KR20230012152A - Testor socket - Google Patents

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KR20230012152A
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Abstract

A socket for a test according to a preferred embodiment of the present invention is a socket for a test which is disposed between a test device and a device to be tested and electrically connects the test device and the device to be tested. The socket for a test comprises: a plurality of conductive parts respectively corresponding to a terminal of the device to be tested, and respectively corresponding to a terminal of the test device, such that the terminal of the test device and the terminal of the device to be tested can be electrically connected; and an insulating part for insulating and supporting the conductive parts from each other. The conductive part is disposed in a vertical direction of the insulating part, and the conductive part includes: a sheet; and a plurality of wires extending from an upper part to a lower part of the sheet. The socket for a test prevents bridging between the conductive parts and stably performs an electrical test of the device to be tested.

Description

검사용 소켓{TESTOR SOCKET}Socket for inspection {TESTOR SOCKET}

본 발명은 검사용 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스에 대한 불량여부를 판단하기 위한 검사과정에서 사용되는 검사용 소켓에 관한 것이다.The present invention relates to a test socket, and more particularly, to a test socket disposed between a device to be tested and a test device and used in a test process to determine whether a device to be tested is defective.

피검사 디바이스의 전기적 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사장치에 접촉되어 피검사 디바이스와 검사장치를 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓이 당해 분야에서 사용되고 있다. 검사용 소켓은 검사장치의 전기 신호를 피검사 디바이스에 전달하고, 피검사 디바이스의 전기 신호를 검사장치에 전달한다. 이러한 검사용 소켓으로서, 포고핀 소켓과 도전성 러버 시트가 당해 분야에 알려져 있다.In order to electrically test a device under test, a test socket that contacts the device to be tested and the test device and electrically connects the device to be tested and the test device is used in the related art. The test socket transfers electrical signals from the test device to the device under test, and transmits electrical signals from the device to be tested to the test device. As such a test socket, a pogo pin socket and a conductive rubber sheet are known in the art.

포고핀 소켓은 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 대응해 상하 방향으로 눌러지는 포고핀을 갖는다. 포고핀 소켓은, 포고핀을 수용하는 부품을 필요로 하므로, 얇은 두께를 갖기 어렵고, 미세 피치를 갖는 피검사 디바이스의 단자들에 적용되기 어렵다.The pogo pin socket has a pogo pin that is pushed up and down in response to an external force applied to the device under test. Since the pogo pin socket requires a part for accommodating the pogo pin, it is difficult to have a thin thickness and is difficult to apply to terminals of a device under test having a fine pitch.

도전성 러버 시트는 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 탄성 변형할 수 있다. 도전성 러버 시트는 피검사 디바이스와 검사장치를 전기적으로 접속시키는 복수의 도전부와 도전부들을 이격시키는 절연부를 가진다. 절연부는 경화된 실리콘 러버로 이루어질 수 있다. 도전성 러버 시트는, 포고핀 소켓에 비해, 적은 제조 비용으로 제조될 수 있고, 피검사 디바이스의 단자를 손상시키지 않으며, 매우 얇은 두께를 가지는 점에서, 유리하다. 따라서, 포고핀 테스트 소켓을 도전성 러버 시트로 대체하는 시도가 피검사 디바이스의 검사 분야에서 시도되고 있다.The conductive rubber sheet can elastically deform in response to an external force applied to the device under test. The conductive rubber sheet has a plurality of conductive parts electrically connecting the device under test and the inspection apparatus and an insulating part separating the conductive parts. The insulating part may be made of hardened silicone rubber. Compared to pogo pin sockets, the conductive rubber sheet is advantageous in that it can be manufactured at a low manufacturing cost, does not damage terminals of the device under test, and has a very thin thickness. Therefore, an attempt to replace the pogo pin test socket with a conductive rubber sheet has been attempted in the field of inspection of a device under test.

이러한 도전성 러버 시트는, 복수의 도전부를 가지고 있는데, 각 도전부는 다수의 도전성 입자가 연질의 탄성 절연물질 내에 상하방향으로 정렬된 상태로 배치된다. 검사과정에서 도전부에 피검사 디바이스의 단자가 접촉되어 가압되면 도전부가 압축되면서 상하방향으로 전기적 도통가능한 상태를 이루게 되고, 이후에 검사장치에서 소정의 전기적 신호가 인가되면 그 신호는 도전부를 통과하여 피검사 디바이스의 단자로 흐르게 되면서 소정의 전기적 검사가 이루어진다.Such a conductive rubber sheet has a plurality of conductive parts, and each conductive part has a plurality of conductive particles arranged vertically in a soft elastic insulating material. During the test process, when the terminal of the device to be tested is brought into contact with the conductive part and pressurized, the conductive part is compressed to achieve a state in which electrical conduction is possible in the vertical direction. Then, when a predetermined electrical signal is applied from the test device, the signal passes through While flowing to the terminal of the device to be tested, a predetermined electrical test is performed.

도1 및 2에 종래 검사용 소켓(10)이 도시되어 있다. 도시된 검사용 소켓(10)은 두께방향으로 연장되며 다수의 도전성 입자(11a)가 실리콘 고무 내에 두께방향으로 배열되는 도전부(11)와, 상기 도전부(11)들 사이에 배치되어 상기 도전부(11)들을 지지하며 실리콘 고무로 이루어지는 절연부(12)로 이루어지는 소켓 본체로 이루어진다.1 and 2 show a conventional test socket 10. The illustrated test socket 10 extends in the thickness direction and a conductive part 11 in which a plurality of conductive particles 11a are arranged in the thickness direction in silicone rubber and are disposed between the conductive parts 11 to conduct the conductive part 11a. It consists of a socket body which supports the parts 11 and is made of an insulating part 12 made of silicone rubber.

이러한 검사용 소켓(10)을 검사장치(30)에 안착시킨 상태에서, 피검사 디바이스(20)의 단자(21)를 도전부(11)의 상단에 접촉하여 가압한 후에 검사장치(30)로부터 소정의 전기적인 신호를 인가시키면 상기 전기적 신호는 검사장치(30)의 패드(31)에서 도전부(11)를 거쳐서 피검사 디바이스(20)의 단자(21)로 전달되면서 소정의 전기적 검사가 이루어진다.In a state where the test socket 10 is seated in the test device 30, the terminal 21 of the device under test 20 is brought into contact with the upper end of the conductive part 11 to pressurize, and then the test device 30 When a predetermined electrical signal is applied, the electrical signal is transmitted from the pad 31 of the testing device 30 through the conductive part 11 to the terminal 21 of the device 20 to be tested, thereby performing a predetermined electrical test. .

그런데, 이러한 종래 도전성 입자로 된 검사용 소켓은 미세피치로 갈수록 도전성 입자를 채운 도전부간 브릿지(도전부간 입자가 연결되어 쇼트가 나는 상태)가 생기는 문제가 있다.However, such a conventional test socket made of conductive particles has a problem in that bridges between conductive parts filled with conductive particles (a state in which a short circuit occurs when particles are connected between conductive parts) occur as the pitch goes finer.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 도전부간 브릿지를 방지하고 피검사 디바이스의 전기적 검사를 안정적으로 수행하며 고주파 신호 테스트에 유리한 검사용 소켓을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, and its purpose is to provide a test socket that prevents bridging between conductive parts, stably performs an electrical test of a device under test, and is advantageous for high-frequency signal tests. there is

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 소켓은 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및 상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고, 상기 도전부는 상기 절연부의 상하방향으로 배치되고, 상기 도전부는 시트; 및 상기 시트의 상부에서 하부로 연장되는 다수의 와이어;를 포함하는 것을 특징으로 한다.A test socket according to a preferred embodiment of the present invention is a test socket disposed between a test device and a device to be tested to electrically connect the test device and the device to be tested, to a terminal of the device to be tested. a plurality of conductive parts respectively corresponding to the terminals of the inspection apparatus and electrically connecting the terminals of the inspection apparatus and the terminals of the device under test; and an insulating part for insulating and supporting the conductive part from each other, wherein the conductive part is disposed in a vertical direction of the insulating part, and the conductive part includes a sheet; and a plurality of wires extending from the top to the bottom of the sheet.

또한, 상기 다수의 와이어는 상기 시트의 측면방향을 따라 이격되어 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the plurality of wires are characterized in that disposed spaced apart along the lateral direction of the sheet.

또한, 상기 시트는 연성의 합성수지로 이루어지고, 바람직하게는 실리콘으로 이루어진다.In addition, the sheet is made of a soft synthetic resin, preferably made of silicone.

또한, 상기 시트는 상기 도전부에서 원형으로 말린(rolled) 형태로 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the sheet is characterized in that it is disposed in a rolled form in a circular shape in the conductive portion.

또한, 상기 도전부는 원형으로 말린 상기 시트 내부에 다수의 도전성 입자와 탄성물질이 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the conductive part is characterized in that a plurality of conductive particles and an elastic material are disposed inside the sheet rolled into a circle.

또한, 상기 도전성 입자는 상기 탄성물질의 중심부에 분포되는 것을 특징으로 한다.In addition, the conductive particles are characterized in that they are distributed in the center of the elastic material.

또한, 상기 도전부는 원형으로 말린 상기 시트 내부에 에어 충전부가 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the conductive part is characterized in that the air filling part is disposed inside the sheet rolled into a circle.

또한, 상기 도전부에서 상기 시트는 다수회 말린 형태로 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the conductive part, the sheet is characterized in that it is disposed in a rolled form a plurality of times.

또한, 상기 시트는 상기 도전부의 중심부에서부터 상기 도전부의 외주까지 말린 형태로 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the sheet is characterized in that it is disposed in a rolled form from the center of the conductive portion to the outer periphery of the conductive portion.

또한, 상기 도전부의 상부 또는 하부에는 러버패드가 부착되고, 상기 러버패드는 탄성물질 및 다수의 도전성 입자를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a rubber pad is attached to the upper or lower portion of the conductive part, and the rubber pad includes an elastic material and a plurality of conductive particles.

또한, 상기 탄성물질은 실리콘 고무인 것을 특징으로 한다.In addition, the elastic material is characterized in that silicone rubber.

본 발명에 따른 검사용 소켓의 제조방법은 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓의 제조방법에 있어서, 상기 검사용 소켓은 상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및 상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고, a) 시트의 측면방향을 따라 다수의 와이어를 형성하되 상기 시트의 상부에서 하부까지 연장되는 상기 와이어를 배치하는 단계; 및 b) 상기 a)단계 후 상기 시트가 말린 형태로 상기 절연부 내에 배치되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A method for manufacturing a test socket according to the present invention is a method for manufacturing a test socket disposed between a test device and a device to be tested to electrically connect the test device and the device to be tested, wherein the test socket comprises: a plurality of conductive parts respectively corresponding to the terminals of the device under test and corresponding to the terminals of the test device to electrically connect the terminals of the test device and the device to be tested; and an insulating part for insulating and supporting the conductive part from each other, a) forming a plurality of wires along the lateral direction of the sheet, but arranging the wires extending from the upper part to the lower part of the sheet; and b) placing the sheet in a rolled form in the insulating part after step a).

또한, c) 상기 a)단계 후 원형으로 말린 시트 내부에 다수의 도전성 입자가 분산된 액상탄성물질을 충전하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, c) it is characterized in that it further comprises the step of filling the liquid elastic material in which a plurality of conductive particles are dispersed inside the sheet rolled into a circle after the step a).

또한, c-1) 상기 액상탄성물질을 충전한 후 상기 액상탄성물질의 중심부 상하측에 상하 자석몰드를 배치하고 자성을 가하여 상기 액상탄성물질의 중심부에 상기 도전성 입자가 모이도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, c-1) after filling the liquid elastic material, placing upper and lower magnet molds on the upper and lower sides of the center of the liquid elastic material and applying magnetism to the center of the liquid elastic material to collect the conductive particles. It is characterized by doing.

본 발명에 따른 검사용 소켓은 도전부간 브릿지를 방지하고 피검사 디바이스의 전기적 검사를 안정적으로 수행하며 고주파 신호 테스트에 유리한 장점이 있다.The test socket according to the present invention prevents bridging between conductive parts, stably performs an electrical test of a device under test, and has advantages in high-frequency signal tests.

도 1은 종래 검사용 소켓을 도시한 도면이고,
도 2는 도1에서 검사를 위해 피검사 디바이스를 검사용 소켓에 접촉하여 가압시킨 상태를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명의 검사용 소켓을 검사장치에 장착한 상태를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이며,
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓에서 도전부를 형성하기 위한 와이어 시트를 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓에서 도전부의 사시도이며,
도 7 내지 도9는 본 발명에 따른 검사용 소켓의 종단면도의 예들을 도시한 도면이고,
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이고,
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓에서 도전부의 사시도이며,
도 12는 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이고,
도 13은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓에서 도전부의 사시도이며,
도 14은 본 발명의 제4실시예에 따른 검사용 소켓의 종단면도이고,
도 15는 본 발명의 제5실시예에 따른 검사용 소켓의 사시도이다.1 is a view showing a conventional test socket,
FIG. 2 is a view showing a state in which a device to be tested is brought into contact with and pressed against a socket for testing in FIG. 1;
3 is a view showing a state in which the test socket of the present invention is mounted on a test device;
4 is a plan view of a test socket according to a first embodiment of the present invention;
5 is a view showing a wire sheet for forming a conductive part in a test socket according to a first embodiment of the present invention;
6 is a perspective view of a conductive part in a test socket according to a first embodiment of the present invention;
7 to 9 are views showing examples of longitudinal cross-sectional views of the test socket according to the present invention;
10 is a plan view of a test socket according to a second embodiment of the present invention;
11 is a perspective view of a conductive part in a test socket according to a second embodiment of the present invention;
12 is a plan view of a test socket according to a third embodiment of the present invention;
13 is a perspective view of a conductive part in a test socket according to a third embodiment of the present invention;
14 is a longitudinal sectional view of a test socket according to a fourth embodiment of the present invention;
15 is a perspective view of a test socket according to a fifth embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention, and methods of achieving them, will become clear with reference to the detailed description of the following embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, only these embodiments make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the holder of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Thus, in some embodiments, well-known process steps, well-known device structures, and well-known techniques have not been described in detail in order to avoid obscuring the interpretation of the present invention. Like reference numbers designate like elements throughout the specification.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 아래에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness is shown enlarged to clearly express the various layers and regions. Like reference numerals have been assigned to like parts throughout the specification. When a part such as a layer, film, region, plate, etc. is said to be “on” another part, this includes not only the case where it is “directly on” the other part, but also the case where there is another part in between. Conversely, when a part is said to be "directly on" another part, it means that there is no other part in between. In addition, when a part such as a layer, film, region, plate, etc. is said to be "below" another part, this includes not only the case where it is "directly below" the other part, but also the case where another part is present in the middle. Conversely, when a part is said to be "directly below" another part, it means that there is no other part in between.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.The spatially relative terms "below", "beneath", "lower", "above", "upper", etc. It can be used to easily describe the correlation between elements or components and other elements or components. Spatially relative terms should be understood as encompassing different orientations of elements in use or operation in addition to the orientations shown in the figures. For example, when flipping elements shown in the figures, elements described as “below” or “beneath” other elements may be placed “above” the other elements. Thus, the exemplary term “below” may include directions of both below and above. Elements may also be oriented in other orientations, and thus spatially relative terms may be interpreted according to orientation.

본 명세서에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 그에 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In this specification, when a part is said to be connected to another part, this includes not only the case where it is directly connected, but also the case where it is connected with another element interposed therebetween. In addition, when a part includes a certain component, it means that it may further include other components without excluding other components unless otherwise specified.

본 명세서에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제 1 구성 요소가 제 2 또는 제 3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제 2 또는 제 3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.In this specification, terms such as first, second, and third may be used to describe various components, but these components are not limited by the terms. The terms are used for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, a first component may be termed a second or third component, etc., and similarly, a second or third component may be termed interchangeably, without departing from the scope of the present invention.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used in a meaning commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. In addition, terms defined in commonly used dictionaries are not interpreted ideally or excessively unless explicitly specifically defined.

본 발명에서의 검사용 소켓(100)은 두개의 전자 디바이스의 전기적 접속을 위한 것으로서, 상기 두개의 전자 디바이스 중 하나는 검사장치(160)일 수 있고, 다른 하나는 검사장치(160)에 의해 검사되는 피검사 디바이스(150)일 수 있다.The test socket 100 in the present invention is for electrical connection of two electronic devices, one of the two electronic devices may be the test device 160, and the other may be tested by the test device 160. It may be the device under test 150 that becomes.

본 발명의 검사용 소켓(100)은 피검사 디바이스(150)의 전기적 검사 시에 검사장치(160)와 피검사 디바이스(150)의 전기적 접속을 위해 사용될 수 있고, 피검사 디바이스(150)의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스(150)의 최종적인 전기적 검사를 위해 사용될 수 있다.The test socket 100 of the present invention can be used for electrical connection between the test apparatus 160 and the device under test 150 during the electrical test of the device under test 150, and manufacturing of the device under test 150 In a later process during the process, it can be used for a final electrical inspection of the device under test 150 .

본 발명에 따른 검사용 소켓은 도3에 도시된 바와 같이 검사장치(160)와 피검사 디바이스(150) 사이에 배치되며 검사장치(160)와 피검사 디바이스(150)를 전기적으로 접속시킨다. As shown in FIG. 3 , the test socket according to the present invention is disposed between the test device 160 and the device under test 150 and electrically connects the test device 160 and the device under test 150 .

여기서, 피검사 디바이스(150)는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 반도체 패키지는, 반도체 IC 칩과 다수의 리드 프레임과 다수의 단자를 육면체 형태로 패키징한 반도체 디바이스이다. 반도체 IC 칩은 메모리 IC 칩 또는 비메모리 IC 칩이 될 수 있다. 상기 단자로서는 핀, 솔더볼(solder ball) 등이 사용될 수 있다. 피검사 디바이스(150)는 그 하측에 반구형의 다수의 단자(151)를 가진다. Here, the device under test 150 may be a semiconductor package, but is not limited thereto. A semiconductor package is a semiconductor device in which a semiconductor IC chip, a plurality of lead frames, and a plurality of terminals are packaged in a hexahedral shape. The semiconductor IC chip may be a memory IC chip or a non-memory IC chip. As the terminal, a pin, a solder ball, or the like may be used. The device under test 150 has a plurality of hemispherical terminals 151 on its lower side.

검사장치(160)는 피검사 디바이스(150)의 전기적 특성, 기능적 특성, 동작 속도 등을 검사할 수 있고, 검사가 수행되는 보드 내에, 전기적 테스트 신호를 출력할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 단자(161)를 가질 수 있다.The test device 160 can test the electrical characteristics, functional characteristics, operating speed, etc. of the device under test 150, and can output electrical test signals and receive response signals within a board where the test is performed. may have a terminal 161 of

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 소켓 몸체를 구성하는 도전성 러버시트(110)와 도전성 러버시트(110)를 지지하는 지지프레임(140)을 포함한다.A test socket 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a conductive rubber sheet 110 constituting a socket body and a support frame 140 supporting the conductive rubber sheet 110 .

도 3은 본 발명의 검사용 소켓을 검사장치에 장착한 상태를 도시한 도면이다. 3 is a view showing a state in which the test socket of the present invention is mounted on a test device.

피검사 디바이스(150)의 단자(151)는 검사용 소켓(100)을 통해 대응하는 검사장치(160)의 단자(161)와 전기적으로 접속되고, 검사용 소켓(100)은 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 이것에 대응하는 검사장치(160)의 단자(161)를 상하 방향으로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스(150)를 검사하게 된다.The terminal 151 of the device under test 150 is electrically connected to the terminal 161 of the corresponding test device 160 through the test socket 100, and the test socket 100 is connected to the test device 150. The test device 150 is inspected by electrically connecting the terminal 151 of ) and the terminal 161 of the test device 160 corresponding thereto in the vertical direction.

본 발명에 따른 검사용 소켓(100)에서 도전성 러버시트(110)는 다수의 도전부(120)와, 절연부(130)를 포함한다.In the test socket 100 according to the present invention, the conductive rubber sheet 110 includes a plurality of conductive parts 120 and an insulating part 130 .

상기 도전부(120)는 피검사 디바이스에서 각각의 단자(151)를 이에 대응하는 검사장치(160)의 단자에 각각 전기적으로 접속되도록 하기 위한 것으로, 이를 위해 각각의 도전부(120)는 피검사 디바이스(150)의 각각의 단자(151)와 대응되는 위치에 배치된다. The conductive part 120 is to electrically connect each terminal 151 of the device under test to the corresponding terminal of the test device 160. For this purpose, each conductive part 120 is to be tested. It is disposed at a position corresponding to each terminal 151 of the device 150.

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이며, 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓에서 도전부를 형성하기 위한 와이어 시트를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓에서 도전부의 사시도이다.4 is a plan view of a test socket according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a view showing a wire sheet for forming a conductive part in the test socket according to the first embodiment of the present invention. is a perspective view of the conductive part in the test socket according to the first embodiment of the present invention.

본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓(100)에서 도전부(120)는 시트(sheet,121)에 그 길이방향을 따라 이격되는 다수의 와이어(122)가 배치되어 이루어지고, 시트(121)는 본 실시예에서 실리콘(silicone) 등의 연성 재질의 합성수지 시트(121)로 이루어진다.In the test socket 100 according to the first embodiment of the present invention, the conductive part 120 is formed by disposing a plurality of wires 122 spaced apart along the longitudinal direction on a sheet 121, and the sheet ( 121) is made of a synthetic resin sheet 121 of a soft material such as silicon in this embodiment.

도5에 도시된 바와 같이 도전부(120)는 좌우 측면방향으로 연장되는 합성수지 시트(121)에 측면방향으로 다수의 와이어(122)를 이격되게 결합시키고, 와이어(122)가 배치된 합성수지 시트(121)를 원형으로 말아서(rolled) 도전부(120)를 형성한다. As shown in FIG. 5, the conductive part 120 couples a plurality of wires 122 spaced apart in the lateral direction to the synthetic resin sheet 121 extending in the left and right lateral directions, and the synthetic resin sheet on which the wires 122 are disposed ( 121 is rolled into a circle to form the conductive portion 120 .

각각의 금속 와이어(122)는 도시된 바와 같이 합성수지 시트(121)의 상부에서 하부까지 연장되어 형성되고, 와이어(122)의 재질로서 도전성 금속이면 특별한 제한은 없으나 본 실시예에서 와이어(122)는 구리 또는 구리에 금, 은, 백금을 도금한 와이어 등이 사용될 수 있다. Each metal wire 122 is formed by extending from the top to the bottom of the synthetic resin sheet 121 as shown, and as long as the material of the wire 122 is a conductive metal, there is no particular limitation, but in this embodiment, the wire 122 is Copper or a wire plated with gold, silver, platinum or the like can be used.

본 발명에서는 와이어(122)가 배치된 시트(121)를 원하는 길이만큼 절단한 다음 절단된 시트(121)를 말아서 도전성 러버시트(110)에서 피검사 디바이스(150)의 단자(151)에 각각 대응되는 위치에 각각 배치하여 도전부(120)를 형성하게 된다. In the present invention, the sheet 121 on which the wires 122 are arranged is cut to a desired length, and then the cut sheet 121 is rolled to correspond to the terminals 151 of the device 150 under test on the conductive rubber sheet 110, respectively. The conductive parts 120 are formed by arranging the conductive parts 120 at the respective positions.

이러한 도전부(120)를 포함한 검사용 소켓(100)의 제조공정은 a) 시트(121)의 측면방향을 따라 다수의 와이어(122)를 배치하되 시트(121)의 상부에서 하부까지 연장되는 와이어(122)를 배치하는 단계; 및 b) 상기 a)단계 후 시트(121)가 말린 형태로 절연부(130) 내에 배치되는 단계를 포함한다.In the manufacturing process of the test socket 100 including the conductive portion 120, a) arranging a plurality of wires 122 along the lateral direction of the sheet 121, the wire extending from the top to the bottom of the sheet 121 placing 122; and b) disposing the sheet 121 in a rolled form in the insulating part 130 after step a).

즉, 먼저 도전성 러버시트(110)를 경화시키고, 경화된 도전성 러버시트(110)에 상하로 관통되는 관통홀을 천공하고 이 관통홀에 와이어(122)가 배치되어 원형으로 말린 실리콘 등의 합성수지 시트(121)를 삽입하여 도전부(120)가 형성된다. 또는 다른 실시예로서 몰드에 상기와 같이 제조된 원형으로 말린 시트(121)를 고정한 후 도전성 러버시트 형성용 액상탄성물질을 주입하고 경화시켜 도전부(120)와 절연부(130)를 가지는 도전성 러버시트(110)를 제조한다.That is, first, the conductive rubber sheet 110 is cured, through-holes are drilled through the cured conductive rubber sheet 110 vertically, and wires 122 are placed in the through-holes, and a synthetic resin sheet such as silicon is rolled into a circle. A conductive portion 120 is formed by inserting 121. Alternatively, as another embodiment, a conductive rubber having a conductive part 120 and an insulating part 130 is formed by fixing the rolled sheet 121 manufactured as described above in a mold, injecting a liquid elastic material for forming a conductive rubber sheet and curing the sheet 121. Sheet 110 is manufactured.

그리고 본 실시예에서 도전부(120)에는 와이어(122)가 배치된 합성수지 시트(121)를 원형으로 말아서 생기는 중심부의 공간에 다수의 도전성 입자와 탄성물질(124)이 배치된다. In the present embodiment, in the conductive part 120, a plurality of conductive particles and elastic material 124 are disposed in a central space formed by rolling the synthetic resin sheet 121 on which the wire 122 is disposed in a circle.

도전부(120)의 중심부에 배치되는 탄성물질(124)은 본 실시예에서 실리콘(silicon) 또는 실리콘 고무로 이루어지고, 다수의 도전성 입자는 탄성물질(124) 내부 전체에 분포될 수도 있고 탄성물질(124)의 중심부에만 분포될 수도 있다. 예로서 도전성 입자는 원통 형상의 탄성물질(124)의 중심에서 반경방향으로 1/2반경 내에 분포될 수 있고, 그 외곽에는 도전성 입자가 분포되지 않을 수 있다.The elastic material 124 disposed at the center of the conductive part 120 is made of silicon or silicone rubber in this embodiment, and a plurality of conductive particles may be distributed throughout the elastic material 124 or the elastic material It may be distributed only in the center of (124). For example, the conductive particles may be distributed within a 1/2 radius in a radial direction from the center of the cylindrical elastic material 124, and the conductive particles may not be distributed outside the cylindrical elastic material 124.

탄성물질(124)의 중심부에만 도전성 입자를 분포시킬 경우 제조과정을 살펴보면 와이어(122)가 배치된 합성수지 시트(121)를 원형으로 말아서 생기는 중심부의 빈 공간에 도전성 입자가 분산된 액상탄성물질을 충전하고, 액상탄성물질의 중심부 상하측에 상하 자석몰드를 배치하여 자성을 가한다. 그러면, 액상탄성물질에 분산된 도전성 입자가 상하방향으로 정렬되면서 중심부에만 모이게 되고, 이 상태에서 액상탄성물질을 경화시킨다. In the case of distributing conductive particles only in the center of the elastic material 124, looking at the manufacturing process, the liquid elastic material in which the conductive particles are dispersed is filled in the empty space in the center formed by rolling the synthetic resin sheet 121 on which the wire 122 is arranged in a circle. And, by placing upper and lower magnet molds on the upper and lower sides of the center of the liquid elastic material, magnetism is applied. Then, the conductive particles dispersed in the liquid elastic material are aligned in the vertical direction and are gathered only in the center, and the liquid elastic material is cured in this state.

이와 같이 탄성물질(124)의 중심부에만 도전성 입자가 모이도록 하면 도전부(120)에서 중심은 신호도전부, 중간은 절연부, 외곽은 와이어 차폐부로서 동축구조를 형성할 수 있게 되어 고주파 테스트에 유리한 장점을 가진다.In this way, if the conductive particles are gathered only in the center of the elastic material 124, the center of the conductive part 120 is a signal-conductive part, the middle part is an insulating part, and the outer part is a wire shielding part, so that a coaxial structure can be formed. has an advantageous advantage.

도전성 입자는 철, 니켈, 코발트 등의 금속 입자, 또는 이들의 합금 입자, 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하고 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속이 도금된 것, 또는 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하고 해당 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 금속을 도금한 것 등을 들 수 있다.Conductive particles are metal particles such as iron, nickel, and cobalt, or alloy particles thereof, or particles containing these metals, or these particles as core particles, and gold, silver, palladium, rhodium, etc. are formed on the surface of the core particles. Those plated with a metal having good conductivity, or those in which inorganic particles such as metal particles or glass beads or polymer particles are used as core particles, and the surfaces of the core particles are plated with a conductive metal such as nickel or cobalt. .

상기 절연부(130)는 도전부(120)의 주변에 배치되어 도전부(120)의 형상을 유지하고 도전부(120)를 상하방향으로 유지시키면서 각 도전부(120)를 서로 절연하고 지지하는 것으로, 절연부(130)는 하나의 탄성체로 형성되고 상하방향과 수평 방향으로 탄성을 가진다.The insulating part 130 is disposed around the conductive part 120 to maintain the shape of the conductive part 120 and to insulate and support each conductive part 120 from each other while maintaining the conductive part 120 in the vertical direction. As such, the insulation unit 130 is formed of one elastic body and has elasticity in the vertical and horizontal directions.

절연부(130)는 탄성 절연물질로 이루어지고, 액상의 절연물질이 경화되어 성형된다. 절연부(130)를 구성하는 탄성 절연물질로서는 한 예로서 실리콘, 또는 실리콘 고무가 이용될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The insulating unit 130 is made of an elastic insulating material, and is molded by curing a liquid insulating material. As an elastic insulating material constituting the insulating unit 130, silicon or silicone rubber may be used as an example, but is not necessarily limited thereto.

다음으로 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 검사용 소켓(100)의 작용효과를 설명한다. Next, the operational effect of the test socket 100 according to the present invention configured as described above will be described.

본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은 검사장치(160)상에 배치된다. 이 때 검사장치(160)의 각각의 단자(161)에 검사용 소켓(100)의 각각의 도전부(120)가 접촉하여 전기적으로 접속되도록 배치된다. The test socket 100 according to the present invention is disposed on the test device 160. At this time, each conductive part 120 of the test socket 100 is electrically connected to each terminal 161 of the test device 160 in contact with each other.

검사용 소켓(100)은 도시된 바와 같이 지지프레임(140)에 의해 도전성 러버시트(110)가 검사장치(160)상에 지지되어 배치된다. As shown in the drawing, the test socket 100 is disposed while the conductive rubber sheet 110 is supported on the test device 160 by the support frame 140 .

이와 같이 검사장치(160)에 검사용 소켓(100)이 배치된 상태에서 피검사 디바이스(150)의 전기적 검사를 위해 피검사 디바이스(150)를 검사용 소켓(100) 상부에서 눌러 가압한다. 이때, 피검사 디바이스(150)의 각각의 단자(151)가 검사용 소켓(100)의 각각의 도전부(120)에 접촉되도록 하여 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 검사용 소켓(100)의 도전부(120)가 전기적으로 접속되도록 한다. In this way, in a state where the test socket 100 is disposed in the test device 160, the device to be tested 150 is pressed from the upper portion of the test socket 100 to electrically test the device to be tested 150. At this time, each terminal 151 of the device under test 150 is in contact with each conductive part 120 of the test socket 100 so that the terminal 151 of the device under test 150 and the test socket ( The conductive part 120 of 100 is electrically connected.

이와 같이 검사용 소켓(100)에 의해 검사장치(160)의 단자(161)와 피검사 디바이스(150)의 단자(151)가 전기적으로 접속된 상태에서 검사장치(160)에 의해 검사를 수행한다. In this way, the test is performed by the test device 160 in a state in which the terminal 161 of the test device 160 and the terminal 151 of the device under test 150 are electrically connected by the test socket 100. .

본 발명에 따른 검사용 소켓은 전술한 바와 같이 구성됨으로써 첫째, 제조가 간단하여 대량생산에 유리하고, 둘째 금속 와이어는 도전로가 단순하여 통전에 유리하고 저항이 낮으며, 셋째 전술한 바와 같이 동축 구조의 적용이 가능하여 고주파 테스트에 유리한 장점이 있다. Since the socket for inspection according to the present invention is configured as described above, firstly, manufacturing is simple and advantageous for mass production, secondly, the metal wire has a simple conductive path and is advantageous for energization and has low resistance, and thirdly, as described above, coaxial The structure can be applied, which is advantageous for high-frequency testing.

한편, 도 7 내지 도 9는 본 발명의 검사용 소켓의 종단면도를 도시한 것으로, 도 7에서와 같이 도전성 러버시트(110)에서 도전부(120)의 하부를 절연부(130)로부터 돌출되도록 형성할 수도 있고, 도 8에서와 같이 도전부(120)의 상하부를 절연부(130)로부터 모두 돌출되도록 형성할 수도 있으며, 도 9에서와 같이 도전부(120)의 상하부가 절연부(130)로부터 모두 돌출되지 않도록 형성할 수도 있다.Meanwhile, FIGS. 7 to 9 are longitudinal cross-sectional views of the test socket according to the present invention. As shown in FIG. 7 , the conductive rubber sheet 110 has a lower part of the conductive part 120 protruding from the insulating part 130 . 8, upper and lower portions of the conductive portion 120 may all protrude from the insulating portion 130, as shown in FIG. It can also be formed so that it does not protrude from all.

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓(100)에 대해 설명한다. 도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이고, 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓에서 도전부의 사시도이다.Next, the test socket 100 according to the second embodiment of the present invention will be described. 10 is a plan view of a test socket according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a perspective view of a conductive part in the test socket according to a second embodiment of the present invention.

제2실시예가 제1실시예와 다른 점은 제1실시예에서는 도전부(120)의 중심부에 도전성 입자와 탄성물질(124)이 배치되나, 제2실시예에서는 도전부(120)에서 원형으로 말린 시트(121)의 내부 공간에 에어가 충전된 에어 충전부(123)가 형성된다는 점이다.The difference between the second embodiment and the first embodiment is that in the first embodiment, the conductive particles and the elastic material 124 are disposed at the center of the conductive part 120, but in the second embodiment, the conductive part 120 is formed in a circular shape. An air filling unit 123 filled with air is formed in the inner space of the rolled sheet 121 .

본 실시예에서와 같이 도전부(120)에서 원형으로 말린 시트(121)의 내부 공간에 에어 충전부(123)가 형성됨으로써 피검사장치(150)의 단자(151)가 검사용 소켓(100)의 도전부(120)를 가압시 도전부(120)의 시트(121)가 수평방향으로 팽창할 수 있는 공간이 넓게 확보되기 때문에 도전부(120)의 탄성복원력이 증가된다.As in the present embodiment, the air charging unit 123 is formed in the inner space of the sheet 121 rolled into a circle by the conductive unit 120, so that the terminal 151 of the device under test 150 is connected to the socket 100 for inspection. When the conductive part 120 is pressed, the elastic restoring force of the conductive part 120 is increased because a wide space is secured in which the sheet 121 of the conductive part 120 can expand in the horizontal direction.

그 외 구성 및 효과에 대해서는 이전 실시예와 동일하여 여기서는 그 상세한 설명은 생략한다.Other configurations and effects are the same as those of the previous embodiment, so detailed descriptions thereof are omitted here.

다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓(100)에 대해 설명한다. 도 12는 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이고, 도 13은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓에서 도전부의 사시도이다. Next, the test socket 100 according to the third embodiment of the present invention will be described. 12 is a plan view of a test socket according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a perspective view of a conductive part in the test socket according to a third embodiment of the present invention.

제3실시예가 이전 실시예와 다른 점은 제3실시예에서는 와이어(122)가 배치된 시트(121)가 도전부(120)의 중심부까지 채워지는 구조로 이루어진다.The difference between the third embodiment and the previous embodiments is that the sheet 121 on which the wire 122 is disposed fills up to the center of the conductive part 120 in the third embodiment.

즉, 도전부(120)가 실리콘 등의 시트(121)의 측면방향으로 금속 와이어(122)를 일정 간격 이격되게 배치하고, 와이어(122)가 배치된 시트(121)를 말아서 도전부(120)를 형성한다는 점에서는 동일하다.That is, the conductive part 120 arranges metal wires 122 spaced apart at regular intervals in the lateral direction of the sheet 121, such as silicon, and rolls the sheet 121 on which the wires 122 are disposed to form the conductive part 120. are identical in that they form

다만, 제3실시예에서는 도시된 바와 같이 와이어(122)가 배치된 시트(121)를 다수회 권취시켜 도전부(120)의 중심부까지 채워지는 구조로 이루어진다. However, in the third embodiment, as shown, the sheet 121 on which the wire 122 is disposed is wound multiple times to fill up to the center of the conductive portion 120 .

이와 같이 와이어가 배치된 시트(122)를 다수 회 말아서 도전부(120)의 중심부까지 채우는 구조로 할 경우 미세피치 도전부의 제조가 용이하게 되는 장점이 있다.In this way, when the sheet 122 on which the wires are arranged is rolled a number of times to fill up to the center of the conductive portion 120, there is an advantage in that the fine-pitch conductive portion can be easily manufactured.

그 외 구성 및 효과에 대해서는 이전 실시예와 동일하여 여기서는 그 상세한 설명은 생략한다.Other configurations and effects are the same as those of the previous embodiment, so detailed descriptions thereof are omitted here.

다음으로 본 발명의 제4실시예에 따른 검사용 소켓(100)에 대해 설명한다. 도 14는 본 발명의 제4실시예에 따른 검사용 소켓의 종단면도이다.Next, the test socket 100 according to the fourth embodiment of the present invention will be described. 14 is a longitudinal sectional view of a test socket according to a fourth embodiment of the present invention.

제4실시예가 이전 실시예와 다른 점은 본 실시예에서는 원형 또는 다수회 권취된 시트(121)의 상부 및 하부에 상, 하 고밀도 러버패드(125)가 배치된다는 점이다.The difference between the fourth embodiment and the previous embodiments is that upper and lower high-density rubber pads 125 are disposed on the top and bottom of the sheet 121 that is circular or rolled multiple times.

즉, 본 실시예에서 도전부(120)의 상부 및 하부에 각각 고밀도 러버패드(125)가 부착된다.That is, in this embodiment, high-density rubber pads 125 are attached to the upper and lower portions of the conductive portion 120, respectively.

본 실시예에서 고밀도 러버패드(125)는 탄성물질에 다수의 도전성 입자가 분포되어 이루어진다. 구체적인 예로서 탄성물질은 실리콘(silicon) 또는 실리콘 고무로 이루어지고, 실리콘 고무 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 이루어질 수 있다.In this embodiment, the high-density rubber pad 125 is formed by distributing a plurality of conductive particles in an elastic material. As a specific example, the elastic material may be made of silicon or silicone rubber, and a plurality of conductive particles may be distributed in the silicone rubber.

도전성 입자는 철, 니켈, 코발트 등의 금속 입자, 또는 이들의 합금 입자, 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하고 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속이 도금된 것, 또는 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하고 해당 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 금속을 도금한 것 등을 들 수 있다.Conductive particles are metal particles such as iron, nickel, and cobalt, or alloy particles thereof, or particles containing these metals, or these particles as core particles, and gold, silver, palladium, rhodium, etc. are formed on the surface of the core particles. Those plated with a metal having good conductivity, or those in which inorganic particles such as metal particles or glass beads or polymer particles are used as core particles, and the surfaces of the core particles are plated with a conductive metal such as nickel or cobalt. .

따라서, 고밀도 러버패드(125)는 가압에 의하여 두께방향으로 압착되면서 도전성 입자들이 서로 밀접하게 접촉되어 전기적 도통상태가 되고 이에 의해 피검사 디바이스(150)의 단자(151)들이 도전부(120)에 전기적으로 접속되고, 도전부(120)는 검사장치(160)의 단자(161)에 전기적으로 접속된다. Therefore, the high-density rubber pad 125 is compressed in the thickness direction by pressurization, and the conductive particles come into close contact with each other to be in an electrically conductive state, whereby the terminals 151 of the device under test 150 are connected to the conductive part 120. electrically connected, and the conductive part 120 is electrically connected to the terminal 161 of the test device 160.

이와 같이 본 실시예에서는 이전 실시예에서 도전부(120)의 상부 또는 하부, 또는 상하부 모두에 고밀도 러버패드(125)가 부착됨으로써 탄성복원력을 향상시키고 반도체 소자의 단자 손상을 방지할 수 있는 장점이 있다.As described above, in the present embodiment, the high-density rubber pad 125 is attached to the top or bottom, or both of the top and bottom of the conductive part 120 in the previous embodiment, thereby improving the elastic restoring force and preventing damage to the terminals of the semiconductor device. there is.

그 외 구성 및 효과에 대해서는 이전 실시예와 동일하다.Other configurations and effects are the same as those of the previous embodiment.

다음으로 본 발명의 제5실시예에 따른 검사용 소켓(100)에 대해 설명한다. 도 15는 본 발명의 제5실시예에 따른 검사용 소켓의 사시도이다. Next, the test socket 100 according to the fifth embodiment of the present invention will be described. 15 is a perspective view of a test socket according to a fifth embodiment of the present invention.

제5실시예가 이전 실시예와 다른 점은 제5실시예에서는 도시된 바와 같이 와이어(122)가 원형으로 말린 시트(121)에 나선 형태로 배치된다는 점이다. 본 실시예에서는 이와 같이 와이어(122)가 시트(121)에 나선 형태로 배치됨으로써 피검사장치(150)의 단자(151)가 시트(121)를 가압할 때 전기적 접속과 더불어 스프링 역할을 겸하여 탄성복원력이 향상되게 된다.The difference between the fifth embodiment and the previous embodiments is that, as shown in the fifth embodiment, the wires 122 are spirally arranged on the sheet 121 rolled into a circle. In this embodiment, since the wire 122 is arranged in a spiral shape on the sheet 121 as described above, when the terminal 151 of the device under test 150 presses the sheet 121, the wire 122 serves as a spring as well as an electrical connection, and is elastic. resilience is improved.

그 외 구성 및 효과에 대해서는 이전 실시예와 동일하다.Other configurations and effects are the same as those of the previous embodiment.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 당해 기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능할 수 있을 것이다.Above, the present invention has been described with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited thereto, and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope without departing from the gist of the present invention described in the claims below. There will be.

100 : 검사용 소켓 110 : 도전성 러버시트
120 : 도전부 130 : 절연부
140 : 지지프레임 150 : 피검사 디바이스
160 : 검사장치100: socket for inspection 110: conductive rubber sheet
120: conductive part 130: insulating part
140: support frame 150: device to be tested
160: inspection device

Claims (16)

검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및
상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고,
상기 도전부는 상기 절연부의 상하방향으로 배치되고,
상기 도전부는
시트; 및
상기 시트의 상부에서 하부로 연장되는 다수의 와이어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.A test socket disposed between a test device and a device to be tested to electrically connect the test device and the device to be tested,
a plurality of conductive parts respectively corresponding to the terminals of the device under test and corresponding to the terminals of the test device to electrically connect the terminals of the test device and the device to be tested; and
Including; an insulating part for insulating and supporting the conductive part from each other,
The conductive part is disposed in a vertical direction of the insulating part,
the conductive part
Sheet; and
A test socket comprising a plurality of wires extending from the top to the bottom of the sheet. 제1항에 있어서,
상기 다수의 와이어는 상기 시트의 측면방향을 따라 이격되어 배치되는 검사용 소켓.According to claim 1,
The plurality of wires are spaced apart from each other along the lateral direction of the sheet, and the test socket is disposed. 제1항에 있어서,
상기 시트는 연성의 합성수지로 이루어지는 검사용 소켓.According to claim 1,
The sheet is a test socket made of a ductile synthetic resin. 제1항에 있어서,
상기 시트는 실리콘으로 이루어지는 검사용 소켓.According to claim 1,
The sheet is a test socket made of silicon. 제1항에 있어서,
상기 시트는 상기 도전부에서 원형으로 말린(rolled) 형태로 배치되는 검사용 소켓.According to claim 1,
The test socket wherein the sheet is disposed in a rolled form in a circular shape in the conductive part. 제5항에 있어서,
상기 도전부는 원형으로 말린 상기 시트 내부에 다수의 도전성 입자와 탄성물질이 배치되는 검사용 소켓.According to claim 5,
The test socket in which a plurality of conductive particles and an elastic material are disposed inside the sheet rolled into a circular shape of the conductive part. 제6항에 있어서,
상기 도전성 입자는 상기 탄성물질의 중심부에 분포되는 검사용 소켓.According to claim 6,
The conductive particles are distributed in the center of the elastic material test socket. 제5항에 있어서,
상기 도전부는 원형으로 말린 상기 시트 내부에 에어 충전부가 배치되는 검사용 소켓.According to claim 5,
A test socket in which an air filling part is disposed inside the sheet rolled into a circular shape of the conductive part. 제1항에 있어서,
상기 도전부에서 상기 시트는 다수회 말린 형태로 배치되는 검사용 소켓.According to claim 1,
In the conductive part, the sheet is disposed in a rolled form a plurality of times. 제9항에 있어서,
상기 시트는 상기 도전부의 중심부에서부터 상기 도전부의 외주까지 말린 형태로 배치되는 검사용 소켓.According to claim 9,
The test socket is disposed in a rolled form from the center of the conductive portion to the outer periphery of the conductive portion. 제1항에 있어서,
상기 도전부의 상부 또는 하부에는 러버패드가 부착되고,
상기 러버패드는
탄성물질 및
다수의 도전성 입자를 포함하는 검사용 소켓.According to claim 1,
A rubber pad is attached to the top or bottom of the conductive part,
The rubber pad
elastic materials and
A test socket containing a plurality of conductive particles. 제11항에 있어서,
상기 탄성물질은 실리콘 고무인 검사용 소켓.According to claim 11,
The elastic material is a socket for inspection of silicone rubber. 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓의 제조방법에 있어서,
상기 검사용 소켓은 상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및
상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고,
a) 시트의 측면방향을 따라 다수의 와이어를 형성하되 상기 시트의 상부에서 하부까지 연장되는 상기 와이어를 배치하는 단계; 및
b) 상기 a)단계 후 상기 시트가 말린 형태로 상기 절연부 내에 배치되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 제조방법.A method for manufacturing a test socket disposed between a test device and a device to be tested to electrically connect the test device and the device to be tested, comprising:
The test socket includes a plurality of conductive parts respectively corresponding to the terminals of the device under test and corresponding to the terminals of the test device to electrically connect the terminals of the test device and the device to be tested; and
Including; an insulating part for insulating and supporting the conductive part from each other,
a) forming a plurality of wires along the lateral direction of the sheet and arranging the wires extending from the top to the bottom of the sheet; and
b) after the step a), the sheet is rolled and placed inside the insulating part. 제13항에 있어서,
상기 다수의 와이어는 상기 시트의 측면방향을 따라 이격되어 배치되는 검사용 소켓의 제조방법.According to claim 13,
The method of manufacturing a test socket in which the plurality of wires are arranged spaced apart along the lateral direction of the sheet. 제13항에 있어서,
c) 상기 a)단계 후 원형으로 말린 시트 내부에 다수의 도전성 입자가 분산된 액상탄성물질을 충전하는 단계를 더 포함하는 검사용 소켓의 제조방법.According to claim 13,
c) the manufacturing method of the test socket further comprising the step of filling a liquid elastic material in which a plurality of conductive particles are dispersed inside the sheet rolled into a circle after step a). 제15항에 있어서,
c-1) 상기 액상탄성물질을 충전한 후 상기 액상탄성물질의 중심부 상하측에 상하 자석몰드를 배치하고 자성을 가하여 상기 액상탄성물질의 중심부에 상기 도전성 입자가 모이도록 하는 단계를 더 포함하는 검사용 소켓의 제조방법.According to claim 15,
c-1) After filling the liquid elastic material, placing upper and lower magnetic molds on the upper and lower sides of the central part of the liquid elastic material and applying magnetism to collect the conductive particles in the central part of the liquid elastic material Test further comprising the step of gathering A method for manufacturing a socket for use.
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