JP2019161095A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】全体の薄化とワイヤ接合性の向上との両立が可能な半導体装置を提供する。【解決手段】複数の第1半導体チップのそれぞれは、下段の第1半導体チップほど上段の第1半導体チップよりも第1方向に突出した第1端部と、第1端部に設けられ第1金属ワイヤが接合された第1電極パッドとを有する。複数の第2半導体チップのそれぞれは、下段の第2半導体チップほど上段の第2半導体チップよりも第2方向に突出した第2端部と、第2端部に設けられ第2金属ワイヤが接合された第2電極パッドとを有する。第3半導体チップは、第1チップ群の上に重なる第1部分と、第1チップ群および第2チップ群よりも第2方向に突出し、第1部分よりも厚い第2部分と、第2部分に設けられ第3金属ワイヤが接合された第3電極パッドとを有する。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置に関する。
配線基板と、配線基板上に積層された第1の素子群と、第1の素子群上に積層された第2の素子群とを備えた半導体装置が知られている。第1の素子群の複数のチップは、それぞれのパッド配列辺を同方向に向け、かつ電極パッドが互いに重ならないように階段状に積層されている。第2の素子群の複数のチップは、それぞれのパッド配列辺を同方向に向け、かつ電極パッドが互いに重ならないように、第1の素子群の階段部とは逆方向に向けて階段状に積層されている。このような半導体装置において、第2の素子群の複数のチップのうち、最下段のチップの厚さを他のチップの厚さよりも厚くすることが提案されている。
本発明の実施形態は、全体の薄化とワイヤ接合性の向上との両立が可能な半導体装置を提供する。
本発明の実施形態によれば、半導体装置は、配線基板と、前記配線基板の上に階段状に積層された複数の第1半導体チップを有する第1チップ群と、前記第1チップ群の上に階段状に積層された複数の第2半導体チップを有する第2チップ群と、前記第1チップ群と前記第2チップ群との間に設けられた第3半導体チップと、前記第1チップ群と前記配線基板とを接続する第1金属ワイヤと、前記第2チップ群と前記配線基板とを接続する第2金属ワイヤと、前記第3半導体チップと前記配線基板とを接続する第3金属ワイヤと、を備えている。前記複数の第1半導体チップのそれぞれは、下段の第1半導体チップほど上段の第1半導体チップよりも第1方向に突出した第1端部と、前記第1端部に設けられ、前記第1金属ワイヤが接合された第1電極パッドと、を有する。前記複数の第2半導体チップのそれぞれは、下段の第2半導体チップほど上段の第2半導体チップよりも前記第1方向の反対の第2方向に突出した第2端部と、前記第2端部に設けられ、前記第2金属ワイヤが接合された第2電極パッドと、を有する。前記第3半導体チップは、前記第1チップ群の上に重なる第1部分と、前記第1チップ群および前記第2チップ群よりも前記第2方向に突出し、前記第1部分よりも厚い第2部分と、前記第2部分に設けられ、前記第3金属ワイヤが接合された第3電極パッドと、を有する。
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。各図において、同じ要素には同じ符号を付して詳細な説明は適宜省略する。なお、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
図1は、本発明の実施形態に係る半導体装置1の模式断面図である。
半導体装置1は、配線基板100と、配線基板100の上に積層された複数の半導体チップを含むチップ群10、20、30、40と、半導体チップと配線基板100とを接続する金属ワイヤ5と、複数の半導体チップおよび金属ワイヤ5を封止する樹脂部150とを有する。
図1に示す例では、4つのチップ群(第1チップ群10、第2チップ群20、第3チップ群30、および第4チップ群40)が配線基板100の上に積層されている。
第1チップ群10は、配線基板100の上に階段状に積層された複数の半導体チップ11を有する。第2チップ群20は、第1チップ群10の上に階段状に積層された複数の半導体チップ21を有する。第3チップ群30は、第2チップ群20の上に階段状に積層された複数の半導体チップ31を有する。第4チップ群40は、第3チップ群30の上に階段状に積層された複数の半導体チップ41を有する。
第1チップ群10の複数の半導体チップ11のそれぞれは、金属ワイヤ5が接合された端部(図1において右側の端部)を有する。それら複数の半導体チップ11の複数の端部は、段差を形成して階段状に並んでいる。下段の半導体チップ11の端部ほど、上段の半導体チップ11の端部よりも第1方向(図1において右方向)に突出している。
それぞれの半導体チップ11の端部には電極パッド13が設けられている。それぞれの電極パッド13は、他の半導体チップに覆われていない。半導体チップ11は、4つの辺をもつ四角形状の平面形状をもつ。その半導体チップ11の1辺に沿って複数の電極パッド13が配列されている。
金属ワイヤ5は、電極パッド13に接合されている。金属ワイヤ5は、電極パッド13と配線基板100の図示しない配線とを接続し、また電極パッド13同士を接続している。
第2チップ群20の複数の半導体チップ21のそれぞれは、金属ワイヤ5が接合された端部(図1において左側の端部)を有する。それら複数の半導体チップ21の複数の端部は、段差を形成して階段状に並んでいる。下段の半導体チップ21の端部ほど、上段の半導体チップ21の端部よりも、第1方向の反対の第2方向(図1において左方向)に突出している。
それぞれの半導体チップ21の端部には電極パッド23が設けられている。それぞれの電極パッド23は、他の半導体チップに覆われていない。半導体チップ21は、4つの辺をもつ四角形状の平面形状をもつ。その半導体チップ21の1辺に沿って複数の電極パッド23が配列されている。
金属ワイヤ5は、電極パッド23に接合されている。金属ワイヤ5は、電極パッド23と配線基板100の図示しない配線とを接続し、また電極パッド23同士を接続している。
第3チップ群30の複数の半導体チップ31のそれぞれは、金属ワイヤ5が接合された端部(図1において右側の端部)を有する。それら複数の半導体チップ31の複数の端部は、段差を形成して階段状に並んでいる。下段の半導体チップ31の端部ほど、上段の半導体チップ31の端部よりも、第1方向(図1において右方向)に突出している。
それぞれの半導体チップ31の端部には電極パッド33が設けられている。それぞれの電極パッド33は、他の半導体チップに覆われていない。半導体チップ31は、4つの辺をもつ四角形状の平面形状をもつ。その半導体チップ31の1辺に沿って複数の電極パッド33が配列されている。
金属ワイヤ5は、電極パッド33に接合されている。金属ワイヤ5は、電極パッド33と配線基板100の図示しない配線とを接続し、また電極パッド33同士を接続している。
第4チップ群40の複数の半導体チップ41のそれぞれは、金属ワイヤ5が接合された端部(図1において左側の端部)を有する。それら複数の半導体チップ41の複数の端部は、段差を形成して階段状に並んでいる。下段の半導体チップ41の端部ほど、上段の半導体チップ41の端部よりも、第2方向(図1において左方向)に突出している。
それぞれの半導体チップ41の端部には電極パッド43が設けられている。それぞれの電極パッド43は、他の半導体チップに覆われていない。半導体チップ41は、4つの辺をもつ四角形状の平面形状をもつ。その半導体チップ41の1辺に沿って複数の電極パッド43が配列されている。
金属ワイヤ5は、電極パッド43に接合されている。金属ワイヤ5は、電極パッド43と配線基板100の図示しない配線とを接続し、また電極パッド43同士を接続している。
第1チップ群10、第2チップ群20、第3チップ群30、および第4チップ群40の半導体チップ11、21、31、41は、面方向のすべての領域において厚さが実質的に均一である。
第1チップ群10と第2チップ群20との間に、半導体チップ50が設けられている。
図2は、その半導体チップ50の一部分の模式拡大断面図である。
図3は、半導体チップ50の一部分の模式拡大平面図である。
図3は、半導体チップ50の一部分の模式拡大平面図である。
半導体チップ50は、第1部分51と第2部分52とを有する。第1部分51は、第1チップ群10の上に重なっている。第2部分52は、第1チップ群10および第2チップ群20よりも第2方向(図1、2において左方向)に突出し、第1チップ群10の上に重ならず、かつ第2チップ群20の下に重なっていない。
第2部分52の厚さは、第1部分51の厚さよりも厚い。また、第2部分52の厚さは、1つの半導体チップ11、21、31、41の厚さよりも厚い。半導体チップ50の第2部分52の厚さは、第1チップ群10のトータルの厚さよりも薄く、第2部分52は配線基板100に接していない。
第2部分52に電極パッド53が設けられている。電極パッド53は、他の半導体チップに覆われていない。半導体チップ50は、4つの辺をもつ四角形状の平面形状をもつ。図3に示すように、その半導体チップ50の1辺に沿って複数の電極パッド53が配列されている。第2部分52は、複数の電極パッド53の配列方向に沿って延びている。
図1に示すように、金属ワイヤ5が、電極パッド53に接合されている。金属ワイヤ5は、電極パッド53と配線基板100の図示しない配線とを接続している。また、電極パッド53には、他の半導体チップ21の電極パッド23に接合された金属ワイヤ5が接合される。
図1に示すように、第2チップ群20と第3チップ群30との間に、半導体チップ60が設けられている。
半導体チップ60は、第1部分61と第2部分62とを有する。第1部分61は、第2チップ群20の上に重なっている。第2部分62は、第2チップ群20および第3チップ群30よりも第1方向(図1において右方向)に突出し、第2チップ群20の上に重ならず、かつ第3チップ群30の下に重なっていない。
第2部分62の厚さは、第1部分61の厚さよりも厚い。また、第2部分62の厚さは、1つの半導体チップ11、21、31、41の厚さよりも厚い。半導体チップ60の第2部分62の厚さは、第2チップ群20のトータルの厚さよりも薄い。
第2部分62に電極パッド63が設けられている。電極パッド63は、他の半導体チップに覆われていない。半導体チップ60は、4つの辺をもつ四角形状の平面形状をもつ。その半導体チップ60の1辺に沿って複数の電極パッド63が配列されている。
金属ワイヤ5が、電極パッド63に接合されている。金属ワイヤ5は、電極パッド63と配線基板100の図示しない配線とを接続している。また、電極パッド63には、他の半導体チップ31の電極パッド33に接合された金属ワイヤ5が接合される。
図1に示すように、第3チップ群30と第4チップ群40との間に、半導体チップ70が設けられている。
半導体チップ70は、第1部分71と第2部分72とを有する。第1部分71は、第3チップ群30の上に重なっている。第2部分72は、第3チップ群30および第4チップ群40よりも第2方向(図1において左方向)に突出し、第3チップ群30の上に重ならず、かつ第4チップ群40の下に重なっていない。
第2部分72の厚さは、第1部分71の厚さよりも厚い。また、第2部分72の厚さは、1つの半導体チップ11、21、31、41の厚さよりも厚い。半導体チップ70の第2部分72の厚さは、第3チップ群30のトータルの厚さよりも薄い。
第2部分72に電極パッド73が設けられている。電極パッド73は、他の半導体チップに覆われていない。半導体チップ70は、4つの辺をもつ四角形状の平面形状をもつ。その半導体チップ70の1辺に沿って複数の電極パッド73が配列されている。
金属ワイヤ5が、電極パッド73に接合されている。金属ワイヤ5は、電極パッド73と配線基板100の図示しない配線とを接続している。また、電極パッド73には、他の半導体チップ41の電極パッド43に接合された金属ワイヤ5が接合される。
半導体チップ11同士の間、半導体チップ21同士の間、半導体チップ31同士の間、および半導体チップ41同士の間に、樹脂層300(一部の樹脂層300を図2に示す)が設けられている。樹脂層300は、例えばDAF(die attach film)である。
樹脂層300は、第1チップ群10の最上層の半導体チップ11と半導体チップ50との間、半導体チップ50と第2チップ群20の最下層の半導体チップ21との間、第2チップ群20の最上層の半導体チップ21と半導体チップ60との間、半導体チップ60と第3チップ群30の最下層の半導体チップ31との間、第3チップ群30の最上層の半導体チップ31と半導体チップ70との間、および半導体チップ70と第4チップ群40の最下層の半導体チップ41との間にも設けられている。
図2に示すように、半導体チップ50の第2部分52における第1チップ群10に対向する側面52aは、第1チップ群10の最上層の半導体チップ11の側面11aから離間している。第2部分52の側面52aと、第1チップ群10の最上層の半導体チップ11の側面11aとの間にギャップが形成されている。
第2チップ群20と第3チップ群30との間の半導体チップ60の第2部分62における第2チップ群20に対向する側面も、第2チップ群20の最上層の半導体チップ21の側面から離間し、第2部分62の側面と、第2チップ群20の最上層の半導体チップ21の側面との間にギャップが形成されている。
第3チップ群30と第4チップ群40との間の半導体チップ70の第2部分72における第3チップ群30に対向する側面も、第3チップ群30の最上層の半導体チップ31の側面から離間し、第2部分72の側面と、第3チップ群30の最上層の半導体チップ31の側面との間にギャップが形成されている。
図1に示すように、配線基板100と第1チップ群10との間に、制御層110が設けられている。制御層110は、樹脂層112と、樹脂層112の中に設けられた制御素子111と、制御素子111と接続された電極パッド113とを有する。制御層110の電極パッド113には金属ワイヤ5が接合され、この金属ワイヤ5は制御素子111と配線基板100との間、および制御素子111と半導体チップ11との間を接続している。制御層110は、第4チップ群40の上に設けてもよい。
配線基板100上には樹脂部150が設けられている。樹脂部150は、制御層110、半導体チップ11、21、31、41、50、60、70、および金属ワイヤ5を覆っている。
半導体チップ50は、図2に示すようにメモリ素子200を含む。他の半導体チップ11、21、31、41、60、70もメモリ素子を含む。半導体チップ60、70のメモリ素子は、第1部分61、71に設けられている。
制御層110に含まれる制御素子111は、メモリ素子200を制御する。
図10は、比較例の半導体装置2の模式断面図である。
この比較例の半導体装置2は、第1チップ群10と第2チップ群20との間、第2チップ群20と第3チップ群30との間、および第3チップ群30と第4チップ群40との間の半導体チップ81の面方向のすべての領域における厚さが実質的に均一である点において、実施形態の半導体装置1と異なる。
複数の半導体チップを階段状に積層することで、それぞれの半導体チップにワイヤボンディングが可能になる。階段状に積層された複数の半導体チップの面方向の専有面積の増大を抑えるために、電極パッドが設けられた階段状に並ぶ端部を、第1チップ群10と第2チップ群20との間で逆方向に向け、第2チップ群20と第3チップ群30との間で逆方向に向け、さらに第3チップ群30と第4チップ群40との間で逆方向に向けている。
このような構成において、チップ群10、20、30、40の間に設けられた半導体チップ81の電極パッド82が設けられた端部は、下のチップ群に対してオーバーハングし、電極パッド82の下に他の半導体チップの支えがない状態となる。そのような電極パッド82に対してワイヤボンディングを実施すると、ボンディング時の荷重で半導体チップ81がたわみ、金属ワイヤ5の接合不良が生じうる。特に、半導体チップ81の電極パッド82が設けられた辺の延在方向(図10において奥行き方向)の端領域は中央領域よりもたわみ易く、その端領域に形成された電極パッド82に対するワイヤボンディングの不良率が高くなり易い。
材料の剛性は厚さの3乗に比例するので、図10に示すように、半導体チップ81を他の半導体チップ11、21、31、41よりも厚くすることでたわみ量を低減できる。しかし、これは、半導体装置全体(パッケージ)の薄型化を阻害し、製品のトレンドに逆行する。
実施形態によれば、下に他の半導体チップの支えがなく下のチップ群に対してオーバーハングした端部をもつ半導体チップ50、60、70におけるオーバーハングした部分である第2部分52、62、72の厚さを、下のチップ群に積層される第1部分51、61、71の厚さよりも厚くしている。そのため、第2部分52、62、72の剛性を向上させることができ、その第2部分52、62、72に設けられた電極パッド53、63、73に対するワイヤボンディング時における半導体チップ50、60、70の変形(たわみ)を抑制して、ワイヤ接合性を向上させることができる。
厚くした第2部分52、62、72は、チップ群10、20、30、40の上および下に重ならない部分であり、複数の半導体チップのトータルの積層厚さに影響しない。これに対して、チップ群10、20、30、40の上および下に重なる部分である第1部分51、61、71の厚さは第2部分52、62、72よりも薄くするため、複数の半導体チップが積層された積層体のトータルの厚さの増大は抑えられ、半導体装置1の薄化を阻害しない。したがって、実施形態によれば、半導体装置の全体の薄化と、ワイヤ接合歩留まりの向上との両立が可能となる。
次に、図4(a)〜図8(c)を参照して、本発明の実施形態に係る半導体装置1の製造方法について説明する。
図4(a)に示すように、配線基板100上に制御層110をマウントし、その制御層110上に第1チップ群10の複数の半導体チップ11を階段状に積層する。最下層の半導体チップ11と、制御層110との間には、それら両者の接着を担う樹脂層300が設けられる。半導体チップ11同士の間にも、それら両者の接着を担う樹脂層300が設けられる。
例えば、半導体チップ11の下面に樹脂層300を貼り付けた後、半導体チップ11は樹脂層ご300と、制御層110または他の半導体チップ11上にマウントされる。
図6(a)に示すように、ダイシングテープ500の表面に樹脂層(例えばDAF)300を形成し、その樹脂層300の上にウェーハWが貼り付けられ、例えばブレードを用いてウェーハWに溝8が形成され、ウェーハWは複数の半導体チップ11に個片化される。
その後、例えばレーザーを利用して、図6(b)に示すように、溝8の下の樹脂層300を切断する。そして、樹脂層300付きの半導体チップ11は、ダイシングテープ500から剥離され、図4(a)に示す制御層110または他の半導体チップ11上にマウントされる。
図4(b)は、第1チップ群10の最上層の半導体チップ11をマウントする工程を示す。第1チップ群10の最上層の半導体チップ11には、その上面と下面の両面に樹脂層300が貼り付けられる。
図7(a)に示すように、ダイシングテープ500上の樹脂層300に貼り付けられた半導体チップ11の上面に樹脂層300をパターニングする。半導体チップ11の上面に設けられた樹脂層300には、半導体チップ11の端部に設けられた電極パッド13を露出させるように開口が形成される。
その後、例えばレーザーを利用して、図7(b)に示すように、溝8の下の樹脂層300を切断する。
このように上面および下面に樹脂層300が設けられた最上層の半導体チップ11は、ダイシングテープ500から剥離され、図5(a)に示すように、他の半導体チップ11の上にマウントされる。
図8(a)〜(c)は、半導体チップ50に第1部分51と第2部分52を形成する方法を示す模式断面図である。
図8(a)に示すように、ウェーハWのダイシング領域に表面側から溝8を形成する。ウェーハWの表面側には、メモリ素子200および電極パッド53が形成されている。溝8の深さは、ウェーハWの厚さよりも浅く、かつ個片化される半導体チップ50の完成時の厚さよりも深く設定される。
次に、図8(b)に示すように、ウェーハWの裏面を研削してウェーハWを薄くする。この研削は、表面側から形成した溝8が、裏面側から露出するまで実施される。溝8はウェーハWの表面および裏面に達し、ウェーハWは複数の半導体チップ50に個片化される。
次に、図8(c)に示すように、ウェーハWの裏面の一部領域をホイール研削して、電極パッド53が設けられた第2部分52よりも薄い第1部分51が形成される。
このような段差加工がされた半導体チップ50は、図5(b)に示すように、第1チップ群10の最上層の半導体チップ11の上にマウントされる。半導体チップ50の第1部分51が最上層の半導体チップ11の上面に設けられた樹脂層300に接着される。半導体チップ50の第2部分52は、第1チップ群10から第2方向(図5(b)における左方向)にオーバーハングする。
半導体チップ50の裏面には段差が形成されるので、その裏面に樹脂層300を貼り付けることができない。しかし、第1チップ群10の最上層の半導体チップ11の上面に予め樹脂層300が貼り付けられているので、この樹脂層300によって半導体チップ50と半導体チップ11とを接着することができる。
半導体チップ50の第2部分52の厚さまたは下方への突出量は、第1チップ群10のトータルの厚さよりも小さく、半導体チップ50のマウント時、第2部分52は配線基板100に当たらない。これは、半導体チップ50の破損を防ぐ。
また、図2に示すように、半導体チップ50の第2部分52における第1チップ群10に対向する側面52aは、半導体チップ11の側面11aから離間しているため、半導体チップ50のマウント時、第2部分52は半導体チップ11に当たらない。これは、半導体チップ50および半導体チップ11の破損を防ぐ。
以降同様にして、半導体チップ50上に第2チップ群20の複数の半導体チップ21が積層され、最上層の半導体チップ21上に半導体チップ60が積層され、半導体チップ60上に第3チップ群30の複数の半導体チップ31が積層され、最上層の半導体チップ31上に半導体チップ70が積層され、半導体チップ70上に第4チップ群40の複数の半導体チップ41が積層される。半導体チップ60および半導体チップ70に対しては、半導体チップ50と同様の段差加工が行われる。
図9は、実施形態の半導体装置の他の例を示す、図2と同様の断面図である。
第1チップ群10の最上層の半導体チップ11の上面に貼り付けられた樹脂層300の厚さ、または半導体チップ50をマウントするときの荷重を適切に制御することで、半導体チップ50の第1部分51と半導体チップ11との間で挟まれた樹脂層300を第2部分52の側面52aと半導体チップ11の側面11aとの間のギャップにはみ出させて、そのキャップに樹脂層300の一部を設けることができる。第2部分52の側面52aが樹脂層300を介して半導体チップ11の側面11aに支えられ、電極パッド53に対するワイヤボンディング時の第2部分52の剛性をより高くすることができる。また、樹脂層300を、半導体チップ50の第2部分52の側面52aのすべての領域にはみ出させてもよい。第2部分52の側面52aのすべてが樹脂層300で覆われることで、剛性がさらに高くなる。
図1に示す例では、4つのチップ群10、20、30、40と3つの段差加工された半導体チップ50、60、70との組み合わせを例示したが、2つのチップ群と1つの段差加工された半導体チップとの組み合わせ、3つのチップ群と2つの段差加工された半導体チップとの組み合わせ、または5つ以上のチップ群と4つ以上の段差加工された半導体チップとの組み合わせでもよい。
半導体チップ11の厚さ、半導体チップ21の厚さ、半導体チップ31の厚さ、および半導体チップ41の厚さは、ほぼ同じ厚さである。また、半導体チップ50の第1部分51の厚さ、半導体チップ60の第1部分61の厚さ、および半導体チップ70の第1部分71の厚さは、ほぼ同じ厚さである。
または、半導体チップ11、21、31、41のうち、上層の半導体チップほど厚くしてもよい。すべての半導体チップを積層した後に、樹脂層(DAF)300を本硬化させる。そのため、半導体チップの積層数が多くなるほど、やわらかい状態の樹脂層300の層数、すなわち複数の樹脂層300のトータルの厚さが厚くなり、積層体が不安定になることが起こりうる。そこで、半導体チップ11、21、31、41のうち、上層の半導体チップほど厚くすることで、複数の半導体チップの安定した積層状態の維持が可能となる。
同様に、半導体チップ50の第1部分51、半導体チップ60の第1部分61、および半導体チップ70の第1部分71のうち、上層の半導体チップの第1部分ほど厚くしてもよい。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…半導体装置、5…金属ワイヤ、10…第1チップ群、11半導体チップ、13…電極パッド、20…第2チップ群、21…半導体チップ、23…電極パッド、30…第3チップ群、31…半導体チップ、33…電極パッド、40…第4チップ群、41…半導体チップ、43…電極パッド、50…半導体チップ、51…第1部分、52…第2部分、53…電極パッド、60…半導体チップ、61…第1部分、62…第2部分、63…電極パッド、70…半導体チップ、71…第1部分、72…第2部分、73…電極パッド、100…配線基板、150…樹脂部、200…メモリ素子、300…樹脂層、500…ダイシングテープ
Claims (9)
- 配線基板と、
前記配線基板の上に階段状に積層された複数の第1半導体チップを有する第1チップ群と、
前記第1チップ群の上に階段状に積層された複数の第2半導体チップを有する第2チップ群と、
前記第1チップ群と前記第2チップ群との間に設けられた第3半導体チップと、
前記第1チップ群と前記配線基板とを接続する第1金属ワイヤと、
前記第2チップ群と前記配線基板とを接続する第2金属ワイヤと、
前記第3半導体チップと前記配線基板とを接続する第3金属ワイヤと、
を備え、
前記複数の第1半導体チップのそれぞれは、下段の第1半導体チップほど上段の第1半導体チップよりも第1方向に突出した第1端部と、前記第1端部に設けられ、前記第1金属ワイヤが接合された第1電極パッドと、を有し、
前記複数の第2半導体チップのそれぞれは、下段の第2半導体チップほど上段の第2半導体チップよりも前記第1方向の反対の第2方向に突出した第2端部と、前記第2端部に設けられ、前記第2金属ワイヤが接合された第2電極パッドと、を有し、
前記第3半導体チップは、前記第1チップ群の上に重なる第1部分と、前記第1チップ群および前記第2チップ群よりも前記第2方向に突出し、前記第1部分よりも厚い第2部分と、前記第2部分に設けられ、前記第3金属ワイヤが接合された第3電極パッドと、を有する半導体装置。 - 前記第3半導体チップの前記第2部分の厚さは、1つの前記第1半導体チップの厚さ、および1つの前記第2半導体チップの厚さよりも厚い請求項1記載の半導体装置。
- 前記第3半導体チップの前記第2部分の厚さは、前記第1チップ群の厚さよりも薄く、前記第2部分は、前記配線基板に接していない請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記第3半導体チップの前記第2部分における前記第1チップ群に対向する側面は、前記第1チップ群の最上層の第1半導体チップの側面から離間している請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記複数の第1半導体チップの間、前記複数の第2半導体チップの間、前記第1チップ群の最上層の第1半導体チップと前記第3半導体チップとの間、および前記第2チップ群の最下層の第2半導体チップと前記第3半導体チップとの間に設けられた樹脂層をさらに備えた請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第3半導体チップの前記第2部分における前記第1チップ群に対向する側面は、前記最上層の第1半導体チップの側面から離間し、
前記第3半導体チップの前記第2部分の前記側面と、前記最上層の前記第1半導体チップの前記側面との間に、前記樹脂層の一部が設けられている請求項5記載の半導体装置。 - 前記配線基板上に設けられ、前記第1チップ群、前記第2チップ群、前記第3半導体チップ、前記第1金属ワイヤ、前記第2金属ワイヤ、および前記第3金属ワイヤを覆う樹脂部をさらに備えた請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第3半導体チップは、前記第1部分に設けられたメモリ素子を含む請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第2チップ群の上に階段状に積層された複数の第4半導体チップを有する第3チップ群と、
前記第2チップ群と前記第3チップ群との間に設けられた第5半導体チップと、
前記第3チップ群と前記配線基板とを接続する第4金属ワイヤと、
前記第5半導体チップと前記配線基板とを接続する第5金属ワイヤと、
をさらに備え、
前記複数の第4半導体チップのそれぞれは、下段の第4半導体チップほど上段の第4半導体チップよりも前記第1方向に突出した第4端部と、前記第4端部に設けられ、前記第4金属ワイヤが接合された第4電極パッドと、を有し、
前記第5半導体チップは、前記第2チップ群の上に重なる第3部分と、前記第2チップ群および前記第3チップ群よりも前記第1方向に突出し、前記第3部分よりも厚い第4部分と、前記第4部分に設けられ、前記第5金属ワイヤが接合された第5電極パッドと、を有する請求項1〜8のいずれか1つに記載の半導体装置。
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