JP2020038930A - 半導体メモリ装置及び半導体メモリ装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体メモリ装置の単位面積当たりの記憶容量を大きくする。【解決手段】実施形態の半導体メモリ装置は、複数の第1導電体層と、第2導電体層と、第1半導体層と、第2半導体層と、積層体と、を含む。複数の第1導電体23は、第1方向に互いに離間して配置され、第1方向と交差する第2方向にそれぞれ延在する。第2導電体層24は、複数の第1導電体層のうちの最上層に対して上方に離間して配置される。第1半導体層31は、第1方向に延在する。積層体32は、第2方向において、第1半導体層と複数の第1導電体層の間、及び第1半導体層と第2導電体層の間に配置され、電荷蓄積層を含む。第2半導体層33は、積層体と第2導電体層間に配置される。第1半導体層は、少なくとも第1導電体層の最上層に対向する部分から第2導電体層に対向する部分まで連続膜である。【選択図】図4
Description
実施形態は、半導体メモリ装置及び半導体メモリ装置の製造方法に関する。
データを不揮発に記憶することが可能なNAND型フラッシュメモリが知られている。
半導体メモリ装置の単位面積当たりの記憶容量を大きくする。
実施形態の半導体メモリ装置装置は、複数の第1導電体層と、第2導電体層と、第1半導体層と、第2半導体層と、積層体と、を含む。複数の第1導電体は、第1方向に互いに離間して配置され、第1方向と交差する第2方向にそれぞれ延在する。第2導電体層は、複数の第1導電体層のうちの最上層に対して上方に離間して配置される。第1半導体層は、第1方向に延在する。積層体は、第2方向において、第1半導体層と複数の第1導電体層の間、及び第1半導体層と第2導電体層の間に配置され、電荷蓄積層を含む。第2半導体層は、積層体と第2導電体層間に配置される。第1半導体層は、少なくとも第1導電体層の最上層に対向する部分から第2導電体層に対向する部分まで連続膜である。
以下に、実施形態について図面を参照して説明する。各実施形態は、発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示している。図面は模式的又は概念的なものであり、各図面の寸法及び比率等は必ずしも現実のものと同一とは限らない。本発明の技術思想は、構成要素の形状、構造、配置等によって特定されるものではない。
尚、以下の説明において、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付す。参照符号を構成する文字の後の数字は、同じ文字を含んだ参照符号によって参照され、且つ同様の構成を有する要素同士を区別するために使用される。同じ文字を含んだ参照符号で示される要素を相互に区別する必要がない場合、これらの要素はそれぞれ文字のみを含んだ参照符号により参照される。
[1]第1実施形態
以下に、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1について説明する。
以下に、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1について説明する。
[1−1]半導体メモリ装置1の構成
[1−1−1]半導体メモリ装置1の全体構成
半導体メモリ装置1は、例えばデータを不揮発に記憶することが可能なNAND型フラッシュメモリである。半導体メモリ装置1は、例えば外部のメモリコントローラ2によって制御される。図1は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の構成例を示している。
[1−1−1]半導体メモリ装置1の全体構成
半導体メモリ装置1は、例えばデータを不揮発に記憶することが可能なNAND型フラッシュメモリである。半導体メモリ装置1は、例えば外部のメモリコントローラ2によって制御される。図1は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の構成例を示している。
図1に示すように、半導体メモリ装置1は、例えばメモリセルアレイ10、コマンドレジスタ11、アドレスレジスタ12、シーケンサ13、ドライバモジュール14、ロウデコーダモジュール15、及びセンスアンプモジュール16を備えている。
メモリセルアレイ10は、複数のブロックBLK0〜BLKn(nは1以上の整数)を含んでいる。ブロックBLKは、データを不揮発に記憶することが可能な複数のメモリセルの集合であり、例えばデータの消去単位として使用される。
また、メモリセルアレイ10には、複数のビット線及び複数のワード線が設けられる。各メモリセルは、例えば1本のビット線と1本のワード線とに関連付けられている。メモリセルアレイ10の詳細な構成については後述する。
コマンドレジスタ11は、半導体メモリ装置1がメモリコントローラ2から受信したコマンドCMDを保持する。コマンドCMDは、例えばシーケンサ13に読み出し動作、書き込み動作、消去動作等を実行させる命令を含んでいる。
アドレスレジスタ12は、半導体メモリ装置1がメモリコントローラ2から受信したアドレス情報ADDを保持する。アドレス情報ADDは、例えばブロックアドレスBA、ページアドレスPA、及びカラムアドレスCAを含んでいる。例えば、ブロックアドレスBA、ページアドレスPA、及びカラムアドレスCAは、それぞれブロックBLK、ワード線、及びビット線の選択に使用される。
シーケンサ13は、半導体メモリ装置1全体の動作を制御する。例えば、シーケンサ13は、コマンドレジスタ11に保持されたコマンドCMDに基づいてドライバモジュール14、ロウデコーダモジュール15、及びセンスアンプモジュール16等を制御して、読み出し動作、書き込み動作、消去動作等を実行する。
ドライバモジュール14は、読み出し動作、書き込み動作、消去動作等で使用される電圧を生成する。そして、ドライバモジュール14は、例えばアドレスレジスタ12に保持されたページアドレスPAdに基づいて、選択されたワード線に対応する信号線に生成した電圧を印加する。
ロウデコーダモジュール15は、アドレスレジスタ12に保持されたブロックアドレスBAに基づいて、対応するメモリセルアレイ10内の1つのブロックBLKを選択する。そして、ロウデコーダモジュール15は、例えば選択されたワード線に対応する信号線に印加された電圧を、選択されたブロックBLK内の選択されたワード線に転送する。
センスアンプモジュール16は、書き込み動作において、メモリコントローラ2から受信した書き込みデータDATに応じて、各ビット線に所望の電圧を印加する。また、センスアンプモジュール16は、読み出し動作において、ビット線の電圧に基づいてメモリセルに記憶されたデータを判定し、判定結果を読み出しデータDATとしてメモリコントローラ2に転送する。
半導体メモリ装置1とメモリコントローラ2との間の通信は、例えばNANDインターフェイス規格をサポートしている。例えば、半導体メモリ装置1とメモリコントローラ2との間の通信では、コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、ライトイネーブル信号WEn、リードイネーブル信号REn、レディビジー信号RBn、及び入出力信号I/Oが使用される。
コマンドラッチイネーブル信号CLEは、半導体メモリ装置1が受信した入出力信号I/OがコマンドCMDであることを示す信号である。アドレスラッチイネーブル信号ALEは、半導体メモリ装置1が受信した信号I/Oがアドレス情報ADDであることを示す信号である。ライトイネーブル信号WEnは、入出力信号I/Oの入力を半導体メモリ装置1に命令する信号である。リードイネーブル信号REnは、入出力信号I/Oの出力を半導体メモリ装置1に命令する信号である。
レディビジー信号RBnは、半導体メモリ装置1がメモリコントローラ2からの命令を受け付けるレディ状態であるか命令を受け付けないビジー状態であるかを、メモリコントローラ2に通知する信号である。入出力信号I/Oは、例えば8ビット幅の信号であり、コマンドCMD、アドレス情報ADD、データDAT等を含み得る。
以上で説明した半導体メモリ装置1及びメモリコントローラ2は、それらの組み合わせにより1つの半導体装置を構成しても良い。このような半導体装置としては、例えばSDTMカードのようなメモリカードや、SSD(solid state drive)等が挙げられる。
[1−1−2]メモリセルアレイ10の回路構成
図2は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路構成の一例であり、メモリセルアレイ10に含まれた複数のブロックBLKのうち1つのブロックBLKを抽出して示している。
図2は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の備えるメモリセルアレイ10の回路構成の一例であり、メモリセルアレイ10に含まれた複数のブロックBLKのうち1つのブロックBLKを抽出して示している。
図2に示すように、ブロックBLKは、例えば4つのストリングユニットSU0〜SU3を含んでいる。各ストリングユニットSUは、複数のNANDストリングNSを含んでいる。
複数のNANDストリングNSは、それぞれビット線BL0〜BLm(mは1以上の整数)に関連付けられている。各NANDストリングNSは、例えばメモリセルトランジスタMT0〜MT7、並びに選択トランジスタST1及びST2を含んでいる。
メモリセルトランジスタMTは、制御ゲート及び電荷蓄積層を含み、データを不揮発に保持する。選択トランジスタST1及びST2のそれぞれは、各種動作時におけるストリングユニットSUの選択に使用される。
各NANDストリングNSにおいて、メモリセルトランジスタMT0〜MT7は、選択トランジスタST1及びST2間に直列接続される。同一のブロックBLKにおいて、メモリセルトランジスタMT0〜MT7の制御ゲートは、それぞれワード線WL0〜WL7に共通接続される。
各NANDストリングNSにおいて、選択トランジスタST1のドレインは、関連付けられたビット線BLに接続され、選択トランジスタST1のソースは、直列接続されたメモリセルトランジスタMT0〜MT7の一端に接続される。同一のブロックBLKにおいて、ストリングユニットSU0〜SU3内の選択トランジスタST1のゲートは、それぞれ選択ゲート線SGD0〜SGD3に共通接続される。
各NANDストリングNSにおいて、選択トランジスタST2のドレインは、直列接続されたメモリセルトランジスタMT0〜MT7の他端に接続される。同一のブロックBLKにおいて、選択トランジスタST2のソースは、ソース線SLに共通接続され、選択トランジスタST2のゲートは、選択ゲート線SGSに共通接続される。
以上で説明したメモリセルアレイ10の回路構成において、ビット線BLは、例えばブロックBLK毎に対応する複数のNANDストリングNS間で共通接続される。ソース線SLは、例えば複数のブロックBLK間で共通接続される。
1つのストリングユニットSU内で共通のワード線WLに接続された複数のメモリセルトランジスタMTの集合は、例えばセルユニットCUと称される。例えば、それぞれが1ビットデータを記憶するメモリセルトランジスタMTを含むセルユニットCUの記憶容量が、「1ページデータ」として定義される。セルユニットCUは、メモリセルトランジスタMTが記憶するデータのビット数に応じて、2ページデータ以上の記憶容量を有し得る。
尚、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1が備えるメモリセルアレイ10の回路構成は、以上で説明した構成に限定されない。例えば、各NANDストリングNSが含むメモリセルトランジスタMT並びに選択トランジスタST1及びST2の個数は、それぞれ任意の個数に設計され得る。各ブロックBLKが含むストリングユニットSUの個数は、任意の個数に設計され得る。
[1−1−3]メモリセルアレイ10の構造
以下に、第1実施形態におけるメモリセルアレイ10の構造の一例について説明する。
以下に、第1実施形態におけるメモリセルアレイ10の構造の一例について説明する。
尚、以下で参照される図面において、X方向は、ワード線WLの延伸方向に対応している。Y方向は、ビット線BLの延伸方向に対応している。Z方向は、半導体メモリ装置1が形成される半導体基板20の表面に対する鉛直方向に対応している。
また、以下で参照される断面図では、図を見易くするために絶縁体層(層間絶縁膜)、配線、コンタクト等の構成要素が適宜省略されている。また、平面図には、図を見易くするためにハッチングが適宜付加されている。平面図に付加されたハッチングは、ハッチングが付加された構成要素の素材や特性とは必ずしも関連していない。
図3は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の備えるメモリセルアレイ10の平面レイアウトの一例であり、ストリングユニットSU0及びSU1のそれぞれに対応する構造体を抽出して示している。
図3に示すように、メモリセルアレイ10が形成される領域には、例えば複数のスリットSLT、SHE及びSHEWと、複数のビット線BLとが含まれている。
スリットSLTは、後述するワード線WLに対応する導電体と選択ゲート線SGSに対応する導電体とのそれぞれを分断するスリットである。スリットSHE及びSHEのそれぞれは、後述する選択ゲート線SGSに対応する導電体を分断するスリットである。スリットSLT、SHE及びSHEWのそれぞれは、絶縁体を含んでいる。
複数のスリットSLTは、それぞれがX方向に延伸し、Y方向に配列している。Y方向に隣り合うスリットSLT間には、X方向に延伸するスリットSHEが配置される。また、複数のスリットSLTのそれぞれには、例えばX方向に延伸するスリットSHEWが重なっている。
スリットSHEWの幅は、スリットSHEの幅よりも広い。また、スリットSHEWの幅は、スリットSLTの幅よりも広い。平面視において、スリットSHEWと重なったスリットSLTは、当該スリットSHEWの領域内に含まれている。
本例において、1つのストリングユニットSUは、Y方向に隣り合うスリットSLT及びSHE間に対応する構造体に対応している。
具体的には、例えばストリングユニットSU0及びSU1は、それぞれがX方向に延伸し、Y方向に配列している。ストリングユニットSU0及びSU1は、Y方向に隣り合う2つのスリットSLT間に配置される。言い換えると、ストリングユニットSU0及びSU1は、Y方向に隣り合う2つのスリットSHEW間に配置される。スリットSHEは、ストリングユニットSU0及びSU1間に配置される。
各ストリングユニットSUは、複数のメモリピラーMPを含んでいる。メモリピラーMPの各々は、例えば1つのNANDストリングNSとして機能する。複数のメモリピラーMPは、例えばX方向に沿って千鳥状に配置される。
ストリングユニットSU0及びSU1のそれぞれにおいて、スリットSHEの近傍に配置されたメモリピラーMPは、例えばスリットSHEと重なった部分を有する。メモリピラーMPは、スリットSHEWと重なって配置されても良く、スリットSLTと重なっていなければ良い。
複数のビット線BLは、それぞれがY方向に延伸し、X方向に配列している。例えば、各ビット線BLは、ストリングユニットSU毎に少なくとも1つのメモリピラーMPと重なるように配置される。例えば、各メモリピラーMPには、2本のビット線BLが重なっている。
メモリピラーMPに重なっている複数のビット線BLのうち1本のビット線BLと、当該メモリピラーMPとの間には、コンタクトCPが設けられる。各メモリピラーMPは、コンタクトCPを介して対応するビット線BLと電気的に接続される。
尚、隣り合うスリットSLT間に設けられるストリングユニットSUの個数は、任意の個数に設計され得る。図3に示されたメモリピラーMPの個数及び配置はあくまで一例であり、メモリピラーMPは任意の個数及び配置に設計され得る。各メモリピラーMPと重なるビット線BLの本数は、任意の本数に設計され得る。
図4は、図3のIV−IV線に沿った断面図であり、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例を示している。
図4に示すように、メモリセルアレイ10が形成される領域には、例えば導電体層21〜25、メモリピラーMP、コンタクトCP、並びにスリットSLT、SHE及びSHEWが含まれている。
具体的には、半導体基板20上に、絶縁体層を介して導電体層21が設けられる。図示が省略されているが、半導体基板20と導電体層21との間の絶縁体層には、例えばセンスアンプモジュール16等の回路が設けられる。導電体層21は、例えばXY平面に沿って広がった板状に形成され、ソース線SLとして使用される。導電体層21は、例えばシリコン(Si)を含んでいる。
導電体層21の上方に、絶縁体層を介して導電体層22が設けられる。導電体層22は、例えばXY平面に沿って広がった板状に形成され、選択ゲート線SGSとして使用される。導電体層22は、例えばシリコン(Si)を含んでいる。
導電体層22の上方に、絶縁体層と導電体層23とが交互に積層される。導電体層23は、例えばXY平面に沿って広がった板状に形成される。積層された複数の導電体層23は、例えば半導体基板20側から順に、それぞれワード線WL0〜WL7として使用される。導電体層23は、例えばタングステン(W)を含んでいる。
最上層の導電体層23の上方に、絶縁体層を介して導電体層24が設けられる。導電体層24は、例えばXY平面に沿って広がった板状に形成され、選択ゲート線SGDとして使用される。導電体層24は、例えばタングステン(W)を含んでいる。
導電体層24の上方に、絶縁体層を介して導電体層25が設けられる。例えば導電体層25は、Y方向に沿って延伸したライン状に形成され、ビット線BLとして使用される。つまり、図示せぬ領域において複数の導電体層25は、X方向に沿って配列している。導電体層25は、例えば銅(Cu)を含んでいる。
メモリピラーMP(点線で囲まれた領域を指す)は、Z方向に沿って延伸して設けられ、例えば導電体層22〜24を貫通している。メモリピラーMPの上端は、例えば導電体層24が設けられた層と導電体層25が設けられた層との間の層に含まれている。メモリピラーMPの下端は、例えば導電体層21が設けられた層に含まれている。
また、メモリピラーMPは、例えばコア部材30、半導体層31、積層膜32、並びに半導体層33及び34を含んでいる。
コア部材30は、Z方向に沿って延伸して設けられている。コア部材30の上端は、例えば導電体層24が設けられた層よりも上層に含まれている。コア部材30は、例えば酸化シリコン(SiO2)等の絶縁体を含んでいる。
また、コア部材30の内側には、空間SPが形成されている。空間SPは、Z方向に延伸して設けられている。空間SPの上端は、例えば最上層の導電体層23が設けられた層と、導電体層24が設けられた層との間の層に含まれている。空間SPの下端は、例えば導電体層22が設けられた層よりも下層に含まれている。
言い換えると、空間SPは、導電体層22及び23がそれぞれ設けられた複数の層と交差している。つまり、コア部材30は、導電体層22及び23がそれぞれ設けられた複数の層と交差する部分において、円筒状に設けられている。
このため、コア部材30において、導電体層24が設けられた層における外径は、導電体層22又は23が設けられた層における外径よりも小さい。尚、本明細書において“外径”とは、例えば半導体基板20と平行な断面における外径のことを示し、“内径”とは、例えば半導体基板20と平行な断面における内径のことを示している。
コア部材30は、半導体層31によって覆われている。半導体層31は、例えばメモリピラーMPの側面のうち、メモリピラー(MP)下端の積層膜32にカバーされていない半導体層31の部分介して導電体層21と直接的に接触している。導電体層24が設けられた層における半導体層31の外径は、導電体層22又は23が設けられた層における半導体層31の外径よりも小さい。
半導体層31において、導電体層23を通過する部分と導電体層24を通過する部分との間は、連続的に設けられている。尚、本明細書において“連続的に設けられる”とは、同じ製造工程によって形成されることを示している。ある構成要素において連続的に設けられた部分には、境界が形成されない。また、“連続的に設けられる”は、ある膜又は層における第1部分から第2部分まで連続膜であることと同義である。
また、導電体層24が設けられた層における半導体層31の厚さは、例えば導電体層22又は23が設けられた層における半導体層31の厚さと略等しい。半導体層31は、例えばポリシリコン(Si)である。尚、本明細書において、“厚さ”とは、例えば当該構成要素の内径及び外径間の差のことを示している。
半導体層31の側面及び底面は、前記導電体層21と半導体層31とが直接的に接触している部分を除いて、積層膜32によって覆われている。導電体層24が設けられた層における積層膜32の外径は、導電体層22又は23が設けられた層における積層膜32の外径よりも小さい。
また、導電体層24が設けられた層における積層膜32の厚さは、例えば導電体層22又は23が設けられた層における積層膜32の厚さと略等しい。積層膜32において、導電体層23を通過する部分と導電体層24を通過する部分との間は、連続的に設けられている。
積層膜32の側面は、導電体層24が形成された層において、半導体層33によって覆われた部分を有している。半導体層33は、例えば円筒状に設けられる。半導体層33が設けられた層は、導電体層24が設けられた層と重なっている。
半導体層33は、少なくとも側面の一部が導電体層24と接触し、当該接触部分を介して導電体層24と電気的に接続される。言うまでもなく、半導体層33と導電体層24との接触部分の面積がより大きいほど電気的に良好な接続が得られるので好ましい。
メモリピラーMPは、半導体層33の外径と積層膜32の外径との間が連続的に変化する部分を含んでいる。尚、本明細書において、“外径が連続的に変化する”とは、例えば同じコンタクトホール内において、それぞれが当該コンタクトホールの内壁に接した第1及び第2の構成要素が設けられた場合に、第1及び第2の構成要素の境界部分が、当該コンタクトホールの内壁に接していることを示している。
半導体層33は、例えばボロン(B)がドープされたシリコン(Si)である。尚、半導体層33にドープされる不純物はボロンに限定されず、リン(P)やヒ素(As)等のその他の不純物が使用されても良い。
半導体層33にドープされた不純物の濃度は、例えば1019(atoms/cm3)以上である。尚、半導体層33にドープされた不純物の好ましい濃度は、例えば1021(atoms/cm3)近くである。半導体層33と導電体層24との間のコンタクト抵抗は、半導体層33にドープされた不純物の濃度が高いほど小さくなり得る。
半導体層31及び積層膜32の上面に、半導体層34が設けられる。半導体層34は、例えばメモリピラーMP内に形成された構造を保護するキャップ部材として使用される。半導体層34は、半導体層31と同じ材料で形成されても良い。半導体層34は、例えばポリシリコン(Si)である。
図5は、半導体基板20の表面に平行且つ導電体層23を含む断面におけるメモリピラーMPの断面構造の一例を示している。
図5に示すように、導電体層23を含む層では、空間SPがメモリピラーMPの中央部に形成される。コア部材30は、空間SPを囲っている。半導体層31は、コア部材30の側面を囲っている。積層膜32は、半導体層31の側面を囲っている。積層膜32は、例えばトンネル酸化膜35、絶縁膜36、及びブロック絶縁膜37を含んでいる。
トンネル酸化膜35は、半導体層31の側面を囲っている。絶縁膜36は、トンネル酸化膜35の側面を囲っている。ブロック絶縁膜37は、絶縁膜36の側面を囲っている。導電体層23は、ブロック絶縁膜37の側面を囲っている。
トンネル酸化膜35は、例えば酸化シリコン(SiO2)を含んでいる。絶縁膜36は、例えば窒化シリコン(SiN)を含んでいる。ブロック絶縁膜37は、例えば酸化シリコン(SiO2)を含んでいる。
図6は、導電体層24を含む層において、スリットSHEに接触したメモリピラーMPの断面構造の一例を示している。
図6に示すように、導電体層24を含む層では、コア部材30がメモリピラーMPの中央部に設けられる。半導体層31は、コア部材30の側面を囲っている。積層膜32は、半導体層31の側面を囲っている。半導体層33は、積層膜32の側面を囲っている。半導体層33の側面は、導電体層24及びスリットSHEによって囲まれている。
尚、図6には、半導体層33の側面の一部がスリットSHEに接触している場合が例示されているが、半導体層33は、スリットSHEに接触していなくても良い。各メモリピラーMPでは、少なくとも半導体層33が積層膜32を覆い、半導体層33と導電体層24との間が電気的に接続されていれば良い。
図4に戻り、半導体層34上には、柱状のコンタクトCPが設けられる。図示された領域には、4本のメモリピラーMPのうち、2本のメモリピラーMPに対応するコンタクトCPが示されている。当該領域においてコンタクトCPが接続されていないメモリピラーMPには、図示されない領域においてコンタクトCPが接続される。
コンタクトCPの上面には、1個の導電体層25、すなわち1本のビット線BLが接触している。メモリピラーMPと導電体層25との間は、2つ以上のコンタクトを介して電気的に接続されても良いし、その他の配線を介して電気的に接続されても良い。
スリットSHE及びSHEWのそれぞれは、例えばZ方向に沿って延伸した板状に形成され、導電体層24を分断している。スリットSHE及びSHEWのそれぞれの上端は、例えば導電体層24が設けられた層と導電体層25が設けられた層との間の層に含まれている。スリットSHE及びSHEWのそれぞれの下端は、例えば最上層の導電体層23が設けられた層と導電体層24が設けられた層との間の層に含まれている。
スリットSHE内とスリットSHEW内とのそれぞれには、絶縁体が設けられる。当該絶縁体は、例えば酸化シリコン(SiO2)等の絶縁体を含んでいる。
スリットSLTは、例えばZ方向に沿って延伸した板状に形成され、導電体層22及び23と、スリットSHEWとを分断している。スリットSLTの上端は、例えばスリットSHEの上端を含む層と導電体層25が設けられた層との間の層に含まれている。スリットSLTの下端は、例えば導電体層21が設けられた層に含まれている。
スリットSLT内には、絶縁体が設けられる。当該絶縁体は、例えば酸化シリコン(SiO2)等の絶縁体を含んでいる。尚、スリットSLT内は、複数種類の絶縁体により構成されても良い。例えば、スリットSLTに酸化シリコンが埋め込まれる前に、スリットSLTの側壁として窒化シリコン(SiN)が形成されても良い。
以上で説明したメモリピラーMPの構成では、例えばメモリピラーMPと導電体層22とが交差する部分が、選択トランジスタST2として機能する。メモリピラーMPと導電体層23とが交差する部分が、メモリセルトランジスタMTとして機能する。メモリピラーMPと導電体層24とが交差する部分が、選択トランジスタST1として機能する。
つまり、半導体層31は、メモリセルトランジスタMT並びに選択トランジスタST1及びST2のそれぞれのチャネルとして使用される。半導体層33は、選択トランジスタST1のゲート電極として使用される。絶縁膜36は、メモリセルトランジスタMTの電荷蓄積層として使用される。
尚、以上で説明したメモリセルアレイ10の構造はあくまで一例であり、メモリセルアレイ10はその他の構造を有していても良い。例えば、導電体層23の個数は、ワード線WLの本数に基づいて設計される。選択ゲート線SGSには、複数層に設けられた複数の導電体層22が割り当てられても良い。選択ゲート線SGSが複数層に設けられる場合に、導電体層22と異なる導電体が使用されても良い。
[1−2]半導体メモリ装置1の製造方法
図7は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法の一例を示すフローチャートである。図8〜図26のそれぞれは、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体を含む断面構造又は平面レイアウトの一例を示している。
図7は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法の一例を示すフローチャートである。図8〜図26のそれぞれは、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体を含む断面構造又は平面レイアウトの一例を示している。
以下に、図7を適宜参照して、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1における、ソース線SLに対応する積層構造の形成からスリットSLTの形成までの一連の製造工程の一例について説明する。尚、以下の説明において、「ウエハ」とは、半導体メモリ装置1の製造過程において、半導体基板20上に形成された構造体のことを示している。
まず、ステップS101の処理が実行され、ソース線SL、ワード線WL、並びに選択ゲート線SGS及びSGDにそれぞれ対応する複数の犠牲部材が積層される。
具体的には、まず図8に示すように、半導体基板20上に、絶縁体層40、導電体層41、犠牲部材42、導電体層43、絶縁体層44、及び導電体層45が形成される。続けて、導電体層45上に絶縁体層46及び犠牲部材47が交互に積層され、最上層の犠牲部材47上に、絶縁体層48及び犠牲部材49が順に形成される。
犠牲部材42は、ソース線SLに対応している。導電体層41及び43のそれぞれは、例えばシリコン(Si)を含んでいる。犠牲部材42は、導電体層41及び43のそれぞれに対してエッチング選択比を大きくすることが可能な材料である。
導電体層45は、例えばポリシリコン(Si)である。導電体層45は、例えば図4を用いて説明した導電体層22に対応し、選択ゲート線SGSとして使用される。絶縁体層46及び48のそれぞれは、例えば酸化シリコン(SiO2)を含んでいる。
各犠牲部材47は、例えばワード線WLに対応している。つまり、犠牲部材47が形成される層数は、積層されるワード線WLの本数に対応している。犠牲部材49は、選択ゲート線SGDに対応している。犠牲部材47及び49の各々は、例えば窒化シリコン(SiN)を含んでいる。
次に、ステップS102の処理が実行され、図9に示すように、スリットSHE及びSHEW部が形成される。尚、スリットSHE及びSHEW部とは、スリットSHE及びSHEWと、スリットSHE及びSHEW内に形成される絶縁体との組のことを示している。
具体的には、まずフォトリソグラフィ等によって、スリットSHE及びSHEWに対応する領域が開口したマスクが形成される。そして、形成されたマスクを用いた異方性エッチングによって、スリットSHE及びSHEWが形成される。
本工程で形成されるスリットSHE及びSHEWの各々は、犠牲部材49を分断し、スリットSHE及びSHEWのそれぞれの底部は、例えば絶縁体層48内で停止する。本工程における異方性エッチングは、例えばRIE(Reactive Ion Etching)である。
その後、ウエハ上全面に絶縁体50が形成され、スリットSHE内及びスリットSHEW内が絶縁体50によって埋め込まれる。スリットSHE及びSHEW外に形成された絶縁体50は、例えばCMP(Chemical Mechanical Polishing)によって除去される。
その結果、スリットSHE内とスリットSHEW内とのそれぞれが絶縁体50によって埋め込まれた構造が形成される。絶縁体50は、例えば酸化シリコン(SiO2)を含んでいる。
次に、ステップS103の処理が実行され、メモリホールMHが形成される。
具体的には、まずフォトリソグラフィ等によって、メモリピラーMPに対応する領域が開口したマスクが形成される。そして、形成されたマスクを用いた異方性エッチングによって、メモリホールMHが形成される。
メモリホールMHは、図10に示すように、例えば千鳥状に配置される。形成された複数のメモリホールMHには、スリットSHEと重なっているものが含まれている。
尚、第1実施形態における製造方法の説明では、スリットSHEと重なるメモリホールMHが存在し、スリットSHEWと重なるメモリホールMHが存在しない場合について例示している。メモリホールMHは、後の製造工程で形成されるスリットSLTと重なっていなければ、スリットSHEWとの重なりも許容される。
本工程で形成されるメモリホールMHは、例えば犠牲部材49、絶縁体層48、複数の犠牲部材47、複数の絶縁体層46、導電体層45、絶縁体層44、導電体層43、及び犠牲部材42のそれぞれを貫通する。
そして、メモリホールMHの底部は、例えば導電体層41が設けられた層内で停止する。スリットSHEと重なるメモリホールMHは、スリットSHEの一部分を削り取っている。本工程における異方性エッチングは、例えばRIEである。
次に、図11に示すように、半導体膜51、ダミーコア52、及び酸化膜53が形成される。
具体的には、まず、ステップS104の処理が実行され、ウエハの上面とメモリホールMHの内壁及び底面とに半導体膜51が形成される。半導体膜51は、例えばノンドープのアモルファスシリコンである。本工程で形成される半導体膜51の膜厚は、例えば図4を用いて説明した半導体層33の厚さに対応している。
それから、ステップS105の処理が実行され、メモリホールMH内にダミーコア52が形成される。具体的には、まずダミーコア52に対応する絶縁体がウエハ上に形成され、メモリホールMH内が埋め込まれる。続けて、当該絶縁体に対するエッチバック処理が実行され、半導体膜51の上面に形成された絶縁体が除去され、且つ当該絶縁体がメモリホールMH内で所望の高さに加工される。
その結果、メモリホールMH内においてダミーコア52がリセスされた構造が形成される。ダミーコア52の上面は、犠牲部材49が形成された層に含まれ、図4を用いて説明した半導体層33の上面の近傍に配置される。ダミーコア52は、例えば窒化シリコン(SiN)を含んでいる。
その後、ステップS106の処理が実行され、半導体膜51に対する酸化処理が実行される。本工程では、半導体膜51においてウエハ上で露出している部分が選択的に酸化され、酸化膜53が形成される。つまり、本工程では、メモリホールMH内でダミーコア52の側面及び底面に形成された半導体膜51の酸化は抑制される。
次に、図12に示すように、メモリホールMHの側面に不純物がドープされた半導体層33が形成される。
具体的には、まず、ステップS107の処理が実行され、ダミーコア52に対するエッチバック処理が実行される。本工程では、例えばダミーコア52の上面が犠牲部材49が形成された層に含まれ、且つ絶縁体層48の近傍に位置するように加工される。
それから、ステップS108の処理が実行され、半導体膜51に対するイオン注入処理が実行される。本工程では、メモリホールMH内で露出している半導体膜51に対して、不純物(例えばボロン)が注入され、その後に熱処理が実行される。その結果、半導体膜51において不純物が注入された部分が再結晶化され、メモリホールMHの側面に不純物がドープされた半導体層33が形成される。
次に、ステップS109の処理が実行され、半導体膜51及びダミーコア52が除去される。
具体的には、まず図13に示すように、例えばウェットエッチングによって、ダミーコア52(窒化シリコン)が除去される。その後、例えばウェットエッチングによって、メモリホールMHにある半導体膜51(アモルファスシリコン)が選択的に除去される。
本工程におけるウェットエッチングでは、半導体膜51と半導体層33との間でエッチング選択比を大きくすることが可能なエッチング溶液が使用される。このため、ステップS108において半導体層33にドープされる不純物としては、本工程においてエッチング選択比を大きくすることが可能な材料が選択される。
次に、ステップS110の処理が実行され、メモリピラーMPが形成される。
具体的には、まず図14に示すように、例えば積層膜32(ブロック絶縁膜37、絶縁膜36、及びトンネル酸化膜35)並びに半導体層31が、この順番で、ウエハの上面とメモリホールMHの内壁とのそれぞれに形成される。
このとき、コア部材30は、半導体層33及び酸化膜53によってメモリホールMH上部の内径が小さくなっていることから、例えば犠牲部材49が形成された層において閉塞する。その結果、コア部材30の内側には、図4を用いて説明した空間SPが形成される。
そして、ウエハ上部に形成されたコア部材30が除去され、メモリホールMH内に形成されたコア部材30がリセスされる。それから、コア部材30がリセスされた部分に、半導体層31が埋め込まれる。
これにより、図15に示すように、コア部材30の上面が、犠牲部材49が設けられた層内且つ半導体層33の上面よりも上層に位置し、半導体層31によって覆われた構造が形成される。
次に、図16に示すように、メモリホールMH内の上部に半導体層34が設けられた構造が形成される。
具体的には、まず、ウエハの上面に形成された半導体層31、積層膜32、及び酸化膜53が除去され、メモリホールMH内に形成された構造体の上部がリセスされる。それから、ウエハの上面に半導体層34が形成され、半導体層34に対するエッチバック処理が実行される。
すると、メモリホールMH内において、半導体層31、積層膜32、及び酸化膜53の上面に半導体層34が設けられた構造が形成される。本工程によってメモリホールMH内に形成された構造体が、図4を用いて説明したメモリピラーMPの構造に対応している。
次に、ステップS111の処理が実行され、選択ゲート線SGDが形成される。
具体的には、まず図17に示すように、例えばウェットエッチングによって、犠牲部材49が除去される。本エッチングでは、絶縁体50と犠牲部材49との間でエッチング選択比を大きくすることが可能なエッチング溶液が使用される。
そして、ウエハの上面に導電体層24が形成され、犠牲部材49が除去された領域が導電体層24によって埋め込まれる。続けて、導電体層24に対するエッチバック処理が実行され、導電体層24(選択ゲート線SGD)が形成される。
本工程では、導電体層24の上面が、例えば半導体層33の上面を含む層と導電体層24の底面を含む層との間の層に設けられる。これに限定されず、導電体層24は、少なくとも半導体層33と接触し、且つ半導体層34と離れていれば良い。
それから、ウエハの上面に絶縁体層54が形成され、スリットSHE及びSHEW並びにメモリピラーMPと、導電体層24とによって形成された段差部分が、絶縁体層54によって埋め込まれる。その後、例えばCMPによって絶縁体層54の上面が平坦化される。
次に、ステップS112の処理が実行され、図18に示すように、スリットSLTが形成される。
具体的には、まずフォトリソグラフィ等によって、スリットSLTを形成する領域が開口したマスクが絶縁体層54上に形成される。そして、形成されたマスクを用いた異方性エッチングによって、スリットSLTが形成される。
本工程で形成されるスリットSLTは、絶縁体層54、スリットSHEW(絶縁体50)、導電体層24、絶縁体層48、複数の犠牲部材47、複数の絶縁体層46、導電体層45、絶縁体層44、導電体層43、及び犠牲部材42のそれぞれを分断する。そして、スリットSLTの底部は、例えば導電体層41が設けられた層内で停止する。
尚、本工程では、スリットSLTの底部が導電体層41が設けられた層内で停止することが好ましいが、スリットSLTの底部は、少なくとも犠牲部材42が形成された層に到達していれば良い。本工程における異方性エッチングは、例えばRIEである。
次に、ステップS113の処理が実行され、ソース線SLの置換処理が実行される。
具体的には、まずスリットSLTを介したウェットエッチングにより犠牲部材42が選択的に除去される。続けて、図19に示すように、犠牲部材42が除去された領域を介して、メモリピラーMPの側面に設けられた積層膜32の一部分が除去される。
犠牲部材42が除去された構造体は、例えば複数のメモリピラーMPによってその立体構造が維持される。本工程によって、メモリピラーMP内の半導体層31が、犠牲部材42が除去された層において露出する。
その後に、図20に示すように、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)によって、犠牲部材42が除去された空間に導電体層55が埋め込まれる。導電体層55としては、例えばリンがドープされたポリシリコンが形成される。それから、エッチバック処理によって、スリットSLT内部とウエハの上面とに形成された導電体層55が除去される。
本工程によって、メモリピラーMP内の半導体層31と、導電体層41、55及び43の組とが電気的に接続される。導電体層41、55及び43の組は、例えば図4を用いて説明した導電体層21に対応し、ソース線SLとして使用される。
次に、ステップS114の処理が実行され、図21に示すように、ワード線WLの置換処理が実行される。
具体的には、まずスリットSLT内で露出した導電体層41、55及び43(例えばポリシリコン)の表面が酸化され、図示されない酸化保護膜が形成される。その後、例えば熱リン酸によるウェットエッチングによって、犠牲部材47が除去される。犠牲部材47が除去された構造体は、例えば複数のメモリピラーMPによってその立体構造が維持される。
そして、例えばCVDによって、犠牲部材57が除去された空間に導電体層23が埋め込まれる。それから、エッチバック処理によって、スリットSLT内部とウエハの上面に形成された導電体層23が除去される。これにより、異なる配線層間に形成された導電体層23が分離される。
その結果、ワード線WL0〜WL7にそれぞれ対応する複数の導電体層23が形成される。本工程において形成される導電体層23は、バリアメタルを含んでいても良い。この場合、バリアメタルとして例えば窒化チタン(TiN)が成膜された後に、例えばタングステン(W)が形成される。
次に、ステップS115の処理が実行され、図22に示すように、スリットSLT内に絶縁体56が形成される。具体的には、まずウエハの上面に絶縁体56が形成され、スリットSLT内に絶縁体56が埋め込まれる。その後、例えばCMPによってウエハの上面が平坦化される。絶縁体56は、例えば酸化シリコン(SiO2)を含んでいる。
以上で説明した製造工程によって、メモリピラーMPと、メモリピラーMPに接続されるソース線SL、選択ゲート線SGS及びSGD、並びにワード線WLとのそれぞれが形成される。
尚、以上で説明した製造工程はあくまで一例であり、各製造工程の間にその他の処理が挿入されても良い。上記製造工程において形成されたアモルファスシリコンは、例えばその後の製造工程における熱処理によってポリシリコンに変化する。
[1−3]第1実施形態の効果
以下に、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1における効果の詳細について説明する。
以下に、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1における効果の詳細について説明する。
メモリセルが三次元に積層された半導体メモリ装置では、例えばワード線WLとして使用される板状の配線が積層され、当該積層配線を貫通(通過)するメモリピラー内にメモリセルトランジスタMTとして機能するための構造体が形成される。
そして、このような半導体メモリ装置では、例えばワード線WLと同様にメモリピラーが通過した板状の選択ゲート線SGDが形成され、選択ゲート線SGDが適宜分割されることによってページ単位の動作が実現される。半導体メモリ装置の単位面積当たりの記憶容量を大きくするためには、メモリピラーの配置密度を上げることが好ましい。
しかしながら、メモリピラーの配置密度を単純に上げていく場合、選択ゲート線SGDを分割するスリットSHEを、高密度に配列されたメモリピラーMPと重ならずに形成することが困難になる。尚、ここで、通常、スリットSHEは、例えばメモリピラーMPが形成された後に形成される。
しかしながらこの場合、スリットSHEとメモリピラーMPとが重なって設けられると、選択トランジスタST1と選択ゲート線SGDとの接触面積にばらつきが生じ得る。つまり、選択トランジスタST1と選択ゲート線SGDとの接触面積に基づいて、選択トランジスタST1の特性がばらつき得る。
これに対して、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1によれば、選択ゲート線SGDを分割するスリットSHEとメモリピラーMPとの重なりが許容され、且つメモリピラーMP内に円筒状の半導体層33が設けられるようにした。
半導体層33は、高濃度の不純物(例えばボロン)がドープされたシリコンであり、選択トランジスタST1のゲート電極として使用される。そして、半導体層33は、対応する選択ゲート線SGD(導電体層24)と電気的に接続される。
第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程において、メモリピラーMPはスリットSHEが形成された後に形成される。つまり、メモリピラーMP内に形成される半導体層33は、スリットSHE加工時における影響を受けないため、メモリピラーMP毎のばらつきが抑制され得る。
言い換えると、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法では、各選択トランジスタST1において、半導体層31(チャネル)及び積層膜32を囲む半導体層33(ゲート電極)の面積を均一にすることが出来る。
その結果、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1は、スリットSHEとメモリピラーMPの重なりを許容し、且つ選択トランジスタST1の特性ばらつきを抑制することが出来る。従って、第1実施形態に係る半導体メモリ装置は、単位面積当たりの記憶容量を大きくすることが出来る。
尚、第1実施形態で説明された選択ゲート線SGDのゲート電極として使用される半導体層33は、その他の構造のメモリピラーにおいても形成することが出来る。このようなメモリピラーの構造としては、例えば、メモリセルトランジスタMTに対応する下部ピラーが形成された後に、下部ピラー上に選択トランジスタST1に対応する上部ピラーが形成される構造が考えられる。
しかしながら、下部ピラーと上部ピラーとが連結されたメモリピラーでは、上部ピラーを形成する際に下部ピラーとの間で重ね合わせのずれが生じ得、重ね合わせ起因の不良が発生し得る。また、下部ピラーに対応するホールの形成と、上部ピラーに対応するホールの形成とのそれぞれにおいてリソグラフィ工程が必要になるため、必要な製造工程が増えてしまう。
一方で、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法では、1回のリソグラフィ工程で形成されたメモリホールMH内に、メモリセルトランジスタMTに対応する構成と、半導体層33を含む選択トランジスタST1に対応する構成とが形成される。このため、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法では、重ね合わせのずれは生じ得ない。
その結果、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法は、メモリピラーMP起因の不良の発生を抑制することが出来、且つ製造工程の増加を抑制することが出来る。従って、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法は、半導体メモリ装置1の歩留まりを向上することが出来、且つ製造コストを抑制することが出来る。
[2]第2実施形態
第2実施形態に係る半導体メモリ装置1は、半導体層33が後述する半導体膜61に置き換えられた構造を有する。第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法と、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法とでは、選択トランジスタST1のゲート電極として使用される半導体に対する不純物のドープ方法が異なっている。以下に、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法について、第1実施形態と異なる点を説明する。
第2実施形態に係る半導体メモリ装置1は、半導体層33が後述する半導体膜61に置き換えられた構造を有する。第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法と、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法とでは、選択トランジスタST1のゲート電極として使用される半導体に対する不純物のドープ方法が異なっている。以下に、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法について、第1実施形態と異なる点を説明する。
[2−1]半導体メモリ装置1の製造方法
図23は、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法の一例を示すフローチャートである。図24〜図26のそれぞれは、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体を含む断面構造の一例を示している。
図23は、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法の一例を示すフローチャートである。図24〜図26のそれぞれは、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体を含む断面構造の一例を示している。
以下に、図23を適宜参照して、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1における、ソース線SLに対応する積層構造の形成からスリットSLTの形成までの一連の製造工程の一例について説明する。
まず、第1実施形態と同様に、ステップS101、S102及びS103の処理が順に実行される。これにより、第1実施形態で図10を用いて説明した構造が形成される。
次に、ステップS201の処理が実行され、図24に示すように、メモリホールMH内にダミーコア60が形成される。
具体的には、まずダミーコア60に対応する絶縁体がウエハ上に形成され、メモリホールMH内が埋め込まれる。続けて、当該絶縁体に対するエッチバック処理が実行され、半導体膜51の上面に形成された絶縁体が除去され、当該絶縁体がメモリホールMH内で所望の高さに加工される。
その結果、メモリホールMH内においてダミーコア60がリセスされた構造が形成される。ダミーコア60の上面は、犠牲部材49が形成された層に含まれ、第1実施形態で図4を用いて説明した半導体層33の上面の近傍に配置される。ダミーコア60は、例えば窒化シリコン(SiN)を含んでいる。
次に、図25に示すように、半導体膜61、犠牲部材62、及び酸化膜53が形成される。
具体的には、まず、ステップS202の処理が実行され、ウエハの上面とメモリホールMH内壁とに半導体膜61が形成される。半導体膜61の膜厚は、第1実施形態で図4を用いて説明した半導体層33の厚さに対応している。半導体膜61は、例えばボロンがドープされたシリコンである。半導体膜61にドープされる不純物の種類は、これに限定されず、第1実施形態における半導体層33と同様の不純物が選択され得る。
それから、ステップS203の処理が実行され、犠牲部材62が形成される。具体的には、まず犠牲部材62がウエハ上に形成され、メモリホールMH内が埋め込まれる。続けて、犠牲部材62に対するエッチバック処理が実行され、半導体膜61の上面に形成された犠牲部材62が除去され、且つ犠牲部材62がメモリホールMH内で所望の高さに加工される。
その結果、メモリホールMH内において犠牲部材62がリセスされた構造が形成される。犠牲部材62の上面は、犠牲部材49が形成された層に含まれ、第1実施形態で図4を用いて説明した半導体層33の上面の近傍に配置される。犠牲部材62は、例えば窒化シリコン(SiN)を含んでいる。
その後、ステップS204の処理が実行され、半導体膜61に対する酸化処理が実行される。本工程では、半導体膜61においてウエハ上で露出している部分が酸化され、酸化膜53が形成される。つまり、本工程では、メモリホールMH内で犠牲部材62の側面及び底面に形成された半導体膜61の酸化は抑制される。
次に、ステップS205の処理が実行され、図26に示すように、犠牲部材62と底部の半導体膜61が除去され、ダミーコア60が除去される。
具体的には、まずウェットエッチングによって、犠牲部材62が除去される。続けて、半導体膜61と酸化膜53との間でエッチング選択比を大きくすることが可能な異方性エッチングによって、メモリホールMHの底部に露出している半導体膜61が除去される。
その結果、メモリホールMHの底部においてダミーコア60の上面が露出する。本工程により加工された半導体膜61は、第1実施形態で図4を用いて説明した説明した半導体層33と同様の構造になる。加工後の半導体膜61は、半導体層33と同様の構造を有し、半導体層33と言い換えられても良い。
それから、ステップS206の処理が実行され、例えばウェットエッチングによってダミーコア60(例えば窒化シリコン)が除去される。
その後、第1実施形態と同様に、ステップS110、S111、S112、S113、S114及びS115の処理が順に実行される。その結果、第1実施形態で図4を用いて説明した構造と同様の構造が形成される。
[2−2]第2実施形態の効果
以下に、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1における効果の詳細について説明する。
以下に、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1における効果の詳細について説明する。
第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法では、まずメモリピラーMP内にノンドープの半導体膜51が形成される。そして、ノンドープの半導体膜51に対するイオン注入処理によって、不純物がドープされた半導体層31が形成される。
一方で、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法では、メモリホールMH内に予め不純物がドープされた半導体膜61が形成される。そして、当該半導体膜61が、第1実施形態における半導体層31と同様の形状に加工される。
このように加工された半導体膜61は、その後の製造工程によって導電体層24と電気的に接続され、当該半導体膜61が、第1実施形態と同様に選択トランジスタST1のゲート電極(半導体層31)として使用することが出来る。
以上のように、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1と同様の構造を形成することが出来る。従って、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法は、第1実施形態と同様の効果を得ることが出来る。
[3]第3実施形態
第3実施形態に係る半導体メモリ装置1では、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の構造に対して、選択ゲート線SGDに対応する導電体層24の下側にポリシリコンの電極が設けられる。以下に、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1について、第1及び第2実施形態と異なる点を説明する。
第3実施形態に係る半導体メモリ装置1では、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の構造に対して、選択ゲート線SGDに対応する導電体層24の下側にポリシリコンの電極が設けられる。以下に、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1について、第1及び第2実施形態と異なる点を説明する。
[3−1]メモリセルアレイ10の構造
図27は、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例を示している。
図27は、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例を示している。
図27に示すように、第2実施形態に係る半導体メモリ装置1において、メモリセルアレイ10は、例えば第1実施形態において図4を用いて説明したメモリセルアレイ10の構造に対して、半導体層70が追加された構造を有する。
具体的には、半導体層70は、最上層の導電体層23が設けられた層と、導電体層24が設けられた層との間の層に設けられる。そして、半導体層70は、導電体層24の底面と、メモリピラーMP内に設けられた半導体層33の底部とのそれぞれに接触している。つまり、半導体層70は、導電体層24及び半導体層33と電気的に接続される。
半導体層70は、例えばボロン(B)がドープされたシリコン(Si)である。尚、半導体層70にドープされる不純物はボロンに限定されず、半導体層33に使用される不純物に応じて、リン(P)やヒ素(As)等のその他の不純物が使用されても良い。半導体層70には、半導体層33にドープされる不純物がP型不純物(例えばボロン)である場合にはP型不純物がドープされ、半導体層33にドープされる不純物がN型不純物(例えばリン)である場合にはN型不純物がドープされる。
半導体層70にドープされた不純物の濃度は、例えば1019(atoms/cm3)以上である。半導体層70と導電体層24との間のコンタクト抵抗は、半導体層70にドープされた不純物の濃度が高いほど小さくなり得る。
第3実施形態において、メモリピラーMPは、半導体層70を貫通(通過)している。同様に、スリットSHE及びSHEWの各々は、半導体層70を分断している。第3実施形態に係る半導体メモリ装置1では、半導体層33及び半導体層70の組が、選択トランジスタST1のゲート電極として使用される。
以上で説明した第3実施形態に係る半導体メモリ装置1のその他の構成は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1と同様のため、説明を省略する。
[3−2]半導体メモリ装置1の製造方法
図28は、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法の一例を示すフローチャートである。図29〜図32のそれぞれは、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体を含む断面構造の一例を示している。
図28は、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法の一例を示すフローチャートである。図29〜図32のそれぞれは、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体を含む断面構造の一例を示している。
以下に、図28を適宜参照して、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1における、ソース線SLに対応する積層構造の形成からスリットSLTの形成までの一連の製造工程の一例について説明する。
まず、ステップS301の処理が実行され、図29に示すように、ソース線SL、ワード線WL、並びに選択ゲート線SGS及びSGDにそれぞれ対応する複数の犠牲部材が積層される。
具体的には、まず第1実施形態と同様に、半導体基板20上に絶縁体層40、導電体層41、犠牲部材42、導電体層43、絶縁体層44、及び導電体層45が順に形成され、導電体層45上に絶縁体層46及び犠牲部材47が交互に積層され、最上層の犠牲部材47上に絶縁体層48が形成される。
それから、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法では、絶縁体層48上に半導体層70が形成され、半導体層70上に犠牲部材49が形成される。
次に、ステップS302の処理が実行され、図30に示すように、スリットSHE及びSHEW部が形成される。
具体的には、第1実施形態と同様に、まずフォトリソグラフィ等によって、スリットSHE及びSHEWに対応する領域が開口したマスクが形成される。そして、形成されたマスクを用いた異方性エッチングによって、スリットSHE及びSHEWが形成される。
本工程で形成されるスリットSHE及びSHEWの各々は、犠牲部材47及び半導体層70のそれぞれを分断し、スリットSHE及びSHEWのそれぞれの底部は、例えば絶縁体層48内で停止する。
それから、第1実施形態と同様に、ウエハ上に絶縁体50が形成され、スリットSHE及びSHEW外に形成された絶縁体50が除去される。その結果、スリットSHE内と及びSHEW内とのそれぞれに絶縁体50によって埋め込まれた構造が形成される。
次に、図31に示すように、メモリホールMH、半導体膜51、ダミーコア52、酸化膜53、及び半導体層33が形成される。
具体的には、まず、ステップS303の処理が実行され、メモリホールMHが形成される。
本工程で形成されるメモリホールMHは、例えば犠牲部材49、半導体層70、絶縁体層48、複数の犠牲部材47、複数の絶縁体層46、導電体層45、絶縁体層44、導電体層43、及び犠牲部材42のそれぞれを貫通する。
そして、メモリホールMHの底部は、例えば導電体層41が設けられた層内で停止する。スリットSHEと重なるメモリホールMHは、スリットSHEの一部分を削り取っている。本工程における異方性エッチングは、例えばRIEである。
それから、第1実施形態と同様に、ステップS104、S105及びS106の処理が順に実行される。これにより、第1実施形態と同様に、半導体膜51及びダミーコア52が形成され、半導体膜51に対する酸化処理によって酸化膜53が形成される。
その後、ステップS304の処理が実行され、ダミーコア52に対するエッチバック処理が実行される。本工程では、例えばダミーコア52の上面が半導体層70が形成された層に含まれるように加工される。これに限定されず、ダミーコア52の上面は、絶縁体層48が設けられた層に含まれていても良い。
そして、ステップS305の処理が実行され、半導体膜51に対するイオン注入処理が実行される。本工程では、第1実施形態と同様に、メモリホールMH内で露出している半導体膜51に対して、例えばボロンが注入される。その結果、メモリホールMHの側面に不純物がドープされた半導体層33が設けられ、半導体層33が半導体層70と接触した構造が形成される。
次に、ステップS306の処理が実行され、図32に示すように、半導体膜51及びダミーコア52が除去される。
具体的には、まず例えばウェットエッチングによって、ダミーコア52(窒化シリコン)が除去される。その後、例えばウェットエッチングによって、半導体膜51(アモルファスシリコン)が除去される。
本工程におけるウェットエッチングでは、半導体膜51と半導体層33及び70との間でエッチング選択比を大きくすることが可能なエッチング溶液が使用される。このため、ステップS305において半導体層33にドープされる不純物としては、本工程においてエッチング選択比を大きくすることが可能な材料が選択される。
その後、第1実施形態と同様に、ステップS110、S111、S111、S112、S113、S114及びS115の処理が順に実行される。その結果、図27を用いて説明した構造と同様の構造が形成される。
[3−3]第3実施形態の効果
以下に、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1における効果の詳細について説明する。
以下に、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1における効果の詳細について説明する。
第1実施形態に係る半導体メモリ装置1において、メモリピラーMP内に形成される半導体層33の高さは、ダミーコア52の高さに基づいて制御される。ダミーコア52の高さは、ダミーコア52に対応する絶縁体の形成時の高さやエッチバック量に基づいて制御される。このため、ダミーコア52の高さは、複数工程のばらつきの影響を受ける。
この影響により、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1では、製造ロット間で半導体層33の高さのばらつきが生じ、選択トランジスタST1の特性ばらつきが生じ得る。
これに対して、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1では、選択ゲート線SGDとして使用される導電体層24の底部に、メモリピラーMP内の半導体層33と接触する半導体層70が設けられる。そして、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1では、選択トランジスタST1のゲート電極における下端が、半導体層70の位置によって決定される。
半導体層70の高さは、成膜工程のみで制御されるため、ばらつきが小さい。つまり、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1では、製造ロット間における選択トランジスタST1のゲート電極の下端の位置のばらつきを抑制することが出来る。
その結果、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1は、第1実施形態と同様の効果を得ることが出来、さらに、製造ロット間における選択トランジスタST1の特性ばらつきを抑制することが出来る。
[4]第4実施形態
第4実施形態に係る半導体メモリ装置1では、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の構造に対して、メモリピラーMP内の半導体層33の内壁及び底面にHigh−k膜が設けられる。以下に、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1について、第1〜第3実施形態と異なる点を説明する。
第4実施形態に係る半導体メモリ装置1では、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の構造に対して、メモリピラーMP内の半導体層33の内壁及び底面にHigh−k膜が設けられる。以下に、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1について、第1〜第3実施形態と異なる点を説明する。
[4−1]メモリセルアレイ10の構造
図33は、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例を示している。
図33は、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例を示している。
図33に示すように、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1において、メモリセルアレイ10は、例えば第1実施形態において図4を用いて説明したメモリセルアレイ10の構造に対して、High−k膜80が追加された構造を有する。
High−k膜80は、各メモリピラーMP内において、積層膜32と半導体層33との間に設けられる。そして、半導体層70は、積層膜32の側面と、半導体層33の内壁及び底面とのそれぞれに接触している。
High−k膜80は、例えば窒化チタン(TiN)であり、バリアメタルや、耐エッチング材料として使用される。これに限定されず、High−k膜80は、バリアメタルや耐エッチング材料として使用可能であれば、その他の材料であっても良い。
以上で説明した第4実施形態に係る半導体メモリ装置1のその他の構成は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1と同様のため、説明を省略する。
[4−2]半導体メモリ装置1の製造方法
図34は、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法の一例を示すフローチャートである。図35〜図39のそれぞれは、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体を含む断面構造の一例を示している。
図34は、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法の一例を示すフローチャートである。図35〜図39のそれぞれは、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体を含む断面構造の一例を示している。
以下に、図34を適宜参照して、第3実施形態に係る半導体メモリ装置1における、ソース線SLに対応する積層構造の形成からスリットSLTの形成までの一連の製造工程の一例について説明する。
まず、第1実施形態と同様に、ステップS101、S102及びS103の処理が順に実行される。これにより、第1実施形態で図10を用いて説明した構造が形成される。
次に、第2実施形態と同様に、ステップS201、S202、S203、S204及びS205の処理が順に実行される。これにより、第2実施形態でステップS205において説明した構造が形成される。尚、以下で参照される図面では、この一連の工程で形成された半導体膜61のことを、半導体層33として示している。
次に、ステップS401の処理が実行され、図35に示すように、ダミーコア60の一部が除去される。
具体的には、例えばダミーコア60の選択比が大きいウェットエッチングによって、ダミーコア60が微量除去される。これにより、半導体層33の底面において接触していたダミーコア60が除去され、半導体層33とダミーコア60とが分離された構造が形成される。
次に、ステップS402の処理が実行され、図36に示すように、High−k膜80が形成される。
具体的には、まず例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)によって、ウエハの上面とメモリホールMHの内壁とにHigh−k膜80が形成される。本工程においてHigh−k膜80は、少なくとも半導体層33が露出した部分を覆うように形成されていれば良い。
次に、図37に示すように、High−k膜80の一部と、ダミーコア60とが除去される。
具体的には、まず、例えば異方性のエッチングによって、メモリホールMHの底部に形成されたHigh−k膜80が除去される。その結果、メモリホールMHの底部においてダミーコア60の上面が露出する。
尚、本工程において、ウエハの上面に形成されたHigh−k膜80が除去されても良い。本工程においてHigh−k膜80は、少なくともメモリホールMH内で側面に露出した部分に残存していれば良い。
それから、ステップS403の処理が実行され、ダミーコア60が除去される。本工程では、例えばHigh−k膜80とダミーコア60との間の選択比が大きいウェットエッチングが実行され、High−k膜80が残存する。
次に、ステップS404の処理が実行され、メモリピラーMPが形成される。
具体的には、まず第1実施形態と同様に、例えば積層膜32(ブロック絶縁膜37、絶縁膜36、及びトンネル酸化膜35)並びに半導体層31が、この順番で、ウエハの上面とメモリホールMHの内壁とのそれぞれに形成される。
そして、ウエハ上部に形成されたコア部材30が除去され、メモリホールMH内に形成されたコア部材30がリセスされる。それから、コア部材30がリセスされた部分に、半導体層31が埋め込まれる。
これにより、図38に示すように、コア部材30の上面が、犠牲部材49が設けられた層内且つ半導体層33の上面よりも上層に位置し、半導体層31によって覆われた構造が形成される。
続けて、ウエハの上面に形成された半導体層31、積層膜32、High−k膜80、及び酸化膜53が除去され、メモリホールMH内に形成された構造体の上部がリセスされる。それから、第1実施形態と同様に、ウエハの上面に半導体層34が形成され、半導体層34に対するエッチバック処理が実行される。
すると、図39に示すように、メモリホールMH内において、半導体層31、積層膜32、High−k膜80、及び酸化膜53の上面に半導体層34が設けられた構造が形成される。本工程によってメモリホールMH内に形成された構造体が、図33を用いて説明したメモリピラーMPの構造に対応している。
その後、第1実施形態と同様に、ステップS111、S112、S113、S114及びS115の処理が順に実行される。その結果、図33を用いて説明した構造と同様の構造が形成される。
[4−3]第4実施形態の効果
以上のように、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1では、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1で説明したメモリピラーMPの構造に対して、High−k膜80が追加される。
以上のように、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1では、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1で説明したメモリピラーMPの構造に対して、High−k膜80が追加される。
High−k膜80は、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造工程において、選択トランジスタST1のゲート電極(半導体層33)を保護することが出来る。つまり、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1では、半導体層33の形状ばらつきが抑制され得る。
言い換えると、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法では、選択トランジスタST1のゲート電極周りにおける構造のばらつきが抑制され得る。従って、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1は、第1実施形態と同様の効果を得ることが出来、さらに、選択トランジスタST1の特性ばらつきを抑制することが出来る。
尚、第4実施形態では、第2実施形態係る半導体メモリ装置1の製造方法のように、予め不純物がドープされた半導体膜61が形成される場合について例示したが、これに限定されない。
例えば、第4実施形態に係る半導体メモリ装置1の構造は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法のように、ノンドープの半導体膜51が形成された後に、半導体膜51に対するイオン注入処理が実行されることによって形成されても良い。
このような場合、例えば第1実施形態において図12を用いて説明した製造工程の後に、ダミーコア52の一部と半導体膜51の一部とが除去され、半導体層33の底面を露出させられる。続けて、ステップS402の処理が実行され、半導体層33を覆うようにHigh−k膜80が形成される。
それから、メモリホールMHの底部に形成されたHigh−k膜80が除去され、ステップS109の処理が実行される。その後の製造工程は、第1実施形態に係る半導体メモリ装置1の製造方法と同様のため、説明を省略する。
[5]変形例等
実施形態の半導体メモリ装置は、複数の第1導電体層と、第2導電体層と、第1半導体層と、第2半導体層と、積層体と、を含む。複数の第1導電体<例えば図4、23>は、第1方向に互いに離間して配置され、第1方向と交差する第2方向にそれぞれ延在する。第2導電体層<例えば図4、24>は、複数の第1導電体層のうちの最上層に対して上方に離間して配置される。第1半導体層<例えば図4、31>は、第1方向に延在する。積層体<例えば図4、32>は、第2方向において、第1半導体層と複数の第1導電体層の間、及び第1半導体層と第2導電体層の間に配置され、電荷蓄積層を含む。第2半導体層<例えば図4、33>は、積層体と第2導電体層間に配置される。第1半導体層は、少なくとも第1導電体層の最上層に対向する部分から第2導電体層に対向する部分まで連続膜である。これにより、実施形態に係る半導体メモリ装置では、単位面積当たりの記憶容量を大きくすることが出来る。
実施形態の半導体メモリ装置は、複数の第1導電体層と、第2導電体層と、第1半導体層と、第2半導体層と、積層体と、を含む。複数の第1導電体<例えば図4、23>は、第1方向に互いに離間して配置され、第1方向と交差する第2方向にそれぞれ延在する。第2導電体層<例えば図4、24>は、複数の第1導電体層のうちの最上層に対して上方に離間して配置される。第1半導体層<例えば図4、31>は、第1方向に延在する。積層体<例えば図4、32>は、第2方向において、第1半導体層と複数の第1導電体層の間、及び第1半導体層と第2導電体層の間に配置され、電荷蓄積層を含む。第2半導体層<例えば図4、33>は、積層体と第2導電体層間に配置される。第1半導体層は、少なくとも第1導電体層の最上層に対向する部分から第2導電体層に対向する部分まで連続膜である。これにより、実施形態に係る半導体メモリ装置では、単位面積当たりの記憶容量を大きくすることが出来る。
第3実施形態と第4実施形態とは、互いに組み合わせることが可能である。つまり、半導体メモリ装置1は、第3実施形態で説明された半導体層70と、第4実施形態で説明されたHigh−k膜80との両方を備えていても良い。このような場合に半導体メモリ装置1は、第3実施形態の効果と第4実施形態の効果との両方を得ることが出来る。
上記実施形態において、メモリセルアレイ10の構造はその他の構造であっても良い。例えば、メモリピラーMPは、複数のピラーがZ方向に連結された構造であっても良い。この場合に、メモリピラーMPは、例えば導電体層24(選択ゲート線SGD)及び複数の導電体層23(ワード線WL)を貫通するピラーと、複数の導電体層23(ワード線WL)及び導電体層24(選択ゲート線SGS)を貫通するピラーとが連結された構造であっても良い。また、メモリピラーMPには、複数の導電体層23を貫通するピラーが複数含まれていても良い。
上記実施形態では、半導体メモリ装置1がメモリセルアレイ10下にセンスアンプモジュール16等の回路が設けられた構造を有する場合を例に説明したが、これに限定されない。例えば、半導体メモリ装置1は、半導体基板20上にメモリセルアレイ10及びセンスアンプモジュール16が形成された構造であっても良い。この場合にメモリピラーMPは、例えばメモリピラーMPの底面を介して半導体層31とソース線SLとが電気的に接続される。
本明細書において、“High−k膜”とは、高誘電率の材料のことを示している。High−k膜の比誘電率は、酸化シリコン(SiO2)の比誘電率よりも高い。“High−k膜”は、“High−k材料”や、“高誘電率膜”と言い換えられても良い。
上記実施形態において、“ダミーコア”は、メモリホールMH内に一時的に形成される材料のことを示し、“犠牲部材”は、ワード線WLや選択ゲート線SGD等の配線の置換処理に使用される材料のことを示している。これに限定されず、本明細書において“ダミーコア”は、“犠牲部材”と言い換えられても良い。
本明細書において“接続”とは、電気的に接続されている事を示し、例えば間に別の素子を介することを除外しない。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことが出来る。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…半導体メモリ装置、2…メモリコントローラ、10…メモリセルアレイ、11…コマンドレジスタ、12…アドレスレジスタ、13…シーケンサ、14…ドライバモジュール、15…ロウデコーダモジュール、16…センスアンプモジュール、20…半導体基板、21〜25…導電体、30…コア部材、31…半導体、32…積層膜、33,34,70…半導体、80…High−k膜、CP…コンタクト、BLK…ブロック、SU…ストリングユニット、MT…メモリセルトランジスタ、ST1,ST2…選択トランジスタ、BL…ビット線、WL…ワード線、SGD…選択ゲート線
Claims (22)
- 第1方向に互いに離間して配置され、前記第1方向と交差する第2方向にそれぞれ延在する複数の第1導電体層と、
前記複数の第1導電体層のうちの最上層に対して上方に離間して配置された第2導電体層と、
前記第1方向に延在する第1半導体層と、
前記第2方向において、前記第1半導体層と前記複数の第1導電体層の間、及び前記第1半導体層と前記第2導電体層の間に配置された、電荷蓄積層を含む積層体と、
前記積層体と前記第2導電体層間に配置された第2半導体層とを備え、
前記第1半導体層は、少なくとも前記第1導電体層の最上層に対向する部分から前記第2導電体層に対向する部分まで連続膜である、
半導体メモリ装置。 - 前記積層体は、少なくとも前記第1導電体層の最上層に対向する部分から前記第2導電体層に対向する部分まで連続膜である、
請求項1に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第2半導体層は、円筒状に設けられる、
請求項1又は請求項2に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第2半導体層の外径と前記積層体の外径との間が連続的に変化する部分を含む、
請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の半導体メモリ装置。 - 前記積層体は、前記第1半導体層に接触したトンネル酸化膜と、前記第2半導体層に接触したブロック絶縁膜と、前記トンネル酸化膜と前記ブロック絶縁膜との間の絶縁膜を含む、
請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第1方向に延在し、前記第1半導体層に覆われた第1絶縁体層をさらに備える、
請求項1又は請求項2に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第1導電体層が設けられた層における前記第1絶縁体層の外径が、前記第2導電体層が設けられた層における前記第1絶縁体層の外径よりも大きく、前記第1導電体層が設けられた層における前記第1半導体層の厚さが、前記第2導電体層が設けられた層における前記第1半導体層の厚さと略同じである、
請求項6に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第1絶縁体層は、積層された前記第1導電体層と交差する部分において円筒状に設けられる、
請求項6又は請求項7に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第1絶縁体層と、前記第1半導体層と、前記積層体とのそれぞれの上面に接する第3半導体層をさらに含む、
請求項6乃至請求項8のいずれか一項に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第2半導体層の側面は前記第3半導体層の側面と揃い、前記第2半導体層と前記第3半導体層との間は第2絶縁体層によって絶縁される、
請求項9に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第2導電体層を分断し且つ内部に絶縁体が形成され、前記第2半導体層に接触するスリットをさらに備える、
請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第2導電体層に接触し、且つ前記第2導電体層の底部に設けられた第4半導体層をさらに備える、
請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第2半導体層と前記積層体との間の高誘電体膜をさらに含む、
請求項1乃至請求項12のいずれか一項に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第1絶縁体層の上面は、前記第2導電体層が設けられた層よりも上層に含まれる、
請求項6乃至請求項10のいずれか一項に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第1導電体層と前記第1半導体層とが交差する部分は、メモリセルトランジスタとして機能し、前記第2導電体層と前記第1半導体層とが交差する部分は、選択トランジスタとして機能する、
請求項1乃至請求項14のいずれか一項に記載の半導体メモリ装置。 - 前記第2半導体層はボロンを含み、
前記第2半導体層におけるボロン濃度は、1019(atoms/cm3)以上である、
請求項1乃至請求項15のいずれか一項に記載の半導体メモリ装置。 - 第1犠牲部材が互いに離間して積層され、最上層の第1犠牲部材の上方に離間して第2犠牲部材が形成された積層部を形成することと、
それぞれが前記積層部を貫通する複数のホールを形成することと、
前記複数のホールの側面及び底面に、第1半導体層を形成することと、
前記第1半導体層を形成した後に、前記複数のホール内に第3犠牲部材を形成することと、
前記第3犠牲部材を形成した後に、表面に露出した前記第1半導体層を酸化することと、
前記酸化の後に、前記第3犠牲部材のエッチバック処理をすることと、
前記エッチバック処理の後に、表面に露出し且つ酸化されていない前記第1半導体層に対するイオン注入処理をすることと、
前記イオン注入処理の後に、前記第3犠牲部材と、前記イオン注入処理が実行されず且つ酸化されていない前記第1半導体層を除去することと、
酸化されていない前記第1半導体層が除去された後に、前記複数のホール内にブロック絶縁膜、第1絶縁体層、トンネル酸化膜、第2半導体層、第2絶縁体層とを順に形成することと、
前記第2絶縁体層を形成した後に、前記第2犠牲部材を除去することと、
前記第2犠牲部材を除去した後に、イオン注入された前記第1半導体層に接触する第1導電体層を形成することと、
前記第1導電体層を形成した後に、前記第1犠牲部材を除去し、前記第1犠牲部材が設けられていた空間に第2導電体層を形成することと、
を備える半導体メモリ装置の製造方法。 - 前記積層部を形成する際に、最上層の前記第1犠牲部材を形成した後に第3半導体層を形成し、前記第3半導体層上に前記第2犠牲部材を形成することと、
を備える請求項17に記載の半導体メモリ装置の製造方法。 - 前記イオン注入処理の後且つ、前記第3犠牲部材を除去する前に、前記第3犠牲部材の一部と、前記イオン注入処理が実行されず且つ酸化されていない前記第1半導体層の一部とを除去することと、
前記第3犠牲部材の一部と、前記第1半導体層の一部とを除去した後に、前記複数のホールの側面に形成された前記第1半導体層の側面及び底面に高誘電体膜を形成することと、
を備える、
請求項17又は請求項18に記載の半導体メモリ装置の製造方法。 - 第1犠牲部材とが互いに離間して積層され、最上層の第1犠牲部材の上方に離間して第2犠牲部材が形成された積層部を形成することと、
それぞれが前記積層部を貫通する複数のホールを形成することと、
前記複数のホールに、第3犠牲部材を形成することと、
前記第3犠牲部材を形成した後に、前記複数のホールの側面と前記第3犠牲部材上に、不純物がドープされた第1半導体層を形成することと、
前記第1半導体層を形成した後に、前記複数のホール内に第4犠牲部材を形成することと、
前記第4犠牲部材を形成した後に、表面に露出した前記第1半導体層を酸化することと、
前記酸化の後に、前記第4犠牲部材を除去し、前記複数のホールの底部に形成された前記第1半導体層を除去することと、
前記複数のホールの底部に形成された前記第1半導体層を除去した後に、前記第3犠牲部材を除去することと、
前記第3犠牲部材が除去された後に、前記複数のホール内にブロック絶縁膜、第1絶縁体層、トンネル酸化膜、第2半導体層、第2絶縁体層とを順に形成することと、
前記第2絶縁体層が形成された後に、前記第2犠牲部材を除去することと、
前記第2犠牲部材が除去された後に、酸化されていない前記第1半導体層に接触する第1導電体層を形成することと、
前記第1導電体層が形成された後に、前記第1犠牲部材を除去し、前記第1犠牲部材が設けられていた空間に第2導電体層を形成することと、
を備える半導体メモリ装置の製造方法。 - 前記積層部を形成する際に、最上層の前記第1犠牲部材を形成した後に第3半導体層を形成し、前記第3半導体層上に前記第2犠牲部材を形成することと、
を備える請求項20に記載の半導体メモリ装置の製造方法。 - 前記複数のホールの底部に形成された前記第1半導体層を除去した後、且つ前記第3犠牲部材を除去する前に、前記第3犠牲部材の一部を除去することと、
前記第3犠牲部材の一部を除去した後に、前記複数のホールの側面に形成された前記第1半導体層の側面及び底面に高誘電体膜を形成することと、
を備える、
請求項20又は請求項21に記載の半導体メモリ装置の製造方法。
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