JP2021139001A - 蒸着マスクユニットの作製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の実施形態の一つに係る蒸着マスクユニット100の作製方法について説明する。
本作製方法によって作製される蒸着マスクユニット100は、有機化合物、無機化合物、または有機化合物と無機化合物を含む膜を蒸着法によって形成する際、目的とする蒸着領域に選択的に膜を形成するために用いることができる。図1(A)と図1(B)に、蒸着による膜形成の際に用いられる典型的な蒸着装置の模式的上面図と側面図を示す。蒸着装置は、種々の機能を有する複数のチャンバーで構成される。チャンバーの一つが図1(A)に示す蒸着チャンバー160であり、蒸着チャンバー160は、隣接するチャンバーとロードロック扉162で仕切られ、内部が高真空の減圧状態、あるいは窒素やアルゴンなどの不活性ガスで満たされた状態が維持されるよう構成される。したがって、図示しない減圧装置やガス吸排気機構などが蒸着チャンバー160に接続される。
蒸着マスクユニット100の上面模式図を図2に、図2の鎖線A−A´に沿った断面模式図を図3に示す。蒸着マスクユニット100は少なくとも一つ、または複数の蒸着マスク102を有する。以下の説明では、一つの蒸着マスクユニット100が複数の蒸着マスク102を有する例を用いて説明する。
蒸着マスクユニット100の作製方法の一例を図4(A)から図8(B)を用いて説明する。これらの図は蒸着マスクユニット100の模式的断面図であり、図3に対応する。
3−1.蒸着マスクの形成
まず、剥離層132が設けられた支持基板130上に、レジストマスク134を形成する。支持基板130は、蒸着マスクユニット100を形成する際に蒸着マスク102や支持フレーム110を保持する機能を有する基板であり、ガラスや石英、プラスチック、あるいは銅やアルミニウム、チタン、鉄、ニッケル、コバルト、クロム、モリブデン、マンガンなどの金属、若しくはこれらの合金を含む。蒸着マスク102が合金を含む場合、合金は、例えば鉄とクロムを含む合金、鉄、ニッケル、およびマンガンの合金でもよく、合金には炭素が含まれていてもよい。ガラスや石英、プラスチックを含む基板を用いる場合には、上述した金属や合金の膜が形成された基板を用いてもよい。後述するように、蒸着マスク102や接続部120は、電解めっき法または無電解めっき法(以下、これらを総じてめっき法と記す)を用いて形成されるため、電解めっき法を利用する場合には、電極として機能できる金属基板または合金基板を支持基板130として使用することが好ましい。剥離層132は、支持基板130上に形成される蒸着マスクユニット100を支持基板から剥離することを促進するための機能層であり、例えばニッケルやモリブデン、タングステンなどの金属薄膜を用いることができる。剥離層132は、例えば20μm以上200μm以下、または40μm以上150μm以下の厚さとなるよう、めっき法、スパッタリング法、または化学気相堆積(CVD)法を利用して形成すればよい。
ダミーパターン104上には支持フレーム110が配置され、その後めっき法によって接続部120が形成されることで蒸着マスク102と支持フレーム110が互いに固定される。したがって、接続部120の形成の際に開口102aに金属がめっきされることを防ぐため、後述するように開口102aを覆うレジストマスク150を形成する。
引き続き、図7(B)に示すように、支持フレーム110を蒸着マスク102、およびダミーパターン104上に配置する。支持フレーム110は、窓110aが複数の開口102aと重なるように配置される。換言すると、支持フレーム110が開口102aのいずれとも重ならず、非開口部と重なり、複数のレジストマスク150がそれぞれ対応する窓110aから露出するよう、蒸着マスク102上に配置される。
本実施例では、上述した蒸着マスクユニット100製造方法の変形例について説明する。以下の変形例では、第1実施形態で述べた方法や構造と同様または類似する方法や構成については説明を割愛することがある。
まず、第1実施形態と同様に、複数の開口102aを備える蒸着マスク102を作製する(図4(C))。その後、レジストフィルム136から剥離膜136aを剥離し、光硬化性樹脂膜136bが蒸着マスク102と保護膜136cに挟まれるよう、蒸着マスク102上にレジストフィルム136を配置する(図5(B))。レジストフィルム136は、複数の開口102aの全てを覆うように設けられる。
本変形例でも、変形例1と同様、複数のレジストフィルムが用いられる。ただし、一回目の露光で光硬化性樹脂膜136bのみを露光した後、二回目の露光を光硬化性樹脂膜136bと第2の光硬化性樹脂膜140bに対して行う点が変形例1と異なる点である。
本変形例でも、変形例1、2と同様、複数のレジストフィルムを用いる。ただし、各露光後に現像を行う点で変形例1や2と異なる。
Claims (20)
- 複数の開口を有する蒸着マスクを形成すること、
光硬化性樹脂膜と保護膜を有するレジストフィルムを、前記光硬化性樹脂膜が前記蒸着マスクと前記保護膜によって挟まれるように、かつ前記光硬化性樹脂膜が前記複数の開口を覆うように前記蒸着マスク上に配置すること、
前記保護膜を介して前記光硬化性樹脂膜に第一露光を実施すること、
前記保護膜を除去すること、
前記保護膜を除去した後に前記光硬化性樹脂膜に第二露光を実施すること、
前記光硬化性樹脂膜を現像することで複数のレジストマスクを形成すること、
少なくとも一つの窓を有する支持フレームを、前記蒸着マスクに接するように、前記蒸着マスク上に配置すること、および
前記支持フレームを前記蒸着マスクに固定する接続部をめっき法を用いて形成することを含む、蒸着マスクユニットを作製する方法。 - 前記第一露光、および前記第二露光は、同一のフォトマスクを介して行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記保護膜は、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリエステル、ポリスチレン、またはフッ素含有ポリオレフィンを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記支持フレームは、鉄とニッケルを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記接続部の形成は、前記接続部の厚さが前記複数のレジストマスクの厚さ以下となるように行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも一つの窓は複数の窓を含み、
前記支持フレームは、前記複数のレジストマスクの少なくとも一つが前記複数の窓の一つから露出するように前記蒸着マスク上に配置される、請求項1に記載の方法。 - 複数の開口を有する蒸着マスクを形成すること、
前記複数の開口を覆うように第1の光硬化性樹脂膜を前記蒸着マスク上に配置すること、
第2の光硬化性樹脂膜と保護膜を有するレジストフィルムを、前記第2の光硬化性樹脂膜が前記蒸着マスクと前記保護膜によって挟まれるように、かつ前記第2の光硬化性樹脂膜が前記複数の開口を覆うように前記第1の光硬化性樹脂膜上に配置すること、
前記保護膜を介して前記第1の光硬化性樹脂膜と第2の光硬化性樹脂膜に第一露光を実施すること、
前記保護膜を除去すること、
前記保護膜を除去した後に前記第1の光硬化性樹脂膜と第2の光硬化性樹脂膜に第二露光を実施すること、
前記前記第1の光硬化性樹脂膜と第2の光硬化性樹脂膜を現像することで複数のレジストマスクを形成すること、
少なくとも一つの窓を有する支持フレームを、前記蒸着マスクに接するように、前記蒸着マスク上に配置すること、および
前記支持フレームを前記蒸着マスクに固定する接続部をめっき法を用いて形成することを含む、蒸着マスクユニットを作製する方法。 - 前記第一露光、および前記第二露光は、同一のフォトマスクを介して行われる、請求項7に記載の方法。
- 前記保護膜は、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリエステル、ポリスチレン、またはフッ素含有ポリオレフィンを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記支持フレームは、鉄とニッケルを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記接続部の形成は、前記接続部の厚さが前記複数のレジストマスクの厚さ以下となるように行われる、請求項7に記載の方法。
- 前記少なくとも一つの窓は複数の窓を含み、
前記支持フレームは、前記複数のレジストマスクの少なくとも一つが前記複数の窓の一つから露出するように前記蒸着マスク上に配置される、請求項7に記載の方法。 - 複数の開口を有する蒸着マスクを形成すること、
第1の光硬化性樹脂膜と第1の保護膜を有する第1のレジストフィルムを、前記第1の光硬化性樹脂膜が前記蒸着マスクと前記第1の保護膜によって挟まれるように、かつ前記第1の光硬化性樹脂膜が前記複数の開口を覆うように前記蒸着マスク上に配置すること、
前記第1の保護膜を介して前記第1の光硬化性樹脂膜に第一露光を実施すること、
前記第1の保護膜を除去すること、
前記複数の開口を覆うように第2の光硬化性樹脂膜を有する第2のレジストフィルムを前記第1の光硬化性樹脂膜上に配置すること、
前記第1の光硬化性樹脂膜と前記第2の光硬化性樹脂膜に第二露光を実施すること、
前記前記第1の光硬化性樹脂膜と第2の光硬化性樹脂膜を現像することで複数のレジストマスクを形成すること、
少なくとも一つの窓を有する支持フレームを、前記蒸着マスクに接するように、前記蒸着マスク上に配置すること、および
前記支持フレームを前記蒸着マスクに固定する接続部をめっき法を用いて形成することを含む、蒸着マスクユニットを作製する方法。 - 前記第一露光、および前記第二露光は、同一のフォトマスクを介して行われる、請求項13に記載の方法。
- 前記第1の保護膜は、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリエステル、ポリスチレン、またはフッ素含有ポリオレフィンを含む、請求項13に記載の方法。
- 前記第2のレジストフィルムは第2の保護膜を含み、
前記第1の保護膜を除去した後の前記第1の光硬化性樹脂膜と第2の光硬化性樹脂膜の前記第二露光は、前記第2の保護膜を介して行われる、請求項13に記載の方法。 - 前記第2の保護膜は、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリエステル、ポリスチレン、またはフッ素含有ポリオレフィンを含む、請求項16に記載の方法。
- 前記支持フレームは、鉄とニッケルを含む、請求項13に記載の方法。
- 前記接続部の形成は、前記接続部の厚さが前記複数のレジストマスクの厚さ以下となるように行われる、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも一つの窓は複数の窓を含み、
前記支持フレームは、前記複数のレジストマスクの少なくとも一つが前記複数の窓の一つから露出するように前記蒸着マスク上に配置される、請求項13に記載の方法。
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