JP2022163679A5

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Info

Publication number: JP2022163679A5
Application number: JP2021196467A
Authority: JP
Filing date: 2021-12-02
Publication date: 2024-06-03

Description

上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのインプリント装置は、型を用いて基板上のショット領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、前記型と前記基板との間に気体を供給する供給部と、前記型に対して前記基板を移動させながら、未硬化のインプリント材が供給された前記基板上の複数のショット領域に対して前記インプリント処理を連続的に行う動作を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記複数のショット領域のうち前記インプリント処理の対象ショット領域が前記型に対向する第１位置に位置するように前記基板を移動させながら、前記供給部から前記気体を供給する第１動作を制御し、前記複数のショット領域に対する連続的な前記インプリント処理における遅延又は停止に関する情報と、前記第１動作における前記気体の供給を開始するタイミングに関する情報と、前記対象ショット領域に対する前記インプリント処理の前に前記インプリント処理を行ったショット領域において、硬化したインプリント材から前記型を引き離すのに要した時間に関する情報と、前記インプリント処理をスキップすることに関する情報とのうち少なくとも１つの情報に基づいて、前記第１動作の後に前記気体を追加で供給する動作を含む第２動作の実行要否について判定する、ことを特徴とする。

Claims

型を用いて基板上のショット領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、
前記型と前記基板との間に気体を供給する供給部と、
前記型に対して前記基板を移動させながら、未硬化のインプリント材が供給された前記基板上の複数のショット領域に対して前記インプリント処理を連続的に行う動作を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記複数のショット領域のうち前記インプリント処理の対象ショット領域が前記型に対向する第１位置に位置するように前記基板を移動させながら、前記供給部から前記気体を供給する第１動作を制御し、
前記複数のショット領域に対する連続的な前記インプリント処理における遅延又は停止に関する情報と、前記第１動作における前記気体の供給を開始するタイミングに関する情報と、前記対象ショット領域に対する前記インプリント処理の前に前記インプリント処理を行ったショット領域において、硬化したインプリント材から前記型を引き離すのに要した時間に関する情報と、前記インプリント処理をスキップすることに関する情報とのうち少なくとも１つの情報に基づいて、前記第１動作の後に前記気体を追加で供給する動作を含む第２動作の実行要否について判定する、
ことを特徴とするインプリント装置。
前記複数のショット領域に対する連続的な前記インプリント処理における遅延又は停止に関する情報は、前記複数のショット領域に対する連続的な前記インプリント処理において規則的な連続した駆動が行われたか否かに関する情報を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
前記第１動作では、前記対象ショット領域が前記第１位置に位置する前に前記供給部からの前記気体の供給を開始し、前記対象ショット領域が前記第１位置に位置した後、前記型と前記対象ショット領域の上のインプリント材とを接触させる前に前記供給部からの前記気体の供給を停止し、
前記第２動作では、前記対象ショット領域が前記第１位置とは異なる第２位置に位置するように前記基板を移動させ、前記第２位置に位置した前記対象ショット領域が前記第１位置に位置するように前記基板を移動させながら、前記供給部からの前記気体の供給を再開することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
前記第２動作では、前記対象ショット領域が前記第２位置に位置するように前記基板を移動させた後、前記対象ショット領域が前記第１位置に位置するように前記基板を移動させる前に、前記型と前記基板とが接触しない範囲で前記型と前記基板とを近づけ、その後、前記範囲で近づけた前記型と前記基板とを遠ざけることを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
前記第２位置は、前記対象ショット領域の前にインプリント処理が行われたショット領域が前記第１位置に位置している状態において前記対象ショット領域が位置する位置であることを特徴とする請求項３又は４に記載のインプリント装置。
前記第２位置は、前記型と前記対象ショット領域との間における前記気体の基準量からの不足分に応じて決定される位置であることを特徴とする請求項３又は４に記載のインプリント装置。
前記対象ショット領域は、前記基板で最初に前記インプリント処理が行われるショット領域であることを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
前記第２位置は、前記対象ショット領域の次にインプリント処理が行われるショット領域が前記第１位置に位置している状態において前記対象ショット領域が位置する位置であることを特徴とする請求項３乃至６のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
前記第２動作では、前記第１動作により前記対象ショット領域を前記第１位置に位置させた状態を維持しながら、前記供給部から前記気体を供給し、
前記第２動作において前記供給部から供給される前記気体の供給量は、前記第１動作において前記供給部から供給される前記気体の供給量よりも多いことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
前記第１動作では、前記対象ショット領域が前記第１位置に位置する前に前記供給部からの前記気体の供給を開始し、前記対象ショット領域が前記第１位置に位置した後、前記型と前記対象ショット領域の上のインプリント材とを接触させる前に前記供給部からの前記気体の供給を停止することを特徴とする請求項９に記載のインプリント装置。
前記制御部は、前記第１動作において前記供給部から前記気体の供給を開始するタイミングが基準よりも遅れた場合、又は、前記対象ショット領域の前のショット領域に行われたインプリント処理において前記前のショット領域上の硬化したインプリント材から前記型を引き離すのに要した時間が基準よりも長い場合に、前記第２動作を行うと判定することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
前記制御部は、前記対象ショット領域に異物が存在する場合に、前記対象ショット領域に対する前記インプリント処理をスキップする、と判定することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
前記第１動作では、前記対象ショット領域が前記第１位置に位置する前に前記供給部からの前記気体の供給を開始し、前記対象ショット領域が前記第１位置に位置した後、前記供給部からの前記気体の供給を停止し、
前記第２動作では、前記対象ショット領域が前記第１位置に位置している状態において、前記型と前記基板とが接触しない範囲で前記型と前記基板とを近づけ、その後、前記範囲で近づけた前記型と前記基板とを遠ざけることを特徴とする請求項１２に記載のインプリント装置。
型を用いて基板上のショット領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント方法であって、
前記型に対して前記基板を移動させながら、未硬化のインプリント材が供給された前記基板上の複数のショット領域に対して前記インプリント処理を連続的に行う動作を制御する工程を有し、
前記工程では、
前記複数のショット領域のうち前記インプリント処理の対象ショット領域が前記型に対向する第１位置に位置するように前記基板を移動させながら、気体を前記型と前記基板との間に供給する第１動作と、
前記複数のショット領域に対する連続的な前記インプリント処理における遅延又は停止に関する情報と、前記第１動作における前記気体の供給を開始するタイミングに関する情報と、前記対象ショット領域に対する前記インプリント処理の前に前記インプリント処理を行ったショット領域において、硬化したインプリント材から前記型を引き離すのに要した時間に関する情報と、前記インプリント処理をスキップすることに関する情報とのうち少なくとも１つの情報に基づいて、前記第１動作の後に前記気体を追加で供給する動作を含む第２動作の実行要否についての判定と、
を行うことを特徴とするインプリント方法。
請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
処理された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。