JP2019169442A - 液体試料を観察または分析する方法および電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
電子顕微鏡において、液体試料を観察または分析する方法であって、
前記液体試料を、試料台および蓋部材で形成される空間に収容して、前記液体試料を観察または分析し、
前記蓋部材は、水分保持材と、前記水分保持材を支持する支持部材と、を含み、
前記蓋部材には、前記液体試料に照射される電子線を通過させる貫通孔が設けられている。
液体試料を観察または分析するための電子顕微鏡であって、
試料台と、
水分保持材を支持する支持部材と、
を含み、
前記支持部材が前記水分保持材を支持することで蓋部材が形成され、
前記液体試料は、前記蓋部材および前記試料台で形成された空間に収容され、
前記蓋部材には、前記液体試料に照射される電子線を通過させる貫通孔が設けられている。
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を示す図である。
次に、本実施形態に係る液体試料Sを観察または分析する方法(以下、単に「本実施形態に係る方法」ともいう)について説明する。ここでは、電子顕微鏡100を用いて、液
体試料Sとしての水滴を観察または分析する例について説明する。
本実施形態に係る方法は、例えば、以下の特徴を有する。
材4と、水分保持材4を支持する支持部材30と、を含み、水分保持材4には、液体試料Sに照射される電子線EBを通過させる貫通孔4aが設けられている。
次に、上述した電子顕微鏡100の変形例、および上述した本実施形態に係る方法の変形例について説明する。以下では、上述した電子顕微鏡100および本実施形態に係る方法の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。また、以下では、各変形例に係る電子顕微鏡において、上述した電子顕微鏡100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図7は、第1変形例に係る電子顕微鏡の蓋部材2を模式的に示す断面図である。なお、図7は、図2に対応している。
ることができ、安定して液体試料Sの観察または分析を行うことができる。
図8は、第2変形例に係る電子顕微鏡の蓋部材2を模式的に示す断面図である。なお、図8は、図2に対応している。
図9は、第3変形例に係る電子顕微鏡の蓋部材2を模式的に示す断面図である。なお、図9は、図2に対応している。
図10は、第4変形例に係る電子顕微鏡の蓋部材2を模式的に示す断面図である。なお、図10は、図2に対応している。
上述した電子顕微鏡100では、図2〜図4に示すように、水分保持材4に電子線EBを通過させる貫通孔4aが設けられている場合について説明したが、図示はしないが、電子線EBを通過させる貫通孔は、蓋部材2に設けられていればよい。すなわち、電子線EBを通過させる貫通孔が水分保持材4に設けられずに、支持部材30に設けられていてもよい。このような場合でも、電子顕微鏡100の例と同様に、液体試料Sの乾燥および凍結を防ぎつつ、容易に、液体試料Sの観察または分析を行うことができる。
Claims (13)
- 電子顕微鏡において、液体試料を観察または分析する方法であって、
前記液体試料を、試料台および蓋部材で形成される空間に収容して、前記液体試料を観察または分析し、
前記蓋部材は、水分保持材と、前記水分保持材を支持する支持部材と、を含み、
前記蓋部材には、前記液体試料に照射される電子線を通過させる貫通孔が設けられている、方法。 - 請求項1において、
さらに、前記空間内の水蒸気の量を調整する、方法。 - 請求項2において、
前記空間に水蒸気を供給、または前記空間から水蒸気を取り除いて、前記空間内の水蒸気の量を調整する、方法。 - 請求項2において、
前記水分保持材の温度を調整して、前記空間内の水蒸気の量を調整する、方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記支持部材に設けられた貫通孔を通して、前記液体試料の観察、または前記液体試料からの信号を検出する、方法。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記支持部材に設けられた検出器を用いて、前記液体試料からの信号を検出する、方法。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記水分保持材には、前記液体試料に照射される電子線を通過させる貫通孔が設けられている、方法。 - 請求項1ないし7のいずれか1項において、
前記水分保持材は、紙、布、不織布、スポンジ、または吸水性ポリマーに、水を含ませたものである、方法。 - 液体試料を観察または分析するための電子顕微鏡であって、
試料台と、
水分保持材を支持する支持部材と、
を含み、
前記支持部材が前記水分保持材を支持することで蓋部材が形成され、
前記液体試料は、前記蓋部材および前記試料台で形成された空間に収容され、
前記蓋部材には、前記液体試料に照射される電子線を通過させる貫通孔が設けられている、電子顕微鏡。 - 請求項9において、
前記空間に水蒸気を供給、または前記空間から水蒸気を取り除く水蒸気量制御装置を含む、電子顕微鏡。 - 請求項9または10において、
前記水分保持材を加熱または冷却する温度制御装置を含む、電子顕微鏡。 - 請求項9ないし11のいずれか1項において、
前記支持部材に設けられ、前記液体試料からの信号を検出する検出器を含む、電子顕微鏡。 - 請求項9ないし12のいずれか1項において、
前記水分保持材には、前記液体試料に照射される電子線を通過させる貫通孔が設けられている、電子顕微鏡。
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