JP2020145316A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1.半導体装置
図1は、第1の実施形態の半導体装置100の概略構成を示す図である。半導体装置100は、縦型MOSFETである。図1に示すように、半導体装置100は、GaN基板110と、第1半導体層120と、第2半導体層130と、第3半導体層140と、第4半導体層150と、ボディ電極B1と、ドレイン電極D1と、ソース電極S1と、ゲート電極G1と、ゲート絶縁膜F1と、を有する。
図2は、第1の実施形態の半導体装置100の電極構造を示す図である。図2は、半導体装置100が基板に実装されている様子を示している。図2において、実際には、半導体装置100から基板のリードフレームL1までが描かれている。図2は、半導体装置100の電極構造を見やすくするためにドレイン電極D1の積層構造が拡大して描かれている。
図3は、第1の実施形態の半導体装置100に流れるドレイン電流Idを示す図である。ゲート電極G1が所定の電位となったときに、ドレイン電極D1からソース電極S1に向かって電流が流れる。これがドレイン電流Idである。
半導体装置100のドレイン電極D1においては、Ti層D1cとTiN層D1dとTi層D1eとが、Ag層D1gのAgの拡散を防止する。そのため、Ag層D1gのAgがGaN基板110に悪影響を及ぼすおそれがほとんどない。
5−1.Al含有層
Al層D1bの代わりにAlを含有するAl含有層を用いてもよい。Al含有層として例えば、AlSi合金が挙げられる。もちろん、その他の合金を用いてもよい。
Ag層D1gの代わりにAgを含有するAg含有層を用いてもよい。
第3半導体層140に第1導電型(n型)とする不純物と第2導電型(p型)とする不純物とをドープしてもよい。n型にする不純物は、例えばSiである。p型にする不純物は、例えばMgである。ただし、第3半導体層140における第2導電型となる不純物の濃度が、第3半導体層140における第1導電型となる不純物の濃度より高い。
上記の変形例を自由に組み合わせてよい。
第2の実施形態について説明する。第1の実施形態と第2の実施形態との相違点は、GaN基板である。そのため、相違点を中心に説明する。
図4は、第2の実施形態の半導体装置200の概略構成を示す図である。半導体装置200は、縦型MOSFETである。図4に示すように、半導体装置200は、GaN基板210と、第1半導体層120と、第2半導体層130と、第3半導体層140と、第4半導体層150と、ボディ電極B1と、ドレイン電極D1と、ソース電極S1と、ゲート電極G1と、ゲート絶縁膜F1と、を有する。
GaN基板210は、第2面210bに複数の凸部211を有する。凸部211は、第2面210bにわたってランダムに形成されている。凸部211は、円錐形状または円錐形状に近い形状である。凸部211の高さは、例えば、1000nm以上2000nm以下である。凸部211の底部の幅は、例えば、500nm以上1000nm以下である。もちろん、これらの数値範囲は上記以外であってもよい。第2面210bは−c面と凸部211とを有する。
3−1.凹凸形状形成工程
GaN基板の裏面に凹凸形状を形成する。そのためにGaN基板をTMAHでウェットエッチングする。この処理におけるTMAHの温度は、例えば、40℃以上90℃以下である。処理時間は、例えば、2分以上10分以下である。
GaN基板210の第1面210aの上に第1半導体層120と、第2半導体層130と、第3半導体層140と、第4半導体層150と、を成長させる。そのために、例えば、MOCVD法を用いればよい。
次に、リセスR1およびトレンチT1を形成する。そのためにICP等のドライエッチングを用いればよい。
次に、ゲート絶縁膜F1を形成する。その後、ゲート電極G1、ボディ電極B1、ソース電極S1、ドレイン電極D1を形成する。そのために、スパッタリング、EB蒸着法または抵抗加熱蒸着法を用いればよい。
次に、熱処理工程を実施する。熱処理温度は、例えば、350℃以上600℃以下である。熱処理時間は、例えば、15分以上1時間以下である。これらは目安であり、上記以外の熱処理条件を用いてもよい。これにより、半導体と電極との間でオーミック接触が得られる。
また、保護膜形成工程等、その他の工程を実施してもよい。
GaN基板210の第2面210bに複数の凸部211があるため、ドレイン電極D1は、GaN基板210に好適に接触する。つまり、ドレイン電極D1とGaN基板210との間の接触抵抗は、第1の実施形態に比べて低い。
5−1.凸部の形状
凸部211の形状は円錐形状である。しかし、凸部は、六角錐形状の凸部であってもよい。または、その他の多角錐形状であってもよい。また、凸部の代わりに、凹部であってもよい。このようにGaN基板210の第2面210bは、凹凸を有する。
第1の実施形態の変形例を用いてもよい。
1.実験1(GaN基板への影響)
1−1.サンプルの製作
表1の構造1から構造5までに示す電極構造を有する5種類のサンプルを製作した。表1における数値は各層の膜厚(nm)を示している。電極部分の観察であるため、サファイア基板を用いた。表1では、サファイア基板は「Sap」と表記されている。構造1から構造4までにおいて、サファイア基板の側から順に、Ti、AlSi、Ti、TiN、Ti、Ni、Agを形成した。構造5においては、サファイア基板の側から順に、Ti、AlSi、Ni、Agを形成した。
表1に示すように、構造1から構造5までの電極構造を有するサンプルが変色するか否かをサファイア基板側からの目視により確認した。表1に示すように、構造1および構造2においては、変色は見られなかった。構造3から構造5では、変色が見られた。ここで、変色があった場合には、電極のうちのAgがサファイア基板の表面まで移動したと考えられる。そのため、構造1および構造2のように、TiN層が1000nmまたは5000nmの場合には、GaN基板にダメージを与えるおそれがないと考えられる。つまり、TiN層の膜厚は、500nm以上6000nm以下であるとよい。
構造1 構造2 構造3 構造4 構造5
基板 Sap Sap Sap Sap Sap
Ti 30 30 30 30 30
AlSi 300 300 300 300 300
Ti 20 20 20 20 −
TiN 5000 1000 200 50 −
Ti 20 20 20 20 −
Ni 500 500 500 500 500
Ag 2000 2000 2000 2000 2000
変色 無し 無し 有り 有り 有り
上記の結果をGaN基板を用いて確認した。GaN基板から順に、Ti、AlSi、Ti、TiN、Ti、Agを積層した。このようにNiが存在しない場合に、断面画像においてAgを着色した場合に、GaN基板の表面に着色部分が発生した。このように、AgがGaN基板の表面に移動していることを確認した。Ni層は、Agの拡散を防止する。
2−1.サンプルの製作
表2の構造6から構造8に示す電極構造を有する3種類のサンプルを製作した。表2における数値は各層の膜厚(nm)および強度(MPa)を示している。表2の構造6の電極構造は、表1の構造2の電極構造と同じである。ただし、これらの構造に対して、Sn−Ni−Cu系の鉛フリー半田を用いて、金属板(フレーム)に半田接合した。
表2の3種類のサンプルに対してダイシェア強度を測定した。表2に示すように、構造6の強度は33.9MPaであった。構造7の強度は33.4MPaであった。構造8の強度は7.2〜8.0MPaであった。構造8では、電極が容易に剥がれた。したがって、電極と半田とを好適に接合するためには、Ni層が必要である。
構造6 構造7 構造8
基板 GaN GaN GaN
Ti 30 30 30
AlSi 300 300 300
Ti 20 20 10
TiN 1000 − 1000
Ti 20 − 10
Ni 500 500 −
Ag 2000 2000 5000
半田 有り 有り 有り
金属板 有り 有り 有り
強度 33.9MPa 33.4MPa 7.2〜8.0MPa
3−1.サンプルの製作
図5に示す構造のサンプルを製作した。つまり、n型GaNであるGaN基板の−c面に表2の電極を形成し、GaN基板の+c面にショットキー電極を形成した。電極構造は、表2の構造6から構造8までの3種類と同じ構造を採用した。3種類のサンプルに対して窒素雰囲気下において450℃で30分の熱処理を行った。ショットキー電極は、GaNから膜厚200nmのNi層、Ni層の上に膜厚20nmのMo層を形成したものであった。
その後、300℃の温度環境下に放置し、電気抵抗の変化を測定した。
図6は、300℃の温度環境下におく時間と電気抵抗との関係を示すグラフである。図6の横軸は300℃の温度環境下にサンプルを放置する時間である。図6の縦軸はサンプルの電気抵抗である。ここで、構造6のサンプルにおける0時間の電気抵抗値を基準の1とするよう規格化を行った。
GaN基板の裏面に第1の実施形態の電極構造を形成することにより、GaN基板の好適な裏面電極が得られた。つまり、この電極構造は、GaN基板に悪影響を及ぼすことなく、半田と十分に密着し、高温条件下での電気抵抗の上昇を抑制する。
第1の態様における半導体装置は、第1面と第2面とを有するGaN基板と、GaN基板の第1面の上のIII 族窒化物半導体層と、GaN基板の第2面の上の第1電極と、を有する縦型半導体装置である。第1面は+c面である。第2面は第1面の反対側の面である。第1電極は、第2面の側から順に、Ti層、Al含有層、Ti層、TiN層、Ti層、Ni層、Ag含有層を有する。
110…GaN基板
110a…第1面
110b…第2面
120…第1半導体層
130…第2半導体層
140…第3半導体層
150…第4半導体層
B1…ボディ電極
D1…ドレイン電極
S1…ソース電極
G1…ゲート電極
Claims (3)
- 第1面と第2面とを有するGaN基板と、
前記GaN基板の前記第1面の上のIII 族窒化物半導体層と、
前記GaN基板の前記第2面の上の第1電極と、
を有する縦型半導体装置において、
前記第1面は+c面であり、
前記第2面は前記第1面の反対側の面であり、
前記第1電極は、
前記第2面の側から順に、Ti層、Al含有層、Ti層、TiN層、Ti層、Ni層、Ag含有層を有すること
を含む半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記TiN層の膜厚は、
500nm以上6000nm以下であること
を含む半導体装置。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体装置において、
前記GaN基板の前記第2面は、
凹凸を有すること
を含む半導体装置。
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