JP2019204832A - 部品実装システム、基板接合システム、部品実装方法および基板接合方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板の実装面と部品の接合面との少なくとも一方に親水化処理を施した後、前記接合面を前記実装面に接触させることにより前記基板に前記部品を実装する部品実装システムであって、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記部品を保持するヘッドと、
前記ヘッドに設けられ前記部品を冷却することにより前記部品の前記接合面の湿度を調節する部品湿度調節部と、
前記部品湿度調節部により前記部品の前記接合面の湿度を予め設定された基準湿度範囲内の湿度に維持された状態で、前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の前記実装面に前記部品の接合面を接触させて前記実装面に前記部品を実装するヘッド駆動部と、を備える。
第1基板の第1接合面と第2基板の第2接合面とに親水化処理を施した後、前記第1接合面と前記第2接合面とを接触させることにより前記第1基板と前記第2基板とを接合する基板接合システムであって、
前記第1基板を保持する第1基板保持部と、
前記第2基板を保持する第2基板保持部と、
前記第1基板保持部に設けられ前記第1基板を冷却することにより前記第1接合面の湿度を調節する第1基板湿度調節部と、
前記第2基板保持部に設けられ前記第2基板を冷却することにより前記第2接合面の湿度を調節する第2基板湿度調節部と、
前記第1基板湿度調節部により前記第1接合面の湿度を予め設定された基準湿度範囲内の湿度に維持され且つ前記第2基板湿度調節部により前記第2接合面の湿度を前記基準湿度範囲内の湿度に維持された状態で、前記第1基板保持部を前記第2基板保持部に近づけて前記第1基板の前記第1接合面に前記第2基板の前記第2接合面を接触させて前記第1基板と前記第2基板とを接合する基板保持部駆動部と、を備える。
基板の実装面と部品の接合面との少なくとも一方に親水化処理を施した後、前記接合面を前記実装面に接触させることにより前記基板に前記部品を実装する部品実装方法であって、
基板保持部が、前記基板を保持するステップと、
ヘッドが、前記部品を保持するステップと、
部品湿度調節部が、前記ヘッドに設けられ前記部品を冷却することにより前記部品の前記接合面の湿度を調節するステップと、
ヘッド駆動部が、前記部品の前記接合面の湿度を予め設定された基準湿度範囲内の湿度に維持された状態で、前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の前記実装面に前記部品の接合面を接触させて前記実装面に前記部品を実装するステップと、を含む。
第1基板の第1接合面と第2基板の第2接合面との少なくとも一方に親水化処理を施した後、前記第1接合面と前記第2接合面とを接触させることにより前記第1基板と前記第2基板とを接合する基板接合方法であって、
第1基板保持部が、前記第1基板を保持するステップと、
第2基板保持部が、前記第2基板を保持するステップと、
第1基板湿度調節部が、前記第1基板保持部に設けられ前記第1基板を冷却することにより前記第1接合面の湿度を調節するステップと、
第2基板湿度調節部が、前記第2基板保持部に設けられ前記第2基板を冷却することにより前記第2接合面の湿度を調節するステップと、
基板保持部駆動部が、前記第1基板湿度調節部により前記第1接合面の湿度を予め設定された基準湿度範囲内の湿度に維持され且つ前記第2基板湿度調節部により前記第2接合面の湿度を前記基準湿度範囲内の湿度に維持された状態で、前記第1基板保持部を前記第2基板保持部に近づけて前記第1基板の前記第1接合面に前記第2基板の前記第2接合面を接触させるステップと、を含む。
以下、本発明の実施の形態に係る部品実装システムであるチップ実装システムについて、図面を参照しながら説明する。
ここで、HM1は、接合面CPfの湿度であり、TM0は、チップCPの周囲の温度であり、TM1は、チップCPの接合面CPfの温度であり、HM0は、チップCPの周囲の湿度である。
本実施の形態に係る基板接合システム2001は、大気圧下において2つの基板同士を接合するシステムである。ここで、基板としては、Si基板、ガラス基板、酸化膜が形成された基板、窒化膜が形成された基板、炭化物基板、セラミック基板等が挙げられる。この基板接合システムは、2つの基板それぞれの接合面をプラズマに曝すことにより2つの基板それぞれの接合面に親水化処理を施した後、2つの基板それぞれの接合面同士を接触させて2つの基板同士を接合する。その後、互いに接合された2つの基板に対して熱処理を行う。
Claims (20)
- 基板の実装面と部品の接合面との少なくとも一方に親水化処理を施した後、前記接合面を前記実装面に接触させることにより前記基板に前記部品を実装する部品実装システムであって、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記部品を保持するヘッドと、
前記ヘッドに設けられ前記部品を冷却することにより前記部品の前記接合面の湿度を調節する部品湿度調節部と、
前記部品湿度調節部により前記部品の前記接合面の湿度を予め設定された基準湿度範囲内の湿度に維持された状態で、前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の前記実装面に前記部品の接合面を接触させて前記実装面に前記部品を実装するヘッド駆動部と、を備える、
部品実装システム。 - 前記基板の前記実装面に水を供給する水供給部と、
前記水供給部により水が供給された前記実装面を乾燥させる乾燥部と、を更に備え、
前記基板保持部は、前記乾燥部による乾燥後の前記基板を保持する、
請求項1に記載の部品実装システム。 - 前記基板保持部に設けられ前記基板を冷却することにより前記基板の前記実装面の湿度を調節する基板湿度調節部を更に備える、
請求項1に記載の部品実装システム。 - 前記部品湿度調節部により冷却された前記部品の温度と前記基板湿度調節部により冷却された前記基板の温度とが、等しい、
請求項3に記載の部品実装システム。 - 前記部品の前記接合面および前記基板の前記実装面の少なくとも一方にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置を更に備える、
請求項1から4のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記部品、前記基板、前記ヘッドまたは前記基板保持部の温度を計測する温度計測部と、
前記部品および前記基板の周囲の湿度を計測する湿度計測部と、を更に備える、
請求項1から5のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記基準湿度範囲は、50%以上100%未満である、
請求項1から6のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記基板保持部は、前記基板における前記部品が実装される実装面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持し、
前記ヘッドは、鉛直下方から前記部品の前記接合面が鉛直上方を向く姿勢で前記部品を保持し、
前記ヘッド駆動部は、前記部品を保持する前記ヘッドを鉛直上方へ移動させることにより前記ヘッドを前記基板保持部に近づける、
請求項1から7のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記ヘッドは、前記部品の中央部を押圧することにより、前記部品の前記接合面の中央部が前記接合面の周部に比べて前記実装面側に突出するように前記部品を撓ませる押圧機構を更に備える、
請求項1から8のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 第1基板の第1接合面と第2基板の第2接合面とに親水化処理を施した後、前記第1接合面と前記第2接合面とを接触させることにより前記第1基板と前記第2基板とを接合する基板接合システムであって、
前記第1基板を保持する第1基板保持部と、
前記第2基板を保持する第2基板保持部と、
前記第1基板保持部に設けられ前記第1基板を冷却することにより前記第1接合面の湿度を調節する第1基板湿度調節部と、
前記第2基板保持部に設けられ前記第2基板を冷却することにより前記第2接合面の湿度を調節する第2基板湿度調節部と、
前記第1基板湿度調節部により前記第1接合面の湿度を予め設定された基準湿度範囲内の湿度に維持され且つ前記第2基板湿度調節部により前記第2接合面の湿度を前記基準湿度範囲内の湿度に維持された状態で、前記第1基板保持部を前記第2基板保持部に近づけて前記第1基板の前記第1接合面に前記第2基板の前記第2接合面を接触させて前記第1基板と前記第2基板とを接合する基板保持部駆動部と、を備える、
基板接合システム。 - 前記第1基板湿度調節部により冷却された前記第1基板の温度と前記第2基板湿度調節部により冷却された前記第2基板の温度とが、等しい、
請求項10に記載の基板接合システム。 - 前記第1基板の前記第1接合面と前記第2基板の前記第2接合面との少なくとも一方にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置を更に備える、
請求項10に記載の基板接合システム。 - 前記第1基板、前記第2基板、前記第1基板保持部または前記第2基板保持部の温度を計測する温度計測部と、
前記第1基板および前記第2基板の周囲の湿度を計測する湿度計測部と、を更に備える、
請求項10から12のいずれか1項に記載の基板接合システム。 - 前記第1基板湿度調節部は、
前記第1基板保持部の周部における第1部位において冷媒が導入される導入口に連通し前記第1部位から前記第1基板保持部の周部における前記第1基板保持部の中央部を挟んで対向する第2部位まで延在する往路と、前記第2部位において前記往路に連続し前記第2部位から前記第1部位まで延在し前記第1部位において前記冷媒が排出される排出口に連通する復路と、を有し、前記往路における前記導入口からの前記往路の延伸方向に沿った距離と前記復路における前記排出口からの前記復路の延伸方向に沿った距離とが等しい前記冷媒が流れる流路を有する、
請求項10から13のいずれか1項に記載の基板接合システム。 - 前記基準湿度範囲は、50%以上100%未満である、
請求項10から14のいずれか1項に記載の基板接合システム。 - 前記第1基板保持部は、前記第1基板の中央部を押圧することにより、前記第1基板の前記接合面の中央部が前記接合面の周部に比べて前記第2基板側に突出するように前記第1基板を撓ませる押圧機構を更に備える、
請求項10から15のいずれか1項に記載の基板接合システム。 - 基板の実装面と部品の接合面との少なくとも一方に親水化処理を施した後、前記接合面を前記実装面に接触させることにより前記基板に前記部品を実装する部品実装方法であって、
基板保持部が、前記基板を保持するステップと、
ヘッドが、前記部品を保持するステップと、
部品湿度調節部が、前記ヘッドに設けられ前記部品を冷却することにより前記部品の前記接合面の湿度を調節するステップと、
ヘッド駆動部が、前記部品の前記接合面の湿度を予め設定された基準湿度範囲内の湿度に維持された状態で、前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の前記実装面に前記部品の接合面を接触させて前記実装面に前記部品を実装するステップと、を含む、
部品実装方法。 - 前記部品が実装された前記基板を加熱する、
請求項17に記載の部品実装方法。 - 第1基板の第1接合面と第2基板の第2接合面との少なくとも一方に親水化処理を施した後、前記第1接合面と前記第2接合面とを接触させることにより前記第1基板と前記第2基板とを接合する基板接合方法であって、
第1基板保持部が、前記第1基板を保持するステップと、
第2基板保持部が、前記第2基板を保持するステップと、
第1基板湿度調節部が、前記第1基板保持部に設けられ前記第1基板を冷却することにより前記第1接合面の湿度を調節するステップと、
第2基板湿度調節部が、前記第2基板保持部に設けられ前記第2基板を冷却することにより前記第2接合面の湿度を調節するステップと、
基板保持部駆動部が、前記第1基板湿度調節部により前記第1接合面の湿度を予め設定された基準湿度範囲内の湿度に維持され且つ前記第2基板湿度調節部により前記第2接合面の湿度を前記基準湿度範囲内の湿度に維持された状態で、前記第1基板保持部を前記第2基板保持部に近づけて前記第1基板の前記第1接合面に前記第2基板の前記第2接合面を接触させるステップと、を含む、
基板接合方法。 - 互いに接合された前記第1基板と前記第2基板とを加熱する、
請求項19に記載の基板接合方法。
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