JP2019070512A - Vapor chamber, electronic device, and metal sheet for vapor chamber - Google Patents

Vapor chamber, electronic device, and metal sheet for vapor chamber Download PDF

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Abstract

To provide a vapor chamber and a metal sheet for the vapor chamber that enable deaeration from the vapor chamber and injection of a hydraulic fluid into the vapor chamber in a short time in manufacturing the vapor chamber.SOLUTION: A vapor chamber comprises a first metal sheet and a second metal sheet provided on the first metal sheet. A plurality of vapor channel recesses, through which vapor of a hydraulic fluid passes, are formed in at least one of the first metal sheet and the second metal sheet, and a liquid channel part, through which the hydraulic fluid in a liquid state passes, is formed in at least one of the first metal sheet and the second metal sheet. An injection channel recess, from which the liquid hydraulic fluid is injected, is formed in at least one of the first metal sheet and the second metal sheet. A width of the injection channel recess is larger than that of a lower vapor passage of the vapor channel recess.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートに関する。   The present invention relates to a vapor chamber, an electronic device, and a metal sheet for the vapor chamber.

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプよりも薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動液が封入されており、この作動液がデバイスの熱を吸収して外部に放出することで、デバイスの冷却を行っている。   A device with heat generation such as a central processing unit (CPU) used in a mobile terminal or the like such as a portable terminal or a tablet terminal is cooled by a heat dissipation member such as a heat pipe (see, for example, Patent Document 1). In recent years, in order to reduce the thickness of mobile terminals and the like, it is also required to reduce the thickness of the heat dissipation member, and development of a vapor chamber capable of achieving the reduction in thickness more than a heat pipe has been advanced. A hydraulic fluid is sealed in the vapor chamber, and the hydraulic fluid absorbs the heat of the device and discharges it to the outside to cool the device.

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気になり、その後蒸気が、蒸発部から離れた位置に移動して冷却され、凝縮して液状になる。ベーパーチャンバ内には、液流路部としての毛細管構造（ウィック）が設けられており、液状になった作動液は、この液流路部を通過して蒸発部に輸送され、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。   More specifically, the hydraulic fluid in the vapor chamber receives heat from the device in a portion (evaporator) close to the device and evaporates into a vapor, and then the vapor moves to a position away from the evaporator. Cool and condense to a liquid state. In the vapor chamber, a capillary structure (wick) is provided as a liquid flow passage, and the hydraulic fluid which has become liquid passes through the liquid flow passage, is transported to the evaporation unit, and is again carried out by the evaporation unit. Heat and evaporate. In this way, the working fluid moves the heat of the device by refluxing the inside of the vapor chamber while repeating phase change, that is, evaporation and condensation, thereby enhancing the heat radiation efficiency.

特開２０１６−５０６８２号公報JP, 2016-50682, A

ところで、ベーパーチャンバ等の平板状の熱交換器においては、金属シートに、脱気後に作動液を注入するための注入路が設けられている。しかしながら、例えば特許文献１に記載されたシート型ヒートパイプのように、注入路の幅を蒸気通路やウィックの溝よりも狭くしてしまうと、ベーパーチャンバ内の脱気や、ベーパーチャンバ内に作動液を注入する作業に時間がかかり、作業性が低下するという問題がある。   By the way, in a flat heat exchanger such as a vapor chamber, an injection path for injecting a working fluid after degassing is provided in a metal sheet. However, if the width of the injection path is made narrower than the steam passage or the groove of the wick, as in the case of a sheet-type heat pipe described in, for example, Patent Document 1, degassing in the vapor chamber or operation in the vapor chamber There is a problem that the operation of injecting the liquid takes time and the workability is lowered.

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ベーパーチャンバの製造時に、ベーパーチャンバ内の脱気作業やベーパーチャンバ内への作動液の注入作業を短時間で行うことが可能な、ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートを提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of these points, and it is possible to carry out the degassing operation in the vapor chamber and the injection operation of the working fluid into the vapor chamber in a short time when the vapor chamber is manufactured. , A vapor chamber, an electronic device, and a metal sheet for the vapor chamber.

本発明は、
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、を備え、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、それぞれ前記作動液の蒸気が通る複数の蒸気通路を含む蒸気流路凹部が形成され、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、液状の前記作動液が通る液流路部が形成され、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、液状の前記作動液を注入する注入流路凹部が形成され、
前記注入流路凹部の幅は、前記蒸気通路の幅よりも広い、ベーパーチャンバ、
を提供する。 The present invention
A vapor chamber filled with hydraulic fluid,
A first metal sheet,
A second metal sheet laminated on the first metal sheet;
At least one of the first metal sheet and the second metal sheet is formed with a steam channel recess including a plurality of steam channels through which the steam of the hydraulic fluid passes.
A liquid passage portion through which the liquid working fluid passes is formed in at least one of the first metal sheet and the second metal sheet,
An injection channel concave portion for injecting the liquid working fluid is formed in at least one of the first metal sheet and the second metal sheet,
A width of the injection passage recess is wider than a width of the steam passage;
I will provide a.

なお、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記注入流路凹部に複数の支柱が突設されている、
ようにしてもよい。 In the above-mentioned vapor chamber,
A plurality of support posts are provided in the injection channel recess,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記注入流路凹部にカシメ領域が形成され、前記カシメ領域は複数の突起を有する、
ようにしてもよい。 Also, in the above-described vapor chamber,
A caulking area is formed in the injection channel recess, and the caulking area has a plurality of protrusions.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記注入流路凹部の幅は、前記蒸気通路の幅の１．５倍以上である、
ようにしてもよい。 Also, in the above-described vapor chamber,
The width of the injection channel recess is at least 1.5 times the width of the steam channel,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記注入流路凹部の深さは、前記蒸気通路の深さよりも深い、
ようにしてもよい。 Also, in the above-described vapor chamber,
The depth of the injection channel recess is deeper than the depth of the steam channel,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記液流路部は、互いに平行に延びる複数の主流溝と、互いに隣接する前記主流溝同士を連絡する連絡溝とを有する、
ようにしてもよい。 Also, in the above-described vapor chamber,
The liquid flow passage portion has a plurality of main flow grooves extending in parallel to each other, and a communication groove connecting the main flow grooves adjacent to each other.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記主流溝および前記連絡溝に取り囲まれるように凸部が形成され、複数の前記凸部が平面視で千鳥状に配置されている、
ようにしてもよい。 Also, in the above-described vapor chamber,
A convex portion is formed so as to be surrounded by the main flow groove and the connection groove, and the plurality of convex portions are arranged in a zigzag shape in a plan view.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第２金属シートは、前記第１金属シート上に設けられている、
ようにしてもよい。 Also, in the above-described vapor chamber,
The second metal sheet is provided on the first metal sheet,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートを更に備え、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち一方に前記蒸気流路凹部が形成されるとともに、他方に前記液流路部が形成され、
前記第３金属シートに、前記蒸気流路凹部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられている、
ようにしてもよい。 Also, in the above-described vapor chamber,
And a third metal sheet interposed between the first metal sheet and the second metal sheet,
The steam flow passage recess is formed in one of the first metal sheet and the second metal sheet, and the liquid flow passage portion is formed in the other,
The third metal sheet is provided with a communicating portion for communicating the vapor flow path concave portion with the liquid flow path portion.
You may do so.

また、本発明は、
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートと、備え、
前記第３金属シートは、前記第１金属シートの側に設けられた第１面と、前記第２金属シートの側に設けられた第２面と、を含み、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、それぞれ前記作動液の蒸気が通る複数の蒸気通路を含む蒸気流路部が形成され、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、液状の前記作動液が通る液流路部が形成され、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、液状の前記作動液を注入する注入流路部が形成され、
前記注入流路部の幅は、前記蒸気通路の幅よりも広い、ベーパーチャンバ。
を提供する。 Also, the present invention is
A vapor chamber filled with hydraulic fluid,
A first metal sheet,
A second metal sheet laminated on the first metal sheet;
A third metal sheet interposed between the first metal sheet and the second metal sheet,
The third metal sheet includes a first surface provided on the side of the first metal sheet, and a second surface provided on the side of the second metal sheet,
At least one of the first surface and the second surface of the third metal sheet is formed with a steam flow passage portion including a plurality of steam passages through which the steam of the hydraulic fluid passes.
A liquid passage portion through which the liquid working fluid passes is formed in at least one of the first surface and the second surface of the third metal sheet,
An injection channel portion for injecting the liquid working fluid is formed on at least one of the first surface and the second surface of the third metal sheet,
The vapor chamber, wherein the width of the injection passage is wider than the width of the steam passage.
I will provide a.

また、本発明は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接触した、上述のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器、
を提供する。 Also, the present invention is
With the housing,
A device housed within the housing;
An electronic device comprising the above-described vapor chamber in thermal contact with the device;
I will provide a.

また、本発明は、
作動液が封入されたベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第１面と、
前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、を備え、
前記第１面に、前記作動液の蒸気が通る複数の蒸気通路を含む蒸気流路凹部が形成され、
前記第１面に、液状の前記作動液を注入する注入流路凹部が形成され、前記注入流路凹部の幅は、前記蒸気通路の幅よりも広い、ベーパーチャンバ用金属シート、
を提供する。 Also, the present invention is
A metal sheet for a vapor chamber for a vapor chamber in which a hydraulic fluid is enclosed, comprising:
First side,
And a second surface provided on the side opposite to the first surface,
The first surface is formed with a steam channel recess including a plurality of steam channels through which the hydraulic fluid steam passes.
An injection flow passage concave portion for injecting the liquid working fluid is formed on the first surface, and the width of the injection flow passage concave is wider than the width of the steam passage;
I will provide a.

本発明によれば、ベーパーチャンバの製造時に、ベーパーチャンバ内の脱気作業やベーパーチャンバ内への作動液の注入作業を短時間で行うことができる。   According to the present invention, when manufacturing the vapor chamber, the degassing operation in the vapor chamber and the injection operation of the working fluid into the vapor chamber can be performed in a short time.

図１は、本発明の第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating an electronic device according to a first embodiment of the present invention. 図２は、本発明の第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。FIG. 2 is a top view showing the vapor chamber according to the first embodiment of the present invention. 図３は、図２のベーパーチャンバを示すＡ−Ａ線断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the vapor chamber of FIG. 2 taken along line A-A. 図４は、図２のベーパーチャンバの下側金属シートを示す上面図である。FIG. 4 is a top view of the lower metal sheet of the vapor chamber of FIG. 2; 図５は、図２のベーパーチャンバの上側金属シートを示す下面図である。FIG. 5 is a bottom view of the upper metal sheet of the vapor chamber of FIG. 2; 図６は、図４の下側金属シートの下側注入突出部を示す拡大上面図である。6 is an enlarged top view showing the lower injection protrusion of the lower metal sheet of FIG. 4; 図７は、図６の下側金属シートの下側注入突出部を示すＢ−Ｂ線断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line B-B showing the lower injection protrusion of the lower metal sheet of FIG. 図８は、図４の液流路部を示す拡大上面図である。FIG. 8 is an enlarged top view showing the liquid flow path portion of FIG. 図９は、図８のＣ−Ｃ線断面に、上側金属シートを追加して示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing the upper metal sheet added to the cross section taken along the line C-C in FIG. 図１０は、図８の液流路部の変形例を示す拡大上面図である。FIG. 10 is an enlarged top view showing a modification of the liquid flow path portion of FIG. 図１１（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法（前半）を示す図である。FIGS. 11 (a) to 11 (c) are diagrams showing a method of manufacturing a vapor chamber (first half) according to the first embodiment of the present invention. 図１２（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法（後半）を示す図である。12 (a) to 12 (c) are diagrams showing a method of manufacturing a vapor chamber (latter half) according to the first embodiment of the present invention. 図１３は、図３のベーパーチャンバの一変形例（変形例１）を示す図である。FIG. 13 is a view showing a modified example (modified example 1) of the vapor chamber of FIG. 3. 図１４は、図３のベーパーチャンバの他の変形例（変形例２）を示す図である。FIG. 14 is a view showing another modification (modification 2) of the vapor chamber of FIG. 3; 図１５は、図７の下側注入突出部の他の変形例（変形例３）を示す図である。FIG. 15 is a view showing another modified example (modified example 3) of the lower injection protrusion shown in FIG. 7; 図１６は、図７の下側注入突出部の他の変形例（変形例４）を示す図である。FIG. 16 is a view showing another modification (modification 4) of the lower injection protrusion in FIG. 7; 図１７は、本発明の第２の実施の形態におけるベーパーチャンバを示す断面図である。FIG. 17 is a cross-sectional view showing a vapor chamber in the second embodiment of the present invention. 図１８は、図１７の上側金属シートの下面図である。FIG. 18 is a bottom view of the upper metal sheet of FIG. 17; 図１９は、図１７の中間金属シートの上面図である。FIG. 19 is a top view of the intermediate metal sheet of FIG. 17; 図２０は、本発明の第３の実施の形態におけるベーパーチャンバを示す断面図である。FIG. 20 is a cross-sectional view showing a vapor chamber in the third embodiment of the present invention. 図２１は、図２０の中間金属シートの上面図である。21 is a top view of the intermediate metal sheet of FIG. 図２２は、本発明の第４の実施の形態におけるベーパーチャンバを示す断面図である。FIG. 22 is a cross-sectional view showing a vapor chamber in the fourth embodiment of the present invention. 図２３は、図２２の中間金属シートの下面図である。FIG. 23 is a bottom view of the intermediate metal sheet of FIG. 図２４は、図２２の中間金属シートの上面図である。FIG. 24 is a top view of the intermediate metal sheet of FIG. 図２５は、図２２のベーパーチャンバの変形例を示す断面図である。FIG. 25 is a cross-sectional view showing a modification of the vapor chamber of FIG.

以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings attached to the present specification, for the sake of illustration and ease of understanding, the scale, vertical and horizontal dimensional ratios, etc. are appropriately changed from those of a real thing and exaggerated.

また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。さらに、図面においては、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待することができる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待することができる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。   In addition, as used herein, the terms such as “parallel”, “orthogonal”, “identical”, lengths, angles, and physical characteristics, which specify the shape, geometrical conditions, physical characteristics, and their degree, are specified. The value etc. of the term shall be interpreted without including the strict meaning and including the range in which the same function can be expected. Furthermore, in the drawings, for the sake of clarity, although the shapes of a plurality of parts which may expect similar functions are regularly described, the functions may be expected without being bound by a strict meaning. The shapes of the portions may be different from each other as long as Further, in the drawings, a boundary line indicating a bonding surface between members is shown as a simple straight line for convenience, but it is not restricted to being a straight straight line, and a desired bonding performance can be expected. To the extent possible, the shape of the boundary is arbitrary.

（第１の実施の形態）
図１乃至図１６を用いて、本発明の第１の実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートについて説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された発熱体としてのデバイスＤを冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。デバイスＤの例としては、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイス（被冷却装置）が挙げられる。 First Embodiment
A vapor chamber, an electronic device, and a metal sheet for vapor chamber according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 16. The vapor chamber 1 in the present embodiment is a device mounted on the electronic device E in order to cool the device D as a heating element housed in the electronic device E. Examples of the device D include a central processing unit (CPU) used in a mobile terminal such as a portable terminal and a tablet terminal, a light emitting diode (LED), and an electronic device (cooled device) with heat generation such as a power semiconductor. Be

ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動液２を介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。   Here, first, an electronic device E on which the vapor chamber 1 according to the present embodiment is mounted will be described by taking a tablet terminal as an example. As shown in FIG. 1, the electronic device E (tablet terminal) includes a housing H, a device D housed in the housing H, and the vapor chamber 1. In the electronic device E shown in FIG. 1, a touch panel display TD is provided on the front surface of the housing H. The vapor chamber 1 is housed in a housing H and arranged to be in thermal contact with the device D. This allows the vapor chamber 1 to receive the heat generated by the device D when the electronic device E is used. The heat received by the vapor chamber 1 is released to the outside of the vapor chamber 1 via a working fluid 2 described later. In this way, device D is effectively cooled. When the electronic device E is a tablet terminal, the device D corresponds to a central processing unit or the like.

次に、本実施の形態におけるベーパーチャンバ１について説明する。ベーパーチャンバ１は、作動液２が封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動液２が相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを効果的に冷却するようになっている。   Next, the vapor chamber 1 in the present embodiment will be described. The vapor chamber 1 has a sealed space 3 in which the hydraulic fluid 2 is enclosed, and the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 repeats the phase change to effectively cool the device D of the electronic device E described above. It is supposed to

ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。この場合、ベーパーチャンバ１は、平面外輪郭をなす４つの直線状の外縁１ａ、１ｂを有する。このうち２つの外縁１ａが、後述する第１方向Ｘに沿うように形成され、残りの２つの外縁１ｂが、後述する第２方向Ｙに沿うように形成される。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。また、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状など、任意の形状とすることができる。   The vapor chamber 1 is formed in a substantially thin flat plate shape. The planar shape of the vapor chamber 1 is arbitrary, but may be rectangular as shown in FIG. In this case, the vapor chamber 1 has four straight outer edges 1a, 1b which have an out-of-plane contour. Among these, two outer edges 1a are formed along a first direction X described later, and the remaining two outer edges 1b are formed along a second direction Y described later. The planar shape of the vapor chamber 1 may be, for example, a rectangle of 1 cm on one side and 3 cm on the other side, or a square of 15 cm on one side, and the planar dimension of the vapor chamber 1 is arbitrary. . Further, the planar shape of the vapor chamber 1 is not limited to the rectangular shape, and may be any shape such as a circular shape, an elliptical shape, an L shape, a T shape, and the like.

図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０（第１金属シートまたは第２金属シート、ベーパーチャンバ用金属シート）と、下側金属シート１０に積層された上側金属シート２０（第２金属シートまたは第１金属シート、ベーパーチャンバ用金属シート）と、を備えている。本実施の形態では、上側金属シート２０は、下側金属シート１０上に設けられている。下側金属シート１０は、上面１０ａ（第１面）と、上面１０ａとは反対側に設けられた下面１０ｂ（第２面）とを有している。上側金属シート２０は、下側金属シート１０の上面１０ａ（上側金属シート２０の側の面）に重ね合わされた下面２０ａ（下側金属シート１０の側の面）と、下面２０ａとは反対側に設けられた上面２０ｂと、を有している。下側金属シート１０の下面１０ｂ（とりわけ、後述する蒸発部１１の下面）に、冷却対象物であるデバイスＤが取り付けられる。   As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the vapor chamber 1 is formed of a lower metal sheet 10 (a first metal sheet or a second metal sheet, a metal sheet for vapor chamber) and an upper metal laminated on the lower metal sheet 10. And a sheet 20 (a second metal sheet or a first metal sheet, a metal sheet for a vapor chamber). In the present embodiment, the upper metal sheet 20 is provided on the lower metal sheet 10. The lower metal sheet 10 has an upper surface 10a (first surface) and a lower surface 10b (second surface) provided on the side opposite to the upper surface 10a. The upper metal sheet 20 is opposite to the lower surface 20a (surface at the side of the lower metal sheet 10) superimposed on the upper surface 10a (surface at the side of the upper metal sheet 20) of the lower metal sheet 10 and the lower surface 20a. And a top surface 20b provided. The device D, which is an object to be cooled, is attached to the lower surface 10 b of the lower metal sheet 10 (in particular, the lower surface of the evaporation unit 11 described later).

下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、作動液２が封入された密封空間３が形成されている。本実施の形態では、密封空間３は、主として作動液２の蒸気が通る蒸気流路部８０（後述する下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１）と、主として液状の作動液２が通る液流路部３０と、を有している。作動液２の例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等が挙げられる。   A sealed space 3 in which the hydraulic fluid 2 is sealed is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. In the present embodiment, the sealed space 3 mainly includes the vapor flow passage 80 (a lower steam flow passage recess 12 and an upper steam flow passage recess 21 described later) through which the steam of the working fluid 2 passes. And the liquid flow path 30 through which Examples of the hydraulic fluid 2 include pure water, ethanol, methanol, acetone and the like.

下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、後述する拡散接合によって接合されている。図２および図３に示す形態では、下側金属シート１０および上側金属シート２０のうち後述する注入部４を除く部分は、平面視でいずれも矩形状に形成されているが、これに限られることはない。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側金属シート１０の下面１０ｂ）、および受けた熱を放出する面（上側金属シート２０の上面２０ｂ）に直交する方向から見た状態であって、例えば、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態（図２参照）、または下方から見た状態に相当している。   The lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined by diffusion bonding described later. In the embodiment shown in FIGS. 2 and 3, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 except for the injection portion 4 to be described later are all formed in a rectangular shape in plan view, but is limited thereto There is nothing to do. Here, in plan view, the direction perpendicular to the surface (the lower surface 10b of the lower metal sheet 10) to which the vapor chamber 1 receives heat from the device D and the surface (the upper surface 20b of the upper metal sheet 20) to release the received heat. This corresponds to, for example, a state in which the vapor chamber 1 is viewed from above (see FIG. 2) or a state in which it is viewed from below.

なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、デバイスＤから熱を受ける金属シートを下側金属シート１０と称し、受けた熱を放出する金属シートを上側金属シート２０と称して、下側金属シート１０が下側に配置され、上側金属シート２０が上側に配置された状態で説明する。   When the vapor chamber 1 is installed in a mobile terminal, the vertical relationship between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be broken depending on the attitude of the mobile terminal. However, in the present embodiment, for convenience, the metal sheet that receives heat from the device D is referred to as the lower metal sheet 10, the metal sheet that releases the received heat is referred to as the upper metal sheet 20, and the lower metal sheet 10 is It will be described that the lower metal sheet 20 is disposed at the upper side while being disposed at the lower side.

図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、第１方向Ｘにおける一対の端部のうちの一方に、密封空間３に作動液２を注入する注入部４を更に備えている。この注入部４は、下側金属シート１０の端面（図２において外縁１ｂに相当する面）から側方に突出する下側注入突出部１６と、上側金属シート２０の端面（図２において外縁１ｂに相当する面）から側方に突出する上側注入突出部２５と、を有している。このうち下側注入突出部１６の上面（下側金属シート１０の上面１０ａに相当する面）に下側注入流路凹部１７（注入流路凹部）が形成されている（図４参照）。一方、上側注入突出部２５の下面（上側金属シート２０の下面２０ａに相当する面）には、凹部が形成されることなく、上側注入突出部２５は、加工前の金属材料シート（後述する金属材料シートＭ）と同一の厚みを有している（図５参照）。下側注入流路凹部１７の内端（密封空間３側の端部）は、下側蒸気流路凹部１２に連通しており、下側注入流路凹部１７の外端（密封空間３の反対側の端部）は、外方に向けて開口している。下側注入流路凹部１７および上側注入突出部２５は、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが接合された際、一体となって作動液２の注入流路を形成する。そして作動液２は、当該注入流路を通過して密封空間３に注入される。なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１の第１方向Ｘにおける一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、任意の位置に設けることができる。また、２つ以上の注入部４が設けられるようにしてもよい。   As shown in FIG. 2, the vapor chamber 1 further includes an injection unit 4 for injecting the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 at one of the pair of end portions in the first direction X. The injection portion 4 is provided with a lower injection protrusion 16 projecting laterally from an end surface of the lower metal sheet 10 (a surface corresponding to the outer edge 1b in FIG. 2) and an end surface of the upper metal sheet 20 (the outer edge 1b in FIG. 2). And an upper injection protrusion 25 protruding laterally from the surface corresponding to The lower injection channel recess 17 (injection channel recess) is formed on the upper surface (surface corresponding to the upper surface 10a of the lower metal sheet 10) of the lower injection protrusion 16 (see FIG. 4). On the other hand, no recess is formed on the lower surface of the upper injection protrusion 25 (the surface corresponding to the lower surface 20a of the upper metal sheet 20), and the upper injection protrusion 25 is a sheet of metal material before processing (a metal described later) It has the same thickness as the material sheet M) (see FIG. 5). The inner end (end on the sealing space 3 side) of the lower injection flow channel recess 17 communicates with the lower steam flow channel recess 12, and the outer end of the lower injection flow channel recess 17 (opposite to the sealing space 3) The side end is open to the outside. When the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined, the lower injection channel recess 17 and the upper injection projection 25 integrally form an injection channel for the working fluid 2. Then, the hydraulic fluid 2 is injected into the sealed space 3 through the injection flow path. In the present embodiment, an example is shown in which the injection unit 4 is provided at one end of the pair of ends in the first direction X of the vapor chamber 1, but the present invention is limited thereto. It can be provided at any position. Moreover, two or more injection parts 4 may be provided.

次に、下側金属シート１０の構成について説明する。図４に示すように、下側金属シート１０は、作動液２が蒸発して蒸気を生成する蒸発部１１と、上面１０ａに設けられ、平面視で矩形状に形成された下側蒸気流路凹部１２（第１蒸気流路部）と、を有している。このうち下側蒸気流路凹部１２は、上述した密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通るように構成されている。   Next, the configuration of the lower metal sheet 10 will be described. As shown in FIG. 4, the lower metal sheet 10 is provided on the evaporation portion 11 where the working fluid 2 evaporates to generate steam, and the upper surface 10 a, and is a lower steam flow path formed in a rectangular shape in plan view And a concave portion 12 (first vapor flow passage portion). Among these, the lower side steam passage concave portion 12 constitutes a part of the sealed space 3 described above, and is mainly configured to pass the vapor generated in the evaporation portion 11.

蒸発部１１は、この下側蒸気流路凹部１２内に配置されており、下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。なお、蒸発部１１は、下側金属シート１０の下面１０ｂに取り付けられるデバイスＤから熱を受けて、密封空間３内の作動液２が蒸発する部分である。このため、蒸発部１１という用語は、デバイスＤに重なっている部分に限られる概念ではなく、デバイスＤに重なっていなくても作動液２が蒸発可能な部分をも含む概念として用いている。ここで蒸発部１１は、下側金属シート１０の任意の場所に設けることができるが、図２および図４においては、下側金属シート１０の中央部に設けられている例が示されている。この場合、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢によらずに、ベーパーチャンバ１の動作の安定化を図ることができる。   The evaporation portion 11 is disposed in the lower steam flow passage recess 12, and the vapor in the lower steam flow passage recess 12 diffuses in the direction away from the evaporation portion 11, and most of the vapor is relatively It is transported towards the lower temperature edge. In addition, the evaporation part 11 is a part which receives the heat from the device D attached to the lower surface 10b of the lower side metal sheet 10, and the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 evaporates. For this reason, the term evaporation unit 11 is not limited to the portion overlapping the device D, and is used as a concept including the portion where the hydraulic fluid 2 can evaporate even if the portion does not overlap the device D. Here, although the evaporation part 11 can be provided in the arbitrary places of the lower side metal sheet 10, in FIG.2 and FIG.4, the example provided in the center part of the lower side metal sheet 10 is shown. . In this case, the operation of the vapor chamber 1 can be stabilized regardless of the attitude of the mobile terminal in which the vapor chamber 1 is installed.

本実施の形態では、図３および図４に示すように、下側金属シート１０の下側蒸気流路凹部１２内に、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａ（後述）から上方（底面１２ａに垂直な方向）に突出する複数の下側流路壁部１３（第１流路突出部）が設けられている。この場合、下側流路壁部１３は底面１２ａに垂直な方向に突出しているが、これに限らず、底面１２ａに対して垂直でない方向に突出していてもよい。本実施の形態では、下側流路壁部１３が、ベーパーチャンバ１の第１方向Ｘ（長手方向、図４における左右方向）に沿って細長状に延びている例が示されている。この下側流路壁部１３は、後述する上側流路壁部２２の下面２２ａに当接する上面１３ａ（当接面、突出端面）を含んでいる。この上面１３ａは、後述するエッチング工程によってエッチングされない面であり、下側金属シート１０の上面１０ａと同一平面上に形成されている。また、各下側流路壁部１３は等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 3 and FIG. 4, from the bottom surface 12 a (described later) of the lower steam channel recess 12 in the lower steam channel recess 12 of the lower metal sheet 10 (bottom surface 12 a Lower channel wall portions 13 (first channel projecting portions) projecting in a direction perpendicular to In this case, the lower flow passage wall 13 protrudes in the direction perpendicular to the bottom surface 12a, but is not limited to this, and may protrude in a direction not perpendicular to the bottom surface 12a. In the present embodiment, an example is shown in which the lower flow path wall portion 13 extends in a slender shape along the first direction X (longitudinal direction, left and right direction in FIG. 4) of the vapor chamber 1. The lower flow passage wall portion 13 includes an upper surface 13 a (a contact surface, a protruding end surface) which is in contact with a lower surface 22 a of an upper flow passage wall portion 22 described later. The upper surface 13 a is a surface which is not etched by an etching process described later, and is formed on the same plane as the upper surface 10 a of the lower metal sheet 10. Moreover, each lower side flow path wall part 13 is mutually spaced apart at equal intervals, and is mutually arrange | positioned in parallel.

図３および図４に示すように、下側蒸気流路凹部１２は、下側流路壁部１３によって区画された複数の下側蒸気通路８１（第１蒸気通路）を含んでいる。下側蒸気通路８１は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各下側蒸気通路８１の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる下側連絡蒸気通路８２に連通しており、各下側蒸気通路８１が、下側連絡蒸気通路８２を介して連通している。このようにして、各下側流路壁部１３の周囲（下側蒸気通路８１および下側連絡蒸気通路８２）を作動液２の蒸気が流れて、下側蒸気流路凹部１２の周縁部に向かって蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、図３においては、下側蒸気流路凹部１２の下側蒸気通路８１の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、下側蒸気通路８１の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。下側連絡蒸気通路８２も同様である。下側蒸気通路８１の幅（第２方向Ｙの寸法）ｗ７は、後述する下側流路壁部１３同士の間隔に相当する。下側連絡蒸気通路８２の幅（第１方向Ｘの寸法）も同様である。   As shown in FIGS. 3 and 4, the lower steam channel recess 12 includes a plurality of lower steam channels 81 (first steam channels) partitioned by the lower channel wall 13. The lower steam passages 81 extend in a slender shape along the first direction X, and are arranged parallel to one another. Both ends of each lower steam passage 81 are in communication with a lower communicating steam passage 82 elongated in the second direction Y, and each lower steam passage 81 passes through the lower communicating steam passage 82. Communicate with each other. In this manner, the steam of the hydraulic fluid 2 flows around the lower flow passage walls 13 (the lower steam passage 81 and the lower communication steam passage 82), and the peripheral portion of the lower steam flow passage recess 12 The steam is configured to be transported toward the side to prevent the flow of the steam from being obstructed. In FIG. 3, the shape of the cross section (the cross section in the second direction Y) of the lower steam passage 81 of the lower steam passage concave portion 12 is rectangular. However, the present invention is not limited to this, and the cross-sectional shape of the lower steam passage 81 may be, for example, a curved shape, a semicircular shape, or a V shape, and the vapor of the hydraulic fluid 2 may be diffused. It is optional if possible. The lower communication steam passage 82 is also the same. The width (dimension in the second direction Y) w7 of the lower steam passage 81 corresponds to the distance between the lower flow passage wall portions 13 described later. The width (the dimension in the first direction X) of the lower communication steam passage 82 is also the same.

下側流路壁部１３は、上側金属シート２０の対応する上側流路壁部２２（後述）に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。下側蒸気通路８１は、対応する上側蒸気通路８３（後述）に平面視で重なるように形成されている。同様に、下側連絡蒸気通路８２は、対応する上側連絡蒸気通路８４（後述）に平面視で重なるように形成されている。   The lower flow path wall portion 13 is disposed to overlap with the corresponding upper flow path wall portion 22 (described later) of the upper metal sheet 20 in plan view, and the mechanical strength of the vapor chamber 1 is improved. . The lower steam passage 81 is formed to overlap the corresponding upper steam passage 83 (described later) in plan view. Similarly, the lower communication steam passage 82 is formed to overlap the corresponding upper communication steam passage 84 (described later) in plan view.

下側流路壁部１３の幅ｗ０は、例えば、０．０５ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは０．０５ｍｍ〜２．０ｍｍであり、下側蒸気流路凹部１２の下側蒸気通路８１の幅ｗ７（すなわち互いに隣り合う下側流路壁部１３同士の間隔）は、０．０５ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは０．０５ｍｍ〜２．０ｍｍである。ここで、幅ｗ０及びｗ７は、下側流路壁部１３の第２方向Ｙにおける下側流路壁部１３及び下側蒸気流路凹部１２の寸法であって、下側金属シート１０の上面１０ａにおける寸法をそれぞれ意味しており、例えば、図４における上下方向の寸法に相当する。また、下側流路壁部１３の高さ（言い換えると、下側蒸気流路凹部１２の最大深さ）ｈ０（図３参照）は、下側金属シート１０の厚さＴ１より少なくとも１０μｍ以上小さいことが好ましい。Ｔ１からｈ０を引いた残りを１０μｍ以上にすると、下側蒸気流路凹部１２が強度不足により破損することを防止できる。ベーパーチャンバ１の厚さは、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍとしてもよく、下側金属シート１０の厚さＴ１および上側金属シート２０の厚さＴ２は等しくてもよい。例えば、ベーパーチャンバ１の厚さが０．５ｍｍでＴ１とＴ２が同じ場合、ｈ０は２００μｍが好適である。   The width w0 of the lower flow passage wall portion 13 is, for example, 0.05 mm to 30 mm, preferably 0.05 mm to 2.0 mm, and the width w7 of the lower steam passage 81 of the lower steam flow passage recess 12 (i.e., The distance between adjacent lower flow path wall portions 13) is 0.05 mm to 30 mm, preferably 0.05 mm to 2.0 mm. Here, the widths w0 and w7 are the dimensions of the lower flow passage wall 13 and the lower steam flow passage recess 12 in the second direction Y of the lower flow passage wall 13, and the upper surface of the lower metal sheet 10 It respectively means the dimension in 10a, and corresponds to, for example, the dimension in the vertical direction in FIG. Further, the height (in other words, the maximum depth of the lower steam channel recess 12) h0 (see FIG. 3) of the lower channel wall 13 is at least 10 μm or more smaller than the thickness T1 of the lower metal sheet 10. Is preferred. When the remainder obtained by subtracting h0 from T1 is 10 μm or more, the lower steam flow passage concave portion 12 can be prevented from being damaged due to insufficient strength. The thickness of the vapor chamber 1 may be 0.1 mm to 2.0 mm, and the thickness T1 of the lower metal sheet 10 and the thickness T2 of the upper metal sheet 20 may be equal. For example, when the thickness of the vapor chamber 1 is 0.5 mm and T1 and T2 are the same, h0 is preferably 200 μm.

図３および図４に示すように、下側金属シート１０の周縁部には、下側周縁壁１４が設けられている。下側周縁壁１４は、密封空間３、とりわけ下側蒸気流路凹部１２を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で下側周縁壁１４の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための下側アライメント孔１５がそれぞれ設けられている。   As shown in FIGS. 3 and 4, a lower peripheral wall 14 is provided at the peripheral edge of the lower metal sheet 10. The lower peripheral wall 14 is formed to surround the sealed space 3, in particular, the lower steam channel recess 12, and defines the sealed space 3. Further, lower alignment holes 15 for positioning the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are provided at the four corners of the lower peripheral wall 14 in plan view.

上述した注入部４の下側注入突出部１６は、ベーパーチャンバ１の製造時に、密封空間３内を脱気したり、液状の作動液２を密封空間３に向けて注入したりする際に用いられる。下側注入突出部１６は、平面視で、下側金属シート１０の端面から外側に突出して形成されている。なお、下側注入突出部１６は、下側金属シート１０の幅方向（第２方向Ｙ）の中央部からずれた位置に形成されているが、これに限らず、下側金属シート１０の幅方向（第２方向Ｙ）の中央部に形成されていてもよい。   The lower injection protrusion 16 of the injection portion 4 described above is used when degassing the inside of the sealed space 3 or injecting the liquid hydraulic fluid 2 toward the sealed space 3 when the vapor chamber 1 is manufactured. Be The lower injection protrusion 16 is formed to protrude outward from the end face of the lower metal sheet 10 in plan view. In addition, although the lower side injection | pouring protrusion part 16 is formed in the position shifted from the center part of the width direction (2nd direction Y) of the lower side metal sheet 10, it is not restricted to this, The width of the lower side metal sheet 10 You may form in the center part of the direction (2nd direction Y).

下側注入突出部１６の上面には、下側金属シート１０の長手方向（第１方向Ｘ）に沿って延びる下側注入流路凹部１７が形成されている。下側注入流路凹部１７は、下側注入突出部１６の上面側からハーフエッチングにより形成された非貫通凹部として形成されている。下側注入流路凹部１７の外側端部（下側蒸気流路凹部１２の反対側の端部）には、密封空間３内を脱気したり、液状の作動液２を密封空間３内へ注入したりするための開口部１７ａが形成されている。この開口部１７ａは、下側注入流路凹部１７とベーパーチャンバ１の外部とを連通しており、外側（下側蒸気流路凹部１２の反対側）に向けて開放されている。   A lower injection passage recess 17 extending in the longitudinal direction (first direction X) of the lower metal sheet 10 is formed on the upper surface of the lower injection protrusion 16. The lower injection flow passage concave portion 17 is formed as a non-penetration concave portion formed by half etching from the upper surface side of the lower injection projection portion 16. At the outer end of the lower injection passage recess 17 (the end opposite to the lower steam passage recess 12), the inside of the sealed space 3 is degassed or the liquid hydraulic fluid 2 is introduced into the sealed space 3. An opening 17a for injection is formed. The opening 17 a communicates the lower injection flow passage concave portion 17 with the outside of the vapor chamber 1 and is opened outward (the opposite side of the lower steam flow passage concave portion 12).

下側注入流路凹部１７の幅方向（第２方向Ｙ）両側には、それぞれ土手部５１が形成されている。この土手部５１は、下側注入流路凹部１７の両側の壁部を構成する。土手部５１は、エッチングされない領域であり、その上面は下側金属シート１０の上面１０ａと同一平面上に形成されている。   A bank portion 51 is formed on both sides in the width direction (second direction Y) of the lower injection flow passage concave portion 17. The bank portion 51 constitutes wall portions on both sides of the lower injection passage recess 17. The bank portion 51 is a region which is not etched, and the upper surface thereof is formed on the same plane as the upper surface 10 a of the lower metal sheet 10.

下側注入突出部１６の長さ（第１方向Ｘ距離）Ｌ１は、例えば５ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは５ｍｍ〜２０ｍｍとしてもよく、下側注入突出部１６の幅（第２方向Ｙ距離）ｗ８は、例えば４ｍｍ〜１５ｍｍ、好ましくは４ｍｍ〜１０ｍｍとしてもよい。また、下側注入流路凹部１７の幅ｗ９は、例えば１ｍｍ〜１０ｍｍ、好ましくは１ｍｍ〜６ｍｍである。なお、幅ｗ９は、第２方向Ｙにおける下側注入流路凹部１７の寸法を意味しており、例えば、図４における上下方向の寸法に相当する。Ｌ１を５ｍｍ以上とすることにより、密封空間３の真空引き時に作業性が向上し、３０ｍｍ以下とすることにより、真空引きなどの作業時に変形などの不具合が出にくくなる。また、ｗ８を４ｍｍ以上とすることにより、下側注入流路凹部１７の幅ｗ９を確保しながら接合に十分な土手部５１の幅を得ることができ、１５ｍｍ以下とすることにより、真空引きなどの作業がしやすくなる。ｗ９を１ｍｍ以上とすることにより、注入流路の断面積が広くなり脱気作業や作動液２の注入作業を効率良く迅速に行うことでき、１０ｍｍ以下とすることにより、カシメ後のリークが生じにくくなる。   The length (first direction X distance) L1 of the lower injection protrusion 16 may be, for example, 5 mm to 30 mm, preferably 5 mm to 20 mm, and the width (second direction Y distance) w8 of the lower injection protrusion 16 is For example, it may be 4 mm to 15 mm, preferably 4 mm to 10 mm. In addition, the width w9 of the lower injection channel recess 17 is, for example, 1 mm to 10 mm, preferably 1 mm to 6 mm. The width w9 means the dimension of the lower injection passage recess 17 in the second direction Y, and corresponds to, for example, the dimension in the vertical direction in FIG. By setting L1 to 5 mm or more, workability at the time of vacuum drawing of the sealed space 3 is improved, and by setting it to 30 mm or less, problems such as deformation at the time of work such as vacuum drawing become difficult to occur. Further, by setting w8 to 4 mm or more, it is possible to obtain the width of the embankment portion 51 sufficient for bonding while securing the width w9 of the lower injection channel recess 17, and by setting it to 15 mm or less It becomes easy to work with. By setting w9 to 1 mm or more, the cross-sectional area of the injection channel becomes wide, and degassing operation and injection operation of hydraulic fluid 2 can be performed efficiently and rapidly, and by 10 mm or less, leak after caulking occurs. It becomes difficult.

下側注入流路凹部１７の幅ｗ９は、上述した下側蒸気通路８１の幅ｗ７よりも広くなっていてもよい。この場合、例えば、幅ｗ７は、０．０５ｍｍ〜２．０ｍｍ、幅ｗ９は、1ｍｍ〜１０ｍｍである。また、下側注入流路凹部１７の幅ｗ９は、下側蒸気通路８１の幅ｗ７の１．５倍以上となることが好ましい。より詳しくは、例えば、幅ｗ７が０．０５ｍｍである場合には幅ｗ９は１ｍｍ〜６ｍｍとしてもよく、好ましくは１ｍｍ〜３ｍｍである。また、例えば、幅ｗ７が２ｍｍである場合には、幅ｗ９は３．５ｍｍ〜１０ｍｍとしてもよく、好ましくは３．５ｍｍ〜６ｍｍである。このように、下側注入流路凹部１７の幅ｗ９を下側蒸気通路８１の幅ｗ７よりも広くすることにより、密封空間３からの脱気や密封空間３への作動液２の注入を迅速に行うことができる。   The width w9 of the lower injection passage recess 17 may be wider than the width w7 of the lower steam passage 81 described above. In this case, for example, the width w7 is 0.05 mm to 2.0 mm, and the width w9 is 1 mm to 10 mm. Further, it is preferable that the width w 9 of the lower injection flow passage concave portion 17 be 1.5 or more times the width w 7 of the lower steam passage 81. More specifically, for example, when the width w7 is 0.05 mm, the width w9 may be 1 mm to 6 mm, preferably 1 mm to 3 mm. Also, for example, when the width w7 is 2 mm, the width w9 may be 3.5 mm to 10 mm, preferably 3.5 mm to 6 mm. As described above, by making the width w9 of the lower injection passage recess 17 wider than the width w7 of the lower steam passage 81, degassing from the sealed space 3 and injection of the working fluid 2 into the sealed space 3 can be performed quickly. Can be done.

なお、下側注入流路凹部１７の幅ｗ９とは、下側注入流路凹部１７のうち最も幅の広い部分における幅をいい、例えば、両方の土手部５１間の最大距離をいう。同様に、下側蒸気通路８１の幅ｗ７とは、下側蒸気流路凹部１２のうち最も幅の広い部分における幅をいう。   The width w9 of the lower injection passage recess 17 is the width of the widest portion of the lower injection passage recess 17, and for example, the maximum distance between the two bank portions 51. Similarly, the width w 7 of the lower steam passage 81 refers to the width of the widest portion of the lower steam passage recess 12.

次に、図６および図７を参照して、下側注入流路凹部１７の構成について更に説明する。図６に示すように、下側注入流路凹部１７には、開口部１７ａから密封空間３へ向けて長手方向に沿って、入口領域５２と、中間領域５３と、カシメ領域５４とが形成されている。   Next, with reference to FIG. 6 and FIG. 7, the configuration of the lower injection passage recess 17 will be further described. As shown in FIG. 6, in the lower injection channel recess 17, an inlet region 52, an intermediate region 53, and a crimp region 54 are formed along the longitudinal direction from the opening 17 a toward the sealed space 3. ing.

このうち入口領域５２は、開口部１７ａから液状の作動液２が流し込まれる領域であり、開口部１７ａに直接連通するとともに、凹凸が形成されない略平坦な底面１７ｂを有している。   Among these, the inlet region 52 is a region into which the liquid working fluid 2 is poured from the opening 17a, and directly communicates with the opening 17a, and has a substantially flat bottom surface 17b where no unevenness is formed.

中間領域５３は、入口領域５２とカシメ領域５４との間に位置している。この中間領域５３において、下側注入流路凹部１７には複数の支柱５５が突設されている。各支柱５５は、底面１７ｂから上方に向けて突設されている。各支柱５５は、エッチングされない領域であり、その上面は下側金属シート１０の上面１０ａと同一平面上に形成されている。各支柱５５の上面には、それぞれ上側金属シート２０の下面２０ａが接触する（図７参照）。この複数の支柱５５は、下側注入流路凹部１７の強度を向上させ、下側注入突出部１６が変形し、下側注入流路凹部１７の内部が閉塞してしまうことを抑える役割を果たす。このように複数の支柱５５を設けたことにより、下側注入流路凹部１７の内部空間を確保し、密封空間３の脱気や密封空間３への作動液２の注入をより一層確実に行うことができる。   The middle area 53 is located between the inlet area 52 and the caulking area 54. In the intermediate region 53, a plurality of support posts 55 are provided in the lower injection channel recess 17 so as to protrude. Each support column 55 protrudes upward from the bottom surface 17 b. Each support 55 is an area which is not etched, and the upper surface thereof is formed on the same plane as the upper surface 10 a of the lower metal sheet 10. The lower surface 20a of the upper metal sheet 20 is in contact with the upper surface of each support 55 (see FIG. 7). The plurality of columns 55 serve to improve the strength of the lower injection flow passage recess 17 and to suppress the inside of the lower injection flow passage recess 17 from being clogged by the lower injection protrusion 16 being deformed. . By providing the plurality of columns 55 in this manner, the internal space of the lower injection channel recess 17 is secured, and the degassing of the sealed space 3 and the injection of the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 are performed more reliably. be able to.

支柱５５は、下側注入流路凹部１７の長手方向（第１方向Ｘ）及び幅方向（第２方向Ｙ）のそれぞれに沿って複数本（本実施の形態では、第１方向Ｘに４本、第２方向Ｙに２本の計８本）形成されている。各支柱５５は、平面視で矩形形状となっているが、これに限らず、平面視で円形状、楕円形状、多角形形状としてもよい。また、複数の支柱５５の形状は互いに同一であるが、複数の支柱５５の形状が互いに異なっていてもよい。各支柱５５の幅ｗ１０は、例えば０．１ｍｍ〜２ｍｍとしてもよい。さらに、支柱５５同士の間隔ｐ１は、例えば０．１ｍｍ〜２ｍｍとしてもよく、支柱５５と土手部５１との間隔ｐ２は、例えば０．１ｍｍ〜２ｍｍとしてもよい。ｗ１０を０．１ｍｍ以上とすることにより、支柱としての強度が向上し、２ｍｍ以下とすることにより、脱気作業や作動液２の注入作業を効率良く迅速に行うことができる。ｐ１やｐ２を０．１ｍｍ以上とすることにより、脱気作業や作動液２の注入作業を効率良く迅速に行うことができ、２ｍｍ以下とすることにより、接合時に上側注入突出部２５に変形が生じにくく、注入流路の断面積が狭くなることを抑制することができる。   A plurality of support columns 55 are provided in the longitudinal direction (first direction X) and the width direction (second direction Y) of the lower injection channel recess 17 (four in the first direction X in the present embodiment). , And a total of eight in the second direction Y are formed. Each support column 55 has a rectangular shape in plan view, but is not limited to this, and may have a circular shape, an elliptical shape, or a polygonal shape in plan view. Further, although the shapes of the plurality of columns 55 are the same as each other, the shapes of the plurality of columns 55 may be different from each other. The width w10 of each support 55 may be, for example, 0.1 mm to 2 mm. Furthermore, an interval p1 between the columns 55 may be, for example, 0.1 mm to 2 mm, and an interval p2 between the columns 55 and the bank portion 51 may be, for example, 0.1 mm to 2 mm. By setting w 10 to 0.1 mm or more, the strength as a support is improved, and by setting it to 2 mm or less, the degassing operation and the injection operation of the hydraulic fluid 2 can be performed efficiently and rapidly. By setting p1 and p2 to be 0.1 mm or more, degassing operation and injection operation of hydraulic fluid 2 can be performed efficiently and rapidly, and by setting it to 2 mm or less, the upper injection protrusion 25 is deformed during bonding. It is hard to produce and it can control that the cross-sectional area of an injection channel becomes narrow.

カシメ領域５４は、密封空間３内に作動液２を注入した後、カシメ（押圧して塑性変形させること）により閉塞されて密閉される領域である。このカシメ領域５４は、下側注入流路凹部１７内で上方に向けて突設された複数の突起５６を有している。各突起５６は、エッチングされない領域であり、その上面は下側金属シート１０の上面１０ａと同一平面上に形成されている。各突起５６の上面には、それぞれ上側金属シート２０の下面２０ａが接触する（図７参照）。複数の突起５６は、カシメにより潰されることにより変形して下側注入流路凹部１７を閉塞する。このようにカシメ領域５４に複数の突起５６を設けたことにより、作動液２が注入された密封空間３の密封をより一層確実に行うことができる。   The caulking area 54 is an area that is sealed and sealed by caulking (pressing and plastically deforming) after the hydraulic fluid 2 is injected into the sealed space 3. The caulking area 54 has a plurality of projections 56 protruding upward in the lower injection channel recess 17. Each protrusion 56 is an area which is not etched, and the upper surface thereof is formed on the same plane as the upper surface 10 a of the lower metal sheet 10. The lower surface 20a of the upper metal sheet 20 is in contact with the upper surface of each protrusion 56 (see FIG. 7). The plurality of protrusions 56 are deformed by being crushed by caulking, and close the lower injection passage recess 17. By providing the plurality of projections 56 in the caulking area 54 as described above, the sealed space 3 into which the hydraulic fluid 2 is injected can be more reliably sealed.

複数の突起５６は、下側注入流路凹部１７の長手方向（第１方向Ｘ）及び幅方向（第２方向Ｙ）のそれぞれに複数本形成されている。各突起５６は、平面視で矩形形状となっているが、これに限らず、平面視で円形状、楕円形状、多角形形状としてもよい。また、各突起５６の幅ｗ１１は、例えば０．０１ｍｍ〜０．５ｍｍとしてもよく、突起５６同士の間隔ｐ３は、例えば０．０１ｍｍ〜０．５ｍｍとしてもよい。なお、各突起５６の幅ｗ１１は、各支柱５５の幅ｗ１０の幅よりも小さく、突起５６同士の間隔ｐ３は、支柱５５同士の間隔ｐ１よりも狭い。なお、上述したように下側注入流路凹部１７の幅ｗ９が、下側蒸気通路８１の幅ｗ７よりも十分に広く形成されているため、カシメ領域５４に複数の突起５６が存在することによって密封空間３内の脱気作業や密封空間３への作動液２の注入作業が阻害されることを防止できる。   A plurality of projections 56 are formed in the longitudinal direction (first direction X) and the width direction (second direction Y) of the lower injection channel recess 17 respectively. Each projection 56 has a rectangular shape in plan view, but the present invention is not limited to this, and may have a circular shape, an elliptical shape, or a polygonal shape in plan view. The width w11 of each protrusion 56 may be, for example, 0.01 mm to 0.5 mm, and the distance p3 between the protrusions 56 may be, for example, 0.01 mm to 0.5 mm. The width w11 of each protrusion 56 is smaller than the width w10 of each support 55, and the distance p3 between the protrusions 56 is smaller than the distance p1 between the support 55. As described above, since the width w9 of the lower injection passage recess 17 is formed sufficiently wider than the width w7 of the lower steam passage 81, the presence of the plurality of protrusions 56 in the caulking area 54 It is possible to prevent the deaeration work in the sealed space 3 and the operation of injecting the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 from being hindered.

図７に示すように、下側注入流路凹部１７の深さｄ１は、例えば４０μｍ〜３００μｍとしてもよい。この場合、下側注入流路凹部１７の深さｄ１は、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０よりも深くなっていてもよい。この場合、例えば、深さｈ０は１０μｍ〜２００μｍ、深さｄ１は４０μｍ〜３００μｍである。より詳しくは、例えば、深さｈ０が０．１ｍｍである場合には幅ｗ７は、０．３ｍｍ〜１．５ｍｍとしてもよく、好ましくは０．５ｍｍ〜１．２ｍｍである。また、このとき深さｄ１が０．１５ｍｍである場合には幅ｗ９は１．３ｍｍ〜１０ｍｍとしてもよく、好ましくは１．５ｍｍ〜６ｍｍである。このように、下側注入流路凹部１７の深さｄ１を、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０よりも深くすることにより、密封空間３から下側注入流路凹部１７への脱気や、下側注入流路凹部１７から密封空間３への作動液２の注入を迅速に行うことができる。なお、下側注入流路凹部１７の深さｄ１とは、下側注入流路凹部１７のうち最も深さの深い部分における深さをいい、下側金属シート１０の上面１０ａと下側注入流路凹部１７の底面１７ｂとの最大距離（Ｚ方向の距離）をいう。本実施の形態において、下側注入流路凹部１７の深さｄ１は、入口領域５２及び中間領域５３における下側注入流路凹部１７の深さに対応する。また、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０とは、下側蒸気流路凹部１２のうち最も深さの深い部分における深さをいう。   As shown in FIG. 7, the depth d1 of the lower injection channel recess 17 may be, for example, 40 μm to 300 μm. In this case, the depth d1 of the lower injection passage recess 17 may be deeper than the depth h0 of the lower steam passage recess 12. In this case, for example, the depth h0 is 10 μm to 200 μm, and the depth d1 is 40 μm to 300 μm. More specifically, for example, when the depth h0 is 0.1 mm, the width w7 may be 0.3 mm to 1.5 mm, preferably 0.5 mm to 1.2 mm. At this time, when the depth d1 is 0.15 mm, the width w9 may be 1.3 mm to 10 mm, preferably 1.5 mm to 6 mm. Thus, by setting the depth d1 of the lower injection flow passage recess 17 deeper than the depth h0 of the lower steam flow passage recess 12, degassing from the sealed space 3 to the lower injection flow passage recess 17 is performed. Alternatively, the hydraulic fluid 2 can be rapidly injected from the lower injection flow passage recess 17 into the sealed space 3. The depth d1 of the lower injection channel recess 17 means the depth at the deepest portion of the lower injection channel recess 17, and the upper surface 10a of the lower metal sheet 10 and the lower injection flow The maximum distance (the distance in the Z direction) to the bottom surface 17 b of the recess portion 17 is referred to. In the present embodiment, the depth d1 of the lower injection flow passage recess 17 corresponds to the depth of the lower injection flow passage recess 17 in the inlet region 52 and the middle region 53. Further, the depth h 0 of the lower steam passage recess 12 refers to the depth of the deepest portion of the lower steam passage recess 12.

図７に示すように、下側注入流路凹部１７の深さｄ１は、入口領域５２と中間領域５３とで互いに同一となっている。しかしながら、これに限らず、入口領域５２における下側注入流路凹部１７の深さが、中間領域５３における下側注入流路凹部１７の深さよりも深くてもよい。さらに、カシメ領域５４における下側注入流路凹部１７の深さｄ２は、入口領域５２及び中間領域５３における下側注入流路凹部１７の深さｄ１よりも浅い。これにより、複数の突起５６をカシメにより容易に潰すことができ、作動液２が注入された密封空間３をより一層確実に密封することができる。なお、ろう付け等、カシメ以外の手法を用いて注入流路を閉塞する場合、このようなカシメ領域５４を設けなくてもよい。   As shown in FIG. 7, the depth d1 of the lower injection passage recess 17 is the same in the inlet region 52 and the intermediate region 53. However, the depth of the lower injection passage recess 17 in the inlet region 52 may be deeper than the depth of the lower injection passage recess 17 in the middle region 53. Furthermore, the depth d 2 of the lower injection flow passage recess 17 in the crimped region 54 is smaller than the depth d 1 of the lower injection flow passage recess 17 in the inlet region 52 and the middle region 53. Thereby, the plurality of protrusions 56 can be easily crushed by caulking, and the sealed space 3 into which the hydraulic fluid 2 is injected can be more reliably sealed. In the case where the injection flow channel is closed using a technique other than caulking such as brazing, such caulking area 54 may not be provided.

次に、上側金属シート２０の構成について説明する。本実施の形態では、上側金属シート２０は、後述する液流路部３０が設けられておらず、上側注入突出部２５の構成が異なる点で、下側金属シート１０と相違している。以下に、上側金属シート２０の構成についてより詳細に説明する。   Next, the configuration of the upper metal sheet 20 will be described. In the present embodiment, the upper metal sheet 20 is different from the lower metal sheet 10 in that the liquid channel portion 30 described later is not provided, and the configuration of the upper injection protrusion 25 is different. Hereinafter, the configuration of the upper metal sheet 20 will be described in more detail.

図３および図５に示すように、上側金属シート２０は、下面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路部）を有している。この上側蒸気流路凹部２１は、密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気を拡散して冷却するように構成されている。より具体的には、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。また、図３に示すように、上側金属シート２０の上面２０ｂには、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈａが配置される。これにより、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、上側金属シート２０およびハウジング部材Ｈａを介して外気によって冷却される。   As shown in FIGS. 3 and 5, the upper metal sheet 20 has an upper steam channel recess 21 (a second steam channel portion) provided in the lower surface 20 a. The upper steam flow passage concave portion 21 constitutes a part of the sealed space 3 and is mainly configured to diffuse and cool the vapor generated in the evaporation portion 11. More specifically, the vapor in the upper steam passage recess 21 diffuses in the direction away from the evaporation portion 11, and much of the vapor is transported toward the relatively low temperature peripheral portion. In addition, as shown in FIG. 3, on the upper surface 20 b of the upper metal sheet 20, a housing member Ha which constitutes a part of a housing such as a mobile terminal is disposed. As a result, the steam in the upper steam passage recess 21 is cooled by the outside air through the upper metal sheet 20 and the housing member Ha.

本実施の形態では、図２、図３および図５に示すように、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１内に、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａから下方（底面２１ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路壁部２２（第２流路壁部、第２流路突出部）が設けられている。本実施の形態では、上側流路壁部２２がベーパーチャンバ１の第１方向Ｘ（図５における左右方向）に沿って細長状に延びている例が示されている。この上側流路壁部２２は、下側金属シート１０の上面１０ａ（より具体的には、上述した下側流路壁部１３の上面１３ａ）に当接する平坦状の下面２２ａ（当接面、突出端面）を含んでいる。また、各上側流路壁部２２は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 2, FIG. 3 and FIG. 5, in the upper steam channel recess 21 of the upper metal sheet 20, the lower side from the bottom surface 21a of the upper steam channel recess 21 (vertical to the bottom surface 21a A plurality of upper flow path wall portions 22 (second flow path wall portions, second flow path protrusion portions) projecting in the direction are provided. In the present embodiment, an example is shown in which the upper channel wall portion 22 extends in a slender shape along the first direction X (the left and right direction in FIG. 5) of the vapor chamber 1. The upper flow passage wall portion 22 has a flat lower surface 22a (contact surface, or the like) that contacts the upper surface 10a of the lower metal sheet 10 (more specifically, the upper surface 13a of the lower flow passage wall portion 13 described above). (Including protruding end face). Moreover, each upper flow path wall part 22 is mutually spaced apart at equal intervals, and is mutually arrange | positioned in parallel.

図３および図５に示すように、上側蒸気流路凹部２１は、上側流路壁部２２によって区画された複数の上側蒸気通路８３（第２蒸気通路）を含んでいる。上側蒸気通路８３は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各上側蒸気通路８３の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる上側連絡蒸気通路８４に連通しており、各上側蒸気通路８３が、上側連絡蒸気通路８４を介して連通している。このようにして、各上側流路壁部２２の周囲（上側蒸気通路８３および上側連絡蒸気通路８４）を作動液２の蒸気が流れて、上側蒸気流路凹部２１の周縁部に向かって蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、図３においては、上側蒸気流路凹部２１の上側蒸気通路８３の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、上側蒸気通路８３の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。上側連絡蒸気通路８４の横断面形状も同様である。上側蒸気通路８３の幅（第２方向Ｙの寸法）および上側連絡蒸気通路８４の幅は、図３等に示すように、下側蒸気通路８１の幅および下側連絡蒸気通路８２の幅と同様であってもよいが、異なっていてもよい。   As shown in FIGS. 3 and 5, the upper steam channel recess 21 includes a plurality of upper steam channels 83 (second steam channels) partitioned by the upper channel wall 22. The upper steam passages 83 extend in a elongated shape along the first direction X, and are arranged parallel to one another. Both ends of each upper steam passage 83 are in communication with an upper communication steam passage 84 elongated along the second direction Y, and each upper steam passage 83 is in communication via the upper communication steam passage 84. There is. In this manner, the steam of the hydraulic fluid 2 flows around the respective upper flow path wall portions 22 (upper steam path 83 and upper communication steam path 84), and the steam flows toward the peripheral portion of the upper steam flow path recess 21. It is configured to be transported and prevents the flow of steam from being impeded. In FIG. 3, the shape of the cross section (the cross section in the second direction Y) of the upper steam passage 83 of the upper steam passage recess 21 is rectangular. However, the present invention is not limited to this, and the cross-sectional shape of the upper steam passage 83 may be, for example, a curved shape, a semicircular shape, or a V shape, as long as the vapor of the hydraulic fluid 2 can be diffused. It is optional. The cross-sectional shape of the upper connecting steam passage 84 is also the same. The width of the upper steam passage 83 (the dimension in the second direction Y) and the width of the upper communication steam passage 84 are the same as the width of the lower steam passage 81 and the width of the lower communication steam passage 82, as shown in FIG. It may be, but may be different.

上側流路壁部２２は、下側金属シート１０の対応する下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。また、上側蒸気通路８３は、対応する下側蒸気通路８１に平面視で重なるように形成されている。同様に、上側連絡蒸気通路８４は、対応する下側連絡蒸気通路８２に平面視で重なるように形成されている。   The upper flow passage wall portion 22 is disposed to overlap the corresponding lower flow passage wall portion 13 of the lower metal sheet 10 in plan view, and the mechanical strength of the vapor chamber 1 is improved. Further, the upper steam passage 83 is formed to overlap the corresponding lower steam passage 81 in a plan view. Similarly, the upper communication steam passage 84 is formed to overlap the corresponding lower communication steam passage 82 in plan view.

なお、上側流路壁部２２の幅、高さは、それぞれ上述した下側流路壁部１３の幅ｗ０、高さｈ０と同一であることが好適である。ここで、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａは、図３に示すような下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下配置関係では、天井面と言うこともできるが、上側蒸気流路凹部２１の奥側の面に相当するため、本明細書では、底面２１ａと記す。   Preferably, the width and height of the upper flow path wall 22 are the same as the width w0 and height h0 of the lower flow path wall 13 described above. Here, the bottom surface 21a of the upper steam passage recess 21 may be referred to as a ceiling surface in the vertical arrangement relation between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 as shown in FIG. Since it corresponds to the surface on the back side of the recess 21, it is referred to as the bottom surface 21 a in the present specification.

図３および図５に示すように、上側金属シート２０の周縁部には、上側周縁壁２３が設けられている。上側周縁壁２３は、密封空間３、とりわけ上側蒸気流路凹部２１を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で上側周縁壁２３の四隅に、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めをするための上側アライメント孔２４がそれぞれ設けられている。すなわち、各上側アライメント孔２４は、後述する仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５に重なるように配置され、下側金属シート１０と上側金属シート２０との位置決めが可能に構成されている。   As shown in FIGS. 3 and 5, an upper peripheral wall 23 is provided at the peripheral edge of the upper metal sheet 20. The upper peripheral wall 23 is formed so as to surround the sealed space 3, in particular, the upper steam channel recess 21, and defines the sealed space 3. Further, upper alignment holes 24 for positioning the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are provided at the four corners of the upper peripheral wall 23 in plan view. That is, each upper alignment hole 24 is disposed so as to overlap each lower alignment hole 15 described above at the time of temporary fixing described later, and the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 can be positioned. .

上側注入突出部２５は、下側注入突出部１６の下側注入流路凹部１７を上方から覆うことにより、液状の作動液２を密封空間３に向けて注入可能に構成されている。この上側注入突出部２５は、平面視で、上側金属シート２０の端面から外側突出して形成されている。なお、上側注入突出部２５は、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを互いに接合した際、下側注入突出部１６と重なり合う位置に形成されている。   The upper injection protrusion 25 is configured to be capable of injecting the liquid working fluid 2 toward the sealed space 3 by covering the lower injection passage recess 17 of the lower injection protrusion 16 from above. The upper injection protrusion 25 is formed to project outward from the end face of the upper metal sheet 20 in plan view. The upper injection protrusion 25 is formed at a position overlapping the lower injection protrusion 16 when the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined to each other.

上側注入突出部２５の下面には、注入流路凹部が形成されていない。このため上側注入突出部２５は、全体として凹凸のない平坦な形状で形成されている。すなわち上側注入突出部２５は、その全体が後述するエッチング工程によってエッチングされない領域であり、上側注入突出部２５の下面は、上側金属シート２０の下面２０ａと同一平面上に形成されている。   The lower surface of the upper injection protrusion 25 is not formed with the injection passage recess. For this reason, the upper injection protrusion 25 is formed in a flat shape without unevenness as a whole. That is, the upper injection protrusion 25 is a region not entirely etched by the etching process described later, and the lower surface of the upper injection protrusion 25 is formed on the same plane as the lower surface 20 a of the upper metal sheet 20.

なお、これに限らず、上側注入突出部２５の下面に、例えば、下側注入流路凹部１７の形状と鏡面対称となる形状の上側注入流路凹部（注入流路凹部）が形成されていてもよい。あるいは、上側注入突出部２５の下面に上側注入流路凹部（注入流路凹部）が形成され、下側注入突出部１６には下側注入流路凹部１７が形成されていなくてもよい。   Not limited to this, for example, an upper injection channel recess (injection channel recess) having a shape that is mirror-symmetrical to the shape of the lower injection channel recess 17 is formed on the lower surface of the upper injection protrusion 25. It is also good. Alternatively, the upper injection channel recess (injection channel recess) may be formed on the lower surface of the upper injection protrusion 25, and the lower injection channel recess 17 may not be formed on the lower injection protrusion 16.

このような下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、好適には拡散接合で、互いに恒久的に接合されている。より具体的には、図３に示すように、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと、上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが当接し、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とが互いに接合されている。これにより、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、作動液２を密封した密封空間３が形成されている。また、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが当接し、各下側流路壁部１３と対応する上側流路壁部２２とが互いに接合されている。これにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。とりわけ、本実施の形態による下側流路壁部１３および上側流路壁部２２は等間隔に配置されているため、ベーパーチャンバ１の各位置における機械的強度を均等化させることができる。なお、下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側金属シート１０の上面１０ａと上側金属シート２０の下面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する用語として用いている。   The lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are permanently bonded to each other, preferably by diffusion bonding. More specifically, as shown in FIG. 3, the upper surface 14 a of the lower peripheral wall 14 of the lower metal sheet 10 abuts on the lower surface 23 a of the upper peripheral wall 23 of the upper metal sheet 20, and the lower peripheral wall 14 and the upper peripheral wall 23 are joined together. Thereby, a sealed space 3 in which the hydraulic fluid 2 is sealed is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. Further, the upper surface 13 a of the lower flow passage wall 13 of the lower metal sheet 10 abuts on the lower surface 22 a of the upper flow passage wall 22 of the upper metal sheet 20 and corresponds to each lower flow passage wall 13 The upper flow passage wall 22 is joined to each other. Thereby, the mechanical strength of the vapor chamber 1 is improved. In particular, since the lower channel wall 13 and the upper channel wall 22 according to the present embodiment are arranged at equal intervals, the mechanical strength at each position of the vapor chamber 1 can be equalized. The lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be joined not by diffusion bonding but by other methods such as brazing as long as they can be permanently joined. The term "permanently bonded" is not strictly limited, and the upper surface 10a of the lower metal sheet 10 is able to maintain the sealing performance of the sealed space 3 when the vapor chamber 1 is operated. It is used as a term which means that it is joined to such an extent that joining with the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 can be maintained.

次に、液流路部３０の構成について、図８および図９を用いてより詳細に説明する。図８は、液流路部３０の拡大平面図であり、図９は、液流路部３０の断面図である。   Next, the configuration of the liquid flow path unit 30 will be described in more detail using FIGS. 8 and 9. FIG. 8 is an enlarged plan view of the liquid flow passage 30, and FIG. 9 is a cross-sectional view of the liquid flow passage 30. As shown in FIG.

上述したように、下側金属シート１０の上面１０ａ（より具体的には、各下側流路壁部１３の上面１３ａ）に、液状の作動液２が通る液流路部３０が設けられている。液流路部３０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通している。なお、液流路部３０は、全ての下側流路壁部１３に設けられていることには限られない。例えば、液流路部３０が設けられていない下側流路壁部１３が存在してもよい。   As described above, the upper surface 10a of the lower metal sheet 10 (more specifically, the upper surface 13a of each lower channel wall 13) is provided with the liquid channel portion 30 through which the liquid hydraulic fluid 2 passes. There is. The liquid flow passage portion 30 constitutes a part of the sealed space 3 described above, and is in communication with the lower steam flow passage concave portion 12 and the upper steam flow passage concave portion 21. In addition, the liquid flow path part 30 is not restricted to being provided in all the lower side flow path wall parts 13. FIG. For example, the lower flow path wall portion 13 in which the liquid flow path portion 30 is not provided may be present.

図８に示すように、液流路部３０は、互いに平行に延びる複数の主流溝３１と、互いに隣接する主流溝３１同士を連絡する連絡溝３２とを有している。このうち主流溝３１は、作動液２の主流方向（この場合は第１方向Ｘ）に沿って延びている。また、連絡溝３２は、作動液２の主流方向に直交する方向（この場合は第２方向Ｙ）に沿って延びており、互いに隣接する主流溝３１同士の間で作動液２が往来可能となっている。主流溝３１および連絡溝３２にはそれぞれ、液状の作動液２が通る。主流溝３１および連絡溝３２は、主として、蒸発部１１で生成された蒸気から凝縮した作動液２を蒸発部１１に向けて輸送する役割を果たす。   As shown in FIG. 8, the liquid flow path portion 30 has a plurality of main flow grooves 31 extending in parallel to one another, and a communication groove 32 connecting the main flow grooves 31 adjacent to each other. Among these, the main flow groove 31 extends along the main flow direction of the hydraulic fluid 2 (in this case, the first direction X). Further, the communication groove 32 extends along a direction (second direction Y in this case) orthogonal to the main flow direction of the hydraulic fluid 2, and the hydraulic fluid 2 can be transported between the main flow grooves 31 adjacent to each other. It has become. A liquid hydraulic fluid 2 passes through the main flow groove 31 and the communication groove 32, respectively. The main flow groove 31 and the connection groove 32 mainly serve to transport the working fluid 2 condensed from the vapor generated in the evaporation unit 11 toward the evaporation unit 11.

また、液流路部３０には、複数の凸部３３が平面視で千鳥状に配置されている。各凸部３３は、それぞれ主流溝３１および連絡溝３２に取り囲まれるように形成されている。図８においては、複数の凸部３３は互いに同一形状を有し、各凸部３３は、平面視で第１方向Ｘが長手方向となるように矩形状に形成されている。本実施の形態において、作動液２の主流方向（この場合は第１方向Ｘ）に沿う凸部３３の配列ピッチは一定となっている。すなわち複数の凸部３３は、第１方向Ｘに互いに一定間隔で配置され、第２方向Ｙに隣接する凸部３３に対しては、凸部３３の略半分の長さだけ第１方向Ｘにずらして配置されている。   Further, in the liquid flow path portion 30, the plurality of convex portions 33 are disposed in a zigzag shape in plan view. Each convex portion 33 is formed to be surrounded by the main flow groove 31 and the connection groove 32, respectively. In FIG. 8, the plurality of convex portions 33 have the same shape, and each convex portion 33 is formed in a rectangular shape so that the first direction X is a longitudinal direction in a plan view. In the present embodiment, the arrangement pitch of the projections 33 along the main flow direction (the first direction X in this case) of the hydraulic fluid 2 is constant. That is, the plurality of convex portions 33 are arranged at regular intervals in the first direction X, and for the convex portions 33 adjacent in the second direction Y, the length of the convex portions 33 is approximately half the length in the first direction X It is arranged in a staggered manner.

主流溝３１の幅（第２方向Ｙの寸法）ｗ１は、凸部３３の幅（第２方向Ｙの寸法）ｗ２よりも大きいことが好適である。この場合、下側流路壁部１３の上面１３ａ、下側周縁壁１４の上面１４ａおよび上側周縁壁２３の下面２３ａに占める主流溝３１の割合を大きくすることができる。このため、下側流路壁部１３における主流溝３１の断面積を増大させて、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。例えば、主流溝３１の幅ｗ１を２０μｍ〜２００μｍ、凸部３３の幅ｗ２を２０μｍ〜１８０μｍとしてもよい。   The width (dimension in the second direction Y) w1 of the main flow groove 31 is preferably larger than the width (dimension in the second direction Y) w2 of the convex portion 33. In this case, the ratio of the mainstream groove 31 to the upper surface 13a of the lower flow passage wall 13, the upper surface 14a of the lower peripheral wall 14 and the lower surface 23a of the upper peripheral wall 23 can be increased. For this reason, the cross-sectional area of the mainstream groove 31 in the lower flow path wall part 13 can be increased, and the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 can be improved. For example, the width w1 of the main flow groove 31 may be 20 μm to 200 μm, and the width w2 of the convex portion 33 may be 20 μm to 180 μm.

主流溝３１の深さｈ１は、上述した下側流路壁部１３の高さｈ０（図３参照）よりも小さいことが好適である。この場合、主流溝３１の毛細管作用を高めることができる。例えば、主流溝３１の深さｈ１は、下側流路壁部１３の高さｈ０の半分程度が好ましく、５μｍ〜２００μｍとしてもよい。   The depth h1 of the main flow groove 31 is preferably smaller than the height h0 (see FIG. 3) of the lower flow path wall portion 13 described above. In this case, the capillary action of the mainstream groove 31 can be enhanced. For example, the depth h1 of the main flow groove 31 is preferably about half of the height h0 of the lower flow passage wall portion 13 and may be 5 μm to 200 μm.

また、連絡溝３２の幅（第１方向Ｘの寸法）ｗ３は、主流溝３１の幅ｗ１よりも小さいことが好適である。これにより、各主流溝３１において蒸発部１１に向かって液状の作動液２が輸送されている間、作動液２が連絡溝３２に流れることを抑制でき、作動液２の輸送機能を向上させることができる。一方、主流溝３１のいずれかにドライアウトが発生した場合には、隣の主流溝３１から対応する連絡溝３２を介して作動液２を移動させることができ、ドライアウトを迅速に解消して、作動液２の輸送機能を確保することができる。すなわち、連絡溝３２は、隣り合う主流溝３１同士を連通することができれば、主流溝３１の幅よりも小さくても、その機能を発揮することができる。このような連絡溝３２の幅ｗ３は、例えば１８０μｍとしてもよい。   In addition, it is preferable that the width (dimension in the first direction X) w3 of the connection groove 32 be smaller than the width w1 of the main flow groove 31. Thereby, while the working fluid 2 in liquid form is transported toward the evaporation portion 11 in each main flow groove 31, it is possible to suppress the flow of the working fluid 2 to the connection groove 32, and improve the transport function of the working fluid 2. Can. On the other hand, when dryout occurs in any of the main flow grooves 31, the hydraulic fluid 2 can be moved from the adjacent main flow grooves 31 through the corresponding communication grooves 32, and dryout is eliminated quickly. The transport function of the hydraulic fluid 2 can be secured. That is, the connection groove 32 can exhibit its function even if it is smaller than the width of the main flow groove 31 as long as the main flow grooves 31 adjacent to each other can be communicated with each other. The width w3 of such a communication groove 32 may be, for example, 180 μm.

連絡溝３２の深さ（図示せず）は、その幅ｗ３に応じて、主流溝３１の深さよりも浅くしてもよい。例えば、連絡溝３２の深さは、１０μｍ〜２００μｍとしてもよい。また、主流溝３１の横断面形状は、特に限られることはなく、例えば矩形状、Ｃ字状、半円状、半楕円状、湾曲状、Ｖ字状にすることができる。連絡溝３２の横断面形状も同様である。   The depth (not shown) of the connection groove 32 may be shallower than the depth of the main flow groove 31 according to the width w3. For example, the depth of the connection groove 32 may be 10 μm to 200 μm. Further, the cross-sectional shape of the main flow groove 31 is not particularly limited, and can be, for example, rectangular, C-shaped, semicircular, semi-elliptical, curved or V-shaped. The cross-sectional shape of the connection groove 32 is also the same.

図９に示すように、液流路部３０は、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａに形成されている。一方、本実施の形態では、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａは、平坦状に形成されている。これにより、液流路部３０の各主流溝３１は、平坦状の下面２２ａによって覆われている。この場合、図９に示すように、第１方向Ｘに延びる主流溝３１の一対の側壁３５、３６と上側流路壁部２２の下面２２ａとにより、直角状あるいは鋭角状の一対の角部３７を形成することができ、この角部３７における毛細管作用を高めることができる。   As shown in FIG. 9, the liquid flow path portion 30 is formed on the upper surface 13 a of the lower flow path wall portion 13 of the lower metal sheet 10. On the other hand, in the present embodiment, the lower surface 22 a of the upper flow passage wall portion 22 of the upper metal sheet 20 is formed flat. Thus, the main flow grooves 31 of the liquid flow path portion 30 are covered by the flat lower surface 22 a. In this case, as shown in FIG. 9, the pair of side walls 35, 36 of the main flow groove 31 extending in the first direction X and the lower surface 22a of the upper flow path wall 22 Can be formed, and the capillary action at this corner 37 can be enhanced.

本実施の形態において、液流路部３０は、下側金属シート１０のみに形成されている。一方、蒸気流路凹部１２、２１は、下側金属シート１０および上側金属シート２０の両方にそれぞれ形成されている。しかしながら、これに限られるものではなく、液流路部３０および蒸気流路凹部１２、２１は、それぞれ下側金属シート１０および上側金属シート２０のうち少なくとも一方に形成されていればよい。   In the present embodiment, the liquid flow path portion 30 is formed only on the lower metal sheet 10. On the other hand, the steam flow path concave portions 12 and 21 are formed in both the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, respectively. However, the present invention is not limited to this, and the liquid flow path portion 30 and the steam flow path concave portions 12 and 21 may be formed in at least one of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, respectively.

なお、下側金属シート１０の液流路部３０の形状は上記に限られるものではない。   In addition, the shape of the liquid flow path part 30 of the lower side metal sheet 10 is not restricted above.

例えば、図１０に示すように、液流路部３０は、互いに平行に延びる複数の主流溝３１と、互いに隣接する主流溝３１の間に構成された細長状の凸部３３Ａとを有していてもよい。この場合、各凸部３３Ａは、作動液２の主流方向（この場合は第１方向Ｘ）に沿って、液流路部３０の長手方向の略全域にわたって延びている。これにより、各主流溝３１において蒸発部１１に向かって液状の作動液２を効率良く輸送することができる。なお、図示していないが、凸部３３Ａの一部に連絡溝を設け、この連絡溝によって、各主流溝３１を下側蒸気流路凹部１２又は上側蒸気流路凹部２１に対して連通させるようにしてもよい。   For example, as shown in FIG. 10, the liquid flow passage portion 30 has a plurality of main flow grooves 31 extending in parallel to one another, and an elongated convex portion 33A configured between the main flow grooves 31 adjacent to each other. May be In this case, each convex portion 33A extends substantially in the entire longitudinal direction of the liquid flow path portion 30 along the main flow direction of the hydraulic fluid 2 (in this case, the first direction X). Thus, the working fluid 2 in liquid form can be efficiently transported toward the evaporation portion 11 in each of the main flow grooves 31. Although not shown, a communication groove is provided in a part of the convex portion 33A, and the main flow groove 31 is communicated with the lower steam passage recess 12 or the upper steam passage recess 21 by the communication groove. You may

下側金属シート１０および上側金属シート２０に用いる材料としては、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、例えば、銅（無酸素銅）、銅合金、アルミニウム又はステンレスを用いることが好適である。この場合、下側金属シート１０および上側金属シート２０の熱伝導率を高め、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。また、ベーパーチャンバ１の厚さは、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍとしてもよい。図３では、下側金属シート１０の厚さＴ１および上側金属シート２０の厚さＴ２が等しい場合を示しているが、これに限られることはなく、下側金属シート１０の厚さＴ１と上側金属シート２０の厚さＴ２は、等しくなくてもよい。   The material used for the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 is not particularly limited as long as it is a material having a good thermal conductivity, and, for example, copper (oxygen-free copper), copper alloy, aluminum or stainless steel It is preferred to use. In this case, the heat conductivity of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 can be increased, and the heat radiation efficiency of the vapor chamber 1 can be improved. The thickness of the vapor chamber 1 may be 0.1 mm to 2.0 mm. Although FIG. 3 shows the case where the thickness T1 of the lower metal sheet 10 and the thickness T2 of the upper metal sheet 20 are equal to each other, the present invention is not limited thereto. The thickness T2 of the metal sheet 20 may not be equal.

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、まず、ベーパーチャンバ１の製造方法について、図１１（ａ）〜（ｃ）および図１２（ａ）〜（ｃ）を用いて説明するが、上側金属シート２０のハーフエッチング工程の説明は簡略化する。なお、図１１（ａ）〜（ｃ）および図１２（ａ）〜（ｃ）では、図３の断面図と同様の断面を示している。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described. Here, first, a method of manufacturing the vapor chamber 1 will be described with reference to FIGS. 11A to 11C and FIGS. 12A to 12C, but the description of the half etching process of the upper metal sheet 20 is the same. Simplify. 11 (a)-(c) and 12 (a)-(c) show the same cross section as the cross-sectional view of FIG.

まず、図１１（ａ）に示すように、準備工程として、平板状の金属材料シートＭを準備する。   First, as shown in FIG. 11A, a flat metal material sheet M is prepared as a preparation step.

続いて、図１１（ｂ）に示すように、金属材料シートＭの上面Ｍａおよび下面Ｍｂに、それぞれフォトリソグラフィー法によりレジスト膜４１を形成する。金属材料シートＭの上面Ｍａに形成されたレジスト膜４１は、下側流路壁部１３および下側周縁壁１４に対応するパターン形状を有している。   Subsequently, as shown in FIG. 11B, a resist film 41 is formed on the upper surface Ma and the lower surface Mb of the metal material sheet M by the photolithography method. The resist film 41 formed on the upper surface Ma of the metal material sheet M has a pattern shape corresponding to the lower flow path wall portion 13 and the lower peripheral wall 14.

次に、図１１（ｃ）に示すように、金属材料シートＭがハーフエッチングされて、密封空間３の一部を構成する下側蒸気流路凹部１２が形成される。これにより、金属材料シートＭの上面Ｍａのうち、レジスト膜４１のレジスト開口４１ａに対応する部分がハーフエッチングされる。その後、金属材料シートＭからレジスト膜４１が除去される。この結果、図１１（ｃ）に示すように、下側蒸気流路凹部１２、下側流路壁部１３および下側周縁壁１４が形成される。同時に、ハーフエッチングにより、下側流路壁部１３に液流路部３０が形成される。なお、レジスト開口４１ａのうち、液流路部３０の主流溝３１および連絡溝３２に対応する部分の幅は狭いため、エッチング液の回り込みが少ない。このため、主流溝３１および連絡溝３２の深さは、下側蒸気流路凹部１２の深さよりも浅く形成される。また、この際、図２および図４に示す下側注入流路凹部１７も同時にエッチングにより形成され、図４に示すような所定の外形輪郭形状をもつ下側金属シート１０が得られる。   Next, as shown in FIG. 11C, the metal material sheet M is half-etched to form the lower steam channel recess 12 which constitutes a part of the sealed space 3. Thereby, the part corresponding to the resist opening 41a of the resist film 41 among the upper surfaces Ma of the metal material sheet M is half-etched. Thereafter, the resist film 41 is removed from the metal material sheet M. As a result, as shown in FIG. 11C, the lower steam flow passage concave portion 12, the lower flow passage wall portion 13 and the lower peripheral wall 14 are formed. At the same time, the liquid flow path portion 30 is formed in the lower flow path wall portion 13 by half etching. In the resist opening 41a, the width of the portion corresponding to the main flow groove 31 and the connection groove 32 of the liquid flow path portion 30 is narrow, so that the etching solution is less likely to wrap around. For this reason, the depths of the main flow groove 31 and the connection groove 32 are formed shallower than the depth of the lower steam flow passage concave portion 12. At this time, the lower injection channel recess 17 shown in FIG. 2 and FIG. 4 is simultaneously formed by etching, and the lower metal sheet 10 having a predetermined outer contour shape as shown in FIG. 4 is obtained.

なお、ハーフエッチングとは、被エッチング材料をその厚み方向に途中までエッチングし、被エッチング材料を貫通しない凹部を形成するためのエッチングを意味している。このため、ハーフエッチングにより形成される凹部の深さは、被エッチング材料の厚さの半分に限られない。ハーフエッチング後の被エッチング材料の厚みは、ハーフエッチング前の被エッチング材料の厚みの例えば３０％〜７０％、好ましくは４０％〜６０％となる。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。   In addition, half etching means etching for etching a to-be-etched material halfway to the thickness direction, and forming the recessed part which does not penetrate a to-be-etched material. Therefore, the depth of the recess formed by half etching is not limited to half the thickness of the material to be etched. The thickness of the material to be etched after half etching is, for example, 30% to 70%, preferably 40% to 60% of the thickness of the material to be etched before half etching. As the etching solution, for example, an iron chloride-based etching solution such as a ferric chloride aqueous solution or a copper chloride-based etching solution such as a copper chloride aqueous solution can be used.

なお、はじめに金属材料シートＭにハーフエッチングにより下側蒸気流路凹部１２を形成し（第１ハーフエッチング工程）、その後、別のエッチング工程（第２ハーフエッチング工程）で、金属材料シートＭに液流路部３０を形成してもよい。   In addition, first, the lower steam flow channel concave portion 12 is formed in the metal material sheet M by half etching (first half etching step), and thereafter, in another etching step (second half etching step), the liquid in the metal material sheet M The flow passage 30 may be formed.

一方、図示しないが、下側金属シート１０と同様にして、上側金属シート２０が下面２０ａからハーフエッチングされて、上側蒸気流路凹部２１、上側流路壁部２２および上側周縁壁２３が形成される。このようにして、上述した上側金属シート２０が得られる。   On the other hand, although not shown, the upper metal sheet 20 is half-etched from the lower surface 20 a in the same manner as the lower metal sheet 10 to form the upper steam channel recess 21, the upper channel wall 22 and the upper peripheral wall 23. Ru. Thus, the upper metal sheet 20 described above is obtained.

次に、図１２（ａ）に示すように、仮止め工程として、下側蒸気流路凹部１２を有する下側金属シート１０と、上側蒸気流路凹部２１を有する上側金属シート２０とを対向させて仮止めする。   Next, as shown in FIG. 12A, in the temporary fixing step, the lower metal sheet 10 having the lower steam channel recess 12 and the upper metal sheet 20 having the upper steam channel recess 21 are opposed to each other. Temporarily fix.

この場合、まず、下側金属シート１０の下側アライメント孔１５（図２および図４参照）と上側金属シート２０の上側アライメント孔２４（図２および図５参照）とを利用して、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが位置決めされる。続いて、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが固定される。固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、下側金属シート１０と上側金属シート２０とに対して抵抗溶接を行うことによって下側金属シート１０と上側金属シート２０とを固定してもよい。この場合、図１２（ａ）に示すように、電極棒４０を用いてスポット的に抵抗溶接を行うことが好適である。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。あるいは、超音波を照射して下側金属シート１０と上側金属シート２０とを超音波接合して固定してもよい。さらには、接着剤を用いてもよいが、有機成分を有しないか、若しくは有機成分が少ない接着剤を用いることが好適である。このようにして、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、位置決めされた状態で固定される。   In this case, first, lower side using lower alignment hole 15 of lower metal sheet 10 (see FIGS. 2 and 4) and upper alignment hole 24 of upper metal sheet 20 (see FIGS. 2 and 5) The metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are positioned. Subsequently, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are fixed. The fixing method is not particularly limited. For example, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are fixed by performing resistance welding on the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. May be In this case, as shown in FIG. 12A, it is preferable to perform resistance welding spotwise using the electrode bar 40. Laser welding may be performed instead of resistance welding. Alternatively, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be ultrasonically bonded and fixed by irradiating ultrasonic waves. Furthermore, although an adhesive may be used, it is preferable to use an adhesive which does not have an organic component or has a small amount of an organic component. Thus, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are fixed in a positioned state.

仮止めの後、図１２（ｂ）に示すように、恒久接合工程として、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側金属シート１０と上側金属シート２０とを密着させ、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、各金属シート１０、２０を密着させる方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、下側金属シート１０および上側金属シート２０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各金属シート１０、２０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、下側金属シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと上側金属シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが、接合面となって拡散接合される。これにより、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とによって、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に密封空間３が形成される。また、下側注入突出部１６の下側注入流路凹部１７（図２および図４参照）と上側注入突出部２５（図２および図５参照）とによって、密封空間３に連通する作動液２の注入流路が形成される。さらに、下側金属シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側金属シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが、接合面となって拡散接合され、ベーパーチャンバ１の機械的強度が向上する。下側流路壁部１３の上面１３ａに形成された液流路部３０は、液状の作動液２の流路として残存する。   After temporary fixing, as shown in FIG. 12 (b), the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are permanently bonded by diffusion bonding as a permanent bonding step. In diffusion bonding, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 to be bonded are brought into close contact, and pressure is applied in a direction in which the respective metal sheets 10, 20 are brought into contact in a controlled atmosphere such as vacuum or inert gas. In addition, it is a method of heating by using diffusion of atoms generated at the bonding surface. Diffusion bonding heats the materials of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 to a temperature close to the melting point, but is lower than the melting point, so that melting and deformation of the respective metal sheets 10 and 20 can be avoided. More specifically, the upper surface 14a of the lower peripheral wall 14 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 23a of the upper peripheral wall 23 of the upper metal sheet 20 are diffusion bonded as bonding surfaces. Thereby, the sealed space 3 is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 by the lower peripheral wall 14 and the upper peripheral wall 23. In addition, the working fluid 2 communicated with the sealed space 3 by the lower injection passage recess 17 (see FIGS. 2 and 4) and the upper injection protrusion 25 (see FIGS. 2 and 5) of the lower injection protrusion 16 The injection channel of Further, the upper surface 13 a of the lower flow passage wall 13 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 22 a of the upper flow passage wall 22 of the upper metal sheet 20 are diffusion bonded as bonding surfaces. Mechanical strength is improved. The liquid flow path portion 30 formed on the upper surface 13 a of the lower flow path wall portion 13 remains as a flow path of the liquid working fluid 2.

恒久的な接合の後、図１２（ｃ）に示すように、封入工程として、注入部４（図２参照）から密封空間３に作動液２が注入される。この際、まず、密封空間３が真空引きされて減圧され（例えば、５Ｐａ以下、好ましくは１Ｐａ以下）、その後、密封空間３に作動液２が注入される。注入時、作動液２は、下側注入突出部１６の下側注入流路凹部１７と上側注入突出部２５とにより形成された注入流路を通過する。例えば、作動液２の封入量は、ベーパーチャンバ１内部の液流路部３０の構成にもよるが、密封空間３の全体積に対して１０％〜４０％としてもよい。上述したように、注入流路を構成する下側注入流路凹部１７の幅ｗ９は、下側蒸気通路８１の幅ｗ７よりも広い（図４参照）。このため、注入流路を真空引きして密封空間３を減圧する作業や、作動液２を注入流路から密封空間３に注入する作業を効率良く短時間で行うことができる。   After permanent bonding, as shown in FIG. 12 (c), the hydraulic fluid 2 is injected from the injection part 4 (see FIG. 2) into the sealed space 3 as the sealing step. At this time, first, the sealed space 3 is evacuated and depressurized (for example, 5 Pa or less, preferably 1 Pa or less), and then the working fluid 2 is injected into the sealed space 3. At the time of injection, the hydraulic fluid 2 passes through the injection flow channel formed by the lower injection flow channel recess 17 and the upper injection projection 25 of the lower injection projection 16. For example, the amount of the hydraulic fluid 2 sealed may be 10% to 40% of the total volume of the sealed space 3 depending on the configuration of the liquid flow path portion 30 inside the vapor chamber 1. As described above, the width w9 of the lower injection passage recess 17 that constitutes the injection passage is wider than the width w7 of the lower steam passage 81 (see FIG. 4). Therefore, the operation of evacuating the injection flow channel to decompress the sealed space 3 and the operation of injecting the hydraulic fluid 2 from the injection flow channel into the sealed space 3 can be efficiently performed in a short time.

ここで、密封空間３の真空引き時間を短くすると、密封空間３内の非凝縮性ガス（例えば、空気など）が密封空間３から抜き出されずに残存してしまうおそれがある。また、作動液２の注入時間が長くなると、作動液２とともに密封空間３内に非凝縮性ガスが入り込むおそれもある。密封空間３内に非凝縮性ガスが残存していると、ベーパーチャンバ１の作動時に作動液２の蒸気や液状の作動液２の移動を阻害し得る。この場合、所望の熱輸送効率を得ることが困難になる。ベーパーチャンバ１の熱輸送試験により、所望の熱輸送効率が得られない場合には、当該ベーパーチャンバ１は不良品と判定され、その結果、歩留まりが低下し得るという問題が考えられる。熱輸送試験は、ベーパーチャンバ１に熱を与えて各部の温度を測定し、温度の測定結果から、ベーパーチャンバ１内で正常に熱輸送が行われているか否かを確認するための試験である（例えば、特開２００４−３０１４７５号公報参照）。   Here, if the evacuation time of the sealed space 3 is shortened, there is a possibility that the non-condensable gas (for example, air or the like) in the sealed space 3 may not be extracted from the sealed space 3 and may remain. In addition, when the injection time of the hydraulic fluid 2 is long, there is a possibility that the non-condensable gas may enter the sealed space 3 together with the hydraulic fluid 2. If the non-condensable gas remains in the sealed space 3, the movement of the vapor of the hydraulic fluid 2 and the liquid hydraulic fluid 2 may be inhibited when the vapor chamber 1 is operated. In this case, it becomes difficult to obtain a desired heat transfer efficiency. If the desired heat transfer efficiency can not be obtained by the heat transfer test of the vapor chamber 1, the vapor chamber 1 is determined to be defective, and as a result, there is a problem that the yield may be reduced. The heat transfer test is a test for applying heat to the vapor chamber 1 to measure the temperature of each part, and checking whether the heat transfer is normally performed in the vapor chamber 1 based on the measurement results of the temperature. (For example, refer to Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-301475).

これに対して、本実施の形態では、上述したように、注入流路を構成する下側注入流路凹部１７の幅ｗ９が、下側蒸気通路８１の幅ｗ７よりも広い。このため、注入流路を真空引きして密封空間３を減圧する作業や、作動液２を注入流路から密封空間３に注入する作業を効率良く短時間で行うことができる。これにより、密封空間３内に非凝縮性ガスが残存することを防止でき、熱輸送効率の低下を防止して、この結果、歩留まりを向上させることができる。   On the other hand, in the present embodiment, as described above, the width w 9 of the lower injection passage recess 17 that constitutes the injection passage is wider than the width w 7 of the lower steam passage 81. Therefore, the operation of evacuating the injection flow channel to decompress the sealed space 3 and the operation of injecting the hydraulic fluid 2 from the injection flow channel into the sealed space 3 can be efficiently performed in a short time. As a result, it is possible to prevent the noncondensable gas from remaining in the sealed space 3, to prevent the heat transport efficiency from being lowered, and as a result, the yield can be improved.

作動液２の注入の後、上述した注入流路が封止される。この場合、例えば、下側注入流路凹部１７のカシメ領域５４をカシメることにより、複数の突起５６を潰すように変形させる。これにより、注入部４を閉塞して注入流路を封止し、密封空間３の密閉が完了する。または、注入部４にレーザを照射し、注入部４を部分的に溶融させて注入流路を封止してもよい。あるいは、ろう付けにより注入部４を閉塞して注入流路を封止してもよい。これにより、密封空間３と外気との連通が遮断され、作動液２が密封空間３に封入される。このようにして、密封空間３内の作動液２が外部に漏洩することが防止される。また、注入部４の封止をより一層確実に行うため、カシメ領域５４をかしめた後、レーザ照射やろう付けを行ってもよい。また、注入流路を封止した後、注入部４のうちカシメ領域５４よりも開口部１７ａの側の任意の位置で、注入部４を切断してもよい。   After the injection of the hydraulic fluid 2, the above-described injection channel is sealed. In this case, for example, by caulking the caulking region 54 of the lower injection flow passage concave portion 17, the plurality of protrusions 56 are deformed so as to be crushed. Thereby, the injection part 4 is closed and the injection flow path is sealed, and the sealing of the sealed space 3 is completed. Alternatively, the injection portion 4 may be irradiated with a laser, and the injection portion 4 may be partially melted to seal the injection flow path. Alternatively, the injection portion 4 may be closed by brazing to seal the injection channel. Thus, the communication between the sealed space 3 and the outside air is shut off, and the hydraulic fluid 2 is sealed in the sealed space 3. Thus, the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 is prevented from leaking to the outside. Moreover, in order to perform sealing of the injection | pouring part 4 much more reliably, after caulking the crimping area | region 54, you may perform laser irradiation and brazing. In addition, after the injection flow channel is sealed, the injection unit 4 may be cut at any position on the opening 17 a side of the caulking area 54 in the injection unit 4.

以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。   As described above, the vapor chamber 1 according to the present embodiment is obtained.

なお、本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１を、主としてエッチングによって製造する例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、３Ｄプリンタで製造してもよい。例えば、ベーパーチャンバ１をまとめて一度に３Ｄプリンタで製造してもよく、あるいは、各金属シート１０、２０を別々に３Ｄプリンタで製造して、その後に接合してもよい。   In the present embodiment, an example in which the vapor chamber 1 is manufactured mainly by etching has been described. However, the present invention is not limited to this, and may be manufactured by a 3D printer. For example, the vapor chamber 1 may be assembled together in one 3D printer at a time, or each metal sheet 10, 20 may be separately manufactured in a 3D printer and then joined.

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。   Next, an operation method of the vapor chamber 1, that is, a method of cooling the device D will be described.

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジング内に設置されるとともに、下側金属シート１０の下面１０ｂに、被冷却対象物であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる。密封空間３内に注入された作動液２の量は少ないため、密封空間３内の液状の作動液２は、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部１２の壁面、上側蒸気流路凹部２１の壁面、および液流路部３０の壁面に付着する。   The vapor chamber 1 obtained as described above is installed in a housing such as a mobile terminal, and a device D such as a CPU to be cooled is attached to the lower surface 10 b of the lower metal sheet 10. Since the amount of the hydraulic fluid 2 injected into the sealed space 3 is small, the liquid hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 has a wall surface of the sealed space 3, that is, the lower steam channel recess 12 by its surface tension. It adheres to the wall surface, the wall surface of the upper steam channel recess 21, and the wall surface of the liquid channel portion 30.

この状態でデバイスＤが発熱すると、下側蒸気流路凹部１２のうち蒸発部１１に存在する作動液２が、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２が蒸発（気化）し、作動液２の蒸気が生成される。生成された蒸気の多くは、密封空間３を構成する下側蒸気流路凹部１２内および上側蒸気流路凹部２１内で拡散する（図４の実線矢印参照）。上側蒸気流路凹部２１内および下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低いベーパーチャンバ１の周縁部に向かって輸送される。拡散した蒸気は、下側金属シート１０および上側金属シート２０に放熱して冷却される。下側金属シート１０および上側金属シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。   When the device D generates heat in this state, the working fluid 2 present in the evaporation portion 11 of the lower steam flow passage concave portion 12 receives heat from the device D. The received heat is absorbed as latent heat and the hydraulic fluid 2 is evaporated (vaporized) to generate a vapor of the hydraulic fluid 2. Most of the generated steam diffuses in the lower steam passage recess 12 and the upper steam passage recess 21 that constitute the sealed space 3 (see solid arrows in FIG. 4). The steam in the upper steam flow path recess 21 and in the lower steam flow path recess 12 leaves the evaporation portion 11, and most of the steam is transported toward the peripheral portion of the vapor chamber 1 having a relatively low temperature. The diffused vapor dissipates heat to the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 to be cooled. The heat received by the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 from the steam is transmitted to the outside air through the housing member Ha (see FIG. 3).

蒸気は、下側金属シート１０および上側金属シート２０に放熱することにより、蒸発部１１において吸収した潜熱を失って凝縮する。凝縮して液状になった作動液２は、下側蒸気流路凹部１２の壁面または上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着する。ここで、蒸発部１１では作動液２が蒸発し続けているため、液流路部３０のうち、蒸発部１１以外の部分における作動液２は、蒸発部１１に向かって輸送される（図４の破線矢印参照）。これにより、下側蒸気流路凹部１２の壁面および上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着した液状の作動液２は、液流路部３０に向かって移動し、液流路部３０内に入り込む。このため、液流路部３０に充填された作動液２は、各主流溝３１の毛細管作用により、蒸発部１１に向かう推進力を得て、蒸発部１１に向かってスムースに輸送される。   The steam dissipates heat to the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 to lose latent heat absorbed in the evaporation section 11 and condenses. The working fluid 2 condensed to be liquid adheres to the wall surface of the lower steam channel recess 12 or the wall surface of the upper steam channel recess 21. Here, since the working fluid 2 continues to evaporate in the evaporating unit 11, the working fluid 2 in a portion other than the evaporating unit 11 in the liquid flow passage unit 30 is transported toward the evaporating unit 11 (FIG. 4) See the dashed arrow). As a result, the liquid working fluid 2 attached to the wall surface of the lower steam flow passage recess 12 and the wall surface of the upper steam flow passage recess 21 moves toward the liquid flow passage portion 30 and enters the liquid flow passage portion 30. . For this reason, the working fluid 2 filled in the liquid flow path portion 30 is smoothly transported toward the evaporation portion 11 by obtaining a propelling force toward the evaporation portion 11 by the capillary action of the main flow grooves 31.

蒸発部１１に達した作動液２は、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流してデバイスＤの熱を移動させて放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。   The hydraulic fluid 2 that has reached the evaporation unit 11 receives heat again from the device D and evaporates. In this way, the hydraulic fluid 2 circulates in the vapor chamber 1 while repeating phase change, that is, evaporation and condensation, and the heat of the device D is moved and released. As a result, the device D is cooled.

このように本実施の形態によれば、下側注入流路凹部１７の幅ｗ９は、下側蒸気通路８１の幅ｗ７よりも広い。このため、下側注入流路凹部１７の幅方向（第２方向Ｙ）の断面が、下側蒸気通路８１の幅方向（第２方向Ｙ）の断面よりも広くなっている。これにより、ベーパーチャンバ１の製造時に、注入流路を真空引きして密封空間３を脱気する作業や、その後、密封空間３へ作動液２を注入する作業を効率良く迅速に行うことができる。とりわけ、下側注入流路凹部１７の幅ｗ９を下側蒸気通路８１の幅ｗ７の１．５倍以上とした場合に、このような効果を顕著に得ることができる。   As described above, according to the present embodiment, the width w 9 of the lower injection passage recess 17 is wider than the width w 7 of the lower steam passage 81. For this reason, the cross section in the width direction (second direction Y) of the lower injection passage recess 17 is wider than the cross section in the width direction (second direction Y) of the lower steam passage 81. Thereby, at the time of manufacture of the vapor chamber 1, the operation of evacuating the injection flow path and degassing the sealed space 3 and the operation of injecting the working fluid 2 into the sealed space 3 can be performed efficiently and quickly. . In particular, when the width w9 of the lower injection passage recess 17 is 1.5 or more times the width w7 of the lower steam passage 81, such an effect can be remarkably obtained.

また、本実施の形態によれば、下側注入流路凹部１７に複数の支柱５５が突設されているため、下側注入流路凹部１７の変形を抑制することができる。これにより、ベーパーチャンバ１の製造時に、下側注入流路凹部１７の変形により密封空間３内の脱気作業や密封空間３への作動液２の注入作業に支障を来すことを防止でき、脱気作業や注入作業を効率良く行うことができる。   Further, according to the present embodiment, since the plurality of columns 55 are provided in the lower injection channel recess 17 so as to protrude, deformation of the lower injection channel recess 17 can be suppressed. Thereby, it is possible to prevent the degassing work in the sealed space 3 and the injection work of the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 from being disturbed by the deformation of the lower injection channel recess 17 when manufacturing the vapor chamber 1. Degassing operation and injection operation can be performed efficiently.

また、本実施の形態によれば、下側注入流路凹部１７にカシメ領域５４が形成されており、このカシメ領域５４は複数の突起５６を有している。この複数の突起５６は、密封空間３内に作動液２を注入した後、カシメ領域５４をカシメた際に潰される。これにより、密封空間３の密封をより一層確実に行うことができる。   Further, according to the present embodiment, a caulking area 54 is formed in the lower injection channel recess 17, and the caulking area 54 has a plurality of protrusions 56. The plurality of projections 56 are crushed when the caulking area 54 is caulked after the hydraulic fluid 2 is injected into the sealed space 3. This makes it possible to seal the sealed space 3 more reliably.

また、本実施の形態によれば、下側注入流路凹部１７の深さｄ１は、蒸気流路凹部１２の深さｈ０よりも深いため、下側注入流路凹部１７の幅方向（第２方向Ｙ）の断面積が、下側蒸気通路８１の幅方向（第２方向Ｙ）の断面積よりも大きくなっている。これにより、ベーパーチャンバ１の製造時に、密封空間３内の脱気作業や密封空間３への作動液２の注入作業を効率良く行うことができる。   Further, according to the present embodiment, since the depth d1 of the lower injection flow passage recess 17 is deeper than the depth h0 of the steam flow passage recess 12, the width direction of the lower injection flow passage recess 17 (second The cross-sectional area in the direction Y) is larger than the cross-sectional area in the width direction (second direction Y) of the lower steam passage 81. As a result, when manufacturing the vapor chamber 1, the degassing operation in the sealed space 3 and the injection operation of the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 can be efficiently performed.

さらに、本実施の形態によれば、液流路部３０は、互いに平行に延びる複数の主流溝３１と、互いに隣接する主流溝３１同士を連絡する連絡溝３２とを有している。これにより、互いに隣り合う主流溝３１同士で液状の作動液２が往来し、主流溝３１でドライアウトが発生することが抑制される。このため、各主流溝３１内の作動液２に毛細管作用が付与されて、作動液２は、蒸発部１１に向かってスムースに輸送される。   Furthermore, according to the present embodiment, the liquid flow path portion 30 has a plurality of main flow grooves 31 extending in parallel to one another, and a communication groove 32 connecting the main flow grooves 31 adjacent to each other. As a result, the liquid working fluid 2 is transported between the main flow grooves 31 adjacent to each other, and the occurrence of dryout in the main flow grooves 31 is suppressed. For this reason, capillary action is imparted to the hydraulic fluid 2 in each of the main flow grooves 31, and the hydraulic fluid 2 is smoothly transported toward the evaporation portion 11.

さらに、本実施の形態によれば、液流路部３０には、複数の凸部３３が平面視で千鳥状に配置されている。これにより、主流溝３１内の作動液２に作用する毛細管作用を、主流溝３１の幅方向に均等化させることができる。すなわち、複数の凸部３３が平面視で千鳥状に配置されているため、連絡溝３２は、主流溝３１の両側に互い違いに接続される。このため、連絡溝３２が各主流溝３１の両側の同一位置に接続される場合と異なり、連絡溝３２によって蒸発部１１に向かう方向の毛細管作用が喪失されることを抑制することができる。このため主流溝３１と連絡溝３２との交点において、毛細管作用が低減することを抑制することができ、蒸発部１１に向かう作動液２に対して連続的に毛細管作用を付与させることができる。   Furthermore, according to the present embodiment, in the liquid flow path portion 30, the plurality of convex portions 33 are arranged in a zigzag shape in plan view. Thereby, the capillary action acting on the hydraulic fluid 2 in the main flow groove 31 can be equalized in the width direction of the main flow groove 31. That is, since the plurality of convex portions 33 are arranged in a staggered manner in a plan view, the connection grooves 32 are alternately connected to both sides of the main flow groove 31. For this reason, unlike the case where the connection grooves 32 are connected to the same position on both sides of each main flow groove 31, loss of capillary action in the direction toward the evaporation portion 11 can be suppressed by the connection grooves 32. For this reason, it is possible to suppress reduction of the capillary action at the intersection of the main flow groove 31 and the communication groove 32, and to continuously impart the capillary action to the hydraulic fluid 2 directed to the evaporation portion 11.

また密封空間３内は、上述したように減圧されているため、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、外気から厚み方向内側に凹む方向への圧力を受けている。ここで、仮に連絡溝３２が各主流溝３１の長手方向両側の同一位置に接続されている場合には、連絡溝３２に平行な方向に沿って、下側金属シート１０および上側金属シート２０が厚み方向内側に凹むことが考えられる。この場合、各主流溝３１の流路断面積が小さくなり、作動液２の流路抵抗が増大し得る。これに対して本実施の形態では、液流路部３０には、複数の凸部３３が平面視で千鳥状に配置されている。これにより、下側金属シート１０および上側金属シート２０が連絡溝３２に沿って厚み方向内側に凹んだ場合であっても、その凹みが主流溝３１を横断することを防止し、主流溝３１の流路断面積を確保することができ、作動液２の流れが妨げられることを抑制している。   Further, since the inside of the sealed space 3 is decompressed as described above, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 receive pressure from the outside air in a direction in which the thickness direction is recessed inward. Here, if the communication grooves 32 are connected to the same positions on both sides in the longitudinal direction of the main flow grooves 31, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 extend in a direction parallel to the communication grooves 32. It is conceivable to dent inward in the thickness direction. In this case, the flow passage cross-sectional area of each main flow groove 31 is reduced, and the flow passage resistance of the hydraulic fluid 2 may be increased. On the other hand, in the present embodiment, in the liquid flow path 30, the plurality of convex portions 33 are arranged in a zigzag in a plan view. Thereby, even if the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are recessed inward in the thickness direction along the communication groove 32, the recess is prevented from crossing the main flow groove 31, and The channel cross-sectional area can be secured, and the flow of the hydraulic fluid 2 is prevented from being impeded.

次に、図１３及び図１４により、ベーパーチャンバの各変形例について説明する。図１３及び図１４において、図１乃至図１２と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。   Next, each modification of a vapor chamber is demonstrated using FIG.13 and FIG.14. 13 and FIG. 14, the same parts as in FIG. 1 to FIG. 12 will be assigned the same reference numerals and detailed explanations thereof will be omitted.

（変形例１）
図１３は、一変形例（変形例１）によるベーパーチャンバ１Ａを示している。図１３に示すベーパーチャンバ１Ａにおいて、図１乃至図１２に示す実施の形態とは異なり、上側金属シート２０には上側蒸気流路凹部２１が形成されていない。なお、図１３には示していないが、注入流路凹部（下側注入流路凹部１７又は上側注入流路凹部）の幅は、下側蒸気通路８１の幅よりも広くなっている。この場合、上側金属シート２０の厚みを薄くすることが可能となり、これによりベーパーチャンバ１全体の厚みを薄くすることができる。 (Modification 1)
FIG. 13 shows a vapor chamber 1A according to one modification (Modification 1). In the vapor chamber 1A shown in FIG. 13, unlike the embodiment shown in FIGS. 1 to 12, the upper metal sheet 20 is not provided with the upper steam channel recess 21. Although not shown in FIG. 13, the width of the injection passage recess (the lower injection passage recess 17 or the upper injection passage recess) is wider than the width of the lower steam passage 81. In this case, the thickness of the upper metal sheet 20 can be reduced, whereby the thickness of the entire vapor chamber 1 can be reduced.

（変形例２）
図１４は、他の変形例（変形例２）によるベーパーチャンバ１Ｂを示している。図１４に示すベーパーチャンバ１Ｂにおいて、図１乃至図１２に示す実施の形態とは異なり、下側金属シート１０は下側蒸気流路凹部１２を有することなく、液流路部３０が下側金属シート１０の上面１０ａに設けられている。また、液流路部３０は、上面１０ａのうち、上側流路壁部２２に対向する領域だけでなく、上側蒸気流路凹部２１に対向する領域にも形成されている。なお、図１４には示していないが、注入流路凹部（下側注入流路凹部１７又は上側注入流路凹部）の幅は、上側蒸気流路凹部２１の幅よりも広くなっている。この場合、液流路部３０を構成する主流溝３１の個数を増やすことができ、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。しかしながら、液流路部３０を形成する領域は、図１４に示す領域に限られることはなく、液状の作動液２の輸送機能を確保することができれば任意である。また、下側金属シート１０の厚みを薄くすることが可能となり、これによりベーパーチャンバ１全体の厚みを薄くすることができる。 (Modification 2)
FIG. 14 shows a vapor chamber 1B according to another modification (Modification 2). In the vapor chamber 1B shown in FIG. 14, unlike the embodiment shown in FIGS. 1 to 12, the lower metal sheet 10 does not have the lower steam channel recess 12, and the liquid channel portion 30 is the lower metal. It is provided on the upper surface 10 a of the sheet 10. Further, the liquid flow passage portion 30 is formed not only in the region facing the upper flow passage wall portion 22 in the upper surface 10 a but also in the region facing the upper steam flow passage concave portion 21. Although not shown in FIG. 14, the width of the injection passage recess (the lower injection passage recess 17 or the upper injection passage recess) is wider than the width of the upper steam passage recess 21. In this case, the number of main flow grooves 31 constituting the liquid flow path portion 30 can be increased, and the transport function of the liquid working fluid 2 can be improved. However, the region for forming the liquid flow passage portion 30 is not limited to the region shown in FIG. 14, and is arbitrary as long as the transport function of the liquid hydraulic fluid 2 can be secured. In addition, the thickness of the lower metal sheet 10 can be reduced, whereby the thickness of the entire vapor chamber 1 can be reduced.

（変形例３）
図１５は、他の変形例（変形例３）によるベーパーチャンバ１Ｃを示す図であって、上述した図７に対応する図である。図１５に示すベーパーチャンバ１Ｃにおいて、図１乃至図１２に示す実施の形態とは異なり、カシメ領域５４の各突起５６の形状が、中間領域５３の各支柱５５の形状と略同一となっている。また、カシメ領域５４における下側注入流路凹部１７の深さは、入口領域５２及び中間領域５３における下側注入流路凹部１７の深さｄ１と同一である。この場合、各突起５６間の間隔ｐ３を広げ、下側注入流路凹部１７の変形により密封空間３内の脱気作業や密封空間３への作動液２の注入作業を効率良く行うことができる。 (Modification 3)
FIG. 15 is a view showing a vapor chamber 1C according to another modification (Modification 3), corresponding to FIG. 7 described above. In the vapor chamber 1C shown in FIG. 15, unlike the embodiment shown in FIGS. 1 to 12, the shape of each protrusion 56 of the caulking region 54 is substantially the same as the shape of each support 55 in the intermediate region 53. . Further, the depth of the lower injection channel recess 17 in the caulking region 54 is the same as the depth d 1 of the lower injection channel recess 17 in the inlet region 52 and the intermediate region 53. In this case, the gap p3 between the protrusions 56 can be expanded, and the deaeration work in the sealed space 3 and the injection work of the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 can be efficiently performed by the deformation of the lower injection channel recess 17. .

（変形例４）
図１６は、他の変形例（変形例４）によるベーパーチャンバ１Ｄを示す図であって、上述した図７に対応する図である。図１６に示すベーパーチャンバ１Ｄにおいて、図１乃至図１２に示す実施の形態とは異なり、下側注入流路凹部１７の深さｄ１は、入口領域５２、中間領域５３及びカシメ領域５４を通じて略均一であるとともに、蒸気流路凹部１２の深さｈ０と同一となっている。この場合、下側注入流路凹部１７の深さｄ１と蒸気流路凹部１２の深さｈ０とが同一であるため、下側注入流路凹部１７の変形により密封空間３内の脱気作業や密封空間３への作動液２の注入作業をスムースに行うことができる。 (Modification 4)
FIG. 16 is a view showing a vapor chamber 1D according to another modification (modification 4), which corresponds to FIG. 7 described above. In the vapor chamber 1D shown in FIG. 16, unlike the embodiment shown in FIGS. 1 to 12, the depth d1 of the lower injection passage recess 17 is substantially uniform through the inlet region 52, the intermediate region 53 and the caulking region 54. And the depth h 0 of the steam flow passage concave portion 12. In this case, since the depth d1 of the lower injection flow passage concave portion 17 and the depth h0 of the steam flow passage concave portion 12 are the same, deaeration work in the sealed space 3 or the The operation of injecting the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 can be performed smoothly.

（第２の実施の形態）
次に、図１７乃至図１９を用いて、本発明の第２実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートについて説明する。 Second Embodiment
Next, a vapor chamber, an electronic device, and a metal sheet for vapor chamber according to a second embodiment of the present invention will be described using FIGS. 17 to 19.

図１７乃至図１９に示す第２の実施の形態においては、下側金属シートと上側金属シートとの間に中間金属シートが介在され、下側金属シートおよび上側金属シートのうち一方に蒸気流路凹部が形成されるとともに、他方に液流路部が形成され、中間金属シートに、蒸気流路凹部と液流路部とを連通する連通部が設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図１６に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図１７乃至図１９において、図１乃至図１６に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。   In the second embodiment shown in FIGS. 17 to 19, an intermediate metal sheet is interposed between the lower metal sheet and the upper metal sheet, and the steam flow path is formed in one of the lower metal sheet and the upper metal sheet. The main difference is that a recess is formed, a liquid flow passage is formed on the other side, and the intermediate metal sheet is provided with a communicating portion that connects the steam flow passage concave and the liquid flow passage. The configuration is substantially the same as that of the first embodiment shown in FIGS. In FIG. 17 to FIG. 19, the same parts as those of the first embodiment shown in FIG. 1 to FIG.

図１７に示すように、本実施の形態においては、下側金属シート１０（第１金属シート）と上側金属シート２０（第２金属シート）との間に、中間金属シート７０（第３金属シート）が介在されている。すなわち、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０、中間金属シート７０および上側金属シート２０がこの順番で積層されている。中間金属シート７０は、下側金属シート１０上に設けられており、上側金属シート２０は、中間金属シート７０上に設けられている。なお、図１７においては、図面を明瞭にするために、作動液２の図示を省略している。後述する図２０、図２２および図２５においても同様である。   As shown in FIG. 17, in the present embodiment, an intermediate metal sheet 70 (third metal sheet) is provided between the lower metal sheet 10 (first metal sheet) and the upper metal sheet 20 (second metal sheet). Is intervened. That is, in the vapor chamber 1 according to the present embodiment, the lower metal sheet 10, the intermediate metal sheet 70, and the upper metal sheet 20 are stacked in this order. The intermediate metal sheet 70 is provided on the lower metal sheet 10, and the upper metal sheet 20 is provided on the intermediate metal sheet 70. In FIG. 17, the hydraulic fluid 2 is not shown in order to make the drawing clear. The same applies to FIGS. 20, 22 and 25 described later.

中間金属シート７０は、下側金属シート１０の側に設けられた下面７０ａ（第１面）と、下面７０ａとは反対側に設けられ、上側金属シート２０の側に設けられた上面７０ｂ（第２面）と、を含んでいる。このうち下面７０ａが、下側金属シート１０の上面１０ａに重ね合わされ、上面７０ｂが、上側金属シート２０の下面２０ａに重ね合わされている。下側金属シート１０と中間金属シート７０とは、拡散接合によって接合されており、中間金属シート７０と上側金属シート２０とは、拡散接合によって接合されている。中間金属シート７０は、下側金属シート１０および上側金属シート２０と同様な材料で形成することができる。中間金属シート７０の厚さは、例えば、１０μｍ〜３００μｍである。   The intermediate metal sheet 70 has a lower surface 70 a (first surface) provided on the side of the lower metal sheet 10 and an upper surface 70 b provided on the side opposite to the lower surface 70 a and provided on the side of the upper metal sheet 20 (first 2) and. Among them, the lower surface 70 a is overlapped with the upper surface 10 a of the lower metal sheet 10, and the upper surface 70 b is overlapped with the lower surface 20 a of the upper metal sheet 20. The lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70 are joined by diffusion bonding, and the intermediate metal sheet 70 and the upper metal sheet 20 are joined by diffusion bonding. The intermediate metal sheet 70 can be formed of the same material as the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. The thickness of the intermediate metal sheet 70 is, for example, 10 μm to 300 μm.

密封空間３は、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に形成されており、中間金属シート７０にも密封空間３の一部が形成されている。本実施の形態では、密封空間３は、主として作動液２の蒸気が通る蒸気流路部８０と、主として液状の作動液２が通る液流路部３０と、を有している。蒸気流路部８０と液流路部３０は、作動液２が還流できるように連通している。蒸気流路部８０は、下側蒸気流路凹部１２（第１蒸気流路部）および上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路部）を有している。   The sealed space 3 is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and a part of the sealed space 3 is also formed in the intermediate metal sheet 70. In the present embodiment, the sealed space 3 has a vapor flow passage 80 through which the vapor of the hydraulic fluid 2 mainly passes, and a liquid flow passage 30 through which the hydraulic fluid 2 mainly flows. The vapor flow passage portion 80 and the liquid flow passage portion 30 are in communication so that the working fluid 2 can be returned. The steam flow passage portion 80 has a lower steam flow passage concave portion 12 (first steam flow passage portion) and an upper steam flow passage concave portion 21 (second steam flow passage portion).

下側蒸気流路凹部１２および液流路部３０を含む下側金属シート１０は、図１乃至図１６に示す第１の実施の形態における下側金属シート１０と同様の構成とすることができる。このため、ここでは詳細な説明は省略する。   The lower metal sheet 10 including the lower steam flow passage concave portion 12 and the liquid flow passage portion 30 can have the same configuration as the lower metal sheet 10 in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 16. . For this reason, detailed description is omitted here.

本実施の形態では、上側金属シート２０には、液流路部３０は設けられていない。また、上側金属シート２０は、下面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路部）を有している。上側蒸気流路凹部２１内に、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａから下方（底面２１ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路突出部９０（第２流路突出部）が設けられている。上側流路突出部９０は、ハーフエッチング工程においてエッチングされることなく、上側金属シート２０の材料が残る部分である。   In the present embodiment, the upper metal sheet 20 is not provided with the liquid channel portion 30. Further, the upper metal sheet 20 has an upper steam channel recess 21 (a second steam channel portion) provided in the lower surface 20a. A plurality of upper channel projecting portions 90 (second channel projecting portions) projecting downward from the bottom surface 21a of the upper steam channel recess 21 (in the direction perpendicular to the bottom surface 21a) are provided in the upper steam channel recess 21. ing. The upper channel projection 90 is a portion where the material of the upper metal sheet 20 remains without being etched in the half etching step.

図１７に示すように、上側流路突出部９０は、上側金属シート２０の下面２０ａと同一平面上に位置する下面９０ａを有している。この下面９０ａは、中間金属シート７０の上面７０ｂに当接している。このことにより、密封空間３の減圧時におけるベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。   As shown in FIG. 17, the upper flow passage projecting portion 90 has a lower surface 90 a located on the same plane as the lower surface 20 a of the upper metal sheet 20. The lower surface 90 a is in contact with the upper surface 70 b of the intermediate metal sheet 70. By this, the mechanical strength of the vapor chamber 1 at the time of pressure reduction of the sealed space 3 is improved.

図１８に示すように、本実施の形態では、上側流路突出部９０は、平面視で、千鳥状に配置されている。このことにより、上側流路突出部９０の周囲を作動液２の蒸気が流れるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。また、上側流路突出部９０の下面の平面形状が、円形状になっており、この点においても、作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、上側流路突出部９０の平面形状は、作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制できれば、円形状であることに限られない。   As shown in FIG. 18, in the present embodiment, the upper flow passage projecting portions 90 are arranged in a zigzag form in a plan view. By this, it is comprised so that the vapor | steam of the hydraulic fluid 2 may flow around the upper side flow-path protrusion part 90, and suppressing that the flow of vapor | steam is interrupted. Moreover, the planar shape of the lower surface of the upper flow passage projecting portion 90 is circular, and also in this point, the obstruction of the flow of the vapor of the hydraulic fluid 2 is suppressed. The planar shape of the upper flow passage projecting portion 90 is not limited to a circular shape as long as the flow of the steam of the hydraulic fluid 2 can be suppressed.

図１９に示すように、中間金属シート７０に、上側蒸気流路凹部２１と液流路部３０とを連通する連通孔７１（連通部）が設けられている。連通孔７１は、中間金属シート７０を貫通しており、上述した密封空間３の一部を構成している。また、連通孔７１は、平面視で、互いに隣り合う上側流路突出部９０の間に配置されており、連通孔７１は、平面視で、千鳥状に配置されている。   As shown in FIG. 19, the intermediate metal sheet 70 is provided with a communication hole 71 (communication portion) for communicating the upper steam flow passage concave portion 21 and the liquid flow passage portion 30. The communication hole 71 penetrates the intermediate metal sheet 70 and constitutes a part of the sealed space 3 described above. Further, the communication holes 71 are disposed between the upper flow path projecting portions 90 adjacent to each other in a plan view, and the communication holes 71 are disposed in a zigzag shape in a plan view.

図１７に示すように、連通孔７１は、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａにわたって延びている。このことにより、上側蒸気流路凹部２１において作動液２の蒸気から凝縮して生成された液状の作動液２は、連通孔７１を通って、液流路部３０の主流溝３１に入り込むように構成されている。一方、蒸発部１１において蒸発した作動液２の蒸気は、下側蒸気流路凹部１２で拡散されるだけでなく、連通孔７１を通って上側蒸気流路凹部２１にも拡散できるようになっている。   As shown in FIG. 17, the communication holes 71 extend from the upper surface 70 b to the lower surface 70 a of the intermediate metal sheet 70. As a result, the liquid working fluid 2 generated by condensing from the steam of the working fluid 2 in the upper steam flow passage concave portion 21 passes through the communication hole 71 and enters the main flow groove 31 of the liquid flow passage portion 30. It is configured. On the other hand, the steam of the working fluid 2 evaporated in the evaporation section 11 can not only be diffused in the lower steam channel recess 12 but also diffused to the upper steam channel recess 21 through the communication hole 71 There is.

連通孔７１は、中間金属シート７０の上面７０ｂからエッチングされることによって形成されてもよい。この場合、連通孔７１は、下面７０ａに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。あるいは、連通孔７１は、中間金属シート７０の下面７０ａからエッチングされてもよく、この場合には、上面７０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。さらには、連通孔７１は、下面７０ａからのハーフエッチングと上面７０ｂからのハーフエッチングとで形成されていてもよい。この場合には、連通孔７１のうち上面７０ｂの側の部分と下面７０ａの側の部分とで、形状または大きさを異ならせてもよい。本実施の形態では、図１９に示すように、連通孔７１の平面形状が円形状になっている例が示されている。連通孔７１の直径φを、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最小直径とした場合、連通孔７１の直径φは、例えば、５０μｍ〜２０００μｍとしてもよい。なお、連通孔７１の平面形状は、円形状に限られることはない。   The communication holes 71 may be formed by etching from the upper surface 70 b of the intermediate metal sheet 70. In this case, the communication hole 71 may be curved so as to expand toward the lower surface 70a. Alternatively, the communication holes 71 may be etched from the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70, and in this case, may be curved in a shape that bulges toward the upper surface 70b. Furthermore, the communication hole 71 may be formed by half etching from the lower surface 70a and half etching from the upper surface 70b. In this case, the shape or the size of the communication hole 71 may be different between the portion on the upper surface 70 b side and the portion on the lower surface 70 a side. In the present embodiment, as shown in FIG. 19, an example is shown in which the planar shape of the communication hole 71 is circular. When the diameter φ of the communication hole 71 is the minimum diameter in the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a, the diameter φ of the communication hole 71 may be, for example, 50 μm to 2000 μm. The planar shape of the communication hole 71 is not limited to the circular shape.

図１９に示すように、本実施の形態においては、連通孔７１は、平面視で、互いに隣り合う一対の下側蒸気通路８１のうちの一方の下側蒸気通路８１の一部と他方の下側蒸気通路８１の一部に重なっている。このことにより、互いに隣り合う一対の下側蒸気通路８１が、連通孔７１を介して連通している。このため、連通孔７１の流路断面積を増大させることができ、作動液２の蒸気を上側蒸気流路凹部２１にスムースに拡散させることができる。なお、連通孔７１は、３つ以上の下側蒸気通路８１の各々の一部に重なって、これらの下側蒸気通路８１を連通するようにしてもよい。   As shown in FIG. 19, in the present embodiment, the communication hole 71 is a part of one lower steam passage 81 of the pair of lower steam passages 81 adjacent to each other in the plan view and the lower side of the other. It overlaps with a part of the side steam passage 81. As a result, the pair of lower steam passages 81 adjacent to each other are in communication via the communication holes 71. For this reason, the flow passage cross-sectional area of the communication hole 71 can be increased, and the vapor of the hydraulic fluid 2 can be smoothly diffused to the upper steam flow passage recess 21. The communication holes 71 may overlap portions of each of the three or more lower steam passages 81 to allow the lower steam passages 81 to communicate with each other.

また、図１９に示すように、中間金属シート７０には、各金属シート１０、２０、７０を位置決めするための中間アライメント孔７２が設けられている。すなわち、各中間アライメント孔７２は、仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５および上側アライメント孔２４にそれぞれ重なるように配置され、各金属シート１０、２０、７０の位置決めが可能になっている。   Further, as shown in FIG. 19, the intermediate metal sheet 70 is provided with an intermediate alignment hole 72 for positioning the respective metal sheets 10, 20, 70. That is, each intermediate alignment hole 72 is arranged to overlap each of the lower alignment hole 15 and the upper alignment hole 24 described above at the time of temporary fixing, and positioning of each metal sheet 10, 20, 70 is possible. .

なお、本実施の形態においては、注入部４は、図１乃至図１６に示す第１の実施の形態の注入部４と同様に形成してもよい。すなわち、下側金属シート１０が下側注入突出部１６を有し、下側注入突出部１６の上面に下側注入流路凹部（注入流路凹部）１７が形成されている。上側金属シート２０は、上側注入突出部２５を有しているが、上側注入突出部２５の下面には凹部が形成されることなく、平坦な形状で形成されている。   In the present embodiment, the injection portion 4 may be formed in the same manner as the injection portion 4 of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 16. That is, the lower metal sheet 10 has the lower injection protrusion 16, and the lower injection passage recess (injection passage recess) 17 is formed on the upper surface of the lower injection protrusion 16. The upper metal sheet 20 has the upper injection protrusion 25 but is formed in a flat shape without forming a recess on the lower surface of the upper injection protrusion 25.

中間金属シート７０は、端面から側方に突出する中間注入突出部７５を有している。しかしながら、この中間注入突出部７５の上面および下面には、凹部が形成されることなく、加工前の中間金属シート７０と同一の厚みを有している。中間注入突出部７５の上面および下面は、平坦な形状で形成されている。下側注入流路凹部１７および中間注入突出部７５は、下側金属シート１０と中間金属シート７０とが接合された際、一体となって作動液２の注入流路を形成する。下側金属シート１０、上側金属シート２０および中間金属シート７０が接合されると、各注入突出部１６、２５、７５は、互いに重なり合うようになっている。中間注入突出部７５は、上側注入突出部２５と同様に形成することができる。   The intermediate metal sheet 70 has an intermediate injection projection 75 projecting laterally from the end face. However, the upper and lower surfaces of the intermediate injection projection 75 have the same thickness as the intermediate metal sheet 70 before processing without forming a recess. The upper and lower surfaces of the intermediate injection protrusion 75 are formed in a flat shape. When the lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70 are joined, the lower injection channel recess 17 and the intermediate injection projection 75 integrally form an injection channel for the hydraulic fluid 2. When the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the intermediate metal sheet 70 are joined, the respective injection protrusions 16, 25, 75 overlap each other. The middle injection protrusion 75 can be formed similar to the upper injection protrusion 25.

しかしながら、このことに限られることはない。例えば、下側注入流路凹部１７に加えて若しくは下側注入流路凹部１７の代わりに、上側注入突出部２５の下面に、注入流路凹部（注入流路凹部）を形成してもよい。あるいは、このような注入部４の代わりに、下側金属シート１０または上側金属シート２０に注入孔を設けて、この注入孔から作動液２を注入するようにしてもよい。   However, this is not restrictive. For example, in addition to the lower injection channel recess 17 or instead of the lower injection channel recess 17, an injection channel recess (injection channel recess) may be formed on the lower surface of the upper injection protrusion 25. Alternatively, instead of the injection portion 4 described above, an injection hole may be provided in the lower metal sheet 10 or the upper metal sheet 20, and the hydraulic fluid 2 may be injected from the injection hole.

また、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０の下側蒸気流路凹部１２および液流路部３０と、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１は、図１乃至図１６に示す第１の実施の形態と同様にして形成することができる。また、中間金属シート７０の連通孔７１も、エッチングによって形成することができる。その後、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを、中間金属シート７０を介して接合する。すなわち、下側金属シート１０と中間金属シート７０とを拡散接合するとともに、上側金属シート２０と中間金属シート７０とを拡散接合する。このことにより、密封空間３が形成される。なお、下側金属シート１０と中間金属シート７０と上側金属シート２０とを一度に拡散接合するようにしてもよい。   In the vapor chamber 1 according to the present embodiment, the lower steam passage recess 12 and the liquid passage portion 30 of the lower metal sheet 10 and the upper steam passage recess 21 of the upper metal sheet 20 are shown in FIGS. It can be formed in the same manner as the first embodiment shown in FIG. The communication holes 71 of the intermediate metal sheet 70 can also be formed by etching. Thereafter, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined via the intermediate metal sheet 70. That is, the lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70 are diffusion bonded, and the upper metal sheet 20 and the intermediate metal sheet 70 are diffusion bonded. By this, the sealed space 3 is formed. The lower metal sheet 10, the intermediate metal sheet 70, and the upper metal sheet 20 may be diffusion bonded at one time.

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に中間金属シート７０が介在され、上側金属シート２０の下面２０ａに上側蒸気流路凹部２１が設けられ、下側金属シート１０の上面１０ａに液流路部３０が設けられている。そして、中間金属シート７０に、上側蒸気流路凹部２１と液流路部３０とを連通する連通孔７１が設けられている。このことにより、３つの金属シート１０、２０、７０でベーパーチャンバ１を構成する場合であっても、密封空間３内で、作動液２を、相変化を繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流させて、デバイスＤの熱を移動させて放出することができる。また、上側金属シート２０の上側蒸気流路凹部２１が広く連通しているため、作動液２の蒸気の拡散をスムースに行うことができ、熱輸送効率を向上させることができる。   As described above, according to the present embodiment, the intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and the upper steam flow path recess 21 is provided on the lower surface 20a of the upper metal sheet 20. The liquid flow passage 30 is provided on the upper surface 10 a of the lower metal sheet 10. Further, the intermediate metal sheet 70 is provided with a communication hole 71 for communicating the upper steam flow passage concave portion 21 and the liquid flow passage portion 30. By this, even in the case where the vapor chamber 1 is configured by the three metal sheets 10, 20, 70, the working fluid 2 is circulated in the vapor chamber 1 while repeating the phase change in the sealed space 3. , The heat of the device D can be transferred and released. Moreover, since the upper steam flow path concave portion 21 of the upper metal sheet 20 is widely communicated, the steam of the working fluid 2 can be diffused smoothly, and the heat transport efficiency can be improved.

また、本実施の形態によれば、図１乃至図１６に示す第１の実施の形態と同様に、下側注入流路凹部１７の幅ｗ９は、下側蒸気通路８１の幅ｗ７よりも広い。これにより、ベーパーチャンバ１の製造時に、注入流路を真空引きして密封空間３を脱気する作業や、その後、密封空間３へ作動液２を注入する作業を効率良く迅速に行うことができる。   Further, according to the present embodiment, the width w9 of the lower injection passage recess 17 is wider than the width w7 of the lower steam passage 81, as in the first embodiment shown in FIGS. . Thereby, at the time of manufacture of the vapor chamber 1, the operation of evacuating the injection flow path and degassing the sealed space 3 and the operation of injecting the working fluid 2 into the sealed space 3 can be performed efficiently and quickly. .

なお、図１７に示す例では、下側蒸気流路凹部１２の横断面形状および上側蒸気流路凹部２１の横断面形状が、矩形状に形成されている例を示している。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸気流路凹部１２、２１の横断面形状は、湾曲状に形成されていてもよい。また、液流路部３０の主流溝３１および連絡溝３２についても同様である。   In the example shown in FIG. 17, the cross-sectional shape of the lower steam flow passage concave portion 12 and the cross-sectional shape of the upper steam flow passage concave portion 21 are formed in a rectangular shape. However, the present invention is not limited to this, and the cross-sectional shape of the steam flow passage recesses 12 and 21 may be formed in a curved shape. Further, the same applies to the main flow grooves 31 and the communication grooves 32 of the liquid flow path portion 30.

また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、１つの中間金属シート７０が介在されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、２つ以上の中間金属シート７０が介在されていてもよい。   In the above-described embodiment, an example in which one intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 has been described. However, the present invention is not limited to this, and two or more intermediate metal sheets 70 may be interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20.

（第３の実施の形態）
次に、図２０および図２１を用いて、本発明の第３実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートについて説明する。 Third Embodiment
Next, a vapor chamber, an electronic device, and a metal sheet for vapor chamber according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 20 and 21. FIG.

図２０および図２１に示す第３の実施の形態においては、上側流路突出部および連通孔が、第１方向に沿って細長状に延びている点が主に異なり、他の構成は、図１７乃至図１９に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図２０および図２１において、図１７乃至図１９に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。   The third embodiment shown in FIG. 20 and FIG. 21 mainly differs in that the upper flow passage projecting portion and the communication hole extend in a slender shape along the first direction, and the other configuration is shown in FIG. This embodiment is substantially the same as the second embodiment shown in FIG. In FIGS. 20 and 21, the same parts as those in the second embodiment shown in FIGS. 17 to 19 are assigned the same reference numerals and detailed explanations thereof will be omitted.

図２０に示すように、本実施の形態においては、上側金属シート２０に設けられた上側流路突出部９０（第２流路突出部）は、図１乃至図１６に示す第１の実施の形態における上側流路壁部２２と同様に構成されている。このため、以下では、上側流路突出部９０を上側流路壁部２２と記し、上側流路突出部９０を含む上側金属シート２０についての詳細な説明は省略する。   As shown in FIG. 20, in the present embodiment, the upper flow passage projecting portion 90 (second flow passage projecting portion) provided in the upper metal sheet 20 is the first embodiment shown in FIGS. It is comprised similarly to the upper flow path wall part 22 in a form. For this reason, in the following, the upper flow passage projecting portion 90 is described as the upper flow passage wall portion 22, and the detailed description of the upper metal sheet 20 including the upper flow passage projecting portion 90 is omitted.

図２１に示すように、本実施の形態においては、中間金属シート７０に設けられた連通孔７１は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びるように形成されている。本実施の形態においても、連通孔７１は、平面視で、互いに隣り合う上側流路壁部２２の間に配置されている。連通孔７１の幅ｗ４（第２方向Ｙの寸法）は、例えば、５０μｍ〜１５００μｍとしてもよい。ここで、連通孔７１の幅ｗ４は、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最小幅とする。   As shown in FIG. 21, in the present embodiment, the communication holes 71 provided in the intermediate metal sheet 70 are formed to elongate along the first direction X. Also in the present embodiment, the communication holes 71 are arranged between the upper flow path wall portions 22 adjacent to each other in plan view. The width w4 (the dimension in the second direction Y) of the communication hole 71 may be, for example, 50 μm to 1500 μm. Here, the width w4 of the communication hole 71 is the minimum width in the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a.

本実施の形態における連通孔７１は、平面視で、下側蒸気流路凹部１２の一の下側蒸気通路８１に重なっている。そして、連通孔７１には、平面視で、当該下側蒸気通路８１に重なる上側蒸気流路凹部２１の上側蒸気通路８３も重なっている。すなわち、互いに重なる下側蒸気通路８１と上側蒸気通路８３の間に、これらに重なるように連通孔７１が設けられている。このため、下側蒸気通路８１内の作動液２の蒸気は、速やかに連通孔７１を介して上側蒸気通路８３に達することができ、上側蒸気通路８３にスムースに拡散することができる。   The communication hole 71 in the present embodiment overlaps the lower steam passage 81 of the lower steam passage concave portion 12 in a plan view. Further, the upper steam passage 83 of the upper steam passage recess 21 overlapping the lower steam passage 81 also overlaps the communication hole 71 in plan view. That is, the communication holes 71 are provided between the lower steam passage 81 and the upper steam passage 83 overlapping each other so as to overlap them. Therefore, the steam of the hydraulic fluid 2 in the lower steam passage 81 can rapidly reach the upper steam passage 83 through the communication hole 71, and can be smoothly diffused in the upper steam passage 83.

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に中間金属シート７０が介在され、上側金属シート２０の下面２０ａに上側蒸気流路凹部２１が設けられ、下側金属シート１０の上面１０ａに液流路部３０が設けられている。そして、中間金属シート７０に、上側蒸気流路凹部２１と液流路部３０とを連通する連通孔７１が設けられている。このことにより、３つの金属シート１０、２０、７０でベーパーチャンバ１を構成する場合であっても、密封空間３内で、作動液２を、相変化を繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流させて、デバイスＤの熱を移動させて放出することができる。   As described above, according to the present embodiment, the intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and the upper steam flow path recess 21 is provided on the lower surface 20a of the upper metal sheet 20. The liquid flow passage 30 is provided on the upper surface 10 a of the lower metal sheet 10. Further, the intermediate metal sheet 70 is provided with a communication hole 71 for communicating the upper steam flow passage concave portion 21 and the liquid flow passage portion 30. By this, even in the case where the vapor chamber 1 is configured by the three metal sheets 10, 20, 70, the working fluid 2 is circulated in the vapor chamber 1 while repeating the phase change in the sealed space 3. , The heat of the device D can be transferred and released.

また、本実施の形態によれば、図１乃至図１６に示す第１の実施の形態と同様に、下側注入流路凹部１７の幅ｗ９は、下側蒸気通路８１の幅ｗ７よりも広い。これにより、ベーパーチャンバ１の製造時に、注入流路を真空引きして密封空間３を脱気する作業や、その後、密封空間３へ作動液２を注入する作業を効率良く迅速に行うことができる。   Further, according to the present embodiment, the width w9 of the lower injection passage recess 17 is wider than the width w7 of the lower steam passage 81, as in the first embodiment shown in FIGS. . Thereby, at the time of manufacture of the vapor chamber 1, the operation of evacuating the injection flow path and degassing the sealed space 3 and the operation of injecting the working fluid 2 into the sealed space 3 can be performed efficiently and quickly. .

（第４の実施の形態）
次に、図２２乃至図２５を用いて、本発明の第４実施の形態におけるベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シートについて説明する。 Fourth Embodiment
Next, a vapor chamber, an electronic device and a metal sheet for vapor chamber according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図２２乃至図２５に示す第４の実施の形態においては、下側金属シートと上側金属シートとの間に中間金属シートが介在され、中間金属シートの下面および上面のうち少なくとも一方に複数の蒸気通路を含む蒸気流路部が形成され、中間金属シートの下面および上面のうち少なくとも一方に、液流路部が形成され、中間金属シートの下面および上面のうち少なくとも一方に、注入液流路部が形成され、注入流路部の幅が、蒸気通路の幅よりも広い点が主に異なり、他の構成は、図１７乃至図１９に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図２２乃至図２５において、図１７乃至図１９に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。   In the fourth embodiment shown in FIGS. 22 to 25, an intermediate metal sheet is interposed between the lower metal sheet and the upper metal sheet, and a plurality of vapors are applied to at least one of the lower surface and the upper surface of the intermediate metal sheet. A vapor flow passage including a passage is formed, a liquid flow passage is formed on at least one of the lower surface and the upper surface of the intermediate metal sheet, and an infusate flow passage is formed on at least one of the lower surface and the upper surface of the intermediate metal sheet. Is mainly different in that the width of the injection flow passage is wider than the width of the steam passage, and the other configuration is substantially the same as that of the second embodiment shown in FIG. 17 to FIG. 22 to FIG. 25, the same parts as those of the second embodiment shown in FIG. 17 to FIG.

図２２に示すように、本実施の形態においては、蒸気流路部８０は、中間金属シート７０の上面７０ｂに設けられている。すなわち、本実施の形態による蒸気流路部８０は、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びるように形成されており、中間金属シート７０を貫通している。液流路部３０は、中間金属シート７０の下面７０ａに設けられている。このため、本実施の形態による中間金属シート７０は、ウィックシートと称する場合もある。蒸気流路部８０と液流路部３０は、作動液２が還流できるように連通している。   As shown in FIG. 22, in the present embodiment, the steam flow passage portion 80 is provided on the upper surface 70 b of the intermediate metal sheet 70. That is, the steam flow passage portion 80 according to the present embodiment is formed to extend from the upper surface 70 b to the lower surface 70 a of the intermediate metal sheet 70, and penetrates the intermediate metal sheet 70. The liquid flow path portion 30 is provided on the lower surface 70 a of the intermediate metal sheet 70. Therefore, the intermediate metal sheet 70 according to the present embodiment may be referred to as a wick sheet. The vapor flow passage portion 80 and the liquid flow passage portion 30 are in communication so that the working fluid 2 can be returned.

図２３および図２４に示すように、中間金属シート７０は、平面視で矩形枠状に形成された枠体部７３と、枠体部７３内に設けられた複数のランド部７４と、を有している。枠体部７３およびランド部７４は、中間金属シート７０をエッチングする際にエッチングされることなく中間金属シート７０の材料が残る部分である。ランド部７４は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、蒸気流路部８０内に複数配置されている。ランド部７４は、図示しない支持部を介して、互いに支持されているとともに、枠体部７３に支持されている。支持部は、後述する中間蒸気通路８５内を流れる作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制するように形成されている。例えば、支持部は、図２２の上下方向において中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲の一部に形成されるようにしてもよい。   As shown in FIGS. 23 and 24, the intermediate metal sheet 70 has a frame portion 73 formed in a rectangular frame shape in plan view, and a plurality of land portions 74 provided in the frame portion 73. doing. The frame portion 73 and the land portions 74 are portions where the material of the intermediate metal sheet 70 remains without being etched when the intermediate metal sheet 70 is etched. The land portions 74 extend in a slender shape along the first direction X, and a plurality of land portions 74 are disposed in the steam flow passage portion 80. The lands 74 are supported by each other via a support (not shown) and supported by the frame 73. The support portion is formed to prevent the flow of the steam of the hydraulic fluid 2 flowing in the intermediate steam passage 85 described later from being obstructed. For example, the support may be formed in a part of the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a of the intermediate metal sheet 70 in the vertical direction in FIG.

蒸気流路部８０は、ランド部７４によって区画された複数の中間蒸気通路８５（第３蒸気通路、蒸気通路）を含んでいる。中間蒸気通路８５は、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、互いに平行に配置されている。各中間蒸気通路８５の両端部は、第２方向Ｙに沿って細長状に延びる中間連絡蒸気通路８６に連通しており、各中間蒸気通路８５が、中間連絡蒸気通路８６を介して連通している。このようにして、各ランド部７４の周囲（中間蒸気通路８５および中間連絡蒸気通路８６）を作動液２の蒸気が流れて、蒸気流路部８０の周縁部に向かって蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、図２２においては、中間蒸気通路８５の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状が、矩形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、中間蒸気通路８５の横断面形状は、例えば、湾曲状、半円状、Ｖ字状であってもよく、作動液２の蒸気を拡散することができれば任意である。中間連絡蒸気通路８６も同様である。中間蒸気通路８５および中間連絡蒸気通路８６は、図１７乃至図１９に示す第２の実施の形態における連通孔７１と同様にエッチングで形成することができ、連通孔７１と同様な横断面形状を有することができる。   The steam flow passage portion 80 includes a plurality of intermediate steam passages 85 (third steam passage, steam passage) partitioned by the land portion 74. The intermediate steam passages 85 extend in a slender shape along the first direction X, and are arranged parallel to one another. Both ends of each intermediate steam passage 85 are in communication with an intermediate communication steam passage 86 elongated along the second direction Y, and each intermediate steam passage 85 is in communication via the intermediate communication steam passage 86. There is. In this manner, the steam of the working fluid 2 flows around the lands 74 (the intermediate steam passage 85 and the intermediate communication steam passage 86) so that the steam is transported toward the peripheral portion of the steam passage 80. To prevent the flow of steam from being blocked. In FIG. 22, the shape of the cross section (the cross section in the second direction Y) of the intermediate steam passage 85 is rectangular. However, the present invention is not limited to this, and the cross-sectional shape of the intermediate steam passage 85 may be, for example, curved, semicircular, or V-shaped, as long as the steam of the hydraulic fluid 2 can be diffused. It is optional. The intermediate communication steam passage 86 is also the same. The intermediate steam passage 85 and the intermediate communication steam passage 86 can be formed by etching similarly to the communication holes 71 in the second embodiment shown in FIGS. 17 to 19 and have the same cross-sectional shape as the communication holes 71. It can have.

中間金属シート７０のランド部７４の幅ｗ５（第２方向Ｙの寸法）は、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最大寸法とした場合、例えば、５０μｍ〜２０００μｍとしてもよい。中間蒸気通路８５の幅ｗ６（第２方向Ｙの寸法）は、上面７０ｂから下面７０ａにわたる範囲における最小寸法とした場合、例えば、５０μｍ〜２０００μｍとしてもよい。中間連絡蒸気通路８６の幅（第１方向Ｘの寸法）も同様である。   The width w5 (the dimension in the second direction Y) of the land portion 74 of the intermediate metal sheet 70 may be, for example, 50 μm to 2000 μm when it is the maximum dimension in the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a. The width w6 (the dimension in the second direction Y) of the intermediate steam passage 85 may be, for example, 50 μm to 2000 μm in the case of the minimum dimension in the range from the upper surface 70b to the lower surface 70a. The width (the dimension in the first direction X) of the intermediate communication steam passage 86 is also the same.

液流路部３０は、中間金属シート７０の下面７０ａにおいて、ランド部７４に設けられている。すなわち、ランド部７４の下面に液流路部３０が設けられている。   The liquid flow path portion 30 is provided on the land portion 74 on the lower surface 70 a of the intermediate metal sheet 70. That is, the liquid flow path portion 30 is provided on the lower surface of the land portion 74.

本実施の形態における下側金属シート１０の上面１０ａには、下側蒸気流路凹部１２は設けられておらず、液流路部３０も設けられていない。当該上面１０ａは、平坦状に形成されている。同様に、上側金属シート２０の下面２０ａには、上側蒸気流路凹部２１は設けられておらず、液流路部３０も設けられていない。当該下面２０ａは、平坦状に形成されている。本実施の形態による下側金属シート１０の厚さおよび上側金属シート２０の厚さは、例えば、８μｍ〜１００μｍである。   In the upper surface 10 a of the lower metal sheet 10 in the present embodiment, the lower steam flow passage concave portion 12 is not provided, and the liquid flow passage portion 30 is not provided. The upper surface 10a is formed flat. Similarly, the upper steam flow passage concave portion 21 is not provided on the lower surface 20 a of the upper metal sheet 20, and the liquid flow passage portion 30 is not provided. The lower surface 20a is formed flat. The thickness of the lower metal sheet 10 and the thickness of the upper metal sheet 20 according to the present embodiment are, for example, 8 μm to 100 μm.

また、本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、中間金属シート７０の蒸気流路部８０と液流路部３０とを、エッチングによって形成することができる。その後、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを、中間金属シート７０を介して接合する。すなわち、下側金属シート１０と中間金属シート７０とを拡散接合するとともに、上側金属シート２０と中間金属シート７０とを拡散接合する。このことにより、密封空間３が形成される。なお、下側金属シート１０と中間金属シート７０と上側金属シート２０とを一度に拡散接合するようにしてもよい。   In the vapor chamber 1 according to the present embodiment, the vapor flow passage portion 80 and the liquid flow passage portion 30 of the intermediate metal sheet 70 can be formed by etching. Thereafter, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined via the intermediate metal sheet 70. That is, the lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70 are diffusion bonded, and the upper metal sheet 20 and the intermediate metal sheet 70 are diffusion bonded. By this, the sealed space 3 is formed. The lower metal sheet 10, the intermediate metal sheet 70, and the upper metal sheet 20 may be diffusion bonded at one time.

なお、本実施の形態においては、注入部４を構成する中間注入突出部７５の下面に、中間注入流路部７６（注入流路部）が凹状に形成されている。下側注入突出部１６の上面には、下側注入流路凹部１７は形成されることなく、当該上面は、平坦な形状で形成されている。下側注入突出部１６および中間注入流路部７６は、下側金属シート１０と中間金属シート７０とが接合された際、一体となって作動液２の注入流路を形成する。図２４に示すように、中間注入突出部７５の上面には注入流路部は形成されていないが、中間注入流路部７６は、中間注入突出部７５の下面に加えて若しくは当該下面の代わりに、中間注入突出部７５の上面に形成されていてもよい。   In the present embodiment, an intermediate injection flow passage 76 (injection flow passage) is formed in a concave shape on the lower surface of the intermediate injection protrusion 75 that constitutes the injection unit 4. The lower injection channel recess 17 is not formed on the upper surface of the lower injection protrusion 16, and the upper surface is formed in a flat shape. When the lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70 are joined together, the lower injection protrusion 16 and the intermediate injection passage 76 integrally form an injection channel for the working fluid 2. As shown in FIG. 24, although the injection channel portion is not formed on the upper surface of the intermediate injection projection 75, the intermediate injection channel portion 76 is added to the lower surface of the intermediate injection projection 75 or instead of the lower surface. Alternatively, it may be formed on the upper surface of the intermediate injection projection 75.

中間注入突出部７５および中間注入流路部７６は、第１の実施の形態における下側注入突出部１６および下側注入流路凹部１７と同様に形成することができる。例えば、中間注入突出部７５は、下側注入突出部１６と同様の幅ｗ８および長さＬ１を有していてもよい。また、例えば、中間注入流路部７６は、下側注入流路凹部１７と同様の幅ｗ９を有していてもよい。   The middle injection protrusion 75 and the middle injection passage 76 can be formed in the same manner as the lower injection protrusion 16 and the lower injection passage recess 17 in the first embodiment. For example, the middle injection protrusion 75 may have the same width w 8 and length L 1 as the lower injection protrusion 16. Also, for example, the intermediate injection flow passage portion 76 may have the same width w9 as the lower injection flow passage concave portion 17.

本実施の形態においては、中間注入流路部７６の幅ｗ９が、上述した中間蒸気通路８５の幅ｗ６よりも広くなっていてもよい。この場合、例えば、幅ｗ６は、０．０５ｍｍ〜２．０ｍｍ、幅ｗ９は、１ｍｍ〜１０ｍｍである。また、中間注入流路部７６の幅ｗ９は、中間蒸気通路８５の幅ｗ６の１．５倍以上となることが好ましい。より詳しくは、例えば、幅ｗ６が０．０５ｍｍである場合には幅ｗ９は１ｍｍ〜６ｍｍとしてもよく、好ましくは１ｍｍ〜３ｍｍである。また、例えば、幅ｗ６が２ｍｍである場合には、幅ｗ９は３．５ｍｍ〜１０ｍｍとしてもよく、好ましくは１ｍｍ〜６ｍｍである。このように、中間注入流路部７６の幅ｗ９を中間蒸気通路８５の幅ｗ６よりも広くすることにより、密封空間３からの脱気や密封空間３への作動液２の注入を迅速に行うことができる。   In the present embodiment, the width w9 of the intermediate injection passage portion 76 may be wider than the width w6 of the above-described intermediate steam passage 85. In this case, for example, the width w6 is 0.05 mm to 2.0 mm, and the width w9 is 1 mm to 10 mm. Further, it is preferable that the width w 9 of the intermediate injection passage 76 be 1.5 or more times the width w 6 of the intermediate steam passage 85. More specifically, for example, when the width w6 is 0.05 mm, the width w9 may be 1 mm to 6 mm, preferably 1 mm to 3 mm. Also, for example, when the width w6 is 2 mm, the width w9 may be 3.5 mm to 10 mm, preferably 1 mm to 6 mm. Thus, the width w9 of the intermediate injection passage 76 is made wider than the width w6 of the intermediate steam passage 85, so that the degassing from the sealed space 3 and the injection of the working fluid 2 to the sealed space 3 can be performed quickly. be able to.

中間注入流路部７６は、凹状に形成されることに限られることはない。例えば、中間注入流路部７６は、中間金属シート７０の下面７０ａから上面７０ｂにわたって延びて、中間金属シート７０を貫通するように形成されていてもよい。この場合、支柱５５は、図示しない支持部を介して、土手部５１に支持されるようにしてもよい。突起５６は、柱状に形成して、図示しない支持部を介して、土手部５１に支持されるようにしてもよい。   The intermediate injection passage portion 76 is not limited to being formed in a concave shape. For example, the intermediate injection passage portion 76 may be formed to extend from the lower surface 70 a to the upper surface 70 b of the intermediate metal sheet 70 so as to penetrate the intermediate metal sheet 70. In this case, the support 55 may be supported by the bank 51 via a support (not shown). The protrusions 56 may be formed in a columnar shape and supported by the bank portion 51 via a support portion (not shown).

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に中間金属シート７０が介在され、中間金属シート７０の上面７０ｂに蒸気流路部８０が設けられ、中間金属シート７０の下面７０ａに液流路部３０が設けられている。このことにより、３つの金属シート１０、２０、７０でベーパーチャンバ１を構成する場合であっても、密封空間３内で、作動液２を、相変化を繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流させて、デバイスＤの熱を移動させて放出することができる。   As described above, according to the present embodiment, the intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and the steam flow passage portion 80 is provided on the upper surface 70b of the intermediate metal sheet 70. The liquid flow passage 30 is provided on the lower surface 70 a of the intermediate metal sheet 70. By this, even in the case where the vapor chamber 1 is configured by the three metal sheets 10, 20, 70, the working fluid 2 is circulated in the vapor chamber 1 while repeating the phase change in the sealed space 3. , The heat of the device D can be transferred and released.

また、本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に介在された中間金属シート７０の上面７０ｂに、蒸気流路部８０が設けられ、下面７０ａに、液流路部３０が設けられている。このことにより、下側金属シート１０および上側金属シート２０への、蒸気流路や液流路を形成するためのエッチング加工を不要にできる。すなわち、エッチング加工を行う部材の点数を削減することができる。このため、ベーパーチャンバ１の製造工程を簡素化し、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。また、蒸気流路部８０と液流路部３０が中間金属シート７０に形成されているため、蒸気流路部８０と液流路部３０とは、エッチング加工時に精度良く位置決めすることができる。このため、組立工程において、蒸気流路部８０と液流路部３０とを位置合わせすることを不要にできる。この結果、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。また、蒸気流路の高さ（あるいは深さ）を、中間金属シート７０の厚みで画定することができ、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。   Further, according to the present embodiment, the vapor flow passage portion 80 is provided on the upper surface 70 b of the intermediate metal sheet 70 interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, and the lower surface 70 a A flow passage 30 is provided. By this, the etching process for forming the vapor | steam flow path and the liquid flow path to the lower side metal sheet 10 and the upper side metal sheet 20 can be made unnecessary. That is, the number of members to be subjected to the etching process can be reduced. Therefore, the manufacturing process of the vapor chamber 1 can be simplified, and the vapor chamber 1 can be manufactured easily. In addition, since the vapor flow passage portion 80 and the liquid flow passage portion 30 are formed in the intermediate metal sheet 70, the vapor flow passage portion 80 and the liquid flow passage portion 30 can be accurately positioned at the time of etching. For this reason, in the assembly process, it is not necessary to align the steam flow passage portion 80 and the liquid flow passage portion 30. As a result, the vapor chamber 1 can be easily manufactured. Also, the height (or depth) of the steam flow channel can be defined by the thickness of the intermediate metal sheet 70, and the vapor chamber 1 can be easily manufactured.

また、本実施の形態によれば、図１乃至図１６に示す第１の実施の形態と同様に、中間注入流路部７６の幅ｗ９は、中間蒸気通路８５の幅ｗ６よりも広い。これにより、ベーパーチャンバ１の製造時に、注入流路を真空引きして密封空間３を脱気する作業や、その後、密封空間３へ作動液２を注入する作業を効率良く迅速に行うことができる。   Further, according to the present embodiment, the width w9 of the intermediate injection passage portion 76 is wider than the width w6 of the intermediate steam passage 85 as in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 16. Thereby, at the time of manufacture of the vapor chamber 1, the operation of evacuating the injection flow path and degassing the sealed space 3 and the operation of injecting the working fluid 2 into the sealed space 3 can be performed efficiently and quickly. .

また、本実施の形態によれば、蒸気流路部８０は、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びている。このことにより、蒸気流路部８０の流路抵抗を低減することができる。このため、蒸気流路部８０において作動液２の蒸気から凝縮して生成された液状の作動液２を、スムースに液流路部３０の主流溝３１に入り込ませることができる。一方、蒸発部１１において蒸発した作動液２の蒸気を、蒸気流路部８０にスムースに拡散することができる。   Further, according to the present embodiment, the steam flow passage portion 80 extends from the upper surface 70 b to the lower surface 70 a of the intermediate metal sheet 70. As a result, the flow path resistance of the steam flow path portion 80 can be reduced. For this reason, the liquid hydraulic fluid 2 generated by condensing from the steam of the hydraulic fluid 2 in the steam channel portion 80 can be smoothly introduced into the main flow groove 31 of the liquid channel portion 30. On the other hand, the vapor of the working fluid 2 evaporated in the evaporation section 11 can be diffused to the vapor flow channel section 80 smoothly.

なお、上述した本実施の形態においては、液流路部３０が、中間金属シート７０の下面７０ａに設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図２５に示すように、液流路部３０は、下面７０ａだけでなく、上面７０ｂにも設けられていてもよい。この場合、液状の作動液２を蒸発部１１または中間金属シート７０のうち蒸発部１１に近い部分に輸送する流路を増やすことができ、液状の作動液２の輸送効率を向上させることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を向上させることができる。   In the above-described embodiment, the example in which the liquid flow passage 30 is provided on the lower surface 70 a of the intermediate metal sheet 70 has been described. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 25, the liquid flow path 30 may be provided not only on the lower surface 70 a but also on the upper surface 70 b. In this case, it is possible to increase the number of flow paths for transporting the liquid hydraulic fluid 2 to a portion close to the evaporator 11 among the evaporator 11 or the intermediate metal sheet 70, and to improve the transport efficiency of the liquid hydraulic fluid 2 . Therefore, the heat transfer efficiency of the vapor chamber 1 can be improved.

また、上述した本実施の形態においては、蒸気流路部８０が、中間金属シート７０の上面７０ｂから下面７０ａに延びるように形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、蒸気流路部８０が、図１乃至図１６に示す下側蒸気流路凹部１２のように、あるいは、図１７および図１８に示す上側蒸気流路凹部２１のように、中間金属シート７０の上面７０ｂに凹状に形成されていてもよい。この場合、中間金属シート７０に、蒸気流路部８０を液流路部３０に連通する連通孔（図示せず）が設けられていてもよい。   Further, in the above-described embodiment, an example in which the steam flow passage portion 80 is formed to extend from the upper surface 70 b to the lower surface 70 a of the intermediate metal sheet 70 has been described. However, the present invention is not limited thereto, and the steam flow passage portion 80 may be the lower steam flow passage concave portion 12 shown in FIGS. 1 to 16 or the upper steam flow passage concave portion shown in FIGS. Like 21, the upper surface 70 b of the intermediate metal sheet 70 may be concavely formed. In this case, the intermediate metal sheet 70 may be provided with a communication hole (not shown) for communicating the vapor flow passage portion 80 with the liquid flow passage portion 30.

また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、１つの中間金属シート７０が介在されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側金属シート１０と中間金属シート７０との間に、図示しない他の金属シートが介在されていてもよく、上側金属シート２０と中間金属シート７０との間に、図示しない他の金属シートが介在されていてもよい。   In the above-described embodiment, an example in which one intermediate metal sheet 70 is interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 has been described. However, the present invention is not limited to this, and another metal sheet (not shown) may be interposed between the lower metal sheet 10 and the intermediate metal sheet 70, and the upper metal sheet 20 and the intermediate metal sheet 70 In the meantime, another metal sheet (not shown) may be interposed.

本発明は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。また、上記各実施の形態および各変形例では、下側金属シート１０の構成と、上側金属シート２０の構成とを入れ替えてもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications as it is, and in the implementation stage, the components can be modified and embodied without departing from the scope of the invention. In addition, various inventions can be formed by appropriate combinations of a plurality of constituent elements disclosed in the above-described embodiments and modifications. Some components may be deleted from all the components shown in each embodiment and each modification. Further, in each of the embodiments and the modifications described above, the configuration of the lower metal sheet 10 and the configuration of the upper metal sheet 20 may be interchanged.

１ ベーパーチャンバ
２ 作動液
１０ 下側金属シート
１２ 下側蒸気流路凹部
１７ 下側注入流路凹部
２０ 上側金属シート
２１ 上側蒸気流路凹部
３０ 液流路部
３１ 主流溝
３２ 連絡溝
３３ 凸部
５４ カシメ領域
５５ 支柱
５６ 突起
７０ 中間金属シート
７０ａ 下面
７０ｂ 上面
７１ 連通孔
７６ 中間注入流路部
８０ 蒸気流路部
８１ 下側蒸気通路
８５ 中間蒸気通路
９０ 上側流路突出部
Ｄ デバイス
Ｅ 電子機器
Ｈ ハウジング
Ｐ 交差部
Ｑ バッファ領域
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 vapor chamber 2 hydraulic fluid 10 lower side metal sheet 12 lower side steam flow path crevice 17 lower side injection flow path concave 20 upper side metal sheet 21 upper steam flow path concave 30 liquid flow path portion 31 main flow groove 32 communication groove 33 convex portion 54 Crimping area 55 Post 56 Protrusion 70 Intermediate metal sheet 70a Lower surface 70b Upper surface 71 Communication hole 76 Intermediate injection passage 80 Steam passage 81 Lower steam passage 85 Intermediate steam passage 90 Upper passage projection D Device E Electronic equipment H Housing P intersection Q buffer area X first direction Y second direction

Claims (12)

作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、を備え、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、それぞれ前記作動液の蒸気が通る複数の蒸気通路を含む蒸気流路凹部が形成され、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、液状の前記作動液が通る液流路部が形成され、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち少なくとも一方に、液状の前記作動液を注入する注入流路凹部が形成され、
前記注入流路凹部の幅は、前記蒸気通路の幅よりも広い、ベーパーチャンバ。 A vapor chamber filled with hydraulic fluid,
A first metal sheet,
A second metal sheet laminated on the first metal sheet;
At least one of the first metal sheet and the second metal sheet is formed with a steam channel recess including a plurality of steam channels through which the steam of the hydraulic fluid passes.
A liquid passage portion through which the liquid working fluid passes is formed in at least one of the first metal sheet and the second metal sheet,
An injection channel concave portion for injecting the liquid working fluid is formed in at least one of the first metal sheet and the second metal sheet,
A vapor chamber, wherein the width of the injection passage recess is wider than the width of the steam passage. 前記注入流路凹部に複数の支柱が突設されている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。   The vapor chamber according to claim 1, wherein a plurality of support posts project from the injection flow passage recess. 前記注入流路凹部にカシメ領域が形成され、前記カシメ領域は複数の突起を有する、請求項１又は２に記載のベーパーチャンバ。   The vapor chamber according to claim 1, wherein a caulking area is formed in the injection flow passage concave section, and the caulking area has a plurality of protrusions. 前記注入流路凹部の幅は、前記蒸気通路の幅の１．５倍以上である、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。   The vapor chamber according to any one of claims 1 to 3, wherein a width of the injection passage recess is 1.5 times or more of a width of the steam passage. 前記注入流路凹部の深さは、前記蒸気通路の深さよりも深い、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。   The vapor chamber according to any one of claims 1 to 4, wherein a depth of the injection passage recess is deeper than a depth of the steam passage. 前記液流路部は、互いに平行に延びる複数の主流溝と、互いに隣接する前記主流溝同士を連絡する連絡溝とを有する、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。   The vapor chamber according to any one of claims 1 to 5, wherein the liquid flow passage portion includes a plurality of main flow grooves extending in parallel to one another and a communication groove connecting the main flow grooves adjacent to each other. 前記主流溝および前記連絡溝に取り囲まれるように凸部が形成され、複数の前記凸部が平面視で千鳥状に配置されている、請求項６に記載のベーパーチャンバ。   The vapor chamber according to claim 6, wherein a convex portion is formed so as to be surrounded by the main flow groove and the connection groove, and the plurality of convex portions are arranged in a zigzag shape in plan view. 前記第２金属シートは、前記第１金属シート上に設けられている、請求項１乃至７のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。   The vapor chamber according to any one of claims 1 to 7, wherein the second metal sheet is provided on the first metal sheet. 前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートを更に備え、
前記第１金属シートおよび前記第２金属シートのうち一方に前記蒸気流路凹部が形成されるとともに、他方に前記液流路部が形成され、
前記第３金属シートに、前記蒸気流路凹部と前記液流路部とを連通する連通部が設けられている、請求項１乃至７のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 And a third metal sheet interposed between the first metal sheet and the second metal sheet,
The steam flow passage recess is formed in one of the first metal sheet and the second metal sheet, and the liquid flow passage portion is formed in the other,
The vapor chamber according to any one of claims 1 to 7, wherein the third metal sheet is provided with a communicating portion for communicating the vapor flow path concave portion and the liquid flow path portion. 作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第１金属シートと、
前記第１金属シートに積層された第２金属シートと、
前記第１金属シートと前記第２金属シートとの間に介在された第３金属シートと、備え、
前記第３金属シートは、前記第１金属シートの側に設けられた第１面と、前記第２金属シートの側に設けられた第２面と、を含み、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、それぞれ前記作動液の蒸気が通る複数の蒸気通路を含む蒸気流路部が形成され、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、液状の前記作動液が通る液流路部が形成され、
前記第３金属シートの前記第１面および前記第２面のうち少なくとも一方に、液状の前記作動液を注入する注入流路部が形成され、
前記注入流路部の幅は、前記蒸気通路の幅よりも広い、ベーパーチャンバ。 A vapor chamber filled with hydraulic fluid,
A first metal sheet,
A second metal sheet laminated on the first metal sheet;
A third metal sheet interposed between the first metal sheet and the second metal sheet,
The third metal sheet includes a first surface provided on the side of the first metal sheet, and a second surface provided on the side of the second metal sheet,
At least one of the first surface and the second surface of the third metal sheet is formed with a steam flow passage portion including a plurality of steam passages through which the steam of the hydraulic fluid passes.
A liquid passage portion through which the liquid working fluid passes is formed in at least one of the first surface and the second surface of the third metal sheet,
An injection channel portion for injecting the liquid working fluid is formed on at least one of the first surface and the second surface of the third metal sheet,
The vapor chamber, wherein the width of the injection passage is wider than the width of the steam passage. ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接触した、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。 With the housing,
A device housed within the housing;
11. A vapor chamber according to any one of the preceding claims, in thermal contact with the device. 作動液が封入されたベーパーチャンバのためのベーパーチャンバ用金属シートであって、
第１面と、
前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、を備え、
前記第１面に、前記作動液の蒸気が通る複数の蒸気通路を含む蒸気流路凹部が形成され、
前記第１面に、液状の前記作動液を注入する注入流路凹部が形成され、
前記注入流路凹部の幅は、前記蒸気通路の幅よりも広い、ベーパーチャンバ用金属シート。 A metal sheet for a vapor chamber for a vapor chamber in which a hydraulic fluid is enclosed, comprising:
First side,
And a second surface provided on the side opposite to the first surface,
The first surface is formed with a steam channel recess including a plurality of steam channels through which the hydraulic fluid steam passes.
An injection channel concave portion for injecting the liquid working fluid is formed on the first surface,
The metal sheet for a vapor chamber, wherein the width of the injection channel recess is wider than the width of the steam channel.
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