JP2020009819A - 産業用ロボット - Google Patents
産業用ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020009819A JP2020009819A JP2018127166A JP2018127166A JP2020009819A JP 2020009819 A JP2020009819 A JP 2020009819A JP 2018127166 A JP2018127166 A JP 2018127166A JP 2018127166 A JP2018127166 A JP 2018127166A JP 2020009819 A JP2020009819 A JP 2020009819A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- sensor
- wafer
- industrial robot
- support portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 118
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 18
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
図1から図3は、本発明の実施形態を説明するための産業用ロボットの一例を示す。産業用ロボット1(以下、「ロボット1」とする。)は、板状の搬送対象物である半導体ウエハ2(以下、「ウエハ2」とする。)を搬送するためのロボットである。ロボット1は、例えば、複数のウエハ2が所定のピッチで積層されて収納されるカセット(図示省略)から複数のウエハ2を同時に搬出する。そして、ロボット1は、複数のウエハ2が所定のピッチで積層されて収納される半導体製造システムの加熱炉(図示省略)の中へカセットから搬出した複数のウエハ2を搬入する。また、ロボット1は、加熱炉から複数のウエハ2を同時に搬出して、搬出した複数のウエハ2をカセットの中へ搬入する。
図4及び図5は、センシング用ハンド5の構成を示す。センシング用ハンド5は、第2アーム6によって回動可能に支持される基端部51と、基端部51から先端側に向かって二又に分岐した第1腕部52及び第2腕部53とを有し、全体としてY字形状を呈している。そして、センシング用ハンド5は、センシング用ハンド5に載置されたウエハ2の裏面21が対向する載置面54を有する。
信号処理部63には、第1センサ61及び第2センサ62それぞれの出力信号が入力される。そして、信号処理部63は、入力された二つの信号に基づいて、センシング用ハンド5上のウエハ2の載置状態が適正か否かを判定する。判定は、閾値を用いて行うことができ、例えば、第1センサ61の出力信号と、第2センサ62の出力信号との両方の出力信号の信号値が閾値以上である場合に、ウエハ2の載置状態を適正と判定し、少なくとも一方の出力信号の信号値が閾値未満である場合に、ウエハ2の載置状態を不適と判定することができる。なお、閾値は、ウエハ2の載置状態が適正である場合の出力信号値と、ウエハ2の載置状態が不適である場合の出力信号値とに基づいて適宜設定できる。
信号処理部63が行うウエハ2の載置状態の判定は、上述した例に限定されない。例えば、第1センサ61の出力信号と、第2センサ62の出力信号との少なくとも一方の出力信号の信号値が閾値以上である場合に、ウエハ2の載置状態が適正と判定され、両方の出力信号の信号値が閾値未満である場合に、ウエハ2の載置状態が不適と判定されてもよい。本例によれば、図12に示した、載置面54に対する傾きが比較的小さいウエハ2の載置状態は適正と判定される。このように、適正と見做すことができるウエハ2の載置状態の幅を広げることができ、例えばロボット1が頻繁に動作を停止する場合に有用である。
2 半導体ウエハ(搬送対象物)
3 ウエハ搭載機構
4 第1アーム
5 センシング用ハンド
6 第2アーム
7 アーム支持部
8 昇降機構
9 第1支持部
10 第2支持部
21 ウエハの裏面
21e ウエハの裏面における外周部の縁
22 ウエハの外周面
23 ウエハの表面
51 センシング用ハンドの基端部
52 センシング用ハンドの第1腕部
53 センシング用ハンドの第2腕部
54 センシング用ハンドの載置面
55 第1支持部
56 第2支持部
57 第3支持部
58 傾斜面
60 検出部
61 第1センサ(反射型光センサ)
62 第2センサ(反射型光センサ)
63 信号処理部
C 中心線
O 中心
L 光
R 三角領域
X 第1方向
Y 第2方向
Claims (6)
- 板状の搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、
前記搬送対象物が載置されるハンドと、
前記ハンド上の前記搬送対象物を検出する検出部と、
を備え、
前記ハンドは、
載置面と、
前記搬送対象物が前記載置面との間に隙間をあけ且つ前記載置面に沿って配置されるように、前記搬送対象物の裏面の三箇所を支持可能な第1支持部、第2支持部、及び第3支持部と、
を有し、
前記検出部は、
前記第1支持部と前記第2支持部と前記第3支持部とによって支持された前記搬送対象物の外周面に対向して配置される複数の反射型光センサと、
前記複数の反射型光センサの出力信号に基づいて、前記搬送対象物の載置状態を判定する信号処理部と、
を有し、
前記複数の反射型光センサは、前記第1支持部を通り且つ前記第2支持部と前記第3支持部との中間を通る中心線の一方側に設けられた第1センサと、他方側に設けられた第2センサとを含む産業用ロボット。 - 請求項1記載の産業用ロボットであって、
前記第1センサと、前記第2センサとは、前記中心線を挟んで互いに対称となる位置に設けられている産業用ロボット。 - 請求項2記載の産業用ロボットであって、
前記第1センサと、前記第2センサとは、前記第1支持部に隣設されている産業用ロボット。 - 請求項1から3のいずれか一項記載の産業用ロボットであって、
前記第1支持部、前記第2支持部、及び前記第3支持部は、前記搬送対象物の前記裏面の外周部を支持する産業用ロボット。 - 請求項4記載の産業用ロボットであって、
前記第1支持部、前記第2支持部及び前記第3支持部は、前記第1支持部と前記第2支持部と前記第3支持部とを結んで得られる三角領域の外接円の中心に向いた傾斜面であって、前記載置面に近づくほどに前記中心に近づく傾斜面を有しており、前記傾斜面によって前記搬送対象物の前記裏面の外周部の縁に接する産業用ロボット。 - 請求項4又は5記載の産業用ロボットであって、
前記搬送対象物は半導体ウエハである産業用ロボット。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018127166A JP7191565B2 (ja) | 2018-07-03 | 2018-07-03 | 産業用ロボット |
CN201910583694.9A CN110668188B (zh) | 2018-07-03 | 2019-07-01 | 工业用机器人 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018127166A JP7191565B2 (ja) | 2018-07-03 | 2018-07-03 | 産業用ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020009819A true JP2020009819A (ja) | 2020-01-16 |
JP7191565B2 JP7191565B2 (ja) | 2022-12-19 |
Family
ID=69152076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018127166A Active JP7191565B2 (ja) | 2018-07-03 | 2018-07-03 | 産業用ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7191565B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220145357A (ko) | 2020-02-28 | 2022-10-28 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 기판 유지 핸드 및 기판 이송 로봇 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06104326A (ja) * | 1992-09-18 | 1994-04-15 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JPH1092894A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-10 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板搬送用プレート |
JPH11116046A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-04-27 | Mecs Corp | ウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド |
JP2000124289A (ja) * | 1998-10-19 | 2000-04-28 | Mecs Corp | 薄型基板搬送ロボットのハンド |
JP2006080345A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Olympus Corp | ウエハ搬送アームとウエハ搬送装置 |
JP2018073942A (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-10 | 川崎重工業株式会社 | 基板把持ハンド及びそれを備える基板搬送装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005101069A (ja) | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 搬送装置及び基板処理装置 |
JP5884624B2 (ja) | 2012-05-02 | 2016-03-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、調整方法及び記憶媒体 |
-
2018
- 2018-07-03 JP JP2018127166A patent/JP7191565B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06104326A (ja) * | 1992-09-18 | 1994-04-15 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JPH1092894A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-10 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板搬送用プレート |
JPH11116046A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-04-27 | Mecs Corp | ウェハ搬送ロボットにおけるロボットハンド |
JP2000124289A (ja) * | 1998-10-19 | 2000-04-28 | Mecs Corp | 薄型基板搬送ロボットのハンド |
JP2006080345A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Olympus Corp | ウエハ搬送アームとウエハ搬送装置 |
JP2018073942A (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-10 | 川崎重工業株式会社 | 基板把持ハンド及びそれを備える基板搬送装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220145357A (ko) | 2020-02-28 | 2022-10-28 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 기판 유지 핸드 및 기판 이송 로봇 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7191565B2 (ja) | 2022-12-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110668188B (zh) | 工业用机器人 | |
KR100251239B1 (ko) | 기판이송적재방법 및 기판이송적재장치 | |
JP6722677B2 (ja) | 基板移載装置 | |
TWI546882B (zh) | 具有單一感測器之雙重感測末端作用器 | |
KR102443868B1 (ko) | 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 | |
US20150066199A1 (en) | Robot hand, robot system, and method for depalletizing article | |
JP2007217078A (ja) | 方向転換装置 | |
TW201247376A (en) | Robot system | |
TWI675431B (zh) | 基板搬送裝置及求出基板搬送機器人與基板載置部之位置關係之方法 | |
JP2020009819A (ja) | 産業用ロボット | |
JP7191575B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP5005428B2 (ja) | 基板搬送方法、及び基板搬送装置 | |
JP7149119B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2011216729A (ja) | 半導体ウェハ搬送装置 | |
WO2022050202A1 (ja) | ロボット及び基板形状異常検査方法 | |
WO2022097754A1 (ja) | 産業用ロボット | |
JPH11214481A (ja) | 固体デバイス製造装置 | |
JPS63300525A (ja) | ウエハの搬出入用検出装置 | |
JP7166163B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2022116807A (ja) | 産業用ロボット | |
JP6700124B2 (ja) | 搬送対象物を搬送する搬送方法 | |
JP5270953B2 (ja) | ロボットハンド装置 | |
TW201912543A (zh) | 自動定位設備及其定位裝置 | |
JP2012210676A (ja) | ロボットアーム型搬送装置 | |
JP2023088620A (ja) | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210618 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220616 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220621 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7191565 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |