JP2020048124A

JP2020048124A - 清掃装置

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Publication number: JP2020048124A
Application number: JP2018176520A
Authority: JP
Inventors: 昭彦坂巻; Akihiko Sakamaki
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2018-09-20
Filing date: 2018-09-20
Publication date: 2020-03-26
Also published as: US20200099827A1; US11089185B2

Abstract

【課題】検出面を備えた検出素子の検出面に付くゴミの除去に適切に対応することができる清掃装置を提供する。【解決手段】検出面を備える検出素子を清掃する清掃装置であって、清掃を行うための清掃部を備え、該清掃部が前記検出面に接触した状態で拭き清掃を行う清掃手段と、前記清掃部を前記検出面に押す駆動手段と、前記清掃部が前記検出面を押す力を検出する検出手段と、前記検出手段による力の検出結果に基づいて前記駆動手段を制御して前記力を制御しながら前記清掃手段に前記拭き清掃を行わせる制御手段と、を有することを特徴とする。【選択図】図３

Description

本発明は、光、電磁波などの物理量を検出する検出素子の検出面を清掃する清掃装置及び清掃装置の制御方法に関するものである。

光、電磁波などを検出する検出素子の検出面はゴミが付着することで誤検出を起こすことが課題となっている。例えば受光素子である光電変換器が並んだ撮像素子を有するデジタルカメラでは、撮像素子の撮像面を定期的に清掃することで、得られる画像の画質の低下を防いでいる。しかし、ユーザーが自ら撮像面を清掃すると誤って傷つけてしまう可能性があるため、メーカー等が運営するサービス店に持ち込んで専用の作業者に依頼するのが一般的であった。しかし、専用の作業者でも熟練度の差等により、清掃の作業精度にバラツキがある。そこで、特許文献１では、カメラに接続して風圧や粘着シートでの拭き取りによって撮像面の表面を清掃する装置が開示されている。

特許０４５３７１０５号公報

しかしながら、上述の特許文献では、検出面のゴミを取り除くために清掃装置をどのように制御するかについて十分な開示がなかった。また検出面に付くゴミを除去するという課題は撮像素子に限らず、物理量を検出する検出面を備えた検出素子全般に共通する課題であり、同様に清掃装置が求められている。

そこで本発明の目的は、検出面を備えた検出素子の検出面に付くゴミの除去に適切に対応することができる清掃装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、検出面を備える検出素子を清掃する清掃装置であって、前記検出面に接触した状態で拭き清掃を行う拭き清掃手段と、前記拭き清掃手段と導通することで前記清掃手段と電位を等しくする導通部材と、を有し、前記拭き清掃手段と前記導通部材が導通することで、前記検出面と前記拭き清掃手段が同電位となることを特徴とする。

また、本発明は、検出面を備える検出素子を清掃する清掃装置であって、前記検出面に接触しながら清掃する拭き具と、前記拭き具を巻き取る巻き取り機構と、前記拭き具を巻き取り方向に折り返し、前記検出面に前記拭き具の折り返し部を接触させる芯材と、前記拭き具の折り返し部で前記拭き具の動きを規制するガイド部材と、を備え、前記ガイド部材は前記芯材に対して巻き取り側に巻き取り口を備え、前記拭き具の幅より前記ガイド部材の巻き取り口の開口幅は狭く形成されることを特徴とする。

本発明によれば、検出面を備えた検出素子の検出面に付くゴミの除去に適切に対応することができる。

本実施形態に係る清掃装置の外観正面斜視図本実施形態に係る撮像装置の正面図本実施形態に係る清掃装置および撮像装置の主要な構成を示すブロック図本実施形態に係る清掃装置の各シーケンスを説明するフローチャート図本実施形態に係る一連の清掃シーケンスを説明するフローチャート図本実施形態に係る第１の清掃シーケンスにおける撮像素子の図本実施形態に係る第２の清掃シーケンスにおける撮像素子の図本実施形態に係る第２の清掃部５の概観図本実施形態に係る第２の清掃部５の先端部位の構成を説明する図本実施形態に係る第２の清掃部５の先端部位の構成を説明する正面図本実施形態に係る第２の清掃部５の先端部位の構成を説明する俯瞰図本実施形態に係る第２の清掃部５が撮像素子表面３０を清掃する際の接触角度を説明する側面図

以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、図中で共通する部分には同一の符号を付す。

図１（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態に係る清掃装置の一例としての清掃装置１００を示している。本実施形態では、デジタルカメラに備えられたＣＭＯＳセンサー等で構成された撮像素子の撮像面を清掃するための清掃装置として例示する。

図１（ａ）は清掃装置１００の外観図である。清掃装置１００は金属シャーシからなる本体１、清掃対象である検出装置（本実施形態ではカメラ）を固定する固定部２、種々の情報を表示する表示部７を有する。表示部７は清掃装置と通信可能な別体として構成されていても構わない。

図１（ｂ）は清掃装置１００の内部の構成を示す図である。可動台座６には確認部３と第１の清掃部４、第２の清掃部５が一体に備わっており、可動台座６が三次元方向に並進および回転を行って各部の位置を適宜変更可能としている。特に、各部が固定部２の位置、即ちカメラ２００装着後の撮像素子表面（検出面）に対して接近、退避が可能なように、可動台座６は上下方向に並進可能な並進機構を有する。

固定部２は本体１の外装面に配置されるリング状の金属部材から成り、本実施形態では清掃対象となるカメラが通常使用時に交換レンズを着脱するカメラマウントが装着・固定可能な構造になっている。固定部２はさらに電気接続端子を備えて装着されるカメラとの通信も可能である。また固定部２は、清掃装置１００による清掃の様子をモニタリングする際の光量の確保のためにリング状の照明を備えており、第１の清掃部４、第２の清掃部５による検出素子の清掃時には清掃対象である検出素子（カメラの撮像素子）に光を照射する。また、固定部２は装着される外部機器の種類に応じて特に接続部分の適切な形状（機構）が異なるため、本体１に対して着脱可能に構成され、接続が想定される外部機器に合わせて交換されてもよいし、接続が想定される外部機器の種類の分だけ設けられてもよい。さらに、機種に依らずカメラを固定可能な汎用的な固定機構として設けられていてもよい。

本実施形態では、装着対象であるカメラのいわゆるカメラマウントにおける接続端子を利用してカメラの装着を検知する。すなわち、固定部２の接続端子がカメラマウントの接続端子と電気的に接続したことに応じて清掃装置１００にカメラが装着されたことを検知する。

第１の清掃部４は検出素子表面に対して非接触式の清掃を行う清掃機具であり、本実施形態においてはエアーを噴射し、風圧でゴミを吹き飛ばす。

第２の清掃部５は検出素子表面に対して接触式の清掃を行う清掃機具であり、本実施形態においては拭き具を用いた拭き清掃でゴミをからめとる。

図１（ｃ）は清掃装置１００の背面の構成を示す図である。制御部１０はＣＰＵを含むコンピュータからなり、清掃装置１００全体の動作制御を司るものであり、各部からの情報の処理や各部に対する指示を行う。

エアーフィルタ１１は第１の清掃部４に用いるエアーが吸入口１２を介して外部のポンプ等から注入されたとき、エアーに存在するゴミや油分を低減するフィルターであり、フィルターを通ったエアーは第１の清掃部４に供給される。エアーフィルタ１１がなければ、エアーに含まれるゴミを検出素子の検出面に吹き付けてしまう可能性もある。圧力計１３は注入されるエアーの圧力を計測、表示する。使用者は圧力計１３の示す圧力を見て随時適切な圧力に調整できる。

電源１４は清掃装置１００全体に電源を供給している。また、インターフェース（本実施形態では固定部２の電気接続端子、通信部１７など）を介して外部機器に給電を行う機能を備えていてもよい。

図２は、清掃対象となる検出素子である撮像素子を有する装置の一例としてのカメラ２００である。本実施形態では、カメラ２００はレンズ交換式のデジタル一眼レフカメラである。カメラ通信部２４は、カメラ固定部２３にてカメラに固定されることで外部機器と電気的に接続された状態で通信を行う。外部機器がレンズである場合、不図示のカメラ制御部によってレンズ制御を行うとともに、レンズおよびカメラ２００の各種情報のやり取りを行う。撮像素子２２は被写体光を受光し電気信号に変換することで、デジタル画像データを生成する。本実施形態ではＣＭＯＳセンサーが用いられるが、その他にもＣＣＤ型、ＣＩＤ型等様々な形態が考えられる。さらに、受光素子に限らず、Ｘ線などの電磁波を検出する検出素子など、素子表面で検出を行う機能を有する検出素子であれば、いずれの形態の検出素子も本清掃装置の清掃対象となりうる。また、撮像素子２２はフォトダイオードの上にカバーガラス、ＩＲカットフィルター、ＬＰＦ等を厚み方向に重ねた構造であり、本清掃装置はその最表面を清掃対象としている。

次に図１（ｂ）、図２を参照して、本実施形態に係る清掃装置と本実施形態に係る検出装置であるカメラとの接続構成について説明する。

カメラ２００は、カメラ固定部２３を清掃装置の固定部２に接続することにより固定される。制御部１０は、後述する通信部１７とカメラ通信部２４を介してカメラ制御部２１と通信を行うことでカメラ２００の制御を行うことができる。例えば清掃装置１００はカメラ機種判定やカメラ２００側のミラー、シャッターを動かす撮像動作などの制御を行うことができる。

図１（ｂ）では、第２の清掃部５が固定部２の方向に向けられている。可動台座６が上下に並進する並進機構を有することで、第２の清掃部５は固定部２のリング中央を通り、カメラ２００が物理的に接続された状態で撮像素子２２に近接することができる。

また、可動台座６は取り付けられた部材を回転させる回転機構を有し、その回転軸の周りの異なる位相の位置で確認部３、第１の清掃部４、第２の清掃部５が配されている。この回転機構により、第２の清掃部５と同様に確認部３、第１の清掃部４においても、各部の正面を固定部２に（すなわち撮像素子２２の撮像素子表面に）対向する位置に回転駆動させることができる。

また、可動台座６の回転機構は、後述する各部の清掃シーケンスにおいて、各部の清掃部を検出面に対する傾き（角度）を制御するためにも用いられる。すなわち、制御部１０の制御に従って、第１の清掃部４が撮像素子２２の検出面にエアーを噴出する際の、噴出口の傾きを制御したり、第２の清掃部５が検出面を拭き清掃する際の、拭き具（及び芯材）の傾きを制御したりする。以上のように、可動台座６の並進機構と回転機構によって、制御部１０は各部を固定部２、すなわち検出素子の検出面に対向させたり、接近、退避させたりするなど、検出面に対する距離を制御することが可能となっている。

確認部３は照明を備え、制御部１０の指示に従って対象に照明光を照射する。本実施形態では部材の先端にＬＥＤが搭載されており、近接させた状態で撮像素子２２を照射して、このとき撮像素子２２の素子表面（センサー面）を撮像することで、面の汚れの状態を確認する画像を取得することに用いられる。以下に示す実施形態では撮像素子２２の撮像機能を利用してセンサー面の画像を取得しているが、本発明はこれに限らず、確認部３自身が撮像素子など何らかのセンサーを有して検出素子表面の状態を確認できる情報が取得できてもよい。また、本実施形態では、確認部３は第１の清掃部４、第２の清掃部５とともに可動台座６に装着されているが、例えば固定部２の近傍などに固定されて設置されていてもよい。このように設置すると、各清掃部の清掃の実行時にも照射、撮像可能になる。また、第１の清掃部４、第２の清掃部５の清掃部材（噴射口、芯材の先端の拭き具）近傍に確認部３として照明およびまたは撮像素子をそれぞれ設けてもよい。

第１の清掃部４は検出素子表面に対して非接触式の清掃を行う清掃機具であり、本実施形態においては筒状の部材の先端（噴射口）からエアーを噴射することで、近接した撮像素子２２の表面についたゴミを風圧により吹き飛ばす。さらに、本実施形態では、撮像素子２２の表面に付いているゴミを除電して剥離しやすくするために、第１の清掃部４はエアーを帯電させ除電機能をもたせるイオナイザーを有している。しかし、こうした除電機能がなくエアーの吹きかけのみでも一定の効果はあるので、イオナイザーが必ずしも必要なわけではない。

第２の清掃部５は検出素子表面に対して接触式の清掃を行う清掃機具であり、本実施形態においては芯材の主に先端に取り付けられた拭き具を用いた拭き清掃で、近接した撮像素子２２の表面を直接なぞることでゴミをからめとる。拭き具は，例えば超極細繊維の布、ペーパー、テープなどが用いられ、かつ巻き取り式で第２の清掃部５が接触、移動し拭き清掃を行うと共に、新しい拭き具が清掃面に接触するように構成されている。さらに本実施形態では必要に応じて、油汚れを落とすための溶剤を拭き具に浸けて清掃を行うことも出来る構成になっている。第１の清掃部４および第２の清掃部５のいずれに関しても、それぞれ非接触式の清掃機具、接触式の清掃機具であれば、その具体的な構成は特に限定されない。

図３は本実施形態にかかる清掃装置１００及びカメラ２００の主要な電気的構成を示すブロック図である。

清掃装置１００は電源１４から供給される電力で動作し、電源ＳＷ１５で電源のオンオフを切替える。表示部７は清掃装置１００およびカメラ２００の各種情報、動作の状態やユーザー操作による設定やユーザー操作の誘導など、制御部１０からの指示に応じて各種の情報を表示する。

入力部８は、装着されるカメラに応じて適切な動作を行うために、メモリ１６に記憶された、あるいは通信部１７や他の通信経路を介して取得した、外部機器の情報が入力される。また、ユーザー操作による各種の指示情報も入力部８に入力される。本実施形態では、外部機器の情報として接続されるカメラ２００の機種情報やスペックに関する情報を、入力部８を介して取得するものとする。

測定部９は例えばレーザ距離計等から成り、接続されているカメラ２００の撮像素子２２の位置（座標、撮像素子までの距離など）やサイズを測定する。装着されるカメラの機種情報が定まり、対応する清掃プログラムがメモリに記憶されている状況であれば、必ずしも測定部９を設けて位置やサイズを測定する必要はない。清掃装置１００の本体１に内蔵されたＣＰＵを含むコンピュータからなる制御部１０は、清掃装置１００の動作制御を司るものであり、各部からの情報の処理や各部に対する指示を行う。

固定部２に設けられた接続端子は、固定部２にカメラ固定部２３が装着されることで、カメラマウントの接続端子と電気的に接続したことを検知し、制御部１０はカメラ２００の接続を検知する。

通信部１７は検出素子を有する検出装置との通信を行う。本実施形態では、ＵＳＢの企画に対応する接続端子であり、接続ケーブルを介してカメラ２００側のカメラ通信部２４と電気的に接続される。清掃装置１００、カメラ２００が共に電源ＯＮの状態で接続ケーブルが通信部１７、カメラ通信部２４の各端子に接続されると、通電し通信が確立される。清掃装置１００とカメラ２００の通信方法としてはこれに限らず、有線ＬＡＮ、ＨＤＭＩ（登録商標）、無線ＬＡＮ（Ｗｉ−Ｆｉ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、ＢＬＥ（ＢｌｕｅｔｏｏｔｈＬｏｗＥｎｅｒｇｙ））など公知の通信方法が適用可能である。

次に清掃装置１００に着脱可能に接続されるカメラ２００の構成例を説明する。カメラ制御部２１はマイクロコンピュータであり、撮像素子２２の動作制御および撮影画像の記憶やデータ通信など、カメラ２００全体の制御を司るものである。

撮像素子２２は、カメラマウントの設けられた開口部から接近可能な位置に配され、通常は撮影レンズが装着された状態で被写体からの光束を受光するフォトダイオードでなる検出面を有する。撮像素子２２で受光された光束は電気信号に変換されて画像データを出力する。

ミラー２５はカメラ２００にとって撮像素子２２よりも被写体側、光軸上に位置し、撮像素子２２への光を、撮像素子２２以外の不図示のセンサーや光学式ビューファインダーなどに反射または分光する。ミラー２５は撮像素子２２の清掃時には撮像素子２２の光軸上から少なからず退避させる必要がある。本実施形態では、カメラ２００が撮像素子２２の露光時にミラー２５を光軸から退避させる機構を利用して、清掃時に清掃装置１００からの部材が撮像素子２２に近接できる程度に、ミラー２５を光軸から退避させておくものとする。本実施形態では、検出装置であるカメラ２００はミラー２５を有するデジタル一眼レフカメラであるが、光学ファインダーを持たずミラーを持たない、いわゆるミラーレス一眼カメラであっても本発明は適用できる。

遮光部材２６は撮像素子２２よりもカメラ２００にとって被写体側に位置し、撮像時に撮像素子２２への光を遮光するシャッターの役割を有する。

次に図４を用いて、清掃装置１００の各種動作シーケンスを説明する。

図４（ａ）は確認部３を用いて清掃対象の検出素子表面の状態（汚れの状態、清掃状態）を確認するための確認シーケンスを説明するフローチャート図である。制御部１０は清掃装置１００が行う清掃シーケンス全体の中で、適宜本フローの動作あるいは動作の指示を各部に行う。清掃装置１００は本確認シーケンスが始まる段階では、既にカメラ２００がカメラ固定部２３及び固定部２によって清掃装置１００に固定され、カメラ通信部２４と固定部２の通信部を介してカメラ２００と通信が確立された状態となっている。

まず制御部１０は可動台座６を制御することで確認部３を固定部２の方向へ向け、さらに固定部２およびカメラ固定部２３を通過するように移動させ、確認部３の先端を撮像素子２２に近づける（Ｓ１００）。撮像素子２２近傍において、確認部３は先端に設けられたＬＥＤ等の点光源の発光により撮像素子２２を照射する（Ｓ１０１）。照明の形態としては点光源に限らず適用可能だが、点光源であれば均一な光が各素子に入射されやすいので検出面の状態をほぼ同じ条件で計測でき好ましい。

上記照明が照射された状態で、制御部１０は通信部１７およびカメラ通信部２４を介してカメラ制御部２１に信号を送り、撮像素子２２に撮像動作を行わせ（Ｓ１０２）、撮影画像を取得する（Ｓ１０３）。取得した画像は通信部１７を介してメモリ１６に記録されるとともに、表示用画像に変換されて表示部７に表示される（Ｓ１０４）。このとき制御部１０は、撮像され記録された画像から、例えば特異点検出などの公知の画像解析により撮像素子表面の状態とゴミや汚れの情報を検出し、画像と合わせて表示部７に表示する。本実施形態ではさらにこれらの情報をもとに撮像面の初期状態の確認、清掃後の清掃完了判定、清掃前後の比較提示などを行う。本実施形態では何かしらの清掃後の確認シーケンスにおいては、清掃前後の比較提示を表示部７に行い、ユーザーに清掃の効果や残存するゴミについて知らしめることができる。画像記録後、確認部３は撮像素子２２の近傍から退避して（Ｓ１０５）、確認シーケンスは終了する。

図４（ｂ）は第１の清掃部４を用いて検出素子表面を非接触式の清掃方法で清掃する第１の清掃シーケンスを説明するフローチャート図である。制御部１０は清掃装置１００が行う清掃シーケンス全体の中で、適宜本フローの動作あるいは動作の指示を各部に行う。清掃装置１００は本第１の清掃シーケンスが始まる段階では、既にカメラ２００がカメラ固定部２３及び固定部２によって清掃装置１００に固定され、カメラ通信部２４と通信部１７を介してカメラ２００と通信が確立された状態となっている。

まず制御部１０は可動台座６を制御することで第１の清掃部４を固定部２の方向へ向け、さらに固定部２およびカメラ固定部２３を通過するように移動させ、第１の清掃部４の清掃に用いる部分（先端）を撮像素子２２に近づける（Ｓ１１０）。その後、第１の清掃部４は撮像素子２２の近傍において、先端の噴射口からエアーを噴出する（Ｓ１１１）。

図６はステップＳ１１１における第１の清掃部４の清掃方法を説明するイメージ図である。図６（ａ）は撮像素子２２の撮像素子表面３０を正面から見た図、図６（ｂ）は撮像素子２２の撮像素子表面３０を側面から見るとともに第１の清掃部４が撮像素子表面３０に近づいてエアーを噴出している様子を説明する図である。

図６（ａ）に示す通り、制御部１０は可動台座６を制御して撮像素子２２の表面３０に対して移動軌跡３１のように第１の清掃部４を動かしながら、エアーを噴出させる。また、図６（ｂ）に示す通り、移動中第１の清掃部４は進行方向３３に対してエアーが噴出されるように制御されている。移動軌跡３１は撮像素子２２の中央部から螺旋を描くように外側へ広がる形で設定されている。このような軌跡をとることにより、撮像素子表面３０に付着しているゴミを撮像素子２２の外に飛ばすことができるとともに、一度飛ばしたゴミが撮像素子表面３０に再付着することを抑制することができる。さらに、第１の清掃部４を進行方向３３にエアーが噴出するように傾けて移動させることで、より撮像素子外に排出する効果を得ることができるとともに、撮像素子表面３０の端部近傍に位置する遮光部材を避けて稼働させることもできる。

このように、第１の清掃部４は、噴出したエアーによって撮像素子２２の撮像素子表面３０についた比較的大きな固形ゴミ、埃などのゴミを表面から除去することができる。ここで、例えば撮像素子表面３０に大きな固形ゴミがついた状態で、第２の清掃部５が行うように撮像素子表面３０をなぞるように清掃を行うと、ゴミを引きずることで表面を傷つける可能性がある。これに対して第１の清掃部４のように非接触にゴミを除去する方法では、ゴミを撮像素子表面３０に引きずらず、キズを付けにくいという効果がある。

また本実施形態では、第１の清掃シーケンスを通して、第１の清掃部４が撮像素子２２の撮像素子表面３０に接触しないように制御部１０が可動台座６を制御している。これにより撮像素子２２の撮像素子表面３０を傷つける可能性をさらに減らすことができる。エアー噴出を行った後、第１の清掃部４は撮像素子２２の近傍から退避して（Ｓ１１２）、第１の清掃シーケンスは終了する。

図４（ｃ）は第２の清掃部５を用いて検出素子の表面に対して接触式の清掃を行う第２の清掃シーケンスを説明するフローチャート図である。制御部１０は清掃装置１００が行う清掃シーケンス全体の中で、適宜本フローの動作あるいは動作の指示を各部に行う。清掃装置１００は、本第２の清掃シーケンスが始まる段階では、既にカメラ２００がカメラ固定部２３及び固定部２によって清掃装置１００に固定され、カメラ通信部２４と固定部２の通信部を介してカメラ２００と通信が確立された状態となっている。

まず制御部１０は可動台座６を制御することで第２の清掃部５を固定部２の方向へ向け、さらに固定部２およびカメラ固定部２３を通過するように移動させ、第２の清掃部５の清掃に用いる部分（先端）を撮像素子２２に近づける（Ｓ１２０）。ここで、拭き掃除の際に油汚れ等を取り除くための溶剤を用いる場合には、可動台座６を制御して他の回動位置に設けられた溶剤の入った容器に第２の清掃部５の先端を浸けてから、固定部２の方向へ向ける。その後、第２の清掃部５は撮像素子２２の近傍において、先端を撮像素子２２に接触させ、先端に取り付けられた拭き具（布、ペーパー等）で撮像素子２２の表面を拭取る（Ｓ１２１）。ここで、拭き取りの最中に清掃部に加わる力Ｆがしきい値を超えたか否かを、ロードセル等の検知器で力Ｆを測定した結果に基づいて制御部１０が判定する（Ｓ１２２）。しきい値を超えた場合、同一箇所を再び拭き取る。しきい値を超えない場合、清掃箇所を移動する（Ｓ１２３）。清掃箇所を移動した後、検出素子の表面すべての箇所の拭き取りが完了したか判定する（Ｓ１２４）。拭き取りが完了していない場合、移動した箇所で拭き取りを行う。拭き取りが完了した場合、第二の清掃部を退避させる（Ｓ１２５）。

図７はステップＳ１２１における第２の清掃部５の清掃方法を説明するイメージ図である。図７（ａ）は撮像素子２２の撮像素子表面３０を正面から見た図、図７（ｂ）は撮像素子２２の撮像素子表面３０を側面から見るとともに第２の清掃部５が撮像素子表面３０と接触して先端の拭き具で撮像素子表面３０を拭き取る様子を説明する図である。

図７（ａ）に示す通り、制御部１０は可動台座６を制御して撮像素子２２の表面３０に対して第２の清掃部５を動かしながら、先端の拭き具により拭き取り清掃を行わせる。また、図７（ｂ）に示す通り、移動中第２の清掃部５は進行方向４４に傾いた状態で撮像素子表面３０に接触しながら移動するように制御されている。

第２の清掃部５は、図７（ａ）に示す通り、第１の移動軌跡４０と第２の移動軌跡４１のように清掃領域を一部重複させながら順次走査されて拭き取り清掃を行う。さらに、第１の清掃エリア４２、第２の清掃エリア４３を重複させることで拭き残しを防ぐ。また各清掃エリアでは拭き残しを防ぎ、かつゴミを撮像素子表面３０外に追い出すために、基本的に同一方向に拭くのが望ましい。図７（ｂ）では、第１の清掃エリア４２内を清掃方向４４で拭き清掃する様子を示している。このとき第２の清掃部５は、清掃方向４４に対して垂直な面から清掃方向４４と反対の方向に傾けて撮像素子表面３０に接触することで、滑りやすくしている。また、撮像素子表面３０の端部の画素が遮光部材等で隠れている場合、図７（ｂ）のように傾けて走査することで、第２の清掃部５が遮光部材等と接触することなく隅まで拭き清掃を行うことができる。

また、撮像素子表面３０に加わる力Ｆが大きく、撮像素子表面３０の表面抵抗が大きいと第２の清掃部５によるスムーズな拭き取りが行えず、拭き具４５が撮像素子表面３０から飛び跳ねてしまう。図７（ｃ）は第２の清掃部５が飛び跳ねた様子を示している。飛び跳ねが発生すると拭き取れていない箇所が出来てしまい、汚れが残ってしまう。これを防ぐため、本実施形態では清掃面に加わる力Ｆをロードセル等によって検出し、ロードセルと共に設けられたアクチュエータを用いて制御部１０が清掃部に加わる力Ｆを制御（調整）する。図７（ｄ）を用いて具体的な制御方法について記述する。

図７（ｄ）は清掃部に加わる力Ｆを縦軸に、経過時間を横軸に示したグラフである。清掃面に加わる力Ｆが、飛び跳ねを検知する閾値Ａを下回った場合、制御部１０は第２の清掃部５が飛び跳ねた事を検知し、第２の清掃部５は飛び跳ねが発生した箇所に対し、アクチュエータによって清掃面に加わるＦを小さくし再度拭き取り清掃を行う。例えば第１の移動軌跡４０で飛び跳ねを検知すると、第１の移動軌跡４０の清掃（拭き取り１回目）が完了した後、拭き具４５を撮像素子表面３０から離し、再度第１の移動軌跡４０の開始地点に移動し、清掃（拭き取り２回目）を行う。その際、アクチュエータによって清掃部に加わる力Ｆを小さくしたうえで拭き取り清掃を行う。飛び跳ねが検知されること無く清掃が完了したら、第２の移動軌跡４１へ移動する。以降の清掃は清掃部に加わる力Ｆを小さくした状態で行われる。これにより、以降の飛び跳ねを防ぐことが出来る。以上の手順を行うことにより、第２の清掃部５は、撮像素子表面３０をくまなく拭き取り清掃することができ、汚れ残りを防ぐことが可能となる。ここで、拭き取り２回目は飛び跳ねを検出した場所近辺のみを行うよう制御してもよい。

またステップＳ１２１の拭き清掃に当たって、制御部１０は過去に同一種類の検出素子を清掃したか否かを判定し、同一種類の検出素子（撮像素子）である場合、メモリに記憶された過去の力の制御情報を参照して力Ｆの制御を行う。この判定は、ユーザからの入力に基づいて行われてもよいし、検出装置（カメラ１００）からのＩＤ情報に基づいて行われてもよい。

以上の手順で行うことにより、第２の清掃部５は、撮像素子２２の表面についたゴミや粘着性の高い油などの汚れを表面から除去することができる。第２の清掃部５は清掃後、撮像素子２２の近傍から退避して（Ｓ１２２）、第２の清掃シーケンスを終了する。

上述したとおり、検出素子を備えた電子機器を清掃する際に飛び跳ねが生じると、清掃装置は清掃面に加わる力Ｆを小さくする。また、制御部１０はステップＳ１２１、Ｓ１２２で行った清掃面に加わる力Ｆを制御した制御情報を清掃対象となった電子機器の情報と紐づけて清掃装置のメモリ１６に保存する。これにより、以降同じ種類の検出装置を清掃することが判定された際に、清掃開始直後から飛び跳ねが生じない最適な押付力で清掃することが可能となる。

次に図５のフローチャート図を参照して、本実施形態に係る清掃シーケンス全体の流れについて説明する。本フローは、例えば電源ＳＷ１５が操作されることにより電源をＯＮされたことや、入力部８から清掃工程の開始指示を受信したことなどに応じて開始する。制御部１０は本フローにおいて各動作を行う、あるいは各動作の指示を各部に行う。

制御部１０は、固定部２に設けられた接続端子により、固定部２にカメラ２００のカメラ固定部２３が装着、固定されたことを検知する（Ｓ２００）。次に、制御部１０は、通信部１７とカメラ通信部２４とが電気的に接続されたことを検知し、これをトリガとして清掃装置１００とカメラ２００との間で通信を確立する（Ｓ２０１）。

次に、制御部１０は、清掃対象である検出素子の検出素子情報を取得する（Ｓ２０２）。検出素子情報としては例えば、撮像素子２２の位置やサイズ、材質や撮像素子２２を清掃する妨げになる部材の位置等の情報を取得する。これらの情報は、カメラ２００より通信にて取得しても良いし、カメラ２００から取得されるカメラの機種情報に基づいて、予めメモリ１６に記憶されたデータベースから上記検出素子情報を読み出してもよい。また、入力部８を介してユーザー入力により検出素子情報あるいはカメラ２００の機種情報を取得してもよい。また、確認部３に撮像素子２２の状態を検出するセンサーが設けられた実施形態である場合には、本ステップにおいて、確認部３により検出される例えば画像などの情報に基づいて上記検出素子情報を取得する。

ステップＳ２０３では、制御部１０はステップＳ２０２で得られた撮像素子２２の検出素子情報に基づいて制御情報を決定する。具体的には撮像素子２２の位置、サイズ情報に基づいて、可動台座６を用いて確認部３、第１の清掃部４、第２の清掃部５をそれぞれ進退させる際の駆動幅を決定し、検出面との距離を制御する。また、第１の清掃部４のエアー噴射位置や噴射の強さ、第２の清掃部５の拭き清掃の範囲や、拭き具へ付ける溶剤の有無なども決定する。ここで本実施形態では、第１の清掃部４、第２の清掃部５の少なくともいずれかを用いた複数の清掃コースを用意しており、ユーザーは汚れの状態や作業時間等を考慮して、例えば表示部７に表示される複数の候補の中から清掃コースを選択することが出来る。コースとしては例えば以下のようなものを用意する。以下、本実施例ではコース１が選択されたものとして後続のフローを説明するが、他のコースを選択した場合には、選択されたコースに不要なステップは適宜省略（何も動作を行わずに通過）すればよい。また、設定可能なコースとしてはもちろんこの限りではなく、ユーザーにより各種シーケンスを自由に設定して作成されるコースを設けてもよい。

コース１．第１の確認シーケンス→第１の清掃シーケンス→第２の清掃シーケンス→第１の清掃シーケンス→第２の確認シーケンス
コース２．第１の確認シーケンス→第１の清掃シーケンス→第２の清掃シーケンス→第２の確認シーケンス
コース３．第１の確認シーケンス→第２の清掃シーケンス→第１の清掃シーケンス→第２の確認シーケンス
コース４．第１の確認シーケンス→第１の清掃シーケンス→第２の確認シーケンス
コース５．第１の確認シーケンス→第２の清掃シーケンス→第２の確認シーケンス
コース６．第１の確認シーケンス

ステップＳ２０４では、制御部１０は各種シーケンスを撮像素子２２に実行するために、カメラ制御部２１にミラー２５のアップとシャッター２６の開放を指示する信号を送信する。ミラーアップとシャッター開放の指示信号を受信したカメラ制御部２１は、ミラー２５をアップさせシャッター２６を開放した後、動作が完了した旨を伝える信号を制御部１０に送信し、これを受信した制御部１０は次のステップに進む。ただし、上述したミラーレス一眼カメラなど、カメラの機種によっては本ステップを行わずとも撮像素子２２が遮蔽されず清掃可能な状態の機種もあり、その場合本ステップ及び後述するステップＳ２１１は不要である。

ステップＳ２０５では、制御部１０が図４（ａ）に示した確認シーケンスを、清掃を行う前の第１の確認シーケンスとして行う。ステップＳ２０６では、制御部１０は図４（ｂ）に示した、第１の清掃部４を用いた第１の清掃シーケンスを行う。第１の清掃シーケンスが終了した後、ステップＳ２０７では、制御部１０は図４（ｃ）に示した第２の清掃部５を用いた第２の清掃シーケンスを行う。ここで、第１の清掃シーケンスを第２の清掃シーケンスの前に行うのは、第２の清掃部５による拭き掃除の際に撮像素子表面３０に付着した大きなゴミが引きずられて表面が傷つくことを防ぐために事前に第１の清掃シーケンスで大きなゴミを除去するためである。

第２の清掃シーケンスが終了した後、ステップＳ２０８では、制御部１０は第１の清掃部４による第１の清掃シーケンスを再び行う。シーケンス内の動作はステップＳ２０６と同じでもよいし、異ならせてもよい。ここで、第１の清掃シーケンスを第２の清掃シーケンスの後に行っているのは、第２の清掃部５による拭き掃除の際に拭き具の繊維が撮像素子表面３０に残ったり、撮像素子表面３０外へ押し出したゴミが周辺に残ったりするからである。第１の清掃シーケンスを第２の清掃シーケンスの後に行うことで、それらのゴミを吹き飛ばしてきれいにすることができる。

ステップＳ２０８の第１の清掃シーケンスが終わると、ステップＳ２０９では図４（ａ）に示した清掃後の第２の確認シーケンスを行う。清掃前の第１の確認シーケンスとの違いは、ステップＳ１０４にて表示部７に清掃前後の画像およびゴミ個数などの状態を比較可能に表示できることである。ステップＳ２１０では、ステップＳ２０９で取得した清掃後の画像情報に基づいてゴミ個数が規定値をクリア（規定値を下回る）しているかを判定する（Ｓ２１０）。ここで規定値をクリアしていなければ、ステップＳ２０６に戻り、再度清掃を行う。このとき、一度各清掃シーケンスを経たにもかかわらず取れていないゴミを除去するため、清掃における各種パラメータを変更して再度各清掃シーケンスを行うとよい。例えば、第１の清掃部４ではエアーの強度を前回より強くする、イオナイザーによる帯電の程度を前回より強くする、噴射時間を前回より長くする、移動範囲を前回より広げる等が考えられる。また、第２の清掃部５では、前回の清掃で溶剤を浸けていなければ溶剤を拭き具に浸ける、撮像素子表面３０への接圧を前回より強くする、などが考えられる。

ステップＳ２１０にて規定値をクリアしていれば、ステップＳ２１１に進み、制御部１０はカメラ制御部２１にミラー２５のダウンとシャッター２６の閉鎖を指示する信号を送信する。ミラーダウンとシャッター閉鎖の指示信号を受信したカメラ制御部２１は、ミラー２５をダウンさせシャッター２６を閉じた後、動作が完了した旨を伝える信号を制御部１０に送信し、受信した制御部１０は清掃シーケンスを終了する（Ｓ２１１）。

ここで、本実施形態ではステップＳ２１０で清掃の状態を確認するために撮像素子２２に残存するゴミの個数を検出しているが、これに限らず、画像から解析可能な撮像素子２２の状態を示すものであれば、他の解析結果を基準に用いてもよい。また、本実施形態では、ゴミの個数が規定値をクリアするまで繰り返し各清掃シーケンスを行う例を示したが、ゴミの個数などの清掃の結果を表示部７に表示するだけで、特に繰り返しフローを設けなくてもよい。

以上の通り、本実施形態では、物理量を検出する検出素子の検出面に対して風圧（噴射）で清掃を行う第１の清掃部による清掃を行った後に、接触して拭き清掃を行う第２の清掃部による清掃を行う。これにより、検出面につく複数種類のゴミを適切に除去することができる。さらに拭き清掃の後に再度非接触の清掃を行うことで拭き清掃時の拭き具の繊維や清掃し損ねたゴミ、検出面周辺のゴミを除去することができる。また、清掃の前あるいは後あるいは前後で検出面を撮像し検出面の画像を得ることで、清掃前あるいは後あるいは前後の検出面の状態を確認することができる。このとき検出面を照射する光源は点光源とすることで、被写界深度のより深い、ゴミをより認識しやすい画像を取得することが出来るので、検出面に残存するゴミを視認あるいは検出しやすい。また、検出面を撮像した画像を解析することでゴミの状態を分析することができ、ゴミの個数を示したり、ゴミの視認性をあげる表示を行ったりすることが可能となる。

さらに複数の清掃シーケンスが可能な複数の清掃部を備えた清掃装置であることで、検出素子を備えた検出装置の検出面に付く複数種類のゴミの除去に対応することができる。

図８を参照して、本実施の形態に係る第２の清掃手段５の構成について説明する。図８は第２の清掃部５の構成例を示している。地板８０にゴミを拭き取るためのμファイバーを織り込んだ繊維テープ８１、繊維テープ８１を巻き取るための巻き取り部８２、繊維テープ８１を繰り出すための８３、巻取量をコントロールするための歯車部８４が取り付けられている。芯材８５の先端には、金属で形成された先端芯部８６が取り付けられ、芯材８５の根元（他端）にはロードセル８７が配置され、ロードセル８７の根元（他端）にアクチュエータ９１が配置されている。ロードセル８７によって撮像素子表面３０に加わる力が検出（検知）され、検出結果に基づいてアクチュエータ９１を用いて制御部１０が撮像素子表面３０に加える力を制御する。振動子８８は先端芯部８６に振動を付与する。ローラ８９は金属製の部品であり、芯材８５に当接して芯材８５の駆動方向を律する。ガイド部材９０は、繊維テープ８１の動きを規制する部材であり、樹脂で成型されている。振動子８８は圧電素子やアクチュエータにより振動を発生させることで、清掃動作時にＺ方向の微小振動を先端芯部８６に与えることで繊維テープ８１と撮像素子表面３０との摩擦力を低減し、滑らかな清掃動作を可能とする。また振動子８８の振動によって繊維テープ８１、ガイド部材９０、先端芯部８６との摩擦力も低減されるため、繊維テープ８１の巻取りの際にも滑らかな巻取りを行うことが可能となる。

ここで第２の清掃部５の清掃時の動作の詳細を説明する。まず、歯車部８４が繊維テープ８１を噛み込みながら巻き取り、繰出部８３から未使用の繊維テープ８１を引き出して先端芯部８６にて清掃に用いられる。使用済みの繊維テープ８１は巻取部８２に巻き取られる。繊維テープ８１はガイド部材６０によって動きが規制され、先端芯部８６に繊維テープ８１が掛かる状態を維持しながら巻き取られる。清掃が開始されると、先端芯部８６に張られた繊維テープ８１を、撮像素子１１に押し当ててゴミの拭き取り動作を行う。この時、芯材８５は押し当て方向（図中Ｚ方向）にスライド動作することが可能となっており、弾性部材８７を押しつぶしながら適切な押圧により清掃を行う。弾性部材８７によって適切な押圧力が撮像素子表面３０にかかるため、撮像素子１１を傷つけてしまうことなく、ゴミの除去が可能となる。また、芯材８５には可動中も金属ローラ８９が当接されており、金属ローラ８９を介して固定部２と芯材８５との導通が確保されている。拭き取り動作中は芯材８５上に取り付けられた振動子８８が芯材８５を加振することで、押し当てられた繊維テープ８１と撮像素子表面３０との摩擦を軽減させ、繊維テープ８１が撮像素子表面３０に引っかかることなく、滑らかに清掃することが可能となる。

ここで固定部２と芯材８５が導通されている理由とその効果について説明する。第２の清掃部５と撮像素子表面３０（撮像素子２２）に電位差があると、一度取り除いたゴミが静電力により再度撮像素子表面へと吸い寄せられてしまうという課題がある。加えて、接触式の清掃はゴミの除去能力が高い反面、往復して拭き取り作業を行うため、撮像面上に静電気が溜まりやすいという課題もある。撮像面に静電気が生じると、空気中に舞うゴミも引き寄せてしまう可能性もある。そこで本実施形態では、固定部２と芯材８５が同電位となるように導通することで、固定部２（導通部材）の電位、すなわちグランドの電位とすることで、同じくグランドの電位になっている撮像素子２２との電位差をなくすように構成している。これにより第２の清掃部５と撮像素子表面３０の電位差が限りなく小さいため、ゴミが撮像素子表面３０に吸い寄せられてしまうのを防ぐことができる。

さらに本実施形態では、第１の清掃部４によるエアー清掃の際にもイオナイザーによってイオン化されたエアーを撮像素子表面３０に吹きつける。これにより撮像素子表面３０が除電されるので、何らかの理由で撮像素子表面３０が帯電してゴミを吸い寄せてしまうこと、後の第２の清掃部５による清掃時に表面と清掃部との間に電位差が生じてしまうことを防いでいる。

次に図９を参照して、第２の清掃部５の撮像素子表面３０に接近する先端部位の構成について説明する。図９（ａ）に示すのは、第２の清掃部５の、撮像素子表面３０に接近する先端部位の詳細構成を示した斜視図である。また図９（ｂ）、（ｃ）は横からの側面図および側断面図である。繊維テープ８１はガイド部材９０でそのＸＹ方向を、先端芯部８６でＺ方向の動きを規制される。

図９（ｂ）、（ｃ）に示すように、ガイド部材９０には繊維テープ８１の繰り出し口９０ａと巻き取り口９０ｂがあり、先端芯部８６を挟んで両者は反対側に位置する。繊維テープ８１の繰り出し口９０ａは、ガイド部材９０に入れられた切り込みによる開口で形成されている。繊維テープ８１が矢印９５の方向に巻き取られ移動することで、ここから繊維テープ８１をガイド部材９０と先端芯部８６で挟み込み始め、繊維テープ８１のＸＹ方向の動きを規制し始める。

繊維テープ８１の巻き取り口９０ｂは、ガイド部材９０に入れられた切り込みによる開口で形成されている。ガイド部材９０の先端の開口９０ｃから巻き取り口９０ｂまで、繊維テープ８１をガイド部材９０と先端芯部８６で挟みこみ、繊維テープ８１が巻き取られる際のＸＹ方向の動きを規制している。巻き取り口９０ｂは繰り出し口９０ａよりも開口９０ｃに近い位置に形成される。これによって清掃時に、より撮像素子表面３０に近いところで繊維テープ８１のＸＹ方向の動きが規制できる。

ガイド部材９０の先端は１つの開口９０ｃを有しており、先端芯部８６を挟んで巻き取り口９０ｂ側と繰り出し口９０ａ側に二分される。先端芯部８６は金属板を折り曲げて作成されており、折り曲げのＲ部形状８６ａが清掃時に撮像素子２２と向かいあうように構成されている。Ｒ部形状８６ａのような形状とすることで、繊維テープ８１が巻き取られて移動する際に、先端芯部８６の端に引っ掛かってしまうことを防止している。また先端芯部８６を芯材８５に固定する固定端とは逆側の端は、折り曲げた後、先端を巻き取り口９０ｂ側に配置することでも、繊維テープ８１の引っ掛かりを防止している。

図１０は開口９０ｃをＺ方向から観察した図であり、説明のため繊維テープ８１は省略している。図１０に示すように開口９０ｃの形状は、繰り出し口９０ａ側から巻き取り口９０ｂ側に近づくにつれ、そのＸ方向の開口幅が狭くなるように連続面９０ｄで形成されている。特に巻き取り口９０ｂ側のＸ方向寸法は、繊維テープ８１のＸ方向の幅よりも狭く、繰り出し口９０ａ側のＸ方向寸法は繊維テープ８１のＸ方向の幅よりも広く設定されている。

図１１（ａ）は第２の清掃部５の先端部位を巻き取り口９０ｂ側より観察した図である。開口６０ｃで繊維テープ５１が繰り出し口９０ａ側から巻き取り口９０ｂ側へ侵入する際、巻き取り口９０ｂ側のＸ方向寸法が自身の幅より狭く設定されている。このため、繊維テープ８１は左右の端（両端）を芯材側に折り込む形で、すぼまって巻き取り口９０ｂに侵入していく。

図１１（ｂ）は図１１（ａ）の破線部での断面を図の矢印方向から観察した図である。繊維テープ８１の左右端が折り込まれることで、Ｘ方向に繊維テープ８１が移動しようとすると、左右端に生まれる反発力で中心に繊維テープ８１の軌道が戻される。これにより、第２の清掃部５によって撮像素子表面３０を清掃する際に、繊維テープ８１がＸ方向の片側に寄ることなく、軌道を安定させて清掃することが可能である。

また繊維テープ８１がＸ方向で片側に寄ってしまうことが抑制されているため、撮像素子表面３０に対して繊維テープ８１の接触部を平行にできる。さらに撮像素子表面３０に対して圧力を均等に掛けられるため、左右端を折り込まない場合に比べて拭きムラの少ない清掃が可能である。

また、繊維テープ８１はガイド部材９０の連続面９０ｄに沿って折り込まれていくので、繊維テープ８１が開口９０ｃで繰り出し口９０ａ側から巻き取り口９０ｂ側へ侵入する際に、ガイド部材９０に引っ掛かってしまうことが防止できる。

折り込まれた繊維テープ８１の左右端は巻き取り口９０ｂから出ると、折り込みを戻し、フラットになってから歯車部８４へ巻き取られる。

また、図７に示したように、第２の清掃部５は、撮像素子表面３０に繊維テープ８１を接触させながら、撮像素子２２の長手方向に進行するよう移動し、撮像素子２２の表面を拭き取る。この時、各種の大きさの撮像素子に対応するため、繊維テープ８１の幅は、清掃装置１００に装着可能な撮像装置の有する撮像素子の中で最小のものに対して、有効画素範囲の短手方向の長さと同じか、より短く設定されていることが好ましい。

一方、清掃時間短縮のためには、一回の動作で拭き取れる範囲が広い方が好ましい。そのため繊維テープ８１の幅は、上記の最小の撮像素子に対して、有効画素領域の短手方向寸法を３で除した値よりも大きいものが好適である。

これにより、図７の第１の清掃エリア４２、第２の清掃エリア４３を少なくともそれぞれ３回の拭き取り動作で有効画素全領域の清掃を完了することができる。

図１２を参照して、本実施の形態に係る第２の清掃部５の清掃時の接触角度について説明する。図１２（ａ）には繊維テープ８１の使用済み面８１ｂが撮像素子表面３０に対向する場合を、図１２（ｂ）には繊維テープ８１の未使用面８１ａが撮像素子表面３０に対向する場合をそれぞれ示す。

第２の清掃部５は撮像素子２２の清掃にあたり、カメラ２００に配設された例えばミラー２５やシャッター２６などの内部部品１２０を避けながら、撮像素子２２のみを全面清掃する必要がある。そこで、芯材８５に張られた繊維テープ８１を挿入し、制御部１０の指示に基づき可動台座６を用いて位置制御をしながら清掃を行う。この時、繊維テープ８１の使用済み面８１ｂが撮像素子２２に近づくと、一度除去したゴミが零れ落ち、撮像素子２２へと再付着するリスクが高まる。そこで、図１２（ａ）に示すように、使用済み面５１ｂが撮像素子２２に対向する角度で清掃を行う場合は、角度θ１を大きくとり、撮像素子２２と使用済み面８１ｂの距離をできるだけ離しながら清掃を行う。一方、図１２（ｂ）に示すように未使用面８１ａが撮像素子１１に対向する角度で清掃を行う場合は、ゴミの再付着の可能性は低いため、角度θ２を小さくとり、より摩擦で先端が引っかかりづらい角度で清掃を行う。このように、繊維テープ８１と撮像素子２２の位置関係を考慮してθ１＞θ２となるように制御することで、ゴミの再付着リスクを軽減しつつ、最適な接触角度にて拭き取り作業を行うことができる。

また、未使用面８１ａと使用済み面８１ｂの成す角度は、９０度からθ１を減じた角度よりも小さいことが好適である。そのような構成にすることで、撮像素子１１の被写体側にカメラ２００の一部である内部部品１２０がある場合、角度θ１や角度θ２だけ傾けることで、繊維テープ８１は内部部品１２０の下に潜り込んで、撮像素子表面３０を清掃することができる。

以上のように、本実施形態では、接触式の拭き清掃を行う第２の清掃部５の清掃部（芯材８５、繊維テープ８１）と検出面（撮像素子表面３０）をそれぞれグランドの電位で同電位にする。これにより、両者に電位差があった場合に生じる検出面へのゴミの吸い寄せを防止する。

また、検出面にはイオン化されたエアーで除電処理も行うことで、検出素子単体でも検出面が電化してゴミを吸い寄せることを防止している。

ここで、清掃部と検出面を同電位にする方法は上記の実施形態で紹介した方法に限らない。例えば撮像素子表面３０と芯材８５を清掃している箇所とは別の部分で直接導通することで同電位にするようにしてもよい。

また、本実施形態では、拭き清掃を行う第２の清掃部５の先端の清掃部分（先端）の構成を工夫することで、清掃軌跡に対する清掃テープのずれを抑制し、拭き残しを低減している。具体的には、芯材と、芯材の側面に沿うように巻かれた拭き具に対して、
・繰り出しと巻き取りにガイドを設ける。
・金属製の芯材に対し、片面に繰り出し口、逆側の面に巻き取り口を設ける。
・テープ幅より巻き取り口は狭い。
・繰り出し口は巻き取り口より広い。
・巻き取り口は繰り出し口と連続面により一体的に形成される。
・巻き取り口出口のほうが繰り出し口入口より先端に近い。
・芯材は金属板を折り返して製作されており、折り返した端面は巻き取り口側に形成される。
のうち少なくとも１つの工夫を行うことで、上記効果を少なからず得ることができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、装置のレイアウト、シーケンスの組み合わせを含むこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

（他の実施形態）
本発明の目的は以下のようにしても達成できる。すなわち、前述した各実施形態の機能を実現するための手順が記述されたソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、システムまたは装置に供給する。そしてそのシステムまたは装置のコンピュータ（またはＣＰＵ、ＭＰＵ等）が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行するのである。

この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が本発明の新規な機能を実現することになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体およびプログラムは本発明を構成することになる。

また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスクなどが挙げられる。また、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等も用いることができる。

また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行可能とすることにより、前述した各実施形態の機能が実現される。さらに、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した各実施形態の機能が実現される場合も含まれる。

更に、以下の場合も含まれる。まず記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれる。その後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行う。

１００清掃装置
２固定部
３確認部
４第１の清掃部
５第２の清掃部
６可動台座
７表示部
８入力部
９測定部
１０制御部
１４電源
１５電源ＳＷ
１６メモリ
１７通信部
２００カメラ
２１カメラ制御部
２２撮像素子
２３カメラ固定部
２４カメラ通信部

Claims

検出面を備える検出素子を清掃する清掃装置であって、
清掃を行うための清掃部を備え、該清掃部が前記検出面に接触した状態で拭き清掃を行う清掃手段と、
前記清掃部を前記検出面に押す駆動手段と、
前記清掃部が前記検出面を押す力を検出する検出手段と、
前記検出手段による力の検出結果に基づいて前記駆動手段を制御して前記力を制御しながら前記清掃手段に前記拭き清掃を行わせる制御手段と、
を有することを特徴とする清掃装置。
前記清掃手段が装着され、前記清掃部を前記検出面に対向させ、前記検出面に接近、退避させる駆動を行う第２の駆動手段をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の清掃装置。
前記制御手段は、前記拭き清掃において前記力を制御した制御情報をメモリに記憶することを特徴とする請求項１または２に記載の清掃装置。
前記制御手段は、前記拭き清掃における前記力の制御を、過去の制御情報を参照して行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載の清掃装置。
前記制御手段は、清掃の対象となる検出素子が前記制御情報に対応する種類の検出素子であると判定した場合に、該制御情報を参照して前記力を制御することを特徴とする請求項４に記載の清掃装置。
前記制御手段は、前記検出手段によって閾値を超える力を検出した場合、該力で清掃した場所を前記力を小さくする制御を行った上で再度清掃させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の清掃装置。
検出面を備える検出素子を清掃する清掃装置の制御方法であって、
清掃を行うための清掃部を備え、該清掃部が前記検出面に接触した状態で拭き清掃を行う清掃手段によって前記拭き清掃を行う清掃ステップを有し、
前記清掃ステップでは、
前記清掃部が前記検出面を押す力が検出手段によって検出され、該力の検出結果に基づいて駆動手段を制御することで前記力を制御しながら前記清掃手段に前記拭き清掃を行わせることを特徴とする清掃装置の制御方法。
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の清掃装置の各手段を実行させるためのコンピュータが読み取り可能なプログラム。
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の清掃装置の各手段を実行させるためのコンピュータが読み取り可能なプログラムが記録された記録媒体。