JP2019114684A - 基板処理システム、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、本実施形態にかかる基板処理システムの構成について説明する。図1は、基板処理システム1の構成の概略を模式的に示す平面図である。なお、以下においては、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
搬入ステーション2には、カセット載置台10が設けられている。図示の例では、カセット載置台10には、複数、例えば2つのカセットCをX軸方向に一列に載置自在になっている。なお、カセット載置台10に載置されたカセットC内には、保護テープPがウェハWを支持するガイド(図示せず)と接触して損傷を被ったり、変形したりするのを抑制するため、当該保護テープPが貼り付けられたウェハWの表面W1が上方を向くようにウェハWが収納されている。
搬出ステーション3も、搬入ステーション2と同様の構成を有している。搬出ステーション3にはカセット載置台20が設けられ、カセット載置台20には、例えば2つのカセットCをX軸方向に一列に載置自在になっている。なお、搬入ステーション2と搬出ステーション3は1つの搬入出ステーションに統合されてもよく、かかる場合、搬入出ステーションには共通のカセット載置台が設けられる。
加工装置4では、ウェハWに対して研削や洗浄などの加工処理が行われる。加工装置4は、回転テーブル30、搬送ユニット40、アライメントユニット50、第1の洗浄ユニット60、第2の洗浄ユニット70、加工部としての粗研削ユニット80、加工部としての中研削ユニット90、及び加工部としての仕上研削ユニット100を有している。
後処理装置5では、加工装置4で加工処理されたウェハWに対して後処理が行われる。後処理としては、例えばウェハWをダイシングテープを介してダイシングフレームに保持するマウント処理、ウェハWに貼り付けられた保護テープPを剥離する剥離処理などが行われる。そして、後処理装置5は、後処理が行われダイシングフレームに保持されたウェハWを搬出ステーション3のカセットCに搬送する。後処理装置5で行われるマウント処理や剥離処理はそれぞれ、公知の装置が用いられる。
図1及び図3に示すように搬送ステーション6には、ウェハ搬送領域110が設けられている。ウェハ搬送領域110には、X軸方向に延伸する搬送路111上を移動自在なウェハ搬送装置112が設けられている。ウェハ搬送装置112は、ウェハWを保持するウェハ保持部として、搬送フォーク113と搬送パッド114を有している。搬送フォーク113は、その先端が2本に分岐し、ウェハWを吸着保持する。搬送フォーク113は、研削処理前のウェハWを搬送する。搬送パッド114は、平面視においてウェハWの径より長い径を備えた円形状を有し、ウェハWを吸着保持する。搬送パッド114は、研削処理後のウェハWを搬送する。搬送フォーク113と搬送パッド114は、移動機構115に取り付けられている。この移動機構115によって、搬送フォーク113と搬送パッド114はそれぞれ、水平方向、鉛直方向、水平軸回り及び鉛直軸周りに移動自在に構成されている。
次に、以上のように構成された基板処理システム1を用いて行われるウェハ処理について説明する。
以上の実施形態では、検知センサ120は搬送ステーション6のウェハ搬送領域110に設けられていたが、検知センサ120の設置位置はこれに限定されない。ウェハWがカセットCから取り出されてから、受渡位置A0でチャック31に保持されるまでにおいて、検知センサ120は任意の位置に配置でき、例えば加工装置4の内部に配置されていてもよい。
2 搬入ステーション
3 搬出ステーション
4 加工装置
5 後処理装置
6 搬送ステーション
30 回転テーブル
31 チャック
40 搬送ユニット
50 アライメントユニット
60 第1の洗浄ユニット
70 第2の洗浄ユニット
80 粗研削ユニット
90 中研削ユニット
100 仕上研削ユニット
110 ウェハ搬送領域
112 ウェハ搬送装置
120 検知センサ
130 制御部
P 保護テープ
W ウェハ
W1 表面
W2 裏面
Claims (11)
- 表面に保護材が設けられた基板の裏面から加工する基板処理システムであって、
前記基板の表面を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された前記基板の裏面から加工する加工部と、
前記基板保持部で前記基板を保持する前に、少なくとも前記基板の上方又は下方から前記保護材の有無を検知する保護材検知部と、を有する、基板処理システム。 - 前記基板保持部と前記加工部を備えた加工装置と、
前記加工装置に対して前記基板を搬送する搬送部と、をさらに有し、
前記保護材検知部は前記加工装置又は前記搬送部に設けられている、請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記搬送部は、前記基板を搬送し、且つ前記基板の表裏面を反転させる搬送装置を有する、請求項2に記載の基板処理システム。
- 前記保護材検知部による検知結果に基づいて、前記基板の表裏面の向きが正常であると確認された場合、前記搬送装置は当該基板を前記加工装置に搬送し、
前記保護材検知部による検知結果に基づいて、前記基板の表裏面の向きが正常でないと確認された場合、前記搬送装置は当該基板の表裏面を反転させて、基板を収容する収容容器に戻す、請求項3に記載の基板処理システム。 - 前記保護材検知部による検知結果に基づいて、前記基板の表裏面の向きが正常でないと確認された場合、前記搬送装置は、前記収容容器に戻された前記基板を再び搬出し、前記加工装置に搬送する、請求項4に記載の基板処理システム。
- 表面に保護材が設けられた基板の裏面から加工する基板処理方法であって、
保護材検知部を用いて少なくとも前記基板の上方又は下方から前記保護材の有無を検知し、当該検知結果に基づいて前記基板の表裏面の向きを確認する第1の工程と、
その後、前記第1の工程において、前記基板の表裏面の向きが正常であると確認された場合、基板保持部で前記基板の表面を保持し、加工部を用いて当該基板の裏面から加工する第2の工程と、を有する、基板処理方法。 - 前記基板保持部と前記加工部は加工装置に設けられ、
前記第1の工程は、前記加工装置の内部、又は前記加工装置に対して前記基板を搬送する搬送部の内部において行われる、請求項6に記載の基板処理方法。 - 前記第1の工程において、前記基板の表裏面の向きが正常でないと確認された場合、前記搬送部において前記基板の表裏面を反転させて、基板を収容する収容容器に戻す第3の工程をさらに有する、請求項7に記載の基板処理方法。
- 前記第3の工程において、前記搬送部によって、前記収容容器に戻された前記基板を再び搬出し、前記加工装置に搬送する、請求項8に記載の基板処理方法。
- 請求項6〜9のいずれか一項に記載の基板処理方法を基板処理システムによって実行させるように、当該基板処理システムを制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項10に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017247663A JP2019114684A (ja) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | 基板処理システム、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
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ID=67223264
Family Applications (1)
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001028355A (ja) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2012248683A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハマウント方法および半導体ウエハマウント装置 |
JP2018187688A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
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2017
- 2017-12-25 JP JP2017247663A patent/JP2019114684A/ja active Pending
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