JP2019165254A - 現像方法 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、本発明に係る、基板に対して現像処理を行う現像方法は、回転保持部により基板の中心部周りに前記基板を回転させる工程と、回転する前記基板上であって前記中心部から外れた予め設定されたプリウェット液位置に、プリウェットノズルによりプリウェット液の吐出を開始して、プリウェット液の吐出開始直後からプリウェット液の広がりで前記中心部を覆わせる工程と、プリウェット液の吐出を停止した後に、回転する前記基板上に、現像ノズルにより現像液の吐出を開始する工程と、を備えていることを特徴とする。
(1)現像方法は、回転保持部により基板の中心部周りに前記基板を回転させる工程と、ノズルから吐出された現像液の液柱の幅方向の領域が前記基板の中心から外れるように、回転する前記基板上であって前記中心部から外れた予め設定された第1の位置に、現像ノズルにより現像液の吐出を開始する工程と、前記第1の位置に吐出された現像液の広がりで前記中心部を覆わせる工程と、を備えている。
前記(1)に記載の発明によれば、ノズルから吐出された現像液の液柱の幅方向の領域が基板の中心から外れるように、中心部周りに回転する基板上であって、中心部から外れた予め設定された第1の位置に、現像ノズルにより現像液の吐出を開始する。これにより、吐出開始直後から遠心力が小さい中心部に現像液の流れを起こすことができる。そのため、中心部に現像液の吐出を開始した場合に比べ、レジストの溶解生成物を効率よく基板外に排出することができる。また、吐出開始直後から現像ノズルにより直接吐出される現像液の到着位置が分散され、特に基板の中心部でレジストパターンが細くなることが抑えられ、処理ばらつきを抑制できる。
また、第1の位置に吐出された現像液の広がりで中心部を覆わせているので、中心部から外れた位置に直接、現像液が吐出されても、中心部の現像処理を実行できる。
図1を参照する。現像装置1は、基板Wを略水平姿勢で保持して回転保持部2と、現像液を吐出する現像ノズル3と、リンス液を吐出するリンスノズル4とを備えている。なお、リンスノズル4は、本発明のリンスノズルおよびプリウェットノズルに相当する。
次に、現像装置1の動作を説明する。本実施例では、図1のように、中心部C(鉛直軸AX1)周りに回転する基板W上であって、中心部Cから外れた予め設定された位置41に、現像ノズル3により現像液の吐出を開始する。これにより、吐出開始直後から遠心力が小さい中心部Cに現像液の流れを起こすことができる。そのため、中心部Cに現像液の吐出を開始した場合に比べ、レジストの溶解生成物を効率よく基板W外に排出することができる。また、吐出開始直後から現像ノズル3により直接吐出される現像液の到着位置が分散され、特に基板Wの中心部Cでレジストパターンが細くなることが抑えられる。
2 … 回転保持部
3 … 現像ノズル
3a … 吐出口
4 … リンスノズル
4a … 吐出口
11 … 現像ノズル移動部
15 … リンスノズル移動部
31 … 制御部
41〜43 … 位置
C … 中心部
E … 外縁部
LL … 液層
Lpre … プリウェット液
Ldev … 現像液
Lrin … リンス液
W … 基板
Claims (3)
- 基板に対して現像処理を行う現像方法であって、
回転保持部により基板の中心部周りに前記基板を回転させる工程と、
回転する前記基板上であって前記中心部から外れた予め設定されたプリウェット液位置に、プリウェットノズルによりプリウェット液の吐出を開始して、プリウェット液の吐出開始直後からプリウェット液の広がりで前記中心部を覆わせる工程と、
プリウェット液の吐出を停止した後に、回転する前記基板上に、現像ノズルにより現像液の吐出を開始する工程と、
を備えていることを特徴とする現像方法。 - 請求項1に記載の現像方法において、
現像液の吐出を停止した後に、回転する前記基板上であって前記中心部から外れた予め設定されたリンス液位置に、リンスノズルによりリンス液の吐出を開始して、リンス液の吐出開始直後からリンス液の広がりで前記中心部を覆わせる工程を更に備えていることを特徴とする現像方法。 - 基板に対して現像処理を行う現像方法であって、
回転保持部により基板の中心部周りに前記基板を回転させる工程と、
回転する前記基板上に、現像ノズルにより現像液の吐出を開始する工程と、
現像液の吐出を停止した後に、回転する前記基板上であって前記中心部から外れた予め設定されたリンス液位置に、リンスノズルによりリンス液の吐出を開始して、リンス液の吐出開始直後からリンス液の広がりで前記中心部を覆わせる工程と、
を備えていることを特徴とする現像方法。
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