JP2021154497A - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および、アクチュエーター - Google Patents

Abstract

【課題】圧電素子のクラックを抑制する。【解決手段】複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、個別に設けられた複数の第２電極と、を有する圧電素子を備える液体吐出ヘッドであって、圧電体と第１電極と第２電極とが積層される方向を第１方向としたとき、複数の圧電体及び複数の第２電極は、第１方向と直交する方向を第２方向に延在し、第１方向と第２方向と直交する第３方向に配列される。圧電素子は、第１方向に見て、第３方向に並ぶ、第１電極の一端と第１圧電体とが重なる領域の一部を含む第１領域と、一端と第１圧電体と第２電極とが重なる領域を含む第２領域とを有する。一端は、第１領域において第３方向に延在する第１部分と、第２領域において第２方向及び第３方向と交差して延在する第３部分とを有し、第２部分は、第２方向において、第１部分と第１電極の他端との間に位置する。【選択図】図４

Description

本開示は液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および、アクチュエーターに関する。

液体吐出ヘッドに関して、特許文献１には、共通電極上に設けられた圧電体層と、圧電体層上に設けられた個別電極と、を有する圧電素子を備える液体吐出ヘッドが開示されている。この液体吐出ヘッドは、例えば、プリンター等の液体吐出装置に備えられ、電圧印加によって生じる圧電体の変位を利用して、インク等の液体を吐出する。

特開２０１２−１７６５７８号

特許文献１のような液体吐出ヘッドでは、電圧印加時に、圧電体層のうち、共通電極及び個別電極によって挟まれた能動部と、共通電極及び個別電極によって挟まれていない非能動部との間で変位の差が生じる。そのため、能動部と非能動部との境界において、変位の差に起因する引っ張り応力が生じ、圧電素子にクラックが生じる虞があった。

本開示の第１の形態によれば、複数の圧電体と、前記複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、前記複数の圧電体それぞれに対して個別に設けられた複数の第２電極と、を有する圧電素子を備える液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電体と前記第１電極と前記第２電極とが積層される方向を第１方向とし、前記複数の圧電体それぞれ及び前記複数の第２電極それぞれが延在する方向であって、前記第１方向と直交する方向を第２方向とし、前記複数の圧電体及び前記複数の第２電極が配列される方向であって、前記第１方向と前記第２方向と直交する方向を第３方向としたとき、前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第１領域と第２領域とを有する。前記第１領域は、前記第１電極の前記第２方向における一端と、前記複数の圧電体の１つである第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、前記第２領域は、前記一端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域を含む領域である。前記一端は、前記第１領域において前記第３方向に延在する第１部分と、前記第２領域において前記第２方向及び前記第３方向に交差して延在する第２部分と、を有し、前記第２部分は、前記第２方向において、前記第１部分と前記第１電極の前記第２方向における他端との間に位置する。

本開示の第２の形態によれば、複数の圧電体と、前記複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、前記複数の圧電体それぞれに対して個別に設けられた複数の第２電極と、を有する圧電素子を備える液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電体と前記第１電極と前記第２電極とが積層される方向を第１方向とし、前記複数の圧電体それぞれ及び前記複数の第２電極それぞれが延在する方向であって、前記第１方向と直交する方向を第２方向とし、前記複数の圧電体及び前記複数の第２電極が配列される方向であって、前記第１方向と前記第２方向と直交する方向を第３方向としたとき、前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第１領域と第２領域とを有する。前記第１領域は、前記第１電極の前記第２方向における一端と、前記複数の圧電体の１つである第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、前記第２領域は、前記一端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域を含む領域である。前記一端は、前記第１領域において前記第３方向に延在する第１部分と、前記第２領域において曲線状に延在する曲線部と、を有し、前記曲線部は、前記第２方向において、前記第１部分と前記第１電極の前記第２方向における他端との間に位置する。

本開示の第３の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の形態又は第２の形態における液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を備える。

本開示の第４の形態によれば、複数の圧電体と、前記複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、前記複数の圧電体それぞれに対して個別に設けられた複数の第２電極と、を有する圧電素子を備えるアクチュエーターが提供される。このアクチュエーターにおいて、前記圧電体と前記第１電極と前記第２電極とが積層される方向を第１方向とし、前記複数の圧電体それぞれ及び前記複数の第２電極それぞれが延在する方向であって、前記第１方向と直交する方向を第２方向とし、前記複数の圧電体及び前記複数の第２電極が配列される方向であって、前記第１方向と前記第２方向と直交する方向を第３方向としたとき、前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第１領域と第２領域とを有する。前記第１領域は、前記第１電極の前記第２方向における一端と、前記複数の圧電体の１つである第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、前記第２領域は、前記一端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域を含む領域である。前記一端は、前記第１領域において前記第３方向に延在する第１部分と、前記第２領域において前記第２方向及び前記第３方向に交差して延在する第２部分と、を有し、前記第２部分は、前記第２方向において、前記第１部分と前記第１電極の前記第２方向における他端との間に位置する。

第１実施形態としての液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。 本実施形態の液体吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。 液体吐出ヘッドの要部の断面を示す概略図である。 圧電部の概略構成を説明する図である。 図４における圧力室及び圧電部のＶ−Ｖ断面図である。 第１圧電体の能動部と非能動部とに対応する能動領域と非能動領域との境界を説明する図である。 第２実施形態における圧電部の概略構成を説明する図である。 第３実施形態における圧力室及び圧電部の断面を示す図である。 第４実施形態における圧電部の概略構成を説明する図である。

Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態としての液体吐出ヘッド２００を備える液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。図１には、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に沿った矢印が表されている。Ｘ，Ｙ，Ｚ方向は、互いに直交する３つの空間軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿った方向であり、それぞれ、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿う一方側の方向と、その反対方向とを、両方含む。具体的には、前記Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸に沿った正の方向が、それぞれ＋Ｘ方向，＋Ｙ方向，＋Ｚ方向であり、前記Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸に沿った負の方向が、それぞれ−Ｘ方向，−Ｙ方向，−Ｚ方向である。Ｘ方向及びＹ方向に沿った平面をＸＹ平面と呼び、Ｘ方向及びＺ方向に沿った平面をＸＺ平面と呼び、Ｙ方向及びＺ方向に沿った平面をＹＺ平面と呼ぶこともある。なお、図１において、Ｘ軸およびＹ軸は水平面に沿った軸であり、Ｚ軸は鉛直線に沿った軸である。従って、本実施形態では、−Ｚ方向は、重力方向である。他の図においても、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に沿った矢印が、適宜、表されている。図１におけるＸ，Ｙ，Ｚ方向と、他の図におけるＸ，Ｙ，Ｚ方向とは、同じ方向を表している。また、本明細書中で、直交とは、９０°±１０°の範囲を含む。

本実施形態の液体吐出装置１００は、液体としてインクを吐出することによって印刷媒体Ｐ上に画像を印刷する、インクジェットプリンターである。液体吐出装置１００は、印刷媒体Ｐにおけるドットのオン・オフを示す印刷データに基づいて紙等の印刷媒体Ｐ上にインクを噴射し、印刷媒体Ｐ上の様々な位置にドットを形成することにより、印刷媒体Ｐ上に画像を印刷する。なお、印刷媒体Ｐとしては、紙の他に、例えば、プラスチック、フィルム、繊維、布帛、皮革、金属、ガラス、木材、セラミックスなど、液体を保持できるものを用いることができる。また、液体吐出装置１００の液体としては、インクの他に、種々の色材、電極材、生体有機物や無機物等の試料、潤滑油、樹脂液、エッチング液など、任意の液体を用いることができる。

液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッド２００と、キャリッジ４０と、キャリッジ４０を駆動させる駆動モーター４６と、印刷媒体Ｐを搬送する搬送モーター５１と、インクカートリッジ８０と、制御部１１０とを、備える。

制御部１１０は、１以上のプロセッサーと、主記憶装置と、外部との信号の入出力を行う入出力インターフェースとを備えるコンピューターによって構成されている。制御部１１０は、印刷データに従って、液体吐出装置１００に備えられた各機構を制御することによって、液体吐出ヘッド２００から印刷媒体Ｐ上にインクを吐出し、印刷媒体Ｐ上に画像を印刷する。すなわち、制御部１１０は、液体吐出ヘッド２００の、液体を吐出する吐出動作を制御する。なお、制御部１１０は、例えば、図示しない外部のコンピューター等から受信した画像データを変換して、印刷データを生成することができる。

インクカートリッジ８０は、液体吐出ヘッド２００へ供給される液体としてのインクを貯留する。本実施形態では、４つのインクカートリッジ８０が、キャリッジ４０に着脱可能に装着されている。インクカートリッジ８０は、キャリッジ４０に装着されることによって液体吐出ヘッド２００と接続され、インクカートリッジ８０から液体吐出ヘッド２００へのインクの供給が可能となる。なお、インクカートリッジ８０は、例えば、キャリッジ４０に装着されることなく、液体吐出装置１００本体に装着されてもよい。また、液体吐出装置１００は、インクを貯留する機構として、例えば、インクカートリッジ８０に代えて、インクタンクや、可撓性フィルムで形成された袋状の液体パック等を備えていてもよい。本実施形態では、４つのインクカートリッジ８０内には、液体として、それぞれ、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの色彩を有する異なる４種類のインクが貯留されている。インクカートリッジ８０やインクタンクの数、及び、これらに貯留されるインクの種類や数は特に限定されない。

液体吐出ヘッド２００は、印刷媒体Ｐ上に、インクカートリッジ８０から供給されたインクを液滴状の形態で吐出する。液体吐出ヘッド２００は、フレキシブルケーブル４１を介して、制御部１１０と電気的に接続されている。液体吐出ヘッド２００の詳細については後述する。なお、液体吐出装置１００は、２つ以上の複数の液体吐出ヘッド２００を備えていてもよい。

キャリッジ４０は、液体吐出ヘッド２００を保持している。キャリッジ４０は、駆動モーター４６から駆動ベルト４７を介して伝達された駆動力によって、Ｘ方向に沿って設けられた図示しないキャリッジガイドに沿って、主走査方向に往復移動する。本実施形態では、主走査方向はＸ方向に沿った方向である。

印刷媒体Ｐは、搬送モーター５１から図示しない搬送ローラーを介して伝達された駆動力によって、プラテン５５上を主走査方向と交差する副走査方向に沿って搬送される。本実施形態では、副走査方向はＹ方向に沿った方向であり、主走査方向と直交する。他の実施形態では、主走査方向と副走査方向とは互いに直交しなくてもよい。

図２は、本実施形態の液体吐出ヘッド２００の構成を示す分解斜視図である。本実施形態における液体吐出ヘッド２００は、ノズル板２１０と、圧力室基板２２０と、圧電部２３０と、封止部２５０とが、Ｚ方向に積層されることによって、構成されている。また、封止部２５０の＋Ｚ方向側の面には、駆動回路９０が設けられている。

ノズル板２１０は、薄板状の部材である。本実施形態では、ノズル板２１０は、ＸＹ平面に沿って配置されている。ノズル板２１０には、多数のノズル２１１がＸ軸方向に沿って一列に並んで形成されている。液体吐出ヘッド２００は、このノズル２１１から液体を噴射する。本実施形態では、ノズル板２１０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）により形成されている。なお、ノズル板２１０は、ステンレス鋼に限らず、例えば、ニッケル（Ｎｉ）合金などの他の種類の金属、または、ポリイミドやドライフィルムレジストなどの樹脂材料、シリコン（Ｓｉ）の単結晶基板やガラスセラミックスなどの無機材料等により形成されていてもよい。また、他の実施形態では、ノズル２１１の列の数は１列でなくてもよく、ノズル板２１０に２列以上のノズル２１１が形成されていてもよい。

圧力室基板２２０は、圧力室２２１を区画する板状の部材である。圧力室基板２２０は、例えば、接着剤や熱溶着フィルム等を介してノズル板２１０の＋Ｚ方向の面に接合される。圧力室基板２２０には、液体の流路となる圧力室２２１、インク供給路２２３、及び、連通部２２５を形成するための、圧力室基板２２０をＺ方向に貫通する孔ＨＬが形成されている。ノズル板２１０に圧力室基板２２０が積層され、圧力室基板２２０に後述する振動板２３１が積層されることによって、圧力室２２１とインク供給路２２３と連通部２２５とが、区画される。なお、例えば、振動板２３１が圧力室基板２２０上に積層された後に、孔ＨＬの一部や全部が形成されてもよい。本実施形態において、圧力室基板２２０は、Ｓｉの単結晶基板によって形成されている。他の実施形態では、圧力室基板２２０は、Ｓｉの単結晶基板に限らず、例えば、Ｓｉを主成分とする他の材料や、他のセラミックス材料、ガラス材料等により形成された基板であってもよい。

圧力室基板２２０は、複数の圧力室２２１を区画する。本実施形態では、複数の圧力室２２１は、Ｘ方向に沿って並んで形成されている。ノズル板２１０に圧力室基板２２０が積層されることによって、複数の圧力室２２１それぞれは、ノズル２１１と連通する。本実施形態では、複数の圧力室２２１が、多数のノズル２１１の配列と対応するように、Ｘ方向に並んで配列されている。それぞれの圧力室２２１は、Ｚ方向から見て、Ｙ方向を長手方向とする略平行四辺形状を有している。

連通部２２５は、複数の圧力室２２１それぞれに共通な空部である。連通部２２５は、インク供給路２２３を介して、複数の圧力室２２１それぞれと連通する。インク供給路２２３は、圧力室２２１よりも狭い幅で形成されており、連通部２２５から圧力室２２１に流入するインクに対して流路抵抗となる。

圧電部２３０は、圧力室基板２２０上に、振動板２３１及び圧電素子２４０が積層されることによって構成されている。本実施形態の圧電部２３０は、圧電素子２４０の変形によって、圧電素子２４０と圧力室基板２２０との間に設けられた振動板２３１を撓ませることで、圧力室２２１の容積を変化させることができる。本実施形態の振動板２３１は、圧電部２３０上に形成された可撓層２３２と、可撓層２３２上に形成された保護層２３３とを有している。可撓層２３２は、例えば、二酸化シリコンによって形成され、保護層２３３は、例えば、酸化ジルコニウムによって形成される。なお、圧電部２３０をアクチュエーターと呼ぶこともある。また、圧電部２３０や圧電素子２４０の詳細については、後述する。

封止部２５０は、圧電部２３０上に接着剤を介して接合される。封止部２５０は、圧電素子保持部２５１と、マニホールド部２５２とを、有している。圧電素子保持部２５１は、圧電素子２４０の運動を阻害しない程度の空間を有し、この空間内に圧電素子２４０を保持する。マニホールド部２５２はＺ方向とＸ方向に亘って形成され、圧力室基板２２０の連通部２２５と連通する。本実施形態では、封止部２５０は、Ｓｉ単結晶基板を用いて形成されている。なお、封止部２５０は、他のセラミックス材料やガラス材料等によって構成されていてもよい。この場合、封止部２５０としては、圧力室基板２２０の熱膨張率と略同一の熱膨張率を有する材料を用いると好ましい。

駆動回路９０は、圧電素子２４０を駆動するための駆動信号を、圧電素子２４０に供給する。駆動回路９０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。駆動回路９０と圧電素子２４０とは、リード電極２９５及び図示しない電気配線を介して電気的に接続されている。また、駆動回路９０と制御部１１０とは、図示しない電気配線を介して電気的に接続されている。

図３は、液体吐出ヘッド２００の要部のＹＺ平面に沿った断面を示す概略図である。図３に示すように、上述した各部材が積層されることによって、マニホールド部２５２と連通部２２５とが連通し、複数の圧力室２２１それぞれの共通の液体室となるマニホールド２９３が形成される。更に、ノズル２１１、圧力室２２１、インク供給路２２３、及び、マニホールド２９３が連通し、インクの流路が形成される。液体吐出ヘッド２００は、圧電部２３０によって圧力室２２１の容積を変化させることで、上述の流路を介して圧力室２２１に供給された液体を、ノズル２１１から吐出する。なお、マニホールド２９３を、共通液室やリザーバーと呼ぶこともある。

図４は、圧電部２３０の概略構成を説明する図である。図４には、ＸＹ平面において圧力室２２１が形成されている部分が、破線によって示されている。図４には、その他にも、ＸＹ平面において、後述する圧電素子２４０を構成する各部材が設けられている部分が示されている。

図５は、図４における圧力室２２１及び圧電部２３０のＶ−Ｖ断面図である。上述したように、圧電部２３０は、振動板２３１と、複数の圧電素子２４０とを、備えている。圧電素子２４０は、複数の圧電体２６０と、第１電極２７０と、複数の第２電極２８０とを、有している。

本実施形態において、圧電体２６０は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって形成されている。なお、圧電体２６０は、ＰＺＴに代えて、ＡＢＯ３型で表されるいわゆるペロブスカイト構造を有する他の種類のセラミックス材料、例えば、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等によって形成されてもよい。また、圧電体２６０は、セラミックス材料に限らず、ポリフッ化ビニリデン、水晶など、圧電効果を有する任意の材料により形成されてもよい。

第１電極２７０は、複数の圧電体２６０に対して共通に設けられた電極を指す。第２電極２８０は、複数の圧電体２６０に対して個別に設けられた電極を指す。第１電極２７０を共通電極と呼び、第２電極２８０を個別電極と呼ぶこともある。

本実施形態では、第１電極２７０は圧電体２６０の上部に積層されており、上部電極と呼ばれることもある。第２電極２８０は圧電体２６０の下部に積層されており、下部電極と呼ばれることもある。圧電体２６０と、第１電極２７０と、第２電極２８０と、が積層される方向を第１方向と呼ぶこともある。第１方向は、同じ軸に沿う一方側の方向とその反対方向とを両方含む。本実施形態では、第１方向はＺ方向に沿った方向であり、第１方向の正負の向きと、Ｚ方向の正負の向きとは一致する。第１電極２７０や第２電極２８０は、例えば、白金、イリジウム、チタン、タングステン、タンタル、等の各種金属や、ニッケル酸ランタン（ＬａＮｉＯ_３）等の導電性金属酸化物等によって形成される。

図４では、圧電素子２４０のうち、ＸＹ平面において圧電体２６０が設けられている部分に対応する部分に、右上がりのハッチングが施されている。図４には、複数の圧電体２６０の１つである第１圧電体２６１と、複数の圧電体２６０の１つであって、第１圧電体２６１とＸ方向に隣り合って配列される第２圧電体２６２とが、示されている。図４に示すように、複数の圧電体２６０と複数の第２電極２８０とは、Ｘ方向に沿って配列されている。複数の圧電体２６０それぞれは、Ｙ方向を長手方向とし、Ｙ方向に沿って延在している。複数の圧電体２６０それぞれに対応する第２電極２８０それぞれもまた、Ｙ方向に沿って延在している。なお、複数の圧電体２６０それぞれ及び複数の第２電極２８０それぞれが延在する方向を第２方向と呼ぶこともある。第２方向は、第１方向と直交する方向である。複数の圧電体２６０及び複数の第２電極２８０が配列される方向を第３方向と呼ぶこともある。第３方向は、第１方向及び第２方向と直交する方向である。第２方向及び第３方向は、それぞれ同じ軸に沿う一方側の方向とその反対方向とを両方含む。本実施形態では、第２方向の正負の向きとＹ方向の正負の向きとは一致し、第３方向の正負の向きとＸ方向の正負の向きとは一致する。

図４には、第１電極２７０のＹ方向における一端２７１と、Ｙ方向における他端２７６とが、太線によって示されている。一端２７１及び他端２７６は、第１電極２７０のＹ方向における外縁である。本実施形態では、一端２７１は他端２７６から見て＋Ｙ方向の位置に位置している。図４に示すように、本実施形態では、第１電極２７０は、全体として、Ｘ方向に沿って延在している。

図４に示すように、第１方向と直交し、第２方向と第３方向とに交差する方向を第４方向Ｄ４と呼ぶこともある。第１方向と直交し、第２方向と第３方向と第４方向Ｄ４とに交差する方向を、第５方向Ｄ５と呼ぶこともある。第５方向Ｄ５と同様に、第１方向と直交し、第２方向と第３方向と第４方向Ｄ４と交差する方向を第６方向Ｄ６と呼ぶこともある。第４方向Ｄ４から第６方向Ｄ６は、同じ軸に沿う一方側の方向とその反対方向とを両方含む。なお、本実施形態では、第５方向Ｄ５と第６方向Ｄ６とは同じ方向であるが、第５方向Ｄ５と第６方向Ｄ６とは、異なる方向であってもよい。

図４及び図５には、能動領域Ａｃが示されている。図４では、能動領域Ａｃに網点模様のハッチングが施されている。能動領域Ａｃは、圧電部２３０のうち、ＸＹ平面において、圧電体２６０の能動部に対応する部分である。圧電体２６０の能動部とは、圧電体２６０のうち、Ｚ方向において第１電極２７０と第２電極２８０とによって挟まれた部分である。従って、図４で網点模様のハッチングが施されている部分は、圧電素子２４０のうち、ＸＹ平面において、圧電体２６０と、第１電極２７０と、第２電極２８０と、が重なって設けられている部分であるということもできる。なお、圧電部２３０のうち、能動領域Ａｃと異なる領域を、非能動領域と呼ぶこともある。また、圧電体２６０のうち、能動部と異なる部分を非能動部と呼ぶこともある。

圧電体２６０の能動部では、第１電極２７０及び第２電極２８０を介して圧電体２６０に電圧が印加された際に、圧電歪みが生じる。圧電素子２４０は、この圧電歪みに起因する変位によって、圧力室２２１の容積を変化させる。具体的には、本実施形態では、圧電素子２４０は、圧電体２６０の圧電歪みによって振動板２３１を変形させて、圧力室２２１の容積を変化させる。なお、圧電体２６０の非能動部では、圧電体２６０に電圧が印加された場合でも、圧電歪みが生じない。従って、圧電部２３０の能動領域Ａｃと非能動領域との間では、電圧印加時に、変位の差が生じる。

図４に示すように、圧電素子２４０は、Ｚ方向に見て、それぞれＸ方向に並ぶ第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とを有する。更に、本実施形態では、圧電素子２４０は、Ｘ方向に並ぶ第３領域Ｒ３及び第４領域Ｒ４と、Ｘ方向に並ぶ第５領域Ｒ５及び第６領域Ｒ６と、を有している。図４には、第１領域Ｒ１から第６領域Ｒ６が、それぞれ一点鎖線によって示されている。

第１領域Ｒ１は、第１電極２７０の一端２７１と、第１圧電体２６１とが、重なる領域の一部を含む領域である。第２領域Ｒ２は、第１電極２７０の一端２７１と、第１圧電体２６１と、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０とが、重なる領域を含む領域である。従って、第２領域Ｒ２には、第１圧電体２６１の能動部と非能動部とに対応する、能動領域Ａｃと非能動領域との境界Ｂｒ１が含まれる。一方で、第１領域Ｒ１には、能動領域Ａｃが含まれないため、境界Ｂｒ１が含まれない。

図４に示すように、第１電極２７０の一端２７１は、第１領域Ｒ１においてＸ方向に延在する第１部分２７２と、第２領域Ｒ２においてＸ方向及びＹ方向に交差して延在する第２部分２７３とを、有する。具体的には、本実施形態では、第２部分２７３は、第４方向Ｄ４に延在している。そのため、境界Ｂｒ１は、第４方向に延在している。なお、第１電極２７０の一端２７１が、特定の方向に延在していると言った場合、第１電極２７０の一端２７１は、例えば、微少な凹凸を有していてもよく、全体としてその方向に延在していればよい。また、他端２７６が特定の方向に延在していると言った場合も同様である。

図６は、第１圧電体２６１の能動部と非能動部とに対応する能動領域Ａｃと非能動領域との境界Ｂｒ１を説明する図である。境界Ｂｒ１では、電圧印加時に、上述した能動領域Ａｃと非能動領域との変位の差に起因する応力Ｓが生じる。本実施形態では、境界Ｂｒ１が第４方向に延在しているため、応力Ｓは、境界Ｂｒ１において、第４方向に直交する方向の引っ張り応力Ｓｔと、第４方向の剪断応力Ｓｓと、に分解される。従って、境界Ｂｒ１が第４方向に延在することによって、境界Ｂｒ１がＸ方向に延在する場合と比較して、境界Ｂｒ１において生じる引っ張り応力Ｓｔの大きさを小さくすることができ、圧電部２３０におけるクラックの発生を抑制できる。

本実施形態では、第４方向と第２方向であるＹ方向とのなす鋭角θ１は、４５°以下である。また、鋭角θ１は、３０°以下であると更に好ましい。これによって、境界Ｂｒ１において、圧電部２３０に生じる引っ張り応力Ｓｔの大きさを、更に小さくすることができる。なお、圧電部２３０を構成する部材を、引っ張り強度に対して相対的に高い剪断強度を有する材料によって形成することで、圧電部２３０におけるクラックの発生や、圧電部２３０の変形等を、更に効果的に抑制できる。また、他の実施形態では、鋭角θ１の大きさを、圧電部２３０を構成する部材の引っ張り強度と剪断強度との関係等の機械的性質に応じて定めてもよい。

図４に示すように、第２部分２７３は、Ｙ方向において、第１部分２７２と第１電極２７０の他端２７６との間に位置している。具体的には、本実施形態では、第２部分２７３は、Ｙ方向において、第１部分２７２に対して、他端２７６側である−Ｙ方向に位置している。従って、本実施形態では、第１電極２７０は、第２領域Ｒ２において、第１電極２７０のＹ方向における内側に凹んでいる。これによって、例えば、Ｙ方向において第１部分２７２が第２部分２７３と他端２７６との間に位置している場合と比較して、第２領域Ｒ２において第１電極２７０が破損する可能性が低くなる。

本実施形態では、第１領域Ｒ１のＸ方向における幅Ｗ１は、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０の幅Ｗ２よりも大きい。また、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０のＸ方向における中央は、第１領域Ｒ１のＸ方向における中央に位置している。

第３領域Ｒ３は、第１電極２７０の一端２７１と、第２圧電体２６２とが重なる領域の一部を含む領域である。第４領域Ｒ４は、第１電極２７０の一端２７１と、第２圧電体２６２と、第２圧電体２６２に対応する第２電極２８０と、が重なる領域を含む領域である。従って、第４領域Ｒ４には、第２圧電体２６２の能動部と非能動部とに対応する、能動領域Ａｃと非能動領域との境界Ｂｒ２が含まれる。一方で、第３領域Ｒ３には、能動領域Ａｃが含まれないため、境界Ｂｒ２が含まれない。

図４に示すように、第３領域Ｒ３では、第１電極２７０の一端２７１は、第３領域Ｒ３においてＸ方向に延在する第３部分２７４と、第４領域Ｒ４において第６方向Ｄ６に延在する第４部分２７５とを、有する。これによって、第４領域Ｒ４に含まれる境界Ｂｒ２は、第６方向Ｄ６に沿って延在する。第４領域Ｒ４において、境界Ｂｒ２が第６方向Ｄ６に延在することによって、境界Ｂｒ１における場合と同様に、境界Ｂｒ２において生じる引っ張り応力の大きさを小さくすることができる。また、上述したように、第６方向Ｄ６と第４方向Ｄ４とは互いに交差する方向であるため、第２領域Ｒ２内の境界Ｂｒ１において生じる剪断応力の方向と、第４領域Ｒ４内の境界Ｂｒ２において生じる剪断応力の方向とは、それぞれ異なる。これによって、例えば、第２部分２７３と第４部分２７５とが同じ方向に延在している場合と比較して、圧電部２３０の隣り合う圧電体２６０に対応する部分同士でＸ方向における変形が抑制されやすいため、Ｘ方向において、圧電部２３０全体の変形を抑制できる。なお、本実施形態では、Ｙ方向と第６方向Ｄ６とのなす鋭角θ２との大きさと、鋭角θ１の大きさとは等しい。

図４に示すように、第４部分２７５は、Ｙ方向において、第３部分２７４と第１電極２７０の他端２７６との間に位置している。具体的には、本実施形態では、第４部分２７５は、Ｙ方向において、第３部分２７４に対して、他端２７６側である−Ｙ方向に位置している。従って、本実施形態では、第１電極２７０は、第４領域Ｒ４において、第１電極２７０のＹ方向における内側に凹んでいる。これによって、例えば、Ｙ方向において第３部分２７４が第４部分２７５と他端２７６との間に位置している場合と比較して、第４領域Ｒ４において第１電極２７０が破損する可能性が低くなる。

第５領域Ｒ５は、第１電極２７０の他端２７６と、第１圧電体２６１とが重なる領域の一部を含む領域である。第６領域Ｒ６は、第１電極２７０の他端２７６と、第１圧電体２６１と、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０と、が重なる領域を含む領域である。従って、第６領域Ｒ６には、第１圧電体２６１の能動部と非能動部とに対応する、能動領域Ａｃと非能動領域との境界Ｂｒ３が含まれる。一方で、第５領域Ｒ５には、能動領域Ａｃが含まれないため、境界Ｂｒ３が含まれない。

図４に示すように、第１電極２７０の他端２７６は、第５領域Ｒ５においてＸ方向に延在する第５部分２７７と、第６領域Ｒ６においてＸ方向及びＹ方向に交差して延在する第６部分２７８とを、有する。具体的には、本実施形態では、第６部分２７８は、第４方向Ｄ４と直交する方向に延在している。第６部分２７８が、境界Ｂｒ３がＸ方向及びＹ方向と交差して延在することによって、境界Ｂｒ１における場合と同様に、境界Ｂｒ３において生じる引っ張り応力の大きさを小さくすることができる。なお、第６部分２７８は、第４方向Ｄ４、第５方向Ｄ５や、第６方向Ｄ６と同じ方向に延在していてもよいし、異なる方向に延在していてもよい。

図４に示すように、第６部分２７８は、Ｙ方向において、第５部分２７７と第１電極２７０の一端２７１との間に位置している。具体的には、本実施形態では、第６部分２７８は、Ｙ方向において、第５部分２７７に対して、一端２７１側である＋Ｙ方向に位置している。従って、本実施形態では、第１電極２７０は、第６領域Ｒ６において、第１電極２７０のＹ方向における内側に凹んでいる。これによって、例えば、Ｙ方向において第５部分２７７が第６部分２７８と一端２７１との間に位置している場合と比較して、第６領域Ｒ６において第１電極２７０が破損する可能性が低くなる。

本実施形態の圧電部２３０を、例えば、フォトレジストによるマスキングを利用したエッチング等を用いた既知の方法によって作成することができる。振動板２３１の可撓層２３２は、例えば、熱酸化やＣＶＤ法等によって、圧力室基板２２０上に形成される。保護層２３３は、例えば、ＣＶＤ法等によって、可撓層２３２上に形成される。第１電極２７０及び第２電極２８０は、例えば、白金等の材料をターゲット材としてスパッタリングによって形成される。圧電体２６０は、例えば、ゾルゲル法によって作成され、振動板２３１上や第２電極２８０上にスピンコート法等によってコーティングされる。これらの部材を形成するとともに、エッチング等によってパターニングし、順に積層することによって、圧電部２３０を作成することができる。なお、この方法によって圧電部２３０を作成する場合、上述したように、第１電極２７０は、第２領域Ｒ２において、第１電極２７０のＹ方向における内側に凹んでいるため、第１電極２７０が第２領域Ｒ２において、第１電極２７０のＹ方向における外側に突出している場合と比較して、より簡易に第１電極２７０を形成できる。

以上で説明した第１実施形態の液体吐出ヘッド２００によれば、第１電極２７０の一端２７１の第１部分２７２は第１領域Ｒ１においてＸ方向に延在し、第２部分２７３は第２領域Ｒ２においてＸ方向及びＹ方向に交差して延在する。また、第２部分２７３は、Ｙ方向において、第１部分２７２と第１電極２７０の他端２７６との間に位置している。これによって、第２領域Ｒ２内の能動領域Ａｃと非能動領域との境界Ｂｒ１において生じる応力が、引っ張り応力Ｓｔと剪断応力Ｓｓとに分解されることで、境界Ｂｒ１において生じる引っ張り応力Ｓｔの大きさが小さくなる。そのため、振動板２３１や圧電素子２４０におけるクラックの発生を抑制できる。また、第２領域Ｒ２において第１電極２７０が破損する可能性が低くなるため、第１電極２７０の一端２７１の形状が保たれやすく、振動板２３１や圧電素子２４０におけるクラックの発生が効果的に抑制される。

また、本実施形態では、第２部分２７３は第２領域Ｒ２において第４方向Ｄ４に延在し、第３部分２７４は第３領域Ｒ３においてＸ方向に延在し、第４部分２７５は第４領域Ｒ４において第４方向Ｄ４と交差する第６方向Ｄ６に延在している。また、第４部分２７５は、Ｙ方向において、第３部分２７４と第１電極２７０の他端２７６との間に位置している。これによって、第４領域Ｒ４においても、第２領域Ｒ２における場合と同様にクラックの発生が抑制される。更に、第１圧電体２６１に対応する第２領域Ｒ２内の境界Ｂｒ１において生じる剪断応力の方向と、第２圧電体２６２に対応する第４領域Ｒ４内の境界Ｂｒ２において生じる剪断応力の方向とは、それぞれ異なる。そのため、第２部分２７３と第４部分２７５とが同じ方向に延在している場合と比較して、第３方向において、圧電部２３０全体の変形が抑制され、圧電部２３０の破損や変形に対する信頼性がより高まる。

また、本実施形態では、第２方向であるＹ方向と第４方向Ｄ４とのなす鋭角θ１の大きさと、Ｙ方向と第６方向とのなす鋭角θ２の大きさとは等しい。これによって、圧電部２３０の隣り合う圧電体２６０に対応する部分では、第３方向においてそれぞれ異なる方向に剪断応力が生じ、その剪断応力の大きさがそれぞれ均等となりやすい。そのため、第３方向において、圧電部２３０全体の変形がより効果的に抑制され、圧電部２３０の破損や変形に対する信頼性が更に高まる。

また、本実施形態では、第２方向であるＹ方向と第４方向Ｄ４とのなす鋭角は４５°以下である。これによって、境界Ｂｒ１において、圧電部２３０に生じる引っ張り応力Ｓｔの大きさを、更に小さくすることができる。そのため、圧電部２３０におけるクラックの発生が、より効果的に抑制される。

また、本実施形態では、第１電極２７０の他端２７６の第５部分２７７は第５領域Ｒ５においてＸ方向に延在し、第６部分２７８は第６領域Ｒ６においてＸ方向及びＹ方向に交差して延在する。また、第６部分２７８は、Ｙ方向において、第５部分２７７と第１電極２７０の一端２７１との間に位置している。これによって、第１電極２７０の他端２７６に対応する能動領域Ａｃと非能動領域との境界Ｂｒ３においても、振動板２３１や圧電素子２４０におけるクラックの発生を抑制できる。また、第６領域Ｒ６において第１電極２７０が破損する可能性が低くなるため、第１電極２７０の他端２７６の形状が保たれやすく、振動板２３１や圧電素子２４０におけるクラックの発生が効果的に抑制される。

また、本実施形態では、第１電極２７０は圧電体２６０の上部に積層され、第２電極２８０は圧電体２６０の下部に積層されている。これによって、第１電極２７０がいわゆる上部電極であって、第２電極２８０がいわゆる下部電極であっても、振動板２３１や圧電素子２４０におけるクラックの発生が抑制される。そのため、圧電素子２４０の構成の自由度が高まる。

また、本実施形態では、第１領域Ｒ１のＸ方向における幅Ｗ１は、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０の幅Ｗ２よりも大きい。そのため、例えば、圧電素子２４０が形成される際や使用される際に、第１電極２７０と第２電極２８０との第３方向における位置関係が変化した場合であっても、振動板２３１や圧電素子２４０におけるクラックの発生が効果的に抑制される可能性が高まる。

また、本実施形態では、Ｘ方向において、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０の中央は、第１領域Ｒ１の中央に位置する。そのため、例えば、圧電素子２４０が使用される際に、第１電極２７０と第２電極２８０との第３方向における位置関係が変化した場合であっても、振動板２３１や圧電素子２４０におけるクラックの発生が効果的に抑制される可能性が高まる。

Ｂ．第２実施形態：
図７は、第２実施形態における圧電部２３０ｂの概略構成を説明する図である。本実施形態では、第１実施形態と異なり、第１電極２７０ｂの一端２７１ｂの第２部分２７３ｂは、第４方向Ｄ４に延在する部分と第５方向Ｄ５に延在する部分とを有する。なお、本実施形態では、第１実施形態と異なり、第１圧電体２６１と隣り合う圧電体２６０を区別していない。また、第２実施形態の液体吐出装置１００及び液体吐出ヘッド２００の構成のうち、特に説明しない部分については、第１実施形態と同様である。

上述したように、本実施形態では、第２部分２７３ｂは、第２領域Ｒ２において、第４方向Ｄ４に延在する部分と第５方向Ｄ５に延在する部分とを有する。そのため、境界Ｂｒ１は、第４方向Ｄ４に延在する部分と第５方向Ｄ５に延在する部分とを有する。従って、境界Ｂｒ１に生じた応力は、境界Ｂｒ１の第４方向Ｄ４に延在する部分において、第４方向に直交する方向の引っ張り応力と、第４方向Ｄ４の剪断応力とに分解され、境界Ｂｒ１の第５方向Ｄ５に延在する部分において、第５方向Ｄ５に直交する方向の引っ張り応力と、第５方向Ｄ５の剪断応力と、に分解される。これによって、境界Ｂｒ１において生じる引っ張り応力Ｓｔの大きさを小さくすることができ、かつ、圧電部２３０ｂの第１圧電体２６１に対応する部分において、Ｘ方向における変形を抑制できる。

図７に示すように、本実施形態では、第２領域Ｒ２において、第１電極２７０ｂの一端２７１ｂは、Ｚ方向に見て、第２領域Ｒ２のＸ方向における中央を通る直線Ｌｓに対して線対称の形状を有している。従って、本実施形態では、Ｙ方向と第４方向Ｄ４とのなす鋭角θ１の大きさと、Ｙ方向と第５方向Ｄ５とのなす鋭角θ３との大きさとは等しい。また、第２部分２７３ｂの第４方向Ｄ４に延在する部分の長さと、第５方向Ｄ５に延在する部分の長さとは等しい。これによって、圧電部２３０ｂの第１圧電体２６１に対応する部分において、それぞれ異なる方向に生じる剪断応力の大きさが均等となりやすいため、圧電部２３０ｂの第１圧電体２６１に対応する部分において、Ｘ方向における変形がより効果的に抑制される。なお、本実施形態において、直線Ｌｓは、第６領域Ｒ６のＸ方向における中央も通る。

なお、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０のＸ方向における中央は、第１領域Ｒ１のＸ方向における中央に位置している。これによって、圧電部２３０ｂの第１圧電体２６１に対応する部分において、それぞれ異なる方向に生じる剪断応力の大きさが均等となりやすいため、Ｘ方向における変形が更に効果的に抑制される。

また、本実施形態では、第６領域Ｒ６における第１電極２７０ｂの他端２７６ｂの第６部分２７８ｂは、第２部分２７３ｂと同様に、第４方向Ｄ４に延在する部分と第５方向Ｄ５に延在する部分とを有している。更に、第６領域Ｒ６における第１電極２７０ｂの他端２７６ｂは、第１領域Ｒ１における一端２７１ｂと同様に、第６領域Ｒ６のＸ方向の中央を通る直線Ｌｓに対して線対称の形状を有している。これによって、圧電部２３０ｂの他端２７６ｂと対応する部分においても、一端２７１ｂと対応する部分における場合と同様の効果が得られる。そのため、圧電部２３０ｂのＸ方向における変形が更に効果的に抑制される。

以上で説明した第２実施形態の液体吐出ヘッド２００によっても、能動領域Ａｃと非能動領域との境界Ｂｒ１において生じる応力が、引っ張り応力と剪断応力とに分解されることによって、境界Ｂｒ１において生じる引っ張り応力の大きさが小さくなり、振動板２３１や圧電素子２４０におけるクラックの発生が抑制される。特に、本実施形態では、第１電極２７０ｂの一端２７１ｂの第２部分２７３ｂは、第２領域Ｒ２において、第４方向Ｄ４に延在する部分と第５方向Ｄ５に延在する部分とを有するため、境界Ｂｒ１は、第４方向Ｄ４に延在する部分と第５方向Ｄ５に延在する部分とを有する。これによって、境界Ｂｒ１に生じる応力は、複数の異なる方向の引っ張り応力と、複数の異なる方向の剪断応力と、に分解される。そのため、圧電部２３０ｂの第１圧電体２６１に対応する部分において、Ｘ方向における変形が抑制される。

また、本実施形態では、第２領域Ｒ２において、第１電極２７０ｂの一端２７１ｂは、直線Ｌｓに対して線対称の形状を有している。これによって、圧電部２３０ｂの第１圧電体２６１に対応する部分において、それぞれ異なる方向に生じる剪断応力の大きさが均等となりやすいため、圧電部２３０ｂの第１圧電体２６１に対応する部分において、Ｘ方向における変形がより効果的に抑制される。

Ｃ．第３実施形態：
図８は、第３実施形態における圧力室２２１及び圧電部２３０ｃのＸＺ平面に沿った断面を示す図である。本実施形態では、第１実施形態と異なり、共通電極である第１電極２７０ｃが下部電極であり、個別電極である第２電極２８０ｃが上部電極である。すなわち、第１電極２７０ｃは圧電体２６０の下部に積層されている。第２電極２８０ｃは圧電体２６０の上部に積層されている。なお、本実施形態では、第２実施形態と同様に、第１圧電体２６１と隣り合う圧電体２６０を区別していない。また、第３実施形態の液体吐出装置１００及び液体吐出ヘッド２００の構成のうち、特に説明しない部分については、第１実施形態と同様である。

以上で説明した第３実施形態の液体吐出ヘッド２００によっても、能動領域Ａｃと非能動領域との境界Ｂｒ１において生じる応力が、引っ張り応力と剪断応力とに分解されることによって、境界Ｂｒ１において生じる引っ張り応力の大きさが小さくなり、振動板２３１や圧電素子２４０ｃにおけるクラックの発生が抑制される。特に、本実施形態では、第１電極２７０ｃがいわゆる下部電極であり、第２電極２８０ｃがいわゆる上部電極である場合であっても、振動板２３１や圧電素子２４０ｃにおけるクラックの発生が抑制される。そのため、圧電素子２４０ｃの構成の自由度が高まる。

Ｄ．第４実施形態：
図９は、第４実施形態における圧電部２３０ｄの概略構成を説明する図である。本実施形態では、第１実施形態と異なり、圧電素子２４０ｄの、第１電極２７０ｄの一端２７１ｄは、第２領域Ｒ２において、第２部分２７３を有することなく、曲線状に延在する曲線部２７９を有している。なお、本実施形態では、第２実施形態及び第３実施形態と同様に、第１圧電体２６１と隣り合う圧電体２６０を区別していない。また、第４実施形態の液体吐出装置１００及び液体吐出ヘッド２００の構成のうち、特に説明しない部分については、第１実施形態と同様である。

上述したように、本実施形態では、第１電極２７０ｄの一端２７１ｄは、第１領域Ｒ１においてＸ方向に延在する第１部分２７２と、第２領域Ｒ２において曲線状に延在する曲線部２７９とを、有している。これによって、第２領域Ｒ２に含まれる境界Ｂｒ１は、曲線状に延在している。そのため、境界Ｂｒ１に生じた応力は、境界Ｂｒ１の各部分において、境界Ｂｒ１に直交する方向の引っ張り応力と、境界Ｂｒ１に沿う方向の剪断応力とに分解される。従って、境界Ｂｒ１が曲線状に延在することによって、境界Ｂｒ１がＸ方向に延在する場合と比較して、境界Ｂｒ１において生じる引っ張り応力の大きさを小さくすることができるため、圧電部２３０ｄにおけるクラックの発生を抑制できる。

図４に示すように、曲線部２７９は、Ｙ方向において、第１部分２７２と第１電極２７０ｄの他端２７６ｄとの間に位置している。具体的には、本実施形態では、曲線部２７９は、Ｙ方向において、第１部分２７２に対して、他端２７６ｄ側である−Ｙ方向に位置している。従って、本実施形態では、第１電極２７０ｄは、第２領域Ｒ２において、第１電極２７０ｄのＹ方向における内側に凹んでいる。これによって、例えば、Ｙ方向において第１部分２７２が曲線部２７９と他端２７６ｄとの間に位置している場合と比較して、第２領域Ｒ２において第１電極２７０ｄが破損する可能性が低くなる。

なお、本実施形態では、第６領域Ｒ６における第１電極２７０ｄの他端２７６ｄは、第６領域Ｒ６において第６部分２７８を有することなく、曲線状に延在する部分を有している。具体的には、他端２７６ｄは、第５領域Ｒ５においてＸ方向に延在する第５部分２７７と、第６領域Ｒ６において曲線状に延在する部分とを有している。また、この第６領域Ｒ６において曲線状に延在する部分は、Ｙ方向において、第５部分２７７と第１電極２７０ｄの一端２７１ｄとの間に位置している。これによって、圧電部２３０ｄの、第１電極２７０ｄの他端２７６ｄに対応する部分においても、第１電極２７０ｄの一端２７１に対応する部分と同様の効果が得られる。

なお、本実施形態においても、第２形態と同様に、第２領域Ｒ２において、一端２７１ｂは、Ｚ方向に見て、直線Ｌｓに対して線対称の形状を有している。これによって、圧電部２３０ｄの第１圧電体２６１に対応する部分において、それぞれ異なる方向に生じる剪断応力の大きさが均等となりやすいため、圧電部２３０ｄの第１圧電体２６１に対応する部分において、Ｘ方向における変形がより効果的に抑制される。なお、本実施形態において、直線Ｌｓは、第６領域Ｒ６のＸ方向における中央も通る。

また、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０のＸ方向における中央は、第１領域Ｒ１のＸ方向における中央に位置している。これによって、圧電部２３０ｂの第１圧電体２６１に対応する部分において、それぞれ異なる方向に生じる剪断応力の大きさが均等となりやすいため、Ｘ方向における変形が更に効果的に抑制される。

以上で説明した第４実施形態の液体吐出ヘッド２００によれば、第１電極２７０ｄの一端２７１ｄは、第１領域Ｒ１においてＸ方向に延在する第１部分２７２と、第２領域Ｒ２において曲線状に延在する曲線部２７９とを、有する。また、曲線部２７９は、Ｙ方向において、第１部分２７２と第１電極２７０ｄの他端２７６ｄとの間に位置している。これによって、第２領域Ｒ２内の能動領域Ａｃと非能動領域との境界Ｂｒ１において生じる応力が、引っ張り応力と剪断応力とに分解されることによって、境界Ｂｒ１において生じる引っ張り応力の大きさが小さくなる。そのため、振動板２３１や圧電素子２４０ｄにおけるクラックの発生を抑制できる。また、第６領域Ｒ６において第１電極２７０ｄが破損する可能性が低くなるため、第１電極２７０ｄの一端２７１ｄの形状が保たれやすく、振動板２３１や圧電素子２４０ｄにおけるクラックの発生が効果的に抑制される。

Ｅ．他の実施形態：
（Ｅ−１）上記の第２実施形態及び第４実施形態において、第２領域Ｒ２では、第１電極２７０の一端２７１は、Ｚ方向に見て、直線Ｌｓに対して線対称の形状を有している。これに対して、第２領域Ｒ２において、第１電極２７０は、線対称の形状を有していなくてもよい。

（Ｅ−２）上記実施形態において、圧電素子２４０は第３領域Ｒ３と第４領域Ｒ４とを有し、第１電極２７０の一端２７１は第３部分２７４と第４部分２７５とを有している。これに対して、圧電素子２４０は、第３領域Ｒ３と第４領域Ｒ４とを有していなくてもよい。換言すると、例えば、第１電極２７０の一端２７１は、第４領域Ｒ４に相当する領域において第６方向Ｄ６に延在する部分を有していなくてもよい。この場合、一端２７１は、第４領域Ｒ４に相当する領域に、例えば、第４方向Ｄ４に延在する部分を有していてもよいし、Ｘ方向やＹ方向に延在する部分を有していてもよい。更に、この場合、第４領域Ｒ４に相当する領域における第１電極２７０の一端２７１は、第３領域Ｒ３に相当する領域における一端２７１と他端２７６との間に位置していなくてもよい。

（Ｅ−３）上記実施形態において、第２方向であるＹ方向と第４方向Ｄ４とのなす鋭角は４５°以下である。これに対して、第２方向と第４方向Ｄ４とのなす鋭角の大きさは、４５°を超えていてもよい。

（Ｅ−４）上記実施形態において、圧電素子２４０は第５領域Ｒ５と第６領域Ｒ６とを有し、第１電極２７０の他端２７６は第５部分２７７と第６部分２７８とを有している。これに対して、圧電素子２４０は、第５領域Ｒ５と第６領域Ｒ６とを有していなくてもよい。換言すると、例えば、第１電極２７０の他端２７６は、第６領域Ｒ６に相当する領域において第２方向及び第３方向に交差して延在する部分を有していなくてもよい。同様に、上記第４実施形態においては、他端２７６は、第６領域Ｒ６に相当する領域において曲線状に延在する部分を有していなくてもよい。更に、この場合、第６領域Ｒ６に相当する領域における第１電極２７０の他端２７６は、第５領域Ｒ５に相当する領域における他端２７６と一端２７１との間に位置していなくてもよい。また、例えば、第６領域Ｒ６に相当する領域において、Ｚ方向に見て、第１電極２７０の他端２７６と、第２電極２８０とが重ならなくてもよい。

（Ｅ−５）上記実施形態において、第１領域Ｒ１の幅Ｗ２は、第１圧電体２６１に対応する第２圧電体２６２の幅Ｗ２よりも大きい。これに対して、幅Ｗ１と幅Ｗ２とが等しくてもよい。

（Ｅ−６）上記実施形態では、Ｘ方向において、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０の中央は、第１領域Ｒ１の中央に位置している。これに対して、Ｘ方向において、第１圧電体２６１に対応する第２電極２８０の中央は、第１領域Ｒ１の中央と異なる位置に位置していてもよい。

Ｆ．他の形態：
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

（１）本開示の第１の形態によれば、第１方向に配列された複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子に対応する複数の圧力室が前記第１方向に並んで形成された圧力室基板と、を有する液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電体と前記第１電極と前記第２電極とが積層される方向を第１方向とし、前記複数の圧電体それぞれ及び前記複数の第２電極それぞれが延在する方向であって、前記第１方向と直交する方向を第２方向とし、前記複数の圧電体及び前記複数の第２電極が配列される方向であって、前記第１方向と前記第２方向と直交する方向を第３方向としたとき、前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第１領域と第２領域とを有する。前記第１領域は、前記第１電極の前記第２方向における一端と、前記複数の圧電体の１つである第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、前記第２領域は、前記一端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域を含む領域である。前記一端は、前記第１領域において前記第３方向に延在する第１部分と、前記第２領域において前記第２方向及び前記第３方向に交差して延在する第２部分と、を有し、前記第２部分は、前記第２方向において、前記第１部分と前記第１電極の前記第２方向における他端との間に位置する。
このような形態によれば、圧電素子の第２領域内の、第１圧電体の能動部と非能動部とに対応する能動領域と非能動領域との境界において生じる応力が、引っ張り応力と剪断応力とに分解されることによって、境界において生じる引っ張り応力の大きさが小さくなる。そのため、圧電素子におけるクラックの発生が抑制される。また、第２領域において第１電極が破損する可能性が低くなるため、第１電極の一端の形状が保たれやすく、圧電素子におけるクラックの発生が効果的に抑制される。

（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１方向と直交し、前記第２方向と前記第３方向とに交差する方向を第４方向とし、前記第１方向と直交し、前記第２方向と前記第３方向と前記第４方向と交差する方向を第５方向としたとき、前記第２部分は、前記第４方向に延在する部分と前記第５方向に延在する部分とを有していてもよい。このような形態によれば、第２領域内の、第１圧電体の能動部と非能動部とに対応する能動領域と非能動領域との境界において生じる応力は、複数の異なる方向の引っ張り応力と、複数の異なる方向の剪断応力と、に分解される。そのため、圧電素子の第１圧電体に対応する部分において、Ｘ方向における変形が抑制され、圧電素子の破損や変形に対する信頼性がより高まる。

（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２領域において、前記第１方向に見て、前記第１電極の前記一端は、前記第２領域の前記第３方向における中央を通る直線に対して線対称の形状を有していてもよい。このような形態によれば、第２領域内の能動領域と非能動領域との境界において、それぞれ異なる方向に生じる剪断応力の大きさが均等となりやすいため、圧電部の第１圧電体に対応する部分において、Ｘ方向における変形がより効果的に抑制される。そのため、圧電素子の破損や変形に対する信頼性がより高まる。

（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１方向と直交し、前記第２方向と前記第３方向とに交差する方向を第４方向とし、前記第１方向と直交し、前記第２方向と前記第３方向と前記第４方向と交差する方向を第６方向としたとき、前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第３領域と第４領域とを有し、前記第３領域は、前記第１電極の前記一端と、前記複数の圧電体の１つであり前記第１圧電体と隣り合って配列される第２圧電体と、が重なる領域の一部を含む領域であり、前記第４領域は、前記一端と、前記第２圧電体と、前記第２圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域であり、前記一端は、前記第３領域において前記第３方向に延在する第３部分と、前記第４領域において前記第６方向に延在する第４部分と、を有し、前記第２部分は、前記第２領域において前記第４方向に延在し、前記第４部分は、前記第２方向において、前記第３部分と前記他端との間に位置していてもよい。このような形態によれば、第４領域においても、第２領域における場合と同様にクラックの発生が抑制される。更に、第２領域内の、第１圧電体の能動部と非能動部とに対応する能動領域と非能動領域との境界において生じる剪断応力の方向と、第４領域内の、第２圧電体の能動部と非能動部とに対応する能動領域と非能動領域との境界において生じる剪断応力の方向とは、それぞれ異なる。そのため、第２部分と第４部分とが同じ方向に延在している場合と比較して、第３方向において、圧電素子全体の変形が抑制され、圧電素子の破損や変形に対する信頼性がより高まる。

（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２方向と前記第４方向とのなす鋭角の大きさと、前記第２方向と前記第６方向とのなす鋭角の大きさと、は等しくてもよい。このような形態によれば、圧電素子の隣り合う圧電体に対応する部分では、第３方向においてそれぞれ異なる方向に剪断応力が生じ、その剪断応力の大きさがそれぞれ均等となりやすい。そのため、第３方向において、圧電素子全体の変形がより効果的に抑制され、圧電素子の破損や変形に対する信頼性が更に高まる。

（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２方向と前記第４方向とのなす鋭角は４５°以下であってもよい。このような形態によれば、圧電素子の第２領域内の能動領域と非能動領域との境界において、圧電素子に生じる引っ張り応力の大きさを、更に小さくすることができる。そのため、圧電素子におけるクラックの発生が、より効果的に抑制される。

（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第５領域と第６領域とを有し、前記第５領域は、前記他端と前記第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、前記第６領域は、前記他端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域であって、前記他端は、前記第５領域において前記第３方向に延在する第５部分と、前記第６領域において前記第２方向及び前記第３方向と交差して延在する第６部分と、を有し、前記第６部分は、前記第２方向において、前記第５部分と前記一端との間に位置していてもよい。このような形態によれば、第６領域内における、圧電素子の第１圧電体に対応する部分の、第１電極の他端に対応する能動領域と非能動領域との境界においても、クラックの発生を抑制できる。また、第６領域においても第１電極が破損する可能性が低くなるため、第１電極の他端の形状が保たれやすく、圧電素子におけるクラックの発生が効果的に抑制される。

（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１電極は、前記圧電体の上部に積層され、前記第２電極は、前記圧電体の下部に積層されていてもよい。このような形態によれば、第１電極がいわゆる上部電極であって、第２電極がいわゆる下部電極であっても、圧電素子におけるクラックの発生が抑制される。そのため、圧電素子の構成の自由度が高まる。

（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１電極は、前記圧電体の下部に積層され、前記第２電極は、前記圧電体の上部に積層されていてもよい。このような形態によれば、第１電極がいわゆる下部電極であり、第２電極がいわゆる上部電極である場合であっても、圧電素子におけるクラックの発生が抑制される。そのため、圧電素子の構成の自由度が高まる。

（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１領域の前記第３方向における幅は、前記第１圧電体に対応する前記第２電極の、前記第１方向に見て前記第１圧電体及び前記第１電極の前記一端と重なる部分の前記第３方向における幅よりも大きくてもよい。このような形態によれば、例えば、圧電素子が形成される際や使用される際に、第１電極と第２電極との第３方向における位置関係が変化した場合であっても、圧電素子におけるクラックの発生が効果的に抑制される可能性が高まる。

（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１圧電体に対応する前記第２電極の前記第３方向における中央は、前記第１領域の前記第３方向における中央に位置していてもよい。このような形態によれば、例えば、圧電素子が使用される際に、第１電極と第２電極との第３方向における位置関係が変化した場合であっても、圧電素子におけるクラックの発生が効果的に抑制される可能性が高まる。

（１２）本開示の第２の形態によれば、複数の圧電体と、前記複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、前記複数の圧電体それぞれに対して個別に設けられた複数の第２電極と、を有する圧電素子を備える液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電体と前記第１電極と前記第２電極とが積層される方向を第１方向とし、前記複数の圧電体それぞれ及び前記複数の第２電極それぞれが延在する方向であって、前記第１方向と直交する方向を第２方向とし、前記複数の圧電体及び前記複数の第２電極が配列される方向であって、前記第１方向と前記第２方向と直交する方向を第３方向としたとき、前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第１領域と第２領域とを有する。前記第１領域は、前記第１電極の前記第２方向における一端と、前記複数の圧電体の１つである第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、前記第２領域は、前記一端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域を含む領域である。前記一端は、前記第１領域において前記第３方向に延在する第１部分と、前記第２領域において曲線状に延在する曲線部と、を有し、前記曲線部は、前記第２方向において、前記第１部分と前記第１電極の前記第２方向における他端との間に位置する。
このような形態によれば、圧電素子の第２領域内の、第１圧電体の能動部と非能動部とに対応する能動領域と非能動領域との境界において生じる応力が、引っ張り応力と剪断応力とに分解されることによって、境界において生じる引っ張り応力の大きさが小さくなる。そのため、圧電素子におけるクラックの発生が抑制される。また、第２領域において第１電極が破損する可能性が低くなるため、第１電極の一端の形状が保たれやすく、圧電素子におけるクラックの発生が効果的に抑制される。

（１３）本開示の第３の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の形態又は第２の形態における液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を備える。
このような形態によれば、圧電素子の第２領域内の、第１圧電体の能動部と非能動部とに対応する能動領域と非能動領域との境界において生じる応力が、引っ張り応力と剪断応力とに分解されることによって、境界において生じる引っ張り応力の大きさが小さくなる。そのため、圧電素子におけるクラックの発生が抑制される。また、第２領域において第１電極が破損する可能性が低くなるため、第１電極の一端の形状が保たれやすく、圧電素子におけるクラックの発生が効果的に抑制される。

（１４）本開示の第４の形態によれば、複数の圧電体と、前記複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、前記複数の圧電体それぞれに対して個別に設けられた複数の第２電極と、を有する圧電素子を備えるアクチュエーターが提供される。このアクチュエーターにおいて、前記圧電体と前記第１電極と前記第２電極とが積層される方向を第１方向とし、前記複数の圧電体それぞれ及び前記複数の第２電極それぞれが延在する方向であって、前記第１方向と直交する方向を第２方向とし、前記複数の圧電体及び前記複数の第２電極が配列される方向であって、前記第１方向と前記第２方向と直交する方向を第３方向としたとき、前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第１領域と第２領域とを有する。前記第１領域は、前記第１電極の前記第２方向における一端と、前記複数の圧電体の１つである第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、前記第２領域は、前記一端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域を含む領域である。前記一端は、前記第１領域において前記第３方向に延在する第１部分と、前記第２領域において前記第２方向及び前記第３方向に交差して延在する第２部分と、を有し、前記第２部分は、前記第２方向において、前記第１部分と前記第１電極の前記第２方向における他端との間に位置する。
このような形態によれば、圧電素子の第２領域内の、第１圧電体の能動部と非能動部とに対応する能動領域と非能動領域との境界において生じる応力が、引っ張り応力と剪断応力とに分解されることによって、境界において生じる引っ張り応力の大きさが小さくなる。そのため、圧電素子におけるクラックの発生が抑制される。また、第２領域において第１電極が破損する可能性が低くなるため、第１電極の一端の形状が保たれやすく、圧電素子におけるクラックの発生が効果的に抑制される。

本開示は、上述した液体吐出ヘッド、液体吐出装置やアクチュエーターとしての形態に限らず、液体吐出システムや、液体吐出装置を備える複合機等の種々の態様で実現可能である。

４０…キャリッジ、４１…フレキシブルケーブル、４６…駆動モーター、４７…駆動ベルト、５１…搬送モーター、５５…プラテン、８０…インクカートリッジ、９０…駆動回路、１００…液体吐出装置、１１０…制御部、２００…液体吐出ヘッド、２１０…ノズル板、２１１…ノズル、２２０…圧力室基板、２２１…圧力室、２２３…インク供給路、２２５…連通部、２３０，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄ…圧電部、２３１…振動板、２３２…可撓層、２３３…保護層、２４０，２４０ｂ，２４０ｃ，２４０ｄ…圧電素子、２５０…封止部、２５１…圧電素子保持部、２５２…マニホールド部、２６０…圧電体、２６１…第１圧電体、２６２…第２圧電体、２７０，２７０ｂ，２７０ｃ，２７０ｄ…第１電極、２７１，２７１ｂ，２７１ｄ…一端、２７２…第１部分、２７３，２７３ｂ…第２部分、２７４…第３部分、２７５…第４部分、２７６，２７６ｂ，２７６ｄ…他端、２７７…第５部分、２７８，２７８ｂ…第６部分、２７９…曲線部、２８０，２８０ｃ…第２電極、２９３…マニホールド、２９５…リード電極

Claims (14)

1. 複数の圧電体と、
   前記複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、
   前記複数の圧電体それぞれに対して個別に設けられた複数の第２電極と、を有する圧電素子を備える液体吐出ヘッドであって、
   前記圧電体と前記第１電極と前記第２電極とが積層される方向を第１方向とし、
   前記複数の圧電体それぞれ及び前記複数の第２電極それぞれが延在する方向であって、前記第１方向と直交する方向を第２方向とし、
   前記複数の圧電体及び前記複数の第２電極が配列される方向であって、前記第１方向と前記第２方向と直交する方向を第３方向としたとき、
   前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第１領域と第２領域とを有し、
   前記第１領域は、前記第１電極の前記第２方向における一端と、前記複数の圧電体の１つである第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、
   前記第２領域は、前記一端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域を含む領域であり、
   前記一端は、前記第１領域において前記第３方向に延在する第１部分と、前記第２領域において前記第２方向及び前記第３方向に交差して延在する第２部分と、を有し、
   前記第２部分は、前記第２方向において、前記第１部分と前記第１電極の前記第２方向における他端との間に位置することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１方向と直交し、前記第２方向と前記第３方向とに交差する方向を第４方向とし、
   前記第１方向と直交し、前記第２方向と前記第３方向と前記第４方向と交差する方向を第５方向としたとき、
   前記第２部分は、前記第４方向に延在する部分と前記第５方向に延在する部分とを有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第２領域において、前記第１方向に見て、前記第１電極の前記一端は、前記第２領域の前記第３方向における中央を通る直線に対して線対称の形状を有することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１方向と直交し、前記第２方向と前記第３方向とに交差する方向を第４方向とし、
   前記第１方向と直交し、前記第２方向と前記第３方向と前記第４方向と交差する方向を第６方向としたとき、
   前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第３領域と第４領域とを有し、
   前記第３領域は、前記第１電極の前記一端と、前記複数の圧電体の１つであり前記第１圧電体と隣り合って配列される第２圧電体と、が重なる領域の一部を含む領域であり、
   前記第４領域は、前記一端と、前記第２圧電体と、前記第２圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域であり、
   前記一端は、前記第３領域において前記第３方向に延在する第３部分と、前記第４領域において前記第６方向に延在する第４部分と、を有し、
   前記第２部分は、前記第２領域において前記第４方向に延在し、
   前記第４部分は、前記第２方向において、前記第３部分と前記他端との間に位置することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第２方向と前記第４方向とのなす鋭角の大きさと、前記第２方向と前記第６方向とのなす鋭角の大きさと、は等しいことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第２方向と前記第４方向とのなす鋭角は４５°以下であることを特徴とする請求項２から請求項５までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第５領域と第６領域とを有し、
   前記第５領域は、前記他端と前記第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、
   前記第６領域は、前記他端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域であって、
   前記他端は、前記第５領域において前記第３方向に延在する第５部分と、前記第６領域において前記第２方向及び前記第３方向と交差して延在する第６部分と、を有し、
   前記第６部分は、前記第２方向において、前記第５部分と前記一端との間に位置することを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第１電極は、前記圧電体の上部に積層され、
   前記第２電極は、前記圧電体の下部に積層されることを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１電極は、前記圧電体の下部に積層され、
   前記第２電極は、前記圧電体の上部に積層されることを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１領域の前記第３方向における幅は、前記第１圧電体に対応する前記第２電極の、前記第１方向に見て前記第１圧電体及び前記第１電極の前記一端と重なる部分の前記第３方向における幅よりも大きいことを特徴とする請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１圧電体に対応する前記第２電極の前記第３方向における中央は、前記第１領域の前記第３方向における中央に位置することを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 複数の圧電体と、
    前記複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、
    前記複数の圧電体それぞれに対して個別に設けられた複数の第２電極と、を有する圧電素子を備える液体吐出ヘッドであって、
    前記圧電体と前記第１電極と前記第２電極とが積層される方向を第１方向とし、
    前記複数の圧電体それぞれ及び前記複数の第２電極それぞれが延在する方向であって、前記第１方向と直交する方向を第２方向とし、
    前記複数の圧電体及び前記複数の第２電極が配列される方向であって、前記第１方向と前記第２方向と直交する方向を第３方向としたとき、
    前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第１領域と第２領域とを有し、
    前記第１領域は、前記第１電極の前記第２方向における一端と、前記複数の圧電体の１つである第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、
    前記第２領域は、前記一端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域を含む領域であり、
    前記一端は、前記第１領域において前記第３方向に延在する第１部分と、前記第２領域において曲線状に延在する曲線部と、を有し、
    前記曲線部は、前記第２方向において、前記第１部分と前記第１電極の前記第２方向における他端との間に位置することを特徴とする液体吐出ヘッド。
13. 請求項１から請求項１２までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を備えることを特徴とする液体吐出装置。
14. 複数の圧電体と、
    前記複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、
    前記複数の圧電体それぞれに対して個別に設けられた複数の第２電極と、を有する圧電素子を備えるアクチュエーターであって、
    前記圧電体と前記第１電極と前記第２電極とが積層される方向を第１方向とし、
    前記複数の圧電体それぞれ及び前記複数の第２電極それぞれが延在する方向であって、前記第１方向と直交する方向を第２方向とし、
    前記複数の圧電体及び前記複数の第２電極が配列される方向であって、前記第１方向と前記第２方向と直交する方向を第３方向としたとき、
    前記圧電素子は、前記第１方向に見て、前記第３方向に並ぶ第１領域と第２領域とを有し、
    前記第１領域は、前記第１電極の前記第２方向における一端と、前記複数の圧電体の１つである第１圧電体とが重なる領域の一部を含む領域であり、
    前記第２領域は、前記一端と、前記第１圧電体と、前記第１圧電体に対応する前記第２電極と、が重なる領域を含む領域であり、
    前記一端は、前記第１領域において前記第３方向に延在する第１部分と、前記第２領域において前記第２方向及び前記第３方向に交差して延在する第２部分と、を有し、
    前記第２部分は、前記第２方向において、前記第１部分と前記第１電極の前記第２方向における他端との間に位置することを特徴とするアクチュエーター。

Images