JP2019505084A

JP2019505084A - 自動車用の照射ユニット

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Publication number: JP2019505084A
Application number: JP2018558450A
Authority: JP
Inventors: マイヤー、マティアス; ラインプレヒト、マルクス; ミッターレーナー、シュテファン
Original assignee: Zizala Lichtsysteme GmbH
Current assignee: ZKW Group GmbH
Priority date: 2016-02-02
Filing date: 2017-01-13
Publication date: 2019-02-21
Anticipated expiration: 2037-01-13
Also published as: KR102088228B1; WO2017132713A1; JP6793756B2; AT518220B1; KR20180107191A; US10641455B2; ES2775434T3; EP3411625B1; AT518220A1; US20190316751A1; CN108700270B; CN108700270A; EP3411625A1

Abstract

【課題】低コストでコンパクトで効率的である、マイクロミラー構成部材と冷却システムを備えた照射ユニットを創作する。
【解決手段】自動車用の照射ユニット（１）であって、照射ユニット（１）は、ライトモジュール（２）とミラーモジュール（３）を含み、この際、ミラーモジュール（３）は、ライトモジュール（２）により発生された放出光を照射ユニット（１）の放射方向へ反射するように構成されており、ライトモジュール（２）は、少なくとも１つの光源（４）と、第１冷却体（５）を含み、ミラーモジュール（３）は、ミラーユニット（６）と、第２冷却体（７）を含み、冷却システム（８）が設けられており、冷却システム（８）は、少なくとも１つの入口部（９）と、少なくとも１つの出口部（１０）と、少なくとも１つの管路（１１）と、少なくとも１つのフローユニット（１２）と、所定の冷却媒体と、第１ヒートシンクと、第２ヒートシンクを含み、この際、入口部（９）と出口部（１０）は、管路（１１）により接続されており、フローユニット（１２）は、管路（１１）内で冷却媒体の流れを発生させるために、管路（１１）に取り付けられており、この際、冷却媒体は、入口部（９）を通して吸引され、出口部（１０）を通して放出され、また第１ヒートシンクは、ライトモジュール（２）の第１冷却体（５）により構成されており、第２ヒートシンクは、ミラーモジュール（３）の第２冷却体（７）により構成されており、第１ヒートシンクは、第２ヒートシンクの下流側に配設されている。
【選択図】図７

Description

本発明は、自動車用の照射ユニット（照明ユニット）に関し、該照射ユニットは、ライトモジュールとミラーモジュールを含み、この際、ミラーモジュールは、ライトモジュールにより発生された放出光（ライトエミッション）を照射ユニットの放射方向へ反射するように構成されている。

現在の前照灯システムの開発においては、迅速に変更可能であり且つその都度の交通条件、道路条件、光条件に適合可能なできるだけ高分解能の光像を走行路上へ投射しようという要望が益々重要になっている。ここで「走行路」との概念は、単純化された表現として使われ、それは、光像が実際に走行路上にあるか又は走行路を越えて延在するかは、勿論、場所による実情に左右されるためである。原則的に光像は、ここで使われる意味において、自動車照明技術に関する関連規格に応じた垂直面上への投射に対応するものとする。

上記の要求に応じるために、とりわけ、複数のマイクロミラーから可変に駆動制御可能なリフレクタ面を構成し、光源が発生させる放出光を照射ユニットの放射方向へ反射する照射ユニットが開発された。この種の照射装置は、車両構造において、その極めてフレキシブルな配光に関して有利であり、それは、各ピクセルのために照度を固有に調整することが可能であり、例えば、ロービーム配光、コーナリングライト配光、市街地ライト配光、高速道路配光、カーブライト配光、ハイビーム配光、又は眩惑のないハイビームの結像のような任意の配光を実現することが可能なためである。

マイクロミラー装置のためには、所謂デジタル・ライト・プロセッシング（ＤＬＰ（登録商標））投射技術が使用され、このＤＬＰ投射技術では、デジタル画像が光線に対して変調されることにより画像が発生される。この際、光線は、可動の複数のマイクロミラーの矩形状の配設構成によりピクセルに分解され、引き続き、ピクセルごとに投射経路内へ向かうように又は投射経路から外れるように反射される。この技術の基礎は、複数のミラーの行列（マトリクス）の形式の矩形状の配設構成を含み且つ「デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）」と称される構成部材を構成する。

ＤＭＤマイクロシステムとは、面光変調器（空間光変調器：ＳＬＭ（Spatial Light Modulator））であり、面光変調器は、行列状に配設された複数のマイクロミラーアクチュエータから構成され、即ちほぼ１６μｍのエッジ長を有する傾動可能な複数のミラー面から構成される。その運動は、静電界の力作用により引き起こされる。各マイクロミラーは、角度（傾動角度）について個々に位置調節可能であり、通常は、１秒の間に５０００回に至るまで切替可能な２つの安定した終端状態を有する。ミラーの数は、投射される画像の分解能に対応し、この際、１つのミラーは、１つ又は複数のピクセルを表すことができる。近年では、メガピクセル範囲の高分解能を有するＤＭＤチップが入手可能である。位置調節可能な個別ミラーの基礎を成す技術は、マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム（ＭＥＭＳ）技術（微小電気機械システム技術）である。

ＤＭＤ技術が２つの安定したミラー状態を有し、所定の変調によりこれらの両方の安定した状態の間で反射が調節可能であるのに対し、「アナログ・マイクロミラー・デバイス（ＡＭＤ）」技術は、個別ミラーが可変のミラーポジションに調節可能であるという特性を有する。

記載なし

ＤＬＰ（登録商標）技術を有する車両前照灯ないし照射ユニットのコンセプトにおける本質的な一観点は、マイクロミラー構成部材の必要不可欠な冷却である。光による構成部材の照射時には、光のほぼ９０％は、規定どおり反射されるが、光のほぼ１０％は、反射損失として構成部材により吸収されて熱に変換される。この際、効率は、とりわけ、個々のマイクロミラーが、可動であり得るために互いに所定の間隔を有することにより決められている。個々のマイクロミラーの間の面は、光に照射され、それにより熱が吸収される。この熱は、例えば冷却システムにより適切に排出されなくてはならない。

それに加え、照射ユニットの放射方向へ反射されない光は、適切に吸収されなくてはならない。

本発明の課題は、特に低コストでコンパクトで効率的である、マイクロミラー構成部材と冷却システムを備えた照射ユニットを創作することにある。

前記課題は、冒頭に記載した形式の照射ユニットにおいて、ライトモジュールは、少なくとも１つの光源と、第１冷却体を含み、ミラーモジュールは、ミラーユニットと、第２冷却体を含み、冷却システムが設けられており、該冷却システムは、少なくとも１つの入口部と、少なくとも１つの出口部と、少なくとも１つの管路（冷却媒体路）と、少なくとも１つのフローユニット（ないし流れ生成ユニット、Stroemungseinheit）と、所定の冷却媒体と、第１ヒートシンク（第１クーリングシンク）と、第２ヒートシンク（第２クーリングシンク）を含み、この際、入口部と出口部は、管路により接続されており、フローユニットは、管路内で冷却媒体の流れを発生させるために、管路に取り付けられており、この際、冷却媒体は、入口部を通して吸引され、出口部を通して再び放出され、また第１ヒートシンクは、ライトモジュールの第１冷却体により構成されており、第２ヒートシンクは、ミラーモジュールの第２冷却体により構成されており、この際、第１ヒートシンクは、第２ヒートシンクの下流側に配設されていることにより照射ユニットが特徴付けられていることで解決される。

以下、発明を実施するための形態について説明する。

本発明は、ミラーユニットも光源自体も冷却され、これらの２つの空間的に離されたヒートシンクを共通して冷却するというコンセプトにより本発明の利点が達成されるということを利用している。

ヒートシンクの順番（冷却の順番）を適切に選択することが特に効率的であると分かった。半導体光源ですら、従来の光源に比べると、現在ではほぼ３０％という高い効率を有するが、投入電力の相当部分は熱に変換される。マイクロミラー構成部材は、前記したように、入射された光エネルギーのほぼ１０％を熱エネルギーに変換する。従って両方のヒートシンクを含んだ一系統式の冷却システムの場合、ミラーモジュールの温度をライトモジュールの排熱温度へ不必要に高めることのないように、先ずミラーモジュールを冷却し、引き続きライトモジュールを冷却することは、特に有利である。それに加え、ミラーモジュールの排熱温度は、ライトモジュールに害を与えることは全くない。

先に数値的に例として挙げた効率によると、ライトモジュールの出力損失は、光源出力の７０％となり、ミラーモジュールの出力損失は、３０％（発生された光出力）と１０％（ミラー損失）を掛け合わせることから決定され、光源出力の３％となる。

ミラーモジュールは、統合電子装置によりライトモジュールよりも遥かに敏感に高い稼働温度に反応するので、選択された順番（冷却の順番）は、特に適しており、それによりとりわけ電子装置のより長い寿命に有利な影響を及ぼす。

フローユニットが第１冷却体と第２冷却体の間で管路へ取り付けられていると、照射ユニットのコンパクトな構造に関して有利である。

それに加え、第１冷却体が出口部の上流側で管路へ取り付けられているか、又は第１冷却体が、放出される冷却媒体により冷却されるように、出口部に後置して（出口部の下流側に続いて）配設されていると、有利である。

また、第２冷却体が入口部の下流側で管路へ取り付けられているか、又は第２冷却体が、吸引される冷却媒体により冷却されるように、入口部の手前に（入口部の上流側に）配設されていると、同様に有利である。

必要とされる冷却能力に応じ、冷却システムの管路が、ライトモジュールの第１冷却体を通って延在するか、又は第１冷却体上に載置されていると、有利であり得る。同様に、冷却システムの管路が、ミラーモジュールの第２冷却体を通って延在するか、又は第２冷却体上に載置されていると、同様に有利であり得る。

ライトモジュールの第１冷却体がミラーモジュールの第２冷却体とは構造的に別個（別体としての構成）であると、本発明による装置の使用は、特に有利である。共通の冷却体は、ミラーモジュールの稼働温度にとって不利であろう。

冷却媒体としては、空気、例えば周囲空気、或いは液体（冷却液又はオイル）を選択することが可能であり、それに対応してフローユニット（流れ生成ユニット）としては、ファン又はポンプを選択することが可能である。多くの場合、冷却媒体のためには、入口部と出口部が互いに接続され、更なるヒートシンク（クーリングシンク）が循環路へ取り付けられることにより所定の循環路が作られる。前記選択は、とりわけ、使用される光源、必要とされる光出力、並びにコストパラメータに依存し、必要とされる冷却能力に応じて行われる。この際、管路は、空気案内部として又は液体案内部として構成可能である。

冷却システムの一系統式の構造により、コストの利点と共にシステムコンポーネントの数の減少が達成され、コンパクトな構造形式が可能とされる。

ライトモジュールに半導体光源を使用することは、特に有利であり、それによりそこでは排熱の発生を減少させ、従って冷却システムをコンパクトに低コストで構成することが可能である。そのための例は、パワーＬＥＤや半導体レーザである。

ミラーユニットにデジタル式又はアナログ式のマイクロミラーアレイ（ＤＭＤ又はＡＭＤ）を使用することは、有利であり、それにより有利な反射効率が得られ、従ってそこでも排熱の発生を減少させ、冷却システムをコンパクトに低コストで構成することが可能である。

以下、添付の図面に具体的に図示された、限定ではない実施例に基づき、本発明並びにその利点を詳細に説明する。

本発明による一照射ユニットを前方から見た斜視図である。断面Ａ-Ａの位置と共に前記照射ユニットを上方から見た図である。断面Ａ-Ａにおける前記照射ユニットを示す図である。前記照射ユニットを側方から見た斜視図である。ミラーモジュールの一冷却体の前に第２基板を有する前記照射ユニットを後方から見た斜視図である。ミラーモジュールの前記冷却体の前に第２基板を伴わない前記照射ユニットを後方から見た斜視図である。冷却システムを前方から見た斜視図である。

先ず図１に関連し、本発明の一実施例を詳細に説明する。特に本発明による照射ユニット（照明ユニット）にとって重要な部分が図示されており、この際、照射ユニットは、特に乗用車やオートバイも含め自動車における前照灯において有意義な使用を可能とする更に多数の他の部分も含んでいることは明らかである。

図１〜図６には、自動車用の照射ユニット１が概観として様々な目視点から図示されている。ライトモジュール２により発生された放出光（ライトエミッション）は、ミラーモジュール３において照射ユニット１の放射方向へ反射される。ライトモジュール２は、好ましくは半導体光源であり例えばパワーＬＥＤである光源４と、第１冷却体５を有する。第１冷却体５と光源４は、例えばこれらの両方のコンポーネントの直接的で機械的な接触により、伝熱的（熱伝導的）に互いに結合されている。

ミラーモジュール３は、ミラーユニット６と第２冷却体７を有する。ミラーユニット６は、好ましくは、デジタル式又はアナログ式のマイクロミラーアレイ（ＡＭＤ、アナログ・マイクロミラー・デバイス、又はＤＭＤ、デジタル・マイクロミラー・デバイス）を含んでいる。第２冷却体７とミラーユニット６は、例えばこれらの両方のコンポーネントの直接的で機械的な接触により、伝熱的に互いに結合されている。

放出光により発生された熱を伝導するために、照射ユニット１には、冷却システム８が配設されており、冷却システム８は、入口部９と、出口部１０と、管路（冷却媒体路）１１と、フローユニット１２と、ここでは周囲空気である冷却媒体と、第１ヒートシンク（第１クーリングシンク）と、第２ヒートシンク（第２クーリングシンク）を含んでいる。

入口部９と出口部１０は、管路１１により互いに接続されており、この実施例ではファンであるフローユニット１２は、管路１１内で冷却媒体の流れを発生させるために、管路１１に取り付けられている。

この際、冷却媒体は、入口部９を通して吸引され、出口部１０を通して再び放出され、第１ヒートシンクは、ライトモジュール２の第１冷却体５により構成され、第２ヒートシンクは、ミラーモジュール３の第２冷却体７により構成されており、この際、第１ヒートシンクは、第２ヒートシンクの下流側に配設されている。

フローユニット１２は、第１冷却体５と第２冷却体７の間で管路１１に取り付けられており、第１冷却体５は、第１冷却体５が、放出される冷却媒体により冷却されるように、出口部１０に後置して（出口部１０の下流側に続いて）配設されている。第２冷却体７は、第２冷却体７が、吸引される冷却媒体により冷却されるように、入口部９の手前に（入口部９の上流側に）配設されている。

ライトモジュール２の第１冷却体５は、ここでは、ミラーモジュール３の第２冷却体７とは構造的に別個（別体）とされている。

図７は、照射ユニット１の冷却システム８の関連部分の詳細図を示している。より判り易くするために、保持装置と結像光学系は図示されていない。図示されているのは、光源４と、第１冷却体５と、ミラーユニット６と、入口部９と、出口部１０と、フローユニット１２としてのファンである。

１照射ユニット
２ライトモジュール
３ミラーモジュール
４光源
５ライトモジュールの第１冷却体
６ミラーユニット
７ミラーモジュールの第２冷却体
８冷却システム
９入口部
１０出口部
１１管路
１２フローユニット（流れ生成ユニット）

WO 2015/122303 A1 DE 10 2014 110605 A1 US 2012/127747 A1 DE 10 2007 043961 A1 JP 2000 352762 A

前記課題は、冒頭に記載した形式の照射ユニットにおいて、ライトモジュールは、少なくとも１つの光源と、第１冷却体を含み、ミラーモジュールは、ミラーユニットと、第２冷却体を含み、冷却システムが設けられており、該冷却システムは、少なくとも１つの入口部と、少なくとも１つの出口部と、少なくとも１つの管路（冷却媒体路）と、少なくとも１つのフローユニット（ないし流れ生成ユニット、Stroemungseinheit）と、所定の冷却媒体と、第１ヒートシンク（第１クーリングシンク）と、第２ヒートシンク（第２クーリングシンク）を含み、この際、入口部と出口部は、管路により接続されており、フローユニットは、管路内で冷却媒体の流れを発生させるために、管路へ取り付けられており、この際、冷却媒体は、入口部を通して吸引され、出口部を通して再び放出され、また第１ヒートシンクは、ライトモジュールの第１冷却体により構成されており、第２ヒートシンクは、ミラーモジュールの第２冷却体により構成されており、この際、第１ヒートシンクは、第２ヒートシンクの下流側に配設されていることにより照射ユニットが特徴付けられていることで解決される。
即ち本発明の一視点により、自動車用の照射ユニットであって、前記照射ユニットは、ライトモジュールとミラーモジュールを含み、前記ミラーモジュールは、前記ライトモジュールにより発生された放出光を前記照射ユニットの放射方向へ反射するように構成されており、前記ライトモジュールは、少なくとも１つの光源と、第１冷却体を含み、前記ミラーモジュールは、ミラーユニットと、第２冷却体を含み、冷却システムが設けられており、前記冷却システムは、少なくとも１つの入口部と、少なくとも１つの出口部と、少なくとも１つの管路と、少なくとも１つのフローユニットと、所定の冷却媒体と、第１ヒートシンクと、第２ヒートシンクを含み、前記入口部と前記出口部は、前記管路により接続されており、前記フローユニットは、前記管路内で前記冷却媒体の流れを発生させるために、前記管路へ取り付けられており、前記冷却媒体は、前記入口部を通して吸引され、前記出口部を通して放出され、また前記第１ヒートシンクは、前記ライトモジュールの前記第１冷却体により構成されており、前記第２ヒートシンクは、前記ミラーモジュールの前記第２冷却体により構成されており、前記第１ヒートシンクは、前記第２ヒートシンクの下流側に配設されていることを特徴とする照射ユニットが提供される。
尚、本願の特許請求の範囲に付記されている図面参照符号は、専ら本発明の理解の容易化のためのものであり、図示の形態への限定を意図するものではないことを付言する。

本発明において、以下の形態が可能である。
（形態１）自動車用の照射ユニットであって、前記照射ユニットは、ライトモジュールとミラーモジュールを含み、前記ミラーモジュールは、前記ライトモジュールにより発生された放出光を前記照射ユニットの放射方向へ反射するように構成されており、前記ライトモジュールは、少なくとも１つの光源と、第１冷却体を含み、前記ミラーモジュールは、ミラーユニットと、第２冷却体を含み、冷却システムが設けられており、前記冷却システムは、少なくとも１つの入口部と、少なくとも１つの出口部と、少なくとも１つの管路と、少なくとも１つのフローユニットと、所定の冷却媒体と、第１ヒートシンクと、第２ヒートシンクを含み、前記入口部と前記出口部は、前記管路により接続されており、前記フローユニットは、前記管路内で前記冷却媒体の流れを発生させるために、前記管路へ取り付けられており、前記冷却媒体は、前記入口部を通して吸引され、前記出口部を通して再び放出され、また前記第１ヒートシンクは、前記ライトモジュールの前記第１冷却体により構成されており、前記第２ヒートシンクは、前記ミラーモジュールの前記第２冷却体により構成されており、前記第１ヒートシンクは、前記第２ヒートシンクの下流側に配設されていること。
（形態２）前記フローユニットは、前記第１冷却体と前記第２冷却体の間で前記管路に取り付けられていることが好ましい。
（形態３）前記第１冷却体は、前記出口部の上流側で前記管路に取り付けられていることが好ましい。
（形態４）前記第１冷却体は、前記第１冷却体が、放出される前記冷却媒体により冷却されるように、前記出口部に後置して配設されていることが好ましい。
（形態５）前記第２冷却体は、前記入口部の下流側で前記管路に取り付けられていることが好ましい。
（形態６）前記第２冷却体は、前記第２冷却体が、吸引される前記冷却媒体により冷却されるように、前記入口部の手前に配設されていることが好ましい。
（形態７）前記冷却システムの前記管路は、前記ライトモジュールの前記第１冷却体を通って延在するか、又は前記第１冷却体上に載置されていることが好ましい。
（形態８）前記冷却システムの前記管路は、前記ミラーモジュールの前記第２冷却体を通って延在するか、又は前記第２冷却体上に載置されていることが好ましい。
（形態９）前記ライトモジュールの前記第１冷却体は、前記ミラーモジュールの前記第２冷却体とは構造的に別個であることが好ましい。
（形態１０）前記冷却媒体は、空気、好ましくは周囲空気であり、前記フローユニットは、ファンであることが好ましい。
（形態１１）前記冷却媒体は、液体、好ましくは冷却液又はオイルであり、前記フローユニットは、ポンプであることが好ましい。
（形態１２）前記ライトモジュールは、少なくとも１つの半導体光源を含み、好ましくは少なくとも１つのパワーＬＥＤ又は少なくとも１つの半導体レーザを含むことが好ましい。
（形態１３）前記ミラーユニットは、デジタル式又はアナログ式のマイクロミラーアレイを含むことが好ましい。

Claims

自動車用の照射ユニットであって、
前記照射ユニット（１）は、ライトモジュール（２）とミラーモジュール（３）を含み、前記ミラーモジュール（３）は、前記ライトモジュール（２）により発生された放出光を前記照射ユニット（１）の放射方向へ反射するように構成されており、
− 前記ライトモジュール（２）は、少なくとも１つの光源（４）と、第１冷却体（５）を含み、
− 前記ミラーモジュール（３）は、ミラーユニット（６）と、第２冷却体（７）を含み、
− 冷却システム（８）が設けられており、前記冷却システム（８）は、少なくとも１つの入口部（９）と、少なくとも１つの出口部（１０）と、少なくとも１つの管路（１１）と、少なくとも１つのフローユニット（１２）と、所定の冷却媒体と、第１ヒートシンクと、第２ヒートシンクを含み、前記入口部（９）と前記出口部（１０）は、前記管路（１１）により接続されており、前記フローユニット（１２）は、前記管路（１１）内で前記冷却媒体の流れを発生させるために、前記管路（１１）へ取り付けられており、前記冷却媒体は、前記入口部（９）を通して吸引され、前記出口部（１０）を通して再び放出され、また前記第１ヒートシンクは、前記ライトモジュール（２）の前記第１冷却体（５）により構成されており、前記第２ヒートシンクは、前記ミラーモジュール（３）の前記第２冷却体（７）により構成されており、前記第１ヒートシンクは、前記第２ヒートシンクの下流側に配設されていること
を特徴とする照射ユニット。
前記フローユニット（１２）は、前記第１冷却体（５）と前記第２冷却体（７）の間で前記管路（１１）に取り付けられていること
を特徴とする、請求項１に記載の照射ユニット。
前記第１冷却体（５）は、前記出口部（１０）の上流側で前記管路（１１）に取り付けられていること
を特徴とする、請求項１又は２に記載の照射ユニット。
前記第１冷却体（５）は、前記第１冷却体（５）が、放出される前記冷却媒体により冷却されるように、前記出口部（１０）に後置して配設されていること
を特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の照射ユニット。
前記第２冷却体（７）は、前記入口部（９）の下流側で前記管路（１１）に取り付けられていること
を特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の照射ユニット。
前記第２冷却体（７）は、前記第２冷却体（７）が、吸引される前記冷却媒体により冷却されるように、前記入口部（９）の手前に配設されていること
を特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の照射ユニット。
前記冷却システム（８）の前記管路（１１）は、前記ライトモジュール（２）の前記第１冷却体（５）を通って延在するか、又は前記第１冷却体（５）上に載置されていること
を特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の照射ユニット。
前記冷却システム（８）の前記管路（１１）は、前記ミラーモジュール（３）の前記第２冷却体（７）を通って延在するか、又は前記第２冷却体（７）上に載置されていること
を特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の照射ユニット。
前記ライトモジュール（２）の前記第１冷却体（５）は、前記ミラーモジュール（３）の前記第２冷却体（７）とは構造的に別個であること
を特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の照射ユニット。
前記冷却媒体は、空気、好ましくは周囲空気であり、前記フローユニット（１２）は、ファンであること
を特徴とする、請求項１〜９のいずれか一項に記載の照射ユニット。
前記冷却媒体は、液体、好ましくは冷却液又はオイルであり、前記フローユニット（１２）は、ポンプであること
を特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の照射ユニット。
前記ライトモジュール（２）は、少なくとも１つの半導体光源を含み、好ましくは少なくとも１つのパワーＬＥＤ又は少なくとも１つの半導体レーザを含むこと
を特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の照射ユニット。
前記ミラーユニット（６）は、デジタル式又はアナログ式のマイクロミラーアレイを含むこと
を特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の照射ユニット。