JP2020085620A - 放射線検出モジュール、放射線検出器、および放射線検出モジュールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】防湿部の外側からの水分などの侵入を抑制することができ、防湿部の内側において放出された水分などを除去することができる放射線検出モジュール、放射線検出器、および放射線検出モジュールの製造方法を提供する。【解決手段】放射線検出モジュール10は、複数の光電変換部2bを有するアレイ基板2と、前記複数の光電変換部2bの上に設けられ、放射線を蛍光に変換するシンチレータ5と、前記シンチレータの上に設けられ、シート状を呈し、複数の光散乱性粒子と樹脂とを含む反射部6と、ハット状を呈し、前記シンチレータと前記反射部とを覆う防湿部8と、を備えている。前記防湿部は、樹脂を含む基部18と、前記基部の前記反射部側の面に設けられ、前記基部に含まれる前記樹脂よりも透湿係数の小さい材料を含むバリア部28と、前記バリア部と前記反射部との間に設けられ、水分およびガスの少なくともいずれかを吸着可能な吸着部38と、を有する。【選択図】図2
Description
本発明の実施形態は、放射線検出モジュール、放射線検出器、および放射線検出モジュールの製造方法に関する。
放射線検出器の一例にX線検出器がある。X線検出器には、複数の光電変換部を有するアレイ基板と、複数の光電変換部の上に設けられたシンチレータと、シンチレータの上に設けられた反射部と、シンチレータと反射部を覆う防湿部と、が設けられている。
ここで、水分などに起因する解像度特性の劣化を抑制するために、シンチレータと反射部は、外部雰囲気から隔離する必要がある。特に、シンチレータが、CsI(ヨウ化セシウム):Tl(タリウム)やCsI:Na(ナトリウム)などからなる場合には、水分などによる解像度特性の劣化が大きくなるおそれがある。
そのため、高い防湿性能を得られる構造として、シンチレータと反射部をアルミニウムなどの金属からなるハット形状の防湿部で覆い、防湿部のつば(鍔)部をアレイ基板と接着する技術が提案されている。また、シンチレータと反射部を樹脂で覆い、樹脂の上に金属膜や無機材料膜を成膜して防湿部を形成する技術が提案されている。これらの様な防湿部を設けると、外部雰囲気に含まれる水分やガスなどが、シンチレータや反射部に到達するのを抑制することができる。
ところが、防湿部とアレイ基板とにより画された空間において水分やガスが発生する場合がある。例えば、反射部に吸着されていた水分やガスなどが放出される場合がある。また、防湿部とアレイ基板とにより画された空間の圧力が大気圧よりも低くなるようにする場合がある。この様な場合には、水分やガスの放出量がさらに増加するおそれがある。
そのため、金属や樹脂などからなる防湿部では、防湿部の外側からの水分やガスの侵入を抑制することができたとしても、防湿部の内側において放出された水分やガスを除去することができない。そのため、水分などに起因する解像度特性の劣化が生じるおそれがある。
そこで、防湿部の外側からの水分などの侵入を抑制することができ、且つ、防湿部の内側において放出された水分などを除去することができる技術の開発が望まれていた。
そこで、防湿部の外側からの水分などの侵入を抑制することができ、且つ、防湿部の内側において放出された水分などを除去することができる技術の開発が望まれていた。
本発明が解決しようとする課題は、防湿部の外側からの水分などの侵入を抑制することができ、且つ、防湿部の内側において放出された水分などを除去することができる放射線検出モジュール、放射線検出器、および放射線検出モジュールの製造方法を提供することである。
実施形態に係る放射線検出モジュールは、複数の光電変換部を有するアレイ基板と、前記複数の光電変換部の上に設けられ、放射線を蛍光に変換するシンチレータと、前記シンチレータの上に設けられ、シート状を呈し、複数の光散乱性粒子と樹脂とを含む反射部と、ハット状を呈し、前記シンチレータと前記反射部とを覆う防湿部と、を備えている。前記防湿部は、樹脂を含む基部と、前記基部の前記反射部側の面に設けられ、前記基部に含まれる前記樹脂よりも透湿係数の小さい材料を含むバリア部と、前記バリア部と前記反射部との間に設けられ、水分およびガスの少なくともいずれかを吸着可能な吸着部と、を有する。
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
また、本発明の実施形態に係る放射線検出器は、X線のほかにもγ線などの各種放射線に適用させることができる。ここでは、一例として、放射線の中の代表的なものとしてX線に係る場合を例にとり説明をする。したがって、以下の実施形態の「X線」を「他の放射線」に置き換えることにより、他の放射線にも適用させることができる。
また、以下に例示をするX線検出器1は、放射線画像であるX線画像を検出するX線平面センサである。X線検出器1は、例えば、一般医療などに用いることができる。ただし、X線検出器1の用途は、一般医療に限定されるわけではない。
また、本発明の実施形態に係る放射線検出器は、X線のほかにもγ線などの各種放射線に適用させることができる。ここでは、一例として、放射線の中の代表的なものとしてX線に係る場合を例にとり説明をする。したがって、以下の実施形態の「X線」を「他の放射線」に置き換えることにより、他の放射線にも適用させることができる。
また、以下に例示をするX線検出器1は、放射線画像であるX線画像を検出するX線平面センサである。X線検出器1は、例えば、一般医療などに用いることができる。ただし、X線検出器1の用途は、一般医療に限定されるわけではない。
(X線検出器およびX線検出モジュール)
図1は、本実施の形態に係るX線検出器1を例示するための模式斜視図である。
なお、煩雑となるのを避けるために、図1においては、保護層2f、反射部6、接合部7、および防湿部8などを省いて描いている。
図2は、X線検出モジュール10を例示するための模式断面図である。
図3は、X線検出器1のブロック図である。
図1は、本実施の形態に係るX線検出器1を例示するための模式斜視図である。
なお、煩雑となるのを避けるために、図1においては、保護層2f、反射部6、接合部7、および防湿部8などを省いて描いている。
図2は、X線検出モジュール10を例示するための模式断面図である。
図3は、X線検出器1のブロック図である。
図1および図2に示すように、X線検出器1には、X線検出モジュール10、および回路基板11が設けられている。また、X線検出器1には、図示しない筐体を設けることができる。筐体の内部には、X線検出モジュール10、および回路基板11を設けることができる。例えば、筐体の内部に板状の支持板を設け、支持板のX線の入射側の面にはX線検出モジュール10を設け、支持板のX線の入射側とは反対側の面には回路基板11を設けることができる。
X線検出モジュール10には、アレイ基板2、シンチレータ5、反射部6、接合部7、および防湿部8が設けられている。
アレイ基板2は、基板2a、光電変換部2b、制御ライン(又はゲートライン)2c1、データライン(又はシグナルライン)2c2、配線パッド2d1、配線パッド2d2および保護層2fを有する。なお、光電変換部2b、制御ライン2c1、およびデータライン2c2の数などは例示をしたものに限定されるわけではない。
アレイ基板2は、基板2a、光電変換部2b、制御ライン(又はゲートライン)2c1、データライン(又はシグナルライン)2c2、配線パッド2d1、配線パッド2d2および保護層2fを有する。なお、光電変換部2b、制御ライン2c1、およびデータライン2c2の数などは例示をしたものに限定されるわけではない。
基板2aは、板状を呈し、無アルカリガラスなどのガラスから形成することができる。基板2aの平面形状は、四角形とすることができる。基板2aの厚みは、例えば、0.7mm程度とすることができる。
光電変換部2bは、基板2aの一方の面側に複数設けることができる。光電変換部2bは、矩形状を呈し、制御ライン2c1とデータライン2c2とにより画された領域に設けることができる。複数の光電変換部2bは、マトリクス状に並べることができる。なお、1つの光電変換部2bは、X線画像の1つの画素(pixel)に対応する。
光電変換部2bは、基板2aの一方の面側に複数設けることができる。光電変換部2bは、矩形状を呈し、制御ライン2c1とデータライン2c2とにより画された領域に設けることができる。複数の光電変換部2bは、マトリクス状に並べることができる。なお、1つの光電変換部2bは、X線画像の1つの画素(pixel)に対応する。
複数の光電変換部2bのそれぞれには、光電変換素子2b1と、スイッチング素子である薄膜トランジスタ(TFT;Thin Film Transistor)2b2が設けられている。また、光電変換素子2b1において変換した信号電荷を蓄積する蓄積キャパシタを設けることができる。蓄積キャパシタは、例えば、矩形平板状を呈し、各薄膜トランジスタ2b2の下に設けることができる。ただし、光電変換素子2b1の容量によっては、光電変換素子2b1が蓄積キャパシタを兼ねることができる。
光電変換素子2b1は、例えば、フォトダイオードなどとすることができる。
薄膜トランジスタ2b2は、蓄積キャパシタへの電荷の蓄積および放出のスイッチングを行う。薄膜トランジスタ2b2は、ゲート電極2b2a、ドレイン電極2b2b及びソース電極2b2cを有している。薄膜トランジスタ2b2のゲート電極2b2aは、対応する制御ライン2c1と電気的に接続される。薄膜トランジスタ2b2のドレイン電極2b2bは、対応するデータライン2c2と電気的に接続される。薄膜トランジスタ2b2のソース電極2b2cは、対応する光電変換素子2b1と蓄積キャパシタとに電気的に接続される。また、光電変換素子2b1のアノード側と蓄積キャパシタは、グランドに接続することができる。
薄膜トランジスタ2b2は、蓄積キャパシタへの電荷の蓄積および放出のスイッチングを行う。薄膜トランジスタ2b2は、ゲート電極2b2a、ドレイン電極2b2b及びソース電極2b2cを有している。薄膜トランジスタ2b2のゲート電極2b2aは、対応する制御ライン2c1と電気的に接続される。薄膜トランジスタ2b2のドレイン電極2b2bは、対応するデータライン2c2と電気的に接続される。薄膜トランジスタ2b2のソース電極2b2cは、対応する光電変換素子2b1と蓄積キャパシタとに電気的に接続される。また、光電変換素子2b1のアノード側と蓄積キャパシタは、グランドに接続することができる。
制御ライン2c1は、所定の間隔をあけて互いに平行に複数設けられている。制御ライン2c1は、例えば、行方向に延びている。1つの制御ライン2c1は、基板2aの周縁近傍に設けられた複数の配線パッド2d1のうちの1つと電気的に接続されている。1つの配線パッド2d1には、フレキシブルプリント基板2e1に設けられた複数の配線のうちの1つが電気的に接続されている。フレキシブルプリント基板2e1に設けられた複数の配線の他端は、回路基板11に設けられた読み出し回路11aとそれぞれ電気的に接続されている。
データライン2c2は、所定の間隔をあけて互いに平行に複数設けられている。データライン2c2は、例えば、行方向に直交する列方向に延びている。1つのデータライン2c2は、基板2aの周縁近傍に設けられた複数の配線パッド2d2のうちの1つと電気的に接続されている。1つの配線パッド2d2には、フレキシブルプリント基板2e2に設けられた複数の配線のうちの1つが電気的に接続されている。フレキシブルプリント基板2e2に設けられた複数の配線の他端は、回路基板11に設けられた信号検出回路11bとそれぞれ電気的に接続されている。
制御ライン2c1、およびデータライン2c2は、例えば、アルミニウムやクロムなどの低抵抗金属を用いて形成することができる。
制御ライン2c1、およびデータライン2c2は、例えば、アルミニウムやクロムなどの低抵抗金属を用いて形成することができる。
保護層2fは、第1層2f1および第2層2f2を有する。第1層2f1は、光電変換部2b、制御ライン2c1、およびデータライン2c2を覆っている。第2層2f2は、第1層2f1の上に設けられている。
第1層2f1および第2層2f2は、絶縁性材料から形成することができる。絶縁性材料は、例えば、酸化物絶縁材料、窒化物絶縁材料、酸窒化物絶縁材料、および樹脂などとすることができる。
第1層2f1および第2層2f2は、絶縁性材料から形成することができる。絶縁性材料は、例えば、酸化物絶縁材料、窒化物絶縁材料、酸窒化物絶縁材料、および樹脂などとすることができる。
シンチレータ5は、複数の光電変換部2bの上に設けられ、入射するX線を可視光すなわち蛍光に変換する。シンチレータ5は、基板2a上の複数の光電変換部2bが設けられた領域(有効画素領域A)を覆うように設けられている。シンチレータ5は、例えば、ヨウ化セシウム(CsI):タリウム(Tl)、ヨウ化ナトリウム(NaI):タリウム(Tl)、あるいは臭化セシウム(CsBr):ユーロピウム(Eu)などを用いて形成することができる。シンチレータ5は、真空蒸着法を用いて形成することができる。真空蒸着法を用いてシンチレータ5を形成すれば、複数の柱状結晶の集合体からなるシンチレータ5が形成される。シンチレータ5の厚みは、例えば、600μm程度とすることができる。
なお、真空蒸着法を用いてシンチレータ5を形成する際には、開口を有するマスクが用いられる。この場合、アレイ基板2上の開口に対峙する位置(有効画素領域Aの上)にシンチレータ5が形成される。また、蒸着による膜は、マスクの表面にも形成される。そして、マスクの開口の近傍においては、膜は、開口の内部に徐々に張り出すように成長する。開口の内部に膜が張り出すと、開口の近傍において、アレイ基板2への蒸着が抑制される。そのため、図1および図2に示すように、シンチレータ5の周縁近傍は、外側になるに従い厚みが漸減している。
また、シンチレータ5は、例えば、テルビウム賦活硫酸化ガドリニウム(Gd2O2S/Tb、又はGOS)などを用いて形成することもできる。この場合、複数の光電変換部2bごとに四角柱状のシンチレータ5が設けられるように、マトリクス状の溝部を設けることができる。
反射部6は、蛍光の利用効率を高めて感度特性を改善するために設けられている。すなわち、反射部6は、シンチレータ5において生じた蛍光のうち、光電変換部2bが設けられた側とは反対側に向かう光を反射させて、光電変換部2bに向かうようにする。反射部6は、シンチレータ5のX線の入射側に設けることができる。反射部6は、シンチレータ5の上に設けられている。反射部6は、少なくともシンチレータ5の上面5aを覆っている。反射部6は、シンチレータ5の側面5bをさらに覆うこともできる。
ここで、酸化チタン(TiO2)などを含む光散乱性粒子と、樹脂と、溶媒とを混合した材料をシンチレータ5上に塗布し、これを乾燥することで反射部6を形成することができる。ところが、塗布により反射部6を形成すると、塗布ムラに起因する感度ムラが発生するおそれがある。また、製造コストが増大するおそれもある。
また、例えば、銀合金やアルミニウムなどの光反射率の高い金属からなる層をシンチレータ5上に成膜することで反射部6を形成することができる。また、例えば、光反射率の高い金属からなるシートをシンチレータ5上に接合することで反射部6を形成することができる。ところが、金属からなる層や金属からなるシートは、反射率が低く、感度特性のさらなる向上が図れないという問題がある。
そのため、本実施の形態に係る反射部6は、シート状を呈し、複数の光散乱性粒子と樹脂とを含んでいる。光散乱性粒子は、例えば、酸化チタンを含む粒子とすることができる。ただし、光散乱性粒子の材料は例示をしたものに限定されるわけではなく、シンチレータ5において発生した蛍光に対する反射率が高い材料を適宜選択することができる。シート状の反射部6は、シンチレータ5の、アレイ基板2側とは反対側の面に接合することができる。反射部6は、例えば、接着剤を用いてシンチレータ5に固定したり、両面テープなどを用いてシンチレータ5に固定したりすることができる。
反射部6は、例えば、発泡ポリエチレンテレフタレートを用いたシートに、酸化チタンを含む複数の光散乱性粒子を含ませたものとすることができる。反射部6の厚みは、例えば、190μm程度とすることができる。
複数の光散乱性粒子を含む樹脂シートを用いて反射部6を形成すれば、塗布により反射部6を形成する場合に比べて、感度ムラが発生するのを抑制したり、製造コストの低減を図ったりすることができる。また、金属からなる層や金属からなるシートを用いて反射部6を形成する場合に比べて、感度特性の向上を図ることができる。
接合部7は、防湿部8のつば(鍔)部8cとアレイ基板2との間に設けられている。接合部7は、防湿部8とアレイ基板2とを接合している。接合部7は、例えば、UV硬化型接着剤、遅延硬化型接着剤(紫外線照射後に一定の時間をおいて硬化反応が顕在化するUV硬化型接着剤)、自然(常温)硬化型接着剤、および加熱硬化型接着剤のいずれかが硬化することで形成されたものとすることができる。
防湿部8は、シンチレータ5、および反射部6を覆っている。防湿部8と反射部6との間には隙間があってもよいし、防湿部8と反射部6とが接触するようにしてもよい。
また、航空機によりX線検出器1を輸送する場合などのように、X線検出器1が大気圧よりも減圧された環境に置かれる場合がある。この様な場合に、防湿部8とアレイ基板2とにより画された空間の圧力が大気圧程度であると、防湿部8が膨張したり変形したりするおそれがある。そのため、防湿部8とアレイ基板2とにより画された空間の圧力が大気圧よりも低くなるようにする場合がある。例えば、大気圧よりも減圧された環境において、防湿部8のつば部8cとアレイ基板2とを接合部7により接合する場合がある。この場合、X線検出器1が大気圧の環境に置かれると、大気圧により防湿部8が押圧されるので、防湿部8と反射部6とが接触するようになる。
図4(a)は、防湿部8の外観を例示するための模式正面図である。
図4(b)は、防湿部8の外観を例示するための模式側面図である。
図4(a)、(b)に示すように、防湿部8は、ハット形状を呈し、表面部8a、周面部8b、および、つば部8cを有する。
防湿部8は、表面部8a、周面部8b、および、つば部8cが一体成形されたものとすることができる。
図4(b)は、防湿部8の外観を例示するための模式側面図である。
図4(a)、(b)に示すように、防湿部8は、ハット形状を呈し、表面部8a、周面部8b、および、つば部8cを有する。
防湿部8は、表面部8a、周面部8b、および、つば部8cが一体成形されたものとすることができる。
表面部8aは、シンチレータ5の上面5aに対峙している。
周面部8bは、表面部8aの周縁を囲むように設けられている。周面部8bは、表面部8aの周縁からアレイ基板2側に向けて延びている。周面部8bは、シンチレータ5の側面5bに対峙している。
周面部8bは、表面部8aの周縁を囲むように設けられている。周面部8bは、表面部8aの周縁からアレイ基板2側に向けて延びている。周面部8bは、シンチレータ5の側面5bに対峙している。
つば部8cは、周面部8bの、表面部8a側とは反対側の端部を囲むように設けられている。つば部8cは、周面部8bの端部から外側に向けて延びている。つば部8cは、環状を呈している。つば部8cは、アレイ基板2に対峙している。つば部8cは、接合部7により、アレイ基板2の、シンチレータ5が設けられる側の面に接合されている。
ハット形状を呈する防湿部8とすれば、剛性を高めることができる。また、防湿部8をアレイ基板2に接合する際に、表面部8aおよび周面部8bからなる立体形状を利用して位置決めを行うことができる。そのため、防湿部8をアレイ基板2の面に接合する際の作業性や接合精度を向上させることができる。
また、防湿部8は、少なくとも三層構造を有している。例えば、図2に示すように、防湿部8は、基部18、バリア部28、および吸着部38を有することができる。
基部18は、防湿部8において最も外側(アレイ基板2から最も遠い側)に位置している。基部18の材料には特に限定はないが、金属よりも剛性の低い材料とすることが好ましい。基部18の剛性をある程度低くすることができれば、表面部8a、周面部8b、および、つば部8cをプレス成形などで一体成形するのが容易となる。基部18は、例えば、樹脂を含むものとすることが好ましい。樹脂は、例えば、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、テフロン(登録商標)、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、弾性ゴムなどとすることができる。
基部18は、防湿部8において最も外側(アレイ基板2から最も遠い側)に位置している。基部18の材料には特に限定はないが、金属よりも剛性の低い材料とすることが好ましい。基部18の剛性をある程度低くすることができれば、表面部8a、周面部8b、および、つば部8cをプレス成形などで一体成形するのが容易となる。基部18は、例えば、樹脂を含むものとすることが好ましい。樹脂は、例えば、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、テフロン(登録商標)、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、弾性ゴムなどとすることができる。
この様に、基部18は、樹脂を含むものとすることが好ましい。ところが、樹脂を含む基部18とすれば、外部雰囲気に含まれる水分やガスなどが基部18を透過する場合がある。例えば、樹脂は、高分子材料であるため分子鎖間に隙間があったり、分子の熱運動により隙間が生じたりする。そのため、水分やガスなどが、これらの隙間を介して基部18を透過する場合がある。そこで、防湿部8にはバリア部28が設けられている。
この場合、バリア部28は、基部18のアレイ基板2側とは反対側の面に設けることもできる。しかしながらこの様にすると、バリア部28が、防湿部8において最も外側に位置することになるので、外力や衝撃などが加えられた際に、バリア部28に孔や傷などが発生しやすくなる。バリア部28に孔や傷などが生じると、孔や傷などを介して水分やガスなどがシンチレータ5側に透過しやすくなる。そのため、バリア部28は、基部18の反射部6側の面に設けることが好ましい。例えば、バリア部28は、基部18と吸着部38の間に設けることができる。
バリア部28は、例えば、基部18に含まれる樹脂よりも透湿係数の小さい材料を含むものとすることが好ましい。バリア部28は、例えば、金属や無機材料を含むものとすることができる。金属や無機材料は、金属原子同士、金属と酸素、金属と窒素、金属と炭素などが結合している。そのため、樹脂とは異なり、水分やガスなどが透過可能な隙間はほとんど存在しない。その結果、金属や無機材料を含むバリア部28とすれば、水分やガスなどが透過するのを抑制することができる。
金属は、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金、ステンレス、コバールなどとすることができる。無機材料は、例えば、SiO2、SiON、SiC、Al2O3、ZrO2などの酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物などとすることができる。この場合、金属を用いてバリア部28を形成すれば、実効的な透湿係数をほぼゼロにすることができる。そのため、バリア部28を透過する水分をほぼ完全になくすことができる。
バリア部28は、例えば、スパッタリング法やPVD(Physical Vapor Deposition)法などの物理的気相成長法、またはCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの化学的気相成長法を用いて、基部18の面に直接形成することができる。また、例えば、ラミネート加工法を用いて、シート状の基部18と、シート状のバリア部28とを貼り合わせるようにしてもよい。
バリア部28が設けられていれば、外部雰囲気に含まれている水分やガスなどがシンチレータ5に到達するのを抑制することができる。ところが、防湿部8とアレイ基板2とにより画された空間において水分やガスが発生する場合がある。例えば、経年使用や高温環境における使用などにより、反射部6に吸着されていた水分やガスなどが放出される場合がある。また、前述したように、防湿部8とアレイ基板2とにより画された空間の圧力が大気圧よりも低くなるようにする場合がある。この様な場合には、水分やガスの放出量がさらに増加するおそれがある。
防湿部8とアレイ基板2とにより画された空間は閉空間となっているので、水分などが放出されると、放出された水分などがシンチレータ5に付着する場合がある。水分などがシンチレータ5に付着すると、解像度特性の劣化が大きくなるおそれがある。そのため、防湿部8には吸着部38が設けられている。
吸着部38は、防湿部8とアレイ基板2とにより画された空間において発生した水分およびガスの少なくともいずれかを吸着する。そのため、吸着部38は、バリア部28のアレイ基板2側の面に設けることが好ましい。この場合、吸着部38は、バリア部28の面の一部に設けることもできるが、バリア部28のなるべく広い範囲に設けることが好ましい。例えば、水分やガスなどはランダムな位置において発生する場合がある。また、吸着部38とシンチレータ5とが密着している部分が生じる場合もある。この様な場合であっても、吸着部38が、少なくとも表面部8aの位置、および周面部8bの位置に設けられていれば、発生した水分やガスなどを吸着するのが容易となる。この場合、吸着部38は、バリア部28の全面に設けることもできる。吸着部38をバリア部28の全面に設けるようにすれば、つば部8cの位置にも吸着部38を設けることができる。つば部8cの位置に吸着部38が設けられていれば、つば部8cの周端側から防湿部8の内部に水分やガスなどが侵入するのを抑制することができる。また、吸着部38をバリア部28の全面に設けるようにすれば、吸着部38の形成が容易となる。
吸着部38は、水分やガスなどを吸着可能な材料を含むものとすることができる。吸着部38は、例えば、水分ゲッター剤(水分吸着剤、乾燥剤などとも称される)を含むものとすることができる。吸着部38は、例えば、酸化カルシウム、酸化バリウムなどを含むものとすることができる。
以上に説明したように、吸着部38は、バリア部28と反射部6との間に設けられ、水分およびガスの少なくともいずれかを吸着可能となっている。
以上に説明したように、吸着部38は、バリア部28と反射部6との間に設けられ、水分およびガスの少なくともいずれかを吸着可能となっている。
吸着部38は、例えば、スパッタリング法などの物理的気相成長法や、塗布法などを用いて、バリア部28の面に直接形成することができる。
この場合、基部18をハット状に成形し、ハット状の基部18に、バリア部28および吸着部38を順次形成することができる。ただし、シート状の基部18の面に、バリア部28および吸着部38を順次形成し、基部18、バリア部28、および吸着部38が積層されたシートをハット状に成形するようにすれば、製造工程の簡略化、ひいては製造コストの低減を図ることができる。すなわち、基部18、バリア部28、および吸着部38は、一体に成形することが好ましい。
この場合、基部18をハット状に成形し、ハット状の基部18に、バリア部28および吸着部38を順次形成することができる。ただし、シート状の基部18の面に、バリア部28および吸着部38を順次形成し、基部18、バリア部28、および吸着部38が積層されたシートをハット状に成形するようにすれば、製造工程の簡略化、ひいては製造コストの低減を図ることができる。すなわち、基部18、バリア部28、および吸着部38は、一体に成形することが好ましい。
基部18の厚み、およびバリア部28の厚みには特に限定はないが、基部18の厚みやバリア部28の厚みを厚くしすぎるとスプリングバックが大きくなり、つば部8cとアレイ基板2との接合が困難となったり、接合部7に隙間やひびが生じ易くなったりするおそれがある。そのため、基部18およびバリア部28のトータル厚みは、100μm以下とすることが好ましい。
吸着部38の厚みを厚くしすぎると前述したスプリングバックが大きくなるおそれがある。本発明者の得た知見によれば、吸着部38の厚みは、80μm以下とすることが好ましい。この様にすれば、スプリングバックの増大を抑制することができ、且つ、吸着部38における飽和吸湿量が5g/m2以下となるようにするのが容易となる。
吸着部38の厚みを厚くしすぎると前述したスプリングバックが大きくなるおそれがある。本発明者の得た知見によれば、吸着部38の厚みは、80μm以下とすることが好ましい。この様にすれば、スプリングバックの増大を抑制することができ、且つ、吸着部38における飽和吸湿量が5g/m2以下となるようにするのが容易となる。
本実施の形態に係るX線検出モジュール10(X線検出器1)には、バリア部28が設けられているので、防湿部8の外側からの水分などの侵入を抑制することができる。また、吸着部38が設けられているので、防湿部8の内側において放出された水分などを除去することができる。また、基部18が設けられているので、バリア部28に孔や傷などが発生するのを抑制することができる。すなわち、バリア部28の保護を図ることができる。
図5は、他の実施形態に係るX線検出モジュール10aを例示するための模式断面図である。
図5に示すように、X線検出モジュール10aには、アレイ基板2、シンチレータ5、反射部6、接合部17、および防湿部8が設けられている。
図5に示すように、X線検出モジュール10aには、アレイ基板2、シンチレータ5、反射部6、接合部17、および防湿部8が設けられている。
接合部17は、例えば、粘着層とすることができる。接合部17は、例えば、両面テープなどとすることができる。接合部17の剥離強度、および接合部17の剪断強度は、1N/mm2以上とすることが好ましい。この様にすれば、つば部8cの幅寸法(つば部8cのシンチレータ5側の端部と、シンチレータ5側とは反対側の端部との間の寸法)を5mmm以下にしても充分な接合強度、ひいては充分な封止性を確保することができる。この場合、つば部8cの幅寸法を短くすることができれば、X線検出モジュール10aの平面寸法を小さくすることができる。
次に、図1に戻って、回路基板11について説明する。
図1に示すように、回路基板11は、アレイ基板2の、シンチレータ5が設けられる側とは反対側に設けられている。回路基板11は、X線検出モジュール10、10a(アレイ基板2)と電気的に接続されている。
図3に示すように、回路基板11には、読み出し回路11aおよび信号検出回路11bが設けられている。なお、これらの回路を1つの基板に設けることもできるし、これらの回路を複数の基板に分けて設けることもできる。
図1に示すように、回路基板11は、アレイ基板2の、シンチレータ5が設けられる側とは反対側に設けられている。回路基板11は、X線検出モジュール10、10a(アレイ基板2)と電気的に接続されている。
図3に示すように、回路基板11には、読み出し回路11aおよび信号検出回路11bが設けられている。なお、これらの回路を1つの基板に設けることもできるし、これらの回路を複数の基板に分けて設けることもできる。
読み出し回路11aは、薄膜トランジスタ2b2のオン状態とオフ状態を切り替える。 読み出し回路11aは、複数のゲートドライバ11aaと行選択回路11abとを有する。
行選択回路11abには、X線検出器1の外部に設けられた図示しない画像処理部などから制御信号S1が入力される。行選択回路11abは、X線画像の走査方向に従って、対応するゲートドライバ11aaに制御信号S1を入力する。
ゲートドライバ11aaは、対応する制御ライン2c1に制御信号S1を入力する。
例えば、読み出し回路11aは、フレキシブルプリント基板2e1を介して、制御信号S1を各制御ライン2c1毎に順次入力する。制御ライン2c1に入力された制御信号S1により薄膜トランジスタ2b2がオン状態となり、蓄積キャパシタからの電荷(画像データ信号S2)が受信できるようになる。
行選択回路11abには、X線検出器1の外部に設けられた図示しない画像処理部などから制御信号S1が入力される。行選択回路11abは、X線画像の走査方向に従って、対応するゲートドライバ11aaに制御信号S1を入力する。
ゲートドライバ11aaは、対応する制御ライン2c1に制御信号S1を入力する。
例えば、読み出し回路11aは、フレキシブルプリント基板2e1を介して、制御信号S1を各制御ライン2c1毎に順次入力する。制御ライン2c1に入力された制御信号S1により薄膜トランジスタ2b2がオン状態となり、蓄積キャパシタからの電荷(画像データ信号S2)が受信できるようになる。
信号検出回路11bは、複数の積分アンプ11ba、複数の選択回路11bb、および複数のADコンバータ11bcを有している。
1つの積分アンプ11baは、1つのデータライン2c2と電気的に接続されている。積分アンプ11baは、光電変換部2bからの画像データ信号S2を順次受信する。そして、積分アンプ11baは、一定時間内に流れる電流を積分し、その積分値に対応した電圧を選択回路11bbへ出力する。この様にすれば、所定の時間内にデータライン2c2を流れる電流の値(電荷量)を電圧値に変換することが可能となる。すなわち、積分アンプ11baは、シンチレータ5において発生した蛍光の強弱分布に対応した画像データ情報を、電位情報へと変換する。
1つの積分アンプ11baは、1つのデータライン2c2と電気的に接続されている。積分アンプ11baは、光電変換部2bからの画像データ信号S2を順次受信する。そして、積分アンプ11baは、一定時間内に流れる電流を積分し、その積分値に対応した電圧を選択回路11bbへ出力する。この様にすれば、所定の時間内にデータライン2c2を流れる電流の値(電荷量)を電圧値に変換することが可能となる。すなわち、積分アンプ11baは、シンチレータ5において発生した蛍光の強弱分布に対応した画像データ情報を、電位情報へと変換する。
選択回路11bbは、読み出しを行う積分アンプ11baを選択し、電位情報へと変換された画像データ信号S2を順次読み出す。
ADコンバータ11bcは、読み出された画像データ信号S2をデジタル信号に順次変換する。デジタル信号に変換された画像データ信号S2は、配線を介して画像処理部に入力される。なお、デジタル信号に変換された画像データ信号S2は、無線により画像処理部に送信されるようにしてもよい。
ADコンバータ11bcは、読み出された画像データ信号S2をデジタル信号に順次変換する。デジタル信号に変換された画像データ信号S2は、配線を介して画像処理部に入力される。なお、デジタル信号に変換された画像データ信号S2は、無線により画像処理部に送信されるようにしてもよい。
画像処理部は、デジタル信号に変換された画像データ信号S2に基づいてX線画像を構成する。なお、画像処理部は、回路基板11と一体化することもできる。
(X線検出モジュールの製造方法、およびX線検出器の製造方法)
まず、基板2aの上に、制御ライン2c1、データライン2c2、配線パッド2d1、配線パッド2d2、光電変換部2b、および保護層2fなどを順次形成してアレイ基板2を製造する。アレイ基板2は、例えば、半導体製造プロセスを用いて製造することができる。なお、アレイ基板2の製造には既知の技術を適用することができるので詳細な説明は省略する。
まず、基板2aの上に、制御ライン2c1、データライン2c2、配線パッド2d1、配線パッド2d2、光電変換部2b、および保護層2fなどを順次形成してアレイ基板2を製造する。アレイ基板2は、例えば、半導体製造プロセスを用いて製造することができる。なお、アレイ基板2の製造には既知の技術を適用することができるので詳細な説明は省略する。
次に、基板2a上の有効画素領域Aを覆うようにシンチレータ5を形成する。
例えば、シンチレータ5は、真空蒸着法を用いて形成することができる。真空蒸着法を用いてシンチレータ5を形成すれば、複数の柱状結晶の集合体からなるシンチレータ5が形成される。シンチレータ5の厚みは、X線検出器1に求められるDQE特性、感度特性、解像度特性などに応じて適宜変更することができる。シンチレータ5の厚みは、例えば、600μm程度とすることができる。
例えば、シンチレータ5は、真空蒸着法を用いて形成することができる。真空蒸着法を用いてシンチレータ5を形成すれば、複数の柱状結晶の集合体からなるシンチレータ5が形成される。シンチレータ5の厚みは、X線検出器1に求められるDQE特性、感度特性、解像度特性などに応じて適宜変更することができる。シンチレータ5の厚みは、例えば、600μm程度とすることができる。
また、発光物質とバインダ材とを混合し、混合された材料を有効画素領域Aを覆うように塗布し、これを焼成し、焼成された材料にマトリクス状の溝部を形成して複数の光電変換部2bごとに四角柱状のシンチレータ5が設けられるようにしてもよい。
次に、シンチレータ5の上に反射部6を設ける。
例えば、反射部6となる、複数の光散乱性粒子を含む樹脂シートをシンチレータ5の上に接合する。反射部6は、例えば、接着剤を用いてシンチレータ5に固定したり、両面テープなどを用いてシンチレータ5に固定したりすることができる。
例えば、反射部6となる、複数の光散乱性粒子を含む樹脂シートをシンチレータ5の上に接合する。反射部6は、例えば、接着剤を用いてシンチレータ5に固定したり、両面テープなどを用いてシンチレータ5に固定したりすることができる。
また、防湿部8を形成する。
例えば、シート状の基部18の面に、バリア部28および吸着部38を順次形成し、基部18、バリア部28、および吸着部38が積層されたシートをハット状に成形することで防湿部8を形成することができる。
また、基部18をハット状に成形し、ハット状の基部18に、バリア部28および吸着部38を順次形成することで防湿部8を形成することもできる。
ただし、基部18、バリア部28、および吸着部38が積層されたシートをハット状に成形すれば、製造工程の簡略化、ひいては製造コストの低減を図ることができる。
例えば、シート状の基部18の面に、バリア部28および吸着部38を順次形成し、基部18、バリア部28、および吸着部38が積層されたシートをハット状に成形することで防湿部8を形成することができる。
また、基部18をハット状に成形し、ハット状の基部18に、バリア部28および吸着部38を順次形成することで防湿部8を形成することもできる。
ただし、基部18、バリア部28、および吸着部38が積層されたシートをハット状に成形すれば、製造工程の簡略化、ひいては製造コストの低減を図ることができる。
次に、接合部7、17により、シンチレータ5および反射部6を覆うようにハット状の防湿部8をアレイ基板2に接合する。
以上の様にして、X線検出モジュール10、10aを製造することができる。
以上の様にして、X線検出モジュール10、10aを製造することができる。
次に、フレキシブルプリント基板2e1、2e2を介して、アレイ基板2と回路基板11を電気的に接続する。
その他、回路部品などを適宜実装する。
その他、回路部品などを適宜実装する。
次に、図示しない筐体の内部にアレイ基板2、回路基板11などを格納する。
そして、必要に応じて、光電変換素子2b1の異常の有無や電気的な接続の異常の有無を確認する電気試験、X線画像試験などを行う。
以上のようにして、X線検出器1を製造することができる。
なお、製品の防湿信頼性や温度環境の変化に対する信頼性を確認するために、高温高湿試験、冷熱サイクル試験などを実施することもできる。
そして、必要に応じて、光電変換素子2b1の異常の有無や電気的な接続の異常の有無を確認する電気試験、X線画像試験などを行う。
以上のようにして、X線検出器1を製造することができる。
なお、製品の防湿信頼性や温度環境の変化に対する信頼性を確認するために、高温高湿試験、冷熱サイクル試験などを実施することもできる。
以上に説明したように、本実施の形態に係るX線検出モジュール10、10aの製造方法は以下の工程を含むことができる。
アレイ基板2に設けられた複数の光電変換部2bの上に、X線を蛍光に変換するシンチレータ5を形成する工程。
シンチレータ5上に、シート状を呈し、複数の光散乱性粒子と樹脂とを含む反射部6を接合する工程。
ハット状を呈する防湿部8を形成する工程。
シンチレータ5および反射部6を覆うようにハット状の防湿部8をアレイ基板2に接合する工程。
そして、ハット状を呈する防湿部8形成する工程において、樹脂を含む基部18と、基部18に含まれる樹脂よりも透湿係数の小さい材料を含むバリア部28と、水分およびガスの少なくともいずれかを吸着可能な吸着部38と、がこの順で積層されたシートを、吸着部38が内側となるようにハット状に成形する。
アレイ基板2に設けられた複数の光電変換部2bの上に、X線を蛍光に変換するシンチレータ5を形成する工程。
シンチレータ5上に、シート状を呈し、複数の光散乱性粒子と樹脂とを含む反射部6を接合する工程。
ハット状を呈する防湿部8を形成する工程。
シンチレータ5および反射部6を覆うようにハット状の防湿部8をアレイ基板2に接合する工程。
そして、ハット状を呈する防湿部8形成する工程において、樹脂を含む基部18と、基部18に含まれる樹脂よりも透湿係数の小さい材料を含むバリア部28と、水分およびガスの少なくともいずれかを吸着可能な吸着部38と、がこの順で積層されたシートを、吸着部38が内側となるようにハット状に成形する。
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
1 X線検出器、2 アレイ基板、2a 基板、2b 光電変換部、2b1 光電変換素子、5 シンチレータ、6 反射部、7 接合部、8 防湿部、8a 表面部、8b 周面部、8c つば部、10 X線検出モジュール、10a X線検出モジュール、11 回路基板、18 基部、28 バリア部、38 吸着部
Claims (8)
- 複数の光電変換部を有するアレイ基板と、
前記複数の光電変換部の上に設けられ、放射線を蛍光に変換するシンチレータと、
前記シンチレータの上に設けられ、シート状を呈し、複数の光散乱性粒子と樹脂とを含む反射部と、
ハット状を呈し、前記シンチレータと前記反射部とを覆う防湿部と、
を備え、
前記防湿部は、
樹脂を含む基部と、
前記基部の前記反射部側の面に設けられ、前記基部に含まれる前記樹脂よりも透湿係数の小さい材料を含むバリア部と、
前記バリア部と前記反射部との間に設けられ、水分およびガスの少なくともいずれかを吸着可能な吸着部と、を有する放射線検出モジュール。 - 前記基部、前記バリア部、および前記吸着部は、一体に成形されている請求項1記載の放射線検出モジュール。
- 前記シート状の反射部は、前記シンチレータの、前記アレイ基板側とは反対側の面に接合されている請求項1または2に記載の放射線検出モジュール。
- 前記シンチレータは、複数の柱状結晶を有し、
前記複数の柱状結晶は、ヨウ化セシウムを含む請求項1〜3のいずれか1つに記載の放射線検出モジュール。 - 前記シート状の反射部は、発泡ポリエチレンテレフタレートを含む請求項1〜4のいずれか1つに記載の放射線検出モジュール。
- 前記光散乱性粒子は、酸化チタンを含む請求項1〜5のいずれか1つに記載の放射線検出モジュール。
- 請求項1〜6のいずれか1つに記載の放射線検出モジュールと、
前記放射線検出モジュールと電気的に接続された回路基板と、
を備えた放射線検出器。 - アレイ基板に設けられた複数の光電変換部の上に、放射線を蛍光に変換するシンチレータを形成する工程と、
前記シンチレータの上に、シート状を呈し、複数の光散乱性粒子と樹脂とを含む反射部を接合する工程と、
ハット状を呈する防湿部を形成する工程と、
前記シンチレータおよび前記反射部を覆うように前記ハット状の防湿部を前記アレイ基板に接合する工程と、
を備え、
前記ハット状を呈する防湿部を形成する工程において、樹脂を含む基部と、前記基部に含まれる前記樹脂よりも透湿係数の小さい材料を含むバリア部と、水分およびガスの少なくともいずれかを吸着可能な吸着部と、がこの順で積層されたシートを、前記吸着部が内側となるようにハット状に成形する放射線検出モジュールの製造方法。
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JP2018219322A JP2020085620A (ja) | 2018-11-22 | 2018-11-22 | 放射線検出モジュール、放射線検出器、および放射線検出モジュールの製造方法 |
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