JP2007217078A - 方向転換装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】同じ長さを有し、何れか一方が第1搬送レール16と同じ高さで、他方が一方よりも下方に配置され、且つ、互いに垂直で、2つの中点が同一鉛直線上に位置するように配置され、FOUP5を搬送する直線状の第1及び第2搬送路3・4と、その中点を中心に、第1及び第2搬送路3・4を同時に回転させるターンテーブル2及び回転部22と、第1及び第2搬送路3・4を鉛直方向に移動させる昇降部23と第1搬送レール16からFOUP5が第1搬送レール16と同じ高さの搬送路に排出されると、第1及び第2搬送路3・4を略90度回転させ、FOUP5を搬送路外に搬出した後、第1及び第2搬送路3・4の鉛直方向の位置を入れ替えるように制御する制御部21とを備える。
【選択図】図1
Description
次に、第1搬送レール16のFOUP5を第3搬送レール18に進入させる場合の方向転換装置1の制御装置の動作について説明する。
以上説明したように、本実施の形態において、FOUP5を搬送する第1搬送レール16から排出されたFOUP5を方向転換する方向転換装置において、同じ長さを有し、何れか一方が第1搬送レール16と同じ高さで、他方が一方よりも下方に配置され、且つ、互いに垂直で、2つの中点が同一鉛直線上に位置するように配置され、FOUP5を搬送する直線状の第1及び第2搬送路3・4と、中点を中心に、第1及び第2搬送路3・4を同時に回転させるターンテーブル2及び回転部22と、第1及び第2搬送路3・4を鉛直方向に移動させる昇降部23と第1搬送レール16からFOUP5が第1搬送レール16と同じ高さの搬送路に排出されると、第1及び第2搬送路3・4を略90度回転させ、FOUP5を搬送路外に搬出した後、第1及び第2搬送路3・4の鉛直方向の位置を入れ替えるように制御する制御部21とを備えた構成となっている。
本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の趣旨と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
2 ターンテーブル
3 第1搬送路
4 第2搬送路
5 FOUP
16 第1搬送レール
17 第2搬送レール
18 第3搬送レール
Claims (2)
- ワークを搬送する搬送レールから排出されたワークを方向転換する方向転換装置において、
同じ長さを有し、何れか一方が前記搬送レールと同じ高さで、他方が前記一方よりも下方に配置され、且つ、互いに垂直で、2つの中点が同一鉛直線上に位置するように配置され、ワークを搬送する直線状の第1及び第2搬送路と、
前記中点を中心に、前記第1及び第2搬送路を同時に回転させる回転部と、
前記第1及び第2搬送路を鉛直方向に移動させる昇降部と
前記搬送レールから前記ワークが前記搬送レールと同じ高さの搬送路に排出されると、前記第1及び第2搬送路を略90度回転させ、前記ワークを前記搬送路外に搬出した後、前記第1及び第2搬送路の鉛直方向の位置を入れ替えるように制御する制御部と
を備えていることを特徴とする方向転換装置。 - 前記搬送レール、前記第1及び第2搬送路は、両側に沿って回転可能な複数のローラを有しており、前記ローラ上に載置されたワークを前記ローラの回転によって搬送することを特徴する請求項1に記載の方向転換装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006036572A JP2007217078A (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 方向転換装置 |
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TW096105453A TW200808632A (en) | 2006-02-14 | 2007-02-14 | Direction change device |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006036572A JP2007217078A (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 方向転換装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007217078A true JP2007217078A (ja) | 2007-08-30 |
Family
ID=38367000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006036572A Pending JP2007217078A (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 方向転換装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
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US (1) | US20070186799A1 (ja) |
JP (1) | JP2007217078A (ja) |
KR (1) | KR20070082052A (ja) |
CN (1) | CN101020537A (ja) |
TW (1) | TW200808632A (ja) |
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CN104129609A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-11-05 | 中国重汽集团柳州运力专用汽车有限公司 | 生产线转盘 |
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JP2022048035A (ja) * | 2020-09-14 | 2022-03-25 | 地中空間開発株式会社 | トンネル掘削機、掘削ツール交換装置および掘削ツール交換方法 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101020537A (zh) | 2007-08-22 |
TW200808632A (en) | 2008-02-16 |
US20070186799A1 (en) | 2007-08-16 |
KR20070082052A (ko) | 2007-08-20 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090203 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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A711 | Notification of change in applicant |
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