JP2019212695A - キャップの製造方法と、発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1主面を有する透光性部材と、前記第1主面に設けられた枠状の複数の金属膜と、少なくとも前記第1主面の前記金属膜に囲まれた領域にそれぞれ設けられた複数の反射防止膜と、を有する透光性部材複合体を準備する準備工程と、
隣接する前記金属膜間の前記反射防止膜が設けられていない領域を分割予定位置とし、前記第1主面をレーザ光照射面としてレーザスクライブを行うことにより、前記透光性部材複合体を個片化してキャップを得る個片化工程と、
を備える発光装置用のキャップの製造方法。
前記キャップの金属膜と前記パッケージの金属膜とを、金属材料を含有する接合材を介して接合する接合工程と、
を備える発光装置の製造方法。
凹部が設けられた本体と、前記凹部の周りの前記本体の表面に設けられた第2金属膜と、を有するパッケージと、
前記第1金属膜と前記第2金属膜とを接合する、金属材料を含有する接合材と、
前記キャップと前記パッケージに囲まれた空間内に配置された発光素子と、
を備える発光装置。
第1準備工程S101では、図2A及び図2Bに示すように、透光性部材複合体10を準備する。図2Aは透光性部材複合体10の模式的平面図であり、図2Bは図2A中のIIB−IIB線における模式的断面図である。透光性部材複合体10は、第1主面11a及び第2主面11bを有する透光性部材11と、第1主面11aに設けられた複数の第1金属膜12と、複数の反射防止膜13と、を有する。図2Aにおいて、第1金属膜12は枠状である。反射防止膜13は、少なくとも第1主面11aの第1金属膜12に囲まれた領域にそれぞれ設けられている。
図3に示すように、隣接する第1金属膜12間の反射防止膜13が設けられていない領域を分割予定位置D1、D2とする。個片化工程S102では、図4及び図5に示すように、分割予定位置D1にレーザスクライブを行う。分割予定位置D2についても同様にレーザスクライブを行う。これにより透光性部材複合体10を個片化し、図6に示すキャップ20を得る。図3は個片化工程S102を説明するための模式的平面図であり、図4及び図5は個片化工程S102を説明するための模式的断面図であり、図6はキャップ20の模式的断面図である。
第2準備工程S201においては、以上の工程により得られたキャップ20の他に、図7に示すように、パッケージ30と、発光素子40とを準備する。図7はパッケージ30及び発光素子40の模式的断面図である。パッケージ30は、凹部が設けられた本体31と、凹部の周りの本体31の表面に設けられた第2金属膜32と、を含む。発光素子40は、パッケージ30の凹部内に配置されている。
接合工程S202においては、キャップ20の第1金属膜12とパッケージ30の第2金属膜32とを、接合材70を介して接合する。これにより、図8に示すように、発光装置80を得ることができる。図8は発光装置の模式的断面図である。発光装置80は、キャップ20と、パッケージ30と、キャップ20とパッケージ30に囲まれた空間内に配置された発光素子40と、を有する。キャップ20の第1金属膜12とパッケージ30の第2金属膜32とは接合材70によって接合されている。
11 透光性部材
11a 第1主面、11b 第2主面
12 第1金属膜
13、14 反射防止膜
20 キャップ
30 パッケージ
31 本体
32 第2金属膜
40 発光素子
50 サブマウント
60 反射部材
70 接合材
80 発光装置
D1、D2 分割予定位置
L1 検出用レーザ光
L2 加工用レーザ光
Claims (7)
- 第1主面を有する透光性部材と、前記第1主面に設けられた枠状の複数の金属膜と、少なくとも前記第1主面の前記金属膜に囲まれた領域にそれぞれ設けられた複数の反射防止膜と、を有する透光性部材複合体を準備する準備工程と、
隣接する前記金属膜間の前記反射防止膜が設けられていない領域を分割予定位置とし、前記第1主面をレーザ光照射面としてレーザスクライブを行うことにより、前記透光性部材複合体を個片化してキャップを得る個片化工程と、
を備える発光装置用のキャップの製造方法。 - 前記準備工程において、前記反射防止膜は、隣接する前記金属膜間に前記反射防止膜が設けられていない領域が位置するように、フォトリソグラフィ法によって形成される、請求項1に記載の発光装置用のキャップの製造方法。
- 前記準備工程において、前記金属膜は前記透光性部材に直接接触している、請求項1又は2に記載の発光装置用のキャップの製造方法。
- 前記準備工程において、複数の前記反射防止膜はそれぞれ、前記第1主面の前記金属膜に囲まれた領域のみに設けられており、且つ、前記金属膜から離間している、請求項3に記載の発光装置用のキャップの製造方法。
- 前記準備工程において、前記透光性部材はサファイアである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の発光装置用のキャップの製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法により製造したキャップと、凹部が設けられた本体及び前記凹部の周りの前記本体の表面に設けられた金属膜とを含むパッケージと、前記パッケージの凹部内に配置された発光素子と、を準備する第2準備工程と、
前記キャップの金属膜と前記パッケージの金属膜とを、金属材料を含有する接合材を介して接合する接合工程と、
を備える発光装置の製造方法。 - 第1主面を有する透光性部材と、前記第1主面に設けられた枠状の第1金属膜と、前記第1主面の前記第1金属膜に囲まれた領域のみに前記第1金属膜から離間して設けられた反射防止膜と、を有するキャップと、
凹部が設けられた本体と、前記凹部の周りの前記本体の表面に設けられた第2金属膜と、を有するパッケージと、
前記第1金属膜と前記第2金属膜とを接合する、金属材料を含有する接合材と、
前記キャップと前記パッケージに囲まれた空間内に配置された発光素子と、
を備える発光装置。
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