JP2019527374A - 変調ファブリ・ペロー - Google Patents
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Abstract
Description
2 鏡
3 圧電アクチュエータ
4 鏡
5 外側アクチュエータ
6 内側アクチュエータ
7 内側アクチュエータ
8 外側アクチュエータ
9 電極
10 電極
11 鏡面
12 鏡面
13 電極
14 電極
15 アクチュエータ
16 アクチュエータ
17 アクチュエータ
18 アクチュエータ
19 電極
20 電極
21 電極
22 電極
23 電極
24 電極
25 電極
26 電極
27 電極
28 アクチュエータ
29 アクチュエータ
30 アクチュエータ
31 アクチュエータ
32 アクチュエータ
33 アクチュエータ
34 アクチュエータリング
35 アクチュエータ
36 アクチュエータ
37 アクチュエータ
38 アクチュエータ
39 アクチュエータ
40 アクチュエータ
41 アクチュエータ
42 アクチュエータ
43 アクチュエータ
44 アクチュエータ
45 アクチュエータ
46 アクチュエータ
63 アクチュエータ
64 アクチュエータ
65 アクチュエータ
66 アクチュエータ
67 アクチュエータ
68 アクチュエータ
69 アクチュエータ
70 アクチュエータ
100 光
Claims (14)
- フレームに取り付けられた2つの平らな鏡面を含むファブリ・ペロー干渉計であって、前記鏡が、それらの間の既知の距離を有し、前記鏡面の少なくとも1つが、共に部分的に反射性であり部分的に反射性であり、少なくとも2つのアクチュエータユニットがあり、各々が、少なくとも1つのアクチュエータを含み、前記第1のアクチュエータユニットが、前記鏡間の前記距離を調整するように適合され、前記第2のアクチュエータユニットが、選択された周波数で前記距離を変調するように適合され、それによって両方が、前記ファブリ・ペロー干渉計のフィルタリングされた波長の範囲に対応する鏡の距離の範囲にわたる変動を与え、
前記鏡の少なくとも1つが、シリコン膜を介して前記フレームに関連し、前記アクチュエータユニットの少なくとも1つが、前記膜上に圧電材料を含み、それによってバイモルフ又はユニモルフアクチュエータユニットを構成する、ファブリ・ペロー干渉計。 - 前記フィルタリングされた波長が前後に走査されるように、変調が、前記フィルタの光軸に対して平行な動きである、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 前記変調がサイナスである、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 前記波長が特定の範囲内に調整されるように、前記フィルタリングされた波長が斜面で調整される、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 前記第1のアクチュエータユニット及び前記第2のアクチュエータユニットが、前記ファブリ・ペロー干渉計の同じ鏡を移動させる、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 前記第1のアクチュエータユニットが、前記ファブリ・ペロー干渉計の1つの鏡を移動させ、前記他のアクチュエータユニットが、前記ファブリ・ペロー干渉計の前記第2の鏡を移動させる、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 選択された領域間の静電容量を測定し、前記平均化されたフィルタリングされた波長を変調ありと変調なしで比較することによって、前記フィルタリングされた波長に対応する前記鏡の距離が測定され、前記変調度の推定値を与えるためにこの情報を利用することができる、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 前記スペクトルが、適用された変調において連続的により広く、より狭くなるように、変調が平行移動ではない、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 前記鏡の少なくとも1つがフォトニック結晶膜である、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 前記鏡の少なくとも1つが表面プラズモンに基づく、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 前記膜が開口部を含み、前記バイモルフ又はユニモルフアクチュエータが、前記フレームから前記鏡まで延びる膜アーム上に配置されている、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 少なくとも1つのアクチュエータユニットが、静電力を利用する、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計。
- 例えばスクイーズフィルム効果のために、適用された変調と前記波長を用いた実際の変調の変化との間の位相差を検出するための手段を含み、前記システムが、前記振幅及び場合によっては前記適用された変調の位相を変更することによって補償するように適合されている、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計を含むシステム。
- 光音響検出器における、請求項1に記載のファブリ・ペロー干渉計の使用。
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