、距離測定の精度が低下する。このため、特許文献１の距離測定装置を使用する場合、距離測定の前に光ファイバーの出射端面と光学基板の入射端面とが平行となるように調整しておく必要がある。
特許文献１の距離測定装置は、接続先の光学基板に対する光ファイバーの傾きを測定することができないので、別途傾きを測定する機器が必要である。
本開示は、別途機器を準備することなく、接続先の光学基板に対する光ファイバーの距離を精度よく測定できる光学調整装置、光学調整方法、及び、光デバイスを提供することを目的とする。
本開示の一態様に係る光学調整装置は、第１の光ファイバーを接続先の光学基板に接続する際に用いられる光学調整装置であって、複数の第２の光ファイバーを有し、前記複数の第２の光ファイバーを介して単一波長を有する複数の光を、互いに異なるタイミングで出射する測定光照射部と、前記第１の光ファイバー及び前記複数の第２の光ファイバーの出射側端部を保持する光ファイバーブロックと、前記光学基板の基板端面で反射した前記複数の光に対応する前記複数の反射光を、前記複数の第２の光ファイバーを介して受光して、検出する光検出部と、前記複数の反射光ごとの強度の時間変化を互いに比較し、比較結果に基づいて前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの傾きを算出する傾き算出部と、前記複数の反射光のうちの少なくとも１つの強度の時間変化に基づいて前記光学基板と前記光ファイバーブロックとの端面間距離を算出する距離算出部と、を備える。
本開示の一態様に係る光学調整方法は、第１の光ファイバーを接続先の光学基板に接続する際に行われる光学調整方法であって、前記第１の光ファイバー及び測定用の複数の第２の光ファイバーの出射側端部を光ファイバーブロックで保持し、前記複数の第２の光ファイバーを介して単一波長を有する複数の光を、互いに異なるタイミングで出射し、前記光学基板の基板端面で反射した前記複数の光に対応する複数の反射光を、前記複数の第２の光ファイバーを介して受光して検出し、前記複数の反射光ごとの強度の時間変化を互いに比較し、比較結果に基づいて前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの傾きを算出し、前記複数の反射光のうちの少なくとも１つの強度の時間変化に基づいて前記光学基板と前記光ファイバーブロックとの端面間距離を算出する。
本開示の一態様に係る光デバイスは、第１の光ファイバーと、導波路を有しており、前記第１の光ファイバーの接続先である光学基板と、前記光学基板に固定された光ファイバーブロックと、を備え、前記光ファイバーブロックは、前記第１の光ファイバーを保持しており、相互に結ぶ複数の線が三角形を構成する複数の挿通孔を有する。
本開示によれば、接続先の光学基板に対する光ファイバーの距離を精度よく測定できる光学調整装置、光学調整方法、及び、光デバイスを提供できる。
図１は、実施形態に係る光学調整装置を示す概略図である。 図２は、実施形態に係る光ファイバーブロックに保持されている光ファイバーの位置関係を示す図である。 図３は、実施形態に係る光学調整装置が実行する光学調整の手順を示すフローチャートである。 図４は、光検出部による反射光の検出結果の一例を示す図である。 図５は、第２の光ファイバーから出射された光が光学基板の基板端面で反射されて反射光として戻る様子を示す図である。 図６は、図４の一部のピークを拡大して示す図である。 図７は、反射光の検出結果と傾きとの対応関係を示す図である。 図８Ａ及び図８Ｂは、異なる位置に光ファイバーブロックが位置しているときの光検出部による反射光の検出結果の一例を示す図である。 図９Ａ及び図９Ｂは、異なる位置に光ファイバーブロックが位置しているときの反射光の違いを示す図である。 図１０は、実施形態に係る光デバイスを示す図である。
以下、本開示の各実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、各図において共通する構成要素については同一の符号を付し、それらの説明は適宜省略する。
図１は、実施形態に係る光学調整装置１０を示す概略図である。光学調整装置１０は、第１の光ファイバー１０５を、接続先の光学基板１２０の導波路１２１に接続する際に、第１の光ファイバー１０５の光軸を調整するために用いられる。具体的には、光学調整装置１０は、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０の傾き、及び、基板端面１３０とブロック端面３０の端面間距離を測定可能に構成されている。光学基板１２０は、例えば、光回路が形成された基板である。なお、基板端面１３０は、第２の光ファイバー１０６～１０９からの光が入射される光学基板１２０の端面であり、ブロック端面３０は、基板端面１３０に対向する光ファイバーブロック１０４の端面である。
本実施形態の説明において、後述の光ファイバーブロック１０４が、光学基板１２０に対して近づく方向をｚ軸正方向とする。また、ｚ軸と右手座標系を構成する２つの方向のうちの一方をｘ軸正方向、及び、他方をｙ軸正方向とする。図１において、手前から奥に向かう方向がｘ軸正方向、上方向がｙ軸正方向、及び、右方向がｚ軸正方向である。
光学調整装置１０は、測定光照射部１０３、光ファイバーブロック１０４、光検出部１１０、算出部１１１、及び、調整装置１１４を備えている。
測定光照射部１０３は、測定用の複数の第２の光ファイバー１０６～１０９を有し、第２の光ファイバー１０６～１０９を介して単一波長を有する複数の光Ｌ１～Ｌ４を、互いに異なるタイミングで出射する。本実施形態では、測定光照射部１０３は、光源１００、サーキュレーター１０１及び光カプラ１０２を有している。
光源１００は、単一波長を有する光Ｌを出射する光出射装置である。サーキュレーター１０１は、光Ｌの進行方向を変更する部品である。
光カプラ１０２は、光源１００から出射された光Ｌを互いに強度が等しい複数の光Ｌ１～Ｌ４に分岐し、光Ｌ１～Ｌ４を複数の第２の光ファイバー１０６～１０９にそれぞれ導光する。
第２の光ファイバー１０６～１０９は、傾き及び距離測定用の光ファイバーである。第２の光ファイバー１０６～１０９は、光ファイバーブロック１０４に保持されている。また、第２の光ファイバー１０６～１０９は、互いに異なる光路長を有している。本実施形態では、第２の光ファイバー１０６、第２の光ファイバー１０７、第２の光ファイバー１０８、及び、第２の光ファイバー１０９の順に長くなる。光カプラ１０２で分岐された光Ｌ１～Ｌ４は、長さが異なる第２の光ファイバー１０６～１０９を介して導光されることで、互いに異なるタイミングで出射される。
光ファイバーブロック１０４は、第１の光ファイバー１０５及び第２の光ファイバー１０６～１０９の出射側端部を保持する部品である。第１の光ファイバー１０５及び第２の光ファイバー１０６～１０９は、それぞれの出射端面がブロック端面３０と面一となるように光ファイバーブロック１０４に配置される。光ファイバーブロック１０４は、例えば、図２に示されているように、ホルダ４１及びリッド４２を有する。ホルダ４１は、第１の光ファイバー１０５が配置される溝が形成されている部品である。リッド４２は、ホルダ４１に対する蓋に相当する部品である。ホルダ４１の溝形成面に対してリッド４２を接触させることで、ホルダ４１の溝とリッド４２の接触面とにより、光ファイバーブロック１０４の中央部分に、第１の光ファイバー１０５を保持する挿通孔５０が形成される。
また、光ファイバーブロック１０４の四隅に挿通孔５１～５４が形成されている。挿通孔５１～５４の中の３つは、相互に結ぶ複数の線が三角形を構成する位置関係にある。
第２の光ファイバー１０６～１０９は、挿通孔５１～５４にそれぞれ挿通されている。よって、第２の光ファイバー１０６～１０９は、第２の光ファイバー１０６～１０９の出射端面のうちの３つの出射端面同士を相互に結ぶ線が三角形を構成するように配置される。
第２の光ファイバー１０６～１０９をこのような配置とすることで、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０の傾きを、互いに直交する２つの軸周りについて測定することができる。
光検出部１１０は、光学基板１２０の基板端面１３０で反射した複数の光Ｌ１～Ｌ４の反射光ＲＬ１～ＲＬ４を、第２の光ファイバー１０６～１０９を介して受光して、反射光ＲＬ１～ＲＬ４の強度を検出する。光検出部１１０は、検出結果を算出部１１１に出力する。なお、複数の反射光ＲＬ１～ＲＬ４は、第２の光ファイバー１０６～１０９によって導光された後、サーキュレーター１０１によって進行方向が変更され、光検出部１１０に導かれる。
算出部１１１は、演算機能を有するコンピュータである。算出部１１１は、傾き算出部１１２及び距離算出部１１３として機能する。算出部１１１は、算出結果を調整装置１１４に出力する。
傾き算出部１１２は、光検出部１１０による検出結果に基づいて、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０の傾きを算出する。距離算出部１１３は、光検出部１１０による検出結果に基づいて、光学基板１２０の基板端面１３０と光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０との端面間距離を算出する。
調整装置１１４は、光ファイバーブロック１０４を保持する駆動装置を含み、傾き調整部１１５、及び、距離調整部１１６として機能する。傾き調整部１１５は、算出された傾きに基づいて光学基板１２０に対する光ファイバーブロック１０４の相対姿勢を調整する。距離調整部１１６は、算出された端面距離に基づいて光学基板１２０に対する光ファイバーブロック１０４の相対距離を調整する。
光学基板１２０に対して第１の光ファイバー１０５を接続するに際して、光学調整装置１０を用いて第１の光ファイバー１０５の光学調整が行われる。本明細書において、光学調整とは、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０の相対姿勢および相対位置を調整することを言う。図３は、実施形態に係る光学調整装置１０が実行する光学調整の手順を示すフローチャートである。図３に示す光学調整装置１０を用いた光学調整方法は、ステップＳ１～Ｓ５による相対姿勢調整工程と、ステップＳ６～Ｓ１０による相対距離調整工程と、を含む。
光学調整に際し、光学調整装置１０の光ファイバーブロック１０４に、第１の光ファイバー１０５及び第２の光ファイバー１０６～１０９が取り付けられる。そして、第１の光ファイバー１０５及び第２の光ファイバー１０６～１０９を保持した光ファイバーブロック１０４は、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０と光学基板１２０の基板端面１３０とが確実に接触しない程度離間されて配置される。この離間距離は、例えば、２０μｍである。
上述したように光ファイバーブロック１０４及び光学基板１２０が設置された状態で、光学調整装置１０は、光検出動作を実行する（ステップＳ１）。ステップＳ１において、光源１００は、光Ｌを出射する。光Ｌは、サーキュレーター１０１を通過し、光カプラ１０２により複数の光Ｌ１～Ｌ４に分岐される。光Ｌ１～Ｌ４は、第２の光ファイバー１０６～１０９の出射端面から光学基板１２０の基板端面１３０に向けて出射される。
第２の光ファイバー１０６～１０９に入射してから出射されるまでの光Ｌ１～Ｌ４の光路長が互いに異なるので、光Ｌ１～Ｌ４は、互いに異なるタイミングで出射される。本実施形態では、光Ｌ１、光Ｌ２、光Ｌ３、光Ｌ４の順に出射される。
出射された光Ｌ１～Ｌ４は、光学基板１２０の基板端面１３０で反射される。そして、それぞれの反射光ＲＬ１～ＲＬ４が第２の光ファイバー１０６～１０９によって受光され、第２の光ファイバー１０６～１０９、光カプラ１０２、及び、サーキュレーター１０１を経て光検出部１１０によって検出される。第２の光ファイバー１０６～１０９の長さの違いに起因して、反射光ＲＬ１～ＲＬ４は互いに異なるタイミングで検出される。本実施形態では、反射光ＲＬ１、反射光ＲＬ２、反射光ＲＬ３、反射光ＲＬ４の順に検出される。
図４は、光検出部１１０による反射光ＲＬ１～ＲＬ４の検出結果の一例を示す図である。縦軸及び横軸は、それぞれ光強度及び時間である。なお、時刻ｔｂは、光源１００が光Ｌを出射した時刻である。
図４のピークＰ１～Ｐ４は、それぞれ、反射光ＲＬ１～ＲＬ４に対応する。時刻ｔｂからピークＰ１～Ｐ４までの時間はそれぞれΔｔ１～Δｔ４であり、第２の光ファイバー１０６～１０９の長さに起因して、Δｔ１＜Δｔ２＜Δｔ３＜Δｔ４となる。ピークＰ１～Ｐ４は、時間幅を有する。以下、その理由について説明する。
図５は、第２の光ファイバー１０６、１０７から出射された光Ｌ１、Ｌ２が光学基板１２０の基板端面１３０で反射されて反射光ＲＬ１、ＲＬ２として第２の光ファイバー１０６、１０７に戻る様子を示す図である。
図５の強度スペクトルＤ１１～Ｄ１４は、それぞれ、第２の光ファイバー１０６から出射される光Ｌ１の強度スペクトル、光学基板１２０へ入射した光Ｌ１の強度スペクトル、光学基板１２０で光Ｌ１が反射した直後の反射光ＲＬ１の強度スペクトル、第２の光ファイバー１０６へ入射した反射光ＲＬ１の強度スペクトルである。
図５の強度スペクトルＤ２１～Ｄ２４は、それぞれ、第２の光ファイバー１０７から出射される光Ｌ２の強度スペクトル、光学基板１２０へ入射した光Ｌ２の強度スペクトル、光学基板１２０で光Ｌ２が反射した直後の反射光ＲＬ２の強度スペクトル、第２の光ファイバー１０７へ入射した反射光ＲＬ２の強度スペクトルである。
第２の光ファイバー１０６～１０９から出射される光Ｌ１～Ｌ４は、第２の光ファイバー１０６～１０９の開口数に対して広がり角度を有している。このため、図５に示されているように、第２の光ファイバー１０６、１０７の中央部分から出射される光（以下、「中央光」と称することもある。）の光軸に対して、第２の光ファイバー１０６、１０７の周縁部分から出射される光（以下、「外周光」と称することもある。）の光軸は、外周側に傾く。
例えば、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０が光学基板１２０の基板端面１３０に平行である場合、中央光は、光学基板１２０の基板端面１３０に垂直に入射し反射するのに対して、外周光は、光学基板１２０の基板端面１３０に対して傾いた方向から入射し、入射角度に応じた方向に反射される。このため、第２の光ファイバー１０６から光Ｌ１が出射されてから反射光ＲＬ１が受光されるまでの中央光及び外周光の光路長に差が生じる。したがって、外周光に基づく反射光ＲＬ１は、中央光に基づく反射光ＲＬ１よりも遅れて第２の光ファイバー１０６に戻る。
このように、第２の光ファイバー１０６の出射端面における光Ｌ１の出射位置（中央部及び周縁部など）に応じて、同じ反射光ＲＬ１であっても検出時刻に差が生じる。よって、図４に示されているように、ピークＰ１～Ｐ４には、時間幅が生じる。
上述したように、図３のステップＳ１において光検出動作が行われた後、光検出部１１０は、反射光ＲＬ１～ＲＬ４の検出結果を算出部１１１に出力する（ステップＳ２）。この検出結果は、図４に示されているような、反射光ＲＬ１～ＲＬ４に対応する複数のピークを有する光強度の時間変化のデータのことである。
続いて、傾き算出部１１２は、光検出部１１０の検出結果に基づいて、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０の傾きを算出し、算出された傾きを傾き調整部１１５に出力する（ステップＳ３）。
以下、ステップＳ３について、ｙ軸周りの傾きθｙを算出することを例に挙げて説明する。なお、本実施形態の説明では、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０が平行であるとき、ｘ軸周りの傾きθｘ及びｙ軸周りの傾きθｙがいずれも０度であるとする。
図６は、第２の光ファイバー１０６、１０７と光ファイバーブロック１０４が図５に示す状態にあるときに検出される光強度の時間変化を示す図である。図６のΔｔ１１及びΔｔ２１は、光源１００が光Ｌを出射した時刻ｔｂから、光検出部１１０が反射光ＲＬ１及び反射光ＲＬ２を検出し始めるまでの時間である。
ピークＰ１及びＰ２の時間における積算値ＡＣ１及びＡＣ２は互いに異なる。また、ピークＰ１及びＰ２における時間幅Ｗ１及びＷ２も互いに異なる。以下、それら理由について説明する。なお、時間幅Ｗ１及びＷ２は、ピークＰ１、Ｐ２において光強度が最大値を示す時刻からピークＰ１、Ｐ２の最遅端を示す時刻までの時間である。
図５に示されているように、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０が光学基板１２０の基板端面１３０に対して所定角度傾いている場合、光Ｌ１、Ｌ２は、光学基板１２０の基板端面１３０に対して傾いて入射する。そして、反射光ＲＬ１、ＲＬ２は、光Ｌ１、Ｌ２の基板端面１３０への入射角度に応じた方向に進行する。このため、反射光ＲＬ１、ＲＬ２の一部は、第２の光ファイバー１０６、１０７に戻らない。その結果、第２の光ファイバー１０６、１０７は、反射光ＲＬ１、ＲＬ２の一部を受光できない。
具体的には、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０が光学基板１２０の基板端面１３０に対して傾いている場合、第２の光ファイバー１０６、１０７のそれぞれの出射端面と光学基板１２０の基板端面１３０との端面間距離が同じにならない。
図５に示すように、端面間距離が長い（図５では、第２の光ファイバー１０７）ほど、反射光ＲＬ１、ＲＬ２の到達位置が第２の光ファイバー１０６、１０７の中心から大きくずれる。このため、第２の光ファイバー１０６、１０７に到達する反射光ＲＬ１、ＲＬ２の光量（強度スペクトルＤ１４、Ｄ２４の網掛け部分）にも違いが生じる。
その結果、図６に示されているように、端面間距離が長いほど、光強度の時間変化におけるピークＰ１、Ｐ２の積算値ＡＣ１、ＡＣ２は小さくなる。
また、端面間距離が長いほど、受光されない外周光が多くなるので、光強度のピークＰ１、Ｐ２は、比較的早く収束し、ピークＰ１、Ｐ２の最大値を示す時刻以降の時間幅Ｗ１、Ｗ２が短くなる。時間幅Ｗ１、Ｗ２は、全ピーク幅のうち、ピークＰ１、Ｐ２に対応する中央光が入射した時刻から、当該中央光の入射後に入射する外周光の入射時刻までの時間に相当する。
傾き算出部１１２は、反射光ＲＬ１及びＲＬ２の強度の時間変化に基づいて、ピークＰ１、Ｐ２の積算値ＡＣ１及びＡＣ２を算出し、互いに比較する。また、反射光ＲＬ３及びＲＬ４の強度の時間変化に基づいて、ピークＰ３、Ｐ４の積算値ＡＣ３及びＡＣ４を算出し、互いに比較する。
また、傾き算出部１１２は、反射光ＲＬ１及びＲＬ２に対応するピークＰ１、Ｐ２の時間幅Ｗ１及びＷ２を算出し、互いに比較する。さらに、傾き算出部１１２は、反射光ＲＬ３及びＲＬ４に対応するピークＰ３、Ｐ４の時間幅Ｗ３及びＷ４を算出し、互いに比較する。
傾き算出部１１２は、以下（Ａ１）、（Ａ２）、（Ａ３）及び（Ａ４）の比較結果に基づいて、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０のｙ軸周りの傾きθｙを算出する。
（Ａ１）積算値ＡＣ１と積算値ＡＣ２との比較結果
（Ａ２）積算値ＡＣ３と積算値ＡＣ４との比較結果
（Ａ３）時間幅Ｗ１と時間幅Ｗ２との比較結果
（Ａ４）時間幅Ｗ３と時間幅Ｗ４との比較結果
また、傾き算出部１１２は、以下（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｂ３）及び（Ｂ４）の比較結果に基づいて、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０のｘ軸周りの傾きθｘを算出する。
（Ｂ１）積算値ＡＣ１と積算値ＡＣ３との比較結果
（Ｂ２）積算値ＡＣ２と積算値ＡＣ４との比較結果
（Ｂ３）時間幅Ｗ１と時間幅Ｗ３との比較結果
（Ｂ４）時間幅Ｗ２と時間幅Ｗ４との比較結果
図７は、上述の（Ａ１）、（Ａ２）、（Ａ３）及び（Ａ４）、並びに、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｂ３）及び（Ｂ４）の比較結果と、傾きθｘ、θｙとの対応関係を示す図である。
積算値ＡＣ１と積算値ＡＣ３とが等しく、積算値ＡＣ２と積算値ＡＣ４とが等しく、時間幅Ｗ１と時間幅Ｗ３とが等しく、時間幅Ｗ２と時間幅Ｗ４とが等しい場合、傾きθｘが０と判定できる。
積算値ＡＣ１が積算値ＡＣ３よりも大きく、積算値ＡＣ２が積算値ＡＣ４よりも大きく、時間幅Ｗ１が時間幅Ｗ３よりも大きく、時間幅Ｗ２は時間幅Ｗ４よりも大きい場合、傾きθｘが正と判定できる。傾きθｘが正の状況とは、第２の光ファイバー１０６、１０７の出射端面が、第２の光ファイバー１０８、１０９の出射端面よりも、光学基板１２０のブロック端面３０に近くなるように、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０が傾いた状況のことである。
積算値ＡＣ１が積算値ＡＣ３よりも小さく、積算値ＡＣ２が積算値ＡＣ４よりも小さく、時間幅Ｗ１が時間幅Ｗ３よりも小さく、時間幅Ｗ２は時間幅Ｗ４よりも小さい場合、傾きθｘが負と判定できる。傾きθｘが負の状況とは、第２の光ファイバー１０６、１０７の出射端面が、第２の光ファイバー１０８、１０９の出射端面よりも光学基板１２０の基板端面１３０から遠くなるように、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０が傾いた状況のことである。
積算値ＡＣ１と積算値ＡＣ２とが等しく、積算値ＡＣ３と積算値ＡＣ４とが等しく、時間幅Ｗ１と時間幅Ｗ２とが等しく、時間幅Ｗ３と時間幅Ｗ４とが等しい場合、傾きθｙが０と判定できる。
積算値ＡＣ１が積算値ＡＣ２よりも大きく、積算値ＡＣ３が積算値ＡＣ４よりも大きく、時間幅Ｗ１が時間幅Ｗ２よりも大きく、時間幅Ｗ３は時間幅Ｗ４よりも大きい場合、傾きθｙが正と判定できる。傾きθｙが正の状況とは、第２の光ファイバー１０６、１０８の出射端面が、第２の光ファイバー１０７、１０９の出射端面よりも、光学基板１２０の基板端面１３０に近くなるように、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０が傾いた状況のことである。
積算値ＡＣ１が積算値ＡＣ２よりも小さく、積算値ＡＣ３が積算値ＡＣ４よりも小さく、時間幅Ｗ１が時間幅Ｗ２よりも小さく、時間幅Ｗ３は時間幅Ｗ４よりも小さい場合、傾きθｙが負と判定できる。傾きθｙが負の状況とは、第２の光ファイバー１０６、１０８の出射端面が、第２の光ファイバー１０７、１０９の出射端面よりも光学基板１２０の基板端面１３０から遠くなるように、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０が傾いた状況のことである。
図３のステップＳ３において傾きθｘ及びθｙが算出された後、傾き調整部１１５は、算出された傾きθｘ及びθｙがいずれも所定角度以下であるか否かを判定する（ステップＳ４）。
傾きθｘ及びθｙの少なくとも一方が所定角度よりも大きい場合（ステップＳ４で“ＮＯ”）、傾き調整部１１５は、算出された傾きθｘ及びθｙに基づいて、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４の相対姿勢を調整する（ステップＳ５）。具体的には、ステップＳ５において、傾き調整部１１５は、傾きθｘ及びθｙが０に近づくように、光ファイバーブロック１０４をｘ軸周り及びｙ軸周りに回転させる。
傾きθｘ及びθｙがいずれも所定角度以下となるまで、すなわち光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０が平行とみなせるまで、ステップＳ１～Ｓ５の処理が実行され、光学基板１２０に対する光ファイバーブロック１０４の傾き（姿勢）が調整される。
傾きθｘ及びθｙがいずれも所定角度以下である場合（ステップＳ４のＹＥＳ）、ステップＳ６以降の処理により、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０と光学基板１２０の基板端面との端面間距離の調整が行われる。
まず、距離調整部１１６は、光ファイバーブロック１０４を、予め定められた設定距離移動させ、光学基板１２０に近づける（ステップＳ６）。
以下、ステップＳ６で移動される前の光ファイバーブロック１０４の位置を第１の位置、第１の位置から設定距離移動された後の光ファイバーブロック１０４の位置を第２の位置と称す。
次に、光学調整装置１０は、光検出動作を実行する（ステップＳ７）。ステップＳ７の処理は、ステップＳ１の処理と同じである。
続いて、光検出部１１０は、反射光ＲＬ１～ＲＬ４の検出結果を算出部１１１に出力する（ステップＳ８）。ステップＳ８の処理は、ステップＳ２の処理と同じである。
次に、距離算出部１１３は、光検出部１１０の検出結果に基づいて、光学基板１２０の基板端面１３０と光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０との端面間距離を算出し、算出された距離を距離調整部１１６に出力する（ステップＳ９）。
具体的には、距離算出部１１３は、光ファイバーブロック１０４が第１の位置に位置していた時の反射光ＲＬ１の強度の時間変化と、光ファイバーブロック１０４が第２の位置に位置しているときの反射光ＲＬ１の強度の時間変化とを比較する。
図８Ａは、第１の位置に光ファイバーブロック１０４が位置しているときの光検出部１１０による反射光ＲＬ１の検出結果の一例を示す図である。図８Ｂは、第２の位置に光ファイバーブロック１０４が位置しているときの光検出部１１０による反射光ＲＬ１の検出結果の一例を示す図である。
図８ＡのΔｔ１１及び図８ＢのΔｔ１２は、光源１００が光Ｌを出射した時刻ｔｂから、光検出部１１０が反射光ＲＬ１を検出し始めるまでの時間であり、反射光ＲＬ１の強度の時間変化におけるピークＰ１１、Ｐ１２の位置を示す時間である。
図８Ａ、図８Ｂに示すように、時間Δｔ１１は、時間Δｔ１２よりも大きい。ピークＰ１１の最大強度Ｉ１１は、ピークＰ１２の最大強度Ｉ１２よりも小さい。また、ピークＰ１１の時間における積算値ＡＣ１１１は、ピークＰ１２の時間における積算値ＡＣ１１２よりも小さい。
時間Δｔ１１が、時間Δｔ１２よりも大きい理由は、光ファイバーブロック１０４が第１の位置に位置するときの反射光ＲＬ１の光路長が、光ファイバーブロック１０４が第２の位置に位置するときの反射光ＲＬ１の光路長よりも長いからである。
以下、積算値ＡＣ１１１が、積算値ＡＣ１１２よりも小さい理由を説明する。
図９Ａ、図９Ｂは、第２の光ファイバー１０６から出射された光Ｌ１が光学基板１２０の基板端面１３０で反射されて反射光ＲＬ１として第２の光ファイバー１０６に戻る様子を示す図である。図９Ａ、図９Ｂは、それぞれ、光ファイバーブロック１０４が第１の位置及び第２の位置にそれぞれ位置しているときの状態を示している。
上述したように、第２の光ファイバー１０６から出射される光Ｌ１は、第２の光ファイバー１０６の開口数に対して広がり角度を有しているので、中央光の光軸に対して、外周光の光軸が外周側に傾く。よって、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０に到達したときの反射光ＲＬ１の照射領域は、第２の光ファイバー１０６の出射端面よりも広がってしまう。したがって、第２の光ファイバー１０６の出射端面の外側に到達した反射光ＲＬ１は、第２の光ファイバー１０６に受光されない。
図９Ａ、図９Ｂに示されているように、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０（第２の光ファイバー１０６の出射端面）が光学基板１２０の基板端面１３０に近いほど、第２の光ファイバー１０６の出射端面に対する反射光ＲＬ１の照射領域の差が小さくなる。よって、第２の光ファイバー１０６に受光される反射光ＲＬ１の光量が多くなり、光検出部１１０によって検出される光量が多くなる。
以上の理由から、積算値ＡＣ１１１は、積算値ＡＣ１１２よりも小さくなる。
また、第２の光ファイバー１０６の出射端面が光学基板１２０の基板端面１３０に近いほど、光Ｌ１が広がりにくく、第２の光ファイバー１０６に対する中心光に基づく反射光と外周光に基づく反射光の到達時刻との差が生じにくい。そのため、ピークＰ１１のピーク幅は、ピークＰ１２のピーク幅よりも大きくなる。
このように、積算値ＡＣ１１１と積算値ＡＣ１１２との差、及び、時間Δｔ１１と時間Δｔ１２との差に基づいて、光学基板１２０の基板端面１３０と光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０との端面間距離を算出することができる。
図３のステップＳ９において端面間距離が算出された後、距離調整部１１６は、算出された端面間距離が、所定距離以下であるか否かを判定する（ステップＳ１０）。算出された端面間距離が、所定距離よりも大きい場合（ステップＳ１０のＮＯ）、距離調整部１１６は、算出された端面間距離に基づいて、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０の相対位置を調整する（ステップＳ１１）。具体的には、距離調整部１１６は、光ファイバーブロック１０４を、第２の位置よりも光学基板１２０に近づける。その後、光学基板１２０の基板端面１３０に対する光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０の距離が所定距離以下となるまで、ステップＳ７～Ｓ１０の処理が実行される。
なお、再度ステップＳ７～Ｓ１０が実行されるときは、光ファイバーブロック１０４を移動させる前の位置を第１の位置、移動させた後の位置を第２の位置として、それぞれにおける反射光ＲＬ１の検出結果に基づいて端面間距離が算出される。
算出された端面間距離が、所定距離以下である場合（ステップＳ１０のＹＥＳ）、光学調整装置１０は、光学調整動作を終了する。
なお、上述の光学調整の後、光学基板１２０の導波路１２１を伝搬する光の強度が最大となるように、ｘｙ平面における光ファイバーブロック１０４の位置が調整される。この調整動作、および、上述の光学調整動作により、第１の光ファイバー１０５の光軸が、光学基板１２０の導波路１２１に対して適切に調整される。
上述した説明では、図３のステップＳ３において、光強度が最大値を示す時刻からピークの最遅端を示す時刻までの時間幅に基づいて、基板端面１３０に対するブロック端面３０の傾きが算出されている。しかしながら、光強度が最大値を示す時刻からピークの最遅端を示す時刻までの時間幅を含むピーク幅に基づいた算出方法であれば、必ずしも、上述の算出方法でなくてもよい。例えば、ピークＰ１～Ｐ４の最早端を示す時刻から最遅端を示す時刻までの時間幅（全ピーク幅）に基づいて傾きが算出されてもよい。
また、図３のステップＳ９において、反射光ＲＬ１に対応するピークＰ１１、Ｐ１２の位置を示す時間として、光源１００が光Ｌを出射した時刻ｔｂから光検出部１１０が反射光ＲＬ１を検出し始めるまでの時間Δｔ１１およびΔｔ１２に代えて、別の時間が用いられていてもよい。例えば、光源１００が光Ｌを出射した時刻ｔｂから、ピークＰ１１、Ｐ１２の最大強度を示す時刻までの時間が用いられてもよい。
＜光デバイス２１０＞
図１０は、本実施形態の光デバイス２１０を示す図である。光デバイス２１０は、第１の光ファイバー１０５と、光学基板１２０と、光ファイバーブロック１０４と、を備えている。光デバイス２１０は、第１の光ファイバー１０５及び測定用の第２の光ファイバー１０６～１０９を保持する光ファイバーブロック１０４が、位置決めされた状態で光学基板１２０に接続されることで形成される。
光デバイス２１０において、光ファイバーブロック１０４と光学基板１２０は、接着剤層２２０により接着され、相対的な位置関係が保持されている。第１の光ファイバー１０５は、光学基板１２０の導波路１２１と光学的に接続される。図１２では、光ファイバーブロック１０４が第２の光ファイバー１０６～１０９を保持しているが、第１の光ファイバー１０５の光学的な調整が完了した後は、必ずしも第２の光ファイバー１０６～１０９を保持していなくてもよい。光ファイバーブロック１０４が第２の光ファイバー１０６～１０９を保持する場合、第２の光ファイバー１０６～１０９は、挿通孔５１～５４にそれぞれ挿通されている。
接着剤層２２０は、光ファイバーブロック１０４を光学基板１２０の基板端面１３０に固定する層である。
以下、光デバイス２１０の形成過程を説明する。
まず、上述の光学調整装置１０を用いて、光学基板１２０に対する第１の光ファイバー１０５の相対姿勢及び相対距離の調整（光学調整動作）を実行する。これにより、光学基板１２０に対する光ファイバーブロック１０４の相対姿勢及び相対距離が適切に調整される。
次に、光学基板１２０の導波路１２１を伝搬する光の強度が最大となるように、ｘｙ平面における光ファイバーブロック１０４の位置が調整される。この調整動作、並びに、上述の光学調整動作により、第１の光ファイバー１０５の光軸が、光学基板１２０の導波路１２１に対して適切に調整される。
次いで、光ファイバーブロック１０４を光学基板１２０に固定する接着剤層２２０を形成する。このとき、接着剤層２２０は、光ファイバーブロック１０４と光学基板１２０が物理的に接続されるように接着剤が塗布され、硬化することで形成される。接着剤には、光に対する屈折率が調整されているものが用いられる。なお、図１２の接着剤層２２０は、光ファイバーブロック１０４の側面と光学基板１２０の基板端面１３０とを接着しているが、光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０と光学基板１２０の基板端面１３０とを接続してもよい。
その後、必要に応じて、第２の光ファイバー１０６～１０９を短く切断する。または、光ファイバーブロック１０４から第２の光ファイバー１０６～１０９を除去する。
以上の過程を経て光デバイス２１０が形成される。
本実施形態の光学調整装置１０は、第１の光ファイバー１０５を接続先の光学基板１２０に接続する際に用いられる光学調整装置１０であって、複数の第２の光ファイバー１０６～１０９を有し、複数の第２の光ファイバー１０６～１０９を介して単一波長を有する複数の光Ｌ１～Ｌ４を、互いに異なるタイミングで出射する測定光照射部１０３と、第１の光ファイバー１０５及び複数の第２の光ファイバー１０６～１０９の出射側端部を保持する光ファイバーブロック１０４と、光学基板１２０の基板端面１３０で反射した複数の光Ｌ１～Ｌ４に対応する複数の反射光ＲＬ１～ＲＬ４を、複数の第２の光ファイバー１０６～１０９を介して受光して、検出する光検出部１１０と、複数の反射光ＲＬ１～ＲＬ４ごとの強度の時間変化を互いに比較し、比較結果に基づいて光学基板１２０に対する光ファイバーブロック１０４の傾きθｘ，θｙを算出する傾き算出部１１２と、複数の反射光ＲＬ１～ＲＬ４のうちの少なくとも１つの強度の時間変化に基づいて光学基板１２０と光ファイバーブロック１０４との端面間距離を算出する距離算出部と、を備える。
光学調整装置１０によれば、接続先の光学基板１２０に対する第１の光ファイバー１０５の傾きθｘ、θｙが測定され、測定された傾きθｘ、θｙに基づいて第１の光ファイバー１０５の傾きθｘ、θｙを適切に調整することで、端面間距離を精度よく測定できる。ひいては、第１の光ファイバー１０５の光軸調整の精度を高めることができる。
また、光学調整装置１０は、光学基板１２０と光ファイバーブロック１０４との端面間距離を精度よく測定できるので、光軸調整時に光学基板１２０の導波路１２１と第１の光ファイバー１０５とが接触するのを回避できる。
特許文献１の距離測定装置は、波長を周期的に変化させる光源を使用する必要がある。また、その距離測定装置は、波長が周期的に変化する光の強度を検出する受光器を使用する必要がある。さらに、距離測定装置は、光源の波長変化と同期した受光器の信号処理を実行できる信号処理装置が必要である。このように、特許文献１の距離測定装置を使用する場合、各装置の高機能化、複雑化、さらには大型化が伴う。
本実施形態の光学調整装置１０は、複数の光Ｌ１～Ｌ４を第２の光ファイバー１０６～１０９を介して互いに異なるタイミングで光学基板１２０に出射して、互いに異なるタイミングで反射光ＲＬ１～ＲＬ４を受光する構成を有するだけである。すなわち、簡易な構成で傾き及び距離の測定を実行できるので、各装置の高機能化、複雑化、及び、大型化が伴わない。このため、傾き及び距離測定用の装置、及び、当該測定に伴う工程の簡略化及び低コスト化を実現できる。
また、複数の第２の光ファイバー１０６～１０９は、出射端面同士を相互に結ぶ複数の線が三角形を構成するように配置された３つの光ファイバー１０６～１０８を含む。よって、互いに直交する２つの軸（ｘ軸及びｙ軸）周りの傾きθｘ、θｙを測定できる。
複数の第２の光ファイバー１０６～１０９は、互いに異なる光路長を有する。これにより、複数の光Ｌ１～Ｌ４の出射タイミングを容易に異ならせることができる。
測定光照射部１０３は、単一波長を有する光を出射する光源１００と、光源１００から出射された光Ｌを互いに強度が等しい複数の光Ｌ１～Ｌ４に分岐し、複数の光Ｌ１～Ｌ４を複数の第２の光ファイバー１０６～１０９にそれぞれ導光する光カプラ１０２と、を備える。
よって、複数の光源１００を準備することなく、光検出部１１０は、反射光ＲＬ１～ＲＬ４を互いに異なるタイミングで検出できる。また、互いに異なる時間帯に、光源１００が第２の光ファイバー１０６～１０９に対して光を出射する必要が無いので、反射光ＲＬ１～ＲＬ４の検出動作を早期に完了させることができる。
傾き算出部１１２は、光学基板１２０に対する光ファイバーブロック１０４のｘ軸（第１の軸）周りの傾きθｘと、ｘ軸（第１の軸）に対して垂直なｙ軸（第２の軸）周りの傾きθｙとを算出する。
よって、光学基板１２０の基板端面１３０に対して光ファイバーブロック１０４のブロック端面３０をより確実に平行にすることができる。
傾きθｘ、θｙを算出する際、傾き算出部１１２は、反射光ＲＬ１～ＲＬ４の強度の時間変化に基づいて、反射光ＲＬ１～ＲＬ４にそれぞれ対応するピークＰ１～Ｐ４の積算値ＡＣ１～ＡＣ４を算出し、積算値ＡＣ１～ＡＣ４を互いに比較する。
また、傾き算出部１１２は、反射光ＲＬ１～ＲＬ４にそれぞれ対応する複数のピークＰ１～Ｐ４のピーク幅を互いに比較する。
そして、傾き調整部１１５は、算出された傾きθｘ，θｙに基づいて光学基板１２０に対する光ファイバーブロック１０４の相対姿勢を調整する。
また、光学調整装置１０は、光学基板１２０に対する光ファイバーブロック１０４の相対距離を調整する距離調整部１１６をさらに備える。
端面間距離を算出する際、距離算出部１１３は、光ファイバーブロック１０４が異なる位置にあるときの反射光ＲＬ１の強度の積算値ＡＣ１１１、ＡＣ１１２の差分に基づいて、光学基板１２０と光ファイバーブロック１０４との端面間距離を算出する。
また、距離算出部１１３は、光ファイバーブロック１０４が異なる位置にあるときの反射光ＲＬ１のピーク位置を示す時間Δｔ１１、Δｔ１２に基づいて、光学基板１２０と光ファイバーブロック１０４との端面間距離を算出する。
本実施形態に係る光デバイス２１０は、第１の光ファイバー１０５と、導波路を有し、第１の光ファイバー１０５の接続先である光学基板１２０と、光学基板１２０に固定された光ファイバーブロック１０４と、を備えている。光デバイス２１０は、上述の光学調整方法を使用して形成されているので、光ファイバーブロック１０４は、第１の光ファイバー１０５を保持するだけでなく、相互に結ぶ複数の線が三角形を構成する挿通孔５１～５４を有する。
また、上述したように、光デバイス２１０は、挿通孔５１～５４に挿通された第２の光ファイバー１０６～１０９を備えていてもよい。
なお、実施形態では、光学調整装置１０について、第１の光ファイバー１０５と、光学基板１２０の導波路１２１との接続を例に挙げて説明したが、第１の光ファイバー１０５と、基板に保持された別の光ファイバーとの接続においても同様に適用できる。
（変形例）
光学調整装置１０は、光カプラ１０２を有していなくてもよい。その場合、第２の光ファイバー１０６～１０９が別々に光源１００に接続される。さらに、第２の光ファイバー１０６～１０９は、互いに同じ長さであってもよい。この場合、光源１００が、それぞれ異なるタイミングで、光Ｌ１～Ｌ４を第２の光ファイバー１０６～１０９に出射する。
光ファイバーブロック１０４は、少なくとも、出射端面同士を相互に結ぶ複数の線が三角形を構成するように配置された３本の第２の光ファイバーを有していればよい。
図３のステップＳ３において、ｙ軸周りの傾きを、上述の（Ａ１）及び（Ａ２）のみに基づいて算出してもよいし、上述の（Ａ３）及び（Ａ４）のみに基づいて算出してもよい。また、ｘ軸周りの傾きを、上述の（Ｂ１）及び（Ｂ２）のみに基づいて算出してもよいし、上述の（Ｂ３）及び（Ｂ４）のみに基づいて算出してもよい。
図３のステップＳ９では、同一の第２の光ファイバーを介して検出された反射光の検出結果同士を比較すればよい。つまり、第２の光ファイバー１０６以外の第２の光ファイバー１０７～１０９を介して検出された反射光ＲＬ２～ＲＬ４の検出結果同士を比較してもよい。また、複数の反射光ＲＬ１～ＲＬ４のそれぞれの検出結果に基づいて端面間距離を算出し、算出した端面間距離の平均をとってもよい。
また、ステップＳ９において、ピークの積算値同士の比較結果のみに基づいて、端面間距離が算出されてもよいし、ピークの位置を示す時間同士の比較結果のみに基づいて距離が算出されてもよい。
本開示は、接続先の光学基板に対する光ファイバーの傾き及び距離を測定する光学調整装置、光学調整方法、及び、光デバイスに好適に利用できる。
１０ 光学調整装置
３０ ブロック端面
４１ ホルダ
４２ リッド
５０ 挿通孔
５１ 挿通孔
５２ 挿通孔
５３ 挿通孔
５４ 挿通孔
１００ 光源
１０１ サーキュレーター
１０２ 光カプラ
１０３ 測定光照射部
１０４ 光ファイバーブロック
１０５ 第１の光ファイバー
１０６ 第２の光ファイバー
１０７ 第２の光ファイバー
１０８ 第２の光ファイバー
１０９ 第２の光ファイバー
１１０ 光検出部
１１１ 算出部
１１２ 傾き算出部
１１３ 距離算出部
１１４ 調整装置
１１５ 傾き調整部
１１６ 距離調整部
１２０ 光学基板
１２１ 導波路
１３０ 基板端面
２１０ 光デバイス
２２０ 接着剤層
ＡＣ１ 積算値
ＡＣ２ 積算値
ＡＣ３ 積算値
ＡＣ４ 積算値
ＡＣ１１１ 積算値
ＡＣ１１２ 積算値
Ｌ 光
Ｐ１ ピーク
Ｐ２ ピーク
Ｐ３ ピーク
Ｐ４ ピーク
Ｐ１１ ピーク
Ｐ１２ ピーク
ＲＬ１ 反射光
ＲＬ２ 反射光
ＲＬ３ 反射光
ＲＬ４ 反射光
ｔｂ 時刻
Ｗ１ 時間幅
Ｗ２ 時間幅
Ｗ３ 時間幅
Ｗ４ 時間幅
Δｔ１１ 時間
Δｔ２１ 時間
Δｔ１２ 時間

Claims (15)

  1. 第１の光ファイバーを接続先の光学基板に接続する際に用いられる光学調整装置であって、
    複数の第２の光ファイバーを有し、前記複数の第２の光ファイバーを介して単一波長を有する複数の光を、互いに異なるタイミングで出射する測定光照射部と、
    前記第１の光ファイバー及び前記複数の第２の光ファイバーの出射側端部を保持する光ファイバーブロックと、
    前記光学基板の基板端面で反射した前記複数の光に対応する前記複数の反射光を、前記複数の第２の光ファイバーを介して受光して、検出する光検出部と、
    前記複数の反射光ごとの強度の時間変化を互いに比較し、比較結果に基づいて前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの傾きを算出する傾き算出部と、
    前記複数の反射光のうちの少なくとも１つの強度の時間変化に基づいて前記光学基板と前記光ファイバーブロックとの端面間距離を算出する距離算出部と、
    を備える、光学調整装置。
  2. 前記複数の第２の光ファイバーは、出射端面同士を相互に結ぶ複数の線が三角形を構成するように配置された３つの光ファイバーを含む、
    請求項１に記載の光学調整装置。
  3. 前記複数の第２の光ファイバーは、互いに異なる光路長を有する、
    請求項２に記載の光学調整装置。
  4. 前記測定光照射部は、
    単一波長を有する光を出射する光源と、
    前記光源から出射された光を互いに強度が等しい前記複数の光に分岐し、前記複数の光を前記複数の第２の光ファイバーにそれぞれ導光する光カプラと、
    を備える、
    請求項３に記載の光学調整装置。
  5. 前記傾き算出部は、第１の軸周りの前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの傾きθｘと、前記第１の軸に対して垂直な第２の軸周りの前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの傾きθｙとを算出する、
    請求項３または４に記載の光学調整装置。
  6. 前記傾き算出部は、前記複数の強度の時間変化に基づいて、前記複数の反射光にそれぞれ対応する複数の強度の積算値を算出し、前記複数の強度の積算値を互いに比較する、
    請求項１から５のいずれかに記載の光学調整装置。
  7. 前記傾き算出部は、前記複数の強度の時間変化における前記複数の反射光にそれぞれ対応する複数のピーク幅を互いに比較する、
    請求項１から６のいずれかに記載の光学調整装置。
  8. 算出された前記傾きに基づいて前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの相対姿勢を調整する傾き調整部をさらに備える、
    請求項１から７のいずれかに記載の光学調整装置。
  9. 前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの相対距離を調整する距離調整部をさらに備える、
    請求項１から８のいずれかに記載の光学調整装置。
  10. 前記距離算出部は、前記光ファイバーブロックが異なる位置にあるときの前記反射光の強度の積算値の差分に基づいて、前記光学基板と前記光ファイバーブロックとの端面間距離を算出する、
    請求項１から９のいずれかに記載の光学調整装置。
  11. 前記距離算出部は、前記光ファイバーブロックが異なる位置にあるときの前記反射光の強度の時間変化におけるピーク位置を示す時間に基づいて、前記光学基板と前記光ファイバーブロックとの端面間距離を算出する、
    請求項１から１０のいずれかに記載の光学調整装置。
  12. 第１の光ファイバーを接続先の光学基板に接続する際に行われる光学調整方法であって、
    前記第１の光ファイバー及び測定用の複数の第２の光ファイバーの出射側端部を光ファイバーブロックで保持し、
    前記複数の第２の光ファイバーを介して単一波長を有する複数の光を、互いに異なるタイミングで出射し、
    前記光学基板の基板端面で反射した前記複数の光に対応する複数の反射光を、前記複数の第２の光ファイバーを介して受光して検出し、
    前記複数の反射光ごとの強度の時間変化を互いに比較し、比較結果に基づいて前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの傾きを算出し、
    前記複数の反射光のうちの少なくとも１つの強度の時間変化に基づいて前記光学基板と前記光ファイバーブロックとの端面間距離を算出する、
    光学調整方法。
  13. 算出された前記傾きに基づいて前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの相対姿勢を調整し、
    算出された前記端面間距離に基づいて前記光学基板に対する前記光ファイバーブロックの相対位置を調整する、
    請求項１２に記載の光学調整方法。
  14. 第１の光ファイバーと、
    導波路を有しており、前記第１の光ファイバーの接続先である光学基板と、
    前記光学基板に固定された光ファイバーブロックと、
    を備え、
    前記光ファイバーブロックは、前記第１の光ファイバーを保持しており、相互に結ぶ複数の線が三角形を構成する複数の挿通孔を有する、
    光デバイス。
  15. 複数の挿通孔に挿通された複数の第２の光ファイバーをさらに備える、
    請求項１４に記載の光デバイス。
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