JP2020017705A - ロードポート装置 - Google Patents
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Abstract
Description
容器を載置する載置部を有するロードポート装置であって、
上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、
前記可動部が、前記上昇位置と、前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動できるように、前記可動部を相対移動可能に支持するベース部と、
前記ベース部の上表面より下方に配置されており、前記可動部の移動を検出する検出部と、を有する。
前記検出部は、前記ベース部の前記下表面より下方の位置で、前記被検出部の移動を検出してもよい。
前記被検出部の上端は、前記ノズル鍔部に接続してもよい。
前記検出部の信号が入力される制御部と、を有してもよく、
前記制御部は、前記検出部からの前記信号により、前記可動部が前記上昇位置にあることを認識した後、前記ガス供給部を制御して前記流路に前記清浄化ガスを供給し、前記ポートを介して前記容器内に前記清浄化ガスを導入してもよい。
図1は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10と、ロードポート装置10の載置部12に載置された容器としてのフープ80とを示す外観図である。ロードポート装置10は、通常イーフェム(EFEM)の壁部に設置され、イーフェムの一部を構成する。イーフェムは、ウエハ搬送用のロボットアームなどが設けられるミニエンバイロメントを形成し、ロボットアームは、ロードポート装置10によってミニエンバイロメントに接続されたフープ80内から、フープ80内に収容されるシリコンウエハなどの基板を取り出し、半導体処理装置へ搬送する。
12…載置部
12a…設置部
12b…設置部開口
14…ドア
16…フレーム
16a…フレーム開口
20…ボトムパージユニット
30、130、230、330…可動部
32…流路
33、133、233、333…被検出部
33a、133a…下端部
33b…上端
133b、233d…貫通孔
333f…第1部分
333g…第2部分
34…ノズル部
35…ノズル鍔部
36…継ぎ手部
37…接触部
P1…下降位置
P2…上昇位置
40…ベース部
40a…上表面
40b…下表面
42…上ベース部
42a…第1接続部
43…下ベース部
43a…第2接続部
44…第1の開口
46…第2の開口
50…検出部
52…発光部
54…受光部
56…隙間
58…配線部
60…ガス供給部
62…接続経路
70…制御部
80…フープ
82…底部
84…ポート
86…主開口
Claims (9)
- 容器を載置する載置部を有するロードポート装置であって、
上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、
前記可動部が、前記上昇位置と、前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動できるように、前記可動部を相対移動可能に支持するベース部と、
前記ベース部の上表面より下方に配置されており、前記可動部の移動を検出する検出部と、を有するロードポート装置。 - 前記可動部は、前記下降位置において、前記ベース部の下表面より下方に延出する被検出部を有し、
前記検出部は、前記ベース部の前記下表面より下方の位置で、前記被検出部の移動を検出する請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記ベース部には、前記可動部において前記流路が形成されるノズル部が、前記ベース部を上下方向に挿通する第1の開口と、前記被検出部が、前記ベース部を前期上下方向に挿通する第2の開口と、が形成されている請求項2に記載のロードポート装置。
- 前記可動部は、前記可動部において前記流路が形成されるノズル部から外径方向に突出するノズル鍔部を有しており、
前記被検出部の上端は、前記ノズル鍔部に接続している請求項2または請求項3に記載のロードポート装置。 - 前記検出部は、前記ベース部の下表面に取り付けられていることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載のロードポート装置。
- 前記検出部は、前記ベース部が固定される前記載置部に取り付けられていることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載のロードポート装置。
- 検出部は、光を生じる発光部と、前記光を受光して信号を出力する受光部と、を有する光学式センサであることを特徴とする請求項1から請求項6までのいずれかに記載のロードポート装置。
- 前記被検出部は、前記可動部の移動の少なくとも一部において、前記発光部と前記受光部との間を通ることを特徴とする請求項7に記載のロードポート装置。
- 前記流路に清浄化ガスを供給するガス供給部と、
前記検出部の信号が入力される制御部と、を有しており、
前記制御部は、前記検出部からの前記信号により、前記可動部が前記上昇位置にあることを認識した後、前記ガス供給部を制御して前記流路に前記清浄化ガスを供給し、前記ポートを介して前記容器内に前記清浄化ガスを導入することを特徴とする請求項1から請求項8までのいずれかに記載のロードポート装置。
Priority Applications (1)
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JP2018141563A JP7172251B2 (ja) | 2018-07-27 | 2018-07-27 | ロードポート装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018141563A JP7172251B2 (ja) | 2018-07-27 | 2018-07-27 | ロードポート装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2020017705A true JP2020017705A (ja) | 2020-01-30 |
JP7172251B2 JP7172251B2 (ja) | 2022-11-16 |
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ID=69579652
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018141563A Active JP7172251B2 (ja) | 2018-07-27 | 2018-07-27 | ロードポート装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7172251B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0441130A (ja) * | 1990-06-01 | 1992-02-12 | Komatsu Gikenkk | 電子部品実装用ロボットにおける部品装着確認方法および部品装着用プッシャーのストローク検出機構 |
JP2007283417A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Kanto Auto Works Ltd | マテリアルハンド |
JP2017017291A (ja) * | 2015-07-06 | 2017-01-19 | Tdk株式会社 | フープロードポート装置 |
JP2017050517A (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ガス注入装置 |
-
2018
- 2018-07-27 JP JP2018141563A patent/JP7172251B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0441130A (ja) * | 1990-06-01 | 1992-02-12 | Komatsu Gikenkk | 電子部品実装用ロボットにおける部品装着確認方法および部品装着用プッシャーのストローク検出機構 |
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JP2017050517A (ja) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ガス注入装置 |
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JP7172251B2 (ja) | 2022-11-16 |
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