JP2022045511A - 電子部品の処理装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】円軌道の外に向けて保持された部品保持部との間で電子部品の受け渡しが行われる場合において、部品保持部又は電子部品の姿勢のずれを抑制する。【解決手段】電子部品の処理装置は、電子部品を保持する部品保持部と、部品保持部を所定の円軌道の外に向けて保持する旋回部と、円軌道の中心軸に沿った第１軸線まわりに旋回部を旋回させる旋回駆動部と、旋回部に設けられ、円軌道の半径方向に沿った第２軸線まわりに部品保持部を回転させる回転駆動部とを備える。【選択図】図１

Description

本開示は、電子部品の処理装置に関する。
特許文献１には、回転タレット上に配置され、電子部品の受け取りと引き渡しとを行う複数のアームを備える受渡装置が開示されている。また、特許文献２には、回転軸線を中心に回転するベース部材と、ベース部材に対して周方向に沿って複数配設されて部品を吸着保持するノズルとを備える搬送装置が開示されている。
米国特許出願公開第２０１８／００３７４２１号明細書 特開２０１６－９２３９１号公報
本開示は、円軌道の外に向けて保持された部品保持部との間で電子部品の受け渡しが行われる場合において、部品保持部又は電子部品の姿勢のずれを抑制するのに有用な電子部品の処理装置を提供する。
本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、電子部品を保持する部品保持部と、部品保持部を所定の円軌道の外に向けて保持する旋回部と、円軌道の中心軸に沿った第１軸線まわりに旋回部を旋回させる旋回駆動部と、旋回部に設けられ、円軌道の半径方向に沿った第２軸線まわりに部品保持部を回転させる回転駆動部とを備える。
本開示によれば、円軌道の外に向けて保持された部品保持部との間で電子部品の受け渡しが行われる場合において、部品保持部又は電子部品の姿勢のずれを抑制するのに有用な電子部品の処理装置が提供される。
図１は、第１実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図２は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。 図３（ａ）は、電子部品の主面の一例を示す模式図である。図３（ｂ）は、吸着部の一例を模式的に示す正面図である。図３（ｃ）は、吸着部の一例を模式的に示す側面図である。 図４（ａ）及び図４（ｂ）は、電子部品に対する吸着部の姿勢を説明するための模式図である。 図５は、コントローラの機能構成の一例を示すブロック図である。 図６は、コントローラのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。 図７は、吸着部が電子部品を受け取るまでの一連の処理の一例を示すフローチャートである。 図８は、吸着部の傾きを調節する一連の処理の一例を示すフローチャートである。 図９は、第２実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図１０（ａ）は、吸着部の一例を模式的に示す正面図である。図１０（ｂ）は、吸着部の一例を模式的に示す側面図である。図１０（ｃ）及び図１０（ｄ）は、吸着部に対する電子部品の姿勢を説明するための模式図である。 図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、電子部品の収容位置の補正方法の一例を説明するための模式図である。 図１２は、吸着部が電子部品を引き渡すまでの一連の処理の一例を示すフローチャートである。 図１３は、第３実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図１４は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。 図１５は、吸着部が電子部品を引き渡すまでの一連の処理の一例を示すフローチャートである。
以下、図面を参照して実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
［第１実施形態］
最初に、図１～図８を参照しながら、第１実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。図１に示される電子部品の処理装置１は、所謂ダイソータであり、複数の電子部品Ｗを順に搬送しながら、外観検査、電気特性検査、マーキング等の処理を施した上でウェハシート、テープ、コンテナチューブ等に梱包する装置である。処理対象の複数の電子部品Ｗは、半導体製造工程の前工程で形成された後にダイシング等で個片化された部品である。処理装置１は、例えば、回転搬送部１０と、部品供給部３０と、部品回収部６０と、複数の処理部９０と、コントローラ２００とを備える。
回転搬送部１０は、中心軸まわりの円軌道ＣＲに沿って複数の電子部品Ｗを搬送する。円軌道ＣＲの中心軸は、水平なラインに沿っていてもよく、鉛直なラインに沿っていてもよい。図１及び図２に示される例では、回転搬送部１０は、水平なラインに沿った中心軸まわりの円軌道ＣＲに沿って複数の電子部品Ｗを搬送する。以下では、円軌道ＣＲの中心軸が水平なラインに沿っている場合を例示する。搬送対象の電子部品Ｗは、互いに平行な（互いに逆向きの）主面Ｗａ，Ｗｂを有する。一例では、電子部品Ｗは直方体状に形成されている。回転搬送部１０は、例えば、複数の部品保持部１２と、旋回部１４と、旋回駆動部１６と、複数の回転駆動部１８とを有する。
複数の部品保持部１２は、円軌道ＣＲの中心軸を中心とする円周に沿って等間隔に配置されている。部品保持部１２による電子部品Ｗの保持方式の具体例としては、真空吸着、静電気式の吸着（クーロン力を用いた保持）、及び把持等が挙げられる。部品保持部１２は、例えば、円軌道ＣＲの中心軸に垂直な方向（円軌道ＣＲの半径方向）の一方側から電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれか一方を吸着して、当該電子部品Ｗを保持する。以下の実施形態の説明では、回転搬送部１０が、部品保持部１２の一例として、電子部品Ｗを吸着により保持する吸着部２２を有する場合を例示する。吸着部２２が行う動作、吸着部２２に対する動作、及び吸着部２２の状態（例えば位置及び姿勢）は、部品保持部１２が行う動作、部品保持部１２に対する動作、及び部品保持部１２の状態にそれぞれ相当する。
吸着部２２は、円軌道ＣＲの外に向けて設けられている。吸着部２２は、円軌道ＣＲの半径方向に沿って当該円軌道ＣＲ外に位置する電子部品Ｗを吸着する。この場合、円軌道ＣＲの中心軸が延びる方向から見て、吸着部２２に保持されている電子部品Ｗは、円軌道ＣＲの外に位置する。吸着部２２は、円軌道ＣＲの半径方向の一方側から主面Ｗａ，Ｗｂのいずれか（例えば主面Ｗａ）を吸着する。吸着部２２が主面Ｗａを吸着する場合、主面Ｗａは円軌道ＣＲの内側を向き、主面Ｗｂは円軌道ＣＲの外側を向く。吸着部２２は、電子部品Ｗを吸着する際に当該電子部品Ｗに対向する対向面２４を含む。
吸着部２２の内部には、電子部品Ｗに吸引力を加えるための内部空間が形成されており、その内部空間は対向面２４において開口している（対向面２４に吸着穴が設けられる）。部品保持部１２は、吸着部２２の内部空間に吸引路を介して接続される吸引ポンプ（不図示）と、吸着部２２の吸着状態を切り替える開閉バルブとを有してもよい。吸着部２２は、対向面２４が円軌道ＣＲの外側を向くように配置されている。より詳細には、吸着部２２は、対向面２４が円軌道ＣＲの半径方向に沿って中心軸から離れる方向を向くように配置されている。対向面２４は、当該対向面２４の中心を通り、円軌道ＣＲを含む面において当該円軌道ＣＲの半径方向に沿って延びる仮想線に対して垂直な面であってもよい。
図３（ａ）～図３（ｃ）には、回転搬送部１０による搬送対象の電子部品Ｗの主面Ｗａの一例と、吸着部２２の一例とが示されている。電子部品Ｗの種類によっては、主面Ｗａにおいて吸着部２２との接触が許容される範囲と、吸着部２２との接触が許容されない範囲（以下、「接触不可範囲Ｃｐａ」という。）とが予め定められている。そのような電子部品Ｗの種類としては光学センサが挙げられ、接触不可範囲Ｃｐａは、例えば光学センサの受光部である。図３（ａ）に例示される電子部品Ｗでは、接触不可範囲Ｃｐａが主面Ｗａの一方の幅方向（紙面の縦方向）における略中央に設定されている。
図３（ｂ）に示されるように、吸着部２２の対向面２４の外縁は、電子部品Ｗの主面Ｗａの外縁と同様に四角形であってもよい。対向面２４は、主面Ｗａのうちの接触不可範囲Ｃｐａに接触せずに、接触不可範囲Ｃｐａ以外の領域に接触することが可能となるように形成されている。例えば、図３（ｂ）及び図３（ｃ）に示されるように、対向面２４は、基端面２４ａと、接触面２４ｂとを含む。接触面２４ｂは、基端面２４ａから円軌道ＣＲの中心軸から離れる方向に突出している。この場合、接触面２４ｂと円軌道ＣＲの中心軸との間の距離は、基端面２４ａと円軌道ＣＲの中心軸との間の距離よりも大きい。そのため、吸着部２２が電子部品Ｗを吸着する際には、基端面２４ａは主面Ｗａに接触せずに、接触面２４ｂが主面Ｗａに接触する。
対向面２４の接触面２４ｂは、電子部品Ｗの主面Ｗａにおける接触が許容される範囲に対応するように設けられる。例えば、図３（ｂ）に例示される吸着部２２では、接触面２４ｂが対向面２４の一方の幅方向（紙面の縦方向）における両端部に設けられている。接触面２４ｂには、電子部品Ｗの主面Ｗａと吸着部２２の内部空間とを接続する複数の（例えば４個の）吸着穴２６が開口している。対向面２４に垂直な方向から見て、複数の吸着穴２６の開口領域（吸着穴の開口縁で囲まれた領域）及び接触面２４ｂそれぞれは、対向面２４の中心に関して円対称（０度から３６０度までの任意の角度に対して回転対称）ではなくてもよい。例えば、複数の吸着穴２６の開口領域及び接触面２４ｂそれぞれは、１回又は２回の回転対称性を有する。
図４（ａ）及び図４（ｂ）には、吸着部２２が電子部品Ｗを吸着した際の電子部品Ｗ（主面Ｗａ）に対する吸着部２２（対向面２４）の姿勢が例示されている。図４（ａ）は、電子部品Ｗに対する吸着部２２の姿勢（以下、単に「吸着部２２の姿勢」という。）が理想状態で吸着が行われた場合の主面Ｗａと対向面２４との互いの位置関係の一例を示している。図４（ｂ）は、吸着部２２の姿勢が理想状態からずれている状態（吸着部２２が傾いた状態）で吸着が行われた場合の主面Ｗａと対向面２４との互いの位置関係の一例を示している。吸着部２２の姿勢が理想状態である場合、対向面２４の接触面２４ｂは主面Ｗａのうちの接触不可範囲Ｃｐａ以外の領域に接触する。一方、吸着部２２の姿勢が理想状態からずれている場合、対向面２４の接触面２４ｂが接触不可範囲Ｃｐａに接触し得る。以上のような電子部品Ｗ及び吸着部２２が用いられる場合、吸着部２２が電子部品Ｗを受け取る際に、接触不可範囲Ｃｐａと吸着部２２との接触を回避するためには、吸着部２２の姿勢を理想状態に近づけて吸着を行う必要がある。
図１又は図２に戻り、回転搬送部１０の旋回部１４は、複数の部品保持部１２（複数の吸着部２２）を保持する部材である。旋回部１４は、円軌道ＣＲ上に位置するように複数の部品保持部１２（複数の吸着部２２）を保持する。旋回部１４は、円軌道ＣＲの外に向けて各吸着部２２を保持する。より詳細には、旋回部１４は、対向面２４が円軌道ＣＲの外を向くように各吸着部２２を保持する。旋回部１４は、円軌道ＣＲの中心軸に沿った軸線Ａｘ１（第１軸線）まわりに回転可能となるように設けられている。
旋回駆動部１６は、軸線Ａｘ１まわりに旋回部１４を旋回（回転）させる。例えば旋回駆動部１６は、電動モータ等の動力源を含み、ギヤを介さないダイレクトドライブによって軸線Ａｘ１まわりに旋回部１４を旋回させる。これにより、軸線Ａｘ１に沿った中心軸を中心とする円軌道ＣＲに沿って複数の部品保持部１２（複数の吸着部２２）が移動する。旋回駆動部１６は、円軌道ＣＲ上において隣り合う吸着部２２同士の角度ピッチ（軸線Ａｘ１まわりの角度ピッチ）と同じピッチにて、旋回部１４の旋回と停止とを繰り返してもよい。以下、旋回駆動部１６が旋回部１４を停止させる際に複数の吸着部２２がそれぞれ配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ」という。
複数の回転駆動部１８は、複数の部品保持部１２（複数の吸着部２２）にそれぞれ対応するように旋回部１４に設けられている。各回転駆動部１８は、対応する吸着部２２の姿勢（傾き）を調節するように、円軌道ＣＲの半径方向に沿った軸線Ａｘ２（第２軸線）まわりに当該吸着部２２を回転させる。回転駆動部１８は、例えば電動モータ等の動力源によって軸線Ａｘ２まわりに吸着部２２を回転させる回転アクチュエータである。複数の回転駆動部１８それぞれについての軸線Ａｘ２は、旋回駆動部１６による旋回部１４の旋回に伴って軸線Ａｘ１まわりに移動する。軸線Ａｘ２は、対応する吸着部２２がいずれの停止位置ＳＰに停止していても、円軌道ＣＲを含む平面に沿って、軸線Ａｘ１と当該吸着部２２の対向面２４の中心とを通るように設定されていてもよい。
部品供給部３０は、複数の停止位置ＳＰのいずれか一つの停止位置ＳＰにおいて、回転搬送部１０に複数の電子部品Ｗを順に供給する。以下では、電子部品Ｗが供給される停止位置ＳＰを「供給用の停止位置ＳＰ」という。部品供給部３０から回転搬送部１０への電子部品Ｗの供給では、供給用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２への電子部品Ｗの受け渡しが行われる。供給用の停止位置ＳＰは、例えば、複数の停止位置ＳＰのうちの水平方向における一方の端部に位置する停止位置ＳＰに設定される。この場合、供給用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２の対向面２４は、垂直に起立した状態となる。部品供給部３０は、例えば、部材保持部３２と、部材位置調節部３４（位置調節部）とを有する。
部材保持部３２は、吸着部２２に供給される複数の電子部品Ｗを収容する収容部材４２を保持する。収容部材４２は、例えば、供給用の停止位置ＳＰに配置される吸着部２２に供給される予定の複数の電子部品Ｗを収容する。部材保持部３２は、供給用の停止位置ＳＰに配置された状態の吸着部２２と対向するように収容部材４２を保持する。収容部材４２は、供給用の停止位置ＳＰに位置する吸着部２２の対向面２４と平行な面（供給用の停止位置ＳＰを通る軸線Ａｘ２に垂直な面）に沿って２次元配列された状態の複数の電子部品Ｗを収容してもよい。例えば、収容部材４２に収容されている複数の電子部品Ｗは、水平方向及び鉛直方向それぞれに配列されている。収容部材４２の一例としては、図１及び図２に例示されるウェハシート４４が挙げられる。
ウェハシート４４は、半導体ウェハが貼付された粘着性の貼付面４４ａを有する。半導体ウェハは、ダイシングにより複数の電子部品Ｗ（例えば光学センサ）に切り分けられた状態で貼付面４４ａに貼付されている。貼付面４４ａには、電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれか一方（例えば、主面Ｗｂ）が貼付されている。ウェハシート４４の周縁部にリングフレーム（不図示）が貼付されていてもよく、部材保持部３２（シート保持部）は、そのリングフレームを保持してもよい。部材保持部３２は、貼付面４４ａが垂直に起立した状態で供給用の停止位置ＳＰに配置されている吸着部２２の対向面２４に対向するように（平行となるように）、円軌道ＣＲの周囲においてウェハシート４４を保持する。
部材位置調節部３４は、収容部材４２（例えば、ウェハシート４４）と吸着部２２とが対向する方向（円軌道ＣＲの半径方向）に交差する面に沿って、部材保持部３２の位置を調節する。例えば、部材位置調節部３４は、収容部材４２と供給用の停止位置ＳＰに位置する吸着部２２の対向面２４とが対向する方向に垂直な面に沿って、部材保持部３２の位置を変更する。部材保持部３２の位置が変更することで、部材保持部３２に保持された収容部材４２の位置が変わる。その結果、収容部材４２上の複数の電子部品Ｗの位置が変更される。
部材位置調節部３４は、収容部材４２上の複数の電子部品Ｗを、供給用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２が一の電子部品Ｗを受け取る位置（以下、「受け取り位置Ｐ１」という。）に順次配置されるように部材保持部３２を移動させる。受け取り位置Ｐ１は、例えば、円軌道ＣＲを含む面において軸線Ａｘ１及び供給用の停止位置ＳＰを通る仮想線と、収容部材４２との交点に設定される。部材位置調節部３４は、受け取り位置Ｐ１に複数の電子部品Ｗを順次配置するために、収容部材４２に収容されている隣り合う電子部品Ｗの中心同士の間隔（ピッチ）だけ、部材保持部３２を順次移動させてもよい（間欠的に移動させてもよい）。
収容部材４２がウェハシート４４である場合において、部材位置調節部３４は、貼付面４４ａに沿う方向において、部材保持部３２の位置を２方向に変更してもよい。一例では、部材位置調節部３４は、第１駆動部４６と、第２駆動部４８とを有する。第１駆動部４６は、例えば電動モータ等の動力源によって、部材保持部３２（ウェハシート４４）を貼付面４４ａに沿って鉛直方向に移動させる。第２駆動部４８は、例えば電動モータ等の動力源によって、部材保持部３２（ウェハシート４４）を貼付面４４ａに沿って水平方向に移動させる。
収容部材４２がウェハシート４４である場合、部品供給部３０は、突き出し部３６を更に有してもよい。突き出し部３６は、供給用の停止位置ＳＰとの間にウェハシート４４（供給対象の電子部品Ｗ）を挟むように配置される。突き出し部３６は、ウェハシート４４の受け取り位置Ｐ１に対応する領域を、供給用の停止位置ＳＰに近づくように突き出す。突き出し部３６は、例えば、突き出しピン５２と、突き出し駆動部５４とを含む。
突き出しピン５２は、ウェハシート４４の裏面４４ｂ（貼付面４４ａと反対側の面）に向かって突出しており、受け取り位置Ｐ１に対応するように配置されている。突き出しピン５２は、貼付面４４ａ及び裏面４４ｂに垂直なラインに沿っている。突き出し駆動部５４は、例えば電動モータ等の動力源によって、貼付面４４ａ及び裏面４４ｂに垂直なラインに沿って突き出しピン５２を進出又は後退させる。
部品回収部６０は、複数の停止位置ＳＰのいずれか一つの停止位置ＳＰにおいて、回転搬送部１０から電子部品Ｗを回収する。以下では、電子部品Ｗが回収される停止位置ＳＰを「回収用の停止位置ＳＰ」という。回転搬送部１０から部品回収部６０への電子部品Ｗの回収では、回収用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２から部品回収部６０への電子部品Ｗの引き渡しが行われる。回収用の停止位置ＳＰは、例えば、複数の停止位置ＳＰのうちの水平方向における一方の端部に位置し、供給用の停止位置ＳＰと周方向において１８０°離間する。この場合、回収用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２の対向面２４は、垂直に起立した状態となる。部品回収部６０は、例えば、部材保持部６２と、部材位置調節部６４（第２位置調節部）とを有する。
部材保持部６２は、吸着部２２から回収された複数の電子部品Ｗを収容する収容部材７２を保持する。収容部材７２は、回収用の停止位置ＳＰに配置される吸着部２２から順次回収された後の複数の電子部品Ｗを収容する。部材保持部６２は、回収用の停止位置ＳＰに配置された状態の吸着部２２と対向するように収容部材７２を保持する。収容部材７２は、回収用の停止位置ＳＰに位置する吸着部２２の対向面２４と平行な面（回収用の停止位置ＳＰを通る軸線Ａｘ２に垂直な面）に沿って２次元配列された状態で複数の電子部品Ｗを収容してもよい。例えば、水平方向及び鉛直方向それぞれに配列された状態で複数の電子部品Ｗが収容部材７２に収容される。収容部材７２の一例としては、図１及び図２に例示されるウェハシート７４が挙げられる。
ウェハシート７４は、複数の電子部品Ｗが貼付される粘着性の貼付面７４ａを有する。例えば、貼付面７４ａには、電子部品Ｗの主面Ｗｂが貼付される。ウェハシート７４の周縁部にはリングフレーム（不図示）が貼付されていてもよく、部材保持部６２（シート保持部）は、そのリングフレームを保持してもよい。部材保持部６２は、貼付面７４ａが垂直に起立した状態で回収用の停止位置ＳＰに配置されている吸着部２２の対向面２４に対向するように（対向面２４と平行となるように）、円軌道ＣＲの周囲においてウェハシート７４を保持する。
部材位置調節部６４は、収容部材７２（例えば、ウェハシート７４）と吸着部２２とが対向する方向（円軌道ＣＲの半径方向）に交差する面に沿って、部材保持部６２の位置を調節する。例えば、部材位置調節部６４は、収容部材７２と回収用の停止位置ＳＰに位置する吸着部２２の対向面２４とが対向する方向に垂直な面に沿って、部材保持部６２の位置を変更する。部材保持部６２の位置が変更されることで、部材保持部６２に保持された収容部材７２の位置が変わる。その結果、収容部材７２上の複数の電子部品Ｗ（又は収容部材７２において電子部品Ｗが収容される予定の領域）の位置が変更される。
部材位置調節部６４は、収容部材７２上の電子部品Ｗが収容される予定の領域（以下、「収容予定領域」という。）を、回収用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２が一の電子部品Ｗを引き渡す位置（以下、「引き渡し位置Ｐ２」という。）に順次配置されるように部材保持部６２を移動させる。引き渡し位置Ｐ２は、例えば、円軌道ＣＲを含む面において軸線Ａｘ１及び回収用の停止位置ＳＰを通る仮想線と、収容部材７２との交点に設定される。部材位置調節部６４は、収容部材７２に収容された際に隣り合う電子部品Ｗの中心同士の間が等間隔（同じピッチ）となるように、部材保持部６２を順次移動させてもよい（間欠的に移動させてもよい）。
収容部材７２がウェハシート７４である場合において、部材位置調節部６４は、貼付面７４ａに沿う方向において、部材保持部６２の位置を２方向に変更してもよい。一例では、部材位置調節部６４は、第１駆動部７６と、第２駆動部７８とを有する。第１駆動部７６は、例えば電動モータ等の動力源によって、部材保持部６２（ウェハシート７４）を貼付面７４ａに沿って鉛直方向に移動させる。第２駆動部７８は、例えば電動モータ等の動力源によって、部材保持部６２（ウェハシート７４）を貼付面７４ａに沿って水平方向に移動させる。なお、以下の第１実施形態の説明では、部品供給部３０において部材保持部３２に保持される収容部材４２がウェハシート４４であり、部品回収部６０において部材保持部６２に保持される収容部材７２がウェハシート７４である場合を例示する。
回転搬送部１０は、部品保持部１２の吸着部２２を円軌道ＣＲの半径方向に沿って移動させる１又は複数の進退駆動部を更に有してもよい。例えば、回転搬送部１０は、供給用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２を円軌道ＣＲの半径方向に沿って進出及び後退させる進退駆動部２８ａと、回収用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２を円軌道ＣＲの半径方向に沿って進出及び後退させる進退駆動部２８ｂとを有する。
進退駆動部２８ａは、供給用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２と、当該吸着部２２を軸線Ａｘ２まわりに回転させる回転駆動部１８とを、円軌道ＣＲの半径方向に沿って共に移動させる（旋回部１４に対して移動させる）。吸着部２２及び対応する回転駆動部１８は、円軌道ＣＲの半径方向に沿って移動可能に旋回部１４に設けられてもよい。進退駆動部２８ａは、旋回駆動部１６による旋回部１４の旋回に伴って移動しないように設けられてもよい。進退駆動部２８ａによって円軌道ＣＲの半径方向に沿って吸着部２２が進出することで、吸着部２２が円軌道ＣＲ上の位置を起点として軸線Ａｘ１から離れる方向に移動する。
進退駆動部２８ａは、軸線Ａｘ１から円軌道ＣＲの外側に向けて吸着部２２及び対応する回転駆動部１８を進出させ、円軌道ＣＲの外側から軸線Ａｘ１に向けて吸着部２２及び回転駆動部１８を後退させる。一例では、軸線Ａｘ１を基準に供給用の停止位置ＳＰよりも外側に進退駆動部２８ａによって吸着部２２が進出した状態で、当該吸着部２２が部品供給部３０から電子部品Ｗを受け取る。進退駆動部２８ｂは、回収用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２と当該吸着部２２に対応する回転駆動部１８とが駆動対象であることを除き、進退駆動部２８ａと同様に構成されている。一例では、軸線Ａｘ１を基準に回収用の停止位置ＳＰよりも外側に進退駆動部２８ｂによって吸着部２２が進出した状態で、当該吸着部２２が部品回収部６０に電子部品Ｗを引き渡す。
進退駆動部２８ａ，２８ｂは、駆動対象の吸着部２２及び回転駆動部１８を進出させる際に、吸着部２２が予め定められた中間位置まで達した後に、部品保持部１２及び回転駆動部１８の移動速度を減少させてもよい。進退駆動部２８ａ，２８ｂは、駆動対象の吸着部２２とウェハシート等の収容部材との間で電子部品Ｗの受け渡しが行われる際に、受け渡し対象の電子部品Ｗに加わる荷重を低下（調節）させるための荷重調節部（例えば、ボイスコイルモータ等）を含んでいてもよい。
処理装置１は、複数の処理部９０を更に備えてもよい。複数の処理部９０は、供給用の停止位置ＳＰ、最下部の停止位置ＳＰ、及び回収用の停止位置ＳＰの順に電子部品Ｗが搬送される円軌道ＣＲの一部の経路（以下、「搬送経路」という。）上のいずれかの停止位置ＳＰにおいて、吸着部２２が保持する電子部品Ｗに所定の処理を施す。処理の具体例としては、電気特性検査、外観検査及びマーキング（例えばレーザマーキング）等が挙げられる。
処理装置１は、姿勢検出部１１０と、収容状態検出部１２０とを更に備えてもよい。姿勢検出部１１０は、吸着部２２の姿勢として、吸着部２２の軸線Ａｘ２まわりの傾きを検出する。詳細には、姿勢検出部１１０は、円軌道ＣＲのうちの電子部品Ｗが搬送されない経路（上記搬送経路以外の経路）に位置するいずれかの停止位置ＳＰに配置された吸着部２２について、理想状態に対する軸線Ａｘ２まわりの傾きを検出する。以下、姿勢検出部１１０の検出対象となる吸着部２２が配置される停止位置ＳＰを「検出用の停止位置ＳＰ」という。図１に示される例では、検出用の停止位置ＳＰが、供給用の停止位置ＳＰから旋回部１４の旋回方向と逆方向に角度ピッチの１ピッチ分だけ離間した停止位置に設定されている。姿勢検出部１１０は、例えば、カメラ１１２を有する。
カメラ１１２は、検出用の停止位置ＳＰに配置される吸着部２２を撮像可能に配置される。例えば、カメラ１１２は、吸着部２２の対向面２４の全体が撮像可能となるように円軌道ＣＲの外側に配置される。カメラ１１２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサ、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサ等の撮像素子と、撮像素子に画像を結像させるレンズとを含む。
収容状態検出部１２０は、ウェハシート４４に貼付された電子部品Ｗ（収容部材４２に収容された電子部品Ｗ）の収容状態を検出する。例えば、収容状態検出部１２０は、受け取り位置Ｐ１に配置された電子部品Ｗの姿勢と当該電子部品Ｗの位置とを検出する。収容状態検出部１２０は、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの姿勢として、受け取り位置Ｐ１における理想状態に対する当該電子部品Ｗの傾きを検出してもよい。収容状態検出部１２０は、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの位置として、受け取り位置Ｐ１における理想位置に対する当該電子部品Ｗの位置を検出してもよい。収容状態検出部１２０は、例えば、カメラ１２２と、ミラー部材１２４とを有する。
カメラ１２２は、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの主面Ｗａを円軌道ＣＲの内側から撮像する。カメラ１２２は、例えば、回転搬送部１０の下方において円軌道ＣＲの外側に配置されている。カメラ１２２は、ＣＣＤイメージセンサ又はＣＭＯＳイメージセンサ等の撮像素子と、撮像素子に画像を結像させるレンズとを含む。
ミラー部材１２４は、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの主面Ｗａを撮像するための視点を円軌道ＣＲの内側に設けるために配置される。ミラー部材１２４は、円軌道ＣＲの中心に配置されており、受け取り位置Ｐ１からミラー部材１２４に導入された光を、カメラ１２２に向けて反射する。なお、ミラー部材１２４は、上記光をカメラ１２２に向けて反射する反射面を有していれば、どのように構成されていてもよい。例えば、ミラー部材１２４は、板状のミラーであってもよく、一面が上記反射面となるように構成及び配置されたプリズムであってもよい。カメラ１１２は、受け取り位置Ｐ１、ミラー部材１２４、及びカメラ１２２に至る光路上にいずれの部材も配置されていない状態（タイミング）で、ミラー部材１２４を介して、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの主面Ｗａを撮像してもよい。
コントローラ２００は、処理装置１の各部材を制御する。コントローラ２００は、例えば、図５に示されるように、機能上の構成（以下、「機能モジュール」という。）として、旋回制御部２０２と、姿勢情報取得部２０４と、状態情報取得部２０６と、姿勢制御部２０８と、第１位置制御部２１２と、第２位置制御部２１４と、第１受渡制御部２１６と、第２受渡制御部２１８とを有する。各機能モジュールが実行する処理は、コントローラ２００が実行する処理に相当する。以下、各機能モジュールについて説明する。
旋回制御部２０２は、複数の吸着部２２それぞれが複数の停止位置ＳＰに順次配置されるように、旋回駆動部１６により旋回部１４を間欠的に旋回させる。本開示において間欠的に旋回させるとは、回転と停止とを繰り返すことを意味する。旋回制御部２０２は、例えば、円軌道ＣＲ上において隣り合う吸着部２２同士の角度ピッチと同じピッチで旋回駆動部１６により旋回部１４を間欠的に旋回させる。これにより、各停止位置ＳＰには、複数の吸着部２２のいずれか１つが順に配置される。一例では、旋回制御部２０２は、複数の吸着部２２それぞれが、供給用の停止位置ＳＰ、最下部の停止位置ＳＰ、回収用の停止位置ＳＰ、及び最上部の停止位置ＳＰを順に経る方向（図１における時計回りの方向）に旋回するように旋回駆動部１６を制御する。
姿勢情報取得部２０４は、電子部品Ｗを保持していない吸着部２２の姿勢（軸線Ａｘ２まわりの傾き）を示す情報を姿勢検出部１１０により検出する。姿勢情報取得部２０４は、例えば、検出用の停止位置ＳＰに複数の吸着部２２のいずれか１つが配置された状態で、当該吸着部２２の対向面２４の画像を姿勢検出部１１０のカメラ１１２に取得させる。
状態情報取得部２０６は、ウェハシート４４に収容されている電子部品Ｗの収容状態を示す情報を収容状態検出部１２０により検出する。状態情報取得部２０６は、例えば、ウェハシート４４において受け取り位置Ｐ１に配置された電子部品Ｗの収容状態を示す情報を収容状態検出部１２０により検出する。状態情報取得部２０６は、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの収容状態を示す情報として、当該電子部品Ｗの傾きを示す情報と当該電子部品Ｗの位置を示す情報との少なくとも一方を収容状態検出部１２０により取得してもよい。一例では、状態情報取得部２０６は、受け取り位置Ｐ１に配置された電子部品Ｗの主面Ｗａの画像を、収容状態検出部１２０のカメラ１２２に取得させる。
姿勢制御部２０８は、電子部品Ｗを保持していない吸着部２２の軸線Ａｘ２まわりの傾きの検出結果に応じて、当該吸着部２２の傾きを調節するように対応する回転駆動部１８を制御する。より詳細には、調節対象の吸着部２２がウェハシート４４から電子部品Ｗを受け取る前に、当該吸着部２２の傾きがゼロに（当該吸着部２２の姿勢が理想状態に）近づくように対応する回転駆動部１８を制御する。姿勢制御部２０８は、吸着部２２の軸線Ａｘ２まわりの傾きに加えて、当該吸着部２２が受け取る予定のウェハシート４４上の電子部品Ｗの傾きにも応じて、対応する回転駆動部１８により吸着部２２の傾きを調節させてもよい。この場合、姿勢制御部２０８は、受け取り予定の電子部品Ｗに対する吸着部２２の傾きがゼロに近づくように、吸着部２２の傾きに応じた成分と当該電子部品Ｗの傾きに応じた成分とを加算した回転量で、対応する回転駆動部１８により吸着部２２を軸線Ａｘ２まわりに回転させてもよい。
第１位置制御部２１２は、いずれか１つの吸着部２２が供給用の停止位置ＳＰに配置される度に、ウェハシート４４上の供給予定の電子部品Ｗを受け取り位置Ｐ１に配置するように部材位置調節部３４を制御する。そして、第１位置制御部２１２は、状態情報取得部２０６により取得されたウェハシート４４上の電子部品Ｗの位置（例えば、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの位置）に応じて、当該電子部品Ｗの位置を調節するように部材位置調節部３４を制御する。例えば、第１位置制御部２１２は、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの位置が理想位置に近づくように部材位置調節部３４を制御する。
第２位置制御部２１４は、いずれか１つの吸着部２２が回収用の停止位置ＳＰに配置される度に、ウェハシート７４のうちの電子部品Ｗが回収後に収容される予定の領域（収容予定領域）を引き渡し位置Ｐ２に配置するように部材位置調節部６４を制御する。
第１受渡制御部２１６は、いずれか１つの吸着部２２が供給用の停止位置ＳＰに配置される度に、当該吸着部２２が供給予定の電子部品Ｗを受け取るように回転搬送部１０及び部品供給部３０を制御する。例えば、第１受渡制御部２１６は、供給用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２を進退駆動部２８ａにより円軌道ＣＲよりも外側に進出させる（ウェハシート４４上の電子部品Ｗの主面Ｗａに接触するまで移動させる）。そして、第１受渡制御部２１６は、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗを吸着部２２に吸着させる。その後、第１受渡制御部２１６は、進退駆動部２８ａにより吸着部２２を後退させつつ、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗを吸着部２２に近づける方向に押し出すように、突き出し駆動部５４により突き出しピン５２を進出させる。
第２受渡制御部２１８は、いずれか１つの吸着部２２が回収用の停止位置ＳＰに配置される度に、当該吸着部２２が電子部品Ｗをウェハシート７４に引き渡すように回転搬送部１０及び部品回収部６０を制御する。例えば、第２受渡制御部２１８は、回収用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２を、当該吸着部２２が保持する電子部品Ｗ（主面Ｗｂ）がウェハシート７４に接触するまで、進退駆動部２８ｂにより円軌道ＣＲよりも外側に進出させる。そして、第２受渡制御部２１８は、吸着部２２が保持する電子部品Ｗがウェハシート７４に接触した後に、当該電子部品Ｗの吸着を吸着部２２に解除させる。
図６は、コントローラ２００のハードウェア構成を例示するブロック図である。図６に示されるように、コントローラ２００は、回路２３０を有する。回路２３０は、一つ又は複数のプロセッサ２３２と、メモリ２３４と、ストレージ２３６と、入出力ポート２３８とを含む。ストレージ２３６は、例えば不揮発性の半導体メモリ等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ２３６は、予め設定された制御手順で回転搬送部１０、部品供給部３０、部品回収部６０、複数の処理部９０、姿勢検出部１１０、及び収容状態検出部１２０を制御することをコントローラ２００に実行させるためのプログラムを記憶している。例えばストレージ２３６は、上述した各機能モジュールを構成するためのプログラムを記憶している。
メモリ２３４は、ストレージ２３６の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ２３２による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ２３２は、メモリ２３４と協働して上記プログラムを実行することで、コントローラ２００の各機能モジュールを構成する。入出力ポート２３８は、プロセッサ２３２からの指令に従って、部品保持部１２、旋回駆動部１６、回転駆動部１８、部材位置調節部３４，６４、進退駆動部２８ａ，２８ｂ、突き出し部３６、姿勢検出部１１０、及び収容状態検出部１２０等との間で電気信号の入出力を行う。なお、回路２３０は、必ずしもプログラムにより各機能を構成するものに限られない。例えば回路２３０は、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）により少なくとも一部の機能を構成してもよい。
［電子部品の処理方法］
続いて、電子部品の処理方法（コントローラ２００が実行する制御手順）の一例として、吸着部２２が電子部品Ｗを受け取るまでの一連の処理について説明する。図７は、一の吸着部２２が電子部品Ｗを受け取るまでの一連の処理の一例を示すフローチャートである。
コントローラ２００は、電子部品Ｗを保持していない吸着部２２が検出用の停止位置ＳＰに配置された状態で、ステップＳ１１，Ｓ１２を順に実行する。ステップＳ１１では、例えば、姿勢情報取得部２０４が、検出用の停止位置ＳＰに配置されている吸着部２２の対向面２４の画像を姿勢検出部１１０のカメラ１１２に取得させる。ステップＳ１２では、例えば、第１位置制御部２１２が、ウェハシート４４上の供給予定の電子部品Ｗを受け取り位置Ｐ１に配置するために、収容部材７２上の電子部品Ｗの中心同士の間隔（ピッチ）の１ピッチ分だけ部材保持部３２（ウェハシート４４）が移動するように部材位置調節部３４を制御する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ１３，Ｓ１４を順に実行する。ステップＳ１３では、例えば、旋回制御部２０２が、円軌道ＣＲ上における角度ピッチの１ピッチ分の旋回部１４の間欠的な旋回を旋回駆動部１６に開始させる。ステップＳ１４では、例えば、状態情報取得部２０６が、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの撮像が可能となるまで待機する。一例では、状態情報取得部２０６は、受け取り位置Ｐ１と収容状態検出部１２０のミラー部材１２４との間の光路上にいずれの部材も位置しない状態となるタイミングまで待機する。当該タイミングは、例えばコントローラ２００に予め記憶されている。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ１５，Ｓ１６を順に実行する。ステップＳ１５では、例えば、状態情報取得部２０６が、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの主面Ｗａの画像を収容状態検出部１２０のカメラ１２２に取得させる。ステップＳ１６では、例えば、旋回制御部２０２が、円軌道ＣＲ上における角度ピッチの１ピッチ分の旋回部１４の旋回を旋回駆動部１６に停止させる。ステップＳ１６までの処理により、供給予定の電子部品Ｗを受け取る吸着部２２が、供給用の停止位置ＳＰに配置される。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ１７を実行する。ステップＳ１７では、例えば、姿勢制御部２０８が、ステップＳ１１で得られた画像に基づき検出された吸着部２２の傾きと、ステップＳ１５で得られた画像に基づき検出された受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの傾きとに応じて、吸着部２２の傾きの補正量を算出する。姿勢制御部２０８は、これらの吸着部２２と電子部品Ｗとの間の傾きのずれがゼロに近づくように（電子部品Ｗに対する吸着部２２の姿勢が理想状態に近づくように）、吸着部２２の傾きの補正量を算出する。
また、ステップＳ１７では、第１位置制御部２１２が、ステップＳ１５で得られた画像に基づき検出された受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの位置に応じて、吸着部２２と電子部品Ｗとの間の位置のずれがゼロに近づくように（電子部品Ｗに対する吸着部２２の位置が理想状態に近づくように）、ウェハシート４４上の電子部品Ｗの位置の補正量を算出する。一例では、第１位置制御部２１２は、吸着部２２の中心と受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの中心とが略一致するように、当該電子部品Ｗの位置の補正量を算出する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ１８を実行する。ステップＳ１８では、例えば、姿勢制御部２０８が、ステップＳ１７で算出された傾きの補正量（補正量に応じた回転量）だけ吸着部２２を回転させるように対応する回転駆動部１８を制御する。また、第１位置制御部２１２が、ステップＳ１７で算出された位置の補正量（補正量に応じた移動量）だけ部材保持部３２（ウェハシート４４）を移動させるように部材位置調節部３４を制御する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ１９，Ｓ２０，Ｓ２１を順に実行する。例えば、ステップＳ１９では、第１受渡制御部２１６が、供給用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２を、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの主面Ｗａに接触するまで、進退駆動部２８ａによりウェハシート４４に近づく方向に移動させる。ステップＳ２０では、例えば、第１受渡制御部２１６が、電子部品Ｗの主面Ｗａを吸着部２２に吸着させる。ステップＳ２１では、例えば、第１受渡制御部２１６が進出させた吸着部２２を進退駆動部２８ａにより後退させ、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗを吸着部２２に近づける方向に押し出すように突き出し駆動部５４により突き出しピン５２を進出させる。これにより、ウェハシート４４から受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗが剥離され、吸着部２２が電子部品Ｗを受け取る。
コントローラ２００は、他の吸着部２２（他の電子部品Ｗ）についても、ステップＳ１１～Ｓ２１の一連の処理を実行してもよい。これにより、複数の吸着部２２が、ウェハシート４４上の複数の電子部品Ｗのうちのいずれか１つを順に受け取る。コントローラ２００は、他の吸着部２２（後続の電子部品Ｗを受け取る吸着部２２）についてのステップＳ１１～Ｓ２１の一連の処理を、一の吸着部２２についてのステップＳ１１～Ｓ２１の一連の処理の途中（例えば、ステップＳ１６の実行後）から開始してもよい。
なお、上述した一連の処理は一例であり、適宜変更可能である。上記一連の処理において、コントローラ２００は、一のステップと次のステップとを並列に実行してもよく、上述した例とは異なる順序で各ステップを実行してもよい。コントローラ２００は、いずれかのステップを省略してもよく、いずれかのステップにおいて上述の例とは異なる処理を実行してもよい。
コントローラ２００は、ステップＳ１７において、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの位置の補正量を算出せずに、吸着部２２の傾きの補正量を算出してもよい。この場合、コントローラ２００は、ステップＳ１８において、受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの位置の調節を部材位置調節部３４に実行させずに、吸着部２２の傾きを対応する回転駆動部１８により調節してもよい。このように、ウェハシート４４上の受け取り位置Ｐ１の電子部品Ｗの収容状態（姿勢及び位置）の検出が行われずに、吸着部２２の傾きの調節が行われてもよい。この場合、処理装置１は、収容状態検出部１２０を備えていなくてもよい。
コントローラ２００は、回転搬送部１０（複数の吸着部２２）を介した部品供給部３０から部品回収部６０までの電子部品Ｗの搬送を開始する前に、複数の吸着部２２の傾きの調節を回転搬送部１０に実行させてもよい。図８は、電子部品Ｗの搬送開始前に、複数の吸着部２２の傾きを調節する一連の処理の一例を示すフローチャートである。この一連の処理では、コントローラ２００が、いずれか１つの吸着部２２が検出用の停止位置ＳＰに配置された状態で、ステップＳ１１と同様にステップＳ３１を実行する。次に、コントローラ２００は、ステップＳ１７と同様にステップＳ３２を実行する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ３３を実行する。ステップＳ３３では、例えば、旋回制御部２０２が、円軌道ＣＲ上における角度ピッチの１ピッチ分だけ旋回部１４を旋回させるように旋回駆動部１６を制御する。また、ステップＳ３３において、例えば、姿勢制御部２０８が、吸着部２２の姿勢が理想状態に近づくように、対応する回転駆動部１８により、ステップＳ３２で得られた補正量だけ軸線Ａｘ２まわりに吸着部２２を回転させる。これにより、一の吸着部２２の傾きが調節される。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ３４を実行する。ステップＳ３４では、例えばコントローラ２００が、全ての吸着部２２についての傾きの調節が終了したかどうかを判断する。ステップＳ３４において、全ての吸着部２２の傾きの調節が終了していないと判断された場合（ステップＳ３４：ＮＯ）、コントローラ２００は、ステップＳ３１～Ｓ３３の処理を繰り返す。一方、ステップＳ３４において、全ての吸着部２２の傾きの調節が終了した判断された場合（ステップＳ３４：ＹＥＳ）、コントローラ２００は一連の処理を終了する。その後、コントローラ２００は、回転搬送部１０（複数の吸着部２２）を介した部品供給部３０から部品回収部６０までの電子部品Ｗの搬送を開始する。当該搬送の開始後に、コントローラ２００は、図７に示される一連の処理を実行してもよく、その一連の処理を実行しなくてもよい。
（変形例）
対向面２４を見た場合の吸着部２２の形状が矩形である場合において、姿勢検出部１１０は、吸着部２２の対向面２４ではなく吸着部２２の側面を撮像することによって、吸着部２２の傾きを検出してもよい。例えば、コントローラ２００の姿勢情報取得部２０４は、吸着部２２の側面を撮像して得られる画像において、吸着部２２の幅（例えば、先端の幅）に応じて吸着部２２の傾きを検出してもよい。姿勢情報取得部２０４は、吸着部２２の傾きに応じて、吸着部２２の側面における先端の幅に変化が生じることを利用して吸着部２２の傾きを検出してもよい。姿勢検出部１１０のカメラ１１２は、当該カメラ１１２に対して撮像対象の側面が正対した状態で吸着部２２の画像を取得してもよく、一側面が正対状態に対して軸線Ａｘ２まわりに傾いた状態で吸着部２２の画像を取得してもよい。
姿勢検出部１１０は、画像に代えてレーザ等の照射光を吸着部２２の側面に照射して、反射光等に基づき吸着部２２の幅を計測することによって、吸着部２２の傾きを検出してもよい。例えば、姿勢検出部１１０は、吸着部２２の側面に可視光を照射する照射部と、当該側面からの反射光を受ける受光部とを有してもよい。あるいは、姿勢検出部１１０は、吸着部２２の側面に赤外光を照射する照射部と、吸着部２２を透過した光を受ける受光部とを有してもよい。
姿勢検出部１１０は、供給用の停止位置ＳＰ１から旋回部１４の旋回方向と逆方向に角度ピッチの２ピッチ分以上離れた停止位置ＳＰに配置された吸着部２２の姿勢を検出してもよい。コントローラ２００（姿勢制御部２０８）は、吸着部２２が円軌道ＣＲ上を移動している状態で、対応する回転駆動部１８により当該吸着部２２を軸線Ａｘ２まわりに回転させてもよい。
収容状態検出部１２０は、受け取り位置Ｐ１に配置される前の電子部品Ｗの収容状態を検出してもよい。例えば、収容状態検出部１２０は、調節対象となる吸着部２２が吸着予定の電子部品Ｗが、受け取り位置Ｐ１に配置される直前に（隣り合う電子部品Ｗの中心同士のピッチの１ピッチ分の移動により受け取り位置Ｐ１に配置される前に）、当該電子部品Ｗの収容状態を検出してもよい。姿勢制御部２０８は、受け取り位置Ｐ１に配置される直前で検出された電子部品Ｗの傾きに応じて、当該電子部品Ｗを吸着する予定の吸着部２２の傾きを対応する回転駆動部１８により調節してもよい。第１位置制御部２１２は、受け取り位置Ｐ１に配置される直前で検出された電子部品Ｗの位置に応じて、当該電子部品Ｗが受け取り位置Ｐ１に配置された際に理想位置に配置されるように、部材位置調節部３４により部材保持部３２（ウェハシート４４）を移動させてもよい。
（第１実施形態の効果）
以上説明した第１実施形態に係る電子部品Ｗの処理装置１は、電子部品Ｗを保持する部品保持部１２と、部品保持部１２を所定の円軌道ＣＲの外に向けて保持する旋回部１４と、円軌道ＣＲの中心軸に沿った軸線Ａｘ１（第１軸線）まわりに旋回部１４を旋回させる旋回駆動部１６と、旋回部１４に設けられ、円軌道ＣＲの半径方向に沿った軸線Ａｘ２（第２軸線）まわりに部品保持部１２を回転させる回転駆動部１８とを備える。
この処理装置１では、円軌道ＣＲの外に向けて保持され、電子部品Ｗを保持する部品保持部１２を軸線Ａｘ２まわりに回転させることで、部品保持部１２自体の姿勢が調節される。そのため、部品保持部１２の姿勢を理想状態に近づけたうえで、部品保持部１２が電子部品Ｗを受け取ることができる。従って、部品保持部１２との間での電子部品Ｗの受け渡しが行われる場合において、電子部品Ｗに対する部品保持部１２の姿勢のずれを抑制することに有用である。例えば、上述の例のように、部品保持部１２として吸着部２２が用いられ、電子部品Ｗの一方の主面に接触不可範囲が設定されている場合において、受け取り前に吸着部２２の姿勢の調節ができ、受け渡しが行われる際に接触不可範囲に吸着部２２が接触してしまう可能性を低減することが可能となる。
以上説明した処理装置１は、部品保持部１２に供給される電子部品Ｗを収容する収容部材４２を部品保持部１２と対向するように保持する部材保持部３２と、収容部材４２と部品保持部１２とが対向する方向に交差する面に沿って、部材保持部３２の位置を変更する部材位置調節部３４（位置調節部）とを備える。この場合、部品保持部１２が電子部品Ｗを受け取る際の、部品保持部１２と電子部品Ｗとの相対位置を部材位置調節部３４により調節することができる。その結果、部品保持部１２との間での電子部品Ｗの受け渡しが行われる場合において、電子部品Ｗに対する部品保持部１２の位置のずれを抑制することに有用である。例えば、収容部材４２がウェハシート４４である場合、供給予定の電子部品Ｗを部品保持部１２が受け取る位置に配置するための移動機構を、部品保持部１２と電子部品Ｗとの相対位置の調節にも使用でき、処理装置１の簡素化を図ることが可能となる。
以上説明した処理装置１は、収容部材４２に収容された電子部品Ｗの収容状態を検出する収容状態検出部１２０を備える。この場合、収容状態検出部１２０により検出された電子部品Ｗの傾きにも応じて部品保持部１２を軸線Ａｘ２まわりに回転させることができ、電子部品Ｗに対する部品保持部１２の姿勢のずれをより確実に抑制することが可能となる。また、収容状態検出部１２０により検出された電子部品Ｗの位置に応じて、部品保持部１２と電子部品Ｗとの相対位置を調節することができ、電子部品Ｗに対する部品保持部１２の位置のずれをより確実に抑制することが可能となる。
以上説明した処理装置１は、部品保持部１２の軸線Ａｘ２（第２軸線）まわりの傾きを検出する姿勢検出部１１０を備える。この場合、姿勢検出部１１０により検出された部品保持部１２の傾きに応じて部品保持部１２を軸線Ａｘ２まわりに回転させることができ、電子部品Ｗに対する部品保持部１２の姿勢のずれをより確実に抑制することが可能となる。
以上説明した処理装置１は、円軌道ＣＲの半径方向に沿って部品保持部１２及び回転駆動部１８を共に移動させる進退駆動部２８ａを備える。この場合、部品保持部１２を円軌道ＣＲよりも外側に配置した状態で電子部品Ｗの受け渡しを行うことができる。また、部品保持部１２と回転駆動部１８とを共に移動させることで、回転駆動部１８に対して部品保持部１２を上記半径方向に沿って移動させる場合に比べて、回転駆動部１８による駆動力を部品保持部１２に伝達するための機構の簡素化が可能となる。
［第２実施形態］
部品保持部１２の傾きの調節に代えて、部品保持部１２に保持されている電子部品Ｗの傾きの調節が実行されてもよい。また、部品供給部３０における供給予定の電子部品Ｗの位置の調節に代えて、部品回収部６０において電子部品Ｗの収容予定領域の位置の調節が行われてもよい。図９に示される第２実施形態に係る処理装置１Ａは、回転搬送部１０に代えて回転搬送部１０Ａを備える点、姿勢検出部１１０及び収容状態検出部１２０に代えて保持状態検出部１３０及び領域検出部１４０を備える点において、第１実施形態に係る処理装置１と相違する。回転搬送部１０Ａは、部品保持部１２の一例として、吸着部２２に代えて吸着部２２Ａを有する。
回転搬送部１０Ａによる搬送対象となる電子部品Ｗは、図３（ａ）に例示した電子部品Ｗと異なり、接触不可範囲Ｃｐａが設定されていなくてもよい。図１０（ａ）及び図１０（ｂ）には、吸着部２２Ａの一例が示されている。図１０（ａ）に示されるように、吸着部２２Ａは、対向面２４の略中央に設けられた円形の吸着穴２６を有する。対向面２４に垂直な方向から見て、吸着穴２６の中心と対向面２４の中心とは互いに略一致している。吸着部２２Ａの対向面２４は、図３（ｂ）及び図３（ｃ）に例示した吸着部２２と異なり、図１０（ｂ）に示されるように面一に形成されている（接触面を含む突出部分が設けられていない）。
図１０（ｃ）及び図１０（ｄ）には、吸着部２２Ａが電子部品Ｗを吸着した際の吸着部２２Ａ（対向面２４）に対する電子部品Ｗの姿勢が例示されている。図１０（ｃ）は、電子部品Ｗの姿勢が理想状態で吸着が行われている場合の吸着部２２Ａと電子部品Ｗとの互いの位置関係の一例を示している。図１０（ｄ）は、電子部品Ｗの姿勢が理想状態からずれている状態（理想状態に対して電子部品Ｗが傾いた状態）で吸着が行われている場合の吸着部２２Ａと電子部品Ｗとの互いの位置関係の一例を示している。
吸着部２２Ａに吸着されている電子部品Ｗの姿勢が理想状態である場合、例えば対向面２４の外縁の一辺に沿う仮想的な基準線に対して、電子部品Ｗ（主面Ｗａ）の外縁の対応する一辺が略平行となる。吸着部２２Ａに吸着されている電子部品Ｗの姿勢が理想状態からずれている場合、例えば上記の仮想的な基準線に対して、電子部品Ｗ（主面Ｗａ）の外縁の対応する一辺が傾いている。部品回収部６０において、電子部品Ｗが傾いた状態で吸着部２２Ａから収容部材７２への電子部品Ｗの受け渡しが行われると、電子部品Ｗが傾いた状態で収容部材７２に収容され得る。そのため、電子部品Ｗの傾きをゼロに近づけて収容部材７２への受け渡しを行う必要がある。
第１実施形態に係る回転搬送部１０と同様に、回転搬送部１０Ａの回転駆動部１８は、対応する吸着部２２Ａを軸線Ａｘ２まわりに回転させる。回転駆動部１８により、電子部品Ｗを吸着している状態の吸着部２２Ａが軸線Ａｘ２まわりに回転することで、電子部品Ｗも軸線Ａｘ２まわりに回転する。電子部品Ｗが軸線Ａｘ２まわりに回転することにより、吸着部２２Ａに保持されている当該電子部品Ｗの姿勢（傾き）が調節される。回転前の吸着部２２Ａの対向面２４における外縁の一辺に沿う上記基準線に対する電子部品Ｗの傾きが調節される。
保持状態検出部１３０は、吸着部２２Ａによって吸着されている電子部品Ｗの保持状態を検出する。より詳細には、保持状態検出部１３０は、円軌道ＣＲのうちの電子部品Ｗが搬送される経路（上述の搬送経路）に位置するいずれかの停止位置ＳＰに配置された吸着部２２Ａについて、当該吸着部２２Ａに吸着されている電子部品Ｗの保持状態を検出する。以下、保持状態検出部１３０の検出対象となる電子部品Ｗを吸着した吸着部２２Ａが配置されている停止位置ＳＰを「検出用の停止位置ＳＰ」という。図９に示される例では、検出用の停止位置ＳＰが、回収用の停止位置ＳＰから旋回部１４の旋回方向と逆方向に角度ピッチの１ピッチ分だけ離間した停止位置に設定されている。
保持状態検出部１３０は、例えば、電子部品Ｗの保持状態として、吸着部２２Ａによって吸着されている電子部品Ｗの軸線Ａｘ２まわりの傾き（理想状態からの傾き）を検出する。また、保持状態検出部１３０は、電子部品Ｗの保持状態として、吸着部２２Ａによって吸着されている電子部品Ｗの位置（吸着されている状態での理想位置に対する電子部品Ｗの位置）を検出する。吸着部２２Ａによって吸着されている電子部品Ｗが理想位置に保持されている場合、対向面２４の中心と吸着部２２Ａの中心とが互いに略一致していてもよい。
保持状態検出部１３０は、カメラ１３２を有してもよい。カメラ１３２は、検出用の停止位置ＳＰに配置される吸着部２２Ａが吸着する電子部品Ｗを撮像可能となるように配置される。例えば、カメラ１３２は、吸着部２２Ａに吸着されている状態の電子部品Ｗの主面Ｗｂの全体が撮像可能となるように円軌道ＣＲの外側に配置される。カメラ１３２は、ＣＣＤイメージセンサ、又はＣＭＯＳイメージセンサ等の撮像素子と、撮像素子に画像を結像させるレンズとを含む。
領域検出部１４０は、収容部材７２（第２収容部材：例えばウェハシート７４）において電子部品Ｗが収容される予定の領域を検出する。領域検出部１４０は、例えば、電子部品Ｗが収容される予定の領域（収容予定領域）が引き渡し位置Ｐ２に配置されるようにウェハシート７４が移動した後に、当該収容予定領域の位置を検出する。例えば、ウェハシート７４は各電子部品Ｗの収容位置を定める構成を有しないので、ウェハシート７４上での収容予定領域の位置は、その領域に電子部品Ｗが収容された際に隣り合う他の電子部品Ｗとの間隔（例えば中心同士の間隔）が、予め定められた設定値となるように定められる（図１１（ａ）の収容予定領域ＲＡを参照）。
領域検出部１４０は、カメラ１４２と、ミラー部材１４４とを有してもよい。カメラ１４２は、例えば、収容予定領域及びその周囲（既にウェハシート７４に収容され、収容予定領域の周囲に位置する電子部品Ｗの少なくとも一部）を円軌道ＣＲの内側から撮像する。カメラ１４２は、回転搬送部１０Ａの上方において円軌道ＣＲの外側に配置されてもよい。カメラ１４２は、ＣＣＤイメージセンサ又はＣＭＯＳイメージセンサ等の撮像素子と、撮像素子に画像を結像させるレンズとを含む。
ミラー部材１４４は、収容予定領域及びその周囲を撮像するための視点を円軌道ＣＲの内側に設けるために配置される。ミラー部材１４４は、円軌道ＣＲの中心に配置されており、収容予定領域及びその周囲からミラー部材１４４に導入された光を、カメラ１４２に向けて反射する。なお、ミラー部材１４４は、上記光をカメラ１４２に向けて反射する反射面を有していれば、どのように構成されていてもよい。例えば、ミラー部材１４４は、板状のミラーであってもよく、一面が上記反射面となるように構成及び配置されたプリズムであってもよい。カメラ１４２は、引き渡し位置Ｐ２、ミラー部材１４４、及びカメラ１４２を経る光路上にいずれの部材も配置されていない状態（タイミング）で、ミラー部材１４４を介して、収容予定領域及びその周囲を撮像してもよい。
コントローラ２００は、機能モジュールとして、第２状態情報取得部２２２と、第３状態情報取得部２２４とを有してもよい（図５参照）。第２状態情報取得部２２２は、検出用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２Ａによって吸着されている電子部品Ｗの保持状態（例えば傾き及び位置）を示す情報を保持状態検出部１３０により検出する。第２状態情報取得部２２２は、例えば、検出用の停止位置ＳＰに電子部品Ｗを吸着しているいずれかの吸着部２２が配置された状態で、当該電子部品Ｗの主面Ｗｂの画像を保持状態検出部１３０のカメラ１３２に取得させる。
第３状態情報取得部２２４は、ウェハシート７４上の電子部品Ｗの収容予定領域（例えば、位置）を示す情報を領域検出部１４０により検出する。第３状態情報取得部２２４は、例えば、引き渡し位置Ｐ２に収容予定領域が配置されるようにウェハシート７４が移動した状態で、収容予定領域及びその周囲の画像を領域検出部１４０のカメラ１４２に取得させる。
姿勢制御部２０８は、吸着部２２Ａに保持されている電子部品Ｗの軸線Ａｘ２まわりの傾きの検出結果に応じて、当該電子部品Ｗの傾きを調節するように対応する回転駆動部１８を制御する。より詳細には、姿勢制御部２０８は、調節対象の電子部品Ｗがウェハシート７４に受け渡される前に、吸着部２２Ａに保持されている電子部品Ｗの傾きがゼロに（電子部品Ｗの姿勢が理想状態に）近づくように対応する回転駆動部１８を制御する。例えば、電子部品Ｗの傾きをゼロに近づけることで、ウェハシート７４に貼付された際に、電子部品Ｗ（主面Ｗａ）の外縁を複数の電子部品Ｗの配列方向に沿わせることができる。
第２位置制御部２１４は、収容予定領域の位置の検出結果と吸着部２２Ａに吸着されている電子部品Ｗの位置の検出結果とに応じて部材位置調節部６４（第２位置調節部）を制御する。より詳細には、第２位置制御部２１４は、ウェハシート７４上に電子部品Ｗが実際に貼り付けられた際に収容予定領域の位置と電子部品Ｗの位置との差がゼロに近づくように、収容予定領域の位置と吸着部２２Ａに吸着されている電子部品Ｗの位置とに応じて部材位置調節部６４により部材保持部６２（第２部材保持部）を移動させる。収容予定領域の位置と貼付された電子部品Ｗの位置との差をゼロに近づけることで、ウェハシート７４に貼付された複数の電子部品Ｗ間のピッチを等間隔に近づけることができる。
収容予定領域と吸着部２２Ａとの相対位置の上記調節を行わない場合、図１１（ａ）に示されるように、収容予定領域ＲＡ（収容させたい領域）と電子部品Ｗの貼付予定領域ＷＡ（実際に貼付される予定の領域）との間にずれが生じ得る。図１１（ａ）において、上記ずれは、Δｘ及びΔｙで示されており、吸着部２２Ａによって吸着されている電子部品Ｗの位置の理想位置に対するずれと、収容予定領域を引き渡し位置Ｐ２に配置するためのウェハシート７４の移動に伴う収容予定領域の理想位置に対するずれ（ピッチ移動量のずれ）とに起因する。第２位置制御部２１４は、図１１（ｂ）に示されるように、収容予定領域ＲＡと貼付予定領域ＷＡとの差がゼロに近づくように、部材位置調節部６４により部材保持部６２（ウェハシート７４）を移動させる。
続いて、電子部品の処理方法（コントローラ２００が実行する制御手順）の一例として、吸着部２２Ａが電子部品Ｗを引き渡すまでの一連の処理について説明する。図１２は、一の吸着部２２Ａが電子部品Ｗを引き渡すまでの一連の処理の一例を示すフローチャートである。
コントローラ２００は、電子部品Ｗを吸着している吸着部２２Ａが検出用の停止位置ＳＰに配置された状態で、ステップＳ４１，Ｓ４２を順に実行する。ステップＳ４１では、例えば、第２状態情報取得部２２２が、検出用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２Ａによって吸着されている電子部品Ｗの画像を保持状態検出部１３０のカメラ１３２に取得させる。ステップＳ４２では、例えば、第２位置制御部２１４が、ウェハシート７４上においてステップＳ４１で画像が取得された電子部品Ｗについての収容予定領域を引き渡し位置Ｐ２に配置するように部材位置調節部６４を制御する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ４３，Ｓ４４を順に実行する。ステップＳ４３では、例えば、旋回制御部２０２が、円軌道ＣＲ上における角度ピッチの１ピッチ分の旋回部１４の間欠的な旋回を旋回駆動部１６に開始させる。ステップＳ４４では、例えば、第３状態情報取得部２２４が、収容予定領域とその周囲との撮像が可能となるまで待機する。一例では、第３状態情報取得部２２４は、引き渡し位置Ｐ２、ミラー部材１４４、及びカメラ１４２を経る光路上にいずれの部材も位置しない状態となるタイミングまで待機する。当該タイミングは、例えばコントローラ２００に予め記憶されている。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ４５，Ｓ４６を順に実行する。ステップＳ４５では、例えば、第３状態情報取得部２２４が、ウェハシート７４上の収容予定領域及びその周囲の画像を領域検出部１４０のカメラ１４２に取得させる。ステップＳ４６では、例えば、旋回制御部２０２が、円軌道ＣＲ上における角度ピッチの１ピッチ分の旋回部１４の旋回を旋回駆動部１６に停止させる。ステップＳ４６までの処理により、回収予定の電子部品Ｗを吸着している吸着部２２Ａが、回収用の停止位置ＳＰに配置される。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ４７を実行する。ステップＳ４７では、例えば、姿勢制御部２０８が、ステップＳ４１で得られた画像に基づき検出された電子部品Ｗの傾きに応じて、電子部品Ｗの傾きの補正量を算出する。姿勢制御部２０８は、電子部品Ｗの傾きがゼロに近づくように（電子部品Ｗの姿勢が理想状態に近づくように）、電子部品Ｗの傾きの補正量を算出する。
また、ステップＳ４７では、例えば、第２位置制御部２１４が、ステップＳ４１で得られた画像に基づき検出された電子部品Ｗの位置と、ステップＳ４５で得られた画像に基づき検出された収容予定領域の位置とに応じて、部材保持部６２（ウェハシート７４）の位置の補正量を算出する。一例では、第２位置制御部２１４は、ウェハシート７４に電子部品Ｗが実際に貼り付けられた際に収容予定領域の位置と電子部品Ｗの位置との差がゼロに近づくように部材保持部６２の位置の補正量を算出する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ４８を実行する。ステップＳ４８では、例えば、姿勢制御部２０８が、ステップＳ４７で算出された傾きの補正量（補正量に応じた回転量）だけ軸線Ａｘ２まわりに電子部品Ｗ（吸着部２２Ａ）を回転させるように対応する回転駆動部１８を制御する。また、ステップＳ４８では、例えば第２位置制御部２１４が、ステップＳ４７で算出された位置の補正量（補正量に応じた移動量）だけ部材保持部６２（ウェハシート７４）を移動させるように部材位置調節部６４を制御する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ４９，Ｓ５０，Ｓ５１を順に実行する。例えば、ステップＳ４９では、第２受渡制御部２１８が、回収用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２Ａを進退駆動部２８ｂにより、吸着部２２Ａに吸着されている電子部品Ｗの主面Ｗｂがウェハシート７４に接触するまで円軌道ＣＲの外側に進出させる。ステップＳ５０では、例えば、第２受渡制御部２１８がウェハシート７４に接触した電子部品Ｗの吸着を吸着部２２Ａに解除させる。ステップＳ５１では、例えば、第２受渡制御部２１８が、進出させた吸着部２２Ａを進退駆動部２８ｂにより後退させる。これにより、電子部品Ｗが吸着部２２Ａからウェハシート７４に引き渡される。
コントローラ２００は、他の吸着部２２Ａ（他の電子部品Ｗ）についても、ステップＳ４１～Ｓ５１の一連の処理を実行してもよい。これにより、複数の吸着部２２Ａが、一の電子部品Ｗをウェハシート７４に順に引き渡す。コントローラ２００は、他の吸着部２２Ａ（後続の電子部品Ｗを引き渡す吸着部２２Ａ）についてのステップＳ４１～Ｓ５１の一連の処理を、一の吸着部２２ＡについてのステップＳ４１～Ｓ５１の一連の処理の途中（例えば、ステップＳ４６の実行後）から開始してもよい。
（変形例）
コントローラ２００は、ステップＳ４７において、収容予定領域の位置の補正量を算出せずに、電子部品Ｗの傾きの補正量を算出してもよい。この場合、コントローラ２００は、ステップＳ４８において、収容部材７２（ウェハシート７４）の位置の調節を部材位置調節部６４に実行させずに、調節対象の電子部品Ｗを吸着する吸着部２２Ａに対応する回転駆動部１８により当該電子部品Ｗの傾きを調節してもよい。
主面Ｗｂを見た場合の電子部品Ｗの形状が矩形である場合において、保持状態検出部１３０は、主面Ｗｂではなく電子部品Ｗの側面（主面Ｗａ，Ｗｂを接続する面）を撮像することによって、電子部品Ｗの傾きを検出してもよい。保持状態検出部１３０のカメラ１３２は、当該カメラ１３２に対して撮像対象の側面が正対した状態で電子部品Ｗの画像を取得してもよく、一側面が正対状態から軸線Ａｘ２まわりに所定の角度だけ傾くように配置された状態で電子部品Ｗの画像を取得してもよい。
コントローラ２００の第２状態情報取得部２２２は、電子部品Ｗの側面を撮像して得られる画像において、電子部品Ｗの幅に応じて電子部品Ｗの傾きを検出してもよい。処理装置１Ａは、電子部品Ｗの側面を撮像可能なカメラ１３２を用いて、電子部品Ｗの複数の側面について外観検査を行ってもよい。例えばコントローラ２００は、回転駆動部１８により軸線Ａｘ２まわりに電子部品Ｗを回転させることで、電子部品Ｗの複数の側面をカメラ１３２に順次撮像させ、これらの撮像画像に基づいて電子部品Ｗの外観検査を行ってもよい。
保持状態検出部１３０は、画像に代えてレーザ等の照射光を電子部品Ｗの側面に照射して、反射光等に基づいて電子部品Ｗの幅を計測することによって、電子部品Ｗの傾きを検出してもよい。例えば、保持状態検出部１３０は、電子部品Ｗの側面に向けて可視光を照射する照射部と、側面からの反射光を受ける受光部とを有してもよい。あるいは、保持状態検出部１３０は、電子部品Ｗの側面に向けて赤外光を照射する照射部と、電子部品Ｗを透過した透過光を受ける受光部とを有してもよい。
保持状態検出部１３０は、回収用の停止位置ＳＰから旋回部１４の旋回方向と逆方向に角度ピッチの２ピッチ分以上離れた停止位置ＳＰに配置された吸着部２２Ａが吸着する電子部品Ｗの姿勢を検出してもよい。コントローラ２００（姿勢制御部２０８）は、吸着部２２Ａが円軌道ＣＲ上を移動している状態で、対応する回転駆動部１８により軸線Ａｘ２まわりに電子部品Ｗを回転させてもよい。
領域検出部１４０は、引き渡し位置Ｐ２に配置される前に次に回収される電子部品Ｗについての収容予定領域（位置）を検出してもよい。例えば、領域検出部１４０は、調節対象となる電子部品Ｗについての収容予定領域が、引き渡し位置Ｐ２に配置される直前（ウェハシート７４上で隣り合う電子部品Ｗの中心同士の１ピッチ分の移動により引き渡し位置Ｐ２に配置される前に）、当該収容予定領域の位置を検出してもよい。第２位置制御部２１４は、収容予定領域の位置と当該収容予定領域に収容される予定の電子部品Ｗの位置とに応じて、当該電子部品Ｗがウェハシート７４に収容された際に収容予定領域に位置するように（ずれ量がゼロに近づくように）、部材位置調節部６４により部材保持部６２を移動させてもよい。
処理装置１Ａのコントローラ２００、第１実施形態に係る処理装置１と同様に、電子部品Ｗを吸着する前の吸着部２２Ａの傾きを調節してもよく、受け取り位置Ｐ１に配置された電子部品Ｗの位置を吸着部２２Ａによる吸着前に調節してもよい。
（第２実施形態の効果）
以上説明した第２実施形態に係る電子部品Ｗの処理装置１Ａは、電子部品Ｗを保持する部品保持部１２と、部品保持部１２を所定の円軌道ＣＲの外に向けて保持する旋回部１４と、円軌道ＣＲの中心軸に沿った軸線Ａｘ１（第１軸線）まわりに旋回部１４を旋回させる旋回駆動部１６と、旋回部１４に設けられ、円軌道ＣＲの半径方向に沿った軸線Ａｘ２（第２軸線）まわりに部品保持部１２を回転させる回転駆動部１８とを備える。
この処理装置１Ａでは、円軌道ＣＲの外に位置する電子部品Ｗを保持する部品保持部１２を軸線Ａｘ２まわりに回転させることで、部品保持部１２によって保持されている電子部品Ｗの姿勢が調節される。そのため、電子部品Ｗの姿勢を理想状態に近づけたうえで、部品保持部１２が電子部品Ｗを引き渡すことができる。従って、部品保持部１２との間での電子部品Ｗの受け渡しが行われる場合において、受け渡し後の電子部品Ｗの姿勢のずれを抑制することに有用である。例えば、電子部品Ｗの姿勢（傾き）を調節する手段として、吸着部２２Ａから一旦電子部品Ｗを受け取って、姿勢を調節した後に、調節後の電子部品Ｗを吸着部２２Ａに戻すアライメントユニットを設けることが考えられる。しかしながら、この場合、姿勢調節に伴って電子部品Ｗの受け渡しが必要となり、受け渡し回数の増加に起因して電子部品Ｗの落下の可能性が増えてしまう。これに対して、上記処理装置１Ａでは、電子部品Ｗの姿勢調節のために電子部品Ｗの受け渡しが行われないので、電子部品Ｗの落下の可能性を低減することが可能となる。
以上説明した処理装置１Ａは、部品保持部１２から回収された電子部品Ｗを収容する収容部材７２（第２収容部材）を部品保持部１２と対向するように保持する部材保持部６２（第２部材保持部）と、部材保持部６２と部品保持部１２とが対向する方向に交差する面に沿って、部材保持部６２の位置を変更する部材位置調節部６４（第２位置調節部）とを備える。この場合、部品保持部１２が電子部品Ｗを引き渡す際の、部品保持部１２と収容予定領域との相対位置を部材位置調節部６４により調節することができる。その結果、部品保持部１２との間での電子部品Ｗの受け渡しが行われる場合において、受け渡し後の電子部品Ｗの位置のずれを抑制することに有用である。例えば、収容部材７２がウェハシート７４である場合、電子部品Ｗを部品保持部１２から受け取るための位置に収容予定領域を配置するための移動機構を、部品保持部１２と収容予定領域との相対位置の調節にも使用でき、処理装置１Ａの簡素化を図ることが可能となる。
以上説明した処理装置１Ａは、部品保持部１２によって保持されている電子部品Ｗの保持状態を検出する保持状態検出部１３０と、収容部材７２（第２収容部材）において電子部品Ｗが収容される予定の領域を検出する領域検出部１４０とを備える。この場合、保持状態検出部１３０により検出された電子部品Ｗの傾きに応じて電子部品Ｗ（部品保持部１２）を軸線Ａｘ２まわりに回転させることができ、受け渡し後の電子部品Ｗの姿勢のずれをより確実に抑制することが可能となる。また、保持状態検出部１３０により検出された電子部品Ｗの位置及び領域検出部１４０により検出された収容予定領域の位置に応じて、部品保持部１２によって保持された状態の電子部品Ｗと収容予定領域との相対位置を調節することができ、受け渡し後の電子部品Ｗの位置のずれをより確実に抑制することが可能となる。
［第３実施形態］
２個以上の回転搬送部によって複数の電子部品Ｗが順に搬送さてもよく、回収される電子部品Ｗを収容する収容部材として、ウェハシートに代えてキャリアテープ又はトレイが用いられてもよい。図１３に示される第３実施形態に係る電子部品の処理装置１Ｂは、回転搬送部１０Ａに代えて回転搬送部１０Ｂ，１０Ｃを備える点、領域検出部１４０に代えて領域検出部１５０を備える点、及び部品回収部６０に代えて部品回収部６０Ｂを備える点において、第２実施形態に係る処理装置１Ａと装置する。回転搬送部１０Ｂ，１０Ｃは部品保持部１２の一例として、吸着部２２Ａに代えて吸着部２２Ｂ，２２Ｃをそれぞれ有する。
回転搬送部１０Ｂは、回転搬送部１０Ａと同様に構成されており、水平な中心軸まわりの円軌道ＣＲ１に沿って吸着部２２Ｂを搬送する。回転搬送部１０Ｂの旋回駆動部１６は、円軌道ＣＲ１の中心軸に沿った軸線Ａｘ１１まわりに旋回部１４を間欠的に旋回させる。回転搬送部１０Ｃは、回転搬送部１０Ａと同様に構成されており、水平な中心軸まわりの円軌道ＣＲ２に沿って吸着部２２Ｂを搬送する。回転搬送部１０Ｃの旋回駆動部１６は、円軌道ＣＲ２の中心軸に沿った軸線Ａｘ１２（第１軸線）まわりに旋回部１４を間欠的に旋回させる。軸線Ａｘ１１と軸線Ａｘ１２と（回転搬送部１０Ｂと回転搬送部１０Ｃと）は水平方向に並ぶように配置されている。以下では、回転搬送部１０Ｂにおいて複数の部品保持部１２の吸着部２２Ｂが、円軌道ＣＲ１上でそれぞれ停止する位置を「停止位置ＳＰ１」とし、回転搬送部１０Ｃにおいて複数の部品保持部１２の吸着部２２Ｃが、円軌道ＣＲ２上でそれぞれ停止する位置を「停止位置ＳＰ２」とする。
回転搬送部１０Ｂは、水平方向の一端に配置された停止位置ＳＰ１（供給用の停止位置ＳＰ１）において部品供給部３０から一の電子部品Ｗを受け取る。回転搬送部１０Ｂは、受け取った電子部品Ｗ（吸着部２２Ｂに吸着させた電子部品Ｗ）を、供給用の停止位置ＳＰ１から最上部の停止位置ＳＰ１、及び水平方向の他端に配置された停止位置ＳＰ１の順に搬送する。
回転搬送部１０Ｃは、水平方向の一端に配置された停止位置ＳＰ２（円軌道ＣＲ１に最も接近する停止位置ＳＰ２）において、回転搬送部１０Ｂから一の電子部品Ｗを受け取る。このように、回転搬送部１０Ｂと回転搬送部１０Ｃとの間では、互いに近接する停止位置ＳＰ１，ＳＰ２を含む受渡領域において電子部品Ｗの受け渡しが行われる。回転搬送部１０Ｃは、受け取った電子部品Ｗ（吸着部２２Ｃに吸着させた電子部品Ｗ）を、受渡領域に含まれる停止位置ＳＰ２から、最上部の停止位置ＳＰ２及び最下部の停止位置ＳＰ２の順に搬送する。
部品回収部６０Ｂは、複数の停止位置ＳＰ２のいずれか一つの停止位置ＳＰ２（例えば、最下部の停止位置ＳＰ２）において、回転搬送部１０Ｃから電子部品Ｗを回収する。以下では、電子部品Ｗが回収される停止位置ＳＰ２を「回収用の停止位置ＳＰ２」という。回収用の停止位置ＳＰ２が最下部に位置する場合、当該停止位置ＳＰ２に配置された吸着部２２Ｃの対向面２４は、水平な状態となる。部品回収部６０Ｂには、回収される複数の電子部品Ｗを収容する収容部材（第２収容部材）として、キャリアテープ１７４が配置される。
キャリアテープ１７４は、複数の電子部品Ｗを一ラインに沿って並ぶように収容する。キャリアテープ１７４は、例えば、複数の電子部品Ｗをそれぞれ収容し、一ラインに沿って並ぶ複数のポケット１７４ａを有する。キャリアテープ１７４では、ポケット１７４ａ内の空間に電子部品Ｗが収容される。複数のポケット１７４ａ（内の空間）それぞれは、電子部品Ｗに対応した形状に形成され、例えば平面視においてポケット１７４ａの外縁は、四角形である。なお、図１３では、回転搬送部１０Ｂ，１０Ｃ及び部品供給部３０については、側面から見た場合の模式図が示されているが、キャリアテープ１７４については、模式的な斜視図が示されている。
部品回収部６０Ｂは、例えば、図１４に示されるように、部材保持部１６２（第２部材保持部）と、部材位置調節部１６４（第２部材位置調節部）とを有する。部材保持部１６２は、回収用の停止位置ＳＰ２に配置された状態の吸着部２２Ｃと対向するように円軌道ＣＲ２の周囲においてキャリアテープ１７４を保持する。部材保持部１６２は、円軌道ＣＲ２の軸線Ａｘ１２と平行なラインに沿って並んだ状態で複数の電子部品Ｗが収容されるようにキャリアテープ１７４を保持してもよい。部材保持部１６２は、キャリアテープ１７４上のポケット１７４ａが並ぶ配列方向に沿ってキャリアテープ１７４を間欠的に移動させるように構成されていてもよい。例えば、部材保持部１６２は、複数のポケット１７４ａが回収用の停止位置ＳＰ２の鉛直下方の引き渡し位置Ｐ２に順に配置されるように、隣り合うポケット１７４ａの中心同士の間隔（ピッチ）での移動と停止とを繰り返してもよい。
部材位置調節部１６４は、キャリアテープ１７４と吸着部２２Ｃとが対向する方向（円軌道ＣＲ２の半径方向）に交差する面に沿って、部材保持部１６２の位置を調節する。例えば、部材位置調節部１６４は、キャリアテープ１７４と回収用の停止位置ＳＰ２に位置する吸着部２２Ｂの対向面２４とが対向する方向に垂直な面に沿って、部材位置調節部１６４の位置を変更する。部材位置調節部１６４の位置が変更されることで、部材保持部１６２に保持されたキャリアテープ１７４の位置が変わる。その結果、キャリアテープ１７４上の複数のポケット１７４ａ（電子部品Ｗが収容される予定の空のポケット１７４ａ）の位置が変更される。
部材位置調節部１６４は、回収用の停止位置ＳＰ２に位置する吸着部２２Ｃの対向面２４に沿う方向において、部材保持部１６２の位置を２方向に変更してもよい。一例では、部材位置調節部１６４は、第１駆動部１７６と、第２駆動部１７８とを有する。第１駆動部１７６は、例えば電動モータ等の動力源によって、円軌道ＣＲ２の軸線Ａｘ１２に沿った方向に部材保持部１６２（キャリアテープ１７４）を移動させる。第２駆動部１７８は、例えば電動モータ等の動力源によって、円軌道ＣＲ２の軸線Ａｘ１２と垂直な水平方向に沿って部材保持部１６２（キャリアテープ１７４）を移動させる。なお、部材保持部１６２がキャリアテープ１７４を移動させる機能を有さずに、部材位置調節部１６４の第１駆動部１７６が、隣り合うポケット１７４ａの中心同士の間隔（ピッチ）でのキャリアテープ１７４の移動と停止とを繰り返してもよい。
処理装置１Ｂの保持状態検出部１３０は、処理装置１Ａの保持状態検出部１３０と同様に、吸着部２２Ｃによって吸着されている電子部品Ｗの保持状態（位置及び傾き）を検出する。より詳細には、処理装置１Ｂの保持状態検出部１３０は、円軌道ＣＲ２のうちの電子部品Ｗが搬送される経路に位置するいずれかの停止位置ＳＰに配置された吸着部２２Ｃについて、当該吸着部２２Ｃに吸着されている電子部品Ｗの保持状態を検出する。以下、保持状態検出部１３０の検出対象となる電子部品Ｗを吸着した吸着部２２Ｃが配置されている停止位置ＳＰ２を「検出用の停止位置ＳＰ２」という。図１３に示される例では、検出用の停止位置ＳＰ２が、回収用の停止位置ＳＰ２から旋回部１４の旋回方向と逆方向に角度ピッチの１ピッチ分だけ離間した停止位置に設定されている。処理装置１Ｂの保持状態検出部１３０に含まれるカメラ１３２は、検出用の停止位置ＳＰ２に配置される吸着部２２Ｃが吸着する電子部品Ｗを撮像可能となるように配置される。
領域検出部１５０は、キャリアテープ１７４において電子部品Ｗが収容される予定の領域であるポケット１７４ａを検出する。領域検出部１５０は、例えば、空のポケット１７４ａが回収用の停止位置ＳＰ２の鉛直下方（引き渡し位置Ｐ２）に配置されるようにキャリアテープ１７４が移動した後に、当該ポケット１７４ａの位置を検出する。領域検出部１５０は、引き渡し位置Ｐ２に配置されたポケット１７４ａの理想位置に対するポケット１７４ａの位置（ずれ）を検出する。ポケット１７４ａの理想位置は、例えば、平面視におけるポケット１７４ａの中心が、回収用の停止位置ＳＰ２の鉛直下方に位置するように設定されている。
領域検出部１５０は、カメラ１５２を有してもよい。カメラ１５２は、電子部品Ｗが収容される予定の空のポケット１７４ａを撮像可能なように配置されている。カメラ１５２は、例えば、回転搬送部１０Ｃの上方において円軌道ＣＲの外側に配置されている。カメラ１５２は、ＣＣＤイメージセンサ又はＣＭＯＳイメージセンサ等の撮像素子と、撮像素子に画像を結像させるレンズとを含む。カメラ１５２は、引き渡し位置Ｐ２（空のポケット１７４ａ）と当該カメラ１５２の間の光路にいずれの部材も位置していない状態（タイミング）で、ポケット１７４ａの画像を取得する。
コントローラ２００の第２状態情報取得部２２２は、検出用の停止位置ＳＰ２に配置された吸着部２２Ｃによって吸着されている電子部品Ｗの保持状態（例えば傾き及び位置）を示す情報を保持状態検出部１３０により検出する。第２状態情報取得部２２２は、例えば、検出用の停止位置ＳＰ２に電子部品Ｗを吸着しているいずれかの吸着部２２Ｃが配置された状態で、当該電子部品Ｗの主面Ｗａの画像を保持状態検出部１３０のカメラ１３２に取得させる。
コントローラ２００の第３状態情報取得部２２４は、キャリアテープ１７４上の電子部品Ｗを収容する予定の空のポケット１７４ａの状態（例えば、位置）を示す情報を領域検出部１５０により検出する。第３状態情報取得部２２４は、例えば、引き渡し位置Ｐ２に調節対象の電子部品Ｗを収容する空のポケット１７４ａが配置されるようにキャリアテープ１７４が移動した後に、当該ポケット１７４ａの画像（少なくともポケット１７４ａの開口縁を含む画像）を領域検出部１５０のカメラ１５２に取得させる。
姿勢制御部２０８は、吸着部２２Ｃに吸着されている電子部品Ｗの軸線Ａｘ２まわりの傾きの検出結果に応じて、当該電子部品Ｗの傾きを調節するように対応する回転駆動部１８を制御する。より詳細には、姿勢制御部２０８は、調節対象の電子部品Ｗがキャリアテープ１７４に受け渡される前に、吸着部２２Ｃに保持されている電子部品Ｗの傾きがゼロに（電子部品Ｗの姿勢が理想状態に）近づくように対応する回転駆動部１８を制御する。電子部品Ｗの傾きをゼロに近づけることで、例えば、ポケット１７４ａに収容される際に、電子部品Ｗの傾きに起因してポケット１７４ａの開口縁に電子部品Ｗが接触し、ポケット１７４ａ内に収容できなくなる可能性を低減できる。
第２位置制御部２１４は、複数のポケット１７４ａを引き渡し位置Ｐ２に順に配置させるために、隣り合うポケット１７４ａの中心同士のピッチ間隔でキャリアテープ１７４が移動と停止とを繰り返すように部材保持部１６２を制御する。また、第２位置制御部２１４は、電子部品Ｗが収容される予定の空のポケット１７４ａの位置と、吸着部２２Ｃに吸着されている当該電子部品Ｗの位置とに応じて部材位置調節部１６４を制御する。より詳細には、第２位置制御部２１４は、ポケット１７４ａに電子部品Ｗが収容される際に、これらのポケット１７４ａの位置と電子部品Ｗの位置とのずれがゼロに近づくように、ポケット１７４ａの位置と電子部品Ｗの位置とに応じて部材位置調節部１６４により部材保持部１６２（キャリアテープ１７４）を移動させる。ポケット１７４ａに電子部品Ｗが収容される際に、ポケット１７４ａの位置と電子部品Ｗの位置とのずれをゼロに近づけることで、ポケット１７４ａに対する電子部品Ｗの相対位置のずれに起因してポケット１７４ａの開口縁に電子部品Ｗが接触し、ポケット１７４ａ内に収容できなくなる可能性を低減できる。
続いて、電子部品の処理方法（コントローラ２００が実行する制御手順）の一例として、吸着部２２Ｃが電子部品Ｗを引き渡すまでの一連の処理について説明する。図１５は、一の吸着部２２Ｃが電子部品Ｗを引き渡すまでの一連の処理の一例を示すフローチャートである。
コントローラ２００は、電子部品Ｗを吸着している吸着部２２Ｃが検出用の停止位置ＳＰ２に配置された状態で、ステップＳ６１，Ｓ６２を順に実行する。ステップＳ６１では、例えば、第２状態情報取得部２２２が、検出用の停止位置ＳＰ２に配置された吸着部２２Ｃによって吸着さている電子部品Ｗの画像を保持状態検出部１３０のカメラ１３２に取得させる。ステップＳ６２では、例えば、第２位置制御部２１４が、ステップＳ６１で画像が取得された電子部品Ｗの収容される予定の領域であるポケット１７４ａを引き渡し位置Ｐ２に配置するように部材位置調節部１６４を制御する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ６３，Ｓ６４を順に実行する。ステップＳ６３では、例えば、旋回制御部２０２が、回転搬送部１０Ｃにおいて円軌道ＣＲ２上における角度ピッチの１ピッチ分の旋回部１４の旋回を旋回駆動部１６に開始させる。ステップＳ６４では、例えば、第３状態情報取得部２２４が、電子部品Ｗが収容される予定のポケット１７４ａの撮像が可能となるまで待機する。一例では、第３状態情報取得部２２４は、電子部品Ｗが収容される予定のポケット１７４ａと領域検出部１５０のカメラ１５２との間の光路上にいずれの部材も位置しない状態となるタイミングまで待機する。当該タイミングは、例えばコントローラ２００に予め記憶されている。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ６５，Ｓ６６を順に実行する。ステップＳ６５では、例えば、第３状態情報取得部２２４が、キャリアテープ１７４上の電子部品Ｗが収容される予定のポケット１７４ａの画像をカメラ１５２に取得させる。ステップＳ６６では、例えば、旋回制御部２０２が、円軌道ＣＲ２上における角度ピッチの１ピッチ分の旋回部１４の旋回を旋回駆動部１６に停止させる。ステップＳ６６までの処理により、回収予定の電子部品Ｗを吸着している吸着部２２Ｃが、回収用の停止位置ＳＰ２に配置される。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ６７を実行する。ステップＳ６７では、例えば、姿勢制御部２０８が、ステップＳ６１で得られた画像に基づき検出された電子部品Ｗの傾きに応じて、電子部品Ｗの傾きの補正量を算出する。姿勢制御部２０８は、電子部品Ｗの傾きがゼロに近づくように（電子部品Ｗの姿勢が理想状態に近づくように）、電子部品Ｗの傾きの補正量を算出する。
また、ステップＳ６７では、例えば、第２位置制御部２１４が、ステップＳ６１で得られた画像に基づき検出された電子部品Ｗの位置と、ステップＳ６５で得られた画像に基づき検出されたポケット１７４ａの位置とに応じて、部材保持部１６２（キャリアテープ１７４）の位置の補正量を算出する。一例では、第２位置制御部２１４は、キャリアテープ１７４に電子部品Ｗが収容される際に、ポケット１７４ａの位置と電子部品Ｗの位置とのずれがゼロに近づくように部材保持部１６２の位置の補正量を算出する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ６８を実行する。ステップＳ６８では、例えば、姿勢制御部２０８が、ステップＳ６７で算出された傾きの補正量（補正量に応じた回転量）だけ軸線Ａｘ２まわりに電子部品Ｗ（吸着部２２Ｃ）を回転させるように対応する回転駆動部１８を制御する。またステップＳ６８では、第２位置制御部２１４が、ステップＳ６７で算出された位置の補正量（補正量に応じた移動量）だけ部材保持部１６２（キャリアテープ１７４）を移動させるように部材位置調節部１６４を制御する。
次に、コントローラ２００は、ステップＳ６９，Ｓ７０，Ｓ７１を順に実行する。例えば、ステップＳ６９では、第２受渡制御部２１８が、回収用の停止位置ＳＰ２に配置された吸着部２２Ｃを進退駆動部２８ｂにより、吸着部２２Ｂに吸着されている電子部品Ｗがポケット１７４ａ内に収容されるまで円軌道ＣＲ２の外側に進出させる。ステップＳ７０では、例えば、第２受渡制御部２１８が、ポケット１７４ａに収容された電子部品Ｗの吸着を吸着部２２Ｃに解除させる。ステップＳ７１では、例えば、第２受渡制御部２１８が、進出させた吸着部２２Ｃを進退駆動部２８ｂにより後退させる。ステップＳ６９～Ｓ７１の実行により、電子部品Ｗが吸着部２２Ｃからキャリアテープ１７４に受け渡される。
コントローラ２００は、他の吸着部２２Ｃ（他の電子部品Ｗ）についても、ステップＳ６１～Ｓ７１の一連の処理を実行してもよい。これにより、複数の吸着部２２Ｃが、一の電子部品Ｗをキャリアテープ１７４に順に引き渡す。コントローラ２００は、他の吸着部２２Ｃ（後続の電子部品Ｗを引き渡す吸着部２２Ｃ）についてのステップＳ６１～Ｓ７１の一連の処理を、一の吸着部２２ＣについてのステップＳ６１～Ｓ７１の一連の処理の途中（例えば、ステップＳ６６の実行後）から開始してもよい。
なお、領域検出部１５０は、引き渡し位置Ｐ２の空のポケット１７４ａの位置に代えて又は加えて、引き渡し位置Ｐ２に配置される前に次に回収される電子部品Ｗが収容される予定の領域である空のポケット１７４ａの位置を検出してもよい。例えば、領域検出部１５０は、調節対象となる電子部品Ｗが収容される予定の空のポケット１７４ａが、引き渡し位置Ｐ２に配置される直前（隣り合うポケット１７４ａの中心同士の１ピッチ分の移動により引き渡し位置Ｐ２に配置される前に）、当該ポケット１７４ａの位置を検出してもよい。第２位置制御部２１４は、空のポケット１７４ａを引き渡し位置Ｐ２に配置される際に、空のポケット１７４ａの位置と電子部品Ｗの位置とに応じて、電子部品Ｗとポケット１７４ａとの位置のずれがゼロに近づくように、部材保持部１６２及び部材位置調節部１６４によりキャリアテープ１７４を移動させてもよい。領域検出部１５０は、空のポケット１７４ａの位置に代えて又は加えて、当該ポケット１７４ａの姿勢を検出してもよい。
処理装置１Ｂは、回転搬送部１０Ｂ，１０Ｃに加えて、１個以上の別の回転搬送部を備えてもよい。処理装置１Ｂが備える複数の回転搬送部それぞれによって形成される円軌道の中心軸が、全て水平なラインに沿っていてもよく、全て鉛直なラインに沿っていてもよい。一部の回転搬送部によって形成される円軌道の中心軸が水平なラインに沿っており、残りの一部の回転搬送部によって形成される円軌道の中心軸が鉛直なラインに沿っていてもよい。複数の回転搬送部のうちの少なくとも一部についての円軌道の中心軸が、鉛直なライン又は水平なラインに対して傾斜していてもよく、中心軸の傾斜角が互いに異なっていてもよい。部品回収部６０Ｂに電子部品Ｗを引き渡す回転搬送部以外の回転搬送部において、円軌道に位置する複数の部品保持部（例えば複数の吸着部）それぞれが、当該円軌道の中心軸に沿った方向の一方側から電子部品Ｗを保持（例えば吸着）してもよい。
この処理装置１Ｂにおいても、第２実施形態に係る処理装置１Ａと同様に、円軌道ＣＲ２の外に位置する電子部品Ｗを吸着する吸着部２２Ｃを軸線Ａｘ２まわりに回転させることで、吸着部２２Ｃによって吸着されている電子部品Ｗの姿勢が調節される。そのため、電子部品Ｗの姿勢を理想状態に近づけたうえで、吸着部２２Ｃが電子部品Ｗを引き渡すことができる。従って、吸着部２２Ｃとの間での電子部品Ｗの受け渡しが行われる場合において、受け渡す際の電子部品Ｗの姿勢のずれを抑制することに有用である。
１，１Ａ，１Ｂ…電子部品の処理装置、Ｗ…電子部品、ＣＲ，ＣＲ１，ＣＲ２…円軌道、１２…部品保持部、１４…旋回部、１６…旋回駆動部、１８…回転駆動部、２２，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ…吸着部、２８ａ，２８ｂ…進退駆動部、Ａｘ１，Ａｘ１１，Ａｘ１２，Ａｘ２…軸線、３２，６２…部材保持部、３４，６４…部材位置調節部、４２，７２…収容部材、１１０…姿勢検出部、１２０…収容状態検出部、１３０…保持状態検出部、１４０，１５０…領域検出部。

Claims (7)

  1. 電子部品を保持する部品保持部と、
    前記部品保持部を所定の円軌道の外に向けて保持する旋回部と、
    前記円軌道の中心軸に沿った第１軸線まわりに前記旋回部を旋回させる旋回駆動部と、
    前記旋回部に設けられ、前記円軌道の半径方向に沿った第２軸線まわりに前記部品保持部を回転させる回転駆動部と、を備える電子部品の処理装置。
  2. 前記部品保持部に供給される前記電子部品を収容する収容部材を前記部品保持部と対向するように保持する部材保持部と、
    前記収容部材と前記部品保持部とが対向する方向に交差する面に沿って、前記部材保持部の位置を変更する位置調節部とを更に備える、請求項１記載の処理装置。
  3. 前記収容部材に収容された前記電子部品の収容状態を検出する収容状態検出部を更に備える、請求項２記載の処理装置。
  4. 前記部品保持部の前記第２軸線まわりの傾きを検出する姿勢検出部を更に備える、請求項１～３のいずれか一項記載の処理装置。
  5. 前記部品保持部から回収された前記電子部品を収容する第２収容部材を前記部品保持部と対向するように保持する第２部材保持部と、
    前記第２収容部材と前記部品保持部とが対向する方向に交差する面に沿って、前記第２部材保持部の位置を変更する第２位置調節部とを更に備える、請求項１～４のいずれか一項記載の処理装置。
  6. 前記部品保持部によって保持されている前記電子部品の保持状態を検出する保持状態検出部と、
    前記第２収容部材において前記電子部品が収容される予定の領域を検出する領域検出部とを更に備える、請求項５記載の処理装置。
  7. 前記円軌道の半径方向に沿って前記部品保持部及び前記回転駆動部を共に移動させる進退駆動部を更に備える、請求項１～６のいずれか一項記載の処理装置。
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