JP2021151709A - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および、アクチュエーター - Google Patents

Abstract

【課題】圧力室のクラックを抑制する。【解決手段】第１方向に配列された複数の圧電素子と、対応する複数の圧力室が第１方向に並んで形成された圧力室基板と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、圧電素子は、複数の圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、個別に設けられた第２電極とを備え、圧力室基板に積層されている積層方向に見て、第１領域から第４領域を有する。第１方向と交差する第２方向に圧力室が延在する範囲内の、第１位置より端に近い位置を第２位置、第１方向に圧力室が延在する範囲内の、第３位置より端に近い位置を第４位置としたとき、第１位置かつ第３位置の位置にある第１領域に第１電極と第２電極とが積層方向に重なって設けられ、第１位置かつ第４位置の位置にある第２領域と第２位置かつ第４位置の位置にある第４領域とに第１電極が設けられ、第２位置かつ第３位置の位置にある第３領域に第１電極が設けられていない。【選択図】図４

Description

本開示は液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および、アクチュエーターに関する。

液体吐出ヘッドに関して、特許文献１には、圧電体層と、ノズル配列方向に延在し圧力室延在方向に一様な幅を有する共通電極と、を有する圧電素子を備える液体吐出ヘッドが開示されている。この液体吐出ヘッドは、例えば、プリンター等の液体吐出装置に備えられ、圧電素子の変形によって圧力室の容積を変化させ、圧力室に供給されたインク等の液体をノズルから吐出する。

特開２００９−１７２８７８号

特許文献１のような液体吐出ヘッドでは、圧力室の端部への応力集中に起因するクラックを抑制するために、例えば、圧力室の配列方向の端部付近において、圧力室の延在方向の中央部付近から端部付近までを共通電極で覆う場合がある。しかしながら、この場合、圧力室の延在方向の端部付近において、共通電極が設けられている部分と設けられていない部分との境界が生じ、電圧印加時にこの境界への応力集中が生じることによって、クラックが発生する虞がある。

本開示の第１の形態によれば、第１方向に配列された複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子に対応する複数の圧力室が前記第１方向に並んで形成された圧力室基板と、を有する液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、圧電体と、複数の前記圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、複数の前記圧電体に対して個別に設けられた第２電極と、を備え、前記圧電素子は、前記圧力室基板に前記圧電素子が積層されている積層方向に見て、第１領域と、第２領域と、第３領域と、第４領域と、を有する。前記第１方向と交差する第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第１位置とし、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第１位置よりも、前記第２方向において前記圧力室の端に近い位置を第２位置とし、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第３位置とし、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第３位置よりも、前記第１方向において前記圧力室の端に近い位置を第４位置とする。前記第１領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第２領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、前記第３領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第４領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、前記第１領域には、前記第１電極と前記第２電極とが前記積層方向に重なって設けられ、前記第２領域と前記第４領域とには、前記第１電極が設けられ、前記第３領域には、前記第１電極が設けられていない。

本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出ヘッドは、上記第１の形態における液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を備える。

本開示の第３の形態によれば、圧力室基板に第１方向に配列して形成された複数の圧力室に対応するように、前記第１方向に配列された複数の圧電素子を有するアクチュエーターが提供される。このアクチュエーターにおいて、前記圧電素子は、圧電体と、複数の前記圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、複数の前記圧電体に対して個別に設けられた第２電極と、を備え、前記圧電素子は、前記圧力室基板に前記圧電素子が積層されている積層方向に見て、第１領域と、第２領域と、第３領域と、第４領域と、を有する。前記第１方向と交差する第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第１位置とし、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第１位置よりも、前記第２方向において前記圧力室の端に近い位置を第２位置とし、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第３位置とし、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第３位置よりも、前記第１方向において前記圧力室の端に近い位置を第４位置とする。前記第１領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第２領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、前記第３領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第４領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、前記第１領域には、前記第１電極と前記第２電極とが前記積層方向に重なって設けられ、前記第２領域と前記第４領域とには、前記第１電極が設けられ、前記第３領域には、前記第１電極が設けられていない。

第１実施形態としての液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。 液体吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。 液体吐出ヘッドの要部の断面を示す概略図である。 第１実施形態の圧電部の概略構成を説明する図である。 第１実施形態の第１位置における圧力室及び圧電部の断面を示す図である。 第１実施形態の第２位置における圧力室及び圧電部の断面を示す図である。 第２実施形態の圧電部の概略構成を説明する図である。 第２実施形態の第２位置における圧力室及び圧電部の断面を示す図である。 第３実施形態の第１位置における圧力室及び圧電部の断面を示す図である。 第３実施形態の第２位置における圧力室及び圧電部の断面を示す図である。 第４実施形態の第２位置における圧力室及び圧電部の断面を示す図である。

Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態としての液体吐出ヘッド２００を備える液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。図１には、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向に沿った矢印が表されている。Ｘ，Ｙ，Ｚ方向は、互いに直交する３つの空間軸であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿った方向であり、それぞれ、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿う一方側の方向と、その反対方向とを、両方含む。具体的には、前記Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸に沿った正の方向が、それぞれ＋Ｘ方向，＋Ｙ方向，＋Ｚ方向であり、前記Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸に沿った負の方向が、それぞれ−Ｘ方向，−Ｙ方向，−Ｚ方向である。Ｘ方向及びＹ方向に沿った平面をＸＹ平面と呼び、Ｘ方向及びＺ方向に沿った平面をＸＺ平面と呼び、Ｙ方向及びＺ方向に沿った平面をＹＺ平面と呼ぶこともある。なお、図１において、Ｘ軸およびＹ軸は水平面に沿った軸であり、Ｚ軸は鉛直線に沿った軸である。従って、本実施形態では、−Ｚ方向は、重力方向である。他の図においても、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に沿った矢印が、適宜、表されている。図１におけるＸ，Ｙ，Ｚ方向と、他の図におけるＸ，Ｙ，Ｚ方向とは、同じ方向を表している。また、本明細書中で、直交とは、９０°±１０°の範囲を含む。

本実施形態の液体吐出装置１００は、液体としてインクを吐出することによって印刷媒体Ｐ上に画像を印刷する、インクジェットプリンターである。液体吐出装置１００は、印刷媒体Ｐにおけるドットのオン・オフを示す印刷データに基づいて紙等の印刷媒体Ｐ上にインクを噴射し、印刷媒体Ｐ上の様々な位置にドットを形成することにより、印刷媒体Ｐ上に画像を印刷する。なお、印刷媒体Ｐとしては、紙の他に、例えば、プラスチック、フィルム、繊維、布帛、皮革、金属、ガラス、木材、セラミックスなど、液体を保持できるものを用いることができる。また、液体吐出装置１００の液体としては、インクの他に、種々の色材、電極材、生体有機物や無機物等の試料、潤滑油、樹脂液、エッチング液など、任意の液体を用いることができる。

液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッド２００と、キャリッジ４０と、キャリッジ４０を駆動させる駆動モーター４６と、印刷媒体Ｐを搬送する搬送モーター５１と、インクカートリッジ８０と、制御部１１０とを、備える。

制御部１１０は、１以上のプロセッサーと、主記憶装置と、外部との信号の入出力を行う入出力インターフェースとを備えるコンピューターによって構成されている。制御部１１０は、印刷データに従って、液体吐出装置１００に備えられた各機構を制御することによって、液体吐出ヘッド２００から印刷媒体Ｐ上にインクを吐出し、印刷媒体Ｐ上に画像を印刷する。すなわち、制御部１１０は、液体吐出ヘッド２００の、液体を吐出する吐出動作を制御する。なお、制御部１１０は、例えば、図示しない外部のコンピューター等から受信した画像データを変換して、印刷データを生成することができる。

インクカートリッジ８０は、液体吐出ヘッド２００へ供給される液体としてのインクを貯留する。本実施形態では、４つのインクカートリッジ８０が、キャリッジ４０に着脱可能に装着されている。インクカートリッジ８０は、キャリッジ４０に装着されることによって液体吐出ヘッド２００と接続され、インクカートリッジ８０から液体吐出ヘッド２００へのインクの供給が可能となる。なお、インクカートリッジ８０は、例えば、キャリッジ４０に装着されることなく、液体吐出装置１００本体に装着されてもよい。また、液体吐出装置１００は、インクを貯留する機構として、例えば、インクカートリッジ８０に代えて、インクタンクや、可撓性フィルムで形成された袋状の液体パック等を備えていてもよい。本実施形態では、４つのインクカートリッジ８０内には、液体として、それぞれ、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの色彩を有する異なる４種類のインクが貯留されている。インクカートリッジ８０やインクタンクの数、及び、これらに貯留されるインクの種類や数は特に限定されない。

液体吐出ヘッド２００は、印刷媒体Ｐ上に、インクカートリッジ８０から供給されたインクを液滴状の形態で吐出する。液体吐出ヘッド２００は、フレキシブルケーブル４１を介して、制御部１１０と電気的に接続されている。液体吐出ヘッド２００の詳細については後述する。なお、液体吐出装置１００は、２つ以上の複数の液体吐出ヘッド２００を備えていてもよい。

キャリッジ４０は、液体吐出ヘッド２００を保持している。キャリッジ４０は、駆動モーター４６から駆動ベルト４７を介して伝達された駆動力によって、Ｘ方向に沿って設けられた図示しないキャリッジガイドに沿って、主走査方向に往復移動する。本実施形態では、主走査方向はＸ方向に沿った方向である。

印刷媒体Ｐは、搬送モーター５１から図示しない搬送ローラーを介して伝達された駆動力によって、プラテン５５上を主走査方向と交差する副走査方向に沿って搬送される。本実施形態では、副走査方向はＹ方向に沿った方向であり、主走査方向と直交する。他の実施形態では、主走査方向と副走査方向とは互いに直交しなくてもよい。

図２は、本実施形態の液体吐出ヘッド２００の構成を示す分解斜視図である。本実施形態における液体吐出ヘッド２００は、ノズル板２１０と、圧力室基板２２０と、圧電部２３０と、封止部２５０とが、Ｚ方向に積層されることによって、構成されている。また、封止部２５０の＋Ｚ方向側の面には、駆動回路９０が設けられている。

ノズル板２１０は、薄板状の部材である。本実施形態では、ノズル板２１０は、ＸＹ平面に沿って配置されている。ノズル板２１０には、多数のノズル２１１がＸ軸方向に沿って一列に並んで形成されている。液体吐出ヘッド２００は、このノズル２１１から液体を噴射する。本実施形態では、ノズル板２１０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）により形成されている。なお、ノズル板２１０は、ステンレス鋼に限らず、例えば、ニッケル（Ｎｉ）合金などの他の種類の金属、または、ポリイミドやドライフィルムレジストなどの樹脂材料、シリコン（Ｓｉ）の単結晶基板やガラスセラミックスなどの無機材料等により形成されていてもよい。また、他の実施形態では、ノズル２１１の列の数は１列でなくてもよく、ノズル板２１０に２列以上のノズル２１１が形成されていてもよい。

圧力室基板２２０は、圧力室２２１を区画する板状の部材である。圧力室基板２２０は、例えば、接着剤や熱溶着フィルム等を介してノズル板２１０の＋Ｚ方向の面に接合される。圧力室基板２２０には、液体の流路となる圧力室２２１、インク供給路２２３、及び、連通部２２５を形成するための、圧力室基板２２０をＺ方向に貫通する孔ＨＬが形成されている。ノズル板２１０に圧力室基板２２０が積層され、圧力室基板２２０に後述する振動板２３１が積層されることによって、圧力室２２１とインク供給路２２３と連通部２２５とが、区画される。なお、例えば、振動板２３１が圧力室基板２２０上に積層された後に、孔ＨＬの一部や全部が形成されてもよい。本実施形態において、圧力室基板２２０は、Ｓｉの単結晶基板によって形成されている。他の実施形態では、圧力室基板２２０は、Ｓｉの単結晶基板に限らず、例えば、Ｓｉを主成分とする他の材料や、他のセラミックス材料、ガラス材料等により形成された基板であってもよい。

圧力室基板２２０は、複数の圧力室２２１を区画する。本実施形態では、複数の圧力室２２１は、Ｘ方向に沿って並んで形成されている。ノズル板２１０に圧力室基板２２０が積層されることによって、複数の圧力室２２１それぞれは、ノズル２１１と連通する。本実施形態では、複数の圧力室２２１が、多数のノズル２１１の配列と対応するように、Ｘ方向に並んで配列されている。複数の圧力室２２１が配列される方向のことを第１方向と呼ぶこともある。本実施形態では、第１方向はＸ方向である。また、第１方向と交差する方向を第２方向と呼ぶこともある。本実施形態では、第２方向はＹ方向である。本実施形態では、それぞれの圧力室２２１は、Ｚ方向に見て、Ｙ方向を長手方向とする略平行四辺形状を有し、Ｙ方向に沿って延在している。

連通部２２５は、複数の圧力室２２１それぞれに共通な空部である。連通部２２５は、インク供給路２２３を介して、複数の圧力室２２１それぞれと連通する。インク供給路２２３は、圧力室２２１よりも狭い幅で形成されており、連通部２２５から圧力室２２１に流入するインクに対して流路抵抗となる。

図２に示すように、本実施形態の圧電部２３０は、振動板２３１及び圧電素子２４０を備える。振動板２３１及び圧電素子２４０は、圧力室基板２２０に、Ｚ方向に沿って積層されている。なお、圧電素子２４０が圧力室基板２２０に積層されている方向を、積層方向と呼ぶこともある。本実施形態では、積層方向はＺ方向に沿った方向である。具体的には、積層方向は圧力室基板２２０から離れる方向を正とする方向である。なお、本面明細書中では、積層方向における、圧力室基板２２０から離れる方向を「上方」と記載し、その逆方向を「下方」と記載することもある。

振動板２３１は、圧電素子２４０と、圧力室基板２２０との間に設けられている。本実施形態の振動板２３１は、圧電部２３０上に形成された可撓層２３２と、可撓層２３２上に形成された保護層２３３とを有している。可撓層２３２は、例えば、二酸化シリコンによって形成され、保護層２３３は、例えば、酸化ジルコニウムによって形成される。

圧電部２３０は、圧電素子２４０の変形によって、振動板２３１を撓ませることで、圧力室２２１の容積を変化させることができる。なお、圧電部２３０をアクチュエーターと呼ぶこともある。また、圧電部２３０の構成や、圧電素子２４０の詳細については、後述する。

封止部２５０は、圧電部２３０上に接着剤を介して接合される。封止部２５０は、圧電素子保持部２５１と、マニホールド部２５２とを、有している。圧電素子保持部２５１は、圧電素子２４０の変形による運動を阻害しない程度の空間を有し、この空間内に圧電素子２４０を保持する。マニホールド部２５２はＺ方向とＸ方向に亘って形成されている。本実施形態では、封止部２５０は、Ｓｉ単結晶基板を用いて形成されている。なお、封止部２５０は、他のセラミックス材料やガラス材料等によって構成されていてもよい。この場合、封止部２５０としては、圧力室基板２２０の熱膨張率と略同一の熱膨張率を有する材料を用いると好ましい。

駆動回路９０は、圧電素子２４０を駆動するための駆動信号を、圧電素子２４０に供給する。駆動回路９０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。駆動回路９０と圧電素子２４０とは、リード電極２８０及び図示しない電気配線を介して電気的に接続されている。また、駆動回路９０と制御部１１０とは、図示しない電気配線を介して電気的に接続されている。

図３は、液体吐出ヘッド２００の要部のＹＺ平面に沿った断面を示す概略図である。図３に示すように、上述した各部材が積層されることによって、マニホールド部２５２と連通部２２５とが連通し、複数の圧力室２２１それぞれの共通の液体室となるマニホールド２７０が形成される。更に、ノズル２１１、圧力室２２１、インク供給路２２３、及び、マニホールド２７０が連通し、インクの流路が形成される。液体吐出ヘッド２００は、圧電部２３０によって圧力室２２１の容積を変化させることで、上述の流路を介して圧力室２２１に供給された液体を、ノズル２１１から吐出する。なお、マニホールド２７０を、共通液室やリザーバーと呼ぶこともある。

図４は、圧電部２３０の概略構成を説明する図である。図４には、ＸＹ平面において圧力室２２１が形成されている部分が、一点鎖線によって示されている。また、本実施形態において、圧電部２３０の圧電素子２４０は、積層方向であるＺ方向に見て、第１領域Ｒ１から第９領域Ｒ９を有する。図４には、第１位置Ｐｓ１から第６位置Ｐｓ６が、それぞれ破線によって示されている。更に、図４には、第１領域Ｒ１から第９領域Ｒ９が、それぞれ二点鎖線によって示されている。

第１位置Ｐｓ１は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲内の特定の位置である。第２位置Ｐｓ２は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲内の特定の位置であって、第１位置Ｐｓ１よりも、Ｙ方向において圧力室２２１の端に近い位置である。第３位置Ｐｓ３は、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲内の特定の位置である。第４位置Ｐｓ４は、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲内の特定の位置であって、第３位置Ｐｓ３よりも、Ｘ方向において圧力室２２１の端に近い位置である。本実施形態では、第１位置Ｐｓ１は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央部に位置する。第２位置Ｐｓ２は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の一端部に位置し、具体的には、第１位置Ｐｓ１の＋Ｙ方向に位置している。第３位置Ｐｓ３は、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央部に位置する。第４位置Ｐｓ４は、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲の一端部に位置し、具体的には、第３位置Ｐｓ３の−Ｘ方向に位置している。また、第５位置Ｐｓ５は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の他端部に位置する特定の位置であり、具体的には、第１位置Ｐｓ１の−Ｙ方向に位置している。第６位置Ｐｓ６は、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲の他端部に位置する特定の位置であり、具体的には、第３位置Ｐｓ３の＋Ｘ方向に位置している。

第１領域Ｒ１は、Ｙ方向の位置が第１位置Ｐｓ１であり、Ｘ方向の位置が第３位置Ｐｓ３である領域である。第２領域Ｒ２は、Ｙ方向の位置が第１位置Ｐｓ１であり、Ｘ方向の位置が第４位置Ｐｓ４である領域である。第３領域Ｒ３は、Ｙ方向の位置が第２位置Ｐｓ２であり、Ｘ方向の位置が第３位置Ｐｓ３である領域である。第４領域Ｒ４は、Ｙ方向の位置が第２位置Ｐｓ２であり、Ｘ方向の位置が第４位置Ｐｓ４である領域である。また、第５領域Ｒ５は、Ｙ方向の位置が第５位置Ｐｓ５であり、Ｘ方向の位置が第３位置Ｐｓ３である領域である。第６領域Ｒ６は、Ｙ方向の位置が第５位置Ｐｓ５であり、Ｘ方向の位置が第４位置Ｐｓ４である領域である。第７領域Ｒ７は、Ｙ方向における位置が第１位置Ｐｓ１であり、Ｘ方向における位置が第６位置Ｐｓ６である領域である。第８領域Ｒ８は、Ｙ方向における位置が第２位置Ｐｓ２であり、Ｘ方向における位置が第６位置Ｐｓ６である領域である。第９領域は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の外部に位置し、Ｘ方向における位置が第３位置である領域である。各領域における圧電素子２４０の構成については、後述する。

図５は、第１位置Ｐｓ１における圧力室２２１及び圧電部２３０の断面を示す図である。図６は、第２位置Ｐｓ２における圧力室２２１及び圧電部２３０の断面を示す図である。図５及び図６に示すように、圧電部２３０の圧電素子２４０は、圧電体２４５と、第１電極２４６と、第２電極２４７と、を有している。

本実施形態において、圧電体２４５は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって形成されている。なお、圧電体２４５は、ＰＺＴに代えて、ＡＢＯ３型で表されるいわゆるペロブスカイト構造を有する他の種類のセラミックス材料、例えば、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等によって形成されてもよい。また、圧電体２４５は、セラミックス材料に限らず、ポリフッ化ビニリデン、水晶など、圧電効果を有する任意の材料により形成されてもよい。

第１電極２４６は、複数の圧電体２４５に対して共通に設けられた電極を指す。第２電極２４７は、複数の圧電体２４５に対して個別に設けられた電極を指す。第１電極２４６を共通電極と呼び、第２電極２４７を個別電極と呼ぶこともある。

図５及び図６に示すように、本実施形態では、圧電素子２４０は、Ｚ方向において、圧力室基板２２０から遠ざかる方向に向かって、第１電極２４６と、圧電体２４５と、第２電極２４７と、が順に重なって形成されている。すなわち、第１電極２４６は、全体として、圧電体２４５に対して圧電素子２４０の積層方向における下方に設けられており、下部電極と呼ばれることもある。第２電極２４７は、全体として、圧電素子２４０の積層方向における上方に設けられており、上部電極と呼ばれることもある。第１電極２４６や第２電極２４７は、例えば、白金、イリジウム、チタン、タングステン、タンタル、等の各種金属や、ニッケル酸ランタン（ＬａＮｉＯ_３）等の導電性金属酸化物等によって形成される。

図４では、圧電素子２４０のうち、ＸＹ平面において第１電極２４６が設けられている部分に対応する部分に、右下がりのハッチングが施されている。また、図４では、圧電素子２４０のうち、ＸＹ平面において第２電極２４７が設けられている部分に対応する部分に、右上がりのハッチングが施されている。更に、図４では、能動領域Ａｃに網点模様のハッチングが施されている。能動領域Ａｃは、ＸＹ平面において、圧電体２４５の能動部に対応する部分である。圧電体２４５の能動部とは、圧電体２４５のうち、Ｚ方向において第１電極２４６と第２電極２４７とによって挟まれた部分である。従って、図４で網点模様のハッチングが施されている部分は、圧電素子２４０のうち、ＸＹ平面において、第１電極２４６及び第２電極２４７の両方が重なって設けられている部分であるということもできる。図４から図６に示すように、本実施形態では、第１位置Ｐｓ１には能動領域Ａｃが存在するのに対して、第２位置Ｐｓ２には能動領域Ａｃが存在しない。なお、能動領域Ａｃと異なる領域を、非能動領域と呼ぶこともある。

本実施形態では、第１電極２４６及び第２電極２４７は、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲内において、Ｚ方向に見て、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央を通る直線Ｌｓに対して線対称の形状を有している。従って、本実施形態では、能動領域Ａｃもまた、同様に直線Ｌｓに対して線対称の形状を有している。なお、本実施形態において、直線Ｌｓの位置は、図４における第３位置Ｐｓ３を示す直線の位置と一致する。

圧電体２４５の能動部では、第１電極２４６及び第２電極２４７を介して圧電体２４５に電圧が印加された際に、圧電歪みが生じる。圧電素子２４０は、この圧電歪みに起因する変形によって、圧力室２２１の容積を変化させる。具体的には、本実施形態では、圧電素子２４０は、圧電体２４５の圧電歪みによって振動板２３１を変形させて、圧力室２２１の容積を変化させる。

上述のように圧力室２２１の容積を変化させて圧力室２２１に供給された液体を吐出する際、圧力室２２１のＸ方向の端部付近では、圧力室２２１のＸ方向の中央部付近と比較して、応力集中が生じやすい。この応力集中は、例えば、圧電歪みによって圧力室２２１内の液体に圧力が加わる際に、圧電部２３０が液体から圧力を受け、圧電部２３０が圧力室２２１から離れる方向へ跳ね上がることで生じる。圧力室２２１のＸ方向の端部付近では、この応力集中によって、圧電部２３０にクラックが生じやすい。また、圧力室２２１のＸ方向の端部かつＹ方向の端部付近では、圧電部２３０の跳ね上がりによる応力集中が更に生じやすいため、圧電部２３０にクラックが更に生じやすい。

また、圧電部２３０に電圧が印加された際に、能動領域Ａｃと非能動領域とでは圧電部２３０の変形量に差が生じるため、能動領域Ａｃと非能動領域との境界においても、応力集中が生じやすい。従って、能動領域Ａｃと非能動領域との境界においても、圧電部２３０にクラックが生じやすい。ここで、圧力室２２１の中央部付近では、圧力室２２１の端部付近や圧力室２２１の外部と比較して、圧電部２３０の撓み変形が圧力室基板２２０によって阻害されにくく、圧電部２３０が撓みやすい。そのため、能動領域Ａｃと非能動領域との境界が圧力室２２１の中央部付近にある場合、能動領域Ａｃと非能動領域との境界に生じる応力集中が、振動板２３１等の変形によって緩和されやすい。従って、圧力室２２１の中央部付近を能動領域Ａｃとし、かつ、圧力室２２１の端部付近を非能動領域とすることで、能動領域Ａｃと非能動領域との境界が圧力室２２１の中央部付近に配置され、能動領域Ａｃと非能動領域との境界に生じる応力集中が緩和される。また、同様に、圧力室２２１の外部を非能動領域とすることによっても、能動領域Ａｃと非能動領域との境界に生じる応力集中が緩和される。

図４及び図５に示すように、第１領域Ｒ１には、第１電極２４６と第２電極２４７とがＺ方向に重なって設けられている。すなわち、第１領域Ｒ１は能動領域Ａｃ内に含まれる。なお、本実施形態では、上述したように、第１位置Ｐｓ１はＹ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央部に位置し、第３位置Ｐｓ３はＸ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央部に位置するため、Ｚ方向に見て、Ｘ方向及びＹ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央部が、能動領域Ａｃ内に含まれる。

図４から図６に示すように、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とには、第１電極２４６が設けられている。第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とは、Ｘ方向において第４位置Ｐｓ４に位置するため、第１領域Ｒ１と第３領域Ｒ３とに比較して、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲の端部に近い領域である。本実施形態では、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とに第１電極２４６が設けられることによって、圧力室２２１のＸ方向の端部付近において、第１電極２４６によって振動板２３１が圧力室２２１に近付く方向に押さえられ、液体吐出時の振動板２３１の跳ね上がりによる応力集中が抑制される。

また、本実施形態では、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とには、第２電極２４７が設けられていない。すなわち、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とに第１電極２４６が設けられている場合であっても、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とは、非能動領域に含まれる。第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とが非能動領域に含まれることによって、圧力室２２１のＸ方向の端部付近における応力集中が抑制される。

図６に示すように、本実施形態では、第４領域Ｒ４の一部において、圧電素子２４０の積層方向であるＺ方向に見て、第１電極２４６と圧電体２４５とが重なって設けられている。第４領域Ｒ４は、Ｙ方向において第４位置Ｐｓ４に位置するため、第２領域Ｒ２と比較して、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の端部に近い領域である。従って、圧力室２２１のＸ方向及びＹ方向の端部付近において、振動板２３１が第１電極２４６及び圧電体２４５によって圧力室２２１に近付く方向に押さえられるため、液体吐出時の振動板２３１の跳ね上がりによる応力集中が更に抑制される。

図４及び図６に示すように、第３領域Ｒ３には、第１電極２４６が設けられていない。すなわち、第３領域Ｒ３は、非能動領域に含まれる。第３領域Ｒ３は、Ｙ方向において第２位置Ｐｓ２に位置するため、第１領域Ｒ１と比較して、Ｙ方向において、圧力室２２１が延在する範囲の端部に近い領域である。第３領域Ｒ３が非能動領域に含まれることによって、圧力室２２１のＹ方向の端部付近における応力集中が抑制される。

図４及び図６に示すように、本実施形態では、第３領域Ｒ３には第２電極２４７が設けられている。これによって、それぞれの圧力室２２１のＹ方向の端部付近において、振動板２３１が、個別電極である第２電極２４７によって、それぞれの圧力室２２１に近付く方向に押さえられるため、振動板２３１の過剰な変形が抑制される。なお、上述のように、第３領域Ｒ３には第１電極２４６が設けられていないため、第３領域Ｒ３に第２電極２４７が設けられている場合でも、第３領域Ｒ３は非能動領域に含まれる。

図４から図６に示すように、本実施形態では、第２位置Ｐｓ２における第２電極２４７のＸ方向の幅Ｗ２は、第１位置Ｐｓ１における第２電極２４７のＸ方向の幅Ｗ１よりも小さい。従って、本実施形態では、第２位置Ｐｓ２における各領域のうち、第３領域Ｒ３にのみ第２電極２４７が配置されており、かつ、そのＸ方向の幅Ｗ２が幅Ｗ１よりも小さい。更に、図４に示すように、本実施形態の第２電極２４７は、第１位置Ｐｓ１から第２位置Ｐｓ２に向かってＸ方向の幅が小さくなる部分であるテーパー部２４８を有する。

図４に示すように、本実施形態では、第５領域Ｒ５には、第１電極２４６が設けられていない。従って、第５領域Ｒ５は非能動領域に含まれる。第５領域Ｒ５が非能動領域に含まれることによって、圧力室２２１のＹ方向の他端部付近においても、応力集中が抑制される。なお、本実施形態では、第５領域Ｒ５には第２電極２４７が設けられている。また、本実施形態では、第５位置Ｐｓ５における第２電極２４７の幅は、第２位置Ｐｓ２における第２電極２４７の幅Ｗ２と等しい。

また、第６領域Ｒ６には第１電極２４６が設けられている。第６領域Ｒ６は、Ｘ方向において、第４位置Ｐｓ４に位置する。本実施形態では、第６領域Ｒ６に第１電極２４６が設けられることによって、圧力室２２１のＹ方向及びＸ方向の端部付近において、振動板２３１が第１電極２４６によって圧力室２２１に近付く方向に押さえられる。これによって、圧力室２２１のＸ方向の端部付近において、液体吐出時の振動板２３１の跳ね上がりによる応力集中が更に抑制される。なお、本実施形態では、第６領域Ｒ６には第２電極２４７が設けられていない。従って、第６領域Ｒ６は非能動領域に含まれるため、第６領域Ｒ６における応力集中が更に抑制される。

図４から図６に示すように、本実施形態では、第７領域Ｒ７と、第８領域Ｒ８とには、第１電極２４６が設けられている。第７領域Ｒ７と第８領域Ｒ８とは、Ｘ方向において第６位置Ｐｓ６に位置する。本実施形態では、第７領域Ｒ７と第８領域Ｒ８とに第１電極２４６が設けられることによって、圧力室２２１のＸ方向の他端部付近において、振動板２３１が第１電極２４６によって圧力室２２１に近付く方向に押さえられ、液体吐出時の振動板２３１の跳ね上がりによる応力集中が抑制される。なお、本実施形態では、第７領域Ｒ７と第８領域Ｒ８とには、第２電極２４７が設けられていない。従って、第７領域Ｒ７と第８領域Ｒ８とは、非能動領域に含まれるため、第７領域Ｒ７と第８領域Ｒ８とにおける応力集中が更に抑制される。

図４に示すように、本実施形態では、第９領域Ｒ９には、第１電極２４６が設けられていない。すなわち、第９領域Ｒ９は、非能動領域に含まれる。第９領域Ｒ９は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の外部に位置する領域である。第９領域Ｒ９が非能動領域に含まれることによって、圧力室２２１のＹ方向における外部の領域での応力集中が抑制される。

また、第９領域Ｒ９には、第２電極２４７が設けられている。そのため、Ｙ方向において、それぞれの圧力室２２１が延在する範囲の外部まで延在する第２電極２４７によって、振動板２３１が、それぞれの圧力室２２１に近付く方向に押さえられるため、振動板２３１の過剰な変形がより抑制される。なお、本実施形態では、第９領域Ｒ９における第２電極２４７の幅は、第２位置Ｐｓ２における幅Ｗ２と等しい。また、上述のように、第９領域Ｒ９には第１電極２４６が設けられていないため、第９領域Ｒ９に第２電極２４７が設けられている場合でも、第９領域Ｒ９は非能動領域に含まれる。

図４に示すように、本実施形態では、第３位置Ｐｓ３において第１電極２４６がＹ方向に延在する幅は、第４位置Ｐｓ４において第１電極２４６がＹ方向に延在する幅よりも小さい。従って、本実施形態の第１電極２４６は、上述した第１領域Ｒ１から第９領域Ｒ９における第１電極２４６の配置の有無の条件が実現されるように、かつ、第３位置Ｐｓ３におけるＹ方向の幅が第４位置Ｐｓ４におけるＹ方向の幅よりも小さくなるように、設けられている。

本実施形態の圧電部２３０を、例えば、フォトレジストによるマスキングを利用したエッチング等を用いた既知の方法によって作成することができる。振動板２３１の可撓層２３２は、例えば、熱酸化やＣＶＤ法等によって、圧力室基板２２０上に形成される。保護層２３３は、例えば、ＣＶＤ法等によって、可撓層２３２上に形成される。第１電極２４６及び第２電極２４７は、例えば、白金等の材料をターゲット材としてスパッタリングによって形成される。圧電体２４５は、例えば、ゾルゲル法によって作成され、振動板２３１上や第１電極２４６上にスピンコート法等によってコーティングされる。これらの部材を形成するとともに、エッチング等によってパターニングし、順に積層することによって、圧電部２３０を作成することができる。

以上で説明した第１実施形態の液体吐出ヘッド２００によれば、第１領域Ｒ１には第１電極２４６と第２電極２４７とが設けられており、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４には第１電極２４６が設けられており、第３領域Ｒ３には第１電極２４６が設けられていない。そのため、圧力室２２１の第１方向の端部付近における応力集中が第１電極２４６によって抑制され、圧力室２２１の第１方向の端部付近におけるクラックが抑制される。また、圧力室２２１の第２方向の端部付近に対応する第３領域Ｒ３が非能動領域に含まれるため、能動領域Ａｃが圧力室２２１の第２方向の端部付近に位置することに起因する応力集中が抑制され、圧力室２２１の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。

また、本実施形態では、第３領域Ｒ３には、第２電極２４７が設けられている。そのため、第２方向において、それぞれの圧力室２２１が延在する範囲の端部付近に対して、個別電極である第２電極２４７がそれぞれ設けられるため、圧力室２２１の第２方向の端部付近におけるクラックが更に抑制される。

また、本実施形態では、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とには、第２電極２４７が設けられていない。そのため、圧力室２２１の第１方向における端部付近に対応する領域である第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とが非能動領域となるため、圧力室２２１の第１方向における端部付近でのクラックが更に抑制される。

また、本実施形態では、第２位置Ｐｓ２における第２電極２４７のＸ方向の幅は、第１位置Ｐｓ１における第２電極２４７のＸ方向の幅よりも小さい。そのため、第２電極２４７を、第２方向において圧力室２２１が延在する範囲の端部付近まで延在させることができ、かつ、圧力室２２１の容積変化に寄与しにくい第２電極２４７の割合を減少させることで、配置された第２電極２４７の量に対する圧力室２２１の容積変化量を向上させることができる。

また、本実施形態では、第２電極２４７は、第１位置Ｐｓ１から第２位置Ｐｓ２に向かってＸ方向の幅が小さくなる部分であるテーパー部２４８を有している。そのため、圧力室２２１の第２方向における端部付近での応力集中が緩和され、クラックが抑制される。

また、本実施形態では、第１位置Ｐｓ１は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央部に位置し、第２位置Ｐｓ２は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の一端部に位置する。そのため、圧力室２２１内の第２方向における中央部において圧力室２２１の容積を効率よく変化させることができ、かつ、圧力室２２１の第２方向における端部でのクラックを抑制できる。

また、本実施形態では、第５領域Ｒ５には第１電極２４６が設けられておらず、第６領域Ｒ６には第１電極２４６が設けられている。これによって、圧力室２２１の第２方向の他端部に対応する第５領域Ｒ５が非能動領域に含まれるため、圧力室２２１の第２方向の他端部においてもクラックが抑制される。また、圧力室２２１の第２方向の他端部においても、圧力室２２１の第１方向の端部付近における応力集中が第１電極２４６によって抑制され、圧力室２２１の第１方向の端部付近におけるクラックが更に抑制される。

また、本実施形態では、第３位置Ｐｓ３は、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央部に位置し、第４位置Ｐｓ４は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の一端部に位置する。そのため、圧力室２２１の第１方向における中央部において圧力室２２１の容積を効率よく変化させることができ、かつ、圧力室２２１の第１方向における端部でのクラックを抑制できる。

また、本実施形態では、第７領域Ｒ７と第８領域Ｒ８とには、第１電極２４６が設けられている。そのため、圧力室２２１の第１方向の他端部における応力集中が第１電極２４６によって抑制され、圧力室２２１の第１方向の他端部においてもクラックが抑制される。

また、本実施形態では、第９領域Ｒ９には、第１電極２４６が設けられていない。これによって、圧力室２２１の第２方向における外部に対応する第９領域Ｒ９が非能動領域に含まれるため、能動領域Ａｃが圧力室２２１の第２方向における外部の領域に位置することに起因する応力集中が抑制され、圧力室２２１の第２方向における外部の領域でのクラックが抑制される。

また、本実施形態では、第９領域Ｒ９には、第２電極２４７が設けられている。これによって、それぞれの圧力室２２１の第２方向における外部に対応する第９領域まで延在するように、個別電極である第２電極２４７がそれぞれ設けられるため、圧力室２２１の第２方向における外部の領域でのクラックが抑制される。

また、本実施形態では、第４領域Ｒ４の少なくとも一部において、Ｚ方向に見て、第１電極２４６と圧電体２４５とが重なって設けられている。そのため、圧力室２２１の第１方向及び第２方向の端部付近における応力集中が第１電極２４６及び圧電体２４５によって抑制され、圧力室２２１の第１方向及び第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。

また、本実施形態では、圧電素子２４０は、積層方向において圧力室基板２２０から遠ざかる方向に向かって、第１電極２４６と圧電体２４５と第２電極２４７とが順に重なって形成されている。これによって、第１電極２４６がいわゆる下部電極であり、第２電極２４７がいわゆる上部電極であっても、圧力室２２１の第１方向の端部付近及び圧力室２２１の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。そのため、圧電素子２４０の構成の自由度が高まる。

また、本実施形態では、第３位置Ｐｓ３において第１電極２４６がＹ方向に延在する幅は、第４位置Ｐｓ４において第１電極２４６がＹ方向に延在する幅よりも小さい。そのため、簡易な構成によって、第３領域Ｒ３に第１電極２４６を配置することなく、かつ、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３とに第１電極２４６を配置することができる。

また、本実施形態では、第１電極２４６及び第２電極２４７は、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲内において、Ｚ方向に見て、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央を通る直線Ｌｓに対して線対称の形状を有する。そのため、圧力室２２１の第１方向における剛性のバランスが保たれるため、圧力室２２１の耐久性が向上する。

また、本実施形態では、圧電素子２４０と圧力室基板２２０との間に振動板２３１が設けられている。このような形態によれば、液体吐出ヘッド２００が振動板２３１を有する場合であっても、圧力室２２１の第１方向の端部付近及び圧力室２２１の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。

Ｂ．第２実施形態：
図７は、第２実施形態における圧電部２３０ｂの概略構成を説明する図である。図８は、第２位置Ｐｓ２における圧力室２２１及び圧電部２３０ｂのＸＺ平面に沿った断面を示す図である。本実施形態では、第１実施形態と異なり、第４領域Ｒ４において、圧電素子２４０ｂの積層方向であるＺ方向に見たとき、第１電極２４６ｂと圧電体２４５とが重なって設けられていない。なお、第２実施形態の第１位置Ｐｓ１における圧力室２２１及び圧電部２３０ｂのＸＺ平面に沿った断面の構成は、図５に示した第１実施形態の場合と同様であるため、図示及び説明を省略する。また、第２実施形態の液体吐出装置１００及び液体吐出ヘッド２００の構成のうち、特に説明しない部分については、第１実施形態と同様である。

以上で説明した第２実施形態の液体吐出ヘッド２００によっても、圧力室２２１の第１方向の端部付近における応力集中が第１電極２４６ｂによって抑制され、圧力室２２１の第１方向の端部付近におけるクラックが抑制される。また、圧力室２２１の第２方向の端部付近に対応する第３領域Ｒ３が非能動領域に含まれるため、圧力室２２１の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。特に、本実施形態では、簡易な構成によって、第３領域Ｒ３に第１電極２４６ｂを配置することなく、かつ、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３とに第１電極２４６ｂを配置することができる。

Ｃ．第３実施形態：
図９は、第３実施形態の第１位置Ｐｓ１における圧力室２２１及び圧電部２３０ｃのＸＺ平面に沿った断面を示す図である。図１０は、第３実施形態の第２位置Ｐｓ２における圧力室２２１及び圧電部２３０ｃのＸＺ平面に沿った断面を示す図である。本実施形態では、第１実施形態と異なり、共通電極である第１電極２４６ｃが上部電極であり、個別電極である第２電極２４７ｃが下部電極である。なお、第３実施形態の液体吐出装置１００及び液体吐出ヘッド２００の構成のうち、特に説明しない部分については、第１実施形態と同様である。

図９及び図１０に示すように、第３実施形態では、圧電素子２４０ｃは、Ｚ方向において、圧力室基板２２０から遠ざかる方向に向かって、第２電極２４７ｃと、圧電体２４５と、第１電極２４６ｃと、が順に重なって形成されている。すなわち、第１電極２４６ｃは、全体として、圧電体２４５に対して圧電素子２４０ｃの積層方向における上方に設けられている。第２電極２４７ｃは、全体として、圧電体２４５に対して圧電素子２４０の積層方向における下方に設けられている。

図１０に示すように、本実施形態では、第１実施形態と同様に、第４領域Ｒ４の一部において、Ｚ方向から見て、第１電極２４６ｃと圧電体２４５とが重なっている。本実施形態では、第１電極２４６ｃが上部電極であるため、振動板２３１が圧電体２４５によって圧力室２２１に近づく方向に押さえられ、更に、振動板２３１と圧電体２４５とが第１電極２４６ｃによって圧力室２２１に近づく方向に押さえられる。これによって、第４領域Ｒ４において第１電極２４６ｃと圧電体２４５とが重なっている部分では、圧電素子２４０ｃ全体が第１電極２４６ｃによって圧力室２２１に近づく方向に押さえられる。従って、圧力室２２１のＸ方向及びＹ方向の端部付近において、液体吐出時の振動板２３１の跳ね上がりによる応力集中が更に抑制される。

以上で説明した第３実施形態の液体吐出ヘッド２００によっても、圧力室２２１の第１方向の端部付近における応力集中が第１電極２４６ｃによって抑制され、圧力室２２１の第１方向の端部付近におけるクラックが抑制される。また、圧力室２２１の第２方向の端部付近に対応する第３領域Ｒ３が非能動領域に含まれるため、圧力室２２１の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。特に、本実施形態では、第１電極２４６ｃがいわゆる上部電極であり、第２電極２４７ｃがいわゆる下部電極であっても、圧力室２２１の第１方向の端部付近及び圧力室２２１の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。そのため、圧電素子２４０ｃの構成の自由度が高まる。

Ｄ．第４実施形態：
図１１は、第４実施形態の第２位置Ｐｓ２における圧力室２２１及び圧電部２３０ｄのＸＺ平面に沿った断面を示す図である。本実施形態では、第３実施形態と同様に、共通電極である第１電極２４６ｄが上部電極であり、個別電極である第２電極２４７ｃが下部電極である。また、本実施形態では、第２実施と同様に、第４領域Ｒ４において、Ｚ方向に見たとき、第１電極２４６ｄと圧電体２４５とが重なっていない。なお、第４実施形態の第１位置Ｐｓ１における圧力室２２１及び圧電部２３０ｄのＸＺ平面に沿った断面の構成は、図９に示した第３実施形態の場合と同様であるため、図示及び説明を省略する。また、第４実施形態の液体吐出装置１００及び液体吐出ヘッド２００の構成のうち、特に説明しない部分については、第３実施形態と同様である。

以上で説明した第４実施形態の液体吐出ヘッド２００によっても、圧力室２２１の第１方向の端部付近における応力集中が第１電極２４６ｄによって抑制され、圧力室２２１の第１方向の端部付近におけるクラックが抑制される。また、圧力室２２１の第２方向の端部付近に対応する第３領域Ｒ３が非能動領域に含まれるため、圧力室２２１の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。特に、本実施形態では、第１電極２４６ｄが上部電極であって第２電極２４７ｃが下部電極である場合でも、簡易な構成によって、第３領域Ｒ３に第１電極２４６ｄを配置することなく、かつ、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３とに第１電極２４６ｄを配置することができる。

Ｅ．他の実施形態：
（Ｅ−１）上記実施形態において、第３領域Ｒ３には第２電極２４７が設けられている。これに対して、第３領域Ｒ３に第２電極２４７が設けられていなくてもよい。

（Ｅ−２）上記実施形態において、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とには、第２電極２４７が設けられていない。これに対して、第２領域Ｒ２と第４領域Ｒ４とのいずれか一方、または、両方に第２電極２４７が設けられていてもよい。

（Ｅ−３）上記実施形態において、第２位置Ｐｓ２における第２電極２４７のＸ方向の幅Ｗ２は、第１位置Ｐｓ１における第２電極２４７のＸ方向の幅Ｗ１よりも小さい。これに対して、幅Ｗ２が幅Ｗ１と等しくてもよいし、幅Ｗ２が幅Ｗ１より大きくてもよい。

（Ｅ−４）上記実施形態において、第２電極２４７は、第１位置Ｐｓ１から第２位置Ｐｓ２に向かって第１方向の幅が小さくなる部分であるテーパー部２４８を有している。これに対して、第２電極２４７は、テーパー部２４８を有していなくてもよい。

（Ｅ−５）上記実施形態において、第１位置Ｐｓ１は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央部に位置し、第２位置Ｐｓ２は、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の一端部に位置する。これに対して、第２位置Ｐｓ２が、第１位置Ｐｓ１よりも、Ｙ方向において圧力室２２１が延在する範囲の端に近い位置であるならば、例えば、第１位置Ｐｓ１がＹ方向における中央部でなくてもよい。また、同様に、第２位置Ｐｓ２がＹ方向における一端部でなくてもよい。更に、第１位置Ｐｓ１がＹ方向における中央部でなく、かつ、第２位置Ｐｓ２がＹ方向における一端部でなくてもよい。

（Ｅ−６）上記実施形態において、第５領域Ｒ５には第１電極２４６が設けられておらず、第６領域Ｒ６には、第１電極２４６が設けられている。これに対して、例えば、第５領域Ｒ５に相当する領域に第１電極２４６が設けられていてもよい。また、第６領域Ｒ６に相当する領域に第１電極２４６が設けられていなくてもよい。更に、第５領域Ｒ５に相当する領域に第１電極２４６が設けられ、かつ、第６領域Ｒ６に相当する領域に第１電極２４６が設けられていなくてもよい。

（Ｅ−７）上記実施形態において、第３位置Ｐｓ３はＸ方向において圧力室２２１が延在する範囲の中央部であり、第４位置Ｐｓ４はＸ方向において圧力室２２１内が延在する範囲の一端部である。これに対して、第４位置Ｐｓ４が、第３位置Ｐｓ３よりも、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲の端に近い位置であるならば、例えば、第３位置Ｐｓ３がＸ方向における中央部でなくてもよい。また、同様に、第４位置Ｐｓ４がＸ方向における一端部でなくてもよい。更に、第３位置Ｐｓ３がＸ方向における中央部でなく、かつ、第４位置Ｐｓ４がＸ方向における一端部でなくてもよい。

（Ｅ−８）上記実施形態において、第７領域Ｒ７と第８領域Ｒ８とには第１電極２４６が設けられている。これに対して、第７領域Ｒ７と第８領域Ｒ８とのいずれか一方、または、両方に第１電極２４６が設けられていなくてもよい。

（Ｅ−９）上記実施形態において、第９領域Ｒ９には第１電極２４６が設けられておらず、幅Ｗ２を有する第２電極２４７が設けられている。これに対して、例えば、第９領域Ｒ９に第１電極２４６が設けられていてもよい。また、第９領域Ｒ９において第２電極２４７は幅Ｗ２と異なる幅を有していてもよい。さらに、第９領域Ｒ９に第２電極２４７が設けられていなくてもよい。

（Ｅ−１０）上記実施形態において、第１電極２４６及び第２電極２４７は、Ｘ方向において圧力室２２１が延在する範囲内において、Ｚ方向に見て直線Ｌｓに対して線対称の形状を有している。これに対して、第１電極２４６と第２電極２４７とのいずれか一方、または、両方が、線対称の形状を有していなくてもよい。

Ｆ．他の形態：
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

（１）本開示の第１の形態によれば、第１方向に配列された複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子に対応する複数の圧力室が前記第１方向に並んで形成された圧力室基板と、を有する液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、圧電体と、複数の前記圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、複数の前記圧電体に対して個別に設けられた第２電極と、を備え、前記圧電素子は、前記圧力室基板に前記圧電素子が積層されている積層方向に見て、第１領域と、第２領域と、第３領域と、第４領域と、を有する。前記第１方向と交差する第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第１位置とし、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第１位置よりも、前記第２方向において前記圧力室の端に近い位置を第２位置とし、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第３位置とし、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第３位置よりも、前記第１方向において前記圧力室の端に近い位置を第４位置とする。前記第１領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第２領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、前記第３領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第４領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、前記第１領域には、前記第１電極と前記第２電極とが前記積層方向に重なって設けられ、前記第２領域と前記第４領域とには、前記第１電極が設けられ、前記第３領域には、前記第１電極が設けられていない。
このような形態によれば、圧力室の第１方向の端部付近における応力集中が第１電極によって抑制され、圧力室の第１方向の端部付近におけるクラックが抑制される。また、圧力室の第２方向の端部付近に対応する第３領域が非能動領域に含まれるため、能動領域が圧力室の第２方向の端部付近に位置することに起因する応力集中が抑制され、圧力室の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。

（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３領域には、前記第２電極が設けられていてもよい。このような形態によれば、第２方向において、それぞれの圧力室が延在する範囲の端部付近に対して、個別電極である第２電極がそれぞれ設けられるため、圧力室の第２方向の端部付近におけるクラックが更に抑制される。

（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２領域と前記第４領域とには、前記第２電極が設けられていなくてもよい。このような形態によれば、圧力室の第１方向における端部付近に対応する領域である第２領域と第４領域とが非能動領域となるため、圧力室の第１方向における端部付近でのクラックが更に抑制される。

（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３領域には、前記第２電極が設けられ、前記第２位置における前記第２電極の前記第１方向の幅は、前記第１位置における前記第２電極の前記第１方向の幅よりも小さくてもよい。このような形態によれば、第２電極を、第２方向において圧力室が延在する範囲の端部付近まで延在させることができ、かつ、圧力室の容積変化に寄与しにくい第２電極の割合を減少させることで、配置された第２電極の量に対する圧力室の容積変化量を向上させることができる。

（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２電極は、前記第１位置から前記第２位置に向かって前記第１方向の幅が小さくなる部分を有していてもよい。このような形態によれば、圧力室の第２方向における端部付近での応力集中が緩和され、クラックが抑制される。

（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１位置は、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲の中央部に位置し、前記第２位置は、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲の一端部に位置していてもよい。このような形態によれば、圧力室内の第２方向における中央部において圧力室の容積を効率よく変化させることができ、かつ、圧力室内の第２方向における端部でのクラックを抑制できる。

（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記積層方向に見て、第５領域と、第６領域と、を有し、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲の他端部に位置する特定の位置を第５位置としたとき、前記第５領域は、前記第２方向における位置が前記第５位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第６領域は、前記第２方向における位置が前記第５位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、前記第５領域には、前記第１電極が設けられておらず、前記第６領域には、前記第１電極が設けられていてもよい。このような形態によれば、圧力室の第２方向の他端部に対応する第５領域が非能動領域に含まれるため、圧力室の第２方向の他端部においてもクラックが抑制される。また、圧力室の第２方向の他端部においても、圧力室の第１方向の端部付近における応力集中が第１電極によって抑制され、圧力室の第１方向の端部付近におけるクラックが更に抑制される。

（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３位置は、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲の中央部に位置し、前記第４位置は、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲の一端部に位置していてもよい。このような形態によれば、圧力室の第１方向における中央部において圧力室の容積を効率よく変化させることができ、かつ、圧力室の第１方向における端部でのクラックを抑制できる。

（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記積層方向に見て、第７領域と、第８領域と、を有し、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲の他端部に位置する特定の位置を第６位置としたとき、前記第７領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第６位置である領域であり、前記第８領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第６位置である領域であり、前記第７領域と前記第８領域とには、前記第１電極が設けられていてもよい。このような形態によれば、圧力室内の第１方向の他端部における応力集中が第１電極によって抑制され、圧力室の第１方向の他端部においてもクラックが抑制される。

（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記積層方向に見て第９領域を有し、前記第９領域は、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲の外部に位置し、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第９領域には、前記第１電極が設けられていなくてもよい。このような形態によれば、圧力室の第２方向における外部に対応する第９領域が非能動領域に含まれるため、能動領域が圧力室の第２方向における外部の領域に位置することに起因する応力集中が抑制され、圧力室の第２方向における外部の領域でのクラックが抑制される。

（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第９領域には、前記第２電極が設けられていてもよい。このような形態によれば、それぞれの圧力室の第２方向における外部に対応する第９領域まで延在するように、個別電極である第２電極がそれぞれ設けられるため、圧力室の第２方向における外部の領域でのクラックが抑制される。

（１２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第４領域の少なくとも一部において、前記積層方向に見て、前記第１電極と前記圧電体とが重なって設けられていてもよい。このような形態によれば、圧力室の第１方向及び第２方向の端部付近における応力集中が第１電極及び圧電体によって抑制され、圧力室の第１方向及び第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。

（１３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第４領域において、前記積層方向に見て、前記第１電極と前記圧電体とが重なって設けられていなくてもよい。このような形態によれば、簡易な構成によって、第３領域に第１電極を配置することなく、かつ、第１領域と第２領域と第３領域とに第１電極を配置することができる。

（１４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記積層方向において前記圧力室基板から遠ざかる方向に向かって、前記第１電極と、前記圧電体と、前記第２電極と、が順に重なって形成されていてもよい。このような形態によれば、第１電極がいわゆる下部電極であり、第２電極がいわゆる上部電極であっても、圧力室の第１方向の端部付近及び圧力室の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。そのため、圧電素子の構成の自由度が高まる。

（１５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、前記積層方向において前記圧力室基板から遠ざかる方向に向かって、前記第２電極と、前記圧電体と、前記第１電極と、が順に重なって形成されていてもよい。このような形態によれば、第１電極がいわゆる上部電極であり、第２電極がいわゆる下部電極であっても、圧力室の第１方向の端部付近及び圧力室の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。そのため、圧電素子の構成の自由度が高まる。

（１６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３位置において前記第１電極が前記第２方向に延在する幅は、前記第４位置において前記第１電極が前記第２方向に延在する幅よりも小さくてもよい。このような形態によれば、簡易な構成によって、第３領域に第１電極を配置することなく、かつ、第１領域と第２領域と第３領域とに第１電極を配置することができる。

（１７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１電極及び前記第２電極は、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内において、前記積層方向に見て、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲の中央を通る直線に対して線対称の形状を有していてもよい。このような形態によれば、圧力室の第１方向における剛性のバランスが保たれるため、圧力室の耐久性が向上する。

（１８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子と前記圧力室基板の間に設けられた振動板を更に有していてもよい。このような形態によれば、液体吐出ヘッドが振動板を有する場合であっても、圧力室の第１方向の端部付近及び圧力室の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。

（１９）本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の形態における液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を備える。
このような形態によれば、圧力室の第１方向の端部付近における応力集中が第１電極によって抑制され、圧力室の第１方向の端部付近におけるクラックが抑制される。また、圧力室の第２方向の端部付近である第３領域が非能動領域に含まれるため、能動領域が圧力室の第２方向の端部付近に位置することに起因する応力集中が抑制され、圧力室の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。

（２０）本開示の第３の形態によれば、圧力室基板に第１方向に配列して形成された複数の圧力室に対応するように、前記第１方向に配列された複数の圧電素子を有するアクチュエーターが提供される。このアクチュエーターにおいて、前記圧電素子は、圧電体と、複数の前記圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、複数の前記圧電体に対して個別に設けられた第２電極と、を備え、前記圧電素子は、前記圧力室基板に前記圧電素子が積層されている積層方向に見て、第１領域と、第２領域と、第３領域と、第４領域と、を有する。前記第１方向と交差する第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第１位置とし、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第１位置よりも、前記第２方向において前記圧力室の端に近い位置を第２位置とし、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第３位置とし、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第３位置よりも、前記第１方向において前記圧力室の端に近い位置を第４位置とする。前記第１領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第２領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、前記第３領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、前記第４領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、前記第１領域には、前記第１電極と前記第２電極とが前記積層方向に重なって設けられ、前記第２領域と前記第４領域とには、前記第１電極が設けられ、前記第３領域には、前記第１電極が設けられていない。
このような形態によれば、圧力室の第１方向の端部付近における応力集中が第１電極によって抑制され、圧力室の第１方向の端部付近におけるクラックが抑制される。また、圧力室の第２方向の端部付近である第３領域が非能動領域に含まれるため、能動領域が圧力室の第２方向の端部付近に位置することに起因する応力集中が抑制され、圧力室の第２方向の端部付近におけるクラックが抑制される。

本開示は、上述した液体吐出ヘッド、液体吐出装置やアクチュエーターとしての形態に限らず、液体吐出システムや、液体吐出装置を備える複合機等の種々の態様で実現可能である。

４０…キャリッジ、４１…フレキシブルケーブル、４６…駆動モーター、４７…駆動ベルト、５１…搬送モーター、５５…プラテン、８０…インクカートリッジ、９０…駆動回路、１００…液体吐出装置、１１０…制御部、２００…液体吐出ヘッド、２１０…ノズル板、２１１…ノズル、２２０…圧力室基板、２２１…圧力室、２２３…インク供給路、２２５…連通部、２３０，２３０ｂ，２３０ｃ，２３０ｄ…圧電部、２３１…振動板、２３２…可撓層、２３３…保護層、２４０，２４０ｂ，２４０ｃ，２４０ｄ…圧電素子、２４５…圧電体、２４６，２４６ｂ，２４６ｃ，２４６ｄ…第１電極、２４７，２４７ｃ…第２電極、２４８…テーパー部、２５０…封止部、２５１…圧電素子保持部、２５２…マニホールド部、２７０…マニホールド

Claims (20)

1. 第１方向に配列された複数の圧電素子と、
   前記複数の圧電素子に対応する複数の圧力室が前記第１方向に並んで形成された圧力室基板と、を有する液体吐出ヘッドであって、
   前記圧電素子は、圧電体と、複数の前記圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、複数の前記圧電体に対して個別に設けられた第２電極と、を備え、
   前記圧電素子は、前記圧力室基板に前記圧電素子が積層されている積層方向に見て、第１領域と、第２領域と、第３領域と、第４領域と、を有し、
   前記第１方向と交差する第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第１位置とし、
   前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第１位置よりも、前記第２方向において前記圧力室の端に近い位置を第２位置とし、
   前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第３位置とし、
   前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第３位置よりも、前記第１方向において前記圧力室の端に近い位置を第４位置としたとき、
   前記第１領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、
   前記第２領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、
   前記第３領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、
   前記第４領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、
   前記第１領域には、前記第１電極と前記第２電極とが前記積層方向に重なって設けられ、
   前記第２領域と前記第４領域とには、前記第１電極が設けられ、
   前記第３領域には、前記第１電極が設けられていないことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第３領域には、前記第２電極が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第２領域と前記第４領域とには、前記第２電極が設けられていないことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第３領域には、前記第２電極が設けられ、
   前記第２位置における前記第２電極の前記第１方向の幅は、前記第１位置における前記第２電極の前記第１方向の幅よりも小さいことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第２電極は、前記第１位置から前記第２位置に向かって前記第１方向の幅が小さくなる部分を有する、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１位置は、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲の中央部に位置し、
   前記第２位置は、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲の一端部に位置することを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記圧電素子は、前記積層方向に見て、第５領域と、第６領域と、を有し、
   前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲の他端部に位置する特定の位置を第５位置としたとき、
   前記第５領域は、前記第２方向における位置が前記第５位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、
   前記第６領域は、前記第２方向における位置が前記第５位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、
   前記第５領域には、前記第１電極が設けられておらず、
   前記第６領域には、前記第１電極が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第３位置は、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲の中央部に位置し、
   前記第４位置は、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲の一端部に位置することを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記圧電素子は、前記積層方向に見て、第７領域と、第８領域と、を有し、
   前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲の他端部に位置する特定の位置を第６位置としたとき、
   前記第７領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第６位置である領域であり、
   前記第８領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第６位置である領域であり、
   前記第７領域と前記第８領域とには、前記第１電極が設けられていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記圧電素子は、前記積層方向に見て第９領域を有し、
    前記第９領域は、前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲の外部に位置し、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、
    前記第９領域には、前記第１電極が設けられていないことを特徴とする請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第９領域には、前記第２電極が設けられていることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第４領域の少なくとも一部において、前記積層方向に見て、前記第１電極と前記圧電体とが重なって設けられていることを特徴とする請求項１から請求項１１までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記第４領域に、前記積層方向に見て、前記第１電極と前記圧電体とが重なって設けられていないことを特徴とする請求項１から請求項１１までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記圧電素子は、前記積層方向において前記圧力室基板から遠ざかる方向に向かって、前記第１電極と、前記圧電体と、前記第２電極と、が順に重なって形成されていることを特徴とする請求項１から請求項１３までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記圧電素子は、前記積層方向において前記圧力室基板から遠ざかる方向に向かって、前記第２電極と、前記圧電体と、前記第１電極と、が順に重なって形成されていることを特徴とする請求項１から請求項１３までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
16. 前記第３位置において前記第１電極が前記第２方向に延在する幅は、前記第４位置において前記第１電極が前記第２方向に延在する幅よりも小さいことを特徴とする請求項１から請求項１５までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
17. 前記第１電極及び前記第２電極は、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内において、前記積層方向に見て、前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲の中央を通る直線に対して線対称の形状を有することを特徴とする、請求項１から請求項１６までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
18. 前記圧電素子と前記圧力室基板の間に設けられた振動板を更に有することを特徴とする請求項１から請求項１７までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
19. 請求項１から請求項１８までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を備えることを特徴とする液体吐出装置。
20. 圧力室基板に第１方向に配列して形成された複数の圧力室に対応するように、前記第１方向に配列された複数の圧電素子を有するアクチュエーターであって、
    前記圧電素子は、圧電体と、複数の前記圧電体に対して共通に設けられた第１電極と、複数の前記圧電体に対して個別に設けられた第２電極と、を備え、
    前記圧電素子は、前記圧力室基板に前記圧電素子が積層されている積層方向に見て、第１領域と、第２領域と、第３領域と、第４領域と、を有し、
    前記第１方向と交差する第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第１位置とし、
    前記第２方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第１位置よりも、前記第２方向において前記圧力室の端に近い位置を第２位置とし、
    前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置を第３位置とし、
    前記第１方向において前記圧力室が延在する範囲内の特定の位置であって、前記第３位置よりも、前記第１方向において前記圧力室の端に近い位置を第４位置としたとき、
    前記第１領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、
    前記第２領域は、前記第２方向における位置が前記第１位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、
    前記第３領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第３位置である領域であり、
    前記第４領域は、前記第２方向における位置が前記第２位置であり、前記第１方向における位置が前記第４位置である領域であり、
    前記第１領域には、前記第１電極と前記第２電極とが前記積層方向に重なって設けられ、
    前記第２領域と前記第４領域とには、前記第１電極が設けられ、
    前記第３領域には、前記第１電極が設けられていないことを特徴とするアクチュエーター。

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