JP2021517238A - Semiconductor device test contacts and test socket devices - Google Patents

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Abstract

本発明は、半導体デバイスをテストするためのコンタクト及びソケット装置に関する。本発明のコンタクトは、金属板材を打ち抜き加工し、曲げて一体に構成されたスプリングコンタクトであって、一定パターンの多様なストリップからなる弾性部と、弾性部の両端にそれぞれ設けられた先端部とを含み、好ましくは、空間体積内に、導電性と弾性を有するフィラーが充填されることにより、耐久性と電気的特性に優れる。また、本発明に係るテストソケットは、上述したコンタクトを採用したラバータイプであって、ファインピッチ用デバイスのテストに適するという効果がある。【選択図】図１０The present invention relates to contact and socket devices for testing semiconductor devices. The contact of the present invention is a spring contact that is integrally formed by punching and bending a metal plate material, and has an elastic portion composed of various strips having a constant pattern and tip portions provided at both ends of the elastic portion. The space volume is preferably filled with a filler having conductivity and elasticity, so that the space volume is excellent in durability and electrical characteristics. Further, the test socket according to the present invention is a rubber type that employs the above-mentioned contacts, and has an effect of being suitable for testing a fine pitch device. [Selection diagram] FIG. 10

Description

本発明は、半導体デバイスをテストするためのコンタクト及びソケット装置に関し、さらに詳細には、ＩＣをテストするためのテストソケットに内蔵され、ＩＣの端子（ｌｅａｄ）とＰＣＢのパッド（ｐａｄ）とを電気的に接続するか、或いはパーソナルコンピュータ（ＰＣ）や携帯電話などの電子製品の内部にあるＰＣＢとＣＰＵなどのＩＣの端子とを電気的に接続するなどのように、接点と端子間の電気的接続のためのコンタクト及びソケット装置に関する。 The present invention relates to a contact and socket device for testing a semiconductor device, and more specifically, is built in a test socket for testing an IC, and electrically connects an IC terminal (lead) and a PCB pad (pad). Electrically connect the contacts to each other, or electrically connect the PCB inside an electronic product such as a personal computer (PC) or mobile phone to the terminal of an IC such as a CPU. Regarding contact and socket devices for connection.

テストソケットは、半導体後工程の段階で半導体デバイスの不良を検査するための部品であって、最終端でデバイスとの接触が行われ、テスト工程中にテスト装置とテストボードを介して伝達される信号をデバイスに伝達するための部品である。 A test socket is a component for inspecting a semiconductor device for defects in the post-semiconductor process, and the contact with the device is made at the final end and transmitted via a test device and a test board during the test process. It is a component for transmitting a signal to a device.

テストソケットは、個別デバイスが正確な位置に移動してテストボードと正確に接触する機械的接触、及び信号伝達時に接触点で信号歪みなく伝達することができるように安定的な電気的接触特性が求められる。 The test socket has stable electrical contact characteristics so that individual devices can move to the correct position and make precise contact with the test board, as well as mechanical contact and signal distortion-free transmission at the point of contact during signal transmission. Desired.

このようなテストソケットは、繰り返しテスト工程によって機械的、電気的な特性が低下する消耗性部品であるため、その寿命を延長して使用可能な回数を増やすことにより、テスト工程のコスト削減が切実に求められる。 Since such a test socket is a consumable component whose mechanical and electrical characteristics deteriorate due to repeated test processes, it is urgent to reduce the cost of the test process by extending its life and increasing the number of times it can be used. Is required.

一方、テストソケットの寿命を決定する最大の原因としては、二つが挙げられる。第一の原因として、機械的部分での不安定な接触によりソケットが破損してしまう問題があり、第二の原因として、持続的な接触により接触部位の汚染が接触抵抗を上昇させて電気的特性を不安定にする問題がある。 On the other hand, there are two major factors that determine the life of a test socket. The first cause is the problem that the socket is damaged due to unstable contact in the mechanical part, and the second cause is that the contamination of the contact part due to continuous contact increases the contact resistance and is electrical. There is a problem of destabilizing the characteristics.

一般に使用されるテストソケットは、半導体デバイスとテスト装置とを接続する導電性手段の形態によって、ピン（ｐｉｎ）タイプとラバー（ｒｕｂｂｅｒ）タイプに区分される。 Commonly used test sockets are classified into a pin type and a rubber type according to the form of the conductive means for connecting the semiconductor device and the test device.

図１の（ａ）（ｂ）はそれぞれ、一般なピンタイプとラバータイプのテストソケットの断面構成図である。 FIGS. 1A and 1B are cross-sectional configuration views of a general pin type and rubber type test socket, respectively.

図１の（ａ）を参照すると、ピンタイプのテストソケット１０は、屈曲形成されて弾性を有する多数のコンタクトピン１２が設けられたソケット本体１１と、ソケット本体１１の上部に上下遊動可能に設けられたカバー１３と、カバー１３の上下遊動に連動してデバイス２０を固定または固定解除するようにソケット本体１１に回動自在に組み立てられるラッチ１４とを含む。 Referring to (a) of FIG. 1, the pin type test socket 10 is provided in a socket body 11 provided with a large number of flexibly formed and elastic contact pins 12 and in an upper portion of the socket body 11 so as to be movable up and down. The cover 13 is included, and a latch 14 that is rotatably assembled to the socket body 11 so as to fix or release the device 20 in conjunction with the vertical movement of the cover 13.

コンタクトピン１２は、上下方向に弾性を有し、デバイスの端子とテスト装置のパッドとを電気的に接続する役割を果たし、デバイスの端子及びテスト装置のパッドの材質と形状に応じて様々なコンタクトピンが開発されており、例えばプランジャー、バレル及びスプリングからなるポゴピンがある。 The contact pin 12 has elasticity in the vertical direction and plays a role of electrically connecting the terminal of the device and the pad of the test device, and various contacts depending on the material and shape of the terminal of the device and the pad of the test device. Pins have been developed, such as pogo pins consisting of plungers, barrels and springs.

ラッチ１４にはガイドスロット１４ａが形成され、このガイドスロット１４ａにはガイドピン１５ａが締結され、このガイドピン１５ａは、一端がカバー１３とヒンジ締結される駆動リンク１５に固定される。カバー１３は、コイルスプリング１６によって弾性支持される。 A guide slot 14a is formed in the latch 14, a guide pin 15a is fastened to the guide slot 14a, and the guide pin 15a is fixed to a drive link 15 having one end hinged to the cover 13. The cover 13 is elastically supported by the coil spring 16.

このように構成されたピンタイプのテストソケット１０は、カバー１３を押すと、ラッチ１４が外方に広がりながらデバイス２０のロードが可能であり、カバー１３を放すと、コイルスプリング１５の弾性復元力によってラッチ１４がデバイス２０の上部を押して固定が行われる。 In the pin type test socket 10 configured in this way, when the cover 13 is pushed, the device 20 can be loaded while the latch 14 expands outward, and when the cover 13 is released, the elastic restoring force of the coil spring 15 is obtained. The latch 14 pushes the upper part of the device 20 to fix it.

しかし、このようなピンタイプのテストソケットは、コンタクトピン１２が弾性を有するためにらせん状または曲線状の構造を持つことにより、電流経路（ｃｕｒｒｅｎｔ ｐａｔｈ）が長くなって信号損失の問題があり、超高周波帯域で不利な構造である。また、ファインピッチのテストソケットでは、コンタクトピン１２が収納されるハウジング構造の製造過程が複雑になり、コストが大幅に増加するという問題点がある。 However, such a pin-type test socket has a problem of signal loss due to a long current path due to the spiral or curved structure of the contact pin 12 due to its elasticity. It is a disadvantageous structure in the ultra-high frequency band. Further, the fine pitch test socket has a problem that the manufacturing process of the housing structure in which the contact pin 12 is housed becomes complicated and the cost increases significantly.

次に、図１の（ｂ）を参照すると、ラバータイプのテストソケット３０は、絶縁性シリコーンパウダーが固形化されて伸縮性を有するコネクタ本体３１と、デバイス２０の半田ボール（端子）２１と対応してコネクタ本体３１に対して垂直に穿設される導電性シリコーン部３２とを含む。導電性シリコーン部３２は、コネクタ本体３１を垂直に貫通して略円筒形の形状を有する。 Next, referring to FIG. 1B, the rubber type test socket 30 corresponds to the connector body 31 in which the insulating silicone powder is solidified and has elasticity, and the solder ball (terminal) 21 of the device 20. A conductive silicone portion 32 that is formed perpendicular to the connector body 31 is included. The conductive silicone portion 32 vertically penetrates the connector main body 31 and has a substantially cylindrical shape.

次に、このようなラバータイプのテストソケットの製造方法について説明する。絶縁性パウダーと導電性パウダーとが所定の割合で混合されたシリコーン混合物を金型内に入れて溶融させた後、導電性シリコーン部３２が形成される位置に通電をさせると、シリコーン混合物の導電性パウダーが通電位置に集まり、最終的に溶融されたシリコーン混合物の固形化によって導電性シリコーン部３２が形成されたテストソケット３０を得る。 Next, a method for manufacturing such a rubber type test socket will be described. A silicone mixture in which an insulating powder and a conductive powder are mixed at a predetermined ratio is placed in a mold and melted, and then energized at a position where the conductive silicone portion 32 is formed. The test socket 30 is obtained in which the conductive powder portion 32 is formed by the solidification of the silicone mixture in which the sex powder is collected at the energized position and finally melted.

このように製作されたテストソケット３０は、テスト装置が下部に位置し、導電性シリコーン部３２の下端はパッドと接触し、導電性シリコーン部３２の上端はデバイス２０が上端から所定の圧力で加圧されることにより半田ボール２１と電気的に接触する。 In the test socket 30 manufactured in this way, the test device is located at the lower part, the lower end of the conductive silicone portion 32 is in contact with the pad, and the device 20 applies a predetermined pressure from the upper end to the upper end of the conductive silicone portion 32. By being pressed, it comes into electrical contact with the solder ball 21.

このようなラバータイプのテストソケット３０は、ソフトな素材からなって弾性を有するため、導電性シリコーン部３２の上面が半田ボール２１を包みながら安定的な電気的接触が行われる。この時、導電性シリコーン部３２は、中心部分が膨らみ出す。 Since such a rubber type test socket 30 is made of a soft material and has elasticity, stable electrical contact is performed while the upper surface of the conductive silicone portion 32 wraps the solder balls 21. At this time, the central portion of the conductive silicone portion 32 bulges out.

しかし、このようなラバータイプのテストソケット３０は、繰り返しテスト過程で弾性力が失われて使用寿命が著しく低下するという欠点がある。よって、使用回数が短く、頻繁な交換によるコストアップが発生する。 However, such a rubber type test socket 30 has a drawback that the elastic force is lost in the repeated test process and the service life is significantly shortened. Therefore, the number of times of use is short, and the cost increases due to frequent replacement.

特に、ラバータイプのテストソケットは、ファインピッチのデバイスにおいて隣接する導電性シリコーン部３２間の十分な絶縁距離Ｌの確保が容易でないため、短絡が発生する可能性が高い。 In particular, in the rubber type test socket, it is not easy to secure a sufficient insulation distance L between adjacent conductive silicone portions 32 in a fine pitch device, so that a short circuit is likely to occur.

具体的には、ファインピッチのデバイス用テストソケットでは、導電性シリコーン部３２間の距離が非常に短くなる場合に導電性シリコーン部３２間の十分な絶縁距離Ｌの確保が非常に重要である。 Specifically, in a fine pitch device test socket, it is very important to secure a sufficient insulation distance L between the conductive silicone portions 32 when the distance between the conductive silicone portions 32 becomes very short.

しかし、前述したように、ラバータイプのテストソケット３０は、絶縁性パウダーと導電性パウダーとが混合されたシリコーン混合溶融物に電圧を印加することにより、電流経路（ｃｕｒｒｅｎｔ ｐａｔｈ）に沿って導電性パウダーが集まって導電性シリコーン部３２を形成する。よって、電流経路に沿って集まる導電性パウダーは、正確に定義されたサイズｄ内に分布せず、導電性パウダーの密度Ｄは、連続的に減少する区間δを持つ。 However, as described above, the rubber type test socket 30 is conductive along the current path by applying a voltage to the silicone mixed melt in which the insulating powder and the conductive powder are mixed. The powder gathers to form the conductive silicone portion 32. Therefore, the conductive powder that collects along the current path is not distributed within the precisely defined size d, and the density D of the conductive powder has an interval δ that continuously decreases.

したがって、ラバータイプのテストソケット３０は、導電性シリコーン部３２が正確に定義された直径ｄではない一定の減衰区間δを有するため、隣接する導電性シリコーン部３２間の絶縁距離Ｌはかなり短くなるという問題点がある。これは、ファインピッチ用テストソケットとして使用するにはかなり不利である。 Therefore, in the rubber type test socket 30, since the conductive silicone portion 32 has a constant damping section δ that is not the diameter d that is accurately defined, the insulation distance L between the adjacent conductive silicone portions 32 becomes considerably short. There is a problem. This is a considerable disadvantage for use as a fine pitch test socket.

また、ラバータイプのテストソケットは、製造過程中にシリコーン混合溶融物に電圧を印加して電流経路に沿って十分な導電性パウダーの密度を得るためには、相当の時間の間、電圧を印加しなければならないので、製作工程が長くなるという欠点がある。 In addition, the rubber type test socket applies a voltage to the silicone mixed melt during the manufacturing process for a considerable period of time in order to obtain a sufficient density of conductive powder along the current path. This has the disadvantage of lengthening the manufacturing process.

そこで、本発明者は、従来技術のピン（ｐｉｎ）タイプとラバー（ｒｕｂｂｅｒ）タイプの欠点を補完し且つ利点を組み合わせることができる新しいタイプのハイブリッドコンタクトとテストソケット装置を開発し、これを特許出願しようとする。 Therefore, the present inventor has developed a new type of hybrid contact and test socket device that can complement the drawbacks of the conventional pin type and rubber type and combine the advantages, and applied for a patent. try to.

韓国公開特許第１０−２００６−００６２８２４号公報（公開日：２００６年６月１２日）Korean Publication No. 10-2006-0062824 (Publication date: June 12, 2006)

本発明は、かかる従来技術の問題点を改善するためのもので、その目的は、特に従来技術のピンタイプとラバータイプのテストソケット装置の欠点を補完して、電気的特性に優れ且つ使用寿命を延長することができるファインピッチのデバイスに適したテストソケット装置を提供することにある。 The present invention is to improve the problems of the prior art, and the purpose of the present invention is to complement the shortcomings of the pin type and rubber type test socket devices of the prior art, and to have excellent electrical characteristics and a useful life. It is an object of the present invention to provide a test socket device suitable for a fine pitch device that can be extended.

本発明の他の目的は、このようなファインピッチのデバイス用テストソケット装置に適した構造を持つコンタクトを提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a contact having a structure suitable for such a test socket device for a fine pitch device.

本発明の一態様によるコンタクトは、金属板材を打ち抜き加工し、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、水平ストリップと、前記水平ストリップの一端から垂直に延び、前記水平ストリップよりは長さが短い垂直ストリップとからなる単位ストリップがジグザグ状に連結されて円筒状に曲げられる弾性部と、上方に突き出して形成された上側先端部が設けられ、前記弾性部の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部と、下方に突き出して形成された下側先端部が設けられ、前記弾性部の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部と、を含んでなる。 The contact according to one aspect of the present invention is a contact that is integrally formed by punching a metal plate material and rolling it into a cylindrical shape, and extends vertically from a horizontal strip and one end of the horizontal strip, and from the horizontal strip. Is provided with an elastic portion in which unit strips composed of short vertical strips are connected in a zigzag shape and bent into a cylindrical shape, and an upper tip portion formed by projecting upward, and extends from the uppermost end of the elastic portion. It includes an upper head that can be bent into a cylindrical shape, and a lower head that is provided with a lower tip portion that is formed so as to project downward and extends from the lowermost end of the elastic portion and is bent into a cylindrical shape. ..

本発明の他の態様によるコンタクトは、金属板材を打ち抜き加工し、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、複数の同一サイズの閉ループストリップがノードによって直列に連結されて円筒状に曲げられる弾性部と、上方に突き出して形成された上側先端部が設けられ、前記弾性部の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部と、下方に突き出して形成された下側先端部が設けられ、前記弾性部の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部と、を含んでなる。 A contact according to another aspect of the present invention is a contact formed by punching a metal plate material and rolling it into a cylindrical shape to form a single contact, in which a plurality of closed loop strips of the same size are connected in series by a node to form a cylindrical shape. An elastic portion that can be bent upward and an upper tip portion that is formed so as to protrude upward are provided, and an upper head that extends from the uppermost end of the elastic portion and is bent in a cylindrical shape, and a lower tip that is formed so as to protrude downward. A portion is provided and includes a lower head that extends from the lowermost end of the elastic portion and is bent into a cylindrical shape.

好ましくは、少なくとも前記上側頭部と前記下側頭部との間の弾性部区間に円筒状に充填され、導電性と弾性を有するフィラーをさらに含む。 Preferably, at least the elastic portion section between the upper head and the lower head further includes a filler that is cylindrically filled and has conductivity and elasticity.

また、本発明に係るテストソケットは、上述したコンタクトを含むテストソケットに関するものであり、デバイスの端子と対応して、前記コンタクトが収納位置する複数の貫通孔が形成された取付部と、前記コンタクトを前記取付部と一体に固定する弾性を有する絶縁体部とを含む。 Further, the test socket according to the present invention relates to a test socket including the above-mentioned contact, and has a mounting portion formed with a plurality of through holes in which the contact is housed and corresponding to a terminal of the device, and the contact. Includes an elastic insulator portion that integrally fixes the mounting portion.

本発明のコンタクトは、金属板材を打ち抜き加工し、曲げて一体に構成されたスプリングコンタクトであって、一定パターンの単一または閉ループストリップからなる弾性部と、弾性部の両端にそれぞれ設けられた先端部とを含み、好ましくは、空間体積内に導電性と弾性を有するフィラーが充填されることにより、従来技術のピンタイプとラバータイプのテストソケット装置それぞれの欠点を補完し、電気的特性に優れるうえ、使用寿命を延長することができるという効果がある。 The contact of the present invention is a spring contact that is integrally formed by punching and bending a metal plate material, and has an elastic portion composed of a single or closed loop strip having a constant pattern and tips provided at both ends of the elastic portion. By filling the space volume with a filler having conductivity and elasticity, it complements the shortcomings of the conventional pin type and rubber type test socket devices, and is excellent in electrical characteristics. In addition, it has the effect of extending the service life.

また、本発明に係るテストソケットは、上述したコンタクトを採用したラバータイプであって、従来技術のラバータイプのテストソケット装置の欠点を補完し、特にファインピッチ用デバイスのテストに適するという効果がある。 Further, the test socket according to the present invention is a rubber type that employs the above-mentioned contacts, and has the effect of complementing the drawbacks of the conventional rubber type test socket device and is particularly suitable for testing fine pitch devices. ..

（ａ）（ｂ）はそれぞれ、一般なピンタイプとラバータイプのテストソケットを示す断面構成図である。(A) and (b) are sectional views showing general pin type and rubber type test sockets, respectively. 本発明の第１実施形態に係るコンタクトを示す図である。It is a figure which shows the contact which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係るコンタクトを示す図である。It is a figure which shows the contact which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係るコンタクトを示す図である。It is a figure which shows the contact which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係るコンタクトを示す図である。It is a figure which shows the contact which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るコンタクトを示す図である。It is a figure which shows the contact which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るコンタクトを示す図である。It is a figure which shows the contact which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係るコンタクトを示す図である。It is a figure which shows the contact which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係るコンタクトを示す図である。It is a figure which shows the contact which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係るテストソケットを示す図である。It is a figure which shows the test socket which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係るテストソケットを示す図である。It is a figure which shows the test socket which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係るテストソケットを示す図である。It is a figure which shows the test socket which concerns on 3rd Embodiment of this invention.

まず、本明細書及び請求の範囲で使用された用語や単語は通常的かつ辞典的な意味に限定して解釈されてはならず、発明者は、自身の発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則に立脚して、本発明の技術的思想に符合する意味と概念で解釈されるべきである。 First, the terms and words used herein and in the claims should not be construed in a general and lexical sense, in order for the inventor to explain his invention in the best possible way. Based on the principle that the concept of terms can be properly defined, it should be interpreted as a meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

したがって、本明細書に記載された実施形態と図面に示された構成は、本発明の最も好ましい一実施形態に過ぎないものであり、本発明の技術的思想をすべて代弁するものではないので、本出願時点においてこれらを代替することができる様々な均等物と変形例があり得ることを理解すべきである。 Therefore, the embodiments described herein and the configurations shown in the drawings are merely one of the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all the technical ideas of the present invention. It should be understood that at the time of this application there may be various equivalents and variants that can replace them.

本発明は、金属板材を打ち抜き加工して形成されたストリップを円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトと、このコンタクトを基材にして円筒形の構造内に充填される導電性の弾性充填部とからなるハイブリッドタイプのコンタクトを技術上の特徴とし、本発明の好適な実施形態に係るコンタクトを添付図面を参照して詳細に説明する。 In the present invention, a contact formed by rolling a strip formed by punching a metal plate material into a cylindrical shape and integrally formed, and a conductive elasticity filled in a cylindrical structure using this contact as a base material. A hybrid type contact including a filling portion is a technical feature, and a contact according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

第１実施形態
図２及び図３は本発明の第１実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図２の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図であり、（ｂ）は上端からローリング加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図３は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図及び正面図である。 1st Embodiment 2 and 3 are views showing contacts according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2A is a left side view and a plan view of a plate-like pattern developed from the left side. FIG. 3B is a plan view and a front view of a contact rolled from the upper end, and FIG. 3 is a plan view and a front view of a hybrid type contact filled with a filler from the upper end.

図２の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト１２００の板状パターンは、水平ストリップ１２１１と垂直ストリップ１２１２からなる単位ストリップ１２１１、１２１２がジグザグ状に連結される弾性部１２１０と、上方に突き出して形成された上側先端部１２２１が設けられ、弾性部１２１０の最上端から延びる上側頭部１２２２と、下方に突き出して形成された下側先端部１２３１が設けられ、弾性部１２１０の最下端から延びる下側頭部１２３２とを含む。 Referring to (a) and (b) of FIG. 2, the plate-like pattern of the contact 1200 according to the present embodiment is an elastic portion 1210 in which unit strips 1211 and 1212 composed of horizontal strips 1211 and vertical strips 1212 are connected in a zigzag shape. The upper tip portion 1221 formed so as to protrude upward is provided, the upper head 1222 extending from the uppermost end of the elastic portion 1210, and the lower tip portion 1231 formed so as to protrude downward are provided, and the elastic portion 1210 is provided. Includes a lower head 1232 extending from the lowermost end of the.

コンタクトは、主にベリリウム銅（ＢｅＣｕ）、銅合金、またはステンレススチール（ＳＵＳ）などを素材とする板材を打ち抜き加工して一定パターンに製造し、これを円筒状に曲げてコンタクトに製作でき、表面に金、パラジウム（Ｐｄ）、パラジウム（ＰｄＮｉ）、パラジウムニッケル（ＰｄＮｉ）またはパラジウムコバルト（ＰｄＣｏ）などがメッキされ得る。 The contact can be made into a contact by punching a plate material mainly made of beryllium copper (BeCu), copper alloy, stainless steel (SUS), etc. into a fixed pattern and bending it into a cylindrical shape. Can be plated with gold, palladium (Pd), palladium (PdNi), palladium nickel (PdNi), palladium cobalt (PdCo), or the like.

弾性部１２１０は、水平ストリップ１２１１と、この水平ストリップ１２１１の一端から垂直に延び、水平ストリップ１２１１よりは長さが短い垂直ストリップ１２１２とからなる単位ストリップ１２１１、１２１２を含み、複数の単位ストリップ１２１１、１２１２がジグザグ状に連結される。 The elastic portion 1210 includes a plurality of unit strips 1211, including unit strips 1211, 1212 consisting of horizontal strips 1211 and vertical strips 1212 extending vertically from one end of the horizontal strips 1211 and having a length shorter than that of the horizontal strips 1211. The 1212s are connected in a zigzag manner.

上側頭部１２２２と下側頭部１２３２は、それぞれ、縁に沿って複数の歯形からなる上側先端部１２２１と下側先端部１２３１が設けられ、デバイスの端子及びテスト装置のパッドと接触する。 The upper head 1222 and the lower head 1232 are provided with an upper tip 1221 and a lower tip 1231 having a plurality of tooth profiles along the edges, respectively, and come into contact with the terminals of the device and the pads of the test device.

本実施形態において、上側頭部１２２２と下側頭部１２３２は、弾性部１２１０の水平ストリップ１２１１と同様のものであると例示しているが、これに限定されるものではなく、幅と長さが異なってもよい。 In the present embodiment, the upper head 1222 and the lower head 1232 are exemplified as being similar to the horizontal strip 1211 of the elastic portion 1210, but the width and length are not limited thereto. May be different.

このような板状パターンを有するコンタクト１２００は、円筒状に曲げ加工されるが、水平ストリップ１２１１の中心を垂直軸Ｃにして円筒状に曲げられ得る。 The contact 1200 having such a plate-like pattern is bent into a cylindrical shape, but can be bent into a cylindrical shape with the center of the horizontal strip 1211 as the vertical axis C.

次に、図３に例示されているように、このように構成されたコンタクト１２００は、円筒状の内部に導電性と弾性を有するフィラー１２４０が充填できる。ちなみに、本発明において、フィラーが充填されたコンタクトを、特にハイブリッドコンタクトに区分して称することにする。 Next, as illustrated in FIG. 3, the contact 1200 configured in this way can be filled with a conductive and elastic filler 1240 inside a cylindrical shape. Incidentally, in the present invention, a contact filled with a filler will be specifically referred to as a hybrid contact.

本実施形態において、フィラー１２４０は、導電性を有する粒子が混入された絶縁部材であり得る。例えば、導電性のパウダーと絶縁性のシリコーンパウダーとの混合物を円筒状のコンタクト内に充填し、これを溶融した後に固形化することにより、導電性と弾性を有するフィラー１２４０が備えられたハイブリッドコンタクトを得ることができる。 In this embodiment, the filler 1240 can be an insulating member mixed with conductive particles. For example, a hybrid contact provided with a conductive and elastic filler 1240 by filling a cylindrical contact with a mixture of conductive powder and insulating silicone powder, melting the mixture and then solidifying it. Can be obtained.

一方、混合物の溶融、固形化過程でモールドが使用できる。モールドは、収納孔が形成され、曲げ加工されたコンタクトが挿入位置する。コンタクトの挿入された収納孔内に混合物を入れ、これを溶融、固形化した後にモールドから分離してハイブリッドコンタクトを得ることができる。 On the other hand, a mold can be used in the process of melting and solidifying the mixture. A storage hole is formed in the mold, and a bent contact is inserted at the insertion position. A hybrid contact can be obtained by placing the mixture in the storage hole into which the contact is inserted, melting and solidifying the mixture, and then separating it from the mold.

導電性を有する粒子は、金属物質の粒子であってもよく、金属または非金属粒子の表面に金、銀、パラジウム（Ｐｄ）、パラジウムニッケル（ＰｄＮｉ）またはパラジウムコバルト（ＰｄＣｏ）などをメッキした粒子であってもよく、カーボンナノチューブなどが混入されてもよい。 The conductive particles may be particles of a metallic substance, and particles obtained by plating the surface of metal or non-metal particles with gold, silver, palladium (Pd), palladium nickel (PdNi), palladium cobalt (PdCo), or the like. It may be mixed with carbon nanotubes or the like.

フィラー１２４０を構成する絶縁性を有する主基材としては、弾性高分子物質が使用でき、代表的にシリコーンが使用できるが、これに限定されるものではない。 As the main base material having an insulating property constituting the filler 1240, an elastic polymer substance can be used, and silicone can be typically used, but the present invention is not limited thereto.

また、本実施形態において、フィラー１２４０については、上側先端部１２２１から下側先端部１２３１まで円筒状に充填が行われることを例示しているが、必要に応じて、上側頭部１２２１と下側頭部１２３１の区間を除いて、相対的に大きい電気的抵抗が発生する弾性部１２１０区間にのみ円筒状に充填が行われ得る。 Further, in the present embodiment, it is illustrated that the filler 1240 is filled in a cylindrical shape from the upper tip portion 1221 to the lower tip portion 1231. However, if necessary, the upper head portion 1221 and the lower side are filled. Except for the section of the head 1231, the filling can be performed in a cylindrical shape only in the elastic portion 1210 section where a relatively large electric resistance is generated.

第２実施形態
図４及び図５は本発明の第２実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図４の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図であり、（ｂ）は上端からローリング加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図５は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図及び正面図である。 2nd Embodiment FIGS. 4 and 5 are views showing contacts according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 4A is a left side view and a plan view of a plate-shaped pattern developed from the left side. FIG. 5B is a plan view and a front view of a contact rolled from the upper end, and FIG. 5 is a plan view and a front view of a hybrid type contact filled with a filler from the upper end.

図４の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト１３００の板状パターンは、水平ストリップ１３１１と垂直ストリップ１３１２からなる単位ストリップ１３１１、１３１２がジグザグ状に連結される弾性部１３１０と、上方に突き出して形成された上側先端部１３２１が設けられ、弾性部１３１０の最上端から延びる上側頭部１３２２と、下方に突き出して形成された下側先端部１３３１が設けられ、弾性部１３１０の最下端から延びる下側頭部１３３２とを含む。 Referring to (a) and (b) of FIG. 4, the plate-like pattern of the contact 1300 according to the present embodiment is an elastic portion 1310 in which unit strips 1311 and 1312 composed of horizontal strips 1311 and vertical strips 1312 are connected in a zigzag shape. The upper tip portion 1321 formed so as to protrude upward is provided, the upper head 1322 extending from the uppermost end of the elastic portion 1310, and the lower tip portion 1331 formed so as to protrude downward are provided, and the elastic portion 1310 is provided. Includes a lower head 1332 extending from the lowermost end of the.

特に、本実施形態において、上側先端部１３２１は、複数の歯形から構成され、板状パターンの平面Ｐに対して一定角度θ１の傾斜を有し、これにより円筒形の中心に曲げられ、上側先端部１３２１は円錐形状を有する。また、下側先端部１３２１も、複数の歯形から構成され、板状パターンの平面Ｐに対して一定角度θ２の傾きを有し、円筒形の中心に曲げられて円錐形状を有する。 In particular, in the present embodiment, the upper tip portion 1321 is composed of a plurality of tooth profiles and has an inclination of a constant angle θ1 with respect to the plane P of the plate-like pattern, whereby the upper tip portion 1321 is bent to the center of the cylinder and the upper tip portion is bent. The portion 1321 has a conical shape. Further, the lower tip portion 1321 is also composed of a plurality of tooth profiles, has an inclination of a constant angle θ2 with respect to the plane P of the plate-like pattern, and has a conical shape bent to the center of the cylinder.

図５を参照すると、このように構成されたコンタクト１３００は、円筒形の内部に導電性と弾性を有するフィラー１３４０が充填されることにより、ハイブリッドコンタクトを得ることができる。 With reference to FIG. 5, in the contact 1300 configured in this way, a hybrid contact can be obtained by filling the inside of the cylindrical shape with a filler 1340 having conductivity and elasticity.

フィラー１３４０は、先立って第１実施形態で説明したように、導電性のパウダーと絶縁性のシリコーンパウダーとの混合物をコンタクト１３００内に充填して固形化することにより製作でき、また、本発明の実施形態において、コンタクトとフィラーの素材と充填区間は、先立って第１実施形態と同様であるので、以下、重複説明は省略する。 The filler 1340 can be produced by filling the contact 1300 with a mixture of a conductive powder and an insulating silicone powder and solidifying the mixture, as described above in the first embodiment, and also according to the present invention. In the embodiment, the material and the filling section of the contact and the filler are the same as those in the first embodiment, and thus the duplicate description will be omitted below.

第３実施形態
図６及び図７は本発明の第３実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図６の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図、（ｂ）は上端からローリング加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図７の（ａ）は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図及び正面図である。 3rd Embodiment FIGS. 6 and 7 are views showing contacts according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 6A is a left side view and a plan view of a plate-shaped pattern developed from the left side. FIG. 7B is a plan view and a front view of a contact rolled from the upper end, and FIG. 7A is a plan view and a front view of a hybrid type contact filled with a filler from the upper end.

図６の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト１４００の板状パターンは、複数の同一サイズの閉ループストリップ１４１１がノード１４１２によって直列に連結される弾性部１４１０と、上方に突き出して形成された上側頭部１４２１が設けられ、弾性部１４１０の最上端から延びる上側頭部１４２２と、下方に突き出して形成された下側先端部１４３１が設けられ、弾性部１４１０の最下端から延びる下側頭部１４３２とを含む。 Referring to (a) and (b) of FIG. 6, the plate-like pattern of the contact 1400 according to the present embodiment is above the elastic portion 1410 in which a plurality of closed loop strips 1411 of the same size are connected in series by the node 1412. An upper head 1421 formed by protruding is provided, an upper head 1422 extending from the uppermost end of the elastic portion 1410, and a lower tip portion 1431 formed by protruding downward are provided, and from the lowermost end of the elastic portion 1410. Includes an extended inferior head 1432.

本実施形態において、弾性部１４１０を構成する閉ループストリップ１４１１は、いずれも同じサイズを有し、略方形（ｒｅｃｔａｎｇｕｌａｒ）の形状を有し、隣接する閉ループストリップ１４１１は、単一のノード１４１２によって直列に連結される。 In this embodiment, the closed loop strips 1411 constituting the elastic portion 1410 all have the same size and have a rectangular shape, and the adjacent closed loop strips 1411 are connected in series by a single node 1412. Be connected.

本実施形態において、上側頭部１４２２と下側頭部１４３２は、弾性部１４１０と同じ単位ストリップ（閉ループストリップ）構造を持つと例示しているが、これに限定されるものではなく、閉ループストリップではなく、四角ストリップのように、その形状はさまざまである。好ましくは、各ノード１４１２は弾性部１４１０の垂直軸Ｃ上に設けられる。 In the present embodiment, the upper head 1422 and the lower head 1432 are exemplified to have the same unit strip (closed loop strip) structure as the elastic portion 1410, but the closed loop strip is not limited to this. Instead, like a square strip, its shape varies. Preferably, each node 1412 is provided on the vertical axis C of the elastic portion 1410.

上側先端部１４２１と下側先端部１４３２は、複数の歯形から構成できる。 The upper tip portion 1421 and the lower tip portion 1432 can be composed of a plurality of tooth profiles.

このように構成された板状パターンは、弾性部１４１０、上側頭部１４２２、及び下側頭部１４３２が円筒状に曲げられる。この時、上側頭部１４２２および／または下側頭部１４３２が基準作用点として支持されて円筒状に曲げられ得る。 In the plate-like pattern configured in this way, the elastic portion 1410, the upper head portion 1422, and the lower head head 1432 are bent into a cylindrical shape. At this time, the upper head 1422 and / or the lower head 1432 can be supported as a reference point of action and bent into a cylindrical shape.

図７を参照すると、このように構成されたコンタクト１４００は、円筒状の内部に、導電性と弾性を有するフィラー１４４０が充填できる。 Referring to FIG. 7, the contact 1400 configured in this way can be filled with a conductive and elastic filler 1440 in a cylindrical shape.

第４実施形態
図８及び図９は本発明の第４実施形態に係るコンタクトを示す図であって、図８の（ａ）は左側から板状パターンの展開された状態の左側面図及び平面図、（ｂ）は上端からローリング加工されたコンタクトの平面図及び正面図であり、図９は上端からフィラーが充填されたハイブリッドタイプのコンタクトの平面図及び正面図である。 Fourth Embodiment FIGS. 8 and 9 are views showing contacts according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 8A is a left side view and a plan view of a plate-shaped pattern developed from the left side. FIG. 9B is a plan view and a front view of a contact rolled from the upper end, and FIG. 9 is a plan view and a front view of a hybrid type contact filled with a filler from the upper end.

図４の（ａ）（ｂ）を参照すると、本実施形態に係るコンタクト１５００の板状パターンは、複数の同一サイズの閉ループストリップ１５１１がノード１５１２によって直列に連結される弾性部１５１０と、上方に突き出して形成された上側頭部１５２１が設けられ、弾性部１５１０の最上端から延びる上側頭部１５２２と、下方向に突き出して形成された下側先端部１５３１が設けられ、弾性部１５１０の最下端から延びる下側頭部１５３２とを含む。 Referring to (a) and (b) of FIG. 4, the plate-like pattern of the contact 1500 according to the present embodiment is above the elastic portion 1510 in which a plurality of closed loop strips 1511 of the same size are connected in series by the node 1512. An upper head portion 1521 formed by protruding is provided, an upper head portion 1522 extending from the uppermost end of the elastic portion 1510, and a lower tip portion 1531 formed by protruding downward are provided, and the lowermost end portion of the elastic portion 1510 is provided. Includes the inferior head 1532 extending from.

特に、本実施形態において、上側先端部１５２１は、複数の歯形から構成され、板状パターンの平面Ｐに対して一定角度θ３の傾斜を有し、よって、円筒形の中心に曲げられ、円錐形状を有する。また、下側先端部１５３１も複数の歯形から構成され、板状パターンの平面Ｐに対して一定角度θ４の傾斜を有し、円筒形の中心に曲げられて円錐形状を有する。 In particular, in the present embodiment, the upper tip portion 1521 is composed of a plurality of tooth profiles, has an inclination of a constant angle θ3 with respect to the plane P of the plate-like pattern, and is therefore bent toward the center of the cylinder and has a conical shape. Has. Further, the lower tip portion 1531 is also composed of a plurality of tooth profiles, has an inclination of a constant angle θ4 with respect to the plane P of the plate-like pattern, and has a conical shape bent to the center of the cylinder.

図９を参照すると、このように構成されたコンタクト１５００は、円筒状の内部に導電性と弾性を有するフィラー１５４０が充填できる。 Referring to FIG. 9, the contact 1500 thus configured can be filled with a conductive and elastic filler 1540 inside a cylindrical shape.

以下、このようなコンタクトを採用したテストソケットについて詳細に説明する。 Hereinafter, the test socket that employs such a contact will be described in detail.

第１実施形態
図１０は本発明の第１実施形態に係るテストソケットを示す図であって、（ａ）は平面構成図、（ｂ）はＡ−Ａ線に沿った断面構成図である。 1st Embodiment FIG. 10 is a figure which shows the test socket which concerns on 1st Embodiment of this invention, (a) is a plan view, (b) is a cross-sectional view along the line AA.

図１０を参照すると、本実施形態に係るテストソケット２１００は、デバイス２０の端子２１と対応して、コンタクト２１１０が収納位置する複数の貫通孔２１２１ａが形成された取付部２１２０と、コンタクト２１１０を取付部２１２０と一体に固定する、弾性を有する絶縁体部２１３０とを含む。 Referring to FIG. 10, the test socket 2100 according to the present embodiment mounts a mounting portion 2120 and a contact 2110 in which a plurality of through holes 2121a in which the contact 2110 is housed are formed corresponding to the terminal 21 of the device 20. Includes an elastic insulator portion 2130 that is integrally fixed with the portion 2120.

取付部２１２０は、板状の部材であって、デバイス２０の端子２１と対応する複数の貫通孔２１２１ａが形成されてコンタクト２１１０の下端の一部が挿入され、上面に絶縁体部２１３０が備えられる。取付部２１２０は、テストソケットを装着するためのマウントホール２１２０ａとテストソケットの組立位置を案内する役割を果たすガイドホール２１２０ｂが設けられ得る。 The mounting portion 2120 is a plate-shaped member, and a plurality of through holes 2121a corresponding to the terminal 21 of the device 20 are formed, a part of the lower end of the contact 2110 is inserted, and the insulator portion 2130 is provided on the upper surface. .. The mounting portion 2120 may be provided with a mount hole 2120a for mounting the test socket and a guide hole 2120b that serves to guide the assembly position of the test socket.

本実施形態において、取付部２１２０は、樹脂などの絶縁性素材の第１取付部２１２１と、金属（ＳＵＳ）または樹脂からなり、ソケットベースを構成する第２取付部２１２２から構成できるが、これに限定されるものではなく、第１取付部２１２１単独で使用できる。 In the present embodiment, the mounting portion 2120 can be composed of a first mounting portion 2121 made of an insulating material such as resin and a second mounting portion 2122 made of metal (SUS) or resin and constituting a socket base. It is not limited, and the first mounting portion 2121 can be used alone.

絶縁体部２１３０は、弾性を有する絶縁性部材であって、コンタクト２１１０と取付部２１２０を一体に固定し、上面にデバイス２０が定着される。 The insulator portion 2130 is an elastic insulating member, and the contact 2110 and the mounting portion 2120 are integrally fixed, and the device 20 is fixed on the upper surface.

一方、絶縁体部２１３０の上面には、デバイス２０が直接定着される取付座２１３１が追加でき、絶縁性を有する樹脂によって提供できる。 On the other hand, a mounting seat 2131 to which the device 20 is directly fixed can be added to the upper surface of the insulator portion 2130, and can be provided by a resin having an insulating property.

絶縁体部２１３０は、絶縁性のシリコーン液によって提供でき、例えば、取付部２１２０の貫通孔２１２１ａにコンタクト２１１０が仮組立され、絶縁体部２１３０を成形するためのモールドを用いてシリコーン液をモールド内に投入した後、これを硬化させてモールドを除去することにより、取付部２１２０とコンタクト２１１０を一体に固定する絶縁体部２１３０が完成できる。 The insulator portion 2130 can be provided by an insulating silicone liquid. For example, the contact 2110 is temporarily assembled in the through hole 2121a of the mounting portion 2120, and the silicone liquid is placed in the mold using a mold for molding the insulator portion 2130. By curing this and removing the mold, the insulator portion 2130 that integrally fixes the mounting portion 2120 and the contact 2110 can be completed.

好ましくは、コンタクト２１１０は、下側先端部が一定長さｂ１だけ貫通ホール２１２１ａの外側に突き出して位置することにより、テスト装置のパッドとの接触性を高めることができる。 Preferably, the contact 2110 is positioned so that the lower tip portion protrudes to the outside of the through hole 2121a by a certain length b1, so that the contactability with the pad of the test device can be improved.

コンタクト２１１０の上側先端部も、デバイス２０と対面する絶縁体部２１３０の上面の外側に一定長さｂ２だけ突き出してデバイス２０の端子２１との接触性を高めることができる。一方、絶縁体部２１３０の上部に設けられる取付座２１３１は、デバイス２０が直接配置される。この時、取付座２１３１の高さは、コンタクト２１１０の上端よりは高くてもよいが、デバイスのマウント時に、取付座２１３１は圧縮されながら、デバイス２０の端子２１とコンタクト２１１０の上端との接触が行われ得る。 The upper tip portion of the contact 2110 can also be projected to the outside of the upper surface of the insulator portion 2130 facing the device 20 by a certain length b2 to improve the contact property with the terminal 21 of the device 20. On the other hand, the device 20 is directly arranged on the mounting seat 2131 provided above the insulator portion 2130. At this time, the height of the mounting seat 2131 may be higher than the upper end of the contact 2110, but when the device is mounted, the mounting seat 2131 is compressed and the terminal 21 of the device 20 comes into contact with the upper end of the contact 2110. Can be done.

第２実施形態
図１１は本発明の第２実施形態に係るテストソケットの断面構成図であり、第１実施形態と重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。 The second embodiment is a cross-sectional configuration diagram of the test socket according to the second embodiment of the present invention, and the description overlapping with the first embodiment will be omitted, and the differences will be mainly described.

図１１を参照すると、本実施形態に係るテストソケット２２００は、デバイス２０の端子２１と対応して、ハイブリッドコンタクト２２１０が収納位置する複数の貫通ホールが形成された取付部２２２０と、ハイブリッドコンタクト２２１０を取付部２２２０と一体に固定する弾性を有する絶縁体部２２３０とを含む。 Referring to FIG. 11, the test socket 2200 according to the present embodiment has a mounting portion 2220 in which a plurality of through holes in which the hybrid contact 2210 is housed are formed corresponding to the terminal 21 of the device 20 and the hybrid contact 2210. It includes an insulator portion 2230 having elasticity to be integrally fixed with the mounting portion 2220.

取付部２２２０は、板状の部材であって、デバイス２０の端子２１と対応する複数の貫通ホールが形成され、ハイブリッドコンタクト２２１０の下端の一部が挿入され、上面に絶縁体部２２３０が設けられる。このような取付部は、第１実施形態で説明したように、同一又は異種の素材からなる２層構造であり得る。 The mounting portion 2220 is a plate-shaped member, and a plurality of through holes corresponding to the terminals 21 of the device 20 are formed, a part of the lower end of the hybrid contact 2210 is inserted, and the insulator portion 2230 is provided on the upper surface. .. Such a mounting portion may have a two-layer structure made of the same or different materials as described in the first embodiment.

特に、本実施形態において、ハイブリッドコンタクト２２１０は、先立って例示した円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクト内に、導電性と弾性を有するフィラーが充填されたコンタクトが使用されることを特徴とする。 In particular, in the present embodiment, the hybrid contact 2210 is characterized in that a contact filled with a filler having conductivity and elasticity is used in a contact integrally formed by rolling into a cylindrical shape as exemplified above. And.

絶縁体部２２３０は、弾性を有する絶縁性部材であって、ハイブリッドコンタクト２２１０と取付部２２２０を一体に固定し、上面にデバイス２０が定着される。 The insulator portion 2230 is an elastic insulating member, and the hybrid contact 2210 and the mounting portion 2220 are integrally fixed, and the device 20 is fixed on the upper surface.

第１実施形態で説明したように、絶縁体部２２３０は、絶縁性のシリコーン液を硬化させて取付部２２２０とハイブリッドコンタクト２２１０とを一体に固定する。また、絶縁体部２２３０の上面には、デバイス２０が直接定着される絶縁性素材の取付座２２３１が追加できる。 As described in the first embodiment, the insulator portion 2230 cures the insulating silicone liquid to integrally fix the mounting portion 2220 and the hybrid contact 2210. Further, a mounting seat 2231 made of an insulating material to which the device 20 is directly fixed can be added to the upper surface of the insulator portion 2230.

好ましくは、各ハイブリッドコンタクト２２１０の上端には、導電性と弾性を有するバンパー接触部（ｂｕｍｐｅｒ ｃｏｎｔａｃｔ）２２１１が追加でき、バンパー接触部２２１１は、ハイブリッドコンタクト２２１０とデバイスの端子２１との接触を媒介してコンタクト２２１０の摩耗を減らすことができる。一方、このようなバンパー接触部は、第１実施形態のコンタクトにも同様に適用できる。 Preferably, a conductive and elastic bumper contact 2211 can be added to the upper end of each hybrid contact 2210, which mediates contact between the hybrid contact 2210 and the terminal 21 of the device. The wear of the contact 2210 can be reduced. On the other hand, such a bumper contact portion can be similarly applied to the contact of the first embodiment.

第３実施形態
図１２は本発明の第３実施形態に係るテストソケットの断面構成図である。 Third Embodiment FIG. 12 is a sectional view of a test socket according to a third embodiment of the present invention.

図１２を参照すると、本実施形態に係るテストソケット２３００は、デバイス２０の端子２１、２２に沿って、互いに異なる高さを有する同一（または異種）のコンタクト（またはハイブリッドコンタクト）２３１１、２３１２が備えられ得る。 Referring to FIG. 12, the test socket 2300 according to the present embodiment includes identical (or different) contacts (or hybrid contacts) 2311 and 2312 having different heights along terminals 21 and 22 of the device 20. Can be.

デバイスに応じてボールタイプ（ｂａｌｌ ｔｙｐｅ）の端子２１とランド（ｌａｎｄ ｔｙｐｅ）の端子２２とが混合された複合型デバイス２０の場合は、各端子に適したコンタクト２３１１、２３１２が設けられ得る。この時、コンタクト２３１１、２３１２は、ＢＧＡタイプまたはＬＧＡタイプのコンタクト（またはハイブリッドコンタクト）が使用され、各端子に適したタイプのコンタクトが取付部２３２０に仮組立され、先立っての実施形態と同様に絶縁性のシリコーン液が硬化して取付部２３２０とコンタクト２３１１、２３１２とが一体に固定できる。 In the case of a composite device 20 in which a ball type terminal 21 and a land type terminal 22 are mixed depending on the device, contacts 2311 and 2312 suitable for each terminal may be provided. At this time, as the contacts 2311 and 2312, BGA type or LGA type contacts (or hybrid contacts) are used, and contacts of the type suitable for each terminal are temporarily assembled to the mounting portion 2320, as in the previous embodiment. The insulating silicone liquid is cured, and the mounting portion 2320 and the contacts 2311 and 2312 can be integrally fixed.

以上、本発明は、たとえ限定された実施形態と図面によって説明されたが、本発明は、これによって限定されず、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者によって本発明の技術思想と請求の範囲の均等範囲内で多様な修正及び変形が可能であるのはもちろんである。 Although the present invention has been described above with reference to limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and is described by a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs. It goes without saying that various modifications and modifications can be made within the equal range of the claims.

１２００、１３００、１４００、１５００、２１１０ コンタクト
１２１０、１３１０、１４１０、１５１０ 弾性部
１２２２、１３２２、１４２２、１５２２ 上側頭部
１２３２、１３３２、１４３２、１５３２ 下側頭部
１２２１、１３２１、１４２１、１５２１ 上側先端部
１２３１、１３３１、１４３１、１５３１ 下側先端部
１２４０、１３４０、１４４０、１５４０ フィラー
２１００、２２００、２３００ テストソケット
２２１０ ハイブリッドコンタクト
２１２０、２１２２、２１２１、２２２０、２３２０ 取付部
２１３０、２２３０、２３３０ 絶縁体部 1200, 1300, 1400, 1500, 2110 Contact 1210, 1310, 1410, 1510 Elastic part 1222, 1322, 1422, 1522 Upper head 1232, 1332, 1432, 1532 Lower head 1221, 1321, 1421, 1521 Upper tip 1231, 1331, 1431, 1531 Lower tip 1240, 1340, 1440, 1540 Filler 2100, 2200, 2300 Test socket 2210 Hybrid contact 2120, 2122, 2121, 2220, 2320 Mounting part 2130, 2230, 2330 Insulation part

Claims (25)

金属板材を打ち抜き加工し、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、
水平ストリップと、前記水平ストリップの一端から垂直に延び、前記水平ストリップよりは長さが短い垂直ストリップとからなる単位ストリップがジグザグ状に連結されて円筒状に曲げられる弾性部と、
上方に突き出して形成された上側先端部が設けられ、前記弾性部の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部と、
下方に突き出して形成された下側先端部が設けられ、前記弾性部の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部と、を含む、コンタクト。 A contact made by punching a metal plate and rolling it into a cylindrical shape.
An elastic portion in which a unit strip consisting of a horizontal strip and a vertical strip extending vertically from one end of the horizontal strip and having a length shorter than that of the horizontal strip is connected in a zigzag shape and bent into a cylindrical shape.
An upper head portion having an upper tip portion formed by projecting upward and extending from the uppermost end of the elastic portion and being bent in a cylindrical shape, and an upper head portion.
A contact comprising a lower head portion provided with a lower tip portion formed to project downward and extending from the lowermost end of the elastic portion and bent into a cylindrical shape. 前記弾性部は、前記水平ストリップの中心を垂直軸にして円筒状に曲げられることを特徴とする、請求項１に記載のコンタクト。 The contact according to claim 1, wherein the elastic portion is bent in a cylindrical shape with the center of the horizontal strip as a vertical axis. 金属板材を打ち抜き加工し、円筒状にローリングして一体に構成されたコンタクトであって、
複数の同一サイズの閉ループストリップがノードによって直列に連結されて円筒状に曲げられる弾性部と、
上方に突き出して形成された上側先端部が設けられ、前記弾性部の最上端から延びて円筒状に曲げられる上側頭部と、
下方に突き出して形成された下側先端部が設けられ、前記弾性部の最下端から延びて円筒状に曲げられる下側頭部と、を含む、コンタクト。 A contact made by punching a metal plate and rolling it into a cylindrical shape.
An elastic part in which multiple closed loop strips of the same size are connected in series by a node and bent into a cylindrical shape.
An upper head portion having an upper tip portion formed by projecting upward and extending from the uppermost end of the elastic portion and being bent in a cylindrical shape, and an upper head portion.
A contact comprising a lower head portion provided with a lower tip portion formed to project downward and extending from the lowermost end of the elastic portion and bent into a cylindrical shape. 前記ノードは前記弾性部の垂直軸上に設けられることを特徴とする、請求項３に記載のコンタクト。 The contact according to claim 3, wherein the node is provided on the vertical axis of the elastic portion. 前記上側先端部は、上方に突き出して形成された複数の歯形であることを特徴とする、請求項１または３に記載のコンタクト。 The contact according to claim 1 or 3, wherein the upper tip portion is a plurality of tooth profiles formed so as to project upward. 前記上側先端部は、複数の歯形が円錐状を構成することを特徴とする、請求項５に記載のコンタクト。 The contact according to claim 5, wherein the upper tip portion has a plurality of tooth profiles forming a conical shape. 前記下側先端部は、下方に突き出して形成された複数の歯形であることを特徴とする、請求項１または３に記載のコンタクト。 The contact according to claim 1 or 3, wherein the lower tip portion is a plurality of tooth profiles formed so as to project downward. 前記下側先端部は、複数の歯形が円錐状を構成することを特報とする、請求項７に記載のコンタクト。 The contact according to claim 7, wherein the lower tip portion is specially reported to have a plurality of tooth profiles forming a conical shape. 少なくとも前記上側頭部と前記下側頭部との間の弾性部区間に円筒状に充填され、導電性と弾性を有するフィラーをさらに含む、請求項１または３に記載のコンタクト。 The contact according to claim 1 or 3, wherein at least the elastic portion section between the upper head and the lower head is cylindrically filled and further contains a filler having conductivity and elasticity. 請求項１または３に記載のコンタクトを含むテストソケットであって、
デバイスの端子と対応して、前記コンタクトが収納位置する複数の貫通孔が形成された取付部と、
前記コンタクトを前記取付部と一体に固定する弾性を有する絶縁体部とを含む、テストソケット。 A test socket comprising the contact according to claim 1 or 3.
A mounting portion having a plurality of through holes in which the contact is stored, corresponding to the terminal of the device,
A test socket that includes an elastic insulator that integrally secures the contact to the attachment. 前記取付部は、取り付けのためのホール、及び組立位置を案内するためのホールが形成された絶縁性の板状部材を含む、請求項１０に記載のテストソケット。 The test socket according to claim 10, wherein the mounting portion includes an insulating plate-like member in which a hole for mounting and a hole for guiding an assembly position are formed. 前記取付部は、
前記貫通孔が形成され、前記絶縁体部が支持される絶縁性の第１取付部と、
前記第１取付部の上部に配置される第２取付部とを含み、
前記第１取付部と前記第２取付部は、取り付けのためのホール、及び組立位置を案内するためのホールが穿設されることを特徴とする、請求項１０に記載のテストソケット。 The mounting part is
An insulating first mounting portion in which the through hole is formed and the insulator portion is supported,
Including a second mounting portion arranged above the first mounting portion
The test socket according to claim 10, wherein the first mounting portion and the second mounting portion are provided with a hole for mounting and a hole for guiding an assembly position. 前記絶縁体部の上面には、前記貫通孔と対応してホールが穿設された絶縁性を有する取付座をさらに含む、請求項１０に記載のテストソケット。 The test socket according to claim 10, further comprising an insulating mounting seat in which a hole is formed corresponding to the through hole on the upper surface of the insulator portion. 前記コンタクトは、下側先端部が前記貫通孔の外側に突き出して位置し、上側先端部が前記デバイスと対面する前記取付座の上面の外側に突き出して位置することを特徴とする、請求項１３に記載のテストソケット。 13. The contact is characterized in that the lower tip portion protrudes outside the through hole and the upper tip portion protrudes outside the upper surface of the mounting seat facing the device. The test socket described in. 前記コンタクトは、上側先端部が前記デバイスと対面する前記取付座の上面よりも低く位置することを特徴とする、請求項１３に記載のテストソケット。 13. The test socket according to claim 13, wherein the contact has an upper tip located lower than the upper surface of the mounting seat facing the device. 前記コンタクトは、上端に導電性と弾性を有するバンパー接触部をさらに含む、請求項１０に記載のテストソケット。 The test socket according to claim 10, wherein the contact further includes a bumper contact portion having conductivity and elasticity at the upper end. 前記コンタクトは、長さの異なる複数のコンタクトで構成され、異種の端子を有する複合型デバイスのテストが可能である、請求項１０に記載のテストソケット。 The test socket according to claim 10, wherein the contact is composed of a plurality of contacts having different lengths and can test a composite device having different types of terminals. 請求項９に記載のコンタクトを含むテストソケットであって、
デバイスの端子と対応して、前記コンタクトが収納位置する複数の貫通孔が形成された取付部と、
前記コンタクトを前記取付部と一体に固定する弾性を有する絶縁体部とを含む、テストソケット。 A test socket comprising the contact according to claim 9.
A mounting portion having a plurality of through holes in which the contact is stored, corresponding to the terminal of the device,
A test socket that includes an elastic insulator that integrally secures the contact to the attachment. 前記取付部は、取り付けのためのホール、及び組立位置を案内するためのホールが形成された絶縁性の板状部材を含む、請求項１８に記載のテストソケット。 The test socket according to claim 18, wherein the mounting portion includes an insulating plate-like member in which a hole for mounting and a hole for guiding an assembly position are formed. 前記取付部は、
前記貫通孔が形成され、前記絶縁体部が支持される絶縁性の第１取付部と、
前記第１取付部の上部に配置される第２取付部とを含み、
前記第１取付部と前記第２取付部は、取り付けのためのホール、及び組立位置を案内するためのホールが穿設されることを特徴とする、請求項１８に記載のテストソケット。 The mounting part is
An insulating first mounting portion in which the through hole is formed and the insulator portion is supported,
Including a second mounting portion arranged above the first mounting portion
The test socket according to claim 18, wherein the first mounting portion and the second mounting portion are provided with a hole for mounting and a hole for guiding an assembly position. 前記絶縁体部の上面には、前記貫通孔と対応してホールが穿設された絶縁性を有する取付座をさらに含む、請求項１８に記載のテストソケット。 The test socket according to claim 18, further comprising an insulating mounting seat in which a hole is formed corresponding to the through hole on the upper surface of the insulator portion. 前記コンタクトは、下側先端部が前記貫通孔の外側に突き出して位置し、上側先端部が前記デバイスと対面する前記取付座の上面の外側に突き出して位置することを特徴とする、請求項２１に記載のテストソケット。 21. The contact is characterized in that the lower tip portion protrudes outside the through hole and the upper tip portion protrudes outside the upper surface of the mounting seat facing the device. The test socket described in. 前記コンタクトは、上側先端部が前記デバイスと対面する前記取付座の上面よりも低く位置することを特徴とする、請求項２１に記載のテストソケット。 21. The test socket according to claim 21, wherein the contact is located lower than the upper surface of the mounting seat with its upper tip facing the device. 前記コンタクトは、上端に導電性と弾性を有するバンパー接触部をさらに含む、請求項１８に記載のテストソケット。 The test socket according to claim 18, wherein the contact further includes a bumper contact portion having conductivity and elasticity at the upper end. 前記コンタクトは、長さの異なる複数のコンタクトで構成され、異種の端子を有する複合型デバイスのテストが可能である、請求項１８に記載のテストソケット。 The test socket according to claim 18, wherein the contact is composed of a plurality of contacts having different lengths and can test a composite device having different types of terminals.
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