JP2021186954A - 保護部材の厚み調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図2に示すように、筐体200を有する保護部材形成装置2は、保護部材形成装置2の各構成を制御する第1制御部20を備えている。保護部材形成装置2は、たとえば第1制御部20の制御により、保護部材形成工程を実施する。保護部材形成工程では、保護部材形成装置2を用いて、ウェーハ100の裏面102の全面に、保護部材を形成する。
これにより、樹脂供給ノズル241から、ステージ220に吸引保持されているフィルム103に向けて、図3に示すように、所定量の液状樹脂224が滴下される。
保護部材105の形成後、第1の搬送ロボット21が、保護部材105を備えたウェーハ100を、表面101が上向きとなるように、図1に示した第1の開口512を介して、受渡カセット51に収容する。
本実施形態にかかる保護部材の厚み調整方法では、研削装置3は、厚み算出工程および算出工程を実施する。
厚み算出工程では、研削装置3は、保護部材105が形成されたウェーハ100の厚み、すなわち、保護部材105を含むウェーハ100の厚み(ウェーハ100のみの厚みに、保護部材105の厚みを加えたもの)を算出する。
なお、以下では、保護部材105を含むウェーハ100の厚みを、単に、ウェーハ100の厚みと称することがある。
以下では、第1算出位置411、第2算出位置412および第3算出位置413に関するウェーハ100の厚み値を、それぞれ、第1厚み値T1,第2厚み値T2および第3厚み値T3と称する。
この算出工程では、第2制御部36が、厚み算出工程において算出された3つの厚み値T1〜T3のうちの1つを基準値として、この基準値と他の2つの厚み値との差である厚み差ΔTを算出する。
第1算出位置411の第1厚み値T1;850μm
第2算出位置412の第2厚み値T2;900μm
第3算出位置413の第3厚み値T3:900μm
この傾き調整工程では、図2に示した保護部材形成装置2の第1制御部20が、算出工程において算出された厚み差ΔTを用いて、次に保護部材を形成する前までに、保護部材形成装置2におけるステージ220のフィルム保持面221と保持手段250のウェーハ保持面252との傾き関係を調整する。
これにより、ステージ220のフィルム保持面221と保持手段250のウェーハ保持面252との平行度を高めることができる。
この剥離工程では、図12に示す剥離装置4を用いて、ウェーハ100から、樹脂層104およびフィルム103を含む保護部材105(図5等を参照)が剥離される。
その後、上述した保護部材形成工程、厚み算出工程、算出工程、傾き調整工程、および剥離工程が、たとえば、算出工程において算出された厚み差ΔTが所定値以下となるまで、繰り返して行われる。
103:フィルム、104:樹脂層、105:保護部材、107:ノッチ
1:ウェーハ製造装置、
5:受渡カセット部、51:受渡カセット、52:カセットステージ、
511:棚、512:第1の開口、513:第2の開口、
2:保護部材形成装置、20:第1制御部、21:第1の搬送ロボット、
220:ステージ、221:フィルム保持面、224:液状樹脂、
250:保持手段、251:支持構造、254:連結軸、255:調整軸、
253:ウェーハ保持部、252:ウェーハ保持面、
270:硬化手段、271:紫外光、
3:研削装置、31:第2の搬送ロボット、36:第2制御部、
315:第1搬送手段、316:第2搬送手段、350:スピンナ洗浄ユニット、
310:チャックテーブル、311:保持面、312:外枠、
317:モータ、318:エンコーダ、
320:ハイトゲージ、321:第1接触子、322:第2接触子、
401:回転軸、402:円周、410:外枠測定位置、
501:中心軸、502:円周、
411:第1算出位置、412:第2算出位置、413:第3算出位置、
4:剥離装置、
42:保持手段、43:全体剥離手段、443:外側部分剥離手段、
420:アーム部、421:保持パッド、
422:Y軸方向移動手段、423:Z軸方向移動手段、
406:仮置きテーブル、460:プレート、479:ボックス、
T1〜T3:厚み値、ΔT:厚み差、ΔS:調整値
Claims (2)
- フィルムを保持するフィルム保持面を有するステージと、ウェーハを保持するウェーハ保持面を有する保持手段とを備え、該フィルム保持面によって保持されたフィルム上に供給した液状樹脂に、該ウェーハ保持面によって保持されたウェーハの一方の面を押しつけることによって、該ウェーハの該一方の面の全面に液状樹脂を押し広げて、この液状樹脂を硬化することによって、該ウェーハの該一方の面の全面に該液状樹脂を硬化させた樹脂と該フィルムとからなる保護部材を形成する保護部材形成装置と、
該保護部材を介して保持面によって保持したウェーハを、ハイトゲージを用いて該保持面の高さと該保持面に保持されたウェーハの上面高さとを測定した値をもとに、該保護部材を含むウェーハの厚みを算出しながら、研削砥石によってウェーハを研削する研削装置と、
を少なくとも用いて、保護部材の厚みを調整する、保護部材の厚み調整方法であって、
該保護部材形成装置を用いてウェーハの一方の面の全面に保護部材を形成する保護部材形成工程と、
該保護部材を該研削装置の該保持面によって保持し、該ウェーハの中心を中心とする円周上の少なくとも3箇所において、該保護部材を含むウェーハの厚みを該ハイトゲージによって算出する厚み算出工程と、
該厚み算出工程において算出された少なくとも3つの厚み値のうちの1つを基準値として、該基準値と他の2つの厚み値との差である厚み差を算出する算出工程と、
該算出工程において算出された該厚み差を用いて、次に保護部材を形成する前までに、該保護部材形成装置における該ステージの該フィルム保持面と該保持手段の該ウェーハ保持面との傾き関係を調整する傾き調整工程と、
を備える保護部材の厚み調整方法。 - 該厚み算出工程後、または、該傾き調整工程後に、該保護部材をウェーハから剥離する剥離装置を用いて、該保護部材をウェーハから剥離する剥離工程をさらに備え、
該保護部材形成工程、該厚み算出工程、該算出工程、該傾き調整工程、および該剥離工程、を繰り返して行う、
請求項1記載の保護部材の厚み調整方法。
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