JP2022115544A - ガラスフィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラスフィルムの製造コストの低廉化を図る。【解決手段】ガラスフィルムＧの製造方法であって、マザーガラスフィルムＭＧを準備する準備工程Ｓ１と、マザーガラスフィルムＭＧの切断予定線Ｃ２に沿って曲げ応力を付与してマザーガラスフィルムＭＧを切断し、ガラスフィルムＧを得る切断工程Ｓ２と、基準となる大きさを有する基準板ＳＰにガラスフィルムＧを重ね、ガラスフィルムＧの大きさを評価する評価工程Ｓ３とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、ガラスフィルムの製造方法に関する。

ガラスフィルムは、例えば３００μｍ以下の厚みを有する薄板ガラスであり、その製造工程には、大板のマザーガラスフィルムからガラスフィルムを得るために、マザーガラスフィルムをガラスフィルムに応じた所定の大きさに切断する工程が含まれるのが通例である。

この種の切断工程では、レーザー割断が使用される（例えば特許文献１を参照）。レーザー割断では、まず、マザーガラスフィルムの切断予定線（仮想的に存在する線）の一端部に初期クラックを形成する。次に、レーザーにより加熱された加熱領域とこれに追随する冷媒により冷却された冷却領域とを、ガラスフィルムの切断予定線の一端部から他端部に向けて順次に走査していく。これにより、加熱領域と冷却領域との温度差に起因して発生する熱応力によって初期クラックが切断予定線に沿って進展し、マザーガラスフィルムが割断（フルボディ切断）される。

特開２０１１－５７４９４号公報

レーザー割断によりマザーガラスフィルムを切断する場合、切断後の寸法精度は良好であるが、その反面、切断時間がかかる上、レーザーや冷媒等の切断条件の調整に多数の人員を要する。このため、ガラスフィルムの製造コストが高くなるという問題がある。

本発明は、ガラスフィルムの製造コストの低廉化を図ることを課題とする。

（１） 上記の課題を解決するために創案された本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、マザーガラスフィルムを準備する準備工程と、マザーガラスフィルムの切断予定線に沿って曲げ応力を付与してマザーガラスフィルムを切断し、ガラスフィルムを得る切断工程と、基準となる大きさを有する基準板にガラスフィルムを重ね、ガラスフィルムの大きさを評価する評価工程とを備えることを特徴とする。

このようにすれば、切断工程において、マザーガラスフィルムは曲げ応力により切断されるため、レーザー割断に比べて切断時間を短くできる。また、切断工程において、レーザー等の調整が不要となるため、少ない人員で切断を実行できる。この一方で、曲げ応力を付与して切断する場合、レーザー割断に比べて切断後の寸法精度が悪くなる傾向がある。そこで、本願発明では、評価工程において、基準板にガラスフィルムを重ね、ガラスフィルムの大きさを評価している。このような基準板を用いた評価方法であれば、ガラスフィルムの大きさを短時間で効率よく評価できる。したがって、ガラスフィルムの中に評価工程で大きさが不合格と評価される不良品が含まれていても、製造時間や人員を大幅に削減できるため、製造コスト全体としては、切断工程でレーザー割断を用いる場合よりも低廉化を図ることができる。

（２） 上記（１）の構成において、準備工程では、ガラスロールから巻き出されたガラスリボンの切断予定線に沿って曲げ応力を付与してガラスリボンを切断し、マザーガラスフィルムを得てもよい。

このようにすれば、ガラスリボンが巻かれたガラスロールからマザーガラスフィルムを効率よく得ることができる。

（３） 上記（２）の構成において、準備工程では、ガラスロールから巻き出されたガラスリボンを下流側に向かって上方傾斜した第一移送面に沿って案内する第一移送部と、第一移送部の下流側で、ガラスリボンを下流側に向かって下方傾斜した第二移送面に沿って案内する第二移送部と、第一移送部と第二移送部との間の頂部でガラスリボンを下方から支持し、ガラスリボンの切断予定線に沿って曲げ応力を付与する曲げ応力付与部とを備えるガラスリボン切断装置を用いて、ガラスリボンを切断することが好ましい。

このようにすれば、第一移送面及び第二移送面の傾斜に倣って、ガラスリボンには、切断予定線を中心として互いに相反する張力が作用する。この張力は、切断予定線が両側に広がるように作用するため、曲げ応力付与部で付与した曲げ応力と共に、切断予定線に沿った切断を促進する。したがって、ガラスリボンを効率よく切断することが可能となる。

（４） 上記（３）の構成において、ガラスリボン切断装置の曲げ応力付与部の種類を、ガラスリボンの厚みに応じて変更することが好ましい。

このようにすれば、ガラスリボンの厚みに応じて、ガラスリボンに最適な曲げ応力を付与できる。

（５） 上記（１）～（４）のいずれかの構成において、切断工程では、マザーガラスフィルムが載置される載置台と、マザーガラスフィルムを載置台に対して位置決めする位置決め部と、マザーガラスフィルムの切断予定線の両側を載置台側に押え付ける一対の押え部材と、一対の押え部材の間でマザーガラスフィルムを載置台から離れる方向に押圧し、マザーガラスフィルムの切断予定線に沿って曲げ応力を付与する曲げ応力付与部とを備えるマザーガラスフィルム切断装置を用いて、マザーガラスフィルムを切断することが好ましい。

このようにすれば、マザーガラスフィルムが位置決め部によって位置決めされた状態で載置台に載置される。そして、載置台に載置されたマザーガラスフィルムは、切断予定線の両側を一対の押え部材によって押えられた状態で、曲げ応力付与部によって載置台から離れる方向（上方又は下方）に押圧されるため、切断予定線に沿って確実に曲げ応力を付与できる。したがって、マザーガラスフィルムを効率よく切断することが可能となる。

（６） 上記（５）の構成において、マザーガラスフィルム切断装置の曲げ応力付与部の種類を、マザーガラスフィルムの厚みに応じて変更することが好ましい。

このようにすれば、マザーガラスフィルムの厚みに応じて、マザーガラスフィルムに最適な曲げ応力を付与できる。

（７） 上記（５）又は（６）の構成において、マザーガラスフィルムの切断予定線からの距離が変わるように、マザーガラスフィルム切断装置の押え部材の載置台に対する位置を、マザーガラスフィルムの厚みに応じて変更することが好ましい。

このようにすれば、切断予定線に沿って付与される曲げ応力の大きさを簡単かつ確実に調整できる。

（８） 上記（１）～（７）のいずれかの構成において、基準板が、基準板の主表面の輪郭部の少なくとも一部に有色のマーキング部を有することが好ましい。

このようにすれば、有色のマーキング部によってガラスフィルムの端面の位置を把握し易くなるため、ガラスフィルムの大きさを正確に評価することが可能となる。このため、当該構成は、基準板が透明材料から構成されている場合に特に効果がある。

（９） 上記（１）～（８）のいずれかの構成において、基準板が、基材としてガラス板を有することが好ましい。

このようにすれば、基準板の寸法変化や反り等が生じ難くなるため、ガラスフィルムの大きさを正確に評価することが可能となる。特に、基準板は、入手が容易である等の点から、ガラスフィルムと同じマザーガラスフィルムから製造されることが好ましい。

（１０） 上記（１）～（９）のいずれかの構成において、基準板が、ガラスフィルムとの接触面側に緩衝層を有することが好ましい。

このようにすれば、基準板に重ねられたガラスフィルムに傷が付き難くなる。

（１１） 上記（１）～（１０）のいずれかの構成において、評価工程では、基準板にガラスフィルムを重ねた積層体の端面を触診することが好ましい。ここで、触診は、例えば作業者の手指によって行う。

このようにすれば、ガラスフィルムの大きさを簡単かつ迅速に評価できる。

（１２） 上記（１）～（１１）のいずれかの構成において、基準板及びガラスフィルムがそれぞれ矩形状であり、評価工程では、基準板にガラスフィルムを重ねた積層体の四辺のうち、一つの角部で交わる二辺で、基準板及びガラスフィルムをそれぞれ位置決め部に当接させて位置決めし、積層体の残りの二辺で、ガラスフィルムの大きさを評価することが好ましい。

このようにすれば、積層体の二辺で、基準板及びガラスフィルムが位置決め部に当接することによって位置決めされる。つまり、当該積層体の二辺では、基準板の端面とガラスフィルムの端面の位置が揃えられる。一方、積層体の残りの二辺では、基準体とガラスフィルムとの大きさが異なる場合には、基準板の端面とガラスフィルムの端面の位置が異なる。したがって、積層体の残りの二辺のみで、ガラスフィルムの大きさを評価できる。つまり、積層体の四辺全てを評価対象とする必要がないため、ガラスフィルムの大きさを迅速に評価できる。

（１３） 上記（１）～（１２）のいずれかの構成において、評価工程では、ガラスフィルムが基準板よりも大きい場合は、基準板に対するガラスフィルムの食み出し寸法が第一合格しきい値以下であるときにガラスフィルムを良品とし、ガラスフィルムが基準板よりも小さい場合は、ガラスフィルムに対する基準板の食み出し寸法が第二合格しきい値以下であるときにガラスフィルムを良品とすると共に、第一合格しきい値が、第二合格しきい値よりも小さいことが好ましい。

このようにすれば、第一合格しきい値が第二合格しきい値よりも厳しい基準となるため、基準板よりも大きいガラスフィルムが良品とされる確率を下げることができる。このため、基準板の大きさに対応した枠部の内部に、良品とされたガラスフィルムを配置して使用する場合に、ガラスフィルムを配置し易くなる。

（１４） 上記（１）～（１３）のいずれかの構成において、評価工程で良品とされたガラスフィルムは、基準板の大きさに対応した成膜用治具の枠部の内部に配置されることが好ましい。

このようにすれば、ガラスフィルムを成膜用治具の枠部の内部に確実に配置できるため、ガラスフィルムに正確に成膜を行うことができる。

本発明によれば、ガラスフィルムの製造コストの低廉化を図ることができる。

本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法のフロー図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる準備工程を実施するためのガラスリボン切断装置を示す概略正面図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる準備工程を実施するためのガラスリボン切断装置を示す要部拡大正面図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる準備工程を実施するためのガラスリボン切断装置を示す要部拡大斜視図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる準備工程の実施状況を説明するための要部拡大斜視図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる準備工程の実施状況を説明するための要部拡大斜視図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる準備工程を実施するためのガラスリボン切断装置の折割バーの変形例を示す要部拡大正面図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる準備工程を実施するためのガラスリボン切断装置の長さ調整機構を示す概略正面図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる切断工程を実施するためのマザーガラスフィルム切断装置を示す概略斜視図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる切断工程を実施するためのマザーガラスフィルム切断装置を示す概略正面図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる切断工程の実施状況を説明するためのマザーガラスフィルム切断装置を示す概略正面図である。 （ａ）は本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる切断工程を実施するためのマザーガラスフィルム切断装置の折割バーを示す要部拡大正面であり、（ｂ）はその折割バーの変形例を示す要部拡大正面図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる評価工程で用いられる基準板を示す概略平面図である。 図１３のＩ－Ｉ断面図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる評価工程の実施状況を説明するための概略斜視図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる評価工程の実施状況を説明するための要部拡大平面図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる成膜工程の実施状況を説明するための概略斜視図である。 本発明の実施形態に係るガラスフィルムの製造方法に含まれる成膜工程の実施状況を説明するための概略斜視図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。

図１に示すように、本実施形態に係るガラスフィルムの製造方法は、準備工程Ｓ１と、切断工程Ｓ２と、評価工程Ｓ３とを備える。準備工程Ｓ１、切断工程Ｓ２及び評価工程Ｓ３は、温度及び湿度が管理された処理室（例えばクリーンルーム）内で行うことが好ましい。

（準備工程）
図２～図６に示すように、準備工程Ｓ１は、マザーガラスフィルムＭＧを準備する工程であり、本実施形態では、ガラスリボン切断装置１が用いられる。

図２に示すように、ガラスリボン切断装置１は、ガラスロール２と、ガラスロール２から巻き出したガラスリボンＧＲ及び保護リボンＰＲのうちのガラスリボンＧＲのみを切断する切断部３とを備える。ガラスロール２は、キャスター（図示略）により移動可能な台車２ｖに搭載され、切断部３は、キャスター（図示略）により移動可能な基台３ｖ上に配備されている。なお、同図では、便宜上、ガラスリボンＧＲを実線で描き、保護リボンＰＲを鎖線で描いている。

ここで、ガラスリボンＧＲは、厚みが３００μｍ以下、２００μｍ以下または１００μｍ以下であり、幅寸法が１００ｍｍ～２０００ｍｍまたは５００ｍｍ～１０００ｍｍである。また、保護リボンＰＲは、樹脂または発泡樹脂からなり、厚みが２００μｍ以下であり、幅方向両端が、ガラスリボンＧＲの幅方向両端から食み出している。

切断部３は、曲げ応力付与部としての円柱状または円筒状の折割バー４を有する。折割バー４は、基台３ｖ上に枠部材３ｗを用いて固定された支持部材３ｘの上端に固定設置されている。この場合、折割バー４は、ガラスロール２におけるガラスリボンＧＲ及び保護リボンＰＲの巻き出し開始部２ｚよりも高い位置に配置されている。詳しくは、ガラスロール２の巻き出し開始部２ｚが、ガラスロール２の下端部に位置している。また、ガラスロール２は、ガラスリボンＧＲの外周側に保護リボンＰＲが巻き掛けられており、保護リボンＰＲの上にガラスリボンＧＲが重ねられた状態で巻き出されていく。加えて、ガラスロール２の巻き出し開始部２ｚ（厳密には、ガラスロール２が最小径になる際の巻き出し開始部２ｚ）よりも折割バー４が高い位置に配置されている。両リボンＧＲ、ＰＲは、ガラスロール２の巻き出し開始部２ｚから折割バー４に掛け渡されている。

さらに、切断部３は、折割バー４の後方に配置された第一移送部としての第一テーブル５と、折割バー４の前方に配置された第二移送部としての第二テーブル６とを有する。なお、以下の説明で、「後方」とは、巻き出されたガラスリボンＧＲの移送方向の上流側を意味し、紙面における左側である。また、「前方」とは、巻き出されたガラスリボンＧＲの移送方向の下流側を意味し、紙面における右側である。

図３及び図４に示すように、第一テーブル５は、前方に向かって上昇傾斜し、第二テーブル６は、前方に向かって下降傾斜している。図例では、第一テーブル５及び第二テーブル６は、折割バー４から僅かに離反しているが、折割バー４に接触していてもよい。また、第一テーブル５は、固定設置されているのに対し、第二テーブル６は、折割バー４側の端部を支点として、図２に実線で示す定位置から鎖線で示す位置まで回動可能とされている。

ガラスロール２からはガラスリボンＧＲが保護リボンＰＲ上に重ねられた状態で巻き出される。その巻き出し後の両リボンＧＲ、ＰＲ（後述する切断で得られたマザーガラスフィルムＭＧを含む）は、第一テーブル５の上面である第一移送面５ａと、第二テーブル６の上面である第二移送面６ａとに沿って移送される。なお、「第一、第二移送面５ａ、６ａに沿って」とは、第一、第二移送面５ａ、６ａの全領域に沿う場合に限られず、第一、第二移送面５ａ、６ａの一部領域に沿う場合も含む。図３は、ガラスリボンＧＲが切断される前の状態を例示しており（図２も同様）、図例では、第一移送面５ａの前側領域のみに両リボンＧＲ、ＰＲが沿っている。また、第二移送面６ａについては、移送方向全領域に保護リボンＰＲが沿い且つ後側領域のみにガラスリボンＧＲが沿っている。なお、図示しないが第二移送面６ａの前側領域には、切断で得られたマザーガラスフィルムＭＧ（詳細は後述する）が沿っている。この実施形態における説明で、保護リボンＰＲが第一、第二移送面５ａ、６ａに沿っている事は、保護リボンＰＲが第一、第二移送面５ａ、６ａに接触している事と同義である。

図３に示すように、第一移送面５ａは、前方に向かって上り勾配となる面であって、第二移送面６ａは、前方に向かって下り勾配となる面である。例えば、第一移送面５ａの水平面に対する傾斜角度α１は、２０°～６０°であって、第二移送面６ａの水平面に対する傾斜角度α２は、２０°～６０°である。第二テーブル６は、第二移送面６ａの傾斜角度α２を上記の角度範囲内で任意の角度に設定できるように基台３ｖ上に保持されている。第一テーブル５は、この実施形態では基台３ｖ上に固定設置されているが、第一移送面５ａの傾斜角度α１を上記の角度範囲内で任意の角度に設定できるように基台３ｖ上に保持されていてもよい。そして、第一移送面５ａと第二移送面６ａとのなす角度βは、６０°～１２０°である。

ガラスリボンＧＲの切断は、両リボンＧＲ、ＰＲの移送が停止した状態で行われる。ここで、第一移送面５ａは、後述する切断後のガラスリボンＧＲを受け止め支持する受け面としての役割も果たす。第二移送面６ａは、両リボンＧＲ、ＰＲの移送が停止した時に、両リボンＧＲ、ＰＲを沿わせて保持する役割も果たす。さらに、第二移送面６ａは、後述する切断後のマザーガラスフィルムＭＧを移送する役割も果たす。第一移送面５ａの上端５ｘ及び第二移送面６ａの上端６ｘは、何れも、折割バー４の上端よりも低い位置で且つガラスロール２の巻き出し開始部２ｚよりも高い位置に存在している。

この実施形態では、保護リボンＰＲを折割バー４よりも前側の位置で引っ張ることで、ガラスロール２から両リボンＧＲ、ＰＲを巻き出すようになっている。したがって、両リボンＧＲ、ＰＲが移送されている時は、保護リボンＰＲに張力が付与される。この時は、ガラスリボンＧＲに張力が付与されない。また、両リボンＧＲ、ＰＲの移送が停止した時は、保護リボンＰＲが第二移送面６ａ上で定位置に保持されることで、折割バー４よりも後側に存する保護リボンＰＲに、ガラスリボンＧＲの垂れ下がりを受けるための張力が付与される。この時も、ガラスリボンＧＲに張力が付与されない。

なお、切断部３は、図２に示すように、第二移送面６ａを通過した保護リボンＰＲを巻き取るためのシートロール７を備えている。

次に、以上述べたガラスリボン切断装置１を用いてマザーガラスフィルムＭＧを得る方法を説明する。

ガラスロール２からガラスリボンＧＲ及び保護リボンＰＲが巻き出される過程では、両リボンＧＲ、ＰＲが第一移送面５ａに沿って移送されることで、ガラスリボンＧＲの先端ＧＲａが折割バー４を通過する。この後、両リボンＧＲ、ＰＲは、第二移送面６ａに沿って移送され、図５に示すように、ガラスリボンＧＲの先端ＧＲａが、折割バー４を所定長さＬ１だけ行き過ぎた時点で、両リボンＧＲ、ＰＲの移送が停止する。両リボンＧＲ、ＰＲの移送は、この実施形態では、作業者が保護リボンＰＲを上記の折割バー４よりも前側の位置で引っ張ることによって行われる。具体的には、作業者は、図例のように第二移送面６ａに沿わせて保護リボンＰＲを引っ張ることで、ガラスリボンＧＲを上記の所定長さＬ１だけ行き過ぎた位置に到達させる。なお、上記の所定長さＬ１は、第二移送面６ａに付されたマーク（図示略）によって作業者が視認することができる。したがって、作業者は、ガラスリボンＧＲの先端ＧＲａを上記のマークに位置決めするための作業を行い、位置決めが完了した時点で、保護リボンＰＲを引っ張る操作を取り止める。これにより、両リボンＧＲ、ＰＲの移送が停止する。なお、作業者は、保護リボンＰＲを第二移送面６ａから離反させて引っ張るようにしてもよいが、上記位置決めのための作業を行う際には、第二移送面６ａに沿わせて引っ張る必要がある。ここで、同一長さのマザーガラスフィルムＭＧをガラスリボンＧＲから繰り返し切り出す場合には、上記のマークは第二移送面６ａの一箇所に付しておけばよい。但し、ガラスリボンＧＲから切り出すマザーガラスフィルムＭＧの長さが複数種ある場合は、上記のマークは第二移送面６ａにおける移送方向の複数箇所に付される。

このように両リボンＧＲ、ＰＲの移送が停止した時点では、折割バー４によってガラスリボンＧＲに十分な曲げ応力が付与されている。なお、この時点では、ガラスリボンＧＲに十分な曲げ応力を確実に付与するために、両リボンＧＲ、ＰＲを折割バー４の周辺で第一、第二移送面５ａ、６ａに押し付けるなどの操作を行ってもよい。このような状態の下で、折割バー４の上方（好ましくは折割バー４の中心軸線の上方）からガラスリボンＧＲの幅方向に延びる切断予定線（仮想的に存在する線）Ｃ１の一端部（図５に矢印Ａで示すガラスリボンＧＲの側縁部）に、加傷手段を用いて傷（初期クラック）を入れる。この実施形態では、傷を入れる作業も、作業者によって行われる。これにより、切断予定線Ｃ１に沿って傷が切断予定線Ｃ１の他端部まで一直線状に進展する。すなわち、切断予定線Ｃ１の一端部の一箇所に入れた傷が、曲げ応力の作用によって、ガラスリボンＧＲの幅方向の全長及び厚み方向の全長に亘って進展する。その結果、ガラスリボンＧＲの折割り（切断）が完了する。図６に示すように、この切断により得られた矩形状のマザーガラスフィルムＭＧは、第二移送面６ａ上で保護リボンＰＲに追随して移送される。その後、第二テーブル６を、例えば図３に鎖線で示す姿勢にすれば、マザーガラスフィルムＭＧを、例えば梱包用パレット等に縦姿勢で容易に積み込むことができる。なお、図５に示すように、本実施形態では、後述する切断工程Ｓ２におけるマザーガラスフィルムＭＧの切断予定線Ｃ２（マザーガラスフィルムＭＧの縦方向）は、準備工程Ｓ１におけるガラスリボンＧＲの切断予定線Ｃ１（ガラスリボンＧＲの幅方向）と直交する。

図７に示すように、折割バーは、ガラスリボンＧＲの厚みに応じて種類を変更可能とされている。本実施形態では、上述の折割バー４を第一折割バーと称呼することにすれば、ガラスリボンＧＲの厚みが例えば５０μｍ以下の場合に、第一折割バー４よりも曲率の小さい円筒状または円柱状をなす第二折割バー８を、第一折割バー４の上に平行に配置する。第一折割バー４の曲率半径は、例えば３０～７０ｍｍであり、第二折割バー８の曲率半径は、例えば１０～４０ｍｍである。そして、この第二折割バー８の上にガラスロール２から巻き出されたガラスリボンＧＲ及び保護リボンＰＲを配置する。これにより、準備工程Ｓ１において、曲げ応力付与部の種類を、ガラスリボンＧＲの厚みに応じて変更することができる。つまり、ガラスリボンＧＲの厚みが薄い場合に、ガラスリボンＧＲの厚みが厚い場合よりも、ガラスリボンＧＲを急峻に折り曲げることができるため、ガラスリボンＧＲの厚みによらず、適正な曲げ応力を付与できる。なお、本実施形態では、第一折割バー４の上に第二折割バー８を配置しているため、第一折割バー４から第二折割バー８に変更した場合、曲げ応力付与部とガラスロール２との間の高低差も大きくなる。変更可能な折割バーの種類は、３つ以上であってもよい。

ガラスリボン切断装置１は、以上の構成に加えて、図８に示すような長さ調整機構９を備えている。

長さ調整機構９は、ガラスロール２から保護リボンＰＲ及びガラスリボンＧＲを巻き出す際に、第二テーブル６の第二移送面６ａ上でガラスリボンＧＲの巻き出し長さを調整するものである。詳しくは、長さ調整機構９は、ガラスリボンＧＲの先端ＧＲａが折割バー４を行き過ぎた時点で、第二移送面６ａに付されているマークにガラスリボンＧＲの先端ＧＲａを正確に位置決めするために、巻き出し長さを微調整するものである。

具体的には、長さ調整機構９は、ガラスロール２のロール軸２ａと一体回転可能に同軸上に配置された大径ギヤ１０と、大径ギヤ１０に噛み合う小径ギヤ１１と、小径ギヤ１１と一体回転可能に同軸上に配置されたウォームホイル１２と、ウォームホイル１２に噛み合うウォーム１３とを有する。小径ギヤ１１、ウォームホイル１２及びウォーム１３は、エアシリンダ等の流体圧シリンダ１４により上下昇降可能とされた昇降台１５に保持されている。ウォーム１３には、前側に向かって延び出し且つ前端にハンドル１６を有する作動軸１７が取り付けられている。作動軸１７の後端部は、昇降台１５の軸支部１５ａに回転可能に支持され、作動軸１７の前端部は、基台３ｖに固設された複数（図例では二つ）の軸支壁材１８に回転可能に支持されている。作動軸１７は、軸支部１５ａと軸支壁材１８との間で、複数個（図例では２個）の自在継手１９により連結されている。ハンドル１６は、第二テーブル６の下方に配置されている。ハンドル１６の周辺部位（図例では前側の軸支壁材１８）には、昇降台１５を上昇及び下降させるための信号を発するスイッチ２０が取り付けられている。

この長さ調整機構９は、作業者によって以下のように操作される。先ず、作業者は、保護リボンＰＲを第二移送面６ａに沿わせて引っ張ることで、ガラスリボンＧＲの先端ＧＲａをマークの近傍に位置させる。この状態で作業者は、スイッチ２０を操作して昇降台１５を同図に示す上昇端位置まで上動させる。この時点で、ガラスリボンＧＲの先端ＧＲａからマークまで所定長さだけ空きがある場合には、作業者はハンドル１６を正転させる。これにより、ガラスロール２が矢印Ｗ１方向に回転して、両リボンＧＲ、ＰＲが巻き出される。これとは逆に、ガラスリボンＧＲの先端ＧＲａがマークを所定長さだけ行き過ぎている場合には、作業者はハンドル１６を逆転させる。これにより、ガラスロール２が矢印Ｗ２方向に回転して、両リボンＧＲ、ＰＲが巻き取られる。このように作業者がハンドル１６を操作している間は、保護リボンＰＲに張力が付与されている。この場合、作業者は、ハンドル１６の正転または逆転を一回だけ行うことで、或いは、正転と逆転とを繰り返し行うことで、ガラスリボンＧＲの先端ＧＲａをマークに位置決めするための作業を行う。この位置決めが完了した時点で、作業者はハンドル１６の操作を取り止める。この状態で、既述のようにガラスリボンＧＲの切断を行い、然る後、作業者は、スイッチ２０を操作して昇降台１５を図示の状態から下降させる。これにより、大径ギヤ１０と小径ギヤ１１との噛み合いが解除され、ハンドル１６から大径ギヤ１０ひいてはガラスロール２に動力が伝達されなくなる。なお、ガラスリボンＧＲの切断と、昇降台１５の下降とは、上記の場合と順序が逆でもよい。この後においては、再び、作業者によって保護リボンＰＲが引っ張られ、既述の場合と同様の操作が行われる。

切断装置１は、以上の実施形態に限定されるものではなく、種々のバリエーションが可能である。

上記の実施形態では、曲げ応力付与部としての折割バー４を、円筒状または円柱状をなすものとしたが、断面が楕円形やその他の湾曲形状をなすものであってもよく、さらには上部のみがそのような湾曲形状をなすものであってもよく、また湾曲形状をなさないものであってもよい。さらに、折割バー４の個数も一個に限られず、複数個から構成されるものであってもよい。加えて、曲げ応力付与部は、折割バーを有しない構成であってもよく、何れにしても、曲げ応力付与部は、ガラスリボンＧＲを切断するために必要な曲げ応力を付与できるものであればよい。

上記の実施形態では、折割バー４の上方でガラスリボンＧＲに傷を入れたが、折割バー４の後方つまり切断される前に、ガラスリボンＧＲに傷を入れるようにしてもよい。さらに、傷を入れる以外に、スクライブラインを入れるものであってもよいが、切断される前にガラスリボンＧＲにスクライブラインを入れておくことが好ましい。

上記の実施形態では、第一、第二移送面５ａ、６ａが、第一、第二テーブル５、６の上面とされているが、これらの移送面５ａ、６ａは、テーブル以外の台などの上面であってもよい。また、第一、第二移送面５ａ、６ａは、それらの一方または双方が勾配のない面であってもよい。さらに、第一、第二移送面５ａ、６ａは、コンベヤ等の搬送面であってもよい。この場合には、作業者が保護リボンＰＲを引っ張らなくてもよい。

上記の実施形態では、ガラスリボンＧＲ及び保護リボンＰＲをガラスロール２の下部から巻き出すようにしたが、この両リボンＧＲ、ＰＲをガラスロール２の上部から巻き出すようにしてもよい。

上記の実施形態では、ガラスロール２から巻き出されたガラスリボンＧＲを切断装置１により切断し、マザーガラスフィルムＭＧを得るようにしたが、マザーガラスフィルムＭＧを準備する方法はこれに限定されない。例えば、オーバーフローダウンドロー法やフロート方等を実行する成形部によりガラスリボンＧＲを成形し、成形部に連続するガラスリボンＧＲを成形部の下流側にて所定長さ毎に切断し、マザーガラスフィルムＭＧを得るようにしてもよい。

（切断工程）
図９～１１に示すように、切断工程Ｓ２は、マザーガラスフィルムＭＧを切断してガラスフィルムＧを得る工程であり、本実施形態では、マザーガラスフィルム切断装置２１が用いられる。なお、図９において、ＸＹＺは直交座標系である。Ｘ方向はマザーガラスフィルムＭＧの縦方向、Ｙ方向はマザーガラスフィルムＭＧの横方向、Ｚ方向はマザーガラスフィルムＭＧの厚み方向とする。

図９に示すように、マザーガラスフィルム切断装置２１は、マザーガラスフィルムＭＧ及び保護シートＰＳが載置される載置台２２と、マザーガラスフィルムＭＧ及び保護シートＰＳを載置台２２に対して位置決めする位置決め部２３と、マザーガラスフィルムＭＧの切断予定線（仮想的に存在する線）Ｃ２の両側で、マザーガラスフィルムＭＧ及び保護シートＰＳを載置台２２側に押え付ける押え部材としての一対の押えバー２４と、一対の押えバー２４の間で切断予定線Ｃ２に沿って曲げ応力を付与する曲げ応力付与部としての折割バー２５とを備える。切断装置２１は、マザーガラスフィルムＭＧ及び保護シートＰＳのうちのマザーガラスフィルムＭＧのみを切断する。保護シートＰＳは、マザーガラスフィルムＭＧの縦方向両端から食み出している。

載置台２２は、Ｘ方向に沿って延びる折割バー２５を境界として、第一支持部２２ａと第二支持部２２ｂとに分割されている。換言すれば、折割バー２５は、第一支持部２２ａと第二支持部２２ｂとの間の隙間に配置されている。第一支持部２２ａの上面及び第二支持部２２ｂの上面は、マザーガラスフィルムＭＧ及び保護シートＰＳを平置き姿勢（好ましくは水平姿勢）で支持する平面とされている。

位置決め部２３は、載置台２２の第二支持部２２ｂに立設された板状体で構成されている。位置決め部２３は、Ｙ方向におけるマザーガラスフィルムＭＧの先端面ＭＧａに当接する。なお、位置決め部２３は、マザーガラスフィルムＭＧの先端面ＭＧａを位置決めできれば、いずれの形状であってもよく、例えば円柱（ピン）状等であってもよい。マザーガラスフィルムＭＧは、保護シートＰＳの上に載置された状態で、第一支持部２２ａから第二支持部２２ｂへ移送され、その先端面ＭＧａが位置決め部２３に当接することにより位置決めされる。なお、マザーガラスフィルムＭＧの第一支持部２２ａから第二支持部２２ｂへ移送作業は、作業者の手作業によって行われるが、コンベヤ等の搬送面によって行ってもよい。

押えバー２４は、Ｘ方向に沿って延びる板状、角柱状または角筒状であり、その下面（押圧面）でマザーガラスフィルムＭＧ及び保護シートＰＳを載置台２２側に押え付ける。押えバー２４の上面の長手方向の中央部には、マザーガラスフィルムＭＧ及び保護シートＰＳを押え付ける際に作業者が把持するハンドル２４ａが設けられている。なお、押えバー２４は、マザーガラスフィルムＭＧ及び保護シートＰＳを押え付けることができれば、いずれの形状であってもよく、例えば円柱状または円筒状等で構成し、押圧面が曲面形状をなすものであってもよい。

押えバー２４は、載置台２２に対する固定位置が変更できるように、Ｙ方向にスライド可能とされている。具体的には、押えバー２４のＸ方向の両端部に対応する位置において、Ｙ方向に延びる長孔２６が載置台２２に設けられており、その長孔２６の範囲で押えバー２４がスライド移動可能とされている。押えバー２４の両端部は、ボルト等の締結部材２７によって長孔２６の任意の位置で固定可能とされている。これにより、マザーガラスフィルムＭＧの厚みに応じて、押えバー２４と折割バー２５（または切断予定線Ｃ２）との間の距離Ｌ２（図１０を参照）を変更し、切断予定線Ｃ２に作用する曲げ応力の大きさを簡単かつ確実に調整できる。

折割バー２５は、Ｘ方向に沿って延びる長尺体であり、Ｙ方向の断面が上方に向かって凸となる半円状である。マザーガラスフィルムＭＧの切断予定線Ｃ２は、折割バー２５上に位置する。折割バー２５は、図１０に示すように、載置台２２の上面よりも下方に退避した退避状態と、図１１に示すように、載置台２２の上面よりも上方に突出した上昇状態との間で、上下動可能とされている。この上昇状態において、折割バー２５は、保護シートＰＳを介してマザーガラスフィルムＭＧの切断予定線Ｃ２を下方から持ち上げ、ガラスフィルムＧの上面側が凸状になるように保持する。これにより、切断予定線Ｃ２に沿って曲げ応力が付与される。

図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、折割バー２５は、マザーガラスフィルムＭＧの厚みに応じて種類を変更することが可能である。本実施形態では、マザーガラスフィルムＭＧの厚みが例えば１００μｍ以下の場合に、同図（ａ）の曲率（例えば曲率半径：２０～５０ｍｍ）が相対的に大きい断面半円状をなす折割バー２５から、同図（ｂ）の曲率（例えば曲率半径：５～２５ｍｍ）が相対的に小さい断面半円状をなす折割バー２５に変更される。これにより、切断工程Ｓ２において、曲げ応力付与部の種類を、マザーガラスフィルムＭＧの厚みに応じて変更することができる。つまり、マザーガラスフィルムＭＧの厚みが薄い場合に、マザーガラスフィルムＭＧの厚みが厚い場合よりも、マザーガラスフィルムＭＧを急峻に折り曲げることができるため、マザーガラスフィルムＭＧの厚みによらず、適正な曲げ応力を付与できる。なお、変更可能な折割バーの種類は、３つ以上であってもよい。また、同図（ａ）、（ｂ）に示すように、マザーガラスフィルムＭＧの厚みに応じて、折割バー２５の押し上げ高さＬ３を調整してもよい。

次に、以上述べたマザーガラスフィルム切断装置２１を用いてマザーガラスフィルムＭＧを切断してガラスフィルムＧを得る方法を説明する。

マザーガラスフィルムＭＧは、まず、保護シートＰＳの上に重ねられた状態で、位置決め部２３によって載置台２２上で位置決めされる。次に、マザーガラスフィルムＭＧの切断予定線Ｃ２の両側で、押えバー２４によってマザーガラスフィルムＭＧ及び保護シートＰＳを載置台２２側に押圧する。この状態で、折割バー２５を上昇させ、保護シートＰＳを介してマザーガラスフィルムＭＧを持ち上げる。これにより、マザーガラスフィルムＭＧの上面側が凸となるように折り曲げられ、切断予定線Ｃ２に沿って曲げ応力が付与される。このような状態の下で、折割バー２５の上方（好ましくは折割バー２５の中心軸線の上方）からマザーガラスフィルムＭＧの切断予定線Ｃ２の一端部（図９に矢印Ｂで示すマザーガラスフィルムＭＧの側縁部）に、加傷手段を用いて傷を入れる。これにより、切断予定線Ｃ２に沿って傷が切断予定線Ｃ２の他端部まで一直線状に進展する。すなわち、切断予定線Ｃ２の一端部の一箇所に入れた傷が、曲げ応力の作用によって、マザーガラスフィルムＭＧの縦方向の全長及び厚み方向の全長に亘って進展する。この結果、マザーガラスフィルムＭＧの折割り（切断）が完了し、２枚の矩形状のガラスフィルムＧが得られる。

切断装置２１は、以上の実施形態に限定されるものではなく、種々のバリエーションが可能である。例えば、上記の実施形態では、曲げ応力付与部としての折割バー２５を、断面が半円状をなすものとしたが、円筒状または円柱状をなすものや、断面が楕円形やその他の湾曲形状をなすものであってもよく、さらには上部のみがそのような湾曲形状をなすものであってもよく、また湾曲形状をなさないものであってもよい。さらに、折割バー２５の個数も一個に限られず、複数個から構成されるものであってもよい。

上記の実施形態では、折割バー２５の上方でマザーガラスフィルムＭＧに傷を入れたが、折割バー２５を上昇させる前つまり切断される前に、マザーガラスフィルムＭＧに傷を入れるようにしてもよい。さらに、傷を入れる以外に、スクライブラインを入れるものであってもよいが、切断される前にガラスリボンＧＲにスクライブラインを入れておくことが好ましい。

上記の実施形態では、マザーガラスフィルムＭＧに曲げ応力を付与する方法として、折割バー２５をマザーガラスフィルムＭＧの下方から上昇させて、マザーガラスフィルムＭＧの上面側が凸となるように折り曲げる態様としたが、折割バー２５をマザーガラスフィルムＭＧの上方から下降させて、マザーガラスフィルムＭＧの下面側が凸となるように折り曲げる態様としてもよい。

（評価工程）
図１３～図１６に示すように、評価工程Ｓ３は、基準となる大きさを有する基準板ＳＰにガラスフィルムＧを重ねた積層体ＬＢの状態で、ガラスフィルムＧの大きさを評価する工程である。

図１３に示すように、基準板ＳＰは、その四辺ＳＰ１～ＳＰ４のうち、一つの角部で交わる二辺ＳＰ１、ＳＰ２の輪郭部に、黒色等の有色のマーキング部ＳＰａが形成されている。これにより、基準板ＳＰとガラスフィルムＧとを区別し易くなるため、ガラスフィルムＧの端面の位置を簡単に把握できる。なお、本実施形態では、マーキング部ＳＰａが形成されていない基準板ＳＰの残りの二辺ＳＰ３、ＳＰ４には、後述する測定台３１の位置決め部３２が当接する。なお、基準板ＳＰの四辺ＳＰ１～ＳＰ４の全ての輪郭部にマーキング部ＳＰａを形成してもよい。図１４～図１６では、便宜上、マーキング部ＳＰａの図示は省略している。

図１４に示すように、基準板ＳＰは、ガラス板ＧＰと、緩衝層ＣＬとを有する。

ガラス板ＧＰは、基準板ＳＰの基材であり、基準となる大きさに正確に切断された矩形状をなす。ガラス板ＧＰは、入手の容易性等の観点から、マザーガラスフィルムＭＧを切断して得られたガラスフィルムＧで構成されることが好ましい。

緩衝層ＣＬは、ガラス板ＧＰの両主表面のうち、ガラスフィルムＧと接触する面側に形成される。緩衝層ＣＬは、例えばＰＥＴ等の樹脂フィルムで構成される。これにより、評価対象のガラスフィルムＧに傷が付くのを抑制できる。図１５及び図１６では、便宜上、緩衝層ＣＬの図示は省略している。

図１５に示すように、評価工程Ｓ３では、ガラスフィルムＧと基準板ＳＰとからなる積層体ＬＢは、ガラスフィルムＧ側を上にして、位置決め部３２を有する測定台３１の上に載置される。位置決め部３２は、積層体ＬＢの四辺ＬＢ１～ＬＢ４のうち、一つの角部で交わる二辺ＬＢ３、ＬＢ４を位置決めするものであり、辺ＬＢ３に当接する一対の円柱（ピン）状体３２ａと、辺ＬＢ４に当接する板状体３２ｂとを有する。なお、積層体ＬＢは、基準板ＳＰ側を上にして、測定台３１の上に載置してもよい。また、位置決め部３２は、積層体ＬＢの二辺ＬＢ３、ＬＢ４を位置決めできれば、いずれの形状であってもよい。

評価工程Ｓ３では、積層体ＬＢの二辺ＬＢ３、ＬＢ４で、基準板ＳＰ及びガラスフィルムＧのそれぞれの端面を円柱状体３２ａ及び板状体３２ｂに当接させて位置決めした状態で、積層体ＬＢの残りの二辺ＬＢ１、ＬＢ２で、基準板ＳＰ及びガラスフィルムＧのそれぞれの端面を作業者の手指により触診する。これにより、ガラスフィルムＧの端面の位置と、基準板ＳＰの端面の位置との間のずれを測定し、ガラスフィルムＧの大きさを評価する。本実施形態では、積層体ＬＢの二辺ＬＢ１、ＬＢ２で、基準板ＳＰ及びガラスフィルムＧのそれぞれの端面を触診し易いように、積層体ＬＢの二辺ＬＢ１、ＬＢ２が、測定台３１から食み出している。なお、ガラスフィルムＧの大きさを評価する方法は、画像処理等を用いた方法でもよいが、触診を用いる方法が簡便かつ安価な方法であるため好ましい。

図１６に示すように、評価工程Ｓ３では、例えば、ガラスフィルムＧが基準板ＳＰよりも大きい場合は、基準板ＳＰに対するガラスフィルムＧの食み出し寸法が第一合格しきい値Ｔ１以下であるときにガラスフィルムを良品とし、ガラスフィルムＧが基準板ＳＰよりも小さい場合は、ガラスフィルムＧに対する基準板ＳＰの食み出し寸法が第二合格しきい値Ｔ２以下であるときにガラスフィルムＧを良品とする。この場合、第一合格しきい値Ｔ１は、第二合格しきい値Ｔ２よりも小さい値に設定することが好ましい。具体的には、例えば、第一合格しきい値Ｔ１は１ｍｍ、第二合格しきい値Ｔ２は２ｍｍに設定される。これにより、第一合格しきい値Ｔ１が第二合格しきい値Ｔ２よりも厳しい基準となるため、基準板ＳＰよりも大きいガラスフィルムＧが良品とされる確率を下げることができる。

（成膜工程）
図１７及び図１８に示すように、本実施形態に係るガラスフィルムの製造方法は、評価工程Ｓ３で良品とされたガラスフィルムＧに成膜する成膜工程Ｓ４をさらに含んでいてもよい。

成膜工程Ｓ４では、例えば、評価工程Ｓ３で良品とされたガラスフィルムＧが成膜用治具４１に配置される。

図１７に示すように、成膜用治具４１は、ガラスフィルムＧが載置される基台部４２と、基台部４２に載置されたガラスフィルムＧの周囲を取り囲む枠部４３とを有する。枠部４３は、基準板ＳＰに対応した大きさを有する平面視で矩形状の空間を区画形成し、図１８に示すように、枠部４３の内部にガラスフィルムＧが配置される。そして、このようにガラスフィルムＧを成膜用治具４１に配置した状態で、ガラスフィルムＧの上面に成膜用マスク（図示省略）等をさらに配置し、ガラスフィルムＧの表面に所定パターンの成膜が施される。

このように成膜されたガラスフィルムＧは、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の薄型表示機器やセンサの基板、あるいは固体撮像素子やレーザーダイオード等の半導体パッケージ用カバー、さらには薄膜化合物太陽電池の基板等に使用される。

以上のような製造方法によれば、切断工程Ｓ２において、マザーガラスフィルムＭＧが曲げ応力により切断されるため、レーザー割断を使用する場合に比べて切断時間を短くできる。また、切断工程Ｓ２において、レーザー等の調整が不要となるため、少ない人員で切断を実行できる。この一方で、曲げ応力を付与して切断する場合、レーザー割断に比べて切断予定線Ｃ２からのズレが大きくなり易い。そこで、評価工程Ｓ３において、基準板ＳＰにガラスフィルムＧを重ね、ガラスフィルムＧの大きさを評価している。このような基準板ＳＰを用いた評価方法であれば、ガラスフィルムＧの大きさを短時間で効率よく評価できる。特に、基準板ＳＰにガラスフィルムＧを重ねた積層体ＬＢの端面を触診すれば、画像処理等を用いる場合に比べて、ガラスフィルムＧの大きさの評価時間を大幅に短縮化できると共に、設備コストも抑えることができる。したがって、ガラスフィルムＧの中に評価工程Ｓ３で大きさが不合格と評価される不良品が含まれていても、製造時間や人員を大幅に削減できるため、製造コスト全体としては、切断工程Ｓ２でレーザー割断を用いる場合よりも低廉化を図ることができる。

なお、本発明は、上記の実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記の実施形態において、ガラスフィルムＧの四辺全てが、曲げ応力を用いて切断されることが好ましいが、準備工程Ｓ１又はその前工程でレーザー切断が用いられる場合には、ガラスフィルムＧの四辺の中にレーザー切断された辺が含まれていてもよい。ここで、レーザー切断には、例えば、レーザー割断やレーザー溶断が含まれる。

１ ガラスリボン切断装置
２ ガラスロール
３ 切断部
４ 折割バー
５ 第一テーブル
６ 第二テーブル
２１ マザーガラスフィルム切断装置
２２ 載置台
２３ 位置決め部
２４ 押えバー
２５ 折割バー
３１ 測定台
３２ 位置決め部
４１ 成膜用治具
Ｃ１、Ｃ２ 切断予定線
ＧＲ ガラスリボン
ＭＧ マザーガラスフィルム
Ｇ ガラスフィルム
ＳＰ 基準板
ＳＰａ マーキング部
ＧＰ ガラス板
ＣＬ 緩衝層

Claims (14)

1. ガラスフィルムの製造方法であって、
   マザーガラスフィルムを準備する準備工程と、
   前記マザーガラスフィルムの切断予定線に沿って曲げ応力を付与して前記マザーガラスフィルムを切断し、ガラスフィルムを得る切断工程と、
   基準となる大きさを有する基準板に前記ガラスフィルムを重ね、前記ガラスフィルムの大きさを評価する評価工程とを備えることを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
2. 前記準備工程では、ガラスロールから巻き出されたガラスリボンの切断予定線に沿って曲げ応力を付与して前記ガラスリボンを切断し、前記マザーガラスフィルムを得る請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
3. 前記準備工程では、前記ガラスロールから巻き出された前記ガラスリボンを下流側に向かって上方傾斜した第一移送面に沿って案内する第一移送部と、前記第一移送部の下流側で、前記ガラスリボンを下流側に向かって下方傾斜した第二移送面に沿って案内する第二移送部と、前記第一移送部と前記第二移送部との間の頂部で前記ガラスリボンを下方から支持し、前記ガラスリボンの前記切断予定線に沿って曲げ応力を付与する曲げ応力付与部とを備えるガラスリボン切断装置を用いて、前記ガラスリボンを切断する請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
4. 前記ガラスリボン切断装置の前記曲げ応力付与部の種類を、前記ガラスリボンの厚みに応じて変更する請求項３に記載のガラスフィルムの製造方法。
5. 前記切断工程では、前記マザーガラスフィルムが載置される載置台と、前記マザーガラスフィルムを前記載置台に対して位置決めする位置決め部と、前記マザーガラスフィルムの前記切断予定線の両側を前記載置台側に押え付ける一対の押え部材と、前記一対の押え部材の間で前記マザーガラスフィルムを前記載置台から離れる方向に押圧し、前記マザーガラスフィルムの前記切断予定線に沿って曲げ応力を付与する曲げ応力付与部とを備えるマザーガラスフィルム切断装置を用いて、前記マザーガラスフィルムを切断する請求項１～４のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。
6. 前記マザーガラスフィルム切断装置の前記曲げ応力付与部の種類を、前記マザーガラスフィルムの厚みに応じて変更する請求項５に記載のガラスフィルムの製造方法。
7. 前記マザーガラスフィルムの前記切断予定線からの距離が変わるように、前記マザーガラスフィルム切断装置の前記押え部材の前記載置台に対する位置を、前記マザーガラスフィルムの厚みに応じて変更する請求項５又は６に記載のガラスフィルムの製造方法。
8. 前記基準板が、前記基準板の主表面の輪郭部の少なくとも一部に、有色のマーキング部を有する請求項１～７のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。
9. 前記基準板が、基材としてガラス板を有する請求項１～８のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。
10. 前記基準板が、前記ガラスフィルムとの接触面側に緩衝層を有する請求項１～９のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。
11. 前記評価工程では、前記基準板に前記ガラスフィルムを重ねた積層体の端面を触診する請求項１～１０のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。
12. 前記基準板及び前記ガラスフィルムがそれぞれ矩形状であり、
    前記評価工程では、前記基準板に前記ガラスフィルムを重ねた積層体の四辺のうち、一つの角部で交わる二辺で、前記基準板及び前記ガラスフィルムをそれぞれ位置決め部に当接させて位置決めし、前記積層体の残りの二辺で、前記ガラスフィルムの大きさを評価する請求項１～１１のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。
13. 前記評価工程では、前記ガラスフィルムが前記基準板よりも大きい場合は、前記基準板に対する前記ガラスフィルムの食み出し寸法が第一合格しきい値以下であるときに前記ガラスフィルムを良品とし、前記ガラスフィルムが前記基準板よりも小さい場合は、前記ガラスフィルムに対する前記基準板の食み出し寸法が第二合格しきい値以下であるときに前記ガラスフィルムを良品とすると共に、
    前記第一合格しきい値が、前記第二合格しきい値よりも小さい請求項１～１２のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。
14. 前記評価工程で良品とされた前記ガラスフィルムは、基準板の大きさに対応した成膜用治具の枠部の内部に配置される請求項１～１３のいずれか１項に記載のガラスフィルムの製造方法。

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