JP2020090723A - 硬質皮膜被覆部材及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明の実施形態1に係る硬質皮膜被覆部材1について説明する。図1に示すように、本実施形態に係る硬質皮膜被覆部材1は、TiAl金属間化合物からなる基材10と、当該基材10の表面11を被覆する硬質皮膜20と、を主に有している。
次に、本発明の実施形態2に係る硬質皮膜被覆部材及びその製造方法について説明する。実施形態2に係る硬質皮膜被覆部材は、基本的に上記実施形態1に係る硬質皮膜被覆部材1と同様の構成を備え且つ同様の効果を奏するものであるが、基材10がTi合金からなる点で上記実施形態1に係る硬質皮膜被覆部材1とは異なっている。また実施形態2に係る硬質皮膜被覆部材の製造方法は、基本的に上記実施形態1に係る硬質皮膜被覆部材の製造方法と同様に実施され且つ同様の効果を奏するものであるが、Ti合金からなる基材10を成膜対象物として用いると共に、成膜工程S40において基材10に印加するバイアス電圧の条件が上記実施形態1に係る硬質皮膜被覆部材の製造方法とは異なっている。以下、実施形態1と異なる点についてのみ説明する。
<硬質皮膜の成膜>
図3に示す構成を備えた成膜装置(株式会社神戸製鋼所製 AIPSS002)を用いて、上記実施形態1で説明したアークイオンプレーティング法により、TiAlNからなる硬質皮膜を基材上に形成した。
上述のようにして成膜した硬質皮膜の残留応力を、以下の通りX線回折法により測定した。X線ビームの入射角度を5°に固定し、2θをスキャンすることにより、TiAlN膜の(111)、(200)、(220)、(311)、(222)、(331)及び(420)の各結晶面由来の回折線ピークを測定し、測定された各ピークの標準回折位置からのズレを歪として計算した。この標準回折位置は、TiAlNをTiNとAlNの混合物として仮定し、TiN、立方晶AlNの各格子定数(0.424nm、0.412nm)とTi、Alの各原子比(50at%)とに基づいてTiAlNの格子定数を算出し(0.418nm)、当該格子定数から算出したものである。そして、当該歪を各回折線からのψ角と共にプロットし、multiple hkl法によりTiAlN膜の残留応力を計算した(根津他、リガクジャーナル、45巻、1号、2014年参照)。X線源はCuKα(1.54059Å)とし、励起電圧を40kV−40mA、スキャン速度を2°/minとして測定を行った。また残留応力計算時におけるTiAlN膜のヤング率及びポワソン比は各々500GPa及び0.22とした。
成膜後の疲労試験片3を用いて、応力比0.1、応力幅190MPa、周波数20Hzの条件下において常温で疲労試験を行い、破断に至るまでのサイクル数を疲労寿命として測定した。具体的には、疲労試験片3に対して正弦波状に変化する引張応力を付与し、その周期を1サイクルとした。「応力比」とは引張応力の最大値に対する引張応力の最小値の比であり、「応力幅」とは「((引張応力の最大値)−(引張応力の最小値))/2」の値である。なお、疲労試験のサイクル数が107回に達してもなお疲労破断が起こらなかった場合には、その時点で試験を終了した。また成膜なしの疲労試験片3についても同様に疲労試験を行った。
疲労試験片3として、Ti合金(Ti−6Al−2Sn−4Zr−2Mo−0.1Si)からなるものを使用し、疲労試験の条件を、応力比0.1、応力幅234MPa又は400MPa、周波数20Hzとした点以外は、上記実施例1と同様である。
2 成膜装置
10 基材
11 表面
20 硬質皮膜
34 ステージ
Claims (7)
- TiAl金属間化合物からなると共に引張応力が繰り返し加わる条件下で使用される基材と、
前記基材の表面を被覆する硬質皮膜であって、Ti、Al及びCrからなる群より選択される少なくとも一種の金属の窒化物からなる前記硬質皮膜と、を有し、
X線回折法により測定される前記硬質皮膜の残留圧縮応力が7GPa以上であることを特徴とする、硬質皮膜被覆部材。 - Ti合金からなると共に引張応力が繰り返し加わる条件下で使用される基材と、
前記基材の表面を被覆する硬質皮膜であって、Ti、Al及びCrからなる群より選択される少なくとも一種の金属の窒化物からなる前記硬質皮膜と、を有し、
X線回折法により測定される前記硬質皮膜の残留圧縮応力が4GPa以上であることを特徴とする、硬質皮膜被覆部材。 - 前記硬質皮膜の成分組成がTiAlNであることを特徴とする、請求項1に記載の硬質皮膜被覆部材。
- 基材の表面に硬質皮膜を形成して硬質皮膜被覆部材を製造する方法であって、
TiAl金属間化合物からなると共に引張応力が繰り返し加わる条件下で使用される前記基材を、成膜装置のステージ上に設置する基材設置工程と、
Ti、Al及びCrからなる群より選択される少なくとも一種の金属を含有するターゲットを、前記成膜装置内に設置するターゲット設置工程と、
前記成膜装置内が窒素ガスを含む雰囲気となった状態で前記ターゲットを蒸発させることにより、前記少なくとも一種の金属の窒化物からなる前記硬質皮膜を前記基材の表面に形成する成膜工程と、を含み、
前記成膜工程では、前記ステージから前記基材に−60V又は−60Vよりも負の大きな値のバイアス電圧を印加しつつ前記硬質皮膜を形成することを特徴とする、硬質皮膜被覆部材の製造方法。 - 基材の表面に硬質皮膜を形成して硬質皮膜被覆部材を製造する方法であって、
Ti合金からなると共に引張応力が繰り返し加わる条件下で使用される前記基材を、成膜装置のステージ上に設置する基材設置工程と、
Ti、Al及びCrからなる群より選択される少なくとも一種の金属を含有するターゲットを、前記成膜装置内に設置するターゲット設置工程と、
前記成膜装置内が窒素ガスを含む雰囲気となった状態で前記ターゲットを蒸発させることにより、前記少なくとも一種の金属の窒化物からなる前記硬質皮膜を前記基材の表面に形成する成膜工程と、を含み、
前記成膜工程では、前記ステージから前記基材に−40V又は−40Vよりも負の大きな値のバイアス電圧を印加しつつ前記硬質皮膜を形成することを特徴とする、硬質皮膜被覆部材の製造方法。 - 前記ターゲット設置工程では、Ti及びAlを含有する前記ターゲットを前記成膜装置内に設置し、
前記成膜工程では、TiAlNの成分組成を有する前記硬質皮膜を形成することを特徴とする、請求項4又は5に記載の硬質皮膜被覆部材の製造方法。 - アークイオンプレーティング法により前記硬質皮膜を形成することを特徴とする、請求項4〜6のいずれか1項に記載の硬質皮膜被覆部材の製造方法。
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50105515A (ja) * | 1974-01-10 | 1975-08-20 | ||
JPH01211604A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-08-24 | United Technol Corp <Utc> | ガスタービンエンジンのコーティング処理を施した圧縮機構成部品 |
JPH05195198A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-08-03 | Praxair St Technol Inc | 非化学量論的窒化チタンコーティング |
JPH10226820A (ja) * | 1997-02-18 | 1998-08-25 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 金属部品表面の応力改善方法 |
WO2008117802A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Ihi Corporation | 耐熱部品 |
JP2010209913A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | General Electric Co <Ge> | 耐エロージョン性・耐食性タービン圧縮機翼形部及びその製造方法 |
JP2012045650A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆切削工具 |
JP2013019051A (ja) * | 2011-06-17 | 2013-01-31 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜被覆部材 |
JP2017088937A (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
WO2017170603A1 (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5195198B2 (ja) | 2008-09-12 | 2013-05-08 | 株式会社リコー | 液滴吐出装置、2列一体の積層圧電素子の製造方法および液滴吐出装置の製造方法 |
-
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50105515A (ja) * | 1974-01-10 | 1975-08-20 | ||
JPH01211604A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-08-24 | United Technol Corp <Utc> | ガスタービンエンジンのコーティング処理を施した圧縮機構成部品 |
JPH05195198A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-08-03 | Praxair St Technol Inc | 非化学量論的窒化チタンコーティング |
JPH10226820A (ja) * | 1997-02-18 | 1998-08-25 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 金属部品表面の応力改善方法 |
WO2008117802A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Ihi Corporation | 耐熱部品 |
JP2010209913A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | General Electric Co <Ge> | 耐エロージョン性・耐食性タービン圧縮機翼形部及びその製造方法 |
JP2012045650A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆切削工具 |
JP2013019051A (ja) * | 2011-06-17 | 2013-01-31 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜被覆部材 |
JP2017088937A (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
WO2017170603A1 (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社タンガロイ | 被覆切削工具 |
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