KR101706331B1 - Test socket - Google Patents

Test socket Download PDF

Info

Publication number
KR101706331B1
KR101706331B1 KR1020150083673A KR20150083673A KR101706331B1 KR 101706331 B1 KR101706331 B1 KR 101706331B1 KR 1020150083673 A KR1020150083673 A KR 1020150083673A KR 20150083673 A KR20150083673 A KR 20150083673A KR 101706331 B1 KR101706331 B1 KR 101706331B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conductive
sheet
conductive elastic
insulating
insulating sheet
Prior art date
Application number
KR1020150083673A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20160045544A (en
Inventor
정영배
Original Assignee
주식회사 아이에스시
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아이에스시 filed Critical 주식회사 아이에스시
Priority to TW104133936A priority Critical patent/TWI588493B/en
Priority to CN201510673906.4A priority patent/CN105527472B/en
Publication of KR20160045544A publication Critical patent/KR20160045544A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101706331B1 publication Critical patent/KR101706331B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0416—Connectors, terminals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서, 제1절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제1절연성 시트에 결합된 복수의 제1도전부로 이루어진 제1시트형 커넥터; 상기 제1시트형 커넥터의 하측에 배치되고, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 복수의 도전성 탄성부; 및 상기 도전성 탄성부의 하측에 배치되는 제2절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제2절연성 시트에 결합되며 상단이 각각의 도전성 탄성부에 일체적으로 결합된 복수의 제2도전부를 포함하는 제2시트형 커넥터를 포함하되, 각각의 도전성 탄성부는 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터에 의하여 상단 및 하단의 위치가 지지되고, 각각의 도전성 탄성부의 사이에는, 도전성 탄성부가 두께방향으로 가압되어 면방향으로 팽창되는 것이 방해되지 않도록 빈공간이 마련되어 있는 검사용 소켓에 대한 것이다.More particularly, the present invention relates to a test socket for electrically connecting terminals and pads between a terminal of a device to be tested and a pad of an inspecting device, A first sheet-like connector which is disposed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and has a plurality of first conductive parts which exhibit conductivity in a thickness direction and are coupled to the first insulating sheet; A plurality of conductive particles disposed in the insulating elastic material and extending in a thickness direction at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected arranged on the lower side of the first sheet- A plurality of conductive elastic portions coupled to the plurality of conductive elastic portions; And a second insulating sheet disposed on the lower side of the conductive elastic part, the first insulating sheet being disposed at a position corresponding to the terminal of the device to be inspected and exhibiting conductivity in the thickness direction and being coupled to the second insulating sheet, And a second sheet-like connector including a plurality of second conductive portions integrally joined, wherein each of the conductive elastic portions is supported by the first sheet-like connector and the second sheet-like connector at positions of the upper and lower ends, And the space for inspecting is provided between the parts so that the conductive elastic part is pressed in the thickness direction and expanded in the surface direction is not disturbed.

Description

검사용 소켓{Test socket}Test socket

본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 빈번한 검사과정에서도 전기적 특성을 유지하면서 수명의 감소를 효과적으로 방지할 수 있는 검사용 소켓에 대한 것이다.The present invention relates to a test socket, and more particularly, to a test socket that can effectively prevent a reduction in life span while maintaining electrical characteristics even during a frequent inspection process.

일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 검사장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 위한 장치로서 검사용 소켓이 사용된다.Generally, in order to inspect the electrical characteristics of a device to be inspected, the electrical connection between the device to be inspected and the inspection device must be stable. Normally, a test socket is used as a device for connecting the inspected device with the inspected device.

이러한 검사용 소켓의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 테스트장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 검사용 소켓의 내부에 사용되는 접촉수단으로 이방 도전성 시트 또는 포고핀이 사용된다. 이러한 이방 도전성 시트는 탄력성이 있는 실리콘 고무에 도전성 입자를 포함한 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 내부에 스프링이 마련되어 있어서 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있는 구조로서, 이방 도전성 시트 및 포고핀이 대부분의 검사용 소켓에 사용되고 있다. The role of such a test socket is to connect the terminals of the device under test and the pads of the test device to each other so that electrical signals can be exchanged in both directions. For this purpose, an anisotropic conductive sheet or a pogo pin is used as the contact means used inside the inspection socket. The anisotropic conductive sheet is configured to connect a conductive portion including conductive particles to a flexible silicone rubber with a terminal of the device to be inspected. The pogo pin is provided with a spring therein to smooth connection between the device to be inspected and the inspecting device, An anisotropic conductive sheet and a pogo pin are used in most inspection sockets as a structure capable of buffering mechanical impact that may occur during connection.

이러한 검사용 소켓의 일례가 도 1에 도시되어 있다. 검사용 소켓(20)은 BGA(Ball Grid Array) 반도체소자(2)의 볼리드(ball lead, 4)가 접촉되는 영역에 형성된 도전성 실리콘부(8)와 상기 도전성 실리콘부(8)를 지지할 수 있도록 반도체소자(2)의 단자(4)가 접촉되지 않는 영역에 형성되어 절연층 역할을 하는 절연 실리콘부(6)로 구성된다. 이때 도전성 실리콘부(8)는 실리콘 고무 내에 서로 일정간격 이격된 도전성 입자들(8a)로 구성되어 있게 된다. 이러한 검사용 소켓(20)은 다수의 패드(10)가 마련되는 검사장치(9)에 장착되어 사용된다. 구체적으로는 검사장치(9)의 패드(10)에 각 도전성 실리콘부(8)가 접촉된 상태에서 검사용 소켓(20)이 상기 검사장치(9)에 탑재되어 사용된다. An example of such a test socket is shown in Fig. The inspection socket 20 has a conductive silicon part 8 formed in a region where a ball lead 4 of a ball grid array (BGA) semiconductor device 2 is in contact with the conductive silicon part 8, And an insulating silicon part 6 formed in a region where the terminal 4 of the semiconductor element 2 does not contact to serve as an insulating layer. At this time, the conductive silicon part 8 is composed of the conductive particles 8a spaced apart from each other by a certain distance in the silicon rubber. The inspection socket (20) is used by being mounted on the inspection apparatus (9) provided with a plurality of pads (10). More specifically, the inspection socket 9 is mounted on the inspection device 9 in a state where each conductive silicon part 8 is in contact with the pad 10 of the inspection device 9.

검사용 소켓의 검사를 위하여 반도체 소자가 하강하여 상기 반도체 소자의 볼리드가 상기 도전성 실리콘부에 접촉한 후에, 상기 반도체 소자가 추가적으로 하강하게 되면 상기 도전성 실리콘부는 두께방향으로 압축되면서 전기적 도통상태를 이루게 된다. 이때 검사장치로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면 상기 전기적 신호를 도전성 실리콘부를 거쳐서 반도체소자(2)측으로 전달되면서 소정의 전기적 검사가 수행된다.When the semiconductor element is further lowered after the semiconductor element is lowered and the ball lead of the semiconductor element is brought into contact with the conductive silicon portion for inspecting the inspection socket, the conductive silicon portion is compressed in the thickness direction, do. At this time, if a predetermined electrical signal is applied from the inspection apparatus, the electrical signal is transmitted to the semiconductor element 2 via the conductive silicon portion, and a predetermined electrical inspection is performed.

이러한 검사용 소켓은 수많은 반도체 소자와의 접촉과정에서 압축과 팽창을 반복하게 된다. 이와 같이 도전성 실리콘부가 반도체 소자의 접촉에 의하여 압축되는 경우 중앙이 불록해지면서 전체적으로 면방향으로 팽창되게 된다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같은 형상으로 도전성 실리콘부의 형상이 변형된다.These inspection sockets repeatedly compress and expand during contact with a large number of semiconductor devices. When the conductive silicon part is compressed by the contact of the semiconductor element as described above, the center is swollen and expanded in the entire surface direction. That is, the shape of the conductive silicon part is deformed as shown in Fig.

한편, 도전성 실리콘부에는 주변에 도전성 실리콘부를 지지하기 위한 절연 실리콘부가 마련되어 있게 되는데, 이러한 절연 실리콘부는 도전성 실리콘부에 밀착되어 배치되어 상기 도전성 실리콘부를 지지하는 기능을 수행하지만 도전성 실리콘부의 팽창을 억제하는 기능도 수행하게 된다. 즉, 절연 실리콘부가 도전성 실리콘부의 자유로운 팽창을 억제하는 기능을 수행하게 되는 것이다. 이와 같이 절연 실리콘부가 도전성 실리콘부의 자유로운 팽창을 억제하기 때문에, 도전성 실리콘부를 두께방향으로 가압하는데 많은 가압력이 필요로 하게 된다.On the other hand, the conductive silicon part is provided with an insulating silicon part for supporting the conductive silicon part in the periphery. Such an insulating silicon part is disposed in close contact with the conductive silicon part to perform the function of supporting the conductive silicon part, but suppresses the expansion of the conductive silicon part Function. That is, the insulating silicon part functions to suppress free expansion of the conductive silicon part. As described above, since the insulating silicone part suppresses the free expansion of the conductive silicon part, a large pressing force is required to press the conductive silicon part in the thickness direction.

그러나, 검사용 소켓의 경우 소정의 압력하에서 원하는 전도성을 유지하게 되는데, 이는 반도체 소자를 검사용 소켓을 향하여 일정 압력으로 눌려주어야 함을 말한다. 반도체 소자에서 도전성 실리콘부의 수가 적은 경우에는 별 문제가 없으나, 최근 반도체 소자의 경향이 단자수가 증가되는 것인데 이와 같이 단자수가 증가되면 그에 맞춰 도전성 실리콘부의 수가 증가되어야 한다. 이와 같이 도전성 실리콘부의 수가 증가되면 검사용 소켓에서 원하는 전도성을 얻기 위해서는 큰 힘으로 검사용 소켓을 가압해야 하는 문제점이 있다. 그러나 반도체 소자를 가압하는 가압부재의 가압력은 과도하게 증가시킬 수 없는 바, 최근 다수의 단자를 가진 반도체 소자를 검사하기 위한 검사용 소켓에서는 전기적 검사를 효과적으로 수행하기 어렵다는 문제점이 있게 된다. However, in the case of a test socket, the desired conductivity is maintained under a predetermined pressure, which means that the semiconductor device must be pressed to a test socket at a certain pressure. There is no problem in the case where the number of conductive silicon parts in a semiconductor device is small. However, recently, the tendency of semiconductor devices is to increase the number of terminals. As the number of terminals increases, the number of conductive silicon parts must be increased accordingly. If the number of conductive silicon parts increases, the test socket must be pressed with a great force in order to obtain a desired conductivity in the test socket. However, since the pressing force of the pressing member for pressing the semiconductor element can not be excessively increased, there is a problem that it is difficult to effectively perform the electrical inspection in the testing socket for inspecting the semiconductor device having a plurality of terminals.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자가 증가하는 경우에도 전기적 접촉특성을 유지할 수 있는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an inspection socket which can maintain electrical contact characteristics even when the number of terminals of an inspected device is increased.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a test socket for electrically connecting terminals and pads to each other, the socket being disposed between a terminal of an apparatus to be tested and a pad of the testing apparatus,

제1절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제1절연성 시트에 결합된 복수의 제1도전부로 이루어진 제1시트형 커넥터;A first sheet-like connector including a first insulating sheet and a plurality of first conductive parts arranged at positions corresponding to terminals of the device to be inspected and exhibiting conductivity in a thickness direction and coupled to the first insulating sheet;

상기 제1시트형 커넥터의 하측에 배치되고, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 복수의 도전성 탄성부; 및A plurality of conductive particles disposed in the insulating elastic material and extending in a thickness direction at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected arranged on the lower side of the first sheet- A plurality of conductive elastic portions coupled to the plurality of conductive elastic portions; And

상기 도전성 탄성부의 하측에 배치되는 제2절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제2절연성 시트에 결합되며 상단이 상기 도전성 탄성부에 일체적으로 결합된 복수의 제2도전부를 포함하는 제2시트형 커넥터를 포함하되,A second insulating sheet disposed on the lower side of the conductive elastic part, and a second insulating sheet disposed at a position corresponding to the terminal of the device to be inspected and exhibiting conductivity in the thickness direction and being coupled to the second insulating sheet, And a second sheet-like connector including a plurality of second conductive portions coupled to the second sheet-

각각의 도전성 탄성부는 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터에 의하여 상단 및 하단의 위치가 지지되고,Each of the conductive elastic portions is supported at the upper and lower positions by the first sheet-like connector and the second sheet-like connector,

각각의 도전성 탄성부의 주위에는, 도전성 탄성부가 두께방향으로 가압되어 면방향으로 팽창되는 것이 방해되지 않도록 빈공간이 형성될 수 있다.An empty space may be formed around each of the conductive elastic portions so that the conductive elastic portions are pressed in the thickness direction and are not disturbed from expanding in the planar direction.

상기 검사용 소켓에서, 각각의 도전성 탄성부의 측면은 상단부터 하단까지 빈공간에 의하여 둘러싸일 수 있다.In the inspection socket, the sides of each of the conductive elastic portions may be surrounded by an empty space from the top to the bottom.

상기 검사용 소켓에서, 각각의 도전성 탄성부의 측면에서 적어도 상단과 하단 사이의 중간영역은 빈공간에 의하여 둘러싸일 수 있다.In the inspection socket, an intermediate region between at least the upper end and the lower end on the side of each conductive elastic portion may be surrounded by the void space.

상기 검사용 소켓에서, 상기 제1절연성 시트는 합성수지소재로 이루어진 필름으로서, 제1절연성 시트에는 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있으며,In the inspecting socket, the first insulating sheet is a film made of a synthetic resin material. In the first insulating sheet, a through hole is formed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected,

상기 제1도전부는 상기 관통공을 통과한 상태에서 상기 제1절연성 시트에 지지될 수 있다.The first conductive portion may be supported by the first insulating sheet in a state where the first conductive portion passes through the through hole.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 제1절연성 시트의 관통공은 상기 도전성 탄성부의 상단 직경보다 작아서, 상기 제1절연성 시트의 관통공 주변부가 상기 도전성 탄성부의 상단 가장자리에 지지될 수 있다.The through hole of the first insulating sheet is smaller than the upper diameter of the conductive elastic part so that the peripheral portion of the through hole of the first insulating sheet can be supported at the upper edge of the conductive elastic part.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 제1절연성 시트는, 절연성 탄성물질로 이루어지며, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있으며,Wherein the first insulating sheet is made of an insulating elastic material and has a through hole formed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected,

상기 제1도전부는 상기 관통공을 통과한 상태에서 상기 제1절연성 시트에 지지되어 있다.The first conductive portion is supported by the first insulating sheet in a state where the first conductive portion passes through the through hole.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 제1도전부는 도전성 금속소재로 이루어질 수 있다.The first conductive part may be made of a conductive metal material.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 제1도전부는, 도전성 탄성부와 동일한 재료로 이루어질 수 있다.The first conductive portion may be made of the same material as the conductive elastic portion.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 도전성 탄성부는 상기 제1시트형 커넥터 및 상기 제2시트형 커넥터 중 적어도 어느 한 곳에 일체로 연결될 수 있다.The conductive elastic portion may be integrally connected to at least one of the first sheet-like connector and the second sheet-like connector.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 도전성 탄성부의 절연성 탄성물질은 실리콘 고무일 수 있다.The insulating elastic material of the conductive elastic part may be a silicone rubber.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 제1절연성 시트의 절연성 탄성물질은 실리콘 고무일 수 있다.The insulating elastic material of the first insulating sheet may be a silicone rubber.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 도전성 탄성부를 구성하는 절연성 탄성물질과, 상기 제1절연성 시트를 구성하는 절연성 탄성물질은 서로 경도가 다를 수 있다.The insulating elastic material constituting the conductive elastic part and the insulating elastic material constituting the first insulating sheet may have different hardness from each other.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 제1절연성 시트는 다수의 공극을 가지는 메쉬로서,The first insulating sheet is a mesh having a plurality of voids,

상기 제1도전부는 상기 메쉬의 공극을 침투한 상태에서 두께방향으로 연장되어 있을 수 있다.The first conductive portion may extend in the thickness direction in a state of penetrating the voids of the mesh.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터는 서로 동일 형태를 가질 수 있다.The first sheet-like connector and the second sheet-like connector may have the same shape.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a test socket for electrically connecting terminals and pads to each other, the socket being disposed between a terminal of an apparatus to be tested and a pad of the testing apparatus,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 복수의 도전성 탄성부; 및A plurality of conductive elastic portions extending in a thickness direction at positions corresponding to terminals of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles distributed in an insulating elastic material and an upper end integrally coupled to the conductive portion; And

상기 도전성 탄성부를 사이에 두고 상측과 하측에 각각 배치되며 상기 도전성 탄성부의 상단과 하단에 각각 결합되어 상기 도전성 탄성부를 지지하고, 서로 대응되는 형상을 가지는 한 쌍의 시트형 커넥터를 포함하되,And a pair of sheet-like connectors which are respectively disposed on the upper and lower sides of the conductive elastic part with the conductive elastic part interposed therebetween and are respectively coupled to the upper and lower ends of the conductive elastic part to support the conductive elastic part,

각각의 도전성 탄성부는 서로 이격된 상태에서 빈공간에 의하여 둘러싸일 수 있다.Each of the conductive elastic portions may be surrounded by an empty space in a state where they are spaced apart from each other.

본 발명에 따른 검사용 소켓은, 도전성 탄성부가 제1시트형 커넥터 및 제2시트형 커넥터에 의하여 상하단 위치가 고정된 상태에서, 각각의 도전성 탄성부의 주위에는 빈공간이 마련되어 있어서 도전성 탄성부가 압축되는 과정에서 도전성 탄성부의 변형을 억제하지 않아서 적은 힘으로도 도전성 탄성부를 변형시키는 것이 가능하다는 장점이 있다.The inspecting socket according to the present invention is characterized in that in the state that the positions of the upper and lower ends of the conductive elastic part are fixed by the first sheet-like connector and the second sheet-like connector, a hollow space is provided around each of the conductive elastic parts, There is an advantage that deformation of the conductive elastic part is not suppressed and the conductive elastic part can be deformed even with a small force.

즉, 피검사 디바이스를 가압하는 가압력을 과도하게 크게 하지 않아도 피검사 디바이스의 단자가 검사용 소켓을 충분하게 압박시켜 도전성을 유지할 수 있도록 하여 전기적 검사의 신뢰성을 높일 수 있다는 장점이 있다.That is, even if the pressing force for pressing the device to be inspected is not excessively increased, the terminals of the device to be inspected can sufficiently press the socket for inspection to maintain the conductivity, thereby improving the reliability of the electrical inspection.

도 1은 종래기술에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 작동도를 나타내는 도면.
도 3은 도 2의 작동모습의 확대하여 나타낸 모습을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 사시도.
도 5는 도 4의 측면도.
도 6은 도 5의 작동도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 소켓의 사시도.
도 8은 도 7의 측면도.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 소켓의 측면도.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 소켓의 측면도.1 shows a socket for inspection according to the prior art;
Fig. 2 is an operational diagram of Fig. 1; Fig.
Fig. 3 is an enlarged view of the operation of Fig. 2; Fig.
4 is a perspective view of a test socket according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a side view of Figure 4;
Figure 6 is an operational view of Figure 5;
7 is a perspective view of a test socket according to another embodiment of the present invention.
8 is a side view of Fig.
9 is a side view of a test socket according to another embodiment of the present invention.
10 is a side view of a test socket according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은, 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 검사장치(150)의 패드(151) 사이에 배치되어 상기 단자(141)와 패드(151)를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 것이다.The inspection socket 100 according to the present invention is arranged between the terminal 141 of the device under test 140 and the pad 151 of the inspection apparatus 150 so that the terminal 141 and the pad 151 are connected to each other For electrical connection.

이러한 검사용 소켓(100)은, 제1시트형 커넥터(110), 도전성 탄성부(120) 및 제2시트형 커넥터(130)를 포함하여 구성된다.The inspection socket 100 includes a first sheet-like connector 110, a conductive elastic portion 120, and a second sheet-like connector 130.

상기 제1시트형 커넥터(110)는, 도전성 탄성부(120)의 상측에 배치되어 각각의 도전성 탄성부(120)의 위치를 지지하는 기능을 수행하는 것으로서 주변이 프레임(미도시)에 의하여 고정되어 있는 것이 좋다.The first sheet-like connector 110 is disposed on the upper side of the conductive elastic part 120 and functions to support the positions of the respective conductive elastic parts 120, and the periphery thereof is fixed by a frame (not shown) It is good to have.

이러한 제1시트형 커넥터(110)는, 제1절연성 시트(111)와, 제1도전부(112)로 이루어진다.The first sheet-like connector 110 includes a first insulating sheet 111 and a first conductive portion 112.

상기 제1절연성 시트(111)는, 합성수지소재로 이루어진 시트에 관통공(111a)이 형성된 것이다. 이러한 제1절연성 시트(111)는 절연성을 갖는 유연한 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니며, 폴리이미드, 액정 폴리머 등의 수지 재료나 이러한 복합 재료를 이용할 수 있지만, 후술하는 제조 방법에 있어서 관통공을 에칭에 의해 용이하게 형성할 수 있는 점에서 폴리이미드를 이용하는 것이 바람직하다.The first insulating sheet 111 is formed with a through hole 111a in a sheet made of a synthetic resin material. The first insulating sheet 111 is not particularly limited as long as it is flexible and has insulating properties. A resin material such as polyimide or liquid crystal polymer or such a composite material can be used. In the manufacturing method described later, however, It is preferable to use polyimide because it can be easily formed.

상기 관통공(111a)은, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치마다 형성되는 것으로서, 제1절연성 시트(111)의 상면과 하면을 관통하도록 구성되며 대략 원형단면을 가진다. 이러한 관통공(111a)은 대략 후술하는 도전성 탄성부(120)의 직경보다는 작은 직경을 가질 수 있다. 이와 같이 상기 제1절연성 시트(111)의 관통공(111a)은 상기 도전성 탄성부(120)의 상단 직경보다 작아서, 상기 제1절연성 시트(111)의 관통공(111a) 주변부가 상기 도전성 탄성부(120)의 상단 가장자리에 지지될 수 있다.The through hole 111a is formed at each position corresponding to the terminal 141 of the device under test 140 and is configured to penetrate the upper surface and the lower surface of the first insulating sheet 111 and has a substantially circular cross section . The through hole 111a may have a diameter smaller than the diameter of the conductive elastic part 120, which will be described later. The through hole 111a of the first insulating sheet 111 is smaller than the upper end diameter of the conductive elastic portion 120 so that the peripheral portion of the through hole 111a of the first insulating sheet 111 is electrically connected to the conductive elastic portion 120, (Not shown).

상기 제1도전부(112)는, 상기 관통공(111a)을 채우고 있으며 두께방향으로 도전성을 나타내면서 상기 제1절연성 시트(111)에 결합된 것으로서 도전성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자(121)가 밀집되어 배치된 구조를 가진다. 이러한 제1도전부(112)의 구성재료는 후술하는 도전성 탄성부(120)와 유사하므로 구체적인 사항은 후술하기로 한다.The first conductive part 112 fills the through hole 111a and is connected to the first insulating sheet 111 while exhibiting conductivity in the thickness direction. The first conductive part 112 includes a plurality of conductive particles 121 in a conductive elastic material, . The constituent material of the first conductive part 112 is similar to the conductive elastic part 120 described later, so that details will be described later.

상기 도전성 탄성부(120)는, 상기 제1시트형 커넥터(110)의 하측에 배치되고, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자(121)가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 것으로서 복수개가 마련되어 있게 된다.The conductive elastic part 120 is disposed on the lower side of the first sheet-like connector 110 and extends in the thickness direction at positions corresponding to the terminals 141 of the device under test 140, And a plurality of conductive particles 121 are integrally coupled to the conductive part at an upper end thereof.

이러한 도전성 탄성부(120)의 상단은 상기 제1도전부(112)와 하단에 일체적으로 결합되어 있으며 도전성 탄성부(120)의 하단은 후술하는 제2도전부(132)의 상단에 일체적으로 결합되어 있게 된다. 즉, 도전성 탄성부(120)는 상단과 하단이 각각 제1도전부(112) 및 제2도전부(132)에 일체결합된다. 각각의 도전성 탄성부(120)의 주위에는, 도전성 탄성부(120)가 두께방향으로 가압되었을 때 면방향으로 팽창되는 것이 방해되지 않도록 빈공간(125)이 형성되는 것이 좋다. 구체적으로 빈공간(125)은 각각의 도전성 탄성부(120)의 측면에서 상단부터 하단까지(측면 전체를 둘러쌈) 연장되어 형성되는 것이 좋다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 도전성 탄성부(120)에서 면방향으로 팽창되는 정도가 가장 큰 도전성 탄성부(120)의 상단과 하단 사이의 중간영역에만 빈공간(125)이 둘러싸고 있는 것도 가능함은 물론이다.The upper end of the conductive elastic part 120 is integrally coupled to the lower end of the first conductive part 112 and the lower end of the conductive elastic part 120 is integrally formed at the upper end of the second conductive part 132 . That is, the upper and lower ends of the conductive elastic part 120 are integrally coupled to the first conductive part 112 and the second conductive part 132, respectively. It is preferable that an empty space 125 is formed around each of the conductive elastic portions 120 so as not to disturb the expansion in the plane direction when the conductive elastic portion 120 is pressed in the thickness direction. Specifically, the empty space 125 may be formed by extending from the upper side to the lower side (surrounding the entire side surface) from the side surface of each conductive elastic part 120. However, the present invention is not limited to this, and the empty space 125 may surround only the intermediate region between the upper end and the lower end of the conductive elastic part 120 having the largest degree of expansion in the planar direction of the conductive elastic part 120 to be.

이러한 도전성 탄성부(120)를 구성하는 절연성 탄성물질로는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 절연성 탄성물질을 얻기 위해서 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 여러가지 것을 사용할 수 있고, 그 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 등의 블록 공중합체 고무 및 이들 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다. The insulating elastic material constituting the conductive elastic part 120 is preferably a polymer material having a crosslinked structure. As the curable polymeric substance-forming material that can be used to obtain such an insulating elastic material, various materials can be used. Specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile- Butadiene-diene block copolymer, and styrene-isoprene block copolymer, and hydrogenated products thereof, chloroprene rubber, urethane rubber, poly Ester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, and ethylene-propylene-diene copolymer rubber.

이상에 있어서, 얻어지는 이방성 시트체에 내후성이 요구되는 경우에는, 공액 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성 측면에서, 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다. In the above, when weather resistance is required for the resultant anisotropic sheet body, it is preferable to use a material other than the conjugated diene rubber, and in particular, from the viewpoints of moldability and electrical properties, it is preferable to use silicone rubber.

또한, 상기 도전성 입자(121)는 자성을 나타내는 소재가 주로 이용된다. 이러한 도전성 입자(121)의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속의 입자 또는 이들의 합금의 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여, 상기 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 실시한 것, 또는 비자성 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하여, 상기 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 실시한 것 등을 들 수 있다. The conductive particles 121 are mainly made of a material exhibiting magnetism. As specific examples of such conductive particles 121, particles of metal having magnetic properties such as iron, cobalt, and nickel, or particles of alloys thereof, or particles containing these metals, or particles thereof as core particles, The surface of which is coated with a metal having a good conductivity such as gold, silver, palladium, or rhodium, or inorganic particles or polymer particles such as non-magnetic metal particles or glass beads as core particles, , Plated with a conductive magnetic metal such as cobalt, and the like.

이 중에서는, 니켈 입자를 코어 입자로 하여, 그 표면에 도전성이 양호한 금의 도금을 실시한 것을 이용하는 것이 바람직하다. Among them, it is preferable to use the nickel particles as the core particles and the surface of which is plated with gold having good conductivity.

코어 입자의 표면에 도전성 금속을 피복하는 수단으로서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 화학 도금 또는 전해 도금법, 스퍼터링법, 증착법 등이 이용되고 있다. The means for covering the surface of the core particle with the conductive metal is not particularly limited, but for example, a chemical plating or electrolytic plating method, a sputtering method, a vapor deposition method, or the like is used.

도전성 입자(121)로서, 코어 입자의 표면에 도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 경우에는, 양호한 도전성이 얻어지는 점에서, 입자 표면에서의 도전성 금속의 피복률(코어 입자의 표면적에 대한 도전성 금속의 피복 면적의 비율)이 40％ 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 45％ 이상, 특히 바람직하게는 47 내지 95％이다. In the case of using the conductive particles 121 coated with a conductive metal on the surface of the core particles, the coating ratio of the conductive metal on the surface of the particles (the coating ratio of the conductive metal to the surface area of the core particles Area ratio) is preferably 40% or more, more preferably 45% or more, particularly preferably 47 to 95%.

또한, 도전성 금속의 피복량은, 코어 입자의 0.5 내지 50 질량％인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2 내지 30 질량％, 더욱 바람직하게는 3 내지 25 질량％, 특히 바람직하게는 4 내지 20 질량％이다. 피복되는 도전성 금속이 금인 경우에는, 그 피복량은 코어 입자의 0.5 내지 30 질량％인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2 내지 20 질량％, 더욱 바람직하게는 3 내지 15 질량％이다. The covering amount of the conductive metal is preferably from 0.5 to 50 mass%, more preferably from 2 to 30 mass%, still more preferably from 3 to 25 mass%, particularly preferably from 4 to 20 mass% %to be. When the conductive metal to be coated is gold, the covering amount is preferably 0.5 to 30 mass%, more preferably 2 to 20 mass%, and still more preferably 3 to 15 mass% of the core particles.

상기 제2시트형 커넥터(130)는 상기 도전성 탄성부(120)의 하측에 배치되는 제2절연성 시트(131)와, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제2절연성 시트(131)에 결합되며 상단이 상기 도전성 탄성부(120)에 일체적으로 결합된 복수의 제2도전부(132)를 포함하는 것이다.The second sheet-like connector 130 includes a second insulating sheet 131 disposed on the lower side of the conductive elastic part 120 and a second insulating sheet 131 disposed on each position corresponding to the terminal 141 of the device under test 140, And a plurality of second conductive parts 132 coupled to the second insulating sheet 131 and having an upper end integrally coupled to the conductive elastic part 120.

이러한 제2시트형 커넥터(130)는 주변이 프레임(미도시)에 의하여 위치고정된 상태에서 도전성 탄성부(120)의 하단을 지지하는 것이다. 이러한 제2시트형 커넥터(130)는 전체적으로 제1시트형 커넥터(110)와 동일한 형태를 가지는 것이 바람직하다. 배치위치면에서도 중간에 도전성 탄성부(120)를 사이에 두고 제1시트형 커넥터(110)와 대응되도록 배치되는 것이 좋다.The second sheet-like connector 130 supports the lower end of the conductive elastic part 120 in a state where the periphery thereof is fixed by a frame (not shown). The second sheet-like connector 130 preferably has the same shape as the first sheet-like connector 110 as a whole. It is preferable that the conductive elastic part 120 is disposed in the middle of the arrangement position so as to correspond to the first sheet-like connector 110.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 다음과 같은 작용효과를 가진다.The test socket 100 according to an embodiment of the present invention has the following operational effects.

먼저, 검사용 소켓(100)의 제2도전부(132)가 검사장치(150)의 패드(151)에 접촉된 상태에서 상기 검사장치(150)에 검사용 소켓(100)을 탑재한다. 이후에, 피검사 디바이스(140)를 점차 검사장치(150) 측으로 하강시켜 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 제1시트형 커넥터(110)의 제1도전부(112) 상면에 접촉되도록 한다. 이후에, 피검사 디바이스(140)를 소정의 가압기구(미도시)에 의하여 추가로 가압함으로서 도전성 탄성부(120)를 두께방향으로 가압한다.The inspection socket 150 is mounted on the inspection device 150 in a state where the second conductive part 132 of the inspection socket 100 is in contact with the pad 151 of the inspection device 150. Thereafter, the inspected device 140 is gradually lowered to the inspection apparatus 150 so that the terminal 141 of the inspected device 140 contacts the upper surface of the first conductive portion 112 of the first sheet- . Thereafter, the inspected device 140 is further pressed by a predetermined pressing mechanism (not shown) to press the conductive elastic part 120 in the thickness direction.

이와 같이 도전성 탄성부(120)가 가압되는 경우에는 상기 도전성 탄성부(120)가 두께방향과 직각인 면방향으로 팽창되면서 압축된다. 이 과정에서 도전성 탄성부(120) 내부의 도전성 입자(121)들이 서로 접촉하면서 전기적 도통이 가능한 상태를 이루게 된다.When the conductive elastic part 120 is pressed in this way, the conductive elastic part 120 is compressed in a plane direction perpendicular to the thickness direction while being expanded. In this process, the conductive particles 121 in the conductive elastic part 120 are brought into contact with each other, thereby achieving a state in which electric conduction is possible.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 다음과 같은 장점을 가진다.The inspection socket 100 according to an embodiment of the present invention has the following advantages.

먼저, 본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은 각각의 도전성 탄성부(120) 주위에 별도의 절연성 지지부가 마련되어 있지 않기 때문에 도전성 탄성부(120)를 쉽게 가압할 수 있다는 장점이 있다. 즉, 주변에 도전성 탄성부(120)의 팽창을 억제하는 절연성 지지부가 존재하지 않고 빈공간(125)으로 남아 있기 때문에 도전성 탄성부(120)는 적은 힘으로도 쉽게 가압될 수 있다는 장점이 있다.First, the inspecting socket 100 according to the present invention has an advantage that the conductive elastic part 120 can be easily pressed since the insulative supporting part is not provided around each of the conductive elastic parts 120. That is, since the insulating support portion for suppressing the expansion of the conductive elastic portion 120 is not present in the periphery, the conductive elastic portion 120 can be easily pressed with a small force because it remains as the empty space 125.

이러한 장점을 가지고 있는 검사용 소켓(100)은, 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 많은 경우에도 과도한 압박이 없이도 도전성 탄성부(120)의 도전성을 안정적으로 유지할 수 있다는 장점이 있다.The test socket 100 having such an advantage is advantageous in that the conductivity of the conductive elastic part 120 can be stably maintained even when there are many terminals 141 of the device under test 140 without excessive pressing.

또한 도전성 탄성부(120)는 상단과 하단이 제1시트형 커넥터(110) 및 제2시트형 커넥터(130)에 의하여 안정적으로 지지되어 있기 때문에 도전성 탄성부(120)가 빈번한 검사과정에서 안정적으로 원래 위치를 유지할 수 있다는 장점이 있다.Since the conductive elastic part 120 is stably supported by the first sheet-like connector 110 and the second sheet-like connector 130 at the upper and lower ends thereof, the conductive elastic part 120 is stably positioned at the original position Can be maintained.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓은, 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.The inspection socket according to an embodiment of the present invention may be modified as follows.

먼저, 도 7 및 8에 도시된 검사용 소켓에 대하여 설명하면 다음과 같다. 상술한 실시예에서는 제1도전부와 제2도전부가 도전성 탄성부와 동일한 재료로 이루어지는 것을 언급하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 제1도전부(212)와 제2도전부(232)가 금속소재로 이루어지는 것이 가능하다. First, the inspection socket shown in FIGS. 7 and 8 will be described as follows. The first conductive portion 212 and the second conductive portion 232 are made of the same material as the conductive elastic portion, but the present invention is not limited thereto. The first conductive portion 212 and the second conductive portion 232 may be made of a metal material .

이러한 제1도전부(212)와 제2도전부(232)를 구성하는 소재로는, 니켈, 구리, 은, 팔라듐, 철 등을 사용할 수 있고, 전체가 단일 금속으로 이루어지는 것일 수도 있고, 2종 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것 또는 2종 이상의 금속이 적층된 것일 수도 있다. 또한, 제1도전부와 제2도전부에서 단자 또는 패드와 접촉되는 표면은 해당 표면의 산화가 방지되는 동시에 접촉 저항을 작게 하기 위하여, 금, 은, 팔라듐 등의 화학적으로 안정하고 높은 도전성을 갖는 금속에 의해 형성되어 있는 것이 바람직하다.Nickel, copper, silver, palladium, iron, or the like may be used as the material constituting the first conductive portion 212 and the second conductive portion 232, and the whole may be made of a single metal, Or an alloy of two or more kinds of metals may be laminated. The surface of the first conductive portion and the second conductive portion, which is in contact with the terminal or the pad, is chemically stable and has high conductivity such as gold, silver, and palladium in order to prevent oxidation of the surface and reduce contact resistance. And it is preferably formed of a metal.

또한, 도 9에 도시된 검사용 소켓에 대하여 설명하면 다음과 같다. The inspection socket shown in Fig. 9 will be described as follows.

상술한 실시예에서는 제1절연성 시트 및 제2절연성 시트가 폴리이미드와 같은 필름에 관통공을 형성하고 관통공 내에 제1도전부와 제2도전부가 결합되는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 제1절연성 시트(311)와 제2절연성 시트(331)를 공극이 다수 형성된 다공성 소재를 사용하는 것도 가능하다.Although the first insulating sheet and the second insulating sheet form a through hole in a film such as polyimide and the first conductive portion and the second conductive portion are combined in the through hole, the present invention is not limited thereto. It is also possible to use a porous material having a plurality of voids between the first insulating sheet 311 and the second insulating sheet 331.

제1절연성 시트(311)와 제2절연성 시트(331)로 사용되는 다공성 시트는 메쉬 혹은 부직포로서, 유기 섬유에 의해 형성된 것을 적합하게 이용할 수 있다. 이러한 유기 섬유로서는, 폴리테트라플루오로에틸렌 섬유 등의 불소 수지 섬유, 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 폴리아릴레이트 섬유, 나일론 섬유, 폴리 에스테르 섬유 등을 들 수 있다. 유기 섬유로서, 그 선열 팽창 계수가 접속 대상 부재를 형성하는 재료의 선열 팽창 계수와 동등 혹은 근사한 것, 구체적으로는 선열 팽창 계수가 30 × 10-6 내지 -5 × 10-6/K, 특히 10 × 10-6 내지 -3 × 10-6/K인 것을 이용함으로써, 당해 이방 도전막의 열팽창이 억제되므로, 온도 변화에 의한 열이력을 받은 경우에도, 접속 대상 부재에 대한 양호한 전기적 접속 상태를 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 유기 섬유로서는, 그 직경이 10 내지 200 ㎛인 것을 이용하는 것이 바람직하다. The porous sheet used as the first insulating sheet 311 and the second insulating sheet 331 may be suitably used as a mesh or a nonwoven fabric formed of organic fibers. Examples of such organic fibers include fluororesin fibers such as polytetrafluoroethylene fibers, aramid fibers, polyethylene fibers, polyarylate fibers, nylon fibers, and polyester fibers. As the organic fiber, one having a coefficient of linear thermal expansion equal to or close to the coefficient of linear thermal expansion of the material forming the member to be connected, specifically a coefficient of linear thermal expansion of 30 x 10 -6 to -5 x 10 -6 / K, × 10 -6 to -3 × 10 -6 / K, the thermal expansion of the anisotropic conductive film is suppressed, so that even when a thermal history due to a temperature change is received, a good electrical connection state to the connection target member can be stably . As the organic fibers, those having a diameter of 10 to 200 mu m are preferably used.

상기 제1도전부(312)와 제2도전부(332)는 상기 다공성 시트로 이루어진 제1절연성 시트와 제2절연성 시트의 공극 내에 침투되어 일체화되어 있어 제1절연성 시트 및 제2절연성 시트로부터 이탈될 염려가 적다.The first conductive part 312 and the second conductive part 332 may be formed of a porous material such that the first insulating sheet and the second insulating sheet are infiltrated into a gap between the first insulating sheet and the second insulating sheet, There is less concern to be.

도 9에 개시된 바와 같이 제1절연성 시트(311)로서 다공성 소재를 사용하는 경우에는 보다 유연성을 확보하게 하여 피검사 디바이스의 단자간의 크기가 서로 다른 경우에도 복수의 모든 제1도전부(312)가 피검사 디바이스의 단자와 접촉할 수 있도록 한다.9, when a porous material is used as the first insulating sheet 311, flexibility is ensured and even when the sizes of the terminals of the devices to be inspected are different from each other, all of the plurality of first conductive parts 312 To make contact with the terminals of the device to be inspected.

상술한 실시예에서는 제1시트형 커넥터의 제1절연성 시트 및 제2시트형 커넥테의 제2절연선 시트가 폴리이미드, 액정 폴리머 소재로 이루어진 필름으로 이루어지는 것을 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 실리콘 고무와 같은 절연성 탄성물질로 이루어지는 것도 가능하다. 구체적으로 도 10에 개시된 검사용 소켓(400)은 제1절연성 시트(410) 및 제2절연성 시트(420)를 구성하는 절연성 탄성물질이 도전성 탄성부(420)의 실리콘 고무와 동일한 물성을 가지는 실리콘 고무일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 도전성 탄성부를 구성하는 절연성 탄성물질과 경도를 달리할 수 있는 것이다. 예를 들어 제1절연성 시트와 도전성 탄성부가 모두 실리콘 고무로 구성되는 경우, 양자는 동일한 물성을 가지는 실리콘 고무일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 서로 다른 경도를 갖는 실리콘 고무일 수 있다.In the above-described embodiment, the first insulating sheet of the first sheet-like connector and the second insulating sheet of the second sheet-like connector are made of a film made of polyimide or a liquid crystal polymer material. However, the present invention is not limited thereto, It may be made of the same insulating elastic material. 10, the insulative elastic material constituting the first insulating sheet 410 and the second insulating sheet 420 is made of silicon having the same physical properties as those of the silicone rubber of the conductive elastic part 420, It can be rubber. However, the present invention is not limited to this, but may be different in hardness from the insulating elastic material constituting the conductive elastic part. For example, when the first insulating sheet and the conductive elastic part are both made of silicone rubber, they may be silicon rubber having the same physical properties, but not limited thereto, and may be silicon rubber having different hardness.

이때, 도전성 탄성부(420)와 제1시트형 커넥터(410)가 서로 일체적으로 결합되는 것도 가능하다. 또한 도전성 탄성부(420)와 제2시트형 커넥터(430)가 서로 일체적으로 결합되는 것도 가능하다. 이때 "일체적으로 결합된다"는 것은 도전성 탄성부와 제1, 2 절연성 시트 및 제1, 2 도전부가 한 몸체와 같이 일체화되어 결합되어 있다는 것을 의미하는 것이다. 이러한 구조를 만들기 위하여 제1시트형 커넥터, 제2시트형 커넥터 및 액상 고분자물질(액상 실리콘 고무 + 도전성 입자)을 금형에 넣은 후에 자장을 가해 경화시킴으로서 한번에 검사용 소켓을 제작하게 되는 것이다.At this time, it is also possible that the conductive elastic part 420 and the first sheet-like connector 410 are integrally coupled to each other. It is also possible that the conductive elastic part 420 and the second sheet-like connector 430 are integrally coupled to each other. Here, "integrally bonded" means that the conductive elastic part, the first and second insulating sheets, and the first and second conductive parts are integrally combined as one body. In order to make such a structure, a first sheet-like connector, a second sheet-like connector, and a liquid polymer material (liquid silicone rubber + conductive particles) are put into a metal mold and then a magnetic field is applied to harden the test socket.

이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been described with reference to the particular embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.

100...검사용 소켓 110...제1시트형 커넥터
111...제1절연성 시트 111a...관통공
112...제1도전부 120...도전성 탄성부
121...제1도전성 입자 125...빈공간
130...제2시트형 커넥터 131...제2절연성 시트
132...제2도전부 140...피검사 디바이스
141...단자 150...검사장치
151...패드100 ... test socket 110 ... first sheet-like connector
111 ... first insulating sheet 111a ... through hole
112 ... first conductive part 120 ... conductive elastic part
121 ... First conductive particles 125 ... Empty space
130 ... second sheet-like connector 131 ... second insulating sheet
132 ... second conductive part 140 ... inspected device
141 ... Terminal 150 ... Inspection device
151 ... pad

Claims (15)

피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
가장자리가 위치고정된 제1절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제1절연성 시트에 결합된 복수의 제1도전부로 이루어진 제1시트형 커넥터;
상기 제1시트형 커넥터의 하측에 배치되고, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있고, 상단이 상기 제1도전부에 일체적으로 결합된 복수의 도전성 탄성부; 및
상기 도전성 탄성부의 하측에 배치되며 가장자리가 위치고정된 제2절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제2절연성 시트에 결합되며 상단이 상기 도전성 탄성부에 일체적으로 결합된 복수의 제2도전부를 포함하는 제2시트형 커넥터를 포함하되,
각각의 도전성 탄성부는 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터에 의하여 상단 및 하단의 위치가 지지되고,
각각의 도전성 탄성부의 주위에는, 도전성 탄성부가 두께방향으로 가압되어 면방향으로 팽창되는 것이 방해되지 않도록 빈공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.A test socket for electrically connecting terminals and pads between terminals of a device to be tested and pads of an inspection apparatus,
A first sheet-like connector including a first insulating sheet whose edges are fixed in position and a plurality of first conductive parts which are arranged at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected and which exhibit conductivity in the thickness direction and are coupled to the first insulating sheet;
And a plurality of conductive particles are distributed in the insulating elastic material, and an upper end of the plurality of conductive particles is connected to the first conductive portion, A plurality of electrically conductive elastic parts integrally coupled to each other; And
A second insulating sheet disposed on the lower side of the conductive elastic portion and having an edge fixed on the first insulating sheet; a second insulating sheet disposed on a position corresponding to the terminal of the device to be inspected and exhibiting conductivity in the thickness direction, And a second sheet-like connector including a plurality of second conductive parts integrally joined to the elastic part,
Each of the conductive elastic portions is supported at the upper and lower positions by the first sheet-like connector and the second sheet-like connector,
Wherein an empty space is formed around each of the conductive elastic portions so that the conductive elastic portions are pressed in the thickness direction so as not to disturb the expansion in the surface direction. 제1항에 있어서,
각각의 도전성 탄성부의 측면은 상단부터 하단까지 빈공간에 의하여 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein a side surface of each of the conductive elastic portions is surrounded by an empty space from the top to the bottom. 제1항에 있어서,
각각의 도전성 탄성부의 측면에서 적어도 상단과 하단 사이의 중간영역은 빈공간에 의하여 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein an intermediate region between at least the upper end and the lower end on the side of each of the conductive elastic portions is surrounded by an empty space. 제1항에 있어서,
상기 제1절연성 시트는 합성수지소재로 이루어진 필름으로서, 제1절연성 시트에는 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있으며,
상기 제1도전부는 상기 관통공을 통과한 상태에서 상기 제1절연성 시트에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
The first insulating sheet is a film made of a synthetic resin material. The first insulating sheet has through holes formed at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected,
Wherein the first conductive portion is supported by the first insulating sheet in a state in which the first conductive portion passes through the through hole. 제4항에 있어서,
상기 제1절연성 시트의 관통공은 상기 도전성 탄성부의 상단 직경보다 작아서, 상기 제1절연성 시트의 관통공 주변부가 상기 도전성 탄성부의 상단 가장자리에 지지되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.

5. The method of claim 4,
Wherein the through hole of the first insulating sheet is smaller than the upper diameter of the conductive elastic part so that a peripheral portion of the through hole of the first insulating sheet is supported by the upper edge of the conductive elastic part.

제1항에 있어서,
상기 제1절연성 시트는, 절연성 탄성물질로 이루어지며, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있으며,
상기 제1도전부는 상기 관통공을 통과한 상태에서 상기 제1절연성 시트에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein the first insulating sheet is made of an insulating elastic material and has a through hole formed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected,
Wherein the first conductive portion is supported by the first insulating sheet in a state in which the first conductive portion passes through the through hole. 제4항 또는 제6항에 있어서,
상기 제1도전부는 도전성 금속소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 4 or 6,
Wherein the first conductive portion is made of a conductive metal material. 제4항 또는 제6항에 있어서,
상기 제1도전부는, 도전성 탄성부와 동일한 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 4 or 6,
Wherein the first conductive portion is made of the same material as the conductive elastic portion. 제1항에 있어서,
상기 도전성 탄성부는 상기 제1시트형 커넥터 및 상기 제2시트형 커넥터 중 적어도 어느 한 곳에 일체로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein the conductive elastic portion is integrally connected to at least one of the first sheet-like connector and the second sheet-like connector. 제1항에 있어서,
상기 도전성 탄성부의 절연성 탄성물질은 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein the insulating elastic material of the conductive elastic part is a silicone rubber. 제6항에 있어서,
상기 제1절연성 시트의 절연성 탄성물질은 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 6,
Wherein the insulative elastic material of the first insulating sheet is a silicone rubber. 제6항에 있어서,
상기 도전성 탄성부를 구성하는 절연성 탄성물질과, 상기 제1절연성 시트를 구성하는 절연성 탄성물질은 서로 경도가 다른 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 6,
Wherein the insulating elastic material constituting the conductive elastic part and the insulating elastic material constituting the first insulating sheet have different hardness from each other. 제1항에 있어서,
상기 제1절연성 시트는 다수의 공극을 가지는 메쉬로서,
상기 제1도전부는 상기 메쉬의 공극을 침투한 상태에서 두께방향으로 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
The first insulating sheet is a mesh having a plurality of voids,
Wherein the first conductive portion extends in the thickness direction in a state of penetrating the voids of the mesh. 제1항에 있어서,
상기 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터는 서로 동일 형태를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein the first sheet-like connector and the second sheet-like connector have the same shape. 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 복수의 도전성 탄성부; 및
상기 도전성 탄성부를 사이에 두고 상측과 하측에 각각 배치되며 상기 도전성 탄성부의 상단과 하단에 각각 일체적으로 결합되어 상기 도전성 탄성부를 지지하고, 서로 대응되는 형상을 가지는 한 쌍의 시트형 커넥터를 포함하되,
각각의 도전성 탄성부는 서로 이격된 상태에서 빈공간에 의하여 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.A test socket for electrically connecting terminals and pads between terminals of a device to be tested and pads of an inspection apparatus,
A plurality of conductive elastic portions extending in the thickness direction at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles distributed in the insulating elastic material; And
And a pair of sheet-like connectors disposed on the upper and lower sides of the conductive elastic part, respectively, and integrally coupled to the upper and lower ends of the conductive elastic part to support the conductive elastic part and have shapes corresponding to each other,
Wherein each of the conductive elastic portions is surrounded by an empty space in a state where the conductive elastic portions are spaced apart from each other.
KR1020150083673A 2014-10-17 2015-06-12 Test socket KR101706331B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW104133936A TWI588493B (en) 2014-10-17 2015-10-16 Test socket
CN201510673906.4A CN105527472B (en) 2014-10-17 2015-10-16 Test bench

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140141213 2014-10-17
KR20140141213 2014-10-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160045544A KR20160045544A (en) 2016-04-27
KR101706331B1 true KR101706331B1 (en) 2017-02-15

Family

ID=55914779

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150083673A KR101706331B1 (en) 2014-10-17 2015-06-12 Test socket

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101706331B1 (en)
TW (1) TWI588493B (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220127584A (en) * 2021-03-11 2022-09-20 (주)위드멤스 Contactor array and manufacturing method thereof
KR20230036377A (en) * 2021-09-07 2023-03-14 주식회사 아이에스시 Socket for electrical connector

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180049426A (en) * 2016-11-01 2018-05-11 솔브레인멤시스(주) Anisotropic conductive sheet with buffering part for guide pin
KR101839592B1 (en) * 2016-11-23 2018-04-26 주식회사 아이에스시 Electrical test assembly and Electrical test socket
JP6823534B2 (en) * 2017-04-28 2021-02-03 株式会社アドバンテスト Carrier for electronic component testing equipment
JP6842355B2 (en) * 2017-04-28 2021-03-17 株式会社アドバンテスト Carrier for electronic component testing equipment
KR101920855B1 (en) * 2017-05-11 2018-11-21 주식회사 아이에스시 Electrical test socket
IT201700100522A1 (en) * 2017-09-07 2019-03-07 Technoprobe Spa Interface element for an electronic device test device and its manufacturing method
KR102002694B1 (en) * 2017-09-29 2019-07-23 주식회사 새한마이크로텍 Conductive contact and anisotropic conductive sheet with the same
KR101911496B1 (en) * 2018-04-13 2018-12-28 황동원 Socket device for testing a semiconductor device
KR102093854B1 (en) * 2019-04-12 2020-03-26 주식회사 아이에스시 Test socket
WO2021100824A1 (en) * 2019-11-22 2021-05-27 三井化学株式会社 Anisotropic conductive sheet, electrical inspection device and electrical inspection method
KR102270276B1 (en) * 2020-04-10 2021-06-28 주식회사 오킨스전자 Test rubber socket and method for manufacturing thereof
KR102342480B1 (en) * 2020-08-21 2021-12-23 (주)티에스이 Test socket and test apparatus having the same
KR102310726B1 (en) * 2021-03-05 2021-10-12 (주)위드멤스 Flexible contactor and method for manufacturing the same
KR102635714B1 (en) * 2021-09-14 2024-02-13 주식회사 아이에스시 Manufacturing method of test socket

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100721587B1 (en) 2006-03-09 2007-05-23 주식회사 아이에스시테크놀러지 Contactor for testing of electronic part
KR101353481B1 (en) 2013-02-28 2014-01-20 주식회사 아이에스시 Test socket with high density conduction section
KR101392400B1 (en) 2013-02-19 2014-05-08 주식회사 아이에스시 Pusher for testing a device-under-test

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200831906A (en) * 2007-01-30 2008-08-01 Winway Technology Co Ltd Connector for IC testing
KR101000672B1 (en) * 2008-12-15 2010-12-10 이용준 Contactor manufacturing method
KR101145886B1 (en) * 2009-01-16 2012-05-15 주식회사 아이에스시 Electical connection device and test socket having the electrical connection device
CN102422726B (en) * 2009-03-10 2015-07-01 约翰国际有限公司 Electrically conductive pins for microcircuit tester
KR20120056238A (en) * 2012-02-27 2012-06-01 에이케이이노텍주식회사 Semiconductor test socket
KR101266124B1 (en) * 2012-04-03 2013-05-27 주식회사 아이에스시 Test socket with high density conduction section and fabrication method thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100721587B1 (en) 2006-03-09 2007-05-23 주식회사 아이에스시테크놀러지 Contactor for testing of electronic part
KR101392400B1 (en) 2013-02-19 2014-05-08 주식회사 아이에스시 Pusher for testing a device-under-test
KR101353481B1 (en) 2013-02-28 2014-01-20 주식회사 아이에스시 Test socket with high density conduction section

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220127584A (en) * 2021-03-11 2022-09-20 (주)위드멤스 Contactor array and manufacturing method thereof
KR102511313B1 (en) * 2021-03-11 2023-03-20 (주)위드멤스 Contactor array and manufacturing method thereof
KR20230036377A (en) * 2021-09-07 2023-03-14 주식회사 아이에스시 Socket for electrical connector
KR102597496B1 (en) 2021-09-07 2023-11-02 주식회사 아이에스시 Socket for electrical connector

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160045544A (en) 2016-04-27
TW201616134A (en) 2016-05-01
TWI588493B (en) 2017-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101706331B1 (en) Test socket
US9488675B2 (en) Test socket having high-density conductive unit, and method for manufacturing same
KR101573450B1 (en) Test socket
CN105527472B (en) Test bench
KR101366171B1 (en) Test socket with high density conduction section
KR101606866B1 (en) Test connector
KR101353481B1 (en) Test socket with high density conduction section
KR101246301B1 (en) Socket for electrical test with micro-line
CN108780115B (en) Test socket and conductive particles
KR101471116B1 (en) Test socket with high density conduction section
KR101976701B1 (en) anisotropic conductive sheet
KR101672935B1 (en) Test socket
KR101624689B1 (en) Electrical connecting connector
KR101614472B1 (en) Test connector
KR101318351B1 (en) Anisotropic conductive connector, production method and production device therefor
TWI669515B (en) Test socket
KR20170017951A (en) anisotropic conductive sheet
KR101572139B1 (en) Connector and fabrication method of connector
KR20200027656A (en) Anisotropic conductive sheet
KR20220023438A (en) Conductive particle and testing socket comprsing the same
TWI542086B (en) Anisotropic conductive connector, manufacturing and device thereof
KR101532390B1 (en) Electrical insulating sheet, fabrication method thereof and electrical test apparatus
KR101580549B1 (en) Anisotropic conductive connector, production method and production device therefor
KR20190050688A (en) Anisotropic conductive sheet
KR102388678B1 (en) Test socket

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200130

Year of fee payment: 4